DE102006009693A1 - Apparatus for capturing an image of at least one surface of a disk-shaped object of the semiconductor industry - Google Patents

Apparatus for capturing an image of at least one surface of a disk-shaped object of the semiconductor industry Download PDF

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Chris Maurer
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Abstract

Es ist eine Vorrichtung zur Aufnahme eines Bildes von mindestens einer Oberfläche (2a, 2b) eines scheibenförmigen Objekts (2) der Halbleiterindustrie offenbart. Die Vorrichtung umfasst eine Kamera (4), ein abtastendes System (6) und ein Umlenksystem (8). Die Kamera (4) und das scheibenförmige Objekt (2) ruhen relativ zueinander. Das abtastende System (6) ist mindestens entlang der gesamten Oberfläche (2a, 2b) des scheibenförmigen Objekts (2) mit einer ersten Geschwindigkeit (V¶1¶) bewegbar angebracht. Ebenso ist das Umlenksystem (8), das Licht vom abtastenden System (6) auf die Kamera (4) lenkt, entlang der Oberfläche (2a, 2b) des scheibenförmigen Objekts (2) mit der zweiten Geschwindigkeit (V¶2¶) bewegbar. Die Geschwindigkeiten sind parallel und gleichgerichtet.A device for recording an image of at least one surface (2a, 2b) of a disk-shaped object (2) of the semiconductor industry is disclosed. The device comprises a camera (4), a scanning system (6) and a deflection system (8). The camera (4) and the disk-shaped object (2) rest relative to one another. The scanning system (6) is movably mounted at least along the entire surface (2a, 2b) of the disk-shaped object (2) at a first speed (V¶1¶). Likewise, the deflection system (8), which directs light from the scanning system (6) onto the camera (4), can be moved along the surface (2a, 2b) of the disk-shaped object (2) at the second speed (V¶2¶). The speeds are parallel and rectified.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Aufnahme eines Bildes von mindestens einer Oberfläche eines scheibenförmigen Objekts der Halbleiterindustrie.The The invention relates to a device for taking an image of at least one surface a disc-shaped Object of the semiconductor industry.

Das Deutsche Patent DE 196 04 795 offenbart eine Farbabtastvorrichtung mit einer Mehrfarb-Lichtquelle zum aufeinanderfolgenden Beleuchten eines Objekts mit Licht von N Farben, wobei jedes Licht der N Farben eine unterschiedliche Farbe zwischen etwa einer Farbe rot und einer Farbe blau aufweist. Eine Bilderzeugungsvorrichtung ist zum Fokussieren von Licht von einer beleuchteten Abtastlinie auf dem Objekt auf eine Bildregion und zum Liefern eines Bilds der beleuchteten Abtastlinie auf dem Objekt an der Bildregion vorgesehen. Eine Verschiebungseinrichtung erzeugt eine Relativverschiebung zwischen dem Objekt und der Bilderzeugungsvorrichtung und zum Erzeugen eines Durchlauf-Abtastbilds des Objekts in der Bildregion.The German patent DE 196 04 795 discloses a color scanner having a multi-color light source for sequentially illuminating an object with light of N colors, each light of the N colors having a different color between about a color red and a color blue. An imaging apparatus is provided for focusing light from an illuminated scan line on the object onto an image region and providing an image of the illuminated scan line on the object at the image region. A shifter generates a relative displacement between the object and the image forming device and for generating a sweep scan image of the object in the image region.

Das deutsche Patent 198 29 974 offenbart eine Vorrichtung zur pixel- und zeilenweisen optoelektronischen Abtastung von Vorlagen. Es ist eine Lichtquelle zur Beleuchtung einer abzutastenden Vorlage vorgesehen. Mit einem optoelektronischen Wandler erfolgt die Umwandlung des mit dem Inhalt der Vorlage modulierten Abtastlichts in ein elektrisches Signal. Ein Objektiv und mehrere Spiegel sind im Strahlengang des Abtastlichts zwischen der Vorlage und dem optoelektronischem Wandler vorgesehen. Ein verschiebbar gelagertes Kopplungselement dient zur starren Verbindung des Objektivs mit mindestens einem der Spiegel zur gemeinsamen gleichzeitigen und relativ zueinander äquidistanten Verschiebung. Dabei sind die Spiegel relativ zur Richtung des Strahlenganges des Abtastlichts derart ausgerichtet, dass das Abtastlicht in mindestens zwei Bereiche des Strahlenganges parallel verläuft. Das Kopplungselement dient zur Einstellung von unterschiedlichen Abbildungsmaßstäben, mit denen die Vorlage auf den optoelektronischen Wandler abgebildet wird und kann somit auf definierte Positionen verschiebbar sein. Das Kopplungselement trägt das Objektiv und einen der Spiegel. Ebenso sind zwei ortsfeste Umlenkspiegel vorgesehen. Das Objektiv und die Spiegel sind derart zueinander angeordnet, dass das Abtastlicht im Bereich des optoelektronischen Wandlers eine um 90° gedrehte Orientierung als im Bereich der Vorlage aufweist.The German Patent 198 29 974 discloses a device for pixel and line by line optoelectronic scanning of originals. It is a light source for illuminating a template to be scanned provided. With an optoelectronic transducer, the conversion of the with the contents of the template modulated scanning light in an electrical Signal. A lens and several mirrors are in the beam path of the Scanning light between the original and the optoelectronic transducer intended. A displaceably mounted coupling element is used for rigid connection of the lens with at least one of the mirrors to the common simultaneous and relative to each other equidistant Shift. The mirrors are relative to the direction of the beam path the scanning light aligned so that the scanning light in at least two areas of the beam path runs parallel. The coupling element is used for setting different image scales, with where the template imaged on the optoelectronic converter is and can thus be displaced to defined positions. The coupling element carries the lens and one of the mirrors. Likewise, two fixed deflecting mirrors intended. The lens and the mirrors are such to each other arranged that the scanning light in the region of the optoelectronic transducer a rotated by 90 ° Orientation than in the area of the template has.

