DE102006001757B3

DE102006001757B3 - Measuring system for determining indulgence behavior of object e.g. machine tool, has housing in which piezo-actuator, acceleration sensors, path sensor and force sensor are arranged coaxial to each other

Info

Publication number: DE102006001757B3
Application number: DE200610001757
Authority: DE
Inventors: Andreas Dipl.-Ing. Schulz; Marcus Dr.-Ing. Queins; Severin Dipl.-Ing. Hannig
Original assignee: Rheinisch Westlische Technische Hochschuke RWTH
Current assignee: Hannig Severin Dr-Ing De
Priority date: 2006-01-13
Filing date: 2006-01-13
Publication date: 2007-05-31
Anticipated expiration: 2026-01-14

Abstract

The system has a housing, in which a piezo-actuator (64), acceleration sensors (56, 58), path sensor (70) and force sensor (60) are arranged coaxial to each other. The actuator generates an actuator lift that acts on an object, and the force sensor interconnects the actuator and the object, where the path sensor is arranged in an area formed between the acceleration sensors. Parts (36, 38) of the housing are movable relative to each other, where the actuator is connected between the housing parts. An independent claim is also included for a method for determining an indulgence behavior of an object.

Description

Die Erfindung betrifft ein Messsystem zur Bestimmung des Nachgiebigkeitsverhaltens eines Objekts, insbesondere einer Werkzeugmaschine, umfassend zwei Beschleunigungssensoren, einen Aktor zur Erzeugung eines auf das Objekt wirkenden Aktorhubs, einen Wegsensor und einen dem Aktor und dem Objekt zwischengeschalteten Kraftsensor.The The invention relates to a measuring system for determining the compliance behavior an object, in particular a machine tool, comprising two Acceleration sensors, an actuator for generating an on the Acting Aktorhubs object, a displacement sensor and the actuator and the object interposed force sensor.

Mit solchen Messsystemen können Werkzeugmaschinen daraufhin untersucht werden, wie nachgiebig sie bei Anregung mit bestimmten Frequenzen sind. Hierdurch können Eigenfrequenzen ermittelt werden, deren Kenntnis es wiederum erlaubt, die Werkzeugmaschine so zu betreiben, dass die Eigenfrequenzbereiche vermieden werden.With such measuring systems Machine tools will be examined as to how yielding they are when excited with certain frequencies. As a result, natural frequencies can be determined whose knowledge, in turn, allows the machine tool operate so that the natural frequency ranges are avoided.

Es hat sich herausgestellt, dass die Vorhersage des Nachgiebigkeitsverhaltens einer Werkzeugmaschine äußerst schwierig ist. Es ist daher in der Praxis üblich, eine Werkzeugmaschine zunächst herzustellen, und dann anschließend ihr Nachgiebigkeitsverhalten mit Hilfe eine Messsystems zu bestimmen.It it has been found that the prediction of compliance behavior a machine tool extremely difficult is. It is therefore common in practice to produce a machine tool first, and then afterwards determine their compliance behavior with the help of a measuring system.

Für eine mit einem solchen Messsystem durchzuführende Messung werden verschiedene Elemente benötigt. Dies ist zum einen ein Aktor, der einen Aktorhub erzeugt, der auf das zu messende Objekt beziehungsweise die Werkzeugmaschine wirkt. Der Aktor kann so angesteuert werden, dass er ein vorgegebenes Frequenzband durchläuft. Um das Nachgiebigkeitsverhalten der Werkzeugmaschine bestimmen zu können, müssen die Reaktionen, die durch die Erregung mit Hilfe des Aktors hervorgerufen werden, durch verschiedenartige Sensoren erfasst werden.For a with Measurement to be performed on such a measuring system will be different elements needed. On the one hand, this is an actor who generates an actuator stroke on the object to be measured or the machine tool acts. The actuator can be controlled so that it has a predetermined frequency band passes. To determine the compliance of the machine tool can, have to the reactions caused by the excitement with the help of the actor be detected by various sensors.

Aus Vorbenutzungen ist ein Messaufbau bekannt, der einen Aktor umfasst, der zwischen zwei Werkzeugmaschinenteilen positioniert wird. Zwischen dem Aktor und einem Werkzeugmaschinenteil wird ein Kraftsensor angeordnet. An jedem der Werkzeugmaschinenteile wird ein Beschleunigungssensor angeordnet. Ferner wird ein Wegsensor so positioniert, dass die relative Bewegung zwischen beiden Werkzeugmaschinenteilen gemessen werden kann. Die Positionierung und Befestigung des Aktors und der Sensoren ist äußerst zeitaufwändig und schwierig. Da eine Messung nur bei Stillstand einer Werkzeugmaschine durchgeführt werden kann, bedeutet dies, dass die Werkzeugmaschine während der Messung für Fertigungszwecke nicht zur Verfügung steht. Daher werden diese Messungen nur vergleichsweise selten durchgeführt, obwohl die Ergebnisse einer Messung sehr wertvolle Informationen zur Anpassung der Fertigungsparameter liefern.Out Prior use, a measurement setup is known which comprises an actuator, which is positioned between two machine tool parts. Between the actuator and a machine tool part, a force sensor is arranged. An acceleration sensor is placed on each of the machine tool parts. Furthermore, a displacement sensor is positioned so that the relative movement can be measured between both machine tool parts. The positioning and mounting the actuator and sensors is extremely time consuming and difficult. As a measurement only at standstill of a machine tool carried out can be, this means that the machine tool during the Measurement for Manufacturing purposes not available stands. Therefore, these measurements are performed only comparatively rarely, though the results of a measurement very valuable information for customization deliver the manufacturing parameters.

Ferner ist nachteilig, dass eine Werkzeugmaschine altert und sich somit auch ihr Schwingungsverhalten ändert. Auf Grund der vorstehend geschilderten Probleme werden Folgemessungen jedoch nur selten durchgeführt.Further is disadvantageous that a machine tool ages and thus also changes their vibration behavior. Due to the problems outlined above, follow-up measurements are made but rarely done.

