DE102006019908A1 - Integrated semiconductor memory e.g. dynamic RAM, has comparator unit comprising input terminals connected with output terminals of memory units, where stored data are readable from memory units depending on state of comparative signal - Google Patents

Integrated semiconductor memory e.g. dynamic RAM, has comparator unit comprising input terminals connected with output terminals of memory units, where stored data are readable from memory units depending on state of comparative signal Download PDF

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Abstract

The memory has memory units (10a-10h, 20) for storing corresponding data with states and comprising output terminals (A10a-A10h, A20) for producing stored data. A comparator unit (40) has input terminals (EV1a-EV1h, EV2) for supplying respective data, and an output terminal (A40) for producing a comparative signal. Each input terminal (EV1a-EV1h) of the comparator unit is connected with the output terminals (A10a-A10h), and the stored data are readable from the memory units depending on a state of the comparative signal.

Description

Die Erfindung betrifft einen integrierten Halbleiterspeicher, bei dem ein Programmierzustand mittels eines programmierbaren Elements programmierbar ist.The The invention relates to an integrated semiconductor memory in which a programming state programmable by means of a programmable element is.

1 zeigt einen integrierten Halbleiterspeicher 1000 mit einem Speicherzellenfeld 100, in dem Speicherzellen SZ entlang von Wortleitungen WL und Bitleitungen BL angeordnet sind. Im Falle eines DRAM (Dynamic Random Access Memory)-Halbleiterspeichers umfasst eine Speicherzelle SZ einen Auswahltransistor AT und einen Speicherkondensator SC. Des Weiteren umfasst der integrierte Halbleiterspeicher eine Steuerschaltung 500 mit einem Steueranschluss S500 zum Anlegen von Kommandosignalen zur Steuerung eines Lese- oder Schreibzugriffs auf eine Speicherzelle des Speicherzellenfeldes 100. Ein Adressanschluss A400 zum Anlegen eines Adresssignals ADS, das eine Wortleitungsadresse WLA und eine Bitleitungsadresse BLA enthält, ist mit einem Adressregister 400 verbunden. In dem Adressregister 400 wird die an den Adressanschluss A400 angelegte Adresse zwischengespeichert. Das Adressregister 400 ist mit einem Zeilendecoder 300 zur Auswahl einer Wortleitung verbunden. Des Weiteren ist an das Adressregister 400 ein Spaltendecoder 200 zur Auswahl einer Bitleitung angeschlossen. 1 shows an integrated semiconductor memory 1000 with a memory cell array 100 in which memory cells SZ are arranged along word lines WL and bit lines BL. In the case of a DRAM (Dynamic Random Access Memory) semiconductor memory, a memory cell SZ comprises a selection transistor AT and a storage capacitor SC. Furthermore, the integrated semiconductor memory comprises a control circuit 500 with a control terminal S500 for applying command signals for controlling a read or write access to a memory cell of the memory cell array 100 , An address terminal A400 for applying an address signal ADS including a word line address WLA and a bit line address BLA is provided with an address register 400 connected. In the address register 400 the address applied to the address port A400 is latched. The address register 400 is with a row decoder 300 connected to select a word line. Furthermore, to the address register 400 a column decoder 200 connected to the selection of a bit line.

Bei einem Lesezugriff auf eine Speicherzelle des integrierten Halbleiterspeichers wird an den Steueranschluss 5500 ein Lesekommando RD angelegt. Des Weiteren wird an den Adressanschluss A400 ein Adresssignal ADS angelegt. Das Adresssignal ADS wird in dem Adressregister 400 zwischengespeichert. Eine Wortleitungsadresse WLA der Adresse ADS wird dem Zeilendecoder 300 zugeführt. In Abhängigkeit von der Wortleitungsadresse WLA wählt der Zeilendecoder eine der Wortleitungen WL des Speicherzellenfeldes 100 für den Lesezugriff aus. Die Steuerschaltung 500 steuert die ausgewählte Wortleitung mit einem hohen Potenzial an, so dass die Auswahltransistoren entlang der ausgewählten Wortleitung leitend gesteuert werden. Die Bitleitungsadresse BLA der Adresse ADS wird dem Spaltendecoder 200 zugeführt, der entsprechend der Bitleitungsadresse eine der Bitleitungen des Speicherzellenfeldes 100 für den Lesezugriff auswählt. Somit ist die am Kreuzungspunkt der ausgewählten Wort- und Bitleitung angeordnete Speicherzelle für den Leezugriff ausgewählt. In Abhängigkeit von der in dem Speicherkondensator SC der ausgewählten Speicherzelle gespeicherten Ladung stellt sich auf der Bitleitung BL eine Potenzialänderung ein, die von einem in 1 nicht dargestellten Leseverstärker verstärkt und als Datum D einem Datenanschluss D100 zugeführt wird.In a read access to a memory cell of the integrated semiconductor memory is connected to the control terminal 5500 a read command RD created. Furthermore, an address signal ADS is applied to the address terminal A400. The address signal ADS is in the address register 400 cached. A word line address WLA of the address ADS is sent to the row decoder 300 fed. Depending on the word line address WLA, the row decoder selects one of the word lines WL of the memory cell array 100 for read access. The control circuit 500 drives the selected word line to a high potential so that the selection transistors along the selected word line are conductively controlled. The bit line address BLA of the address ADS becomes the column decoder 200 supplied corresponding to the bit line address of one of the bit lines of the memory cell array 100 selects for read access. Thus, the Lee access memory cell located at the intersection of the selected word and bit lines is selected. Depending on the charge stored in the storage capacitor SC of the selected memory cell, a potential change occurs on the bit line BL, which changes from an in 1 amplifier, not shown, amplified and supplied as data D a data terminal D100.

Die Zeilen- und Spaltendecoder 300 und 200 umfassen Speichereinheiten SE1 und SE2, in denen Adressen von fehlerhaften Wort- und Bitleitungen abgespeichert sind. Wenn an den Adressanschluss A400 eine Wortleitungsadresse WLA einer fehlerhaften Wortleitung beziehungsweise eine Bitleitungsadresse BLA einer fehlerhaften Bitleitung angelegt wird, vergleicht der Zeilendecoder beziehungsweise der Spaltendecoder zunächst die angelegte Wortleitungs- beziehungsweise Bitleitungsadresse mit den in den Speichereinheiten SE1 und SE2 gespeicherten Wortleitungs- und Bitleitungsadressen fehlerhafter Wort- und Bitleitungen. Wenn eine fehlerhafte Wort- oder Bitleitung ausgewählt ist, wählt der Zeilen- beziehungsweise der Spaltendecoder in dem Speicherzellenfeld 100 eine redundante Wortleitung WLr beziehungsweise eine redundante Bitleitung BLr aus. Anstelle eines Zugriffs auf die Speicherzelle SZ, die entlang einer fehlerhaften Wort- oder Bitleitung angeordnet ist, erfolgt in diesem Falle ein Zugriff auf eine redundante Speicherzelle SZr, die an die redundante Wortleitung WLr beziehungsweise an die redundante Bitleitung BLr angeschlossen ist.The row and column decoders 300 and 200 include memory units SE1 and SE2 in which addresses of erroneous word and bit lines are stored. When a word line address WLA of a defective word line or a bit line address BLA of a defective bit line is applied to the address terminal A400, the row decoder first compares the applied word line or bit line address with the word line and bit line addresses of erroneous word lines stored in the memory units SE1 and SE2. and bitlines. If a faulty word or bit line is selected, the row decoder selects in the memory cell array 100 a redundant word line WLr or a redundant bit line BLr. Instead of accessing the memory cell SZ, which is arranged along a faulty word or bit line, access is made in this case to a redundant memory cell SZr which is connected to the redundant word line WLr or to the redundant bit line BLr.

2A zeigt eine der Speichereinheiten SE1 beziehungsweise SE2, die in der Schaltung des Zeilendecoders 300 beziehungsweise des Spaltendecoders 200 integriert sind. Die Speichereinheit umfasst eine Programmierschaltung P mit einem programmierbaren Element E, wobei die Programmierschaltung P mit einer Speicherschaltung ST verbunden ist. Die Speicherschaltung ST ist als ein Latch ausgeführt und umfasst zwei in Reihe geschaltete Inverter INV1 und INV2, wobei ein Ausgangsanschluss des Inverters INV2 über eine Rückkopplung auf einen Eingangsanschluss des Inverters INV1 rückgekoppelt ist. 2A shows one of the memory units SE1 and SE2, respectively, in the circuit of the row decoder 300 or the column decoder 200 are integrated. The memory unit comprises a programming circuit P with a programmable element E, wherein the programming circuit P is connected to a memory circuit ST. The memory circuit ST is implemented as a latch and comprises two series-connected inverters INV1 and INV2, wherein an output terminal of the inverter INV2 is fed back via feedback to an input terminal of the inverter INV1.

2B zeigt eine Schaltungsanordnung der Programmierschaltung P. Ein Transistor T1 mit einem Steueranschluss zum Anlegen eines Steuersignals PCH ist zwischen einen Versorgungsspannungsanschluss zum Anlegen einer Versorgungsspannung VDD und einen Knoten K, der mit der Speicherschaltung ST verbunden ist, geschaltet. Eine Reihenschaltung aus einem weiteren Transistor T2, der von einem Steuersignal SET angesteuert wird, und dem programmierbaren Element E ist zwischen den Knoten K und einen Bezugsspannungsanschluss VSS geschaltet. 2 B shows a circuit arrangement of the programming circuit P. A transistor T1 having a control terminal for applying a control signal PCH is connected between a supply voltage terminal for applying a supply voltage VDD and a node K connected to the storage circuit ST. A series connection of a further transistor T2, which is controlled by a control signal SET, and the programmable element E is connected between the node K and a reference voltage terminal VSS.

Zum Auslesen des Programmierzustands des programmierbaren Elements E, das beispielsweise als eine Schmelzsicherung ausgebildet ist, wird zunächst der Transistor T1 durch das Steuersignal PCH leitend gesteuert und der Transistor T2 durch das Steuersignal SET gesperrt gesteuert. Während einer derartigen Initialisierungsphase lädt sich der Knoten K auf ein hohes Potenzial auf. Nachfolgend wird der Transistor T1 gesperrt betrieben und der Transistor T2 leitend gesteuert. Bei einer nicht durchtrennten (nicht geblasenen) Schmelzsicherung E fließt die Ladung zum Anschluss für das Bezugsspannungspotenzial VSS ab, so dass am Knoten K ein niedriges Potenzial, das einem Datum mit dem Zustand "0" entspricht, erzeugt wird. Wenn die Schmelzsicherung E hingegen durchtrennt (geblasen) ist, fließt die Ladung am Knoten K nicht über die Reihenschaltung aus dem Transistor T2 und dem programmierbaren Element E zum Bezugsspannungsanschluss ab. Das hohe Potenzial am Knoten K bleibt in diesem Fall erhalten und wird als Datum mit dem Zustand "1" in der Speicherschaltung ST gespeichert.For reading out the programming state of the programmable element E, which is designed, for example, as a fuse, first the transistor T1 is controlled by the control signal PCH conductively and the transistor T2 is blocked by the control signal SET. During such an initialization phase, the node K charges to a high potential. Subsequently, the transistor T1 is operated disabled and the transistor T2 is turned on. Not one cut (not blown) Fuse E flows from the charge to the terminal for the reference voltage potential VSS, so that at node K, a low potential corresponding to a date with the state "0" is generated. On the other hand, when the fuse E is cut (blown), the charge at the node K does not flow through the series connection of the transistor T2 and the programmable element E to the reference voltage terminal. The high potential at the node K is maintained in this case and is stored as a data with the state "1" in the memory circuit ST.

