DE102006009424A1 - Electrohydrodynamic micropump and its use - Google Patents
Electrohydrodynamic micropump and its use Download PDFInfo
- Publication number
- DE102006009424A1 DE102006009424A1 DE102006009424A DE102006009424A DE102006009424A1 DE 102006009424 A1 DE102006009424 A1 DE 102006009424A1 DE 102006009424 A DE102006009424 A DE 102006009424A DE 102006009424 A DE102006009424 A DE 102006009424A DE 102006009424 A1 DE102006009424 A1 DE 102006009424A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- pumping
- micropump according
- channel
- electrohydrodynamic micropump
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B19/00—Machines or pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B17/00
- F04B19/006—Micropumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Abstract
Die Erfindung betrifft eine elektrohydrodynamische Mikropumpe (1) sowie deren Verwendung und ein Verfahren zum Pumpen, mit mindestens einem Pumpkanal (2), die dadurch gekennzeichnet ist, dass in dem Pumpkanal (2) mindestens eine Elektrodenvorrichtung (6) zur Erzeugung eines elektrischen Wechselfeldes und zur Erzeugung eines Temperaturgradienten in der Flüssigkeit angeordnet ist. Die Erfindung betrifft des Weiteren eine Verwendung der Mikropumpe und ein Verfahren zur Erzeugung zum Pumpen einer Flüssigkeit.The invention relates to an electrohydrodynamic micropump (1) and its use and a method for pumping, with at least one pump channel (2), which is characterized in that at least one electrode device (6) for generating an alternating electrical field and is arranged to generate a temperature gradient in the liquid. The invention further relates to a use of the micropump and a method for generating it for pumping a liquid.
Description
Die Erfindung betrifft eine elektrohydrodynamische Mikropumpe nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1, eine Verwendung der Mikropumpe nach Anspruch 24 und ein Verfahren zum Pumpen einer Flüssigkeit nach Anspruch 25.The The invention relates to an electrohydrodynamic micropump after The preamble of claim 1, a use of the micropump according to claim 24 and a method for pumping a liquid according to claim 25.
Pumpen bzw. Mikropumpen, die durch Anlegen von elektrischen Feldern eine Pumpwirkung auf Flüssigkeiten entfalten sind bekannt. Speziell sind Pumpsysteme beschrieben worden, deren Pumpleistung durch Zusammenwirken von elektrischen Wechselfeldern und dielektrischen Elementen beeinflusst wird.pump or micropumps, the by applying electric fields a Pumping action on liquids unfold are known. Specifically, pumping systems have been described their pumping power through interaction of alternating electric fields and dielectric elements.
So
zeigt die
In
der
Dieser Aufbau generiert dabei Kräfte, die sowohl in Pumprichtung als auch gegen die Pumprichtung wirken. Der Flüssigkeitstransport wird durch eine unsymmetrische Bauweise des dielektrischen Elementes und des gesamten Pumpsystems hervorgerufen. Der unsymmetrische Aufbau des dielektrischen Elementes bedingt ein Überwiegen der erzeugten Kraft in eine Richtung und es kommt zum Flüssigkeitstransport in Pumprichtung, wobei die Pumprichtung bedingt durch die spezifische Konstruktion nicht verändert oder umgekehrt werden kann.This Construction generates forces, which act both in the pumping direction and against the pumping direction. The liquid transport is due to an asymmetrical construction of the dielectric element and the entire pumping system. The unbalanced construction of the dielectric element causes a preponderance of the generated force in one direction and fluid transport in the pumping direction, the pumping direction being conditioned by the specific construction not changed or vice versa.
Nachteilig bei dem beschriebenen Pumpsystem ist auch der durch das dielektrische Element verursachte erhöhte Strömungswiderstand, da die dielektrischen Elemente notwendigerweise den Strömungskanal einengen und somit den Strömungswiderstand Fr ~ 1/r4 gemäß dem Hagen-Pouseuille'schen Gesetz erhöhen.A disadvantage of the pumping system described is also the increased flow resistance caused by the dielectric element, since the dielectric elements necessarily restrict the flow channel and thus increase the flow resistance Fr-1 / r 4 according to Hagen-Pouseuille's Law.