Das deutsche Patent 199 38 694 offenbart eine Vorrichtung zum optischen Abtasten eines im wesentlichen flachen Objekts, bestehend aus einer Beleuchtungseinrichtung zur Beleuchtung des Objekts, einem in einem Abstand über dem Objekt angeordneten zeilenförmigen elektrooptischen Sensor und einem zwischen Objekt und Sensor angeordneten und zur Abbildung eines Objektbereichs auf den Sensor ausgebildeten Objektiv, wobei Objekt und Sensor relativ zueinander zur zeilenweisen optischen Abtastung des Objekts parallel zur Objektebene linear verfahrbar sind. Das Objekt ist feststehend angeordnet Die Beleuchtungseinrichtung ist, getrennt von dem Sensor, linear parallel zur Objektebene in geringem Abstand zur Objektoberfläche beweglich geführt und ist zur Beleuchtung des jeweils abzutastenden zeilenförmigen Objektbereichs ausgebildet. Die Beleuchtungseinrichtung ist während des Abtastens derart parallel mit der Sensorbewegung synchronisiert über dem Objekt verfahrbar, dass der durch das Objektiv gerade erfasste und auf den Sensor abgebildete Bereich des Objekts beleuchtet wird.The German Patent 199 38 694 discloses an apparatus for optical Scanning a substantially flat object consisting of a lighting device to illuminate the object, one at a distance above the object Object arranged line-shaped electro-optical sensor and arranged between object and sensor and for imaging an object area on the sensor Lens, where the object and the sensor relative to each other in rows optical scanning of the object parallel to the object plane linear are movable. The object is stationary The lighting device is, separated from the sensor, linear parallel to the object plane in guided slightly spaced from the object surface and is to illuminate the respective line-shaped object area to be scanned educated. The illumination device is during the scanning such synchronized with the movement of the sensor and synchronized over the object, that which has just been detected by the lens and imaged on the sensor Area of the object is illuminated.

Das U.S. Patent 5,917,588 offenbart eine Anordnung zur Inspektion der Vorderseite eines Substrats der Halbleiterindustrie. Zwischen der Oberfläche des scheibenförmigen Objekts und dem Beleuchtungs- und Aufnahmesystem liegt eine Relativbewegung vor. Hierbei wird das gesamte Aufnahmesystem bewegt. Das System ist nicht besonders platzsparend.The U.S. Patent 5,917,588 discloses an arrangement for inspecting the Front side of a semiconductor industry substrate. Between the Surface of the discoid Object and the lighting and recording system is a relative movement in front. Here, the entire recording system is moved. The system is not particularly space-saving.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Aufnahme eines Bildes von mindestens einer Oberfläche eines scheibenförmigen Objekts der Halbleiterindustrie zu schaffen, die eine hohe Auflösung erreicht und sich dabei auf ein Bauraumminimum beschränkt.Of the Invention is based on the object, a device for receiving an image of at least one surface of a disk-shaped object the semiconductor industry, which achieves high resolution and limited to a minimum installation space.

Die objektive Aufgabe wird durch eine Vorrichtung zur Aufnahme eines Bildes von mindestens einer Oberfläche eines scheibenförmigen Objekts der Halbleiterindustrie erzielt, die die Merkmale des Patentanspruchs 1 aufweist.The objective task is performed by a device for receiving a Image of at least one surface of a disc-shaped object of Semiconductor industry achieves the characteristics of the claim 1 has.