Beim Testen des integrierten Halbleiterspeichers werden die Adressen von fehlerhaften Wort- und Bitleitungen durch Programmierung der programmierbaren Elemente E der Speichereinheiten SE1 und SE2 in die Speichereinheiten einprogrammiert. Nach einem Hochfahren (power up) des Halbleiterspeichers, bei dem der Speicher zum Durchführen von Lese- und Schreibzugriffen initialisiert wird, werden die Programmierschaltungen P ausgelesen. Die ausgelesenen Programmierzustände werden in dem Latch ST zwischengespeichert. Durch Alpha-Teilchen, die aus einem Gehäuse des integrierten Halbleiterspeichers austreten, beziehungsweise durch Neutroneneinfluss kann allerdings der Zustand des Latches, am Ausgangsanschluss AS der Speicherschaltung ST verfälscht werden. Bei einer derartigen Verfälschung entsteht am Ausgangsanschluss AS statt einem Datensignal mit einem Zustand "0" ein Zustand "1" beziehungsweise statt einem Zustand "1" ein Zustand "0". Dies kann zu einer Fehlfunktion des integrierten Halbleiterspeichers führen, die so lange anhält, bis die Spannungsversorgung ausge schaltet und wieder eingeschaltet wird. Beim Einschalten wird der in den Programmierschaltungen P abgespeicherte Programmierzustand dann erneut ausgewertet.At the Testing the integrated semiconductor memory become the addresses of faulty word and bit lines by programming the programmable elements E of the memory units SE1 and SE2 in programmed in the storage units. After a startup (power up) of the semiconductor memory, wherein the memory for performing Read and write accesses are initialized, the programming circuits P read out. The read program states are stored in the latch ST cached. By alpha particles coming from a housing of the emerge integrated semiconductor memory, or by Neutron influence, however, the state of the latch, at the output terminal AS of the memory circuit ST falsified become. With such a falsification occurs at the output terminal AS instead of a data signal with a state "0" a state "1" or instead of a state "1" a state "0". This may cause malfunction of the integrated semiconductor memory to lead, that lasts so long until the power supply switches off and on again becomes. When switching the stored in the programming circuits P is Programming state then evaluated again.

Um zu vermeiden, dass es zu Fehlfunktionen kommt, wenn sich der Zustand am Ausgangsanschluss AS der Speicherschaltung ST in Folge von Alpha-Teilchen oder Neutronen geändert hat, besteht die Möglichkeit, die Speichereinheiten SE1 und SE2 des Zeilen- und Spaltendecoders gelegentlich auszulesen.Around To avoid that it malfunctions when the condition at the output terminal AS of the memory circuit ST as a result of alpha particles or neutrons changed has the possibility the memory units SE1 and SE2 of the row and column decoder occasionally read out.

Da bei einem integrierten Halbleiterspeicher die überwiegende Mehrzahl der programmierbaren Elemente E nicht geblasen ist und somit am Ausgangsanschluss AS der Speicherschaltungen ST ein Datum mit dem Zustand "0" anliegt, wird das Potenzial am Ausgangsanschluss AS zunächst während der Initialisierungsphase auf den Zustand "1" aufgeladen und beim eigentlichen Auslesevorgang des programmierbaren Elements E wieder auf den Zustand "0" umgeladen. Das Potenzial am Ausgangsanschluss AS der Speicherschaltung ST wird somit bei der Mehrzahl der Speichereinheiten zweimal umgeladen. Dadurch steigt der Strombedarf des integrierten Halbleiterspeichers an. Es ist daher erwünscht, dass die Speichereinheiten nur dann erneut ausgelesen werden, wenn eine Verfälschung des Ausgangszustands vorliegt.There in an integrated semiconductor memory, the vast majority of programmable elements E is not blown, and thus at the output terminal AS of the memory circuits ST is a date with the state "0", the Potential at the output terminal AS initially during the initialization phase charged to the state "1" and at actual read operation of the programmable element E again reloaded to the state "0". The potential at the output terminal AS of the memory circuit ST is thus at the majority of the storage units are reloaded twice. This increases the power consumption of the integrated semiconductor memory. It is therefore desirable that the memory units are read out again only if a falsification the initial state is present.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen integrierten Halbleiterspeicher mit Programmierung eines Programmierzustands anzugeben, bei dem eine Fehlfunktion aufgrund einer Veränderung des Programmierzustands vermieden wird.The The object of the present invention is an integrated semiconductor memory with programming a programming state, in which a malfunction due to a change in the programming state is avoided.

Die Aufgabe wird gelöst durch einen integrierten Halbleiterspeicher zur Programmierung eines Programmierzustandes, der mehrere erste Speichereinheiten zur Speicherung jeweils eines ersten Datums mit einem ersten oder zweiten Zustand mit jeweils einem Ausgangsanschluss zur Erzeugung des gespeicherten ersten Datums und eine zweite Speichereinheit zur Speicherung eines zweiten Datums mit einem ersten oder zweiten Zustand mit einem Ausgangsanschluss zur Erzeugung des gespeicherten zweiten Datums aufweist. Des Weiteren umfasst der integrierte Halbleiterspeicher eine Vergleichereinheit mit mehreren ersten Eingangsanschlüssen zum Anlegen der ersten Daten, mit einem zweiten Eingangsanschluss zum Anlegen des zweiten Datums und einem Ausgangsanschluss zur Erzeugung eines Vergleichssignals, wobei jeweils einer der mehreren ersten Eingangsanschlüsse der Vergleichereinheit mit einem der Ausgangsanschlüsse der mehreren ersten Speichereinheiten verbunden ist. Die Vergleichereinheit ist derart ausgebildet, dass sie eine Anzahl der ersten Daten, die an den Ausgangsanschlüssen der ersten Speichereinheiten jeweils mit dem ersten Zustand erzeugt worden sind, feststellt und die festgestellte Anzahl mit dem Zustand des zweiten Datums vergleicht und in Abhängigkeit von dem Vergleich einen ersten oder zweiten Zustand des Vergleichssignals erzeugt. Aus jeder der ersten Speichereinheiten ist das jeweilig gespeicherte erste Datum in Abhängigkeit von dem Zustand des Vergleichssignals auslesbar.The Task is solved by an integrated semiconductor memory for programming a Programming state, the first multiple storage units for storage each of a first date with a first or second state each having an output terminal for generating the stored first date and a second storage unit for storing a second date with a first or second state with an output terminal for generating the stored second date. Furthermore The integrated semiconductor memory comprises a comparator unit with several first input terminals for applying the first Data, with a second input port for creating the second date and an output terminal for generating a comparison signal, wherein each one of the plurality of first input terminals of Comparator unit with one of the output terminals of the plurality of first storage units connected is. The comparator unit is designed such that a number of the first data appearing at the output terminals of the first memory units each generated with the first state and the number determined with the state of the second date and depending on the comparison generates a first or second state of the comparison signal. From each of the first storage units is the respective stored first date depending readable from the state of the comparison signal.

Bei einer Weiterbildung des integrierten Halbleiterspeichers ist das in der zweiten Speichereinheit gespeicherte Datum aus der zweiten Speichereinheit in Abhängigkeit von dem Zustand des Vergleichssignals auslesbar.at a development of the integrated semiconductor memory is the Date stored in the second storage unit from the second Storage unit in dependence readable from the state of the comparison signal.

Bei einer anderen Ausführungsform umfasst der integrierte Halbleiterspeicher eine Steuerschaltung zur Erzeugung eines Steuersignals. Jede der ersten Speichereinheiten weist einen Steueranschluss zum Anlegen des Steuersignals auf. Des Weiteren ist jede der ersten Speichereinheiten derart ausgebildet, dass bei einer Ansteuerung des jeweiligen Steueranschlusses der ersten Speichereinheiten mit dem Steuersignal der Zustand des ersten Datums, der in der jeweiligen der ersten Speichereinheiten abgespeichert ist, an dem jeweiligen Ausgangsanschluss der ersten Speichereinheiten erzeugt wird. Die Steuerschaltung ist derart ausgebildet, dass sie in Abhängigkeit von dem Zustand des Vergleichssignals mindestens eine der ersten Speichereinheiten zum Auslesen des in der mindestens einen der ersten Speichereinheiten gespeicherten Zustands des ersten Datums mit dem Steuersignal ansteuert.In another embodiment, the integrated semiconductor memory comprises a control circuit for generating a control signal. Each of the first memory units has a control terminal for applying the control signal. Furthermore, each of the first memory units is embodied such that when the respective control terminal of the first memory unit is driven with the control signal, the state of the first Da tums stored in the respective one of the first storage units is generated at the respective output terminal of the first storage units. The control circuit is designed such that, depending on the state of the comparison signal, it actuates at least one of the first memory units for reading out the state of the first datum stored in the at least one of the first memory units with the control signal.

In einer bevorzugten Ausführungsform ist die Steuerschaltung ferner derart ausgebildet, dass sie in Abhängigkeit von dem Zustand des Vergleichssignals die zweite Speichereinheit zum Auslesen des zweiten Datums mit dem Steuersignal ansteuert.In a preferred embodiment the control circuit is further designed such that it depends on from the state of the comparison signal, the second storage unit to read out the second date with the control signal.

Gemäß einem weiteren Merkmal des integrierten Halbleiterspeichers weist jede der ersten Speichereinheiten eine programmierbare Schaltungseinheit, in die ein Programmierzustand einprogrammierbar ist, und einen Ausgangsanschluss zur Erzeugung eines Programmierzustandssignals in Abhängigkeit von dem einprogrammierten Programmierzustand auf. Jede der ersten Speichereinheiten weist des Weiteren eine Speicherschaltung zur Speicherung eines ersten oder zweiten Speicherzustands mit einem Eingangsanschluss zum Anlegen eines Eingangssignals und einem Ausgangsanschluss zur Erzeugung eines der ersten Daten auf. Der Ausgangsanschluss der programmierbaren Schaltungseinheit ist mit dem Eingangsanschluss der Speicherschaltung verbunden. Die Speicherschaltung ist derart ausgebildet, dass nach einer Ansteuerung des Eingangsanschlusses der Speicherschaltung mit dem Programmierzustandssignal der erste oder zweite Speicherzustand in der Speicherschaltung speicherbar ist.According to one another feature of the integrated semiconductor memory is shown by each the first memory units a programmable circuit unit, in which a programming state is programmable, and an output terminal for generating a programming state signal in dependence from the programmed programming state. Each of the first Memory units further includes a memory circuit Storing a first or second memory state with a Input terminal for applying an input signal and an output terminal to generate one of the first data. The output terminal the programmable circuit unit is connected to the input terminal connected to the memory circuit. The memory circuit is such designed such that after driving the input terminal the memory circuit with the programming state signal of the first or second memory state in the memory circuit storable is.

Bei einer anderen Ausführungsform des integrierten Halbleiterspeichers weist die Speicherschaltung eine erste Inverterschaltung und eine zweite Inverterschaltung auf, die jeweils zwischen einen ersten Versorgungsspannungsanschluss und einen zweiten Versorgungsspannungsanschluss geschaltet sind. Die erste und zweite Inverterschaltung ist in einer Reihenschaltung zwischen den Eingangsanschluss der Speicherschaltung und den Ausgangsanschluss der Speicherschaltung geschaltet. Der Ausgangsanschluss der Speicherschaltung ist auf den Eingangsanschluss der Speicherschaltung rückgekoppelt.at another embodiment of the integrated semiconductor memory has the memory circuit a first inverter circuit and a second inverter circuit, each between a first supply voltage terminal and a second supply voltage terminal are connected. The first and second inverter circuits are connected in series between the input terminal of the memory circuit and the output terminal the memory circuit switched. The output terminal of the memory circuit is fed back to the input terminal of the memory circuit.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltungsform des integrierten Halbleiterspeichers umfasst die erste Inverterschaltung einen ersten Transistor mit einem Steueranschluss und einen zweiten Transistor mit einem Steueranschluss. Der erste Transistor der ersten Inverterschaltung ist zwischen den ersten Versorgungsspannungsanschluss und einen Ausgangsanschluss der ersten Inverterschaltung geschaltet. Der Steueranschluss des ersten Transistors der ersten Inverterschaltung ist mit dem Ausgangsanschluss der programmierbaren Schaltungseinheit verbunden. Des Weiteren ist der zweite Transistor der ersten Inverterschaltung zwischen den zweiten Versorgungsspannungsanschluss und den Ausgangsanschluss der ersten Inverterschaltung geschaltet. Der Steueranschluss des zweiten Transistors der ersten Inverterschaltung ist mit dem Ausgangsanschluss der programmierbaren Schaltungseinheit verbunden.According to one Another embodiment of the integrated semiconductor memory The first inverter circuit comprises a first transistor a control terminal and a second transistor having a control terminal. The first transistor of the first inverter circuit is between the first supply voltage terminal and an output terminal the first inverter circuit switched. The control terminal of the first transistor of the first inverter circuit is connected to the output terminal of programmable circuit unit connected. Furthermore, the second transistor of the first inverter circuit between the second Supply voltage terminal and the output terminal of the first Inverter switched. The control terminal of the second transistor the first inverter circuit is connected to the output terminal of the programmable Circuit unit connected.