Der Erfindung liegt daher das Problem zu Grunde, eine Mikropumpe bereitzustellen, mit der die Pumprichtung besser zu kontrollieren ist, die Pumprichtung beliebig variiert werden kann sowie mit der eine höhere Strömungsgeschwindigkeit erzielt werden kann.Of the The invention is therefore based on the problem of providing a micropump, with which the pumping direction is better to control, the pumping direction can be varied as desired and with a higher flow rate can be achieved.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine elektrohydrodynamische Mikropumpe mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.These The object is achieved by a electrohydrodynamic micropump having the features of the claim 1 solved.
Danach weist die elektrohydrodynamische Mikropumpe mindestens einen Pumpkanal auf, wobei in dem Pumpkanal mindestens eine Elektrodenvorrichtung zur Erzeugung eines elektrischen Wechselfeldes und zur Erzeugung eines Temperaturgradienten in der Flüssigkeit angeordnet ist.After that the electrohydrodynamic micropump has at least one pumping channel at least one electrode device in the pumping channel for generating an alternating electric field and for generating a temperature gradient is arranged in the liquid.
Die erfindungsgemäße Mikropumpe ermöglicht in einfacher aber effektiver Weise eine verbesserte Kontrolle und Steuerung der Pumprichtung und der Pumpgeschwindigkeit. So ist in Abhängigkeit vom angelegten elektrischen Wechselfeld und der Art der verwendeten Flüssigkeit eine gezielte Beeinflussung der Pumprichtung und der Pumpgeschwindigkeit möglich.The Micropump according to the invention allows in a simple but effective way improved control and Control of pumping direction and pumping speed. So is in Dependency on applied alternating electric field and the type of used liquid a targeted influencing of the pumping direction and the pumping speed possible.
Beispielsweise weisen ionische physiologische Salzlösungen mit Konzentrationen bis zu 200 mM, insbesondere zwischen 15 und 150 mM, bei Anlegen eines elektrischen Wechselfeldes mit einer Frequenz unter 20 bzw. 200 MHz eine definierte Pumprichtung auf. Bei Erhöhung der Salzkonzentration auf über 200 mM und der damit verbundenen höheren Ionenstärke erfolgt ebenfalls eine Erhöhung der Frequenz, oberhalb derer es zu einer Änderung der Pumprichtung in die entgegengesetzte Richtung kommen kann.For example have ionic physiological saline solutions with concentrations up to 200 mM, in particular between 15 and 150 mM, when applied an alternating electric field with a frequency below 20 or 200 MHz a defined pumping direction. When increasing the Salt concentration on over 200 mM and the associated higher ionic strength occurs also an increase in the Frequency above which there is a change in the pumping direction in the opposite direction can come.
Werden nicht-ionische Flüssigkeiten, wie z.B. Kohlenwasserstoffe mit einer Kettenlänge von C10 bis C19, verwendet, kann es bei gleicher Frequenz des angelegten elektrischen Wechselfeldes ebenfalls zu einer Umkehr der Pumprichtung kommen.If non-ionic liquids, such as hydrocarbons with a chain length of C 10 to C 19 , are used, the pumping direction can also be reversed at the same frequency of the applied alternating electric field.
Die Elektrodenvorrichtung wirkt des Weiteren bei Anlegen des elektrischen Wechselfeldes als Heizelement. Dabei wirkt mindestens eine Elektrode der Elektrodenvorrichtung als Wärmesenke, wodurch es zur Ausbildung eines Temperaturgradienten in der zu transportierenden Flüssigkeit, insbesondere im Bereich der Elektrodenvorrichtung, kommt. Der Temperaturgradient bewirkt die Bildung eines Gradienten der Leitfähigkeit und/oder der Dielektrizitätskonstante in der zu transportierenden Flüssigkeit. Im erzeugten elektrischen Wechselfeld erfährt die Flüssigkeit durch den Gradienten eine resultierende Kraft in Richtung niedrigerer Leitfähigkeiten bzw. Dielektrizitätskonstanten, wodurch es zu einem Flüssigkeitstransport kommt.Furthermore, the electrode device acts as a heating element when the alternating electric field is applied. In this case, at least one electrode of the electrode device acts as a heat sink, which leads to the formation of a temperature gradient in the liquid to be transported, in particular in the region of the electrode device. The temperature gradient causes the formation of a gradient of the conductivity and / or the dielectric constant in the liquid to be transported. In the generated alternating electric field, the liquid undergoes a resulting force in the direction of lower conductivities or dielectric constants by the gradient, which leads to a liquid transport.