Die Vorrichtung zur Aufnahme eines Bildes von mindestens einer Oberfläche eines scheibenförmigen Objekts der Halbleiterindustrie ist mit einer Kamera, einem abtastenden System und einem Umlenksystem versehen. Die Kamera und das scheibenförmige Objekt ruhen relativ zueinander. Das abtastende System ist mindestens entlang der gesamten Oberfläche des scheibenförmigen Objekts mit der ersten Geschwindigkeit bewegbar. Das Umlenksystem lenkt das Licht vom abtastenden System auf die Kamera, wobei das Umlenksystem entlang der Oberfläche des scheibenförmigen Objekts mit der zweiten Geschwindigkeit bewegbar angebracht ist. Die erste Geschwindigkeit ist parallel und gleichgerichtet mit der zweiten Geschwindigkeit.The Apparatus for capturing an image of at least one surface of a discoid Object of the semiconductor industry is with a camera, a scanning System and a deflection system provided. The camera and the disc-shaped object rest relative to each other. The scanning system is at least along the entire surface of the disc-shaped Object movable at the first speed. The redirecting system redirects the light from the scanning system to the camera, with the Deflection system along the surface of the disc-shaped Object is movably mounted at the second speed. The first speed is parallel and rectified with the second speed.

Das abtastende System mit einer ersten Geschwindigkeit V1 bewegbar ist, und dass das Umlenksystem mit einer zweiten Geschwindigkeit V2 bewegbar ist, die derart aufeinander abgestimmt sind, dass eine Kompensation der optischen Weglänge erzielbar ist. Die erste Geschwindigkeit V1 ist doppelt so groß wie die zweite Geschwindigkeit V2.The scanning system is movable at a first speed V 1 , and that the deflection system is movable at a second velocity V 2 which are coordinated such that a compensation of the optical path length can be achieved. The first speed V 1 is twice as large as the second speed V 2 .

Das abtastende System ist ebenfalls mit Beleuchtungskomponenten, für die Beleuchtung eines jeweils abzubildenden Abschnitts des scheibenförmigen Objekts versehen. Das abtastende System lenkt ebenfalls die Strahlung auf das Umlenksystem um. Das Umlenksystem bewirkt eine Umlenkung der Strahlung um 180°.The scanning system is also with lighting components, for lighting a respective portion of the disc-shaped object to be imaged Mistake. The scanning system also directs the radiation the redirection system. The deflection system causes a deflection of the radiation around 180 °.

Das abtastende System ist auf einem ersten Schlitten und das Umlenksystem auf einem zweiten Schlitten angebracht, wobei der erste Schlitten und der zweite Schlitten über separate Antriebe ansteuerbar sind. Weitere Anordnungen der Antriebe oder des Antriebs bezüglich des ersten und des zweiten Schlittens können den Unteransprüchen entnommen werden.The scanning system is on a first slide and the deflection system mounted on a second carriage, the first carriage and the second sled over separate drives are controlled. Further arrangements of the drives or the drive with respect to of the first and second carriage can be taken from the subclaims become.

Die Beleuchtung am abtastenden System ist als eine linienförmige Beleuchtung ausgebildet. Die linienförmige Beleuchtung ist mindestens eine LED-Zeile oder eine Leuchtstoffröhre. Das abtastende System und das Umlenksystem kann höchstens die Breite des scheibenförmigen Objekts haben. Die Kamera ist eine CCD-Farbkamera mit flächig oder zeilenförmig angeordneten Pixeln.The Lighting on the scanning system is considered a linear lighting educated. The linear Lighting is at least one LED line or fluorescent tube. The scanning system and the deflection system can not exceed the width of the disc-shaped object to have. The camera is a CCD color camera arranged with flat or line-shaped Pixels.

Die Vorrichtung dient zur Aufnahme eines Bildes der gesamten Oberfläche der Vorderseite und/oder der Rückseite eines scheibenförmigen Objekts.The Device serves to take a picture of the entire surface of the Front and / or the back a disc-shaped Object.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung können den Unteransprüchen entnommen werden.Further advantageous embodiments of the invention can be taken from the subclaims.