Eine weitere Ausgestaltungsform sieht vor, dass die zweite Inverterschaltung einen aktivierbaren Inverter mit einem Steueranschluss zum Anlegen eines ersten Aktivierungssignals zum Aktivieren des aktivierbaren Inverters umfasst. Der aktivierbare Inverter ist eingangsseitig mit dem Ausgangsan schluss der ersten Inverterschaltung verbunden. Des Weiteren ist der aktivierbare Inverter ausgangsseitig mit dem Ausgangsanschluss der jeweiligen ersten Speichereinheit verbunden.A Another embodiment provides that the second inverter circuit an activatable inverter with a control connection for application a first activation signal for activating the activatable Inverters includes. The activatable inverter is input side connected to the output terminal of the first inverter circuit. Furthermore, the activatable inverter is the output side with the Output terminal of the respective first memory unit connected.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform umfasst die zweite Speichereinheit die programmierbare Schaltungseinheit und die Speicherschaltung.According to one another embodiment the second memory unit comprises the programmable circuit unit and the memory circuit.

Eine andere Ausführungsform des integrierten Halbleiterspeichers sieht vor, dass die Vergleichereinheit eine erste Vergleicherschaltung zur Erzeugung eines ersten Vergleichssignals und eine zweite Vergleicherschaltung zur Erzeugung des Ausgangssignals der Vergleichereinheit umfasst. Das erste Vergleichssignal wird der zweiten Speicherschaltung eingangsseitig zugeführt. Das zweite Datum ist in der zweiten Speicherschaltung in Abhängigkeit von dem Vergleichssignal speicherbar. Der zweiten Vergleicherschaltung werden das in der zweiten Speicherschaltung gespeicherte zweite Datum und das erste Vergleichssignal eingangsseitig zugeführt.A other embodiment of the integrated semiconductor memory provides that the comparator unit a first comparator circuit for generating a first comparison signal and a second comparator circuit for generating the output signal the comparator unit comprises. The first comparison signal is the second memory circuit supplied on the input side. The second date is dependent on the second memory circuit storable from the comparison signal. The second comparator circuit are stored in the second memory circuit second Date and the first comparison signal supplied on the input side.

In einer bevorzugten Ausführungsform ist die zweite Speichereinheit als eine Kippschaltung mit einem Eingangsanschluss zum Anlegen des ersten Vergleichssignals und mit einem Steueranschluss zum Anlegen des zweiten Aktivierungssignals ausgebildet. Die Kippschaltung ist des Weiteren derart ausgebildet, dass bei einer Ansteuerung des Steueranschlusses der Kippschaltung mit dem zweiten Aktivierungssignal das zweite Datum in der Kippschaltung in Abhängigkeit von einem Zustand des ersten Vergleichssignals gespeichert wird.In a preferred embodiment is the second memory unit as a flip-flop with a Input terminal for applying the first comparison signal and with a control terminal for applying the second activation signal educated. The flip-flop is further designed such that in a control of the control terminal of the flip-flop with the second activation signal the second date in the flip-flop dependent on is stored by a state of the first comparison signal.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform des integrierten Halbleiterspeichers ist ein Speicherzellenfeld mit Speicherzel len, die entlang von Wortleitungen und Bitleitungen angeordnet sind, vorgesehen. Des Weiteren weist der integrierte Halbleiterspeicher einen Adressanschluss zum Anlegen von Adressdaten auf, denen jeweils eine der Wort- und Bitleitungen zugeordnet ist. Darüber hinaus umfasst der Halbleiterspeicher eine Auswerteschaltung mit einer ersten Eingangsseite zur Zuführung der in den ersten Speichereinheiten gespeicherten ersten Daten, eine zweite Eingangsseite zur Zuführung der an den Adressanschluss angelegten Adressdaten und einen Ausgangsanschluss zur Erzeugung eines Auswertesignals. Darüber hinaus weist der integrierte Halbleiterspeicher eine Auswahlschaltung zur Auswahl einer der Wort- oder Bitleitungen für einen Speicherzugriff auf eine der Speicherzellen auf, die an die ausgewählte der Wort- und Bitleitungen angeschlossen ist. Darüber hinaus ist die Auswerteschaltung derart ausgebildet, dass sie die Adressdaten mit den ersten Daten vergleicht und an dem Ausgangsanschluss der Auswerteschaltung das Auswertesignal erzeugt, wenn die Auswerteschaltung feststellt, dass die Adressdaten mit den ersten Daten übereinstimmen. Die Auswahlschaltung ist ferner derart ausgebildet, dass sie eine andere der Wort- und Bitleitungen als die den Adressdaten zugeordnete Wort- und Bitleitung auswählt, wenn die Auswahlschaltung mit dem Auswertesignal angesteuert wird.According to a further embodiment of the integrated semiconductor memory, a memory cell array with memory cells arranged along word lines and bit lines is provided. Furthermore, the integrated semiconductor memory has an address connection for applying address data, to each of which one of the word and Bit lines is assigned. In addition, the semiconductor memory comprises an evaluation circuit having a first input side for supplying the first data stored in the first memory units, a second input side for supplying the address data applied to the address terminal and an output terminal for generating an evaluation signal. In addition, the integrated semiconductor memory has a selection circuit for selecting one of the word or bit lines for memory access to one of the memory cells connected to the selected one of the word and bit lines. In addition, the evaluation circuit is designed such that it compares the address data with the first data and generates the evaluation signal at the output terminal of the evaluation circuit when the evaluation circuit determines that the address data matches the first data. The selection circuit is further configured to select a different one of the word and bit lines than the word and bit lines associated with the address data when the selection circuit is driven by the evaluation signal.

Weitere Ausführungsformen des integrierten Halbleiterspeichers sind den Unteransprüchen zu entnehmen.Further embodiments of the integrated semiconductor memory can be found in the dependent claims.

Die Erfindung wird im Folgenden anhand von Figuren, die Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung zeigen, näher erläutert.The Invention will be described below with reference to figures, the embodiments of the present invention, explained in more detail.

Es zeigen:It demonstrate:

1 einen integrierten Halbleiterspeicher mit Programmierung eines Programmierzustands, 1 an integrated semiconductor memory with programming of a programming state,

2A eine Speichereinheit zur Speicherung eines Programmierzustands, 2A a memory unit for storing a programming state,

2B eine Programmierschaltung zur Programmierung eines Programmierzustands, 2 B a programming circuit for programming a programming state,

3 eine Ausführungsform einer Schaltungsanordnung zur Detektion eines verfälschten Speicherzustands einer Speichereinheit, 3 an embodiment of a circuit arrangement for detecting a corrupted memory state of a memory unit,

4 eine weitere Ausführungsform einer Schaltungsanordnung zur Detektion eines verfälschten Speicherzustands einer Speichereinheit, 4 a further embodiment of a circuit arrangement for detecting a corrupted memory state of a memory unit,

5 eine Schaltungsanordnung einer Speichereinheit zur Speicherung eines Speicherzustands, 5 a circuit arrangement of a memory unit for storing a memory state,

6 ein Signalzustandsdiagramm beim Auslesen eines Programmierzustands einer programmierbaren Schaltungseinheit. 6 a signal state diagram in reading a programming state of a programmable circuit unit.

3 zeigt die Steuerschaltung 500, sowie eine Schaltungsanordnung für den Zeilendecoder 300 beziehungsweise für den Spaltendecoder 200 der 1. Die Decoderschaltungen 300 und 200 umfassen jeweils mehrere Speichereinheiten 10a, ..., 10h, die jeweils einen Steueranschluss S1 zum Anlegen eines Steuersignals PCH und einen Steueranschluss S2 zum Anlegen eines Steuersignals SET aufweisen. Ausgangsanschlüsse A10a, ..., A10h der Speichereinheiten 10a, ..., 10h sind mit Eingangsanschlüssen EV1a, ..., EV1h einer Vergleichereinheit 40 verbunden. Des Weiteren umfassen die Zeilen- und Spaltendeco der 300 und 200 jeweils eine Speichereinheit 20 mit einem Steueranschluss S1 zum Anlegen des Steuersignals PCH und einem Steueranschluss S2 zum Anlegen des Steuersignals SET. Die Speichereinheit 20 entspricht in ihrem Aufbau den Speichereinheiten 10a, ..., 10h. Sie erzeugt an einem Ausgangsanschluss A20 ein Datum PD, das einem Eingangsanschluss EV2 der Vergleichereinheit 40 zugeführt wird. In Abhängigkeit von dem Vergleich der Daten FLAT0, ..., FLAT7, die von den Speichereinheiten 10a, ..., 10h an ihren jeweiligen Ausgangsanschlüssen erzeugt werden, und dem Zustand des Datums PD erzeugt die Vergleichereinheit 40 an einem Ausgangsanschluss A40 ein Vergleichssignal ERS, das der Steuerschaltung 500 zugeführt wird. Die Ausgangsanschlüsse A10a, ..., A10h sind mit einer Auswerteschaltung 60 verbunden. Ein Ausgangsanschluss A60 der Auswerteschaltung 60 ist mit einer Auswahlschaltung 70 verbunden. 3 shows the control circuit 500 , as well as a circuit arrangement for the row decoder 300 or for the column decoder 200 of the 1 , The decoder circuits 300 and 200 each comprise several storage units 10a , ..., 10h , each having a control terminal S1 for applying a control signal PCH and a control terminal S2 for applying a control signal SET. Output terminals A10a, ..., A10h of the memory units 10a , ..., 10h are connected to input terminals EV1a, ..., EV1h of a comparator unit 40 connected. Furthermore, the row and column deco include the 300 and 200 one storage unit each 20 with a control terminal S1 for applying the control signal PCH and a control terminal S2 for applying the control signal SET. The storage unit 20 corresponds in its structure to the memory units 10a , ..., 10h , At an output terminal A20, it generates a data PD corresponding to an input terminal EV2 of the comparator unit 40 is supplied. Depending on the comparison of the data FLAT0, ..., FLAT7, that of the storage units 10a , ..., 10h are generated at their respective output terminals, and the state of the data PD is generated by the comparator unit 40 at an output terminal A40, a comparison signal ERS, that of the control circuit 500 is supplied. The output terminals A10a, ..., A10h are equipped with an evaluation circuit 60 connected. An output terminal A60 of the evaluation circuit 60 is with a selection circuit 70 connected.

Im Folgenden wird die Funktionsweise der Schaltungsanordnung der 3 erläutert. In den Speichereinheiten 10a, ..., 10h ist ein Programmierzustand gespeichert, der durch Ansteuerung der Steueranschlüsse S1 und S2 mit den Steuersignalen PCH und SET auslesbar ist. Beim Auslesen der Speichereinheiten 10a, ..., 10h wird an den Ausgangsanschlüssen A10a, ..., A10h ein Datum FLAT0, ..., FLAT7 mit einem Zustand "0" oder "1" erzeugt, der dem Zustand eines programmierbaren Elements der Speichereinheiten 10a, ..., 10h entspricht. In jeder der Speichereinheiten 10a, ..., 10h ist beispielsweise ein Adressbit einer Wortleitungs- beziehungsweise Bitleitungsadresse gespeichert. Die Daten FLAT0, ..., FLAT7 geben somit jeweils ein Adressbit einer Wortleitungs- oder Bitleitungsadresse an, die beispielsweise eine fehlerhafte Wort- oder Bitleitung kennzeichnet.The following describes the operation of the circuit arrangement of 3 explained. In the storage units 10a , ..., 10h is a programming state stored, which is read by driving the control terminals S1 and S2 with the control signals PCH and SET. When reading the storage units 10a , ..., 10h At the output terminals A10a,..., A10h, a data FLAT0,..., FLAT7 having a state "0" or "1" is generated which corresponds to the state of a programmable element of the memory units 10a , ..., 10h equivalent. In each of the storage units 10a , ..., 10h For example, an address bit of a word line or bit line address is stored. The data FLAT0,..., FLAT7 thus each indicate an address bit of a word line or bit line address which identifies, for example, a faulty word or bit line.

