DE102005063652B3 - Piezoelectric multilayer component - Google Patents

Piezoelectric multilayer component Download PDF

Info

Publication number
DE102005063652B3
DE102005063652B3 DE102005063652.7A DE102005063652A DE102005063652B3 DE 102005063652 B3 DE102005063652 B3 DE 102005063652B3 DE 102005063652 A DE102005063652 A DE 102005063652A DE 102005063652 B3 DE102005063652 B3 DE 102005063652B3
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
component
absorption layer
layers
piezoelectric
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
DE102005063652.7A
Other languages
German (de)
Inventor
Dr. Hirschler Michael
Heinz Florian
Dr. Sommariva Helmut
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Electronics AG
Original Assignee
TDK Electronics AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Electronics AG filed Critical TDK Electronics AG
Priority to DE102005063652.7A priority Critical patent/DE102005063652B3/en
Application granted granted Critical
Publication of DE102005063652B3 publication Critical patent/DE102005063652B3/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
    • H10N30/508—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure adapted for alleviating internal stress, e.g. cracking control layers
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/04—Constructional details
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01—Manufacture or treatment
    • H10N30/07—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base
    • H10N30/072—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by laminating or bonding of piezoelectric or electrostrictive bodies
    • H10N30/073—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by laminating or bonding of piezoelectric or electrostrictive bodies by fusion of metals or by adhesives
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02M—SUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
    • F02M2200/00—Details of fuel-injection apparatus, not otherwise provided for
    • F02M2200/21—Fuel-injection apparatus with piezoelectric or magnetostrictive elements

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Fuel-Injection Apparatus (AREA)

Abstract

Piezoelektrisches Vielschichtbauelement,- mit einer Vielzahl von übereinanderliegenden piezoelektrischen Schichten (1),- mit zwischen den piezoelektrischen Schichten (1) angeordneten Elektrodenschichten (2a, 2b),- wobei im Schichtstapel eine Absorptionsschicht (4) angeordnet ist, die dazu ausgelegt ist, einen von außen auftretenden Stoß in Bezug auf seine Zerstörwirkung auf das Bauelement zu schwächen, wobei die Absorptionsschicht (4) ein Metall außerhalb eines keramischen Werkstoffs enthält, wobei die zu der Absorptionsschicht (4) unmittelbar benachbarten Elektrodenschichten (2a, 2b) demselben elektrischen Pol des Bauelements zugeordnet sind, und wobei die zu der Absorptionsschicht (4) unmittelbar benachbarten piezoelektrischen Schichten (1) bei Betrieb des piezoelektrischen Vielschichtbauelements feldfrei sind.Piezoelectric multilayer component, - with a multiplicity of piezoelectric layers (1) lying one above the other, - with electrode layers (2a, 2b) arranged between the piezoelectric layers (1), - wherein an absorption layer (4) is arranged in the layer stack, which is designed to one to weaken the external impact in terms of its destructive effect on the component, the absorption layer (4) containing a metal outside of a ceramic material, the electrode layers (2a, 2b) immediately adjacent to the absorption layer (4) having the same electrical pole of the component are assigned, and the piezoelectric layers (1) which are directly adjacent to the absorption layer (4) are field-free when the piezoelectric multilayer component is in operation.

Description

Es wird ein piezoelektrisches Vielschichtbauelement angegeben mit übereinanderliegenden keramischen Schichten und dazwischenliegenden Elektrodenschichten.A piezoelectric multilayer component is specified with ceramic layers one above the other and electrode layers in between.

Es sind aus der Druckschrift DE 103 07 825 A1 Piezoaktoren bekannt, bei denen in einem Stapel übereinanderliegende piezokeramische Schichten angeordnet sind.They are from the pamphlet DE 103 07 825 A1 Piezo actuators are known in which piezoceramic layers are arranged one above the other in a stack.

DE 10 2004 012 282 A1 zeigt ein piezoelektrisches Schichtelement, bei dem Schichtkörpereinheiten, die aus abwechselnd gestapelten Keramikschichten und Elektrodenschichten bestehen, durch Verbindungsmaterialschichten verbunden sind, wobei in den Verbindungsmaterialschichten ein aus Silikonharz bestehendes Verbindungsmaterial gehärtet ist. DE 10 2004 012 282 A1 shows a piezoelectric layer element in which laminated body units, which consist of alternately stacked ceramic layers and electrode layers, are connected by connecting material layers, a connecting material consisting of silicone resin being hardened in the connecting material layers.

