DE102006033497A1

DE102006033497A1 - Strahlungsdetektor für Röntgen- oder Gammastrahlen und Verfahren zu seiner Herstellung

Info

Publication number: DE102006033497A1
Application number: DE102006033497A
Authority: DE
Inventors: Peter Dr. Hackenschmied; Björn Dr. Heismann; Wilhelm Metzger; Khanh Pham Dr. Gia; Martin Schäfer; Berit Dr. Wessler; Stefan Dr. Wirth
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens Healthcare GmbH
Priority date: 2006-07-19
Filing date: 2006-07-19
Publication date: 2008-01-31
Anticipated expiration: 2026-07-20
Also published as: DE102006033497B4

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Strahlungsdetektor (1) für Röntgen- und Gammastrahlung, mit einem aus einer Vielzahl von durch Trennwände (7) voneinander separierten Szintillatoren (6) gebildeten Szintillatorarray (2) sowie einem auf dessen Bestrahlungsseite angeordneten Kollimatorgitter (3), dessen Gitterwände (4) strahlungsabsorbierende Partikel enthalten. Die Erfindung betrifft des weiteren ein Verfahren zur Herstellung eines Strahlungsdetektors (1) für Röntgen- oder Gammastrahlung, welcher ein aus einer Vielzahl von durch Trennwände (7) voneinander separierte Szintillatoren (6) gebildetes Szintillatorarray (2) sowie ein auf dessen Bestrahlungsseite angeordnetes, eine Vielzahl von Zellen (5) aufweisendes Kollimatorgitter (3) umfasst, wobei das Kollimatorgitter (3) durch Aushärtung einer fließfähigen, strahlungsabsorbierende Partikel enthaltenden Masse erzeugt wird.

Description

Die Erfindung betrifft einen Strahlungsdetektor für Röntgen- oder Gammastrahlen sowie ein Verfahren zu seiner Herstellung. Ein Strahlungsdetektor wird beispielsweise in der Computertomographie eingesetzt und umfasst ein eine Vielzahl von Szintillatoren aufweisendes Detektorarray. Ein Szintillator wiederum besteht aus einem Szintillatormaterial, das die Gamma- oder Röntgenstrahlung absorbiert und in sichtbares Licht umwandelt. Im Folgenden wird aus Vereinfachungsgründen nur auf Röntgenstrahlung Bezug genommen. Als Szintillatormaterialien kommen beispielsweise mit Aktivatoren dotierte Materialen wie Gd₂O₂S:Pr oder CsI:Tl in Frage. Zur Umwandlung des von den Szintillatoren emittierten Lichts ist unterhalb des Detektorarrays bzw. auf dessen der einfallenden Strahlung abgewandten Seite ein Photodioden-Array angeordnet. Dessen Pixelgröße entspricht der Pixelgröße des Detektorarrays, die beispielsweise im Bereich von 1 mm × 1 mm liegt.
Bei heutigen Computertomographen, einem wichtigen Anwendungsfeld der in Rede stehenden Strahlungsdetektoren, sind die Szintillatoren in Form von zweidimensionalen Arrays angeordnet, deren Planebene sich im Montagezustand quer zur einfallenden Strahlung erstreckt. Um eine hohe Bildauflösung zu gewährleisten ist es erforderlich, eine laterale Lichtausbreitung im Detektorarray zu unterdrücken und damit eine gute Trennung der Lichtsignale der einzelnen Szintillatoren zu erreichen. Diese werden daher mit Hilfe von reflektierenden Trennwänden, voneinander getrennt. Das Material der Trennwände soll eine hohe Reflektivität und ein geringes Absorptions- und Transmissionsvermögen für das Szintillationslicht aufweisen, um eine hohe Lichtausbeute und ein geringes Übersprechen der Lichtsignale zu benachbarten Szintillatoren zu gewährleisten. Die Trennwände, die üblicherweise eine Breite von 50 μm bis 500 μm aufweisen, bestehen meist aus einer Bindemit telmatrix, der ein pulverförmiges Material mit hohem Brechungsindex, beispielsweise TiO₂-Partikel beigemengt ist.