In der Speichereinheit 20 wird bereits bei der Herstellung des integrierten Halbleiterspeichers in Abhängigkeit von den in den Speichereinheiten 10a, ..., 10h gespeicherten Daten ein Paritätsbit gespeichert. Bei einer geraden Parität wird das Paritätsbit mit dem Zustand "0" in der Speichereinheit 20 gespeichert, wenn die Anzahl der "1"-Zustände der Daten FLAT0, ..., FLAT7 gerade ist, und das Paritätsbit mit dem Zustand "1" in der Speichereinheit 20 gespeichert, wenn die Anzahl der "1"-Zustände der Daten FLAT0, ..., FLAT7 ungerade ist. Bei einer ungeraden Parität wird das Paritätsbit mit dem Zustand "1" in der Speichereinheit 20 gespeichert, wenn die Anzahl der "1"-Zustände der Daten FLAT0, ..., FLAT7 gerade ist, und das Paritätsbit mit dem Zustand "0" in der Speichereinheit 20 gespeichert, wenn die Anzahl der "1"-Zustände der Daten FLAT0, ..., FLAT7 ungerade ist.In the storage unit 20 is already in the production of the integrated semiconductor memory depending on the in the memory units 10a , ..., 10h stored data is stored a parity bit. In case of even parity, the parity bit with the state "0" in the memory unit becomes 20 stored when the number of "1" states of the data FLAT0, ..., FLAT7 is even, and the parity bit having the state "1" in the memory unit 20 stored when the number of "1" states of Da FLAT0, ..., FLAT7 is odd. For an odd parity, the parity bit becomes "1" in the memory unit 20 stored when the number of "1" states of the data FLAT0, ..., FLAT7 is even, and the parity bit having the state "0" in the memory unit 20 stored when the number of "1" states of the data FLAT0, ..., FLAT7 is odd.

Die Vergleichereinheit 40 ist beispielsweise als eine XOR-Schaltung ausgebildet. Beim Auslesen der Speicherzustände der Speichereinheiten 10a, ..., 10h und der Speichereinheit 20 vergleicht die Vergleichereinheit 40 die Daten FLAT0, ..., FLAT7, die jeweils ein Adressbit angeben, mit dem Datum des Paritätsbits PD. Die Vergleichereinheit 40 erzeugt ausgangsseitig das Vergleichssignal ERS mit einem ersten Zustand, beispielsweise dem Zustand "0", wenn der Zustand des Paritätsbits PD die gerade Parität der Daten FLAT0, ..., FLAT7 angibt. Wenn beim Betrieb des integrierten Halbleiterspeichers der Speicherzustand einer der Speichereinheiten 10a, ..., 10h verfälscht wird, entspricht der Zustand des Paritätsbits PD nicht mehr der geraden Parität der Daten FLAT0, ..., FLAT7. In diesem Fall erzeugt die Vergleichereinheit 40 das Vergleichssignal ERS beispielsweise mit dem Zustand "1".The comparator unit 40 is designed, for example, as an XOR circuit. When reading the memory states of the memory units 10a , ..., 10h and the storage unit 20 compares the comparator unit 40 the data FLAT0, ..., FLAT7, each indicating an address bit, with the date of the parity bit PD. The comparator unit 40 on the output side generates the comparison signal ERS with a first state, for example the state "0", when the state of the parity bit PD indicates the even parity of the data FLAT0,..., FLAT7. If, during operation of the integrated semiconductor memory, the memory state of one of the memory units 10a, ..., 10h is corrupted, the state of the parity bit PD no longer corresponds to the even parity of the data FLAT0, ..., FLAT7. In this case, the comparator unit generates 40 the comparison signal ERS, for example, with the state "1".

Wenn die Steuerschaltung 500 mit dem Zustand "1" des Vergleichssignals ERS angesteuert wird, erzeugt sie ausgangsseitig die Steuersignale PCH und SET, die dazu führen, dass der in den programmierbaren Elementen der Speichereinheiten 10a, ..., 10h und 20 gespeicherte Zustand erneut ausgelesen wird. Dadurch kann ein verfälschtes Datum FLAT0, ..., FLAT7 oder PD korrigiert werden.When the control circuit 500 is driven with the state "1" of the comparison signal ERS, it produces on the output side the control signals PCH and SET, which lead to that in the programmable elements of the memory units 10a , ..., 10h and 20 stored state is read out again. As a result, a corrupted date FLAT0, ..., FLAT7 or PD can be corrected.

Die an den Speichereinheiten 10a, ..., 10h ausgangsseitig erzeugten Daten FLAT0, ..., FLAT7, die die Adressbits von fehlerhaften Wort- oder Bitleitungen angeben, werden der Auswerteschaltung 60 zugeführt. Die Auswerteschaltung 60 wird des Weiteren von einer Wortleitungsadresse WLA beziehungsweise einer Bitleitungsadresse BLA angesteuert, die an dem Adressanschluss A400 anliegt. In der Auswerteschaltung 60 werden die Adressbits FLAT0, ..., FLAT7 mit den Adressbits der an dem Adressanschluss A400 angelegten Wortleitungs- beziehungsweise Bitleitungsadresse verglichen. Wenn die Adressbits übereinstimmen, ist eine fehlerhafte Wort- oder Bitleitung adressiert. In dem Fall erzeugt die Auswerteschaltung einen entsprechenden Zustand des Auswertesignals AWS, das der Auswahlschaltung 70 zugeführt wird. Die Auswahlschaltung 70 wählt daraufhin eine redundante Wort- beziehungsweise Bitleitung für den Speicherzugriff aus.The on the storage units 10a , ..., 10h Data generated on the output side FLAT0, ..., FLAT7, which indicate the address bits of faulty word or bit lines, become the evaluation circuit 60 fed. The evaluation circuit 60 is further driven by a word line address WLA and a bit line address BLA, which is applied to the address terminal A400. In the evaluation circuit 60 For example, the address bits FLAT0, ..., FLAT7 are compared with the address bits of the word line or bit line address applied to the address terminal A400. If the address bits match, a faulty word or bit line is addressed. In this case, the evaluation circuit generates a corresponding state of the evaluation signal AWS, that of the selection circuit 70 is supplied. The selection circuit 70 then selects a redundant word or bit line for memory access.

4 zeigt eine weitere Ausführungsform der Zeilen- und Spaltendecoder 300 und 200. Die Zeilen- und Spaltendecoder umfassen die Speichereinheiten 10a, ..., 10h mit jeweiligen Steueranschlüssen S1 zum Anlegen des Steuersignals PCH und S2 zum Anlegen des Steuersignals SET, die zum Auslesen des jeweiligen Speicherzustands aus den Speichereinheiten an die Steueranschlüsse derselben angelegt werden. Ausgangsanschlüsse A10a, ..., A10h der Speichereinheiten 10a, ..., 10h sind mit Eingangsanschlüssen EV1a, ..., EV1h einer Vergleichereinheit 50 verbunden. Die Vergleichereinheit 50 umfasst die Vergleicherschaltungen 51 und 52. Ausgangsseitig wird von der Vergleicherschaltung 51 ein Vergleichssignals HS erzeugt, das der Vergleicherschaltung 52 und einer Speichereinheit 30 an einem Eingangsanschluss D zugeführt wird. In Abhängigkeit von dem Zustand des Vergleichssignals HS wird in der Speichereinheit 30 ein entsprechender Speicherzustand gespeichert. Dazu wird an einen Steueranschluss G der Speichereinheit 30 das Steuersignal SET angelegt. Infolgedessen wird an einem Ausgangsanschluss A30 der Speichereinheit 30 ein Datum PD erzeugt. Das Datum PD wird einem Eingangsanschluss EV2 der Vergleicherschaltung 52 zugeführt. An einem Ausgangsanschluss A50 erzeugt die Vergleicherschaltung 52 das Vergleichssignal ERS, das der Steuerschaltung 500 zugeführt wird. Von der Steuerschaltung 500 werden die Steuersignale PCH und SET erzeugt. 4 shows another embodiment of the row and column decoders 300 and 200 , The row and column decoders comprise the memory units 10a , ..., 10h with respective control terminals S1 for applying the control signal PCH and S2 for applying the control signal SET, which are applied for reading the respective memory state from the memory units to the control terminals thereof. Output terminals A10a, ..., A10h of the memory units 10a , ..., 10h are connected to input terminals EV1a, ..., EV1h of a comparator unit 50 connected. The comparator unit 50 includes the comparator circuits 51 and 52 , On the output side of the comparator circuit 51 generates a comparison signal HS, that of the comparator circuit 52 and a storage unit 30 is supplied at an input terminal D. Depending on the state of the comparison signal HS is in the memory unit 30 stored a corresponding memory state. For this purpose, to a control terminal G of the memory unit 30 the control signal SET applied. As a result, at an output terminal A30 of the memory unit 30 generates a date PD. The data PD becomes an input terminal EV2 of the comparator circuit 52 fed. At an output terminal A50, the comparator circuit generates 52 the comparison signal ERS, that of the control circuit 500 is supplied. From the control circuit 500 the control signals PCH and SET are generated.

Im Folgenden wird die Funktionsweise der Schaltungsanordnung der 4 beschrieben. Die Speichereinheiten 10a, ..., 10h enthalten jeweils ein programmierbares Element, in dem ein Adressbit einer fehlerhaften Wort- oder Bitleitungsadresse gespeichert ist. Beim erstmaligen Anlegen einer Versorgungsspannung zur Initialisierung des integrierten Halbleiterspeichers, beim Hochfahren des integrierten Halbleiterspeichers, werden die Speichereinheiten 10a, ..., 10h von der Steuerschaltung 500 mit den Steuersignalen PCH und SET in der Weise angesteuert, dass sie in Abhängigkeit von dem Speicherzustand ihres jeweiligen programmierbaren Elements an ihren Ausgangsanschlüssen A10a, ..., A10h ein Datum FLAT0, ..., FLAT7 erzeugen.The following describes the operation of the circuit arrangement of 4 described. The storage units 10a , ..., 10h each contain a programmable element in which an address bit of a faulty word or bit line address is stored. The first time a supply voltage is applied to initialize the integrated semiconductor memory when the integrated semiconductor memory starts up, the memory units become 10a , ..., 10h from the control circuit 500 are driven with the control signals PCH and SET in such a way that they generate a data FLAT0, ..., FLAT7 at their output terminals A10a,..., A10h depending on the memory state of their respective programmable element.

Die Vergleicherschaltung 51 ist beispielsweise als eine XOR-Schaltung ausgebildet. Die XOR-Schaltung 51 erzeugt ausgangsseitig das Vergleichssignal HS mit einem Zustand "0", wenn eine gerade Anzahl der Eingänge EV1a, ..., EV1h mit einem "1"-Zustand der Daten FLAT0, ..., FLAT7 angesteuert wird. Wenn die Eingangsanschlüsse EV1a, ..., EV1h mit einer ungeraden Anzahl von Daten FLAT0, ..., FLAT7, die jeweils den Zustand "1" aufweisen, angesteuert werden, erzeugt sie ausgangsseitig das Vergleichssignal HS mit dem Zustand "1". Das Vergleichssignal HS wird in der Speichereinheit 30 durch Ansteuerung des Steueranschlusses G der Speichereinheit 30 zwischengespeichert. Der Speicherzustand aus der Speichereinheit 30 wird der Vergleicherschaltung 52 eingangsseitig zugeführt.The comparator circuit 51 is designed, for example, as an XOR circuit. The XOR circuit 51 On the output side, the comparison signal HS is generated with a state "0" when an even number of the inputs EV1a,..., EV1h is driven with a "1" state of the data FLAT0,..., FLAT7. When the input terminals EV1a, ..., EV1h are driven with an odd number of data FLAT0, ..., FLAT7, each having the state "1", it generates on the output side the comparison signal HS having the state "1". The comparison signal HS is stored in the memory unit 30 by driving the control terminal G of the memory unit 30 cached. The memory state from the memory unit 30 becomes the comparator circuit 52 supplied on the input side.