In der Zeichnung ist der Erfindungsgegenstand schematisch dargestellt und wird anhand der Figuren nachfolgend beschrieben. Dabei zeigen:In the drawing of the subject invention is shown schematically and will be described below with reference to the figures. Showing:

1 eine schematische Ansicht der Vorrichtung zur Aufnahme eines Bildes von mindestens einer Oberfläche eines scheibenförmigen Objekts der Halbleiterindustrie 1 a schematic view of the device for receiving an image of at least one surface of a disc-shaped object of the semiconductor industry

2 eine schematische Darstellung der Ansicht aus 1, die eine Ausführungsform des Antriebs für die Vorrichtung offenbart; 2 a schematic representation of the view 1 showing an embodiment of the drive for the device;

3 eine weitere Ausführungsform des Antriebs für die Vorrichtung gemäß der Erfindung; 3 a further embodiment of the drive for the device according to the invention;

4 eine weitere Ausführungsform des Antriebs für die Vorrichtung gemäß der Erfindung; 4 a further embodiment of the drive for the device according to the invention;

5 eine vergrößerte Darstellung einer Ausführungsform des abtastenden Systems; und 5 an enlarged view of an embodiment of the scanning system; and

6 eine weitere vergrößerte Darstellung einer Ausführungsform des abtastenden Systems. 6 a further enlarged view of an embodiment of the scanning system.

1 zeigt eine schematische Ansicht der Vorrichtung 1 zur Aufnahme eines Bildes von mindestens einer Oberfläche 2a, 2b eines scheibenförmigen Objekts 2 der Halbleiterindustrie. Die Vorrichtung 1 ist in der nachfolgenden Beschreibung zur Aufnahme der Oberfläche 2b ausgebildet. Die Oberfläche 2b ist die Rückseite eines scheibenförmigen Objekts 2 der Halbleiterindustrie. Es ist selbstverständlich, dass die Beschränkung der Beschreibung der Erfindung auf die Rückseite eines scheibenförmigen Objekts 2 der Halbleiterindustrie keinerlei Beschränkung des Schutzbereichs der Erfindung darstellt. Die Scheibenförmigen Objekte 2 der Halbleiterindustrie sind Wafer, Flat-Panel-Displays oder Masken. 1 shows a schematic view of the device 1 for taking an image of at least one surface 2a . 2 B a disc-shaped object 2 the semiconductor industry. The device 1 is in the description below for receiving the surface 2 B educated. The surface 2 B is the back of a disc-shaped object 2 the semiconductor industry. It is understood that the limitation of the description of the invention to the back of a disc-shaped object 2 the semiconductor industry does not represent any limitation on the scope of the invention. The disk-shaped objects 2 Semiconductors are wafers, flat-panel displays or masks.

Der Rückseite eines scheibenförmigen Objekts 2 gegenüberliegend ist eine Kamera 4 vorgesehen, mit der der gerade abgetastete Bereich der Oberfläche 2b des scheibenförmigen Objekts 2 aufgenommen wird. Bei der gegenwärtigen Erfindung sind die Kamera 4 und das scheibenförmige Objekt 2 zueinander ortsfest angeordnet. Ferner ist auf der Seite der Kamera 4 ein abtastendes System 6 und ein Umlenksystem 8 vorgesehen. Das abtastende System 6 ist entlang der gesamten Oberfläche 2a oder 2b des scheibenförmigen Objekts 2 bewegbar. Die Bewegung des abtastenden Systems 6 erfolgt mit der ersten Geschwindigkeit V1. Das Umlenksystem 8 lenkt das Licht vom abtastenden System 6 auf die Kamera 4, wobei das Umlenksystem entlang der Oberfläche 2a, 2b des scheibenförmigen Objekts 2 mit der zweiten Geschwindigkeit V2 bewegbar angebracht ist, die mit ersten Geschwindigkeit V1 parallel und gleichgerichtet ist. Das abtastende System 6 beleuchtet einen Bereich 10 der jeweiligen Oberfläche 2a oder 2b des scheibenförmigen Objekts 2. Das abtastende Systems 6, somit der beleuchtete Bereich, verfährt über die gesamte Oberfläche 2a oder 2b des scheibenförmigen Objekts 2, wodurch letztendlich die gesamte Oberfläche des scheibenförmigen Objekts 2 auf die Kamera 4 gerichtet wird. Das abtastende System 6 verfährt im Wesentlichen parallel zur Oberfläche 2a oder 2b des scheibenförmigen Objekts 2. Das abtastende System 6 besitzt ein Umlenkmittel 12, wie z.B. einen Spiegel, Strahlteiler oder Prisma, das das von der Oberfläche 2a oder 2b des scheibenförmigen Objekts 2 kommende Licht 12a umlenkt und einen im Wesentlichen parallel zur Oberfläche 2a oder 2b des scheibenförmigen Objekts 2 verlaufenden Lichtstrahl 12b erzeugt. Der Lichtstrahl 12b trifft auf das Umlenksystem 8. Das Umlenksystem 8 besitzt ein erstes und ein zweites Umlenkmittel 14 und 16. Diese können aus einer Komponente ausgeführt werden. Das erste Umlenkmittel 14 empfängt den Lichtstrahl 12b und lenkt diesen um 90° um, so dass ein Lichtstrahl 12c auf das zweite Umlenkmittel 16 trifft. Das zweite Umlenkmittel 16 lenkt den Lichtstrahl 12c erneut um 90° um, so dass der vom zweiten Umlenkmittel 16 ausgehende Lichtstrahl 12d entgegengesetzt zum Lichtstrahl 12b des vom Umlenkmittel 12 des abtastenden Systems 6 ausgehenden Lichtstrahls 12b verläuft.The back of a disc-shaped object 2 Opposite is a camera 4 provided with the just scanned area of the surface 2 B of the disc-shaped object 2 is recorded. In the present invention are the camera 4 and the disc-shaped object 2 arranged stationary relative to each other. Further, on the side of the camera 4 a scanning system 6 and a redirection system 8th intended. The scanning system 6 is along the entire surface 2a or 2 B of the disc-shaped object 2 movable. The movement of the scanning system 6 takes place at the first speed V 1 . The redirecting system 8th directs the light from the scanning system 6 to the camera 4 , wherein the deflection system along the surface 2a . 2 B of the disc-shaped object 2 is movably mounted at the second speed V 2, which is parallel and in the same direction with the first speed V1. The scanning system 6 illuminates an area 10 the respective surface 2a or 2 B of the disc-shaped object 2 , The scanning system 6 , thus the illuminated area, moves over the entire surface 2a or 2 B of the disc-shaped object 2 , ultimately causing the entire surface of the disc-shaped object 2 to the camera 4 is directed. The scanning system 6 acts essentially parallel to the surface 2a or 2 B of the disc-shaped object 2 , The scanning system 6 has a deflection 12 , such as a mirror, beam splitter or prism, that of the surface 2a or 2 B of the disc-shaped object 2 coming light 12a deflected and a substantially parallel to the surface 2a or 2 B of the disc-shaped object 2 extending light beam 12b generated. The light beam 12b meets the redirection system 8th , The deflection system 8th has a first and a second deflection means 14 and 16 , These can be executed from a component. The first deflection 14 receives the beam of light 12b and deflects it by 90 ° so that a ray of light 12c on the second deflection 16 meets. The second deflecting means 16 directs the beam of light 12c again by 90 °, so that of the second deflection 16 outgoing light beam 12d opposite to the light beam 12b of the deflection 12 of the scanning system 6 outgoing light beam 12b runs.