Ein weiterer wesentlicher Bestandteil eines Strahlungsdetektors ist ein auf dessen bestrahlter Seite angeordnetes Kollimatorgitter, das aus einem einfallenden Strahlungskegel ein paralleles Strahlenbündel erzeugt. Die Wände des Gitters sind in einem Raster angeordnet, das dem Raster der Trennwände des Szintillatorarrays entspricht. Kollimatorgitter werden üblicherweise aus relativ teuren Wolframblechen hergestellt, die in aufwändiger Weise gewalzt, zugeschnitten und zu einem Gitter zusammengefügt werden. Aufwändig ist auch die exakt fluchtende Ausrichtung des Kollimatorgitters zum Trennwandgitter des Szintillatorarrays. Aus US 6,784,432 B2 ist ein Röntgenstrahlen-Detektor bekannt, bei dem eine Positionierung des Kollimatorgitters auf dem Detektorarray nicht erforderlich ist. Dies wird dadurch erreicht, dass in ein aus Wolframblechen gefertigtes Kollimatorgitter eine zu den späteren Szintillatoren aushärtende Vergussmasse eingegossen wird, die Partikel aus einem Szintillatormaterial enthält. Nachteilig dabei ist aber, dass die Vergussmasse einen geringeren Volumenfüllgrad an aktivem Szintillatormaterial aufweist, als die herkömmlichen kristallinen Szintillatoren. Zum Erreichen einer bestimmten DQE (Detective Quantum Efficiency) des Strahlungsdetektors ist daher im Vergleich zu festem bzw. kristallinem Szintillatormaterial größere Schichtdicken erforderlich. Außerdem sind letztere Materialien den erwähnten Vergussmassen insbesondere in puncto Lichteffizienz und Nachleuchten überlegen.
Davon ausgehend ist es die Aufgabe der Erfindung, einen alternativ gestalteten Strahlungsdetektor vorzuschlagen, der insbesondere auf einfache und kostengünstige Weise hergestellt werden kann und die Verwendung kristalliner bzw. fester Szintillatoren ermöglicht. Eine weitere Aufgabe ist es, ein Herstellungsverfahren für einen Strahlungsdetektor vorzuschlagen.
Die erstgenannte Aufgabe wird durch einen Strahlungsdetektor nach Anspruch 1, die letztgenannte Aufgabe durch ein Verfahren nach Anspruch 9 gelöst.
Bei einem erfindungsgemäßen Strahlungsdetektor wird die strahlungsabsorbierende Wirkung des Kollimators durch eine Vielzahl diskreter aus einem strahlungsabsorbierenden Material bestehender oder ein solches Material enthaltender Partikel hervorgerufen, woraus sich neue Herstellungs- und Gestaltungsalternativen ergeben. Die Partikel können beispielsweise mit einer zunächst fließfähigen und später erhärteten Masse eingebettet sein, aus der das Kollimatorgitter beispielsweise mit Hilfe eines Gießverfahrens gebildet ist. Mit einer entsprechend hergestellten Gussform können eine Vielzahl von Kollimatorgittern auf relativ einfache, kostengünstige und sich für eine Serienproduktion eignenden Weise hergestellt werden. Daneben ergeben sich noch andere, weiter unten näher erläuterte Herstellungsvarianten.
Bei einer bevorzugten Ausgestaltung enthalten die Gitterwände und die Trennwände die gleichen Partikel, wobei die Partikel im Bereich der Szintillator-Emission einen Reflexionskoeffizienten aufweisen, der größer als 70% ist. Durch diese Ausgestaltung können Trennwände und Gitterwände aus dem gleichen Material bestehen, es kann also ein einheitliches Gitter hergestellt werden, dessen einer Teil das Kollimatorgitter und dessen anderer Teil die Trennwände bildet. Ermöglicht wird diese Ausgestaltung durch den Einsatz von Partikeln mit einer Doppelfunktion, nämlich solchen, die einerseits eine für die Zwecke eines Kollimatorgitters ausreichende Strahlungsabsorption gewährleisten und andererseits im Bereich der Szintillator-Emission einen Reflektionskoeffizienten aufweisen, der größer als 70% ist. Vorteilhaft ist weiterhin, dass aufgrund der Partikelgleichheit für Trennwände und Gitterwände das gleiche Material verwendet und dementsprechend das einheitliche Gitter mit ein und demselben Verfahren hergestellt werden kann.