Weiterer Stand der Technik ist bekannt aus DE 198 56 201 A1 , WO 2004/ 095 596 A1 , DE 34 30 161 A1 und DE 10 2005 015 112 A1 .Further prior art is known from DE 198 56 201 A1 , WO 2004/095 596 A1 , DE 34 30 161 A1 and DE 10 2005 015 112 A1 .

Eine zu lösende Aufgabe besteht darin, ein piezoelektrisches Vielschichtbauelement anzugeben, das besonders für den Einsatz in einem Kfz geeignet ist.One task to be solved is to provide a piezoelectric multilayer component that is particularly suitable for use in a motor vehicle.

Diese Aufgabe wird gelöst durch ein piezoelektrisches Vielschichtbauelement nach Patentanspruch 1. Vorteilhafte Ausgestaltungen des Vielschichtbauelements sind den weiteren Patentansprüchen zu entnehmen.This object is achieved by a piezoelectric multilayer component according to claim 1. Advantageous configurations of the multilayer component can be found in the further patent claims.

Gemäß wenigstens einer Ausführungsform eines piezoelektrischen Bauelements wird ein Stapel von übereinanderliegenden piezoelektrischen Schichten angegeben.According to at least one embodiment of a piezoelectric component, a stack of piezoelectric layers lying one above the other is specified.

Zwischen piezoelektrischen Schichten sind Elektrodenschichten angeordnet, die vorzugsweise die Funktion von Innenelektroden haben und die dem Aufbau eines elektrischen Feldes in den piezoelektrischen Schichten dienen.Electrode layers are arranged between piezoelectric layers, which preferably have the function of internal electrodes and which serve to build up an electric field in the piezoelectric layers.

Vorzugsweise ist jeweils zwischen zwei piezoelektrischen Schichten eine Elektrodenschicht angeordnet.An electrode layer is preferably arranged in each case between two piezoelectric layers.

Wenigstens eine Absorptionsschicht ist im Schichtstapel vorgesehen. Vorzugsweise wird die Absorptionsschicht so ausgebildet, dass sie zur Absorption von mechanischen Schwingungen geeignet ist.At least one absorption layer is provided in the layer stack. The absorption layer is preferably formed such that it is suitable for absorbing mechanical vibrations.

Mechanische Schwingungen treten in dem beschriebenen piezoelektrischen Bauelement beispielsweise dann auf, wenn das Bauelement in einem Kraftstoffeinspritzsystem eines Kraftfahrzeuges angewendet wird. In diesem Fall wirken je nach Konstruktion der Einspritzsysteme mechanische Kräfte auf das piezoelektrische Vielschichtbauelement ein. Die mechanischen Belastungen können sich beispielsweise aus dem Kraft-Weg-Diagramm unter Berücksichtigung der Dynamik des Einspritzvorganges ergeben. Wird die Ausdehnung des piezoelektrischen Vielschichtbauelements durch einen mechanischen Anschlag begrenzt, wie dies beispielsweise in Pumpe-Düse-Einspritzsystemen für Dieselmotoren der Fall ist, so treten besonders hohe mechanische Belastungen auf, gegen die das piezoelektrische Vielschichtbauelement geschützt werden muss, da die Gefahr der Beschädigung besteht. In ähnlicher Weise können die dynamischen Rückwirkungen des Einspritzsystems, beispielsweise beim Auftreffen schnell bewegter mechanischer Teile auf das piezoelektrische Vielschichtbauelement mechanische Schwingungen bzw. mechanische Belastungen des Bauelementes herbeiführen.Mechanical vibrations occur in the described piezoelectric component, for example, when the component is used in a fuel injection system of a motor vehicle. In this case, depending on the design of the injection systems, mechanical forces act on the piezoelectric multilayer component. The mechanical loads can result, for example, from the force-displacement diagram, taking into account the dynamics of the injection process. If the expansion of the piezoelectric multilayer component is limited by a mechanical stop, as is the case, for example, in pump-nozzle injection systems for diesel engines, particularly high mechanical loads occur, against which the piezoelectric multilayer component must be protected, since there is a risk of damage . In a similar way, the dynamic reactions of the injection system, for example when fast moving mechanical parts strike the piezoelectric multilayer component, can cause mechanical vibrations or mechanical loads on the component.