Das abtastende System 6 kann mit einer ersten Geschwindigkeit V1 bewegt werden. Die Geschwindigkeit V2 des Umlenksystems 8 ist mit der Geschwindigkeit V1 korreliert. Das Umlenksystem 8 bewegt sich mit der zweiten Geschwindigkeit V2, die erste Geschwindigkeit V1 und die zweite Geschwindigkeit V2, derart aufeinander abgestimmt sind, dass eine Kompensation der optischen Weglänge erzielbar ist. In einer bevorzugten Ausführungsform ist die erste Geschwindigkeit V1 doppellt so groß ist wie die zweite Geschwindigkeit V2.The scanning system 6 can be moved at a first speed V 1 . The speed V 2 of the deflection system 8th is correlated with the velocity V 1 . The redirecting system 8th moves with the second speed V 2 , the first speed V 1 and the second speed V 2 , are matched to one another such that a compensation of the optical path length can be achieved. In a preferred embodiment, the first speed V 1 is twice as large as the second speed V 2 .

2 ist eine schematische Darstellung der Ansicht aus 1, die eine Ausführungsform des Antriebs für das abtastende System 6 und das Umlenksystem 8 der Vorrichtung 1 offenbart. Das abtastende System 6 ist auf einem ersten Schlitten 21 und das Umlenksystem 8 auf einem zweiten Schlitten 22 angebracht. Der erste Schlitten 21 und der zweite Schlitten 22 sind über separate Antriebe 23 ansteuerbar. Mit dem ersten Schlitten 21 und dem zweiten Schlitten 22 ist ein Antrieb 23 verbunden. Durch die Antriebe kann somit den Schlitten 21, 22 in Abhängigkeit von der Ansteuerung die entsprechende Geschwindigkeit V1 oder V2 aufgeprägt werden. Für jeden der Antriebe 23 ist eine unterschiedliche elektrische/elektronische Ansteuerung 24 und 25 vorgesehen. 2 is a schematic representation of the view 1 , which is an embodiment of the drive for the scanning system 6 and the redirection system 8th the device 1 disclosed. The scanning system 6 is on a first sled 21 and the redirection system 8th on a second sled 22 appropriate. The first sled 21 and the second sled 22 are via separate drives 23 controllable. With the first sled 21 and the second sled 22 is a drive 23 connected. By the drives can thus the slide 21 . 22 depending on the drive the corresponding speed V 1 or V 2 are impressed. For each of the drives 23 is a different electrical / electronic control 24 and 25 intended.