Ein weiteres Problem bei den bekannten Messvorrichtungen besteht darin, die Wiederholbarkeit der Ergebnisse zu gewährleisten. Die Messergebnisse werden üblicherweise so angegeben, dass die Nachgiebigkeit des Objekts als Nachgiebigkeitsfrequenzgang über eine bestimmte Frequenzbandbreite in der Einheit "μm/N" aufgetragen wird (vergleiche hierzu insbesondere Kapitel 6 aus: Weck, M., Brecher, C., Werkzeugmaschinen – Messtechnische Untersuchung und Beurteilung, dynamische Stabilität, Reihe: Werkzeugmaschinen-Fertigungssysteme, Bd. 5, 7. Auflage, Springer-Verlag, Berlin Heidelberg, 2006).One Another problem with the known measuring devices is that to ensure the repeatability of the results. The measurement results become common specified so that the compliance of the object as a compliance frequency response over a certain frequency bandwidth is plotted in the unit "μm / N" (See in particular Chapter 6 of: Weck, M., Brecher, C., Machine Tools - Metrological Examination and assessment, dynamic stability, series: Machine tool manufacturing systems, Bd. 5, 7th edition, Springer-Verlag, Berlin Heidelberg, 2006).

Es hat sich herausgestellt, dass die vorstehend beschriebene Messkurve nur schwer reproduzierbar ist. Dies liegt auch daran, dass die oben genannten Sensoren und der Aktor jeweils manuell positioniert und fixiert werden müssen.It It has been found that the measurement curve described above difficult to reproduce. This is also because the above said sensors and the actuator are each manually positioned and must be fixed.

Aus der DE 102 14 756 A1 ist eine Vorrichtung bekannt, mit der Werkstückproben mit vorgespannt und mit einer Anregungskraft beaufschlagt werden können. Die Verformung der Probe kann mit einem Auslenkungssensor erfasst werden.From the DE 102 14 756 A1 a device is known, can be applied to the workpiece samples with biased and with an excitation force. The deformation of the sample can be detected with a deflection sensor.

Aus der DE 199 43 481 A1 ist eine Anordnung zur Bestimmung von mechanischen Defekten in mechanischen Bauteilen bekannt, das mindestens ein Erregerelement zur Beaufschlagung des mechanischen Bauteils mit einer periodischen Krafteinwirkung und mindestens einen Sensor zur Erfassung der Vibrationsbewegung des mechanischen Bauteils aufweist.From the DE 199 43 481 A1 an arrangement for the determination of mechanical defects in mechanical components is known, which has at least one excitation element for acting on the mechanical component with a periodic force and at least one sensor for detecting the vibration movement of the mechanical component.

Aus der DE 100 28 872 A1 ist ein Verfahren zur Überprüfung der Standsicherheit eines Betonfundaments eines Freileitungsmastes bekannt, bei dem ein Kraftimpuls auf einen Eckstiel des Mastes ausgeübt und die Reaktion der Umgebung mit Hilfe von seismographischen Sensoren gemessen und ausgewertet wird.From the DE 100 28 872 A1 a method for checking the stability of a concrete foundation of a transmission tower is known in which a force pulse is applied to a corner post of the mast and the reaction of the environment using seismographic sensors is measured and evaluated.

Hiervon ausgehend liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zu Grunde ein Messsystem zu schaffen, mit der das Nachgiebigkeitsverhalten eines Objekts, insbesondere einer Werkzeugmaschine, besonders einfach bestimmt werden kann.Of these, Based on the present invention, the object is based to create a measuring system with which the compliance behavior an object, in particular a machine tool, particularly simple can be determined.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass zur Anordnung des Aktors und der Sensoren ein Gehäuse vorgesehen ist, das zwei zueinander relativ bewegliche Gehäuseteile aufweist, wobei jedes Gehäuseteil zur Anordnung eines Beschleunigungssensors dient und wobei der Aktor den Gehäuseteilen zwischengeschaltet ist. Mit dem erfindungsgemäßen Messsystem müssen die Aktoren und Sensoren nicht mehr mühsam für jeden Messvorgang einzeln positioniert und fixiert werden. Nunmehr muss nur noch das Gehäuse des Messsystems an der Werkzeugmaschine positioniert werden. Das Gehäuse weist zwei zueinander relativ bewegliche Gehäuseteile auf, die durch den zwischengeschalteten Aktor aufeinander zu und voneinander weg bewegt werden. Da die Beschleunigungssensoren in jeweils einem der Gehäuseteile aufgenommen sind, müssen diese nicht mehr separat an den Werkzeugmaschinenteilen positioniert werden.This object is achieved in that for the arrangement of the actuator and the sensors, a housing is provided which has two mutually relatively movable housing parts, wherein each housing part for the arrangement of an acceleration sensor is used and wherein the actuator the Housing parts is interposed. With the measuring system according to the invention, the actuators and sensors no longer have to be individually positioned and fixed individually for each measurement process. Now only the housing of the measuring system has to be positioned on the machine tool. The housing has two mutually relatively movable housing parts, which are moved by the intermediate actuator to each other and away from each other. Since the acceleration sensors are accommodated in each case one of the housing parts, they no longer have to be positioned separately on the machine tool parts.

Der Anwender des Messsystems kann das Gehäuse sehr schnell am zu messenden Objekt positionieren und benötigt kein Fachwissen, um entscheiden zu können, wo und wie welcher Sensor befestigt werden muss. So vereinfacht und beschleunigt sich der Messvorgang, wodurch Leerzeiten der Werkzeugmaschine vermieden werden. Durch die einfache Handhabung des Gehäuses und durch die ortsfest an den Gehäuseteilen angeordneten Sensoren wird erreicht, dass die Wiederholgenauigkeit der Messungen gegenüber den aus dem Stand der Technik bekannten Messaufbauten erheblich verbessert ist. Auf Grund der einfachen Handhabung des erfindungsgemäßen Messsystems kann dieses auch von nicht speziell für diese Messungen ausgebildeten Personen angewendet werden.Of the Users of the measuring system, the housing can be measured very quickly at the Position object and needed No expertise to decide where and how which sensor must be attached. This simplifies and speeds up the process Measuring process, whereby idle times of the machine tool can be avoided. Due to the easy handling of the housing and by the stationary on the housing parts arranged sensors is achieved that the repeatability compared to the measurements the known from the prior art measurement setup considerably is improved. Due to the simple handling of the measuring system according to the invention this can also be done by persons not specially trained for these measurements be applied.

Eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung sieht vor, dass auch der Wegsensor den Gehäuseteilen zwischengeschaltet ist. Hierdurch kann der Relativweg, den die Gehäuseteile bei Ansteuerung des Aktors beschreiben, in einfacher Weise gemessen werden.A advantageous development of the invention provides that also the Distance sensor housing parts is interposed. As a result, the Relativweg, the housing parts describe when driving the actuator to be measured in a simple manner.

Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn der Kraftsensor innerhalb des Gehäuses angeordnet ist. Hierdurch wird erreicht, dass auch der Kraftsensor vor mechanischen Einflüssen geschützt ist, so dass das Messsystem besonders robust ist.Farther it is advantageous if the force sensor disposed within the housing is. This ensures that the force sensor before mechanical influences protected is, so that the measuring system is particularly robust.

Eine besonders vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung sieht vor, dass die Beschleunigungssensoren, der Aktor und der Kraftsensor koaxial zueinander angeordnet sind. Die genannten Sensoren und der Aktor wirken also entlang einer gemeinsamen Achse, wobei der Aktor entlang dieser Achse die Gehäuseteile in Schwingung versetzt und die Beschleunigungssensoren und der Kraftsensor entlang dieser Achse angeordnet sind.A Particularly advantageous embodiment of the invention provides that the acceleration sensors, the actuator and the force sensor coaxial are arranged to each other. The mentioned sensors and the actuator So act along a common axis, the actuator along this axis the housing parts vibrated and the acceleration sensors and the force sensor are arranged along this axis.

Eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung sieht vor, dass der Wegsensor in einem zwischen den Beschleunigungssensoren ausgebildeten Bereich angeordnet ist. Somit kann der Relativweg zwischen den Gehäuseteilen besonders einfach gemessen werden.A advantageous development of the invention provides that the displacement sensor in a region formed between the acceleration sensors is arranged. Thus, the Relativweg between the housing parts be measured very easily.

Der Aktorhub kann über einen Piezo-Aktor erzeugt werden. Ein Piezo-Aktor verhält sich im Vergleich zu den bekannten hydraulischen Aktoren weniger träge.Of the Actuator can over a piezo actuator can be generated. A piezo actuator behaves less sluggish compared to the known hydraulic actuators.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn der Aktor hohlzylindrisch ausgebildet ist. Die hohlzylindrische Form kann beispielsweise durch ringscheibenförmige Piezo-Elemente erzeugt werden, die aufeinander gestapelt sind ("stack").Especially It is advantageous if the actuator is formed as a hollow cylinder. The hollow cylindrical shape, for example, by annular disk-shaped piezo elements are generated, which are stacked on each other ("stack").

Der auf diese Weise erzeugte Hohlraum kann genutzt werden, um den Wegsensor in einem zentrischen Bereich des Aktors anzuordnen. Hierdurch baut das Gehäuse des Messsystems besonders kompakt.Of the cavity produced in this way can be used to the displacement sensor to be arranged in a central region of the actuator. This builds the housing of the measuring system particularly compact.

Der von dem Aktor erzeugte Aktorhub wird gegen den Widerstand der zu messenden Werkzeugmaschine auf diese übertragen. Der Widerstand, den die Werkzeugmaschine hierbei leistet, kann durch den Kraftsensor des Messsystems gemessen werden. Für eine besonders genaue Messung hat es sich als vorteilhaft erwiesen, dass der Kraftsensor ringförmig ausgebildet ist. Somit können auch Kräfte gut erfasst werden, die nicht genau zentrisch in das Gehäuse des Messsystems eingeleitet werden.Of the Actuator generated by the actuator is against the resistance of transferring measuring machine tool to this. The resistance, the machine tool makes this, can by the force sensor measured by the measuring system. For a particularly accurate measurement It has proven to be advantageous that the force sensor is annular is. Thus, you can also good powers are not precisely centered in the housing of the Be introduced measuring system.

Für eine weitere Verbesserung der Genauigkeit der gemessenen Kraftwerte ist es vorteilhaft, wenn eine ringförmige Wirkfläche des Aktors zumindest mittelbar mit einer ringförmigen Kontaktfläche des Kraftsensors zusammenwirkt. Auf diese Weise kann ein toleranzunempfindlicher Kraftschluss zwischen dem Aktor und dem Kraftsensor erzeugt werden. Vorzugsweise sind die Wirkfläche des Aktors und die Kontaktfläche des Kraftsensors gleich groß.For another Improving the accuracy of the measured force values, it is advantageous if an annular effective area of the actuator at least indirectly with an annular contact surface of the Force sensor cooperates. In this way, a tolerance insensitive Force fit between the actuator and the force sensor can be generated. Preferably, the effective area of the actuator and the contact surface of the force sensor the same size.

Das Messsystem kann mindestens ein Adapterteil umfassen, das lösbar an einem Gehäuseteil befestigt ist und auf seiner dem Gehäuseteil abgewandten Seite eine Adapterfläche aufweist. Hierdurch ist es möglich, das Gehäuse des Messsystems an verschiedene Messorte anpassen zu können. Die Adapterfläche liegt dabei an Oberflächenabschnitten der Werkzeugmaschine oder an weiteren Oberflächenabschnitten an, wie dies weiter unten noch detaillierter beschrieben ist. Die Adapterfläche kann den jeweiligen Oberflächenabschnitten angepasst sein, beispielsweise konturiert oder profiliert sein. Hierdurch kann das Gehäuse zuverlässig zwischen zwei räumlich voneinander entfernten Oberflächenabschnitten positioniert und fixiert werden. Das Gehäuse kann durch den Wechsel eines oder beider Adapterteile leicht an einen neuen Messort angepasst werden.The Measuring system may comprise at least one adapter part, which is releasably connected attached to a housing part is and on its the housing part opposite side an adapter surface having. This makes it possible the housing of the measuring system to be able to adapt to different measuring locations. The adapter surface is located thereby on surface sections of Machine tool or other surface sections, as this will be described in more detail below. The adapter surface can the respective surface sections be adapted, for example, contoured or profiled. hereby can the case reliable between two spatially remote surface sections be positioned and fixed. The housing can be replaced by the change one or both adapter parts easily adapted to a new location become.

In diesem Zusammenhang ist es besonders vorteilhaft, wenn die Adapterfläche relativ zum Gehäuseteil verschwenkbar ist, insbesondere über eine Pendellagerung. Dies erleichtert es, den Kraftschluss zwischen einem Oberflächenabschnitt der Werkzeugmaschine und dem Gehäuse des Messsystems herzustellen, wobei auch eine leicht exzentrische Krafteinleitung möglich ist.In this context, it is particularly advantageous if the adapter surface is pivotable relative to the housing part, in particular via a Self-aligning bearing. This makes it easier to produce the frictional connection between a surface section of the machine tool and the housing of the measuring system, wherein a slightly eccentric introduction of force is also possible.