Zu dem wird der Strömungswiderstand durch das Fehlen des dielektrischen Elementes erheblich verringert Der Pumpkanal kann sogar beliebig verbreitert werden, um einen größeren Volumenstrom zu erzeugen.To this is the flow resistance significantly reduced by the absence of the dielectric element The pumping channel can even be widened arbitrarily to a larger volume flow produce.
Des Weiteren benötigt die erfindungsgemäße Pumpe keinen ortsfesten, zeitunabhängigen Feldgradienten und somit auch kein dielektrisches Element zum Beeinflussen des elektrischen Feldverlaufes zwischen den Elektroden.Of Further needed the pump according to the invention no fixed, time-independent Field gradients and thus no dielectric element for influencing the electric field course between the electrodes.
Die Elektrodenvorrichtung der erfindungsgemäßen Pumpe weist bevorzugt mindestens eine erste und mindestens eine zweite, einander gegenüberliegende Elektrode auf, wobei die Elektroden als Platten flach an Boden, Wand und/oder Decke des Pumpkanals der Mikropumpe angeordnet sind. Die flache Anordnung ermöglicht ein Überströmen der zu transportierenden Flüssigkeit, so dass eine weitere Reduzierung des Strömungswiderstandes erreicht wird.The Electrode device of the pump according to the invention preferably has at least a first and at least a second, opposite one another Electrode, with the electrodes as plates flat on the ground, Wall and / or ceiling of the pumping channel of the micropump are arranged. The flat arrangement allows an overflow of liquid to be transported, so that a further reduction of the flow resistance is achieved.
Vorteilhafterweise umfasst die Elektrodenvorrichtung mindestens zwei metallische Elektroden mit hoher Wärmeleitfähigkeit. Bevorzugtes Elektrodenmaterial sind Gold, Platin, Indium-Zinnoxid oder weitere Metalle oder Metalloxide mit hoher Wärmeleitfähigkeit. Die sehr hohe Wärmeleitfähigkeit der metallischen Elektroden trägt zu einer Erhöhung des Temperaturgradienten bei und verstärkt somit die Pumpleistung. Beide Elektroden weisen bevorzugt unterschiedliche Wärmeleitfähigkeiten auf.advantageously, the electrode device comprises at least two metallic electrodes high thermal conductivity. Preferred electrode material are gold, platinum, indium tin oxide or other metals or metal oxides with high thermal conductivity. The very high thermal conductivity the metallic electrodes carries to an increase the temperature gradient and thus increases the pump power. Both electrodes preferably have different thermal conductivities on.
Vorteilhafterweise weisen die erste und zweite Elektrode von einander verschiedene Abmessungen auf. Bevorzugt ist die erste Elektrode durch eine größere Fläche, Breite und/oder größeres Volumen als die zweite Elektrode gekennzeichnet. Die unterschiedlichen Abmessungen bewirken die Bildung eines stärkeren Temperaturgradienten, da die größere erste Elektrode in ihrer Funktion als zusätzliche Wärmesenke in dem System unterstützt wird.advantageously, The first and second electrodes are different from each other Dimensions on. Preferably, the first electrode is by a larger area, width and / or larger volume than the second electrode marked. The different dimensions cause the formation of a stronger temperature gradient, because the larger first Electrode is supported in its function as an additional heat sink in the system.
Vorteilhafterweise befindet sich im Pumpkanal mindestens ein Heizelement zur Erzeugung eines zusätzlichen Temperaturgradienten in der Flüssigkeit, wobei das Heizelement sich, abhängig von der Frequenz des Feldes, in Flussrichtung bevorzugt vor oder hinter der Elektrodenvorrichtung befindet.advantageously, is located in the pumping channel at least one heating element for generating an additional one Temperature gradients in the liquid, where the heating element is dependent from the frequency of the field, in the flow direction preferably before or located behind the electrode device.
