DE102006043822A1 - Laser arrangement used in a machine tool for cutting, welding and boring comprises a laser source, a power measuring unit for measuring the power of the beam and a position changing unit for changing the position of the power measuring unit - Google Patents

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Abstract

Laser arrangement (1) comprises a laser source (2) for producing a laser beam (3), a power measuring unit (5) for measuring the power of the beam and a position changing unit (6) for changing the position of the power measuring unit so that the power measuring unit is arranged in the beam to measure the power of the beam.

Description

Stand der TechnikState of the art

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Laservorrichtung zur Erzeugung eines Laserstrahls mit einer integrierten Leistungsmesseinrichtung.The The present invention relates to a laser device for generation a laser beam with an integrated power measuring device.

Laservorrichtungen sind beispielsweise in der Materialbearbeitung als Werkzeugmaschinen z.B. zum Schneiden, Schweißen, Bohren, Formen oder Beschriften, oder als Messmaschinen zur Bestimmung von Abmessungen oder Abständen usw. bekannt. Die Bearbeitung der Werkstücke erfolgt dabei mittels eines Laserstrahls, welcher aus verschiedenen Quellen stammen kann. Die Bearbeitungsvorgänge finden dabei häufig innerhalb eines kontinuierlichen Bearbeitungsprozesses statt, weshalb ein zuverlässiger Dauerbetrieb der Laservorrichtung notwendig ist. Aufgrund von Alterung und/oder Verschleiß z.B. der Laserdioden bzw. der Pumplampe der Laservorrichtung, welche zur Erzeugung des Laserstrahls verwendet wird, erfolgt eine Degradation der Laserleistung. Von daher wird im Fertigungsprozess in bestimmten Intervallen die Laserleistung gemessen, um Abweichungen oder einen bevorstehenden Ausfall möglichst frühzeitig erkennen zu können. Hierzu wird üblicherweise ein portables Leistungsmessgerät verwendet, welches an der Laservorrichtung aufgebaut wird und angeschlossen werden muss. Dies benötigt jedoch eine gewisse Zeit und ist aufwendig. Die hierbei erzielten Messergebnisse hängen ferner stark von dem jeweiligen Bediener ab, so dass reproduzierbare Messbedingungen nicht immer gegeben sind.laser devices For example, in material processing as machine tools, e.g. for cutting, welding, Drilling, molding or marking, or as measuring machines for determination of dimensions or distances etc. known. The machining of the workpieces is done by means of a Laser beam, which can come from different sources. The edits find it often within a continuous processing process, which is why a reliable one Continuous operation of the laser device is necessary. Due to aging and / or wear e.g. the laser diodes or the pumping lamp of the laser device, which is used to generate the laser beam, there is a degradation of Laser power. Therefore, in the manufacturing process in certain Intervals the laser power measured to deviations or one possible breakdown as possible early to be able to recognize. For this becomes common a portable power meter used, which is built on the laser device and connected must become. This is needed However, it takes some time and is expensive. The achieved here Hanging results Furthermore, strongly from the respective operator, so that reproducible Measuring conditions are not always given.

Aus der DE 197 37 094 A1 ist eine Laservorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstücks bekannt, welche einen ersten Laser und einen zweiten Laser umfasst. Im Falle eines Ausfalls des ersten Lasers kann die Vorrichtung einfach auf den zweiten Laser umgeschaltet werden. Dadurch können Produktionsausfälle minimiert werden. Allerdings sind derartige Anlagen aufgrund des Vorsehens von zwei Lasereinrichtungen sehr teuer.From the DE 197 37 094 A1 For example, a laser device for machining a workpiece is known which comprises a first laser and a second laser. In case of failure of the first laser, the device can be easily switched to the second laser. As a result, production losses can be minimized. However, such systems are very expensive due to the provision of two laser devices.