Die Verwendung eines hier angegebenen Bauelements mit einer Absorptionsschicht hat den Vorteil, dass wenigstens ein Teil der mechanischen Schwingungsenergie, beispielsweise der Aufprallenergie bzw. der Schlagenergie von der Absorptionsschicht absorbiert werden kann, so dass die Gefahr der mechanischen Beschädigung des Vielschichtbauelementes reduziert ist.The use of a component specified here with an absorption layer has the advantage that at least part of the mechanical vibration energy, for example the impact energy or the impact energy, can be absorbed by the absorption layer, so that the risk of mechanical damage to the multilayer component is reduced.

Vorzugsweise ist die Absorptionsschicht so gestaltet, dass sie die Möglichkeit der Dissipation bietet, d.h., dass die Schwingungsenergie bzw. die mechanische Energie in Wärme umgewandelt werden kann.The absorption layer is preferably designed in such a way that it offers the possibility of dissipation, i.e. that the vibration energy or the mechanical energy can be converted into heat.

Darüber hinaus hat die Absorptionsschicht den Vorteil, dass bei einer schnellen Abfolge mehrerer mechanischer Stöße auf das Vielschichtbauelement eine dauerhafte Ausbreitung der dadurch entstehenden mechanischen Stoßwellen, beispielsweise auch durch Reflexion an den äußeren Enden des Bauelements, wirksam vermindert werden kann. Hierfür wird die Absorptionsschicht so gestaltet, dass beispielsweise in Schallgeschwindigkeit durch das Bauelement laufende Stoßwellen an Grenzflächen zwischen einer Absorptionsschicht und einer piezoelektrischen Schicht bzw. an einer Grenzfläche zwischen einer Absorptionsschicht und einer Innenelektrodenschicht eine Beugung oder eine Brechung erfahren, wodurch die geradlinige Ausbreitung der Stoßwelle geschwächt wird. Dadurch können sich hochschaukelnde bzw. kumulierende, durch schnelle aufeinanderfolgende mechanische Stöße bewirkte Stoßwellenpakete hinsichtlich ihrer Intensität verringert werden und die Gefahr der Zerstörung des Bauelements kann vermindert werden.In addition, the absorption layer has the advantage that, in the event of a rapid succession of several mechanical impacts on the multilayer component, the permanent propagation of the mechanical shock waves thereby generated, for example also by reflection at the outer ends of the component, can be effectively reduced. For this purpose, the absorption layer is designed in such a way that, for example, shock waves traveling through the component at the speed of sound at an interface between an absorption layer and a piezoelectric layer or at an interface between an absorption layer and an inner electrode layer undergo diffraction or refraction, which weakens the linear propagation of the shock wave becomes. As a result, shock wave packets that rock up or accumulate and are caused by rapid successive mechanical impacts can be reduced in terms of their intensity, and the risk of the component being destroyed can be reduced.

Gemäß einer Ausführungsform des Bauelements ist es vorgesehen, dass eine Absorptionsschicht im Stapel eine keramische Schicht ist. Insbesondere kann es vorgesehen sein, dass auch die piezoelektrischen Schichten des Schichtstapels keramische Schichten sind. In diesem Fall ist es vorteilhaft, wenn die Absorptionsschicht eine höhere Porosität aufweist, als die benachbarten piezoelektrischen keramischen Schichten. Gemäß einer anderen Ausführungsform des Bauelements ist es vorgesehen, dass das Bauelement durch Gemeinsamsintern mehrerer übereinanderliegender keramischer Grünfolien hergestellt wird. Durch einen solchen Sinterprozess kann beispielsweise ein monolithisches Bauelement entstehen. According to one embodiment of the component, it is provided that an absorption layer in the stack is a ceramic layer. In particular, it can be provided that the piezoelectric layers of the layer stack are also ceramic layers. In this case it is advantageous if the absorption layer has a higher porosity than the neighboring piezoelectric ceramic layers. According to another embodiment of the component, it is provided that the component is produced by sintering together a number of ceramic green foils lying one above the other. Such a sintering process can, for example, produce a monolithic component.