Um die Relativbewegung der Gehäuseteile zueinander zu ermöglichen und um gleichzeitig die Gehäuseteile genau zueinander positionieren zu können, wird vorgeschlagen, dass die Gehäuseteile über ein elastisches Verbindungselement miteinander verbunden sind. Das Verbindungselement weist in vorteilhafter Weise eine solche Elastizität auf, dass es eine Relativbewegung zwischen den Gehäuseteilen erlaubt, die zumindest dem maximalen Hub des Aktors entspricht. Hierbei gilt, dass ein zu weiches Verbindungselement zu lasten der genauen Positionierung der Gehäuseteile zueinander geht, während ein zu steifes Verbindungselement die Relativbewegung zwischen den Gehäuseteilen behindert. Diese Bedingungen können mit einem membranförmigen Verbindungselement besonders gut erfüllt werden. Dieses kann beispielsweise aus einem metallischen Material oder auch aus Kunststoff gebildet sein.Around the relative movement of the housing parts to each other to enable and at the same time the housing parts to be able to position each other exactly, it is suggested that the housing parts over a elastic connecting element are connected together. The connecting element advantageously has such an elasticity that it allows a relative movement between the housing parts, at least corresponds to the maximum stroke of the actuator. Here is that one Too soft connector to load the exact positioning the housing parts to each other while a too stiff connecting element, the relative movement between the housing parts with special needs. These conditions can with a membrane-shaped connecting element especially well fulfilled become. This can for example be made of a metallic material or be formed from plastic.

In diesem Zusammenhang ist es besonders vorteilhaft, wenn das Verbindungselement nicht nur die Gehäuseteile zueinander positioniert, sondern gleichzeitig den innerhalb der Gehäuseteile angeordneten Aktor, insbesondere den Piezo-Aktor unter Vorspannung setzt.In In this context, it is particularly advantageous if the connecting element not just the housing parts positioned to each other, but at the same time within the housing parts arranged actuator, in particular the piezo actuator under bias puts.

Das Messsystem kann eine Steuereinheit zur Ansteuerung des Aktors umfassen. Bei Ausbildung des Aktors als Piezo-Aktor stellt die Steuereinheit entsprechende Spannungssignale bereit, die eine Verformung des Aktors bewirken. Bei Anliegen einer Wechselspannung kontrahiert und expandiert der Piezo-Aktor mit der Frequenz der Wechselspannung. Diese Frequenz kann in einem weiten Frequenzband von 0 bis 1000 Hz oder darüber hinaus variiert werden, um das Schwingungsverhalten der Werkzeugmaschine messen zu können.The Measuring system may include a control unit for controlling the actuator. When the actuator is designed as a piezo actuator, the control unit provides corresponding voltage signals ready, which is a deformation of the actuator cause. When applying an AC voltage contracts and expands the Piezo actuator with the frequency of the AC voltage. This frequency can be in a wide range Frequency band can be varied from 0 to 1000 Hz or beyond, to be able to measure the vibration behavior of the machine tool.

Das Messsystem kann ferner eine Empfangseinheit zum Empfang, zur Verstärkung und/oder zur Filterung der von den Sensoren erzeugten Signale umfassen. Zur Vereinfachung des Systems empfiehlt es sich, dass die Empfangseinheit und die Steuereinheit zu einer baulichen Einheit zusammengefasst sind.The Measuring system may further comprise a receiving unit for receiving, for amplifying and / or for filtering the signals generated by the sensors. to To simplify the system, it is recommended that the receiving unit and the control unit are combined to form a structural unit.

Ferner kann das Messsystem eine Auswerteeinheit zur Auswertung der von den Sensoren erzeugten Signale umfassen. Diese Auswerteeinheit kann beispielsweise durch einen Laptop gebildet sein, mit dem auch das Messergebnis angezeigt werden kann.Further the measuring system can be an evaluation unit for the evaluation of comprise signals generated by the sensors. This evaluation unit can be formed for example by a laptop, with which also the Measurement result can be displayed.

Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Bestimmung des Nachgiebigkeitsverhaltens eines Objekts, insbesondere einer Werkzeugmaschine, bei dem ein vorstehend beschriebenes Messsystem verwendet wird, das sich dadurch kennzeichnet, dass das Gehäuse des Messsystems zwischen zwei räumlich voneinander entfernten Oberflächenabschnitten positioniert wird, wobei mindestens ein erster Oberflächenabschnitt dem Objekt, insbesondere der Werkzeugmaschine zugeordnet ist. Anschließend wird der genannte Oberflächenabschnitt in Richtung auf das Gehäuse bewegt, bis der Kraftsensor ein Signal erzeugt, das einer vorgegebenen Minimalkraft entspricht.The The invention further relates to a method for determining the compliance behavior an object, in particular a machine tool, in which a the measuring system described above is used indicates that the housing of the measuring system between two spatially remote surface sections is positioned, wherein at least a first surface portion is associated with the object, in particular the machine tool. Subsequently, will the said surface section towards the case moves until the force sensor generates a signal that is a predetermined Minimum force corresponds.

Der Kraftsensor des Messsystems wird also nicht nur verwendet, um den Widerstand zu messen, der auftritt, wenn der Aktorhub auf das zu messende Objekt wirkt, sondern auch um das Gehäuse des Messsystems in eine definierte Bezugslage relativ zu dem Objekt zu bringen. In diesem Zusammenhang kann auch davon gesprochen werden, dass das Objekt beziehungsweise die Werkzeugmaschine unter Vorspannung gesetzt wird. Dies hat den Vorteil, dass ein zwischen relativ zueinander beweglichen Bauteilen (beispielsweise Getriebeteilen) der Werkzeugmaschine vorhandenes Spiel beseitigt wird und somit die Messung des Nachgiebigkeitsverhaltens der Werkzeugmaschine nicht verfälscht wird. Die genannte Minimalkraft kann beispielsweise 2000 N betragen. Sie sollte so hoch gewählt sein, dass gewährleistet ist, dass alle Lagerspiele der Werkzeugmaschine ausgeglichen sind. Die Minimalkraft sollte jedoch so gewählt sein, dass eine genügend hohe Aktorleistung verbleibt, um die Werkzeugmaschine anregen zu können.Of the Force sensor of the measuring system is therefore not only used to the To measure resistance that occurs when the actuator stroke on the too measuring object acts, but also to the housing of the measuring system in one defined reference position relative to the object to bring. In this Context can also be said that the object or the machine tool is biased. This has the advantage that one movable between relatively Components (for example transmission parts) of the machine tool available Game is eliminated and thus the measurement of the compliance behavior the machine tool is not distorted becomes. The said minimum force can be, for example, 2000 N. She should have chosen so high be that guaranteed is that all bearing clearances of the machine tool are balanced. The minimum force should, however, be chosen so that a sufficiently high Actuator power remains to be able to stimulate the machine tool.