Vorteile der ErfindungAdvantages of the invention

Die erfindungsgemäße Laservorrichtung zur Erzeugung eines Laserstrahls mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 weist demgegenüber den Vorteil auf, dass ein reproduzierbares und sicheres Überwachen der Laserleistung des Lasers möglich ist. Dadurch kann eine Leistung des Lasers korrigiert werden bzw. eine notwendige Reparatur oder ein Austausch des Lasers frühzeitig geplant werden, um einen Fertigungsausfall zu vermeiden. Ferner kann erfindungsgemäß eine hohe Qualität in der Fertigung bzw. Messung mittels Laser erhalten werden. Dies wird erfindungsgemäß dadurch erreicht, dass eine Leistungsmesseinrichtung zur Messung einer Leistung des Lasers in die Laservorrichtung integriert ist. Die Laservorrichtung umfasst hierbei eine Positionsänderungsvorrichtung, um eine Position der Leistungsmesseinrichtung derart zu ändern, dass die Leistungsmesseinrichtung in den Laserstrahl gebracht werden kann, um die Leistung des Lasers zu messen. Hierdurch kann erfindungsgemäß bei einem einfachen und kostengünstigen Aufbau eine deutliche Qualitätssteigerung insbesondere in Fertigungsmaschinen mit einem Laser erreicht werden.The Inventive laser device for generating a laser beam having the features of the claim 1 shows in contrast the advantage that a reproducible and secure monitoring the laser power of the laser is possible. As a result, a power of the laser can be corrected or a necessary repair or replacement of the laser early planned to avoid a loss of production. Further can according to the invention a high quality be obtained in the production or measurement by means of laser. this will according to the invention thereby achieved that a power measuring device for measuring a power of the laser is integrated into the laser device. The laser device here comprises a position change device, to change a position of the power measuring device such that the power measuring device are brought into the laser beam can measure the power of the laser. As a result, according to the invention in a simple and cost-effective Construction a significant increase in quality can be achieved in particular in production machines with a laser.

Die Unteransprüche zeigen bevorzugte Weiterbildungen der Erfindung.The dependent claims show preferred developments the invention.

Die Laservorrichtung umfasst vorzugsweise eine als Schwenkeinrichtung ausgebildete Positionsänderungsvorrichtung. Die Schwenkeinrichtung ermöglicht es, dass die Leistungsmesseinrichtung um eine Schwenkachse in den Laserstrahl und zurück geschwenkt werden kann. Dieser Schwenkvorgang kann dabei manuell oder automatisiert erfolgen.The Laser device preferably comprises a pivoting device trained position changing device. The pivoting device allows it that the power measuring device about a pivot axis in the Laser beam and panned back can be. This pivoting process can be done manually or automatically respectively.

Alternativ umfasst die Positionsänderungsvorrichtung eine Linearverschiebungseinrichtung, um die Leistungsmesseinrichtung linear zu verschieben. Dadurch kann eine besonders einfache Positionsänderung der Leistungsmesseinrichtung in den Laserstrahl und zurück ermöglicht werden. Die Positionsänderung kann dabei ebenfalls manuell oder automatisiert erfolgen.alternative includes the position changing device a linear displacement device around the power measuring device to move linearly. This can be a particularly simple change in position the power measuring device in the laser beam and back are made possible. The position change can also be done manually or automatically.

Um eine möglichst sichere und schnelle Verwendung der Leistungsmesseinrichtung zu ermöglichen, umfasst die Positionsänderungsvorrichtung vorzugsweise einen Pneumatikzylinder oder einen Hydraulikzylinder zur Positionsänderung der Leistungsmesseinrichtung. Hierdurch kann eine sicher reproduzierbare Bewegung der Leistungsmesseinrichtung erreicht werden. Ferner kann durch einen Anschlag, z.B. am Antrieb der Leistungsmesseinrichtung wie z.B. ein Anschlag für den Kolben des Zylinders, eine für jeden Messvorgang gleiche Endposition sichergestellt werden.Around one possible safe and quick use of the power meter too enable, includes the position changing device preferably a pneumatic cylinder or a hydraulic cylinder for position change the power measuring device. This allows a safe reproducible Movement of the power measuring device can be achieved. Furthermore, can by a stop, e.g. at the drive of the power measuring device such as. a stop for the piston of the cylinder, one for every measuring process the same end position can be ensured.