Des weiteren ist es gemäß einer Ausführungsform des Bauelements vorgesehen, dass mehrere Absorptionsschichten über den Schichtstapel verteilt angeordnet werden. Für den Fall, dass als Absorptionsschicht ein Keramikmaterial verwendet wird, kann die Absorptionsschicht gemeinsam mit den übrigen piezoelektrischen keramischen Schichten gesintert werden. Dadurch entsteht eine besonders gute mechanische Anbindung der Absorptionsschicht an den Rest des Bauelementes, so dass die mechanische Belastbarkeit des Bauelementes verbessert wird.Furthermore, according to one embodiment of the component, it is provided that a plurality of absorption layers are arranged distributed over the layer stack. In the event that a ceramic material is used as the absorption layer, the absorption layer can be sintered together with the other piezoelectric ceramic layers. This creates a particularly good mechanical connection of the absorption layer to the rest of the component, so that the mechanical strength of the component is improved.

Gemäß einer Ausführungsform des Bauelementes ist eine Absorptionsschicht vorgesehen, die ein anorganisches Material enthält. Beispielsweise kann es sich dabei um ein Metall oder auch um einen keramischen Werkstoff handeln.According to one embodiment of the component, an absorption layer is provided which contains an inorganic material. For example, it can be a metal or a ceramic material.

Darüber hinaus ist es gemäß einer Ausführungsform des Bauelements vorgesehen, dass die Absorptionsschicht organische Materialien enthält oder sogar vollständig aus organischen Materialien aufgebaut ist. Hierfür kommen beispielsweise Klebstoffe oder auch duroplastische Kunststoffe in Betracht.In addition, according to one embodiment of the component, it is provided that the absorption layer contains organic materials or is even constructed entirely from organic materials. For example, adhesives or thermosetting plastics come into consideration.

In einer Ausführungsform des Bauelements wird die Absorptionsfähigkeit der Absorptionsschicht dadurch erreicht, daß sie gegenüber den keramischen Schichten eine höhere Porosität aufweisen.In one embodiment of the component, the absorption capacity of the absorption layer is achieved in that they have a higher porosity than the ceramic layers.

Vorzugsweise wird das Bauelement durch Sintern eines Stapels von übereinanderliegenden keramischen Grünfolien und dazwischenliegenden Elektrodenschichten hergestellt. Dadurch entsteht ein monolithisches Bauelement, das einfach und billig herzustellen ist und das für die weiteren Bearbeitungsschritte eine ausreichende mechanische Stabilität besitzt.The component is preferably produced by sintering a stack of ceramic green foils lying one above the other and electrode layers lying between them. This creates a monolithic component that is simple and inexpensive to manufacture and that has sufficient mechanical stability for the further processing steps.

Um die Absorptionsfähigkeit des Bauelements bezüglich mechanischer Schwingungen weiter zu verbessern, kann es vorgesehen sein, daß an mehreren Stellen der Längsachse Absorptionsschicht vorgesehen sind. Dadurch wird gewissermaßen das Bauelement entlang der Längsachse in mehrere Teil-Bauelemente unterteilt.In order to further improve the absorption capacity of the component with regard to mechanical vibrations, it can be provided that absorption layers are provided at several locations along the longitudinal axis. As a result, the component is divided into several sub-components along the longitudinal axis.

Poröse Schichten in einem keramischen Vielschichtbauelement stellen eine Diskontinuität für Schallwellen dar. Es ist daher vorteilhaft, wenn die porösen Schichten beim Betrieb des Bauelements weitgehend frei von elektrischen Feldern gehalten werden, um unerwünschte Migrationseffekte zu vermeiden. Dies wird dadurch erreicht, daß die unmittelbar zu einer Absorptionsschicht benachbarten Elektrodenschichten demselben elektrischen Pol des Bauelements zugeordnet sind. Dann können keine nennenswerten elektrischen Felder mehr über die Absorptionsschicht aufgebaut werden.Porous layers in a ceramic multilayer component represent a discontinuity for sound waves. It is therefore advantageous if the porous layers are kept largely free of electrical fields during operation of the component in order to avoid undesired migration effects. This is achieved in that the electrode layers directly adjacent to an absorption layer are assigned to the same electrical pole of the component. Then no more significant electric fields can be built up over the absorption layer.