Die Vergleicherschaltung 52 ist vorzugsweise ebenfalls als eine XOR-Schaltung ausgebildet. Wenn nach dem erstmaligen Auslesen der Speichereinheiten 10a, ..., 10h der Zustand der Daten FLAT0, ..., FLAT7 und PD erhalten bleibt, erzeugt die Vergleichereinheit 50 an dem Ausgangsanschluss A50 das Vergleichssignal ERS mit dem Zustand "0". Wenn hingegen ein Datum der Daten FLAT0, ..., FLAT7 oder PD seinen Zustand aufgrund von Alpha-Teilchen oder Neutronen ändert, wird das Vergleichssignal ERS mit dem Zustand "1" erzeugt. In diesem Fall steuert die Steuerschaltung 500 die Speichereinheiten 10a, ..., 10h und 30 mit den Steuersignalen PCH und SET in der Weise an, dass die jeweiligen programmierbaren Elemente der Speichereinheiten 10a, ..., 10h erneut ausgelesen werden.The comparator circuit 52 is preferably also formed as an XOR circuit. If after reading the memory units for the first time 10a , ..., 10h the state of the data FLAT0, ..., FLAT7 and PD is maintained generates the comparator unit 50 at the output terminal A50, the comparison signal ERS with the state "0". On the other hand, if a date of the data FLAT0, ..., FLAT7 or PD changes state due to alpha particles or neutrons, the comparison signal ERS is generated in the state "1". In this case, the control circuit controls 500 the storage units 10a , ..., 10h and 30 with the control signals PCH and SET in such a way that the respective programmable elements of the memory units 10a , ..., 10h be read out again.

Die Ausgangsanschlüsse A10a, ..., A10h der Speichereinheiten 10a, ..., 10h sind mit einer Auswerteschaltung 60 verbunden. Die Auswerteschaltung 60 wird von den Daten FLAT0, ..., FLAT7, die die Adressbits von fehlerhaften Wort- oder Bitleitungen angeben, und von einer an den Adressanschluss A400 angelegten Wort- oder Bitleitungsadresse ADS angesteuert. Wenn die Adressbits einer fehlerhaften Wort- oder Bitleitung mit den Adressbits der angelegten Adresse ADS übereinstimmen, erzeugt die Auswerteschaltung 60 an einem Ausgangsanschluss A60 ein Auswertesignal AWS, das einer Auswahlschaltung 70 zugeführt wird. In diesem Fall wählt die Auswahlschaltung 70 anstatt der fehlerhaften Wort- oder Bitleitung eine der redundanten Wort- oder Bitleitungen für den Speicherzugriff aus.The output terminals A10a, ..., A10h of the memory units 10a , ..., 10h are with an evaluation circuit 60 connected. The evaluation circuit 60 is driven by the data FLAT0, ..., FLAT7 indicating the address bits of defective word or bit lines, and a word or bit line address ADS applied to the address terminal A400. If the address bits of a faulty word or bit line match the address bits of the applied address ADS, the evaluation circuit generates 60 at an output terminal A60 an evaluation signal AWS, the selection circuit 70 is supplied. In this case, the selection circuit selects 70 instead of the faulty word or bit line, one of the redundant word or bit lines for memory access.

Mit den in den 3 und 4 dargestellten Ausführungsformen der Zeilen- und Spaltendecoder wird es ermöglicht, festzustellen, ob an einem der Ausgangsanschlüsse A10a, ..., A10h ein verfälschter Zustand eines der Adressbits FLAT0, ..., FLAT7 aufgetreten ist. In diesem Fall werden die Speichereinheiten 10a, ..., 10h und 20 von der Steuerschaltung 500 mit den Steuersignalen PCH und SET in der Weise angesteuert, dass ihre jeweiligen programmierbaren Elemente erneut ausgelesen werden. Dadurch wird sichergestellt, dass Speichereinheiten nur dann erneut ausgelesen werden müssen, wenn sich deren Zustand abweichend von einem Anfangszustand geändert hat. Somit können Fehlfunktionen des integrierten Halbleiterspeichers die durch eine Verfälschung der Daten FLAT0, ..., FLAT7 aufgrund von Alpha-Teilchen und Neutronen entstehen, vermieden werden. Gleichzeitig wird der Stromverbrauch reduziert, da die Speichereinheiten nur dann ausgelesen werden müssen, wenn sich deren Zustand abweichend von einem Anfangszustand geändert hat.With the in the 3 and 4 The illustrated embodiments of the row and column decoders make it possible to determine whether a corrupted state of one of the address bits FLAT0,..., FLAT7 has occurred at one of the output terminals A10a,..., A10h. In this case, the storage units become 10a , ..., 10h and 20 from the control circuit 500 is controlled with the control signals PCH and SET in such a way that their respective programmable elements are read out again. This ensures that memory units only need to be read again if their state has changed differently from an initial state. Thus, malfunctions of the integrated semiconductor memory caused by a corruption of the data FLAT0, ..., FLAT7 due to alpha particles and neutrons can be avoided. At the same time, the power consumption is reduced because the memory units only have to be read out when their state has changed differently from an initial state.

Es ist auch möglich, anstatt alle Speichereinheiten nur eine Teilmenge aller sich im integrierten Halbleiterspeicher befindlichen Speichereinheiten erneut auszulesen, wenn sich die Speichereinheit mit dem verfälschten Ausgangszustand in dieser Teilmenge befindet.It is possible, too, instead of all storage units only a subset of all are in the integrated semiconductor memory storage units again read out when the storage unit with the falsified Initial state is in this subset.

5 zeigt eine Ausführungsform einer Speichereinheit SE mit einer programmierbaren Schaltungseinheit 1 und einer Speicherschaltung 2. Die programmierbare Schaltungseinheit 1 ist als eine Fuse-Schaltung ausgebildet, die einen steuerbaren Schalter P1, der als ein p-Kanal-Transistor ausgebildet ist, einen steuerbaren Schalter N1, der als ein n-Kanal-Transistor ausgebildet ist, und ein programmierbares Element F, das beispielsweise als ein Schmelzdraht ausgebildet ist, umfasst. Der steuerbare Schalter P1 ist zwischen einen Versorgungsspannungsanschluss V1 zum Anlegen einer Versorgungsspannung VDD und einen Ausgangsanschluss A1 der programmierbaren Schaltungseinheit geschaltet. Der steuerbare Schalter N1 ist mit dem Fuse-Element F in Reihe zwischen den Ausgangsanschluss A1 der programmierbaren Schaltungseinheit und einen Versorgungsspannungsanschluss V2 zum Anlegen einer Versorgungsspannung VSS geschaltet. 5 shows an embodiment of a memory unit SE with a programmable circuit unit 1 and a memory circuit 2 , The programmable circuit unit 1 is formed as a fuse circuit comprising a controllable switch P1, which is formed as a p-channel transistor, a controllable switch N1, which is formed as an n-channel transistor, and a programmable element F, for example as a fuse wire is formed comprises. The controllable switch P1 is connected between a supply voltage terminal V1 for applying a supply voltage VDD and an output terminal A1 of the programmable circuit unit. The controllable switch N1 is connected to the fuse element F in series between the output terminal A1 of the programmable circuit unit and a supply voltage terminal V2 for applying a supply voltage VSS.

Der Ausgangsanschluss A1 der programmierbaren Schaltungseinheit ist mit einem Eingangsanschluss E2 der Speicherschaltung 2 verbunden. Die Speicherschaltung 2 umfasst eine Inverterschaltung 3 und eine Inverterschaltung 4, die zwischen den Eingangsanschluss E2 der Speicherschaltung 2 und einen Ausgangsanschluss A2 der Speicherschaltung geschaltet sind. Der Ausgangsanschluss A2 ist auf den Eingangsanschluss E2 rückgekoppelt.The output terminal A1 of the programmable circuit unit is connected to an input terminal E2 of the memory circuit 2 connected. The memory circuit 2 includes an inverter circuit 3 and an inverter circuit 4 between the input terminal E2 of the memory circuit 2 and an output terminal A2 of the memory circuit are connected. The output terminal A2 is fed back to the input terminal E2.

Die Inverterschaltung 3 umfasst einen steuerbaren Schalter P2, der als ein p-Kanal-Transistor ausgebildet ist, und einen steuerbaren Schalter N2, der als ein n-Kanal-Transistor ausgebildet ist. Der steuerbare Schalter P2 ist zwischen einen Versorgungsspannungsanschluss V1 zum Anlegen einer Versorgungsspannung VDD und einen Ausgangsanschluss A3 der Inver terschaltung 3 geschaltet. Der steuerbare Schalter N2 ist zwischen den Ausgangsanschluss A3 der Inverterschaltung 3 und einem Versorgungsspannungsanschluss V2 zum Anlegen der Versorgungsspannung VSS geschaltet. Die Steueranschlüsse SP2 des steuerbaren Schalters P2 und SN2 des steuerbaren Schalters N2 sind mit dem Eingangsanschluss E2 der Speicherschaltung 2 verbunden. Der Ausgangsanschluss A3 der Inverterschaltung 3 ist mit einer Eingangsseite der Inverterschaltung 4 verbunden.The inverter circuit 3 comprises a controllable switch P2, which is formed as a p-channel transistor, and a controllable switch N2, which is formed as an n-channel transistor. The controllable switch P2 is between a supply voltage terminal V1 for applying a supply voltage VDD and an output terminal A3 of the inver terschaltung 3 connected. The controllable switch N2 is between the output terminal A3 of the inverter circuit 3 and a supply voltage terminal V2 for applying the supply voltage VSS. The control terminals SP2 of the controllable switch P2 and SN2 of the controllable switch N2 are connected to the input terminal E2 of the memory circuit 2 connected. The output terminal A3 of the inverter circuit 3 is to an input side of the inverter circuit 4 connected.

Die Inverterschaltung 4 enthält einen aktivierbaren Inverter 5. Der aktivierbare Inverter 5 umfasst einen steuerbaren Schalter P3, der als ein p-Kanal-Transistor ausgebildet ist, einen steuerbaren Schalter N3, der als ein n-Kanal-Transistor ausgebildet ist, und einen steuerbaren Schalter N4, der als ein n-Kanal-Transistor ausgebildet ist. Der steuerbare Schalter P3 ist zwischen einen Versorgungsspannungsanschluss V1 zum Anlegen einer Versorgungsspannung VDD und den Ausgangsanschluss A2 der Speicherschaltung 2 geschaltet. Die steuerbaren Schalter N3 und N4 sind in Reihe zwischen den Ausgangsanschluss A2 der Speicherschaltung 2 und einen Versorgungsspannungsanschluss V2 zum Anlegen einer Versorgungsspannung VSS geschaltet. Die Steueranschlüsse SP3 des steuerbaren Schalters P3 und SN3 des steuerbaren Schalters N3 sind mit dem Ausgangsanschluss A3 der Inverterschaltung 3 verbunden.The inverter circuit 4 contains an activatable inverter 5 , The activatable inverter 5 comprises a controllable switch P3, which is formed as a p-channel transistor, a controllable switch N3, which is formed as an n-channel transistor, and a controllable switch N4, which is formed as an n-channel transistor. The controllable switch P3 is between a supply chip terminal V1 for applying a supply voltage VDD and the output terminal A2 of the memory circuit 2 connected. The controllable switches N3 and N4 are connected in series between the output terminal A2 of the memory circuit 2 and a supply voltage terminal V2 for applying a supply voltage VSS connected. The control terminals SP3 of the controllable switches P3 and SN3 of the controllable switch N3 are connected to the output terminal A3 of the inverter circuit 3 connected.