Vorzugsweise ist die integrierte Leistungsmesseinrichtung mit einer Steuerungseinheit der Laservorrichtung verbunden. Hierdurch können beispielsweise bei Feststellen von Abweichungen der Leistung des Lasers durch die Steuerungseinheit der Laservorrichtung unmittelbar Gegenmaßnahmen eingeleitet werden. Dies erhöht die Qualität der Laserverwendung.Preferably is the integrated power measuring device with a control unit connected to the laser device. This can be used, for example, when detecting deviations of the power of the laser by the control unit the laser device countermeasures are initiated immediately. This increases the quality the laser usage.

Um frühzeitig eine Verschlechterung der Laserleistung zu erkennen, führt die Steuerungseinheit der Laservorrichtung vorzugsweise periodisch eine Messung der Leistung des Lasers durch. Dies kann beispielsweise basierend auf Betriebsstunden des Lasers oder basierend auf einem vorbestimmten Zeitintervall durchgeführt werden. Somit können gegebenenfalls vorhandene Leistungsminderungen des Lasers frühzeitig erkannt werden und gegebenenfalls ein Austausch frühzeitig geplant werden, ohne den Produktionsprozess dabei zu stören.In order to detect early deterioration of the laser power, the control unit of the laser device preferably performs a periodic measurement of the power of the laser. This may be, for example, based on operating hours of the laser or based on a predetermined time tintervall be performed. Thus, any existing reductions in performance of the laser can be detected early and, where appropriate, a replacement can be planned early, without disturbing the production process.

Weiter bevorzugt ist die Leistungsmesseinrichtung mit einer Kühlwasserversorgung der Laservorrichtung verbunden. Dadurch muss für die Lasermesseinrichtung keine separate Kühlwasserversorgung bereitgestellt werden.Further preferred is the power measuring device with a cooling water supply connected to the laser device. As a result, must for the laser measuring device no separate cooling water supply to be provided.

Um einen ausreichenden Schutz der Leistungsmesseinrichtung sicherzustellen, ist die Leistungsmesseinrichtung vorzugsweise in einem Gehäuse angeordnet.Around to ensure adequate protection of the power meter the power measuring device is preferably arranged in a housing.

Somit kann erfindungsgemäß eine vollautomatisierte Überprüfung des Lasers durchgeführt werden, wodurch insbesondere in der Fertigung auch eine Qualitätssteigerung erzielt werden kann.Consequently can according to the invention a fully automated verification of Lasers performed become, whereby in particular in the production also a quality increase can be achieved.

Zeichnungdrawing

Nachfolgend werden bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung unter Bezugnahme auf die begleitende Zeichnung im Detail beschrieben. In der Zeichnung ist:following become preferred embodiments the invention with reference to the accompanying drawings in Detail described. In the drawing is:

1 eine schematische Seitenansicht einer Laservorrichtung gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung, 1 a schematic side view of a laser device according to a first embodiment of the invention,

2 eine schematische Draufsicht der in 1 gezeigten Laservorrichtung, 2 a schematic plan view of the in 1 shown laser device,

3 eine schematische Seitenansicht einer Laservorrichtung gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung und 3 a schematic side view of a laser device according to a second embodiment of the invention and

4 eine schematische Draufsicht der in 3 gezeigten Laservorrichtung. 4 a schematic plan view of the in 3 shown laser device.

Bevorzugte Ausführungsformen der ErfindungPreferred embodiments of the invention

Nachfolgend wird unter Bezugnahme auf die 1 und 2 eine Laservorrichtung 1 gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung im Detail beschrieben.The following is with reference to the 1 and 2 a laser device 1 according to a first embodiment of the invention described in detail.