In einer Ausführungsform des Bauelements ist die Porosität der Absorptionsschicht gegenüber den keramischen Schichten um einen Faktor zwischen 1,2 und 3 erhöht. Diese Angabe der Porosität bezieht sich auf die folgende Methode zur Messung der Porosität:

  • Es wird das Bauelement in einem Längsschliff betrachtet. Poren, die sowohl in den keramischen Schichten als auch in den Absorptionsschichten auftreten können, unterscheiden sich durch einen farblichen bzw. Hell-Dunkel-Kontrast von dem sie umgebenden Keramikmaterial. Nun wird für jede Art von Schicht, also für die keramische Schicht und für eine Absorptionsschicht über eine Einheitsfläche der Flächenanteil der Poren an dieser Einheitsfläche ermittelt. Der Quotient aus den beiden Flächenanteilen der Poren ergibt den Faktor der erhöhten Porosität.
In one embodiment of the component, the porosity of the absorption layer is increased by a factor between 1.2 and 3 compared to the ceramic layers. This porosity specification relates to the following method for measuring the porosity:
  • The component is viewed in a longitudinal section. Pores, which can occur both in the ceramic layers and in the absorption layers, differ from the ceramic material surrounding them by a color or light-dark contrast. Now, for each type of layer, that is to say for the ceramic layer and for an absorption layer, the area fraction of the pores in this unit area is determined over a unit area. The quotient of the two areas of the pores gives the factor of increased porosity.

Die Porosität kann auch als Bruchteil der theoretisch möglichen Dichte angegeben werden. In diesem Fall hätten die keramischen Schichten eine Dichte von ca. 97-98 % der theoretischen Dichte und die Absorptionsschichten eine Dichte von 90-95 % der theoretische Dichte.The porosity can also be given as a fraction of the theoretically possible density. In this case, the ceramic layers would have a density of approx. 97-98% of the theoretical density and the absorption layers would have a density of 90-95% of the theoretical density.

Es ist des weiteren vorteilhaft, wenn die Absorptionsschicht aus demselben Keramikmaterial besteht, wie die keramischen Schichten. Dadurch kann die Materialvielfalt des Bauelements in vorteilhafter Weise reduziert werden, was zudem noch den positiven Nebeneffekt hat, daß die weiteren Prozesse zur Herstellung des Bauelements, wie beispielsweise Entbindern und Sintern einfacher durchführbar sind.It is furthermore advantageous if the absorption layer consists of the same ceramic material as the ceramic layers. As a result, the variety of materials of the component can be reduced in an advantageous manner, which also has the positive side effect that the further processes for producing the component, such as debinding and sintering, can be carried out more easily.

Es ist darüber hinaus besonders vorteilhaft, wenn das elektrische Vielschichtbauelement ein piezoelektrischer Aktor ist, der in Kraftfahrzeugen eingesetzt werden kann.It is also particularly advantageous if the electrical multilayer component is a piezoelectric actuator that can be used in motor vehicles.

Der hier angegebene Schichtstapel hat den Vorteil, daß durch den erhöhten Volumenanteil an Bindemittel in einer oder mehrerer der Grünfolien in dem Schichtstapel die Herstellung von keramischen Schichten mit einer erhöhten Porosität möglich ist. Das Bindemittel wird nämlich noch vor dem Sintern durch einen Entkohlungsprozeß entfernt und an den Stellen in den Schichten, in denen der hohe Anteil von Bindemittel vorhanden war, können sich anschließend Poren bilden. The layer stack specified here has the advantage that the increased volume fraction of binder in one or more of the green sheets in the layer stack makes it possible to produce ceramic layers with increased porosity. This is because the binder is removed by a decarburization process even before sintering, and pores can subsequently form at the locations in the layers in which the high proportion of binder was present.

Dabei ist es besonders vorteilhaft, wenn der Volumenanteil an Bindemittel um einen Faktor zwischen 1,5 und 3 erhöht ist. Dadurch kann die Gefahr vermindert werden, daß in der Keramikschicht zu wenig Keramikpulver vorhanden ist, so daß nach dem Sintern kein monolithisches Bauelement, sondern ein bereits vor dem elektrischen Betrieb in einzelne Teil-Bauelemente unterteiltes Bauelement resultiert.