Der durch das Heizelement erzeugte zusätzliche Temperaturgradient reicht dabei bis in den Bereich des durch die Elektrodenvorrichtung erzeugten elektrischen Wechselfeldes hinein und unterstützt die Bildung eines Gradienten der Leitfähigkeit und der Dielektrizitätskonstante in der zu transportierenden Flüssigkeit.Of the additional temperature gradient generated by the heating element extends into the region of the through the electrode device generated electric alternating field and supports the formation a gradient of conductivity and the dielectric constant in the liquid to be transported.
Der Vorteil dieser Anordnung besteht darin, dass die spezifische Anordnung des Heizelementes in Flussrichtung vor bzw. hinter dem elektrischen Wechselfeld Pumpkräfte nur in eine Richtung generiert. Dies führt zu einer erheblichen Effektivitätserhöhung.Of the Advantage of this arrangement is that the specific arrangement of the heating element in the flow direction in front of or behind the alternating electric field pumping forces only generated in one direction. This leads to a considerable increase in effectiveness.
In einer vorteilhaften Ausführungsform sind Heizelement und zweite Elektrode kombiniert in Form eines gemeinsamen Bauelementes ausgeführt.In an advantageous embodiment are combined heating element and second electrode in the form of a common Construction element executed.
Das kontinuierlich und/oder gepulst generierte elektrische Wechselfeld weist mit Vorteil einen sinus- oder rechteckförmigen Zeitverlauf auf. Bevorzugt ist die Frequenz des elektrischen Wechselfeldes auf eine elektrische Resonanzfrequenz der Pumpe abgestimmt.The continuously and / or pulsed generated alternating electric field advantageously has a sinusoidal or rectangular time course. Prefers is the frequency of the alternating electric field on an electric Tuned resonance frequency of the pump.
Das Heizelement ist vorteilhafterweise in Form von Heizstrukturen, Heizdrähten, und/oder Wärmestrahlern ausgebildet. Die Heizelemente oder Heizstrukturen werden bevorzugt gemeinsam mit der Elektrodenvorrichtung in einem Herstellungsprozess erzeugt.The Heating element is advantageously in the form of heating structures, heating wires, and / or radiant heaters educated. The heating elements or heating structures are preferred generated together with the electrode device in a manufacturing process.
Mit Vorteil ist die mittels der Pumpe zu transportierende Flüssigkeit durch eine Leitfähigkeit von 0,0001 S/m bis 10 S/m und eine Permittivität von 2 bis 10000 gekennzeichnet.With Advantage is the liquid to be transported by means of the pump through a conductivity from 0.0001 S / m to 10 S / m and a permittivity of 2 to 10,000.
Der Pumpkanal der Mikropumpe ist vorteilhafterweise auf einem Mikrosystem, insbesondere einem Chip, angeordnet. Beispiele für biologische oder chemische Mikrosysteme oder Chips sind u.a. unter den Begriffen „factory on a chip" oder „micro-total analysis system".Of the Pumping channel of the micropump is advantageously on a microsystem, in particular a chip arranged. Examples of biological or chemical microsystems or chips are u.a. under the terms "factory on a chip" or "micro-total analysis system ".
Besonders bevorzugt ist die Anordnung der Mikropumpe in einer auf einem Chip platzierten Kammer, die als Mikroreaktor ausgebildet ist. Die Kammer ist vorteilhafterweise mit einem chemischen und/oder biologischen Reaktionssystemen wie z.B. Nährlösung, Zellkulturen, physiologische Salzlösungen, Suspensionsmittel und/oder chemische Reaktionslösungen, befüllt. Die Mikropumpe ermöglicht einen Transport bzw. eine Bewegung der Reaktionslösungen innerhalb der Kammer und fungiert somit im Wesentlichen in Form eines Mikro-Rührwerkes.Especially preferred is the arrangement of the micropump in one on a chip placed chamber, which is designed as a microreactor. The chamber is advantageously with a chemical and / or biological reaction systems such as. Nutrient solution, cell cultures, physiological saline solutions, suspending agents and / or chemical reaction solutions, filled. The micropump allows a transport or a movement of the reaction solutions within the chamber and thus acts essentially in the form of a micro-agitator.