Die Laservorrichtung 1 ist beispielsweise eine Werkzeugmaschine zur Bearbeitung eines Werkstücks 4 mit einem Laserstrahl 3. Der Laserstrahl 3 wird durch eine Laserquelle 2 erzeugt. In 1 ist schematisch das Auftreten des Laserstrahls auf das Werkstück 4 dargestellt. Die Laservorrichtung 1 umfasst dabei ferner eine Leistungsmesseinrichtung 5, welche in die Laservorrichtung 1 integriert ist. Die Leistungsmesseinrichtung 5 ist auf einer Positionsänderungsvorrichtung 6 angeordnet. Die Positionsänderungsvorrichtung 6 ist, wie aus 2 ersichtlich ist, im Wesentlichen eine Grundplatte, welche um eine Schwenkachse S um einen Winkel α von 90° schwenkbar ist. Dies ist in 2 durch den Doppelpfeil A angedeutet. Es sei angemerkt, dass der Schwenkwinkel α selbstverständlich je nach Einsatz bzw. Bauraumvorgaben in der Laservorrichtung 1 frei wählbar ist. In den 1 und 2 ist durch die durchgezogenen Linien der Leistungsmesseinrichtung 5 und der Positionsänderungsvorrichtung 6 die normale Position dargestellt, in welcher keine Leistungsmessung erfolgt. Mit gestrichelten Linien und den Bezugszeichen 5' bzw. 6' sind in den 1 und 2 die Messpositionen der Leistungsmesseinrichtung bzw. der Positionsänderungsvorrichtung im geschwenkten Zustand dargestellt. Wie aus 2 ersichtlich ist, ist die Messposition der Leistungsmesseinrichtung 5 in einem 90°-Winkel verschwenkt zur normalen Position, so dass der Laserstrahl 3 auf die verschwenkte Leistungsmesseinrichtung 5' trifft. Das Bezugszeichen 7 bzw. 7' bezeichnet dabei eine optische Messeinrichtung, welche zur Leistungsmessung des Laserstrahls 3 verwendet wird. Zum Schutz der Leistungsmesseinrichtung 5 ist ferner ein an einer Seite offenes Gehäuse 8 vorgesehen.The laser device 1 is, for example, a machine tool for machining a workpiece 4 with a laser beam 3 , The laser beam 3 is powered by a laser source 2 generated. In 1 is schematically the appearance of the laser beam on the workpiece 4 shown. The laser device 1 further includes a power measuring device 5 which are in the laser device 1 is integrated. The performance measuring device 5 is on a position change device 6 arranged. The position change device 6 is how out 2 it can be seen, essentially a base plate which is pivotable about a pivot axis S by an angle α of 90 °. This is in 2 indicated by the double arrow A. It should be noted that the pivoting angle α of course depending on the application or space requirements in the laser device 1 is freely selectable. In the 1 and 2 is through the solid lines of the power meter 5 and the position changing device 6 represented the normal position in which no power measurement takes place. With dashed lines and the reference numerals 5 ' respectively. 6 ' are in the 1 and 2 the measuring positions of the power measuring device or the position changing device shown in the pivoted state. How out 2 is apparent, is the measuring position of the power measuring device 5 pivoted at a 90 ° angle to the normal position, allowing the laser beam 3 on the tilted power measuring device 5 ' meets. The reference number 7 respectively. 7 ' denotes an optical measuring device which is used to measure the power of the laser beam 3 is used. To protect the power meter 5 is also a housing open on one side 8th intended.

Die Laservorrichtung 1 umfasst ferner eine Steuerungseinheit 9, welche mit der Laserquelle 2 und der Leistungsmesseinrichtung 5 verbunden ist. Die Leistungsmesseinrichtung 5 ist ferner mit einer Kühlwasserversorgung der Laservorrichtung 1 verbunden, was in den Figuren jedoch aus Gründen einer besseren Übersichtlichkeit nicht dargestellt ist.The laser device 1 further comprises a control unit 9 , which with the laser source 2 and the power meter 5 connected is. The performance measuring device 5 is also provided with a cooling water supply to the laser device 1 connected, which is not shown in the figures, however, for reasons of clarity.

Wenn eine Leistung des von der Laserquelle 2 erzeugten Laserstrahls 3 bestimmt werden soll, wird die Positionsänderungsvorrichtung 6 um die Schwenkachse S um einen Winkel α von 90° verschwenkt, so dass die optische Messeinrichtung 7 der Leistungsmesseinrichtung 5 genau im Laserstrahl 3 liegt. Dadurch kann die Leistungsmesseinrichtung 5 die Leistung des Laserstrahls 3 bestimmen. Dieser Wert wird an die Steuerungseinheit 9 weitergeleitet und beispielsweise mit einem gespeicherten Sollwert verglichen. Im Falle von Abweichungen zwischen dem gemessenen Wert und dem Sollwert kann dann eine entsprechende Meldung beispielsweise an einem Display der Maschine o.Ä. erzeugt werden. Ferner kann die Steuerungseinheit 9 auch Parameter der Laserquelle 2 verändern, um die Leistung wieder auf den Sollwert zu bringen bzw. dem Sollwert anzunähern.If a power of the laser source 2 generated laser beam 3 is to be determined, the position changing device 6 pivoted about the pivot axis S by an angle α of 90 °, so that the optical measuring device 7 the power measuring device 5 exactly in the laser beam 3 lies. As a result, the power measuring device 5 the power of the laser beam 3 determine. This value is sent to the control unit 9 forwarded and compared, for example, with a stored setpoint. In the case of deviations between the measured value and the setpoint, a corresponding message, for example, on a display of the machine o.Ä. be generated. Furthermore, the control unit 9 also parameters of the laser source 2 to bring the power back to the setpoint or to approach the setpoint.