Die Speicherschaltung 2 umfasst des Weiteren einen steuerbaren Schalter P4, der als ein p-Kanal-Transistor ausgebildet ist, und einen steuerbaren Schalter P5, der ebenfalls als ein p-Kanal-Transistor ausgebildet ist. Die beiden steuerbaren Schalter P4 und P5 sind in Reihe zwischen einen Versorgungsspannungsanschluss V1 zum Anlegen einer Versorgungsspannung VDD und den Ausgangsanschluss A2 der Speicherschaltung 2 ge schaltet. Ein Steueranschluss SP4 des steuerbaren Schalters P4 ist mit dem Ausgangsanschluss A3 der Inverterschaltung 3 verbunden.The memory circuit 2 further comprises a controllable switch P4, which is formed as a p-channel transistor, and a controllable switch P5, which is also formed as a p-channel transistor. The two controllable switches P4 and P5 are connected in series between a supply voltage connection V1 for applying a supply voltage VDD and the output connection A2 of the storage circuit 2 switched on. A control terminal SP4 of the controllable switch P4 is connected to the output terminal A3 of the inverter circuit 3 connected.

Die Funktionsweise der in 5 gezeigten Schaltungsanordnung wird im folgenden anhand des Signalflussdiagramms der 6 beschrieben. Bei der Herstellung der in 5 gezeigten integrierten Schaltung wird in der programmierbaren Schaltungseinheit ein Programmierzustand "0" gespeichert, indem das Fuse-Element F nicht durchtrennt wird. Der Programmierzustand "1" lässt sich abspeichern, indem bei der Herstellung der integrierten Schaltung der Draht des als Schmelzsicherung ausgebildeten Fuse-Elements F, beispielsweise mittels eines Laserstrahls, durchtrennt wird.The functioning of in 5 The circuit arrangement shown below is based on the signal flow diagram of the 6 described. In the production of in 5 As shown in the integrated circuit shown in the programmable circuit unit is a programming state "0" stored by the fuse element F is not severed. The programming state "1" can be stored by the wire of the fuse element designed as a fuse F, for example by means of a laser beam, cut in the manufacture of the integrated circuit.

Zum Auslesen des einprogrammierten Zustands der programmierbaren Schaltungseinheit und zum Zwischenspeichern des Programmierzustandes in der Speicherschaltung 2 muss die programmierbare Schaltungseinheit zunächst initialisiert werden. Dazu wird zunächst während einer Zeitphase T0 der Steueranschluss SP1 des steuerbaren Schalters P1 mit einem niedrigen Pegel des Aktivierungssignals PCH angesteuert. Das Aktivierungssignal SET steuert den Steueranschluss SN1 des steuerbaren Schalters N1 ebenfalls mit einem niedrigen Pegel an. Dadurch befindet sich der steuerbare Schalter P1 in einem leitenden Zustand und der steuerbare Schalter N1 in einem sperrenden Zustand. Der Ausgangsanschluss A1 lädt sich somit auf ein hohes Potential ("1"-Zustand) auf (Initialisierungszustand).For reading out the programmed state of the programmable circuit unit and for temporarily storing the programming state in the memory circuit 2 the programmable circuit unit must first be initialized. For this purpose, the control terminal SP1 of the controllable switch P1 is initially driven with a low level of the activation signal PCH during a time phase T0. The activation signal SET also drives the control terminal SN1 of the controllable switch N1 at a low level. As a result, the controllable switch P1 is in a conducting state and the controllable switch N1 is in a blocking state. The output terminal A1 thus charges to a high potential ("1" state) (initialization state).

Der Programmierzustand "1" wird von der Inverterschaltung 3 invertiert, wodurch der steuerbare Schalter P4 leitend gesteuert wird. Durch den niedrigen Pegel des Aktivierungssig nals SET ist der steuerbare Schalter P5 ebenfalls leitend gesteuert, so dass am Ausgangsanschluss A2 der Speicherschaltung 2 ein Speicherzustand "1" auftritt. Die integrierte Schaltung ist jetzt für den eigentlichen Auslesevorgang der programmierbaren Schaltungseinheit 1 initialisiert.The programming state "1" is from the inverter circuit 3 inverted, whereby the controllable switch P4 is turned on. Due to the low level of the activating signal SET, the controllable switch P5 is likewise conductively controlled, so that at the output terminal A2 of the memory circuit 2 a memory state "1" occurs. The integrated circuit is now for the actual readout of the programmable circuit unit 1 initialized.

Zum Auslesen des Programmierzustandes des programmierbaren Elements F der programmierbaren Schaltungseinheit 1 wird nachfolgend das Aktivierungssignal PCH mit einem hohen Pegel an die Steueranschlüsse SP1 des steuerbaren Schalters P1 und SN4 des steuerbaren Schalters N4 angelegt. Des Weiteren liegt an den Steueranschlüssen SN1 des steuerbaren Schalters N1 und SP5 des steuerbaren Schalters P5 das Aktivierungssignal SET weiterhin mit einem niedrigen Pegel an. Durch den hohen Pegel des Aktivierungssignals PCH wird der steuerbare Schalter N4 in den leitenden Zustand geschaltet. Damit ist der aktivierbare Inverter 5 aktiviert. Zur Zeitphase T1 wird daher der Zustand eines an dem Ausgangsanschluss A1 erzeugten Programmierzustandssignals PZS in der Speicherschaltung 2 zwischengespeichert.For reading out the programming state of the programmable element F of the programmable circuit unit 1 Subsequently, the activation signal PCH is applied with a high level to the control terminals SP1 of the controllable switch P1 and SN4 of the controllable switch N4. Furthermore, the activation signal SET continues to be at a low level at the control terminals SN1 of the controllable switch N1 and SP5 of the controllable switch P5. Due to the high level of the activation signal PCH, the controllable switch N4 is switched to the conducting state. This is the activatable inverter 5 activated. At the time phase T1, therefore, the state of a programming state signal PZS generated at the output terminal A1 in the memory circuit 2 cached.

Zur Zeitphase T2 wird das Aktivierungssignal SET mit einem hohen Pegel an den Steueranschluss SN1 und den Steueranschluss SP5 angelegt, während das Aktivierungssignal PCH den hohen Pegel beibehält. Dadurch wird der steuerbare Schalter N1 leitend gesteuert und der steuerbare Schalter P5 gesperrt gesteuert. Im Falle eines nicht geblasenen (nicht durchtrennten) programmierbaren Elements F fließt die Ladung, auf die der Ausgangsanschluss A1 während des Initialisierungsvorganges aufgeladen worden ist, über den leitend gesteuerten steuerbaren Schalter N1 und den intakten Schmelzdraht zum Versorgungsspannungsanschluss V2 ab. Im Falle eines geblasenen (durchtrennten) programmierbaren Elements F verbleibt der Ausgangsanschluss A1 weiterhin auf dem hohen Potential, auf das er während der Initialisierungsphase aufgeladen worden ist. Da der aktivierbare Inverter 5 während der Zeitphase T2 deaktiviert worden ist, wird der am Eingangsanschluss E2 anliegende Zustand des Programmierzustandssignals PZS in die Speicherschaltung 2 eingelesen und dort als Speicherzustand zwischengespeichert. Am Ausgangsanschluss A2 tritt das Ausgangssignal FLAT in Abhängigkeit von dem zwischengespeicherten Speicherzustand mit einem hohen oder niedrigen Pegel auf.At the time T2, the high-level enable signal SET is applied to the control terminal SN1 and the control terminal SP5, while the enable signal PCH maintains the high level. As a result, the controllable switch N1 is conductively controlled and the controllable switch P5 is locked. In the case of a non-blown (not severed) programmable element F, the charge to which the output terminal A1 has been charged during the initialization process flows via the conductively controlled controllable switch N1 and the intact fuse wire to the supply voltage terminal V2. In the case of a blown (severed) programmable element F, the output terminal A1 continues to remain at the high potential to which it has been charged during the initialization phase. As the activatable inverter 5 has been deactivated during the time phase T2, the state of the programming state signal PZS applied to the input terminal E2 is transferred to the memory circuit 2 read in and cached there as a memory state. At the output terminal A2, the output signal FLAT occurs at a high or low level depending on the latched memory state.

1010
Speichereinheitstorage unit
2020
Speichereinheitstorage unit
3030
Speichereinheitstorage unit
4040
Vergleichereinheitcomparator unit
5050
Vergleichereinheitcomparator unit
5151
Vergleicherschaltungcomparator
5252
Vergleicherschaltungcomparator
6060
Auswerteschaltungevaluation
7070
Auswahlschaltungselect circuit
100100
SpeicherzellenfeldMemory cell array
200200
Spaltendecodercolumn decoder
300300
Zeilendecoderrow decoder
400400
Adressregisteraddress register
500500
Steuerschaltungcontrol circuit
ADSADS
Adresssignaladdress signal
ATAT
Auswahltransistorselection transistor
AWSAWS
Auswertesignalevaluation signal
BLBL
Bitleitungbit
BLABLA
Bitleitungsadressebit line
BLrBLr
redundante Bitleitungredundant bit
Ee
programmierbares Elementprogrammable element
ERSERS
Ausgangssignal der Vergleichereinheit 50 Output signal of the comparator unit 50
FLATFLAT
Ausgangsdatum der Speichereinheiten 10 Starting date of the storage units 10
HSHS
Vergleichssignalcomparison signal
PP
Programmierschaltungprogramming circuit
PCH,PCH,
SET SteuersignaleSET control signals
PDPD
Ausgangsdatum der Speichereinheiten 20 und 30 Starting date of the storage units 20 and 30
RDRD
Lesesignalread signal
SCSC
Speicherkondensatorstorage capacitor
SESE
Speichereinheitstorage unit
STST
Speicherschaltungmemory circuit
SZSZ
Speicherzellememory cell
SZrSZ
redundante Speicherzelleredundant memory cell
WLWL
Wortleitungwordline
WLAWLA
WortleitungsadresseWord line address
WLrWLr
redundante Wortleitungredundant wordline

Claims (17)