Denkbar ist aber auch, wie bei einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung vorgesehen, dass Trennwände und Gitterwände unterschiedliche Partikel enthalten und somit unabhängig voneinander den jeweiligen Anforderungen angepasst werden können. So können etwa die Trennwände ausschließlich oder zusätzlich Partikel enthalten, die im Bereich der Szintillator-Emission einen Reflektionskoeffizienten aufweisen, der größer ist als jener der strahlungsabsorbierenden Partikel des Kollimatorgitters. Beispielsweise können in den Trennwänden TiO₂-Partikel enthalten sein.
Ein Material mit der genannten Doppelfunktion sind Oxide der Metalle der 5. oder 6. Periode des Periodensystems (PSE), insbesondere der Übergangsmetalle dieser Perioden, wobei sich Ta₂O₅, HfO₂, Gd₂O₃, Nb₂O₅, ZrO₂ und Y₂O₃ sowie Mischungen dieser Oxide besonders eignen. Diese Oxide besitzen ein Absorptionsvermögen für Röntgenstrahlung von mindestens etwa 40 % und im Wellenlängenbereich des Emissionslichts eine Reflexion von mindestens 70 %.
Bei einer bevorzugten Ausführungsvariante bestehen Trenn- und/oder Gitterwände aus einer die in Rede stehenden Partikel enthaltenden Matrix, die durch Aushärtung einer fließfähigen Ausgangsmasse gebildet ist. Als härtbare Masse kommt vorzugsweise eine strahlungshärtbare Kunststoffmasse, insbesondere ein UV-härtbares Epoxidharz in Frage. Aus einer solchen Masse lassen sich beispielsweise mit einem Stereolithographieverfahren exakte Gitterstrukturen herstellen. Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsvariante sind Trenn- und/oder Gitterwände aus gesinterten Partikeln gebildet.
Bei einem erfindungsgemäßen Verfahren wird, wie weiter oben schon erwähnt, das Kollimatorgitter durch Aushärtung einer fließfähigen, strahlungsabsorbierende Partikel enthaltenden Masse erzeugt. Dabei kann die Formgebung des Gitters auf unterschiedliche Weise erfolgen, beispielsweise indem die fließfähige Masse in eine Form gegossen wird. Bei einer anderen bevorzugten Verfahrensvariante wird das Kollimatorgitter durch ein Stereolithographieverfahren erzeugt. Bei Verwendung geeigneter Massen, vor allem Kunststoffmassen bzw. organischen Bindern, ist es möglich, die Kunststoffmasse bzw. den Binder etwa durch eine thermische Behandlung zu entfernen und das Gitter anschließend zu sintern, um einen Zusammenhalt der Partikel zu erreichen.
Unabhängig davon, auf welche Weise das Kollimatorgitter hergestellt wird, ergeben sich unterschiedliche Verfahrensvarianten. So kann zunächst ein einheitliches Gitter hergestellt werden, in dessen Zellen Szintillatorelemente eingebracht werden. Dies erfolgt beispielsweise dadurch, dass in die Zellen eine aushärtbare, strahlungsabsorbierende Partikel enthaltende Masse eingegossen wird. Bei einer bevorzugten Variante werden jedoch aus Szintillatormaterial bestehende Formkörper in die Zellen eingesetzt. Vorteil dabei ist, dass übliche kristalline Szintillatoren verwendet werden können, die gegenüber den erstgenannten, Partikel enthaltenden Massen oft bessere Eigenschaften, etwa beim Nachleuchten und der Lichteffizienz, aufweisen.
Bei einer weiteren bevorzugten Verfahrensvariante wird zunächst ein Szintillatorarray hergestellt und dann auf diesem das Kollimatorgitter aufgebaut, wobei das Szintillatorgitter entweder noch keine oder bereits Trennwände enthält. Vorteil dabei ist, dass das Szintillatorarray nicht aus einzelnen Szintillatoren zusammengesetzt werden muss, sondern in kostengünstiger Weise aus einer Szintillatorkeramikscheibe hergestellt werden kann, wie später noch erläutert wird. Bei einem Szintillatorarray ohne Trennwände werden diese aus dem gleichen Material gefertigt wie die Gitterwände. Im anderen Fall können Trennwände und Gitterwände aus unterschiedlichen, jeweils den speziellen Anforderungen angepassten Materialien gefertigt werden.
Die Erfindung wird nun unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
1 einen Ausschnitt aus einem Strahlungsdetektor in perspektivischer Darstellung,
2 bis 4, jeweils in schematischer Darstellung, verschiedene Verfahrensvarianten.