Es ist vorstellbar, dass in einer Ausführungsform in der Mikroreaktor-Kammer chemische Reaktionen durchgeführt werden oder Peptide modifiziert werden. Es ist auch vorstellbar, dass Zellen in einer derartigen Struktur gezüchtet werden. Auch ist eine Verkapselung von Substanzen oder Zellen und deren Transport in diesem System bei Verwendung von langkettigen Kohlenwasserstoffen als Pumpflüssigkeit möglich.It is conceivable that in one embodiment chemical reactions may be carried out in the microreactor chamber or peptides may be modified. It is also conceivable that cells are cultured in such a structure. Also, encapsulation of substances or cells and their transport in this system when using long-chain hydrocarbons as pumping liquid possible.
Die Mikroreaktor-Kammer wird vorteilhafterweise mittels eines Mikrodosiersystems befüllt oder entleert. Das Mikrodosiersystem ist z.B. als Piezoelement ausgebildet.The Micro-reactor chamber is advantageously by means of a Mikrodosiersystems filled or emptied. The microdosing system is e.g. designed as a piezoelectric element.
Die Mikropumpe kann auch – mit oder ohne die genannte Mikroreaktor-Kammer – in eine Pump-Struktur bzw. Pumpsystem aus mindestens einer Pumpkammer und mindestens einer Abflusskammer integriert sein. Mit Vorteil mündet die Pumpkammer an mindestens einer Abflussöffnung in den Pumpkanal. Der Pumpkanal, in dem die Elektrodenvorrichtung und ggf. ein Heizelement angeordnet sind, mündet wiederum mit Vorteil an mindestens einer Ausflussöffnung in die Abflusskammer. Die Abflusskammer kann ebenfalls zur Aufnahme von biologischen und/oder chemischen Reaktionslösungen, wie z.B. zur Zellzucht, dienen.The Micropump can also - with or without said microreactor chamber - into a pump structure or Pumping system of at least one pumping chamber and at least one Be integrated drainage chamber. Advantageously, the pumping chamber opens at least a drain opening in the pumping channel. The pumping channel in which the electrode device and possibly a heating element are arranged, in turn, leads to advantage at least one outflow opening into the drainage chamber. The drainage chamber can also accommodate of biological and / or chemical reaction solutions, e.g. for cell breeding, serve.
Die Abflusskammer ist vorteilhafterweise mit mindestens einem weiteren Kanal verbunden, wodurch die Mikropumpe z.B. zur Verteilung von Substanzen oder Stoffen im Mikrosystem der Pump-Struktur genutzt werden kann. Die Pumpkammer und Abflusskammer sind auch vorteilhafterweise über den Pumpkanal und den weiteren Kanal verbunden. Der weitere Kanal kann bevorzugt als Messkanal, Reaktionskanal und/oder Versorgungskanal ausgebildet sein.The Drainage chamber is advantageously with at least one other Channel, whereby the micropump e.g. for the distribution of Substances or substances used in the microsystem of the pump structure can be. The pumping chamber and drainage chamber are also advantageously over the Pump channel and the other channel connected. The other channel can preferably as a measuring channel, reaction channel and / or supply channel be educated.
Insgesamt bilden Pumpkammer, Pumpkanal, Abflusskammer und der weitere Kanal mit Vorteil ein abgeschlossenes Kreislaufsystem, wobei Pumpkammer und Abflusskammer jeweils mindestens einen Ein- und/oder Auslasskanal zur Befüllung und/oder Entleerung des Kreislaufsystems aufweisen.All in all form pumping chamber, pumping channel, drainage chamber and the other channel with advantage a closed circulation system, whereby pumping chamber and discharge chamber in each case at least one inlet and / or outlet channel for filling and / or emptying the circulatory system.
Die Aufgabe der Erfindung wird auch durch eine Verwendung der Pumpe gemäß Anspruch 24 und ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 25 gelöst.The The object of the invention is also achieved by use of the pump according to claim 24 and a method having the features of claim 25 solved.
Danach wird die Mikropumpe mit den Merkmalen gemäß den Ansprüchen 1 bis 23 zum Pumpen von Flüssigkeiten, insbesondere in abgeschlossenen Kreislaufsystemen, verwendet.After that is the micropump with the features according to claims 1 to 23 for pumping Liquids, especially in closed circulation systems used.