Um durch die Messung eine Aussage über die Werkzeugmaschine erhalten zu können, die sich auf Fertigungsvorgänge übertragen lässt, wird vorgeschlagen, dass der erste Oberflächenabschnitt durch das Werkzeug einer Werkzeugmaschine gebildet ist. Dieses kann beispielsweise die Schleifscheibe einer Schleifmaschine, der Fräser einer Fräsmaschine, der Bohrer einer Bohrmaschine oder das Drehwerkzeug einer Drehmaschine sein. Der zweite Oberflächenabschnitt, der mit dem Gehäuse des Messsystems in Kontakt steht, kann beispielsweise durch ein Werkstück gebildet sein. Somit lässt sich das Messergebnis besonders gut auf die Fertigung eines spezifischen Werkstücks übertragen.Around by the measurement a statement about the To be able to receive a machine tool which are transferred to manufacturing processes leaves, It is suggested that the first surface section through the tool a machine tool is formed. This can for example the grinding wheel of a grinding machine, the milling cutter of a milling machine, the drill of a drilling machine or the turning tool of a lathe be. The second surface section, the one with the case of the measuring system is in contact, for example, by a workpiece be formed. Thus lets the result of measurement is particularly good at the production of a specific Transfer workpiece.

Zur Charakterisierung der Werkzeugmaschine wird vorgeschlagen, dass der zweite Oberflächenabschnitt durch eine Werkstückbefestigungsvorrichtung der Werkzeugmaschine gebildet ist, insbesondere durch eine Aufspannvorrichtung, weiter insbesondere durch einen Aufspanntisch. In diesem Fall wird die Messung also ohne Werkstück durchgeführt, wobei das Gehäuse des Messsystems zwischen verschiedenen Oberflächenabschnitten der Werkzeugmaschine eingespannt ist. Für den Fall, dass der erste Oberflächenabschnitt durch die Schleifscheibe einer Schleifmaschine gebildet ist, kann bei einer Spitzenlos-Schleifmaschine der zweite Oberflächenabschnitt durch die Regelscheibe der Schleifmaschine gebildet sein.For characterizing the machine tool, it is proposed that the second surface section is formed by a workpiece fastening device of the machine tool, in particular by a clamping device, more particularly by a clamping table. In this case, the measurement is thus carried out without a workpiece, wherein the housing of the measuring system between different surface sections of the tool machine is clamped. In the case that the first surface portion is formed by the grinding wheel of a grinding machine, in a centerless grinding machine, the second surface portion may be formed by the regulating wheel of the grinding machine.

Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung, in der unter Bezugnahme auf die Zeichnung besonders bevorzugte Ausführungsbeispiele im Einzelnen beschrieben sind. Dabei können die in der Zeichnung gezeigten sowie in den Ansprüchen sowie in der Beschreibung erwähnten Merkmale jeweils einzeln für sich oder in beliebiger Kombination erfindungswesentlich sein. In der Zeichnung zeigen:Further Advantages, features and details of the invention will become apparent the following description, with reference to the drawing particularly preferred embodiments are described in detail. It can be shown in the drawing as well as in the claims as well as mentioned in the description Features individually for each itself or in any combination essential to the invention. In show the drawing:

1 eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Messsystems bei seiner Verwendung zur Bestimmung der Nachgiebigkeit einer Werkzeugmaschine, wobei das Messsystem ein Gehäuse umfasst; 1 a schematic representation of a measuring system according to the invention in its use for determining the compliance of a machine tool, wherein the measuring system comprises a housing;

2 eine schematische, geschnittene Seitenansicht des Gehäuses des Messsystems gemäß 1; 2 a schematic, sectional side view of the housing of the measuring system according to 1 ;

3 eine perspektivische Ansicht eines Gehäuses eines Messsystems gemäß einer weiteren Ausführungsform; und 3 a perspective view of a housing of a measuring system according to another embodiment; and

4 eine geschnittene Seitenansicht des Gehäuses gemäß 3. 4 a sectional side view of the housing according to 3 ,

In 1 ist ein Messsystem insgesamt mit dem Bezugszeichen 2 bezeichnet. Dieses umfasst ein Gehäuse 4 zur Anordnung eines weiter unten beschriebenen Aktors sowie von verschiedenen, ebenfalls weiter unten beschriebenen Sensoren. Diese stehen über eine Verbindung 6 mit einer Einheit 8 in Verbindung, die eine Steuereinheit 10 zur Ansteuerung des Aktors sowie eine Empfangseinheit zum Empfang der Signale der Sensoren umfasst. Die Einheit 8 steht über eine Leitung 14 in Verbindung mit einer Auswerteeinheit 16, die beispielsweise durch einen Laptop gebildet sein kann.In 1 is a measuring system in total with the reference numeral 2 designated. This includes a housing 4 for the arrangement of an actuator described below and of various sensors also described below. These are connected 6 with one unit 8th in conjunction, which is a control unit 10 for controlling the actuator and a receiving unit for receiving the signals of the sensors. The unit 8th is over a line 14 in conjunction with an evaluation unit 16 , which may be formed by a laptop, for example.

Das Gehäuse 4 steht mit einem seiner Enden mit einem Werkstück 18 in Kontakt. Das Werkstück 18 ist zwischen den Spitzen eines Spindelstocks 20 und eines Reitstocks 22 eingespannt. Der Spindelstock 20 und der Reitstock 22 bilden gemeinsam eine mit 24 bezeichnete Aufspannvorrichtung.The housing 4 stands with one of its ends with a workpiece 18 in contact. The workpiece 18 is between the tips of a headstock 20 and a tailstock 22 clamped. The headstock 20 and the tailstock 22 together form one with 24 designated jig.