Integrierter Halbleiterspeicher zur Programmierung eines Programmierzustands – mit mehreren ersten Speichereinheiten (10a, ..., 10h) zur Speicherung jeweils eines ersten Datums mit einem ersten oder zweiten Zustand mit jeweils einem Ausgangsanschluss (A10a, ..., A10h) zur Erzeugung des gespeicherten ersten Datums (FLAT0, ..., FLAT7), – mit einer zweiten Speichereinheit (20, 30) zur Speicherung eines zweiten Datums (PD) mit einem ersten oder zweiten Zustand und mit einem Ausgangsanschluss (A20, A30) zur Erzeugung des gespeicherten zweiten Datums (PD), – mit einer Vergleichereinheit (40, 50) mit mehreren ersten Eingangsanschlüssen (EV1a, ..., EV1h) zum Anlegen der ersten Daten (FLAT0, ..., FLAT7), mit einem zweiten Eingangsanschluss (EV2) zum Anlegen des zweiten Datums (PD) und einem Ausgangsanschluss (A40, A50) zur Erzeugung eines Vergleichssignals (ERS), wobei jeweils einer der mehreren ersten Eingangsanschlüsse (EV1a, ..., EV1h) der Vergleichereinheit mit einem der Ausgangsanschlüsse der mehreren ersten Speichereinheiten (A10a, ..., A10h) verbunden ist, – bei dem die Vergleichereinheit (40, 50) derart ausgebildet ist, dass sie eine Anzahl der ersten Daten (FLAT0, ..., FLAT7), die an den Ausgangsanschlüssen (A10a, ..., A10h) der ersten Speichereinheiten (10a, ..., 10h) jeweils mit dem ersten Zustand erzeugt worden sind, feststellt und die festgestellte Anzahl mit dem Zustand des zweiten Datums (PD) vergleicht und in Abhängigkeit von dem Vergleich einen ersten oder zweiten Zustand des Vergleichssignals (ERS) erzeugt, – bei dem aus jeder der ersten Speichereinheiten (10a, ..., 10h) das jeweilig gespeicherte erste Datum (FLAT0, ..., FLAT7) in Abhängigkeit von dem Zustand des Vergleichssignals (ERS) auslesbar ist.Integrated semiconductor memory for programming a programming state - with several first memory units ( 10a , ..., 10h ) for storing in each case a first date having a first or second state, each having an output terminal (A10a,..., A10h) for generating the stored first datum (FLAT0,..., FLAT7), - having a second memory unit ( 20 . 30 ) for storing a second datum (PD) having a first or second state and having an output port (A20, A30) for generating the stored second datum (PD), - having a comparator unit ( 40 . 50 ) having a plurality of first input terminals (EV1a, ..., EV1h) for applying the first data (FLAT0, ..., FLAT7), a second input terminal (EV2) for applying the second data (PD) and an output terminal (A40, A50) for generating a comparison signal (ERS), wherein each one of the plurality of first input terminals (EV1a, ..., EV1h) of the comparator unit is connected to one of the output terminals of the plurality of first memory units (A10a, ..., A10h) the comparator unit ( 40 . 50 ) is adapted to receive a number of the first data (FLAT0, ..., FLAT7) connected to the output terminals (A10a, ..., A10h) of the first memory units ( 10a , ..., 10h ) are respectively generated with the first state, and the detected number compared with the state of the second data (PD) and depending on the comparison, a first or second state of the comparison signal (ERS) generated, - in which each of the first Storage units ( 10a , ..., 10h ) the respective stored first date (FLAT0, ..., FLAT7) is readable in dependence on the state of the comparison signal (ERS). Integrierter Halbleiterspeicher nach Anspruch 1, bei dem das in der zweiten Speichereinheit (20, 30) gespeicherte Datum (PD) aus der zweiten Speichereinheit in Abhängigkeit von dem Zustand des Vergleichssignals (ERS) auslesbar ist.Integrated semiconductor memory according to Claim 1, in which the memory device in the second memory unit ( 20 . 30 ) stored data (PD) from the second memory unit in response to the state of the comparison signal (ERS) is read out. Integrierter Halbleiterspeicher nach einem der Ansprüche 1 oder 2, – mit einer Steuerschaltung (500) zur Erzeugung eines Steuersignals (PCH, SET), – bei dem jede der ersten Speichereinheiten (10a, ..., 10h) einen Steueranschluss (S1, S2) zum Anlegen des Steuersignals (PCH, SET) aufweist, – bei dem jede der ersten Speichereinheiten (10a, ..., 10h) derart ausgebildet ist, dass bei einer Ansteuerung des jeweiligen Steueranschlusses (S1, S2) der ersten Speichereinheiten mit dem Steuersignal (PCH, SET) der Zustand des ersten Datums (FLAT0, ..., FLAT7), der in der jeweiligen der ersten Speichereinheiten abgespeichert ist, an dem jeweiligen Ausgangsanschluss (A10a, ..., A10h) der ersten Speichereinheiten erzeugt wird, – bei dem die Steuerschaltung (500) derart ausgebildet ist, dass sie in Abhängigkeit von dem Zustand des Vergleichssignals (ERS) mindestens eine der ersten Speichereinheiten (10a, ..., 10h) zum Auslesen des in der mindestens einen der ersten Speichereinheiten gespeicherten Zustands des ersten Datums (FLAT0, ..., FLAT7) mit dem Steuersignal (PCH, SET) ansteuert.Integrated semiconductor memory according to one of Claims 1 or 2, - having a control circuit ( 500 ) for generating a control signal (PCH, SET), in which each of the first memory units ( 10a , ..., 10h ) has a control terminal (S1, S2) for applying the control signal (PCH, SET), - in which each of the first memory units ( 10a , ..., 10h ) is designed such that when a control of the respective control terminal (S1, S2) of the first memory units with the control signal (PCH, SET), the state of the first date (FLAT0, ..., FLAT7), in the respective one of the first memory units is stored at the respective output terminal (A10a, ..., A10h) of the first memory units is generated, - in which the control circuit ( 500 ) is designed such that, depending on the state of the comparison signal (ERS), it comprises at least one of the first memory units ( 10a , ..., 10h ) for reading out the state of the first datum (FLAT0, ..., FLAT7) stored in the at least one of the first memory units with the control signal (PCH, SET). Integrierter Halbleiterspeicher nach Anspruch 3, bei dem die Steuerschaltung (500) derart ausgebildet ist, dass sie in Abhängigkeit von dem Zustand des Vergleichssignals (ERS) die zweite Speichereinheit (20, 30) zum Auslesen des zweiten Datums (PD) mit dem Steuersignal (PCH, SET) ansteuert.Integrated semiconductor memory according to Claim 3, in which the control circuit ( 500 ) is designed such that, depending on the state of the comparison signal (ERS), the second memory unit ( 20 . 30 ) for reading the second date (PD) with the control signal (PCH, SET). Integrierter Halbleiterspeicher nach einem der Ansprüche 1 bis 4, – bei dem die Vergleichereinheit (40, 50) derart ausgebildet ist, dass sie das Vergleichssignal (ERS) mit dem ersten Zustand erzeugt, wenn sie feststellt, dass die Anzahl der ersten Daten (FLAT0, ..., FLAT7), die jeweils den ersten Zustand aufweisen, gerade ist und das zweite Datum (PD) den ersten Zustand aufweist, – bei dem die Vergleichereinheit (40, 50) derart ausgebildet ist, dass sie das Vergleichssignal (ERS) mit dem zweiten Zustand erzeugt, wenn sie feststellt, dass die Anzahl der ersten Daten (FLAT0, ..., FLAT7), die jeweils den ersten Zustand aufweisen, ungerade ist und das zweite Datum (PD) den ersten Zustand aufweist, – bei dem die Vergleichereinheit (40, 50) derart ausgebildet ist, dass sie das Vergleichssignal (ERS) mit dem zweiten Zustand erzeugt, wenn sie feststellt, dass die Anzahl der ersten Daten (FLAT0, ..., FLAT7), die jeweils den ersten Zustand aufweisen, gerade ist und das zweite Datum (PD) den zweiten Zustand aufweist, – bei dem die Vergleichereinheit (40, 50) derart ausgebildet ist, dass sie das Vergleichssignal (ERS) mit dem ersten Zustand erzeugt, wenn sie feststellt, dass die Anzahl der ersten Daten (FLAT0, ..., FLAT7), die jeweils den ersten Zustand aufweisen, ungerade ist und das zweite Datum (PD) den zweiten Zustand aufweist.Integrated semiconductor memory according to one of Claims 1 to 4, - in which the comparator unit ( 40 . 50 ) is adapted to generate the comparison signal (ERS) having the first state when it determines that the number of first data (FLAT0, ..., FLAT7) each having the first state is even and the second one Date (PD) has the first state, - in which the comparator unit ( 40 . 50 ) is designed such that it with the comparison signal (ERS) with the second state, when it determines that the number of the first data (FLAT0, ..., FLAT7) each having the first state is odd and the second data (PD) has the first state, - wherein the Comparator unit ( 40 . 50 ) is adapted to generate the comparison signal (ERS) having the second state when it determines that the number of first data (FLAT0, ..., FLAT7) each having the first state is even and the second one Date (PD) has the second state, - in which the comparator unit ( 40 . 50 ) is adapted to generate the comparison signal (ERS) having the first state when it determines that the number of first data (FLAT0, ..., FLAT7) each having the first state is odd and the second one Date (PD) has the second state. Integrierter Halbleiterspeicher nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem die Vergleichereinheit mindestens ein exklusives OR- oder NOR-Gatter (40, 51, 52) aufweist.Integrated semiconductor memory according to one of Claims 1 to 5, in which the comparator unit contains at least one exclusive OR or NOR gate ( 40 . 51 . 52 ) having. Integrierter Halbleiterspeicher nach einem der Ansprüche 1 bis 6, – bei dem jede der ersten Speichereinheiten (10a, ..., 10h) eine programmierbare Schaltungseinheit (1), in die ein Programmierzustand einprogrammierbar ist, und einen Ausgangsanschluss (A1) zur Erzeugung eines Programmierzustandssignals (PZS) in Abhängigkeit von dem einprogrammierten Programmierzustand aufweist, – bei dem jede der ersten Speichereinheiten (10a, ..., 10h) eine Speicherschaltung (2) zur Speicherung eines ersten oder zweiten Speicherzustands mit einem Eingangsanschluss (E2) zum Anlegen eines Eingangssignals (PZS) und einen Ausgangsanschluss (A2) zur Erzeugung eines der ersten Daten (FLAT0, ..., FLAT7) aufweist, – bei dem der Ausgangsanschluss (A1) der programmierbaren Schaltungseinheit (1) mit dem Eingangsanschluss (E2) der Speicherschaltung (2) verbunden ist, – bei dem die Speicherschaltung (2) derart ausgebildet ist, dass nach einer Ansteuerung des Eingangsanschlusses (E2) der Speicherschaltung mit dem Programmierzustandssignal (PZS) der erste oder zweite Speicherzustand in der Speicherschaltung (2) speicherbar ist.Integrated semiconductor memory according to one of Claims 1 to 6, in which each of the first memory units ( 10a , ..., 10h ) a programmable circuit unit ( 1 ), in which a programming state is programmable, and an output terminal (A1) for generating a programming state signal (PZS) in dependence on the programmed programming state, - in which each of the first memory units ( 10a , ..., 10h ) a memory circuit ( 2 ) for storing a first or second memory state with an input terminal (E2) for applying an input signal (PZS) and an output terminal (A2) for generating one of the first data (FLAT0, ..., FLAT7), - in which the output terminal (E2) A1) of the programmable circuit unit ( 1 ) with the input terminal (E2) of the memory circuit ( 2 ), - in which the memory circuit ( 2 ) is designed such that, after a triggering of the input terminal (E2) of the memory circuit with the programming state signal (PZS), the first or second memory state in the memory circuit (PZS) 2 ) is storable. Integrierter Halbleiterspeicher nach Anspruch 7, – bei dem die Speicherschaltung (2) eine erste Inverterschaltung (3) und eine zweite Inverterschaltung (4) aufweist, die jeweils zwischen einen ersten Versorgungsspannungsanschluss (V1) und einen zweiten Versorgungsspannungsanschluss (V2) geschaltet sind, – bei dem die erste und zweite Inverterschaltung in einer Reihenschaltung zwischen den Eingangsanschluss (E2) der Speicherschaltung und den Ausgangsanschluss (A2) der Speicherschaltung geschaltet ist, – bei dem der Ausgangsanschluss (A2) der Speicherschaltung auf den Eingangsanschluss (E2) der Speicherschaltung rückgekoppelt ist.Integrated semiconductor memory according to Claim 7, - in which the memory circuit ( 2 ) a first inverter circuit ( 3 ) and a second inverter circuit ( 4 ), which are each connected between a first supply voltage terminal (V1) and a second supply voltage terminal (V2), - in which the first and second inverter circuit connected in series between the input terminal (E2) of the memory circuit and the output terminal (A2) of the memory circuit is, - in which the output terminal (A2) of the memory circuit is fed back to the input terminal (E2) of the memory circuit. Integrierter Halbleiterspeicher nach Anspruch 8, – bei dem die erste Inverterschaltung (3) einen ersten Transistor (P2) mit einem Steueranschluss (SP2) und einen zweiten Transistor (N2) mit einem Steueranschluss (SN2) umfasst, – bei dem der erste Transistor (P2) der ersten Inverterschaltung zwischen den ersten Versorgungsspannungsanschluss und einen Ausgangsanschluss (A3) der ersten Inverterschaltung (3) geschaltet ist und