Das erfindungsgemäße Verfahren zum Pumpen einer Flüssigkeit in einer Mikropumpe nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 23 ist durch die Bildung eines elektrischen Wechselfeldes und eines Temperaturgradienten in der zu pumpenden Flüssigkeit zwischen mindestens zwei Elektroden gekennzeichnet, wobei die Pumprichtung vom angelegten elektrischen Wechselfeld im Pumpkanal gesteuert wird.The inventive method for pumping a liquid in a micropump according to at least one of claims 1 to 23 is due to the formation of an alternating electric field and a temperature gradient in the liquid to be pumped characterized at least two electrodes, wherein the pumping direction is controlled by the applied alternating electric field in the pumping channel.
Das erfindungsgemäße Verfahren ist mit Vorteil auch durch die Bildung eines zusätzlichen Temperaturgradienten im Pumpkanal durch ein Heizelement gekennzeichnet, wobei der Temperaturgradient bis in den Bereich des elektrischen Wechselfeldes zwischen den Elektroden hineinreicht oder mit diesem ganz oder teilweise überlappt.The inventive method is also beneficial by the formation of an additional temperature gradient characterized in the pumping channel by a heating element, wherein the temperature gradient to the area of the alternating electric field between the electrodes extends or overlaps with this in whole or in part.
Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Figuren an mehreren Ausführungsbeispielen näher erläutert.The Invention will be described below with reference to the figures in several embodiments explained in more detail.
Eine
dritte Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Pumpe
ist in
Die
erfindungsgemäße Mikropumpe
ist bevorzugt in ein in
Der
Abstand zwischen Pumpkanal
Das
Kreislaufsystem
Das
Heizelement
Die
Elektrodenvorrichtung
In
- 11
- elektrohydrodynamische Mikropumpeelectrohydrodynamic micropump
- 22
- Pumpkanalpump channel
- 2a2a
- Abflussöffnungdrain opening
- 2b2 B
- AusflussöffnungBore
- 33
- Heizelementheating element
- 44
- erste Elektrodefirst electrode
- 55
- zweite Elektrodesecond electrode
- 66
- Elektrodenvorrichtungelectrode device
- 77
- Fließrichtungflow direction
- 88th
-
Bauelement
aus Kombination von zweiter Elektrode
5 mit Abschnitte des Heizelement3 Component of combination of second electrode5 with sections of the heating element3 - 99
- Pumpkammerpumping chamber
- 1010
- Abflusskammerdrain chamber
- 1111
- weiterer KanalAnother channel
- 1212
- Ein- und/oder AuslasskanalOne- and / or outlet channel
- 1313
- KreislaufsystemCirculatory system
Claims (26)
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102006009424A DE102006009424A1 (en) | 2006-02-24 | 2006-02-24 | Electrohydrodynamic micropump and its use |
US12/296,224 US20100150738A1 (en) | 2006-02-24 | 2007-02-26 | Electrohydrodynamic Micropump and Its Use |
EP07711666A EP1989445A1 (en) | 2006-02-24 | 2007-02-26 | Electrohydrodynamic micropump and its use |
PCT/EP2007/001641 WO2007098910A1 (en) | 2006-02-24 | 2007-02-26 | Electrohydrodynamic micropump and its use |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102006009424A DE102006009424A1 (en) | 2006-02-24 | 2006-02-24 | Electrohydrodynamic micropump and its use |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102006009424A1 true DE102006009424A1 (en) | 2007-09-06 |
Family
ID=37983543
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102006009424A Withdrawn DE102006009424A1 (en) | 2006-02-24 | 2006-02-24 | Electrohydrodynamic micropump and its use |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20100150738A1 (en) |
EP (1) | EP1989445A1 (en) |
DE (1) | DE102006009424A1 (en) |
WO (1) | WO2007098910A1 (en) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009015371A2 (en) * | 2007-07-25 | 2009-01-29 | University Of Florida Research Foundation Inc. | Method and apparatus for efficient micropumping |
WO2014131055A1 (en) | 2013-02-25 | 2014-08-28 | University Of Florida Research Foundation, Incorporated | Method and apparatus for providing high control authority atmospheric plasma |