Das Gehäuse 4 liegt mit seinem dem Werkstück 18 abgewandten Ende an einer Schleifscheibe 26 an. Diese kann von einem separaten Spindelstock 28 angetrieben werden. Der Spindelstock 28, die Schleifscheibe 26 sowie die Aufspannvorrichtung 24 sind Teil einer insgesamt mit 30 bezeichneten Werkzeugmaschine.The housing 4 lies with his the workpiece 18 opposite end to a grinding wheel 26 at. This can be from a separate headstock 28 are driven. The headstock 28 , the grinding wheel 26 as well as the jig 24 are part of a total with 30 designated machine tool.

Das Gehäuse 4, das Werkstück 18 sowie die Schleifscheibe 26 sind auch in 2 dargestellt.The housing 4 , the workpiece 18 as well as the grinding wheel 26 are also in 2 shown.

Die dem Gehäuse 4 zugewandte Fläche der Schleifscheibe 26 bildet einen ersten Oberflächenabschnitt 32. In entsprechender Weise bildet die dem Gehäuse 4 zugewandte Oberfläche des Werkstücks 18 einen zweiten Oberflächenabschnitt 34. Das Gehäuse 4 ist zwischen dem ersten Oberflächenabschnitt 32 und dem zweiten Oberflächenabschnitt 34 eingespannt.The housing 4 facing surface of the grinding wheel 26 forms a first surface section 32 , In a similar way, the forms the housing 4 facing surface of the workpiece 18 a second surface portion 34 , The housing 4 is between the first surface section 32 and the second surface portion 34 clamped.

Das Gehäuse 4 weist ein in etwa topfförmiges erstes Gehäuseteil 36 auf sowie ein ebenfalls in etwa topfförmiges zweites Gehäuseteil 38. Die Gehäuseteile 36 und 38 sind über ein elastisches Verbindungselement 40 so miteinander verbunden, dass sich die Gehäuseteile relativ zueinander bewegen können. In der in 2 dargestellten Ausführungsform ist das Verbindungselement 40 als Faltenbalg ausgebildet.The housing 4 has a roughly cup-shaped first housing part 36 on as well as a likewise approximately cup-shaped second housing part 38 , The housing parts 36 and 38 are via an elastic connecting element 40 connected so that the housing parts can move relative to each other. In the in 2 illustrated embodiment is the connecting element 40 designed as a bellows.

Das erste Gehäuseteil 36 weist auf seiner der Schleifscheibe 26 zugewandten Seite eine Aufnahme 42 für ein Adapterteil 44 auf. Das Adapterteil 44 ist über nicht näher dargestellte Mittel, beispielsweise Schrauben oder Magnete, lösbar an dem ersten Gehäuseteil 36 befestigt. Das Adapterteil 44 weist auf seiner dem ersten Gehäuseteil 36 abgewandten und dem ersten Oberflächenabschnitt 32 der Schleifscheibe 26 zugewandten Seite eine Adapterfläche 46 auf. Diese ist konturiert und der Oberfläche der Schleifscheibe 26 zumindest grob angepasst, um zu gewährleisten, dass das Gehäuse 4 genau und zuverlässig relativ zur Schleifscheibe 26 positioniert werden kann.The first housing part 36 points to his grinding wheel 26 facing side a shot 42 for an adapter part 44 on. The adapter part 44 is about not shown means, such as screws or magnets, releasably attached to the first housing part 36 attached. The adapter part 44 indicates on its the first housing part 36 remote and the first surface section 32 the grinding wheel 26 facing side an adapter surface 46 on. This is contoured and the surface of the grinding wheel 26 at least roughly adjusted to ensure that the case 4 accurate and reliable relative to the grinding wheel 26 can be positioned.

In entsprechender Weise ist an dem zweiten Gehäuseteil 38 eine Adapteraufnahme 48 vorgesehen, in der ein Adapterteil 50 angeordnet ist. Das Adapterteil 50 weist eine dem Werkstück 18 zugewandte Adapterfläche 52 auf, die der Form des Werkstücks 18 angepasst ist.In a corresponding manner is on the second housing part 38 an adapter holder 48 provided in an adapter part 50 is arranged. The adapter part 50 has a the workpiece 18 facing adapter surface 52 on, the shape of the workpiece 18 is adjusted.

Die Gehäuseteile 36 und 38 begrenzen einen in etwa zylindrisch ausgebildeten Gehäuseraum 54. Der weiter oben schon genannte Aktor und die Sensoren sind in diesem Gehäuseraum 54 angeordnet. Ein erster Beschleunigungssensor 56 ist am Boden des ersten Gehäuseteils 36 befestigt. Ein zweiter Beschleunigungssensor 58 ist an dem Boden des zweiten Gehäuseteils 38 befestigt.The housing parts 36 and 38 limit a roughly cylindrically shaped housing space 54 , The actuator already mentioned above and the sensors are in this housing space 54 arranged. A first acceleration sensor 56 is at the bottom of the first housing part 36 attached. A second acceleration sensor 58 is at the bottom of the second housing part 38 attached.

Das zweite Gehäuseteil 38 dient auch zur Anordnung eines ringförmigen Kraftsensors 60, der auf seiner dem ersten Gehäuseteil 36 zugewandten Seite eine ringförmige Kontaktfläche 62 aufweist. Diese Kontaktfläche 62 wird von einem insgesamt hohlzylindrisch ausgebildeten Aktor 64 beaufschlagt. Der Aktor 64 ist ein Piezo-Aktor und weist auf seiner dem Kraftsensor 60 zugewandten Seite eine ringförmige Wirkfläche 66 auf. Wenn der Aktor 64 mit einer Wechselspannung beaufschlagt wird, erzeugt dieser einen Aktorhub. Der Aktor 64 stützt sich einerseits an dem Boden des ersten Gehäuseteils 36 ab und wirkt auf der entgegengesetzten Seite mit dem Kraftsensor 60 zusammen. Auf diese Weise wird das zweite Gehäuseteil 38 relativ zum ersten Gehäuseteil 36 bewegt. Die Bewegung überträgt sich über die Adapterteile 44 und 50 auf die Schleifscheibe 26 und auf das Werkstück 18.The second housing part 38 also serves to arrange an annular force sensor 60 on his first case 36 facing side an annular contact surface 62 having. This contact surface 62 is a total of a hollow cylindrical actuator 64 applied. The actor 64 is a piezo actuator and points to the force sensor 60 facing side an annular active surface 66 on. If the actor 64 is applied with an AC voltage, this generates an actuator stroke. The actor 64 supported on the one hand at the bottom of the first housing part 36 and acts on the opposite side with the force sensor 60 together. In this way, the second housing part 38 relative to the first housing part 36 emotional. The movement is transmitted via the adapter parts 44 and 50 on the grinding wheel 26 and on the workpiece 18 ,