1 zeigt einen Strahlungsdetektor 1, der ein Szintillatorarray 2, ein Kollimatorgitter 3 und an der dem Kollimatorgitter 3 abgewandten Seite des Szintillatorarrays ein (aus Vereinfachungsgründen weggelassenes) Fotodioden-Array umfasst. Das Kollimatorgitter ist aus stegartigen Gitterwänden 4 gebildet, die rechteckige, beispielsweise quadratische Zellen 5 umgrenzen. Die Gitterwände 4 verlaufen parallel bzw. senkrecht zueinander und weisen eine Dicke von etwa 50 μm bis 500 μm auf. Das Szintillatorarray 2 ist aus einer Vielzahl von einzelnen Szintillatoren 6 gebildet, welche lateral von Trennwänden 7 voneinander separiert sind. Die Trennwände 7 sind dadurch gebildet, dass die dem Szintillatorarray 2 zugewandten Abschnitte des Kollimatorgitters 3 sich in Spalte 8 hineinerstrecken, welche die Szintillatoren 6 voneinander trennen. Die dem Kollimatorgitter 3 bzw. einer einfallenden Strahlung zugewandte Seite 9 der Szintillatoren ist mit einer Reflexionsschicht versehen, die beispielsweise aus einem mit Titanoxid-Partikeln gefüllten Epoxidharz besteht. Gegebenenfalls sind die Szintillatoren 6 mit Hilfe einer Klebeschicht 12 im Kollimatorgitter 3 fixiert.
Die Szintillatoren 6 bestehen beispielsweise aus einem Metalloxydsulfid der allgemeinen Summenformel (M1-xLnx)₂O₂S, das mit Seltenerden-Elementen (Ln) dotiert ist. Die einfallende Röntgenstrahlung wird von diesem Material in sichtbares Licht umgewandelt. Dieses Emissionslicht wird mit dem Fotodioden-Array (nicht dargestellt) registriert und in elektrische Signale umgewandelt. Damit das Emissionslicht eines Szintillators 6 nicht auf einen benachbarten Szintillator einwirken kann, müssen die in das Szintillatorarray 2 hineinragenden Abschnitte des Kollimatorgitters 3 bzw. die Trennwände 7 ein möglichst hohes Reflexionsvermögen für das Emissionslicht aufweisen. Das Kollimatorgitter 3 dagegen soll ein möglichst hohes Absorbtionsvermögen für Röntgenstrahlung aufweisen, damit es seine Funktion, ein auf den Strahlungsdetektor 1 auftreffendes Strahlungsbündel zu parallelisieren, erfüllen kann. Das Kollimatorgitter 3 enthält Partikel aus Oxiden von Metallen der 5. und 6. Periode des Periodensytem (PSE), insbesondere Übergangsmetallen dieser Perioden, wobei Ta₂O₅, HfO₂, Gd₂O₃, Nb₂O₅, ZrO₂ und Y₂O₃ bevorzugt sind. Derartige Partikel weisen einen Absorbtionsgrad für Röntgenstrahlung von mindestens 70% und eine Reflexion von wenigstens etwa 40% auf. Die genannten Werte werden dabei bereits bei Füllgraden von etwa 25 Vol.-% erreicht. Die mittlere Partikelgröße liegt etwa zwischen 0,05 μm und 100 μm. Die an sich sehr unterschiedlichen Funktionen, welche die Trennwände 7 einerseits und das Kollimatorgitter 3 bei einem Strahlungsdetektor 1 zu erfüllen haben, werden somit durch eine einheitliche Gitterstruktur erfüllt.
Der Zusammenhalt der röntgenabsorbierenden Partikel wird dadurch erreicht, dass die Partikel in einer Matrix aus einer härtbaren Kunststoffmasse eingebettet sind. Es kann sich dabei etwa um ein Zweikomponentengießharz oder um ein strahlungshärtbares, insbesondere ein UV-härtbares Harz, etwa ein Epoxidharz handeln. Denkbar ist jedoch auch, dass das Kollimatorgitter 3 und gegebenenfalls auch die Trennwände 7 im Wesentlichen bindemittelfrei sind. Dazu kann zunächst eine Gitterstruktur hergestellt werden, bei der die Partikel von einem organischen Bindemittel zusammengehalten sind, wobei dieses beispielsweise durch eine thermische Behandlung entfernt und anschließend die Gitterstruktur durch eine Sinterung mechanisch stabilisiert wird.