KR101910932B1 (en) * | 2016-08-31 | 2018-10-23 | 이오플로우(주) | Electoosmotic pump |
SE544435C2 (en) * | 2019-11-08 | 2022-05-24 | Apr Tech Ab | Electrohydrodynamics system and method |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4316233A (en) * | 1980-01-29 | 1982-02-16 | Chato John C | Single phase electrohydrodynamic pump |
US5964997A (en) * | 1997-03-21 | 1999-10-12 | Sarnoff Corporation | Balanced asymmetric electronic pulse patterns for operating electrode-based pumps |
US20020048425A1 (en) * | 2000-09-20 | 2002-04-25 | Sarnoff Corporation | Microfluidic optical electrohydrodynamic switch |
EP1227060A2 (en) * | 2001-01-26 | 2002-07-31 | Robert Bosch Gmbh | Micromechanical device and process for its manufacture |
US20020137196A1 (en) * | 2001-03-23 | 2002-09-26 | The Regents Of The University Of California | Sample preparation and detection device for infectious agents |
US6790011B1 (en) * | 1999-05-27 | 2004-09-14 | Osmooze S.A. | Device for forming, transporting and diffusing small calibrated amounts of liquid |
DE10329979A1 (en) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Universität Rostock | Pump with at least one pumping chamber |
US20050129526A1 (en) * | 2003-12-10 | 2005-06-16 | Dukhin Andrei S. | Method of using unbalanced alternating electric field in microfluidic devices |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54156546A (en) * | 1978-05-31 | 1979-12-10 | Olympus Optical Co Ltd | Corona charger |
US6120665A (en) * | 1995-06-07 | 2000-09-19 | Chiang; William Yat Chung | Electrokinetic pumping |
US6033544A (en) * | 1996-10-11 | 2000-03-07 | Sarnoff Corporation | Liquid distribution system |
US6379929B1 (en) * | 1996-11-20 | 2002-04-30 | The Regents Of The University Of Michigan | Chip-based isothermal amplification devices and methods |
JP2002500446A (en) * | 1997-12-29 | 2002-01-08 | コアテック・インコーポレーテッド | Microelectromechanically tunable confocal vertical cavity surface emitting laser and Fabry-Perot filter |
CA2262033A1 (en) * | 1999-02-16 | 2000-08-16 | Ross S. Chow | Chemical reactor enhanced by high frequency electric field |
US6312110B1 (en) * | 1999-09-28 | 2001-11-06 | Brother International Corporation | Methods and apparatus for electrohydrodynamic ejection |
US6939451B2 (en) * | 2000-09-19 | 2005-09-06 | Aclara Biosciences, Inc. | Microfluidic chip having integrated electrodes |
US6949176B2 (en) * | 2001-02-28 | 2005-09-27 | Lightwave Microsystems Corporation | Microfluidic control using dielectric pumping |
KR100916074B1 (en) * | 2001-03-09 | 2009-09-08 | 바이오마이크로 시스템즈, 인크. | Method and system for microfluidic interfacing to arrays |
EP2226043B1 (en) * | 2001-10-24 | 2014-12-31 | MED-EL Elektromedizinische Geräte GmbH | Implantable fluid delivery apparatus and implantable electrode |
US7159646B2 (en) * | 2002-04-15 | 2007-01-09 | University Of Maryland | Electrohydrodynamically (EHD) enhanced heat transfer system and method with an encapsulated electrode |
US7371051B2 (en) * | 2002-09-09 | 2008-05-13 | The Trustees Of The University Of Pennsylvania | Controlled magnetohydrodynamic fluidic networks and stirrers |
AU2003270882A1 (en) * | 2002-09-23 | 2004-05-04 | Cooligy, Inc. | Micro-fabricated electrokinetic pump with on-frit electrode |
US7189578B1 (en) * | 2002-12-02 | 2007-03-13 | Cfd Research Corporation | Methods and systems employing electrothermally induced flow for mixing and cleaning in microsystems |
-
2006
- 2006-02-24 DE DE102006009424A patent/DE102006009424A1/en not_active Withdrawn
-
2007
- 2007-02-26 US US12/296,224 patent/US20100150738A1/en not_active Abandoned
- 2007-02-26 EP EP07711666A patent/EP1989445A1/en not_active Withdrawn
- 2007-02-26 WO PCT/EP2007/001641 patent/WO2007098910A1/en active Application Filing
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4316233A (en) * | 1980-01-29 | 1982-02-16 | Chato John C | Single phase electrohydrodynamic pump |