der Steueranschluss (SP2) des ersten Transistors der ersten Inverterschaltung mit dem Ausgangsanschluss (A1) der programmierbaren Schaltungseinheit verbunden ist, – bei dem der zweite Transistor (N2) der ersten Inverterschaltung (3) zwischen den zweiten Versorgungsspannungsanschluss (V2) und den Ausgangsanschluss (A3) der ersten Inverterschaltung (3) geschaltet ist und der Steueranschluss (SN2) des zweiten Transistors (N2) der ersten Inverterschaltung (3) mit dem Ausgangsanschluss (A1) der programmierbaren Schaltungseinheit (1) verbunden ist.Integrated semiconductor memory according to Claim 8, - in which the first inverter circuit ( 3 ) comprises a first transistor (P2) having a control terminal (SP2) and a second transistor (N2) having a control terminal (SN2), - in which the first transistor (P2) of the first inverter circuit is connected between the first supply voltage terminal and an output terminal (A3) the first inverter circuit ( 3 ) and the control terminal (SP2) of the first transistor of the first inverter circuit is connected to the output terminal (A1) of the programmable circuit unit, - in which the second transistor (N2) of the first inverter circuit ( 3 ) between the second supply voltage terminal (V2) and the output terminal (A3) of the first inverter circuit ( 3 ) and the control terminal (SN2) of the second transistor (N2) of the first inverter circuit ( 3 ) with the output terminal (A1) of the programmable circuit unit ( 1 ) connected is. Integrierter Halbleiterspeicher nach einem der Ansprüche 8 oder 9, – bei dem die zweite Inverterschaltung (4) einen aktivierbaren Inverter (5) mit einem Steueranschluss (SN4) zum Anlegen eines ersten Aktivierungssignals (PCH) zum Aktivieren des aktivierbaren Inverters (5) umfasst, – bei dem der aktivierbare Inverter (5) eingangsseitig mit dem Ausgangsanschluss (A3) der ersten Inverterschaltung (3) verbunden ist, – bei dem der aktivierbare Inverter (5) ausgangsseitig mit dem Ausgangsanschluss (A10) der jeweiligen ersten Speichereinheit (10a, ..., 10h) verbunden ist.Integrated semiconductor memory according to one of Claims 8 or 9, - in which the second inverter circuit ( 4 ) an activatable inverter ( 5 ) with a control connection (SN4) for applying a first activation signal (PCH) for activating the activatable inverter ( 5 ), in which the activatable inverter ( 5 ) on the input side with the output terminal (A3) of the first inverter circuit ( 3 ), - in which the activatable inverter ( 5 ) on the output side with the output terminal (A10) of the respective first memory unit ( 10a , ..., 10h ) connected is. Integrierter Halbleiterspeicher nach Anspruch 10, – bei dem der aktivierbare Inverter (5) einen ersten Transistor (P3), einen zweiten Transistor (N3) und einen dritten Transistor (N4) mit jeweils einem Steueranschluss (SP3, SN3, SN4) umfasst, – bei dem der erste Transistor (P3) des aktivierbaren Inverters (5) zwischen den ersten Versorgungsspannungsanschluss (V1) und den Ausgangsanschluss (A10) der jeweiligen ersten Speichereinheit geschaltet ist und der Steueranschluss (SP3) des ersten Transistors (P3) des aktivierbaren Inverters mit dem Ausgangsanschluss (A3) der ersten Inverterschaltung (3) verbunden ist, – bei dem der zweite Transistor (N3) und der dritte Transistor (N4) des aktivierbaren Inverters (5) in einer Reihenschaltung zwischen den Ausgangsanschluss (A10) der jeweiligen ersten Speichereinheit und den zweiten Versorgungsspannungsanschluss (V2) geschaltet ist, wobei der Steueranschluss (SN3) des zweiten Transistors des aktivierbaren Inverters mit dem Ausgangsanschluss (A3) der ersten Inverterschaltung (3) verbunden ist und der Steueranschluss (SN4) des dritten Transistors (N4) des aktivierbaren Inverters (5) von dem ersten Aktivierungssignal (PCH) ansteuerbar ist.Integrated semiconductor memory according to Claim 10, - in which the activatable inverter ( 5 ) comprises a first transistor (P3), a second transistor (N3) and a third transistor (N4) each having a control terminal (SP3, SN3, SN4), - in which the first transistor (P3) of the activatable inverter (P3) 5 ) is connected between the first supply voltage terminal (V1) and the output terminal (A10) of the respective first memory unit and the control terminal (SP3) of the first transistor (P3) of the activatable inverter is connected to the output terminal (A3) of the first inverter circuit ( 3 ) connected is, In which the second transistor (N3) and the third transistor (N4) of the activatable inverter ( 5 ) is connected in a series connection between the output terminal (A10) of the respective first memory unit and the second supply voltage terminal (V2), wherein the control terminal (SN3) of the second transistor of the activatable inverter is connected to the output terminal (A3) of the first inverter circuit ( 3 ) and the control terminal (SN4) of the third transistor (N4) of the activatable inverter ( 5 ) can be controlled by the first activation signal (PCH). Integrierter Halbleiterspeicher nach einem der Ansprüche 8 bis 11, – bei dem die zweite Inverterschaltung (4) einen ersten Transistor (P4) mit einem Steueranschluss (SP4) und einen zweiten Transistor (P5) mit einem Steueranschluss (SP5) umfasst, – bei dem der erste und zweite Transistor (P4, P5) der zweiten Inverterschaltung (4) in einer Reihenschaltung zwischen den ersten Versorgungsspannungsanschluss (V1) und den Ausgangsanschluss (A10) der jeweiligen ersten Speichereinheit geschaltet sind, wobei der Steueranschluss (SP4) des ersten Transistors (P4) der zweiten Inverterschaltung mit dem Ausgangsanschluss (A3) der ersten Inverterschaltung (3) verbunden ist und der Steueranschluss (SP5) des zweiten Transistors (P5) der zweiten Inverterschaltung von einem zweiten Aktivierungssignal (SET) ansteuerbar ist.Integrated semiconductor memory according to one of Claims 8 to 11, - in which the second inverter circuit ( 4 ) comprises a first transistor (P4) with a control terminal (SP4) and a second transistor (P5) with a control terminal (SP5), - in which the first and second transistors (P4, P5) of the second inverter circuit ( 4 ) are connected in a series connection between the first supply voltage terminal (V1) and the output terminal (A10) of the respective first memory unit, wherein the control terminal (SP4) of the first transistor (P4) of the second inverter circuit is connected to the output terminal (A3) of the first inverter circuit ( 3 ) is connected and the control terminal (SP5) of the second transistor (P5) of the second inverter circuit by a second activation signal (SET) can be controlled. Integrierter Halbleiterspeicher nach einem der Ansprüche 7 bis 12, bei dem die zweite Speichereinheit (20) die programmierbare Schaltungseinheit (1) und die Speicherschaltung (2) umfasst.Integrated semiconductor memory according to one of Claims 7 to 12, in which the second memory unit ( 20 ) the programmable circuit unit ( 1 ) and the memory circuit ( 2 ). Integrierter Halbleiterspeicher nach einem der Ansprüche 1 bis 13, – bei dem die Vergleichereinheit (50) eine erste Vergleicherschaltung (51) zur Erzeugung eines ersten Vergleichssignals (HS) und eine zweite Vergleicherschaltung (52) zur Erzeugung des Ausgangssignals (ERS) der Vergleichereinheit (50) umfasst, – bei dem das erste Vergleichssignal (HS) der zweiten Speicherschaltung (30) eingangsseitig zugeführt wird, – bei dem das zweite Datum in der zweiten Speicherschaltung (30) in Abhängigkeit von dem Vergleichssignal (HS) speicherbar ist, – bei dem der zweiten Vergleicherschaltung (52) das in der zweiten Speicherschaltung (30) gespeicherte zweite Datum (PD) und das erste Vergleichssignal (HS) eingangsseitig zugeführt werden.Integrated semiconductor memory according to one of Claims 1 to 13, - in which the comparator unit ( 50 ) a first comparator circuit ( 51 ) for generating a first comparison signal (HS) and a second comparator circuit ( 52 ) for generating the output signal (ERS) of the comparator unit ( 50 ), in which the first comparison signal (HS) of the second memory circuit ( 30 ) is supplied on the input side, - in which the second date in the second memory circuit ( 30 ) is storable in dependence on the comparison signal (HS), - in which the second comparator circuit ( 52 ) in the second memory circuit ( 30 ) stored second date (PD) and the first comparison signal (HS) are supplied on the input side. Integrierter Halbleiterspeicher nach Anspruch 14, – bei dem die zweite Speichereinheit als eine Kippschaltung (30) mit einem Eingangsanschluss (D) zum Anlegen des ersten Vergleichssignals (HS) und mit einem Steueranschluss (G) zum Anlegen des zweiten Aktivierungssignals (SET) ausgebildet ist, – bei dem die Kippschaltung (30) derart ausgebildet ist, dass bei einer Ansteuerung des Steueranschlusses (G) der Kippschaltung mit dem zweiten Aktivierungssignal (SET) das zweite Datum (PD) in der Kippschaltung (30) in Abhängigkeit von einem Zustand des ersten Vergleichssignals (HS) gespeichert wird.Integrated semiconductor memory according to Claim 14, - in which the second memory unit is in the form of a flip-flop circuit ( 30 ) is formed with an input terminal (D) for applying the first comparison signal (HS) and with a control terminal (G) for applying the second activation signal (SET), - in which the flip-flop ( 30 ) is designed such that upon actuation of the control terminal (G) of the flip-flop circuit with the second activation signal (SET) the second date (PD) in the flip-flop ( 30 ) is stored in response to a state of the first comparison signal (HS). Integrierter Halbleiterspeicher nach Anspruch 15, bei dem die erste und zweite Vergleicherschaltung jeweils als ein exklusives OR- oder ein exklusives NOR-Gatter (51, 52) ausgebildet ist.The semiconductor integrated circuit memory of claim 15, wherein the first and second comparator circuits are each implemented as an exclusive OR or an exclusive NOR gate ( 51 . 52 ) is trained. Integrierter Halbleiterspeicher nach einem der Ansprüche 1 bis 16, – mit einem Speicherzellenfeld (100) mit Speicherzellen (SZ), die entlang von Wortleitungen (WL) und Bitleitungen (BL) angeordnet sind, – mit einem Adressanschluss (A400) zum Anlegen von Adressdaten (BLA, WLA), denen jeweils eine der Wort- und Bitleitungen zugeordnet ist, – mit einer Auswerteschaltung (60) mit einer ersten Eingangsseite zur Zuführung der in den ersten Speichereinheiten (10a, ..., 10h) gespeicherten ersten Daten (FLAT0, ..., FLAT7), mit einer zweiten Eingangsseite zur Zuführung der an den Adressanschluss angelegten Adressdaten (BLA, WLA) und einem Ausgangsanschluss (A60) zur Erzeugung eines Auswertesignals (AWS), – mit einer Auswahlschaltung (70) zur Auswahl einer der Wort- oder Bitleitungen für einen Speicherzugriff auf eine der Speicherzellen, die an die ausgewählte der Wort- und Bitleitungen angeschlossen ist, – bei dem die Auswerteschaltung (60) derart ausgebildet ist, dass sie die Adressdaten (BLA, WLA) mit den ersten Daten (FLAT0, ..., FLAT7) vergleicht und an dem Ausgangsanschluss (A60) der Auswerteschaltung (60) das Auswertesignal (AWS) erzeugt, wenn die Auswerteschaltung (60) feststellt, dass die Adressdaten (BLA, WLA) mit den ersten Daten (FLAT0, ..., FLAT7) übereinstimmen, – bei dem die Auswahlschaltung (70) derart ausgebildet ist, dass sie eine andere der Wort- und Bitleitungen (WLr, BLr) als die den Adressdaten (BLA, WLA) zugeordnete Wort- und Bitleitung (WL, BL) auswählt, wenn die Auswahlschaltung mit dem Auswertesignal (AWS) angesteuert wird.Integrated semiconductor memory according to one of Claims 1 to 16, - having a memory cell array ( 100 ) with memory cells (SZ) arranged along word lines (WL) and bit lines (BL), - with an address terminal (A400) for applying address data (BLA, WLA) to each of which one of the word and bit lines is assigned, - with an evaluation circuit ( 60 ) having a first input side for supplying the in the first memory units ( 10a , ..., 10h ) having a second input side for supplying the address data applied to the address terminal (BLA, WLA) and an output terminal (A60) for generating an evaluation signal (AWS), - with a selection circuit (FLAT0, ..., FLAT7) 70 ) for selecting one of the word or bit lines for a memory access to one of the memory cells, which is connected to the selected one of the word and bit lines, - in which the evaluation circuit ( 60 ) is designed such that it compares the address data (BLA, WLA) with the first data (FLAT0, ..., FLAT7) and at the output terminal (A60) of the evaluation circuit ( 60 ) generates the evaluation signal (AWS) when the evaluation circuit (AWS) 60 ) determines that the address data (BLA, WLA) coincide with the first data (FLAT0, ..., FLAT7), - in which the selection circuit (BLA, WLA) 70 ) is adapted to select a different one of the word and bit lines (WLr, BLr) than the word and bit lines (WL, BL) associated with the address data (BLA, WLA) when the selection circuit is driven by the evaluation signal (AWS) becomes.
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