Zur Herstellung des in 1 gezeigten Strahlungsdetektors 1 wird, wie schematisch in 2 angedeutet ist, zunächst beispielsweise auf einem Träger 13 ein Kollimatorgitter 3 etwa mit Hilfe eines Großverfahrens erzeugt. Dabei wird eine aus einer Vielzahl von Formkernen (nicht dargestellt) gebildete Gießform verwendet, wobei die Formkerne die späteren Zellen 5 des Kollimatorgitters 3 freihalten. Die Formkerne sind lateral durch Zwischenräume voneinander beabstandet, in die ein mit röntgenabsorbierenden Partikel gefülltes Gießharz eingegossen und ausgehärtet wird. Bei dem Gießharz kann es sich beispielsweise um ein thermisch oder strahlungshärtbares oder auch um ein Zweikomponenten-Gießharz handeln. Das Kollimatorgitter 3 kann aber auch durch ein Stereolithographieverfahren hergestellt werden. Bei diesem Verfahren wird zum Aufbau des Kollimatorgitters 3 auf einem Träger 13 letzterer in ein Bad einer UV-härtbaren Kunststoffmasse eingetaucht und die sich zwischen der Oberfläche des Trägers und der Oberfläche des Bades befindliche Schicht der Kunststoffmasse mit Hilfe eines UV-Lasers im gewünschten Raster des Kollimatorgitters erhärtet. Nachdem die erwähnte Schicht vollständig ausgehärtet ist, wird der Träger um eine weitere Schichtdicke in das Bad abgesenkt und eine erneute Härtung im Rastermaß des späteren Kollimatorgitters durchgeführt. Diese Vorgänge werden so oft wiederholt, bis das Kollimatorgitter 3 in vollständiger Höhe, üblicherweise etwa 2 cm, fertig gestellt ist. Anschließend wird das Gitter aus dem Bad genommen, von anhaftender Kunststoffmasse etwa durch eine Spülung mit einem geeigneten Lösungsmittel gereinigt und der Träger entfernt.
In das auf eine der genannten Arten hergestellte Kollimatorgitter 3 werden vorgefertigte Formkörper 14, welche die späteren Szintillatoren 6 bilden und gegebenenfalls bereits eine beispielsweise aus einem Epoxidharz und T_iO₂-Partikeln bestehende Reflexionsschicht 10 aufweisen, in die Zellen 5 des Kollimatorgitters 3 eingesetzt und gegebenenfalls mit einer Klebeschicht 12 fixiert. Eine andere Möglichkeit besteht darin, eine aushärtbare fließfähige Masse in die Zellen 5 einzugießen, welche mit Partikeln aus Szintillatormaterial gefüllt ist.
Der in 1 gezeigte Strahlungsdetektor kann auch, wie in 3 angedeutet ist, hergestellt werden, indem das Kollimatorgitter 3 gleich auf einem Szintillatorarray 2 aufgebaut wird, wobei dieses noch keine Trennwände zwischen den Szin tillatoren 6 aufweist. Zur Herstellung des Szintillatorarrays 2 wird eine Szintillatorkeramikscheibe (nicht gezeigt) von ausgewählter Dicke auf dem Träger 13 fixiert und auf ihrer dem Träger 13 abgewandten Seite 9 mit einer durchgehenden Reflexionsschicht (beispielsweise mit Titanoxidpartikeln gefülltem Epoxydharz) versehen. Anschließend wird die Szintillatorkeramikscheibe durch Sägen strukturiert und dabei auch die Reflexionsschicht entsprechend strukturiert. Die durch die genannte Strukturierung in der Szintillatorkeramikscheibe entstehenden Sägefugen bzw. Spalte 8 werden im Gieß- oder Stereolithographie-Verfahren gefüllt und mit dem gleichen Verfahren die Gitterwände 4 des Kollimatorgitters 3 aufgebaut. Dabei kommt ein einheitliches, Partikel der weiter oben schon beschriebenen röntgenabsorbierenden Materialien zum Einsatz. Nach Fertigstellung des Kollimatorgitters 3 wird der Träger 13 entfernt. Zum Aufbau des Kollimatorgitters 2 können beispielsweise ebenfalls die oben beschriebenen Verfahren verwendet werden. Die in 4 angedeutete Verfahrensvariante unterscheidet sich von jeder gem. 3 dadurch, dass das Szintillatorarray 2, auf dem das Kollimatorgitter 3 aufgebaut werden soll, bereits Trennwände 7 aufweist. Diese Verfahrensvariante gestattet es, Kollimatorgitter 3 einerseits und Trennwände 7 andererseits aus unterschiedlichen Materialien zu fertigen.