Die Leistungsmessung kann dabei beispielsweise abhängig von den Betriebsstunden der Laservorrichtung oder basierend auf vorgegebenen Zeitintervallen durchgeführt werden. Die Leistungsmessung wird dabei vorzugsweise in sowieso vorhandenen Fertigungspausen, z.B. während eines Schichtwechsels oder notwendigen Rüstzeiten der Laservorrichtung durchgeführt.The power measurement can be carried out, for example, depending on the operating hours of the laser device or based on predetermined time intervals. The power measurement is preferably in anyway existing production breaks, eg during a shift change or necessary set-up times of Laservor direction.

Nachfolgend wird unter Bezugnahme auf die 3 und 4 eine Laservorrichtung gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung im Detail beschrieben. Gleiche bzw. funktional gleiche Bauteile sind dabei mit den gleichen Bezugszeichen wie im ersten Ausführungsbeispiel beschrieben.The following is with reference to the 3 and 4 a laser device according to a second embodiment of the invention described in detail. Identical or functionally identical components are described with the same reference numerals as in the first embodiment.

Die Laservorrichtung 1 des zweiten Ausführungsbeispiels entspricht im Wesentlichen der des ersten Ausführungsbeispiels, wobei im Unterschied dazu die Positionsänderungsvorrichtung 6 unterschiedlich ausgebildet ist. An Stelle des im ersten Ausführungsbeispiel durchgeführten Schwenkvorgangs wird beim zweiten Ausführungsbeispiel eine Positionsänderung der Leistungsmesseinrichtung 5 durch eine Linearverschiebung der Leistungsmesseinrichtung 5 erreicht. Genauer ist die Leistungsmesseinrichtung 5 auf einer Grundplatte angeordnet, welche beispielsweise mittels eines Pneumatikzylinders (nicht dargestellt) aus einem schubladenartigen Gehäuse 8 herausschiebbar bzw. wiederhineinverfahrbar ist. Im einfachsten Ausführungsfall kann die Leistungsmesseinrichtung 5 dabei genau zwei Positionen einnehmen, nämlich eine Position im Gehäuse 8 und eine Messposition (in gestrichelten Linien in den 3 und 4 dargestellt), in welcher eine optische Messeinrichtung 7 genau im Laserstrahl 3 liegt. Die Linearverschiebung ist in den 3 und 4 durch den Doppelpfeil B angedeutet.The laser device 1 of the second embodiment substantially corresponds to that of the first embodiment, in contrast to the position changing device 6 is formed differently. Instead of the panning operation performed in the first embodiment, in the second embodiment, a position change of the power measuring device 5 by a linear displacement of the power measuring device 5 reached. More precise is the power measuring device 5 arranged on a base plate, which, for example by means of a pneumatic cylinder (not shown) from a drawer-like housing 8th pushed out or wiederhineinverfahrbar is. In the simplest embodiment, the power measuring device 5 take exactly two positions, namely a position in the housing 8th and a measuring position (in dashed lines in FIGS 3 and 4 shown), in which an optical measuring device 7 exactly in the laser beam 3 lies. The linear shift is in the 3 and 4 indicated by the double arrow B.

Ansonsten entspricht das zweite Ausführungsbeispiel dem ersten Ausführungsbeispiel, so dass auf die dort gegebene Beschreibung verwiesen werden kann.Otherwise corresponds to the second embodiment the first embodiment, so that reference can be made to the description given there.