Zwischen den Beschleunigungssensoren 56 und 58 ist ein Bereich 68 ausgebildet, der dem Hohlraum des zylindrischen Aktors 64 entspricht. In diesem Bereich ist ein insgesamt mit 70 bezeichneter Wegsensor angeordnet, der einen den Sensorkern tragenden Anker 72 und eine Ankeraufnahme 74 aufweist. Der Sensoranker 72 stützt sich an einer Sensoraufnahme 76 ab, die mit dem zweiten Gehäuseteil 38 verbunden ist. In entsprechender Weise ist die Ankeraufnahme 74 an einer Sensoraufnahme 78 befestigt, die wiederum mit dem ersten Gehäuseteil 36 verbunden ist. Auf diese Weise ist der Wegsensor 70 den Gehäuseteilen 36 und 38 zwischengeschaltet und kann somit die Relativbewegung zwischen diesen Gehäuseteilen erfassen.Between the acceleration sensors 56 and 58 is an area 68 formed, the cavity of the cylindrical actuator 64 equivalent. In this area is a total with 70 designated displacement sensor arranged, which has a sensor core bearing the armature 72 and an anchor pickup 74 having. The sensor anchor 72 is supported by a sensor holder 76 starting with the second housing part 38 connected is. In a similar way is the anchor seat 74 on a sensor holder 78 attached, in turn, with the first housing part 36 connected is. This way is the displacement sensor 70 the housing parts 36 and 38 interposed and thus can detect the relative movement between these housing parts.

Die Beschleunigungssensoren 56 und 58 sind entlang einer gemeinsamen Achse 80 angeordnet. Zu dieser Achse koaxial sind der Kraftsensor 60 und der Aktor 64 angeordnet. Die Achse 80 entspricht einer gemeinsamen Wirkungslinie von Aktor 64, Kraftsensor 60 und Beschleunigungssensoren 56 und 58.The acceleration sensors 56 and 58 are along a common axis 80 arranged. Coaxial with this axis are the force sensor 60 and the actor 64 arranged. The axis 80 corresponds to a common line of action of the actuator 64 , Force sensor 60 and acceleration sensors 56 and 58 ,

In 3 ist eine weitere Ausführungsform eines Gehäuses 4 eines Messsystems dargestellt. Dieses weist ebenfalls zwei Gehäuseteile 36 und 38 auf. Das Gehäuse 4 ist in 4 im Schnitt dargestellt. Dort sind Teile, die zu in 2 dargestellten Teilen funktionsgleich sind, mit entsprechenden Bezugszeichen versehen. Der Aufbau des Gehäuses 4 gemäß 4 entspricht im Wesentlichen dem Aufbau des Gehäuses 4 gemäßIn 3 is another embodiment of a housing 4 of a measuring system. This also has two housing parts 36 and 38 on. The housing 4 is in 4 shown in section. There are parts to in 2 Parts shown are functionally identical, provided with corresponding reference numerals. The structure of the housing 4 according to 4 corresponds essentially to the structure of the housing 4 according to

2. Daher soll im Folgenden nur auf die Unterschiede zwischen den Ausführungsformen eingegangen werden. 2 , Therefore, only the differences between the embodiments will be discussed below.

Das Gehäuse 4 gemäß 4 weist ein Adapterteil 50 auf, dessen Adapterfläche 52 über ein Pendellager 53 verschwenkbar ist. Auf diese Weise kann der Adapter 50 besonders gut in Anlage mit einem Oberflächenabschnitt 32 oder 34 (vergleiche 2) gebracht werden.The housing 4 according to 4 has an adapter part 50 on, its adapter surface 52 via a pendulum bearing 53 is pivotable. That way, the adapter can 50 particularly good in plant with a surface section 32 or 34 (see 2 ) to be brought.

Auch das Gehäuse 4 gemäß 4 weist einen ringförmigen Kraftsensor 60 mit einer ringförmigen Kontaktfläche 62 auf. Diese Kontaktfläche 62 wird nicht unmittelbar von der ringförmigen Wirkfläche 66 des Aktors 64 beaufschlagt, sondern über ein zwischen diesen Flächen angeordnetes Zwischenelement 63.Also the case 4 according to 4 has an annular force sensor 60 with an annular contact surface 62 on. This contact surface 62 does not become directly from the annular active surface 66 of the actor 64 but acted on an intermediate element arranged between these surfaces 63 ,

Ein weiterer Unterschied liegt darin, dass die Gehäuseteile 36 und 38 jeweils aus einzelnen Elementen bestehen. So umfasst das erste Gehäuseteil 36 ein Gehäuseelement 82, an dem das Adapterteil 44 angeordnet ist. Das Gehäuseelement 82 ist über eine Schraubverbindung mit einem hohlzylindrischen Gehäuseelement 84 verbunden, dieses wiederum über Schraubverbindungen mit einem weiteren Gehäuseelement 86. Die Gehäuseelemente 82 bis 86 bilden gemeinsam ein erstes Gehäuseteil 36.Another difference is that the housing parts 36 and 38 each consist of individual elements. So includes the first housing part 36 a housing element 82 on which the adapter part 44 is arranged. The housing element 82 is via a screw with a hollow cylindrical housing element 84 connected, this in turn via screw with another housing element 86 , The housing elements 82 to 86 together form a first housing part 36 ,

Das zweite Gehäuseteil 38 umfasst ebenfalls mehrere Elemente. Dies sind das Zwischenelement 63, ein hierzu benachbartes, in etwa scheibenförmig ausgebildetes Gehäuseelement 88 sowie ein hierzu benachbartes, ebenfalls in etwa scheibenförmig ausgebildetes Gehäuseelement 90, an dem das Adapterteil 50 angeordnet ist.The second housing part 38 also includes several elements. These are the intermediate element 63 , an adjacent thereto, approximately disc-shaped housing element 88 and a thereto adjacent, also approximately disc-shaped housing element 90 on which the adapter part 50 is arranged.