Claims

Strahlungsdetektor (1) für Röntgen- und Gammastrahlung, mit einem aus einer Vielzahl von durch Trennwände (7) voneinander separierten Szintillatoren (6) gebildeten Szintillatorarray (2) sowie einem auf dessen Bestrahlungsseite angeordneten Kollimatorgitter (3), dessen Gitterwände (4) strahlungsabsorbierende Partikel enthalten.
Strahlungsdetektor nach Anspruch 1, bei dem die Trennwände (7) und die Gitterwände (4) die gleichen Partikel enthalten, wobei die Partikel im Bereich der Szintillator-Emission einen Reflexionskoeffizienten aufweisen, der größer als 70 % ist.
Strahlungsdetektor nach Anspruch 1, bei dem die Trennwände (7) andere Partikel enthalten als die Gitterwände (4).
Strahlungsdetektor nach Anspruch 3, bei dem die Trennwände (7) TiO₂-Partikel enthalten.
Strahlungsdetektor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die strahlungsabsorbierenden Partikel zumindest ein Oxid eines Metalls, insbesondere Übergangsmetalls der 5. oder 6. Periode des PSE enthalten.
Strahlungsdetektor nach Anspruch 5, bei dem das Oxid ein Oxid aus der Gruppe Ta₂O₅, HfO₂, Gd₂O₃, Nb₂O₅, ZrO₂ und Y₂O₃ ist.
Strahlungsdetektor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die Partikel in einer Matrix eingebettet sind, die durch Aushärtung einer fließfähigen Ausgangsmasse gebildet ist.
Strahlungsdetektor nach Anspruch 7, bei dem die Matrix eine UV-gehärtete Kunststoffmasse ist.
Strahlungsdetektor nach Anspruch 8, bei dem die Matrix aus einem durch UV-Bestrahlung ausgehärteten Epoxidharz gebildet ist.
Strahlungsdetektor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei dem die Trennwände aus gesinterten Partikeln gebildet sind.
Verfahren zur Herstellung eines Strahlungsdetektors (1) für Röntgen- oder Gammastrahlung, welcher ein aus einer Vielzahl von durch Trennwände (7) voneinander separierten Szintillatoren (6) gebildetes Szintillatorarray (2) sowie ein aus dessen Bestrahlungsseite hervorstehendes, eine Vielzahl von Zellen (5) aufweisendes Kollimatorgitter (3) umfasst, wobei das Kollimatorgitter (3) durch Aushärtung einer fließfähigen, strahlungsabsorbierende Partikel enthaltenden Masse erzeugt wird.
Verfahren nach Anspruch 11, bei dem die ausgehärtete Masse aus dem Kollimatorgitter entfernt und anschließend das Kollimatorgitter gesintert wird.
Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, bei dem zunächst das Kollimatorgitter (3) hergestellt und anschließend zur Bildung des Szintillatorarrays (2) in die Zellen (5) ein Szintillatormaterial eingebracht wird.
Verfahren nach Anspruch 13, bei dem in die Zellen (5) ein aus Szintillatormaterial bestehender Formkörper eingesetzt wird.
Verfahren nach Anspruch 13, bei dem in die Zellen (5) eine aus einem Szintillatormaterial bestehende Partikel enthaltende aushärtbare Masse eingegossen wird.
Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, bei dem zunächst ein Szintillatorarray (2) hergestellt und dann auf diesem das Kollimatorgitter (3) aufgebaut wird.
Verfahren nach Anspruch 16, bei dem ein Szintillatorarray verwendet wird, das noch keine Trennwände (7) enthält.
Verfahren nach Anspruch 16, bei dem ein Szintillatorarray verwendet wird, das bereits Trennwände (7) enthält.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem das Kollimatorgitter (3) mit Hilfe der Stereolithographie hergestellt wird.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem das Kollimatorgitter (3) durch ein Gießverfahren hergestellt wird.