Betreffend der Verwendung der erfindungsgemäßen Laservorrichtung 1 sei angemerkt, dass diese in allen Arten von laserbasierten Maschinen, insbesondere laserbasierten Werkzeugmaschinen zum Schneiden, Schweißen, Bohren, Formen, Beschriften usw. oder in laserbasierten Messmaschinen verwendet werden kann. Die integrierte Leistungsmesseinrichtung, welche bei Bedarf in den Laserstrahl gebracht werden kann, ist dabei sehr kompakt und kann an beliebiger Stelle in der Maschine angeordnet werden. Dadurch kann ein Einsatz in unterschiedlichsten Maschinentypen gewährleistet werden.Regarding the use of the laser device according to the invention 1 It should be noted that these can be used in all types of laser-based machines, in particular laser-based machine tools for cutting, welding, drilling, molding, labeling, etc., or in laser-based measuring machines. The integrated power measuring device, which can be brought into the laser beam when needed, is very compact and can be placed anywhere in the machine. As a result, use in a wide variety of machine types can be guaranteed.

Claims (8)

Laservorrichtung mit einer Laserquelle (2) zur Erzeugung eines Laserstrahls (3); umfassend eine Leistungsmesseinrichtung (5) zur Messung einer Leistung des Laserstrahls (3) und eine Positionsänderungsvorrichtung (6), um eine Position der Leistungsmesseinrichtung (5) derart zu ändern, dass die Leistungsmesseinrichtung (5) in dem Laserstrahl (3) angeordnet ist, um die Leistung des Laserstrahls zu messen.Laser device with a laser source ( 2 ) for generating a laser beam ( 3 ); comprising a power measuring device ( 5 ) for measuring a power of the laser beam ( 3 ) and a position changing device ( 6 ) to a position of the power measuring device ( 5 ) such that the power measuring device ( 5 ) in the laser beam ( 3 ) is arranged to measure the power of the laser beam. Laservorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Positionsänderungsvorrichtung (6) eine Schwenkeinrichtung umfasst, um die Leistungsmesseinrichtung (5) um eine Schwenkachse (S) in den Laserstrahl (3) zu schwenken.Laser device according to claim 1, characterized in that the position changing device ( 6 ) comprises a pivoting device to connect the power measuring device ( 5 ) about a pivot axis (S) in the laser beam ( 3 ) to swing. Laservorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Positionsänderungsvorrichtung (6) eine Linearverschiebungseinrichtung umfasst, um die Leistungsmesseinrichtung (5) linear in den Laserstrahl (3) zu verschieben.Laser device according to claim 1, characterized in that the position changing device ( 6 ) comprises a linear displacement device in order to connect the power measuring device ( 5 ) linearly into the laser beam ( 3 ) to move. Laservorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Positionsänderungsvorrichtung (6) einen Pneumatikzylinder oder einen Hydraulikzylinder zur Bewegung der Leistungsmesseinrichtung (5) umfasst.Laser device according to one of the preceding claims, characterized in that the position changing device ( 6 ) a pneumatic cylinder or a hydraulic cylinder for moving the power measuring device ( 5 ). Laservorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Leistungsmesseinrichtung (5) mit einer Steuerungseinheit (9) der Laservorrichtung verbunden ist.Laser device according to one of the preceding claims, characterized in that the power measuring device ( 5 ) with a control unit ( 9 ) of the laser device is connected. Laservorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerungseinheit (9) eine periodische Messung der Leistung des Laserstrahls (3), basierend auf Betriebsstunden der Laservorrichtung und/oder basierend auf vorbestimmten Zeitintervallen, durchführt.Laser device according to claim 5, characterized in that the control unit ( 9 ) a periodic measurement of the power of the laser beam ( 3 ), based on operating hours of the laser device and / or based on predetermined time intervals performed. Laservorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Leistungsmesseinrichtung (5) mit einer Kühlwasserversorgung der Laservorrichtung verbunden ist.Laser device according to one of the preceding claims, characterized in that the Leistungsmesseinrichtun g ( 5 ) is connected to a cooling water supply of the laser device. Laservorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch ein Gehäuse (8) zur Aufnahme der Leistungsmesseinrichtung (5).Laser device according to one of the preceding claims, characterized by a housing ( 8th ) for receiving the power measuring device ( 5 ).
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