3 zeigt eine weitere Ausführungsform des Antriebs für die Vorrichtung gemäß der Erfindung. Ein Antrieb 40 ist auf dem zweiten Schlitten 22 fixiert. Der Antrieb 40 weist an einer ersten Achse eine linksgängige Spindel 41 und an einer zweiten Achse eine rechtsgängige Spindel 42 auf. Die linksgängige Spindel 41 ist mit dem ersten Schlitten 21 und die rechtsgängige Spindel 42 ist mit einer starren Konstruktion 43 verbunden, die mit der Kamera in Verbindung steht. Durch die Drehung der linksgängigen Spindel 41 und der rechtsgängigen Spindel 42 durch den Antrieb 40 erzielt man die Bewegung des ersten Schlittens 21 mit der Geschwindigkeit V1 und des zweiten Schlittens der Geschwindigkeit V2. Am ersten Schlitten 21 ist eine Ankerung 44 für die linksgängige Spindel 41 vorgesehen. Der Richtungssinn der einzelnen Spindeln 41, 42 kann getauscht werden. 3 shows a further embodiment of the drive for the device according to the invention. A drive 40 is on the second sled 22 fixed. The drive 40 has a left-hand spindle on a first axis 41 and on a second axis a right-handed spindle 42 on. The left-handed spindle 41 is with the first sled 21 and the right-hand spindle 42 is with a rigid construction 43 connected to the camera. By turning the left-handed spindle 41 and the right-hand spindle 42 through the drive 40 you get the movement of the first sled 21 at the speed V 1 and the second carriage of speed V 2 . At the first sled 21 is an anchorage 44 for the left-hand spindle 41 intended. The sense of direction of the individual spindles 41 . 42 can be exchanged.

4 zeigt eine weitere Ausführungsform des Antriebs für die Vorrichtung gemäß der Erfindung. Ein feststehender Antrieb 51 ist zur Bewegung des zweiten Schlittens 22 vorgesehen. Ein weiterer Antrieb 50 ist am ersten Schlitten 22 montiert ist, wobei der weitere Antrieb 50 mit dem zweiten Schlitten 21 über eine Kopplung 53 verbunden ist. Durch die Kopplung 53 erzielt man eine Relativbewegung des ersten Schlittens 21 zum zweiten Schlitten 22. Eine Ansteuerung 54 ist mit derselben Taktung für die beiden Antriebe 50 und 51 vorgesehen. Durch die Antriebe 50 und 51 wird dem ersten Schlitten eine Geschwindigkeit V1 und dem zweiten Schlitten eine Geschwindigkeit V2 aufgeprägt. In der hier beschriebenen Ausführungsform prägt der feststehende Antrieb 51 dem zweiten Schlitten 22 eine Geschwindigkeit V2 auf die V1/2 entspricht. Durch die Kopplung 53 erreicht der zweite Schlitten 21 dann die Geschwindigkeit V1. 4 shows a further embodiment of the drive for the device according to the invention. A fixed drive 51 is to move the second carriage 22 intended. Another drive 50 is on the first sled 22 is mounted, with the further drive 50 with the second slide 21 via a coupling 53 connected is. Through the coupling 53 one achieves a relative movement of the first carriage 21 to the second sled 22 , A control 54 is with the same timing for the two drives 50 and 51 intended. By the drives 50 and 51 For example, a speed V 1 is imposed on the first carriage and a speed V 2 on the second carriage. In the embodiment described here, the fixed drive is defined 51 the second sled 22 a velocity V 2 corresponds to the V1 / 2. Through the coupling 53 reached the second slide 21 then the speed V 1 .

5 zeigt eine vergrößerte Darstellung einer Ausführungsform des abtastenden Systems 6. Wie bereits beschrieben ist das abtastende System 6 aus einem Spiegel oder einem Prisma aufgebaut. Das abtastende System 6 ist mit einer linienförmigen Beleuchtung 60 versehen. Die linienförmige Beleuchtung 60 dient zur Beleuchtung des Bereichs 10 auf der jeweiligen Oberfläche 2a oder 2b des scheibenförmigen Objekts 2. Die linienförmige Beleuchtung 60 ist entlang der Längskante 61 des Spiegels oder des Prismas 62 angebracht. Die linienförmige Beleuchtung 60 ist eine LED oder eine Leuchtstoffröhre. Es ist selbstverständlich, dass die Beleuchtung (60) mehrfarbig ausgestaltet werden kann. Hierzu können mehrere LEDs vorgesehen sein, die sich hinsichtlich der Farbe unterscheiden. 5 shows an enlarged view of an embodiment of the scanning system 6 , As already described, the scanning system 6 built from a mirror or a prism. The scanning system 6 is with a linear lighting 60 Mistake. The linear lighting 60 is used to illuminate the area 10 on the respective surface 2a or 2 B of the disc-shaped object 2 , The linear lighting 60 is along the longitudinal edge 61 of the mirror or prism 62 appropriate. The linear lighting 60 is an LED or a fluorescent tube. It goes without saying that the lighting ( 60 ) can be configured multicolored. For this purpose, several LEDs can be provided, which differ in terms of color.