Die Verbindung zwischen den solchermaßen gebildeten Gehäuseteilen 36 und 38 erfolgt über ein membranförmig ausgebildetes Verbindungselement 40. Dieses ist einstückig mit dem Zwischenelement 63 ausgebildet und radial außen zwischen den Gehäuseelementen 84 und 86 fixiert und somit mit dem ersten Gehäuseteil 36 verbunden. Da das Verbindungselement 40 vergleichsweise dünnwandig ist und/oder Durchbrechungen aufweist, ist es elastisch, so dass bei Ansteuerung des Aktors 64 sich das zweite Gehäuseteil 38 entlang der Achse 80 relativ zu dem ersten Gehäuseteil 36 bewegen kann.The connection between the thus formed housing parts 36 and 38 takes place via a membrane-shaped connecting element 40 , This is integral with the intermediate element 63 formed and radially outside between the housing elements 84 and 86 fixed and thus with the first housing part 36 connected. As the connecting element 40 is comparatively thin-walled and / or has openings, it is elastic, so that when driving the actuator 64 the second housing part 38 along the axis 80 relative to the first housing part 36 can move.

Claims

Measuring system ( 2 ) for determining the compliance behavior of an object, comprising two acceleration sensors ( 56 . 58 ), an actor ( 64 ) for generating an actuator stroke acting on the object, a displacement sensor ( 70 ) and one the actuator ( 64 ) and the object interposed force sensor ( 60 ), characterized in that for the arrangement of the actuator ( 64 ) and the sensors ( 56 . 58 . 60 . 70 ) a housing ( 4 ) is provided, the two mutually relatively movable housing parts ( 36 . 38 ), each housing part ( 36 . 38 ) for mounting an acceleration sensor ( 56 . 58 ) and wherein the actuator ( 64 ) the housing parts ( 36 . 38 ) is interposed.

Measuring system ( 2 ) according to claim 1, characterized in that the object is a machine tool ( 30 ).

Measuring system ( 2 ) according to claim 1 or 2, characterized in that the displacement sensor ( 70 ) the housing parts ( 36 . 38 ) is interposed.

Measuring system ( 2 ) according to at least one of the preceding claims, characterized in that the force sensor ( 60 ) within the housing ( 4 ) is arranged.

Measuring system ( 2 ) according to at least one of the preceding claims, characterized in that the acceleration sensors ( 56 . 58 ), the actuator ( 64 ) and the force sensor ( 60 ) are arranged coaxially with each other.

Measuring system ( 2 ) according to at least one of the preceding claims, characterized in that the displacement sensor ( 70 ) in one between the acceleration sensors ( 56 . 58 ) trained area ( 68 ) is arranged.

Measuring system ( 2 ) according to at least one of the preceding claims, characterized in that the actuator ( 64 ) is a piezo actuator.

Measuring system ( 2 ) according to at least one of the preceding claims, characterized in that the actuator ( 64 ) is formed as a hollow cylinder.

Measuring system ( 2 ) according to at least one of the preceding claims, characterized in that the displacement sensor ( 70 ) in a centric region ( 68 ) of the actuator ( 64 ) is arranged.

Measuring system ( 2 ) according to at least one of the preceding claims, characterized in that the force sensor ( 60 ) is annular.

Measuring system ( 2 ) according to at least one of the preceding claims, characterized in that an annular active surface ( 66 ) of the actuator ( 64 ) at least indirectly with an annular contact surface ( 62 ) of the force sensor ( 60 ) cooperates.

Measuring system ( 2 ) according to at least one of the preceding claims, characterized in that the measuring system ( 2 ) at least one adapter part ( 44 . 50 ) releasably attached to a housing part ( 36 . 38 ) is fixed and on its the housing part ( 36 . 38 ) facing away from an adapter surface ( 46 . 52 ) having.

Measuring system ( 2 ) according to claim 12, characterized in that the adapter surface ( 46 . 52 ) relative to the housing part ( 36 . 38 ) is pivotable, in particular via a pendulum bearing ( 53 ).

Measuring system ( 2 ) according to at least one of the preceding claims, characterized in that the housing parts ( 36 . 38 ) via an elastic connecting element ( 40 ) are interconnected.

Measuring system ( 2 ) according to claim 14, characterized in that the connecting element ( 40 ) has such an elasticity that there is a relative movement between the housing parts ( 36 . 38 ), which at least the maximum stroke of the actuator ( 64 ) corresponds.

Measuring system ( 2 ) according to claim 15, characterized in that the connecting element ( 40 ) is formed membrane-shaped.

Measuring system ( 2 ) according to at least one of claims 14 to 16, characterized in that the connecting element ( 40 ) the actuator ( 64 ) under bias.

Measuring system ( 2 ) according to at least one of the preceding claims, characterized in that the measuring system ( 2 ) a control unit ( 10 ) for controlling the actuator ( 64 ).

Measuring system ( 2 ) according to at least one of the preceding claims, characterized in that the measuring system ( 2 ) a receiving unit ( 12 ) for receiving, amplifying and / or filtering the signals from the sensors ( 56 . 58 . 60 . 70 ) comprises generated signals.

Measuring system ( 2 ) according to at least one of the preceding claims, characterized in that the measuring system ( 2 ) an evaluation unit ( 16 ) for the evaluation of the sensors ( 56 . 58 . 60 . 70 ) comprises generated signals.

Method for determining the compliance behavior of an object using a measuring system ( 2 ) according to at least one of the preceding claims, characterized by the following steps: - the housing ( 4 ) of the measuring system ( 2 ) is between two spatially separated surface sections ( 32 . 34 ), wherein at least a first surface portion ( 32 ) is assigned to the object, - the surface section ( 32 ) of the object, is directed towards the housing ( 4 ) until the force sensor ( 60 ) generates a signal corresponding to a predetermined minimum force.

Method according to claim 21, characterized that the object is a machine tool.

The method of claim 21 or 22, since characterized in that the first surface section ( 32 ) by the tool of a machine tool ( 30 ) is formed.

A method according to claim 23, characterized in that the tool the grinding wheel ( 26 ) is a grinding machine.

Method according to claim 23, characterized that the tool of the cutter a milling machine is.

Method according to claim 23, characterized that the tool is the drill of a drill.

Method according to claim 23, characterized that the tool is the turning tool of a lathe.

Method according to at least one of claims 22 to 27, characterized in that a second surface section ( 34 ) through a workpiece ( 18 ) is formed.

Method according to at least one of claims 22 to 27, characterized in that a second surface section ( 34 ) is formed by a workpiece fastening device of the machine tool, in particular by a clamping device ( 24 ), in particular by a worktable.

Method according to claim 24, characterized in that a second surface section ( 34 ) is formed by the regulating wheel of the grinding machine.