US5964997A (en) * | 1997-03-21 | 1999-10-12 | Sarnoff Corporation | Balanced asymmetric electronic pulse patterns for operating electrode-based pumps |
US6790011B1 (en) * | 1999-05-27 | 2004-09-14 | Osmooze S.A. | Device for forming, transporting and diffusing small calibrated amounts of liquid |
US20020048425A1 (en) * | 2000-09-20 | 2002-04-25 | Sarnoff Corporation | Microfluidic optical electrohydrodynamic switch |
EP1227060A2 (en) * | 2001-01-26 | 2002-07-31 | Robert Bosch Gmbh | Micromechanical device and process for its manufacture |
US20020137196A1 (en) * | 2001-03-23 | 2002-09-26 | The Regents Of The University Of California | Sample preparation and detection device for infectious agents |
DE10329979A1 (en) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Universität Rostock | Pump with at least one pumping chamber |
US20050129526A1 (en) * | 2003-12-10 | 2005-06-16 | Dukhin Andrei S. | Method of using unbalanced alternating electric field in microfluidic devices |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1989445A1 (en) | 2008-11-12 |
WO2007098910A1 (en) | 2007-09-07 |
US20100150738A1 (en) | 2010-06-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE102009028493B4 (en) | microfluidic cell | |
DE4400955C2 (en) | Adhesion-controllable surface structure | |
EP1912729B1 (en) | Formation of an emulsion in a fluid microsystem | |
DE69923912T2 (en) | Pulsed electric field treatment chamber with integrated modular design | |
DE60108848T2 (en) | METHOD AND DEVICE FOR THE LOCATION AND CONCENTRATION OF POLAR ANALYTES BY MEANS OF AN ELECTRIC CHANGE AREA | |
Bakewell et al. | Dielectrophoresis of DNA: time-and frequency-dependent collections on microelectrodes | |
DE102010033256A1 (en) | Method for generating targeted flow and current density patterns in chemical and electrolytic surface treatment | |
EP1565266B1 (en) | Fluidic microsystem and method comprising field-forming passivation layers provided on microelectrodes | |
DE19859461A1 (en) | Method and device for the convective movement of liquids in microsystems | |
DE102006009424A1 (en) | Electrohydrodynamic micropump and its use | |
EP1744831B8 (en) | Method and device for collecting suspended particles | |
EP0001285B1 (en) | Device for sterilisation of liquids | |
EP1331986A1 (en) | Method and device for generating microconvections | |
EP1646789B1 (en) | Pump comprising at least one pump chamber and electrodes for producing an electric alternating field | |
WO1997017722A1 (en) | Facility for treating objects in a process tank | |
CH679952A5 (en) | ||
DE10213003B4 (en) | Micromixer and method for mixing at least two liquids and using micromixers | |
Tao et al. | Numerical investigation of field‐effect control on hybrid electrokinetics for continuous and position‐tunable nanoparticle concentration in microfluidics | |
EP3727672B1 (en) | Reactor system and process for flow-through reactions | |
DE60311230T2 (en) | Method and device for determining the zeta potential using an alternating electric field and a T-shaped channel | |
EP1957970B1 (en) | Device for measuring the streaming potential of fibers and particles in suspensions | |
DE102004030819B4 (en) | Microchemical chip | |
DE69721598T2 (en) | capillary | |
EP1128075A2 (en) | Micropump and/or micromixer with integrated sensor and process for its manufacture | |
DE10241099B3 (en) | Reactor to apply a liquid sample of DNA strands in spots at a carrier, e.g. a glass slide or biochip, has a reaction chamber with channels for a consistent flow and interaction with immobilized materials |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8181 | Inventor (new situation) |
Inventor name: HOLTAPPELS, MORITZ, 18055 ROSTOCK, DE Inventor name: GIMSA, JAN, PROF. DR., 18146 ROSTOCK, DE |
|
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: HOLTAPPELS, MORITZ, 28203 BREMEN, DE Owner name: STUBBE, MARCO, 18209 BAD DOBERAN, DE Owner name: GIMSA, JAN, PROF.DR., 18146 ROSTOCK, DE |
|
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |
Effective date: 20130903 |