6 zeigt eine weitere vergrößerte Darstellung einer Ausführungsform des abtastenden Systems. Das abtastende System 6 ist mit zwei linienförmigen Beleuchtungen 70 versehen. Jede der linienförmigen Beleuchtung 70 ist links und rechts entlang der Längskante 61 des Spiegels, Strahlteiler oder des Prismas 62 angebracht. Die zwei linienförmigen Beleuchtungen 70 dienen unter Anderem zur homogenen Beleuchtung des Bereichs 10 auf der jeweiligen Oberfläche 2a oder 2b des scheibenförmigen Objekts 2. 6 shows a further enlarged view of an embodiment of the scanning system. The scanning system 6 is with two line lights 70 Mistake. Each of the linear lighting 70 is left and right along the longitudinal edge 61 of the mirror, beam splitter or prism 62 appropriate. The two linear lights 70 Among other things, they are used for homogeneous illumination of the area 10 on the respective surface 2a or 2 B of the disc-shaped object 2 ,

Claims (18)

Vorrichtung zur Aufnahme eines Bildes von mindestens einer Oberfläche (2a, 2b) eines scheibenförmigen Objekts (2) der Halbleiterindustrie mit einer Kamera (4), einem abtastenden System (6), und einem Umlenksystem (8), dadurch kennzeichnet, dass die Kamera (4) und das scheibenförmige Objekt (2) relativ zueinander ruhen, dass das abtastende System (6) mindestens entlang der gesamten Oberfläche (2a, 2b) des scheibenförmigen Objekts (2) mit der ersten Geschwindigkeit (V1) bewegbar angebracht ist, und dass das Umlenksystem (8) das Licht vom abtastenden System (6) auf die Kamera (4) lenkt, wobei das Umlenksystem (8) entlang der Oberfläche (2a, 2b) des scheibenförmigen Objekts (2) mit der zweiten Geschwindigkeit (V2) bewegbar angebracht ist, die mit ersten Geschwindigkeit parallel und gleichgerichtet ist.Device for taking an image of at least one surface ( 2a . 2 B ) of a disc-shaped object ( 2 ) of the semiconductor industry with a camera ( 4 ), a scanning system ( 6 ), and a redirecting system ( 8th ), characterized in that the camera ( 4 ) and the disc-shaped object ( 2 ) relative to each other, that the scanning system ( 6 ) at least along the entire surface ( 2a . 2 B ) of the disc-shaped object ( 2 ) Is movably mounted at the first speed (V 1), and that the deflection system ( 8th ) the light from the scanning system ( 6 ) on the camera ( 4 ), whereby the deflection system ( 8th ) along the surface ( 2a . 2 B ) of the disc-shaped object ( 2 ) is movably mounted at the second speed (V 2 ) which is parallel and rectified at first speed. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das abtastende System (6) mit einer ersten Geschwindigkeit (V1) bewegbar ist, und dass das Umlenksystem (8) mit einer zweiten Geschwindigkeit (V2) bewegbar ist, die derart aufeinander abgestimmt sind, dass eine Kompensation der optischen Weglänge erzielbar ist.Device according to claim 1, characterized in that the scanning system ( 6 ) is movable at a first speed (V 1 ), and that the deflection system ( 8th ) is movable at a second speed (V 2 ), which are tuned to one another such that a compensation of the optical path length can be achieved. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Geschwindigkeit (V1) doppelt so groß ist wie die zweite Geschwindigkeit (V2).Apparatus according to claim 1, characterized in that the first speed (V 1 ) is twice as large as the second speed (V 2 ). Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das abtastende System (6) ebenfalls Beleuchtungskomponenten (60, 70), für die Beleuchtung eines jeweils abzubildenden Abschnitts (10) des scheibenförmigen Objekts (2) trägt, und dass das abtastende System (6) ebenfalls die Strahlung auf das Umlenksystem (8) umlenkt.Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the scanning system ( 6 ) also lighting components ( 60 . 70 ), for illuminating a section to be imaged ( 10 ) of the disc-shaped object ( 2 ) and that the scanning system ( 6 ) also the radiation on the deflection system ( 8th ) redirects. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Umlenksystem (8) eine Umlenkung der Strahlung um 180° bewirkt.Device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the deflection system ( 8th ) causes a deflection of the radiation by 180 °. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass abtastende System (6) auf einem ersten Schlitten (21) und das Umlenksystem (8) auf einem zweiten Schlitten (22) angebracht ist, wobei der erste Schlitten (21) und der zweite Schlitten (23) über separate Antriebe (23) ansteuerbar sind.Device according to one of Claims 1 to 5, characterized in that the scanning system ( 6 ) on a first slide ( 21 ) and the redirecting system ( 8th ) on a second slide ( 22 ), the first carriage ( 21 ) and the second carriage ( 23 ) via separate drives ( 23 ) are controllable. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass für die Antriebe (23) jeweils eine unterschiedliche elektrische/elektronische Ansteuerung (24, 25) vorgesehen ist.Apparatus according to claim 6, characterized in that for the drives ( 23 ) each have a different electrical / electronic control ( 24 . 25 ) is provided. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass für die Antriebe (23) eine entsprechende Übersetzung vorgesehen ist.Apparatus according to claim 6, characterized in that for the drives ( 23 ) a corresponding translation is provided. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass ein Antrieb (40) auf dem zweiten Schlitten (22) fixiert ist.Device according to one of claims 1 to 5, characterized in that a drive ( 40 ) on the second slide ( 22 ) is fixed. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Antrieb (40) an einer ersten Achse eine linksgängige Spindel (41) und an einer zweiten Achse eine rechtsgängige Spindel (42) aufweist, wobei die linksgängige Spindel (41) mit den ersten Schlitten (21) und die rechtsgängige Spindel (42) mit einer starren Konstruktion (43) die Kamera (4) und den zweiten Schlitten (22) verbindet.Device according to claim 9, characterized in that the drive ( 40 ) on a first axis a left-handed spindle ( 41 ) and on a second axis a right-handed spindle ( 42 ), wherein the left-handed spindle ( 41 ) with the first carriages ( 21 ) and the right-handed spindle ( 42 ) with a rigid construction ( 43 ) the camera ( 4 ) and the second slide ( 22 ) connects. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass ein feststehender Antrieb (51) zur Bewegung des zweiten Schlittens (21) vorgesehen ist, dass ein weiterer Antrieb (50) am ersten Schlitten (22) montiert ist, wobei der weitere Antrieb (50) mit dem ersten Schlitten (21) verbunden ist, um eine Relativbewegung der ersten Schlittens (21) zum zweiten Schlitten (22) zu erzeugen.Device according to one of claims 1 to 5, characterized in that a fixed drive ( 51 ) for moving the second carriage ( 21 ) is provided that another drive ( 50 ) on the first carriage ( 22 ), wherein the further drive ( 50 ) with the first carriage ( 21 ) is connected to a relative movement of the first carriage ( 21 ) to the second carriage ( 22 ) to create. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass eine einheitliche Ansteuerung (54) mit der selben Taktung für die beiden Antriebe (50, 51) vorgesehen ist.Apparatus according to claim 11, characterized in that a uniform control ( 54 ) with the same timing for the two drives ( 50 . 51 ) is provided. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Beleuchtung (60, 70) am abtastenden System (6) als eine linienförmige Beleuchtung ausgebildet ist.Device according to claim 4, characterized in that the illumination ( 60 . 70 ) on the scanning system ( 6 ) is formed as a linear illumination. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die linienförmige Beleuchtung mindestens einer LED-Zeile oder eine Leuchtstoffröhre ist, und wobei die LED-Zeile oder die Leuchtstoffröhre mehrfarbiges Beleuchtungslicht aussenden.Device according to claim 14, characterized in that that the line-shaped Lighting is at least one LED line or fluorescent tube, and wherein the LED line or the fluorescent tube is multi-colored illumination light send out. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass das abtastendes System (6) und das Umlenksystem (8) mindestens die Breite des scheibenförmigen Objekts (2) aufweisen.Device according to one of claims 1 to 14, characterized in that the scanning system ( 6 ) and the redirecting system ( 8th ) at least the width of the disk-shaped object ( 2 ) exhibit. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Kamera (4) eine CCD-Farbkamera mit flächig oder zeilenförmig angeordneten Pixeln, oder eine Graukamera ist.Device according to one of claims 1 to 14, characterized in that the camera ( 4 ) is a CCD color camera with flat or line-like pixels, or a gray camera. Verwendung der Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 16 zur Aufnahme eines Bildes der gesamten Oberfläche (2) der Vorderseite (2a) eines Wafers.Use of the device according to one of claims 1 to 16 for taking an image of the entire surface ( 2 ) of the front ( 2a ) of a wafer. Verwendung der Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 16 zur Aufnahme eines Bildes der gesamten Oberfläche (2) der Rückseite (2b) eines Wafers.Use of the device according to one of claims 1 to 16 for taking an image of the entire surface ( 2 ) the back ( 2 B ) of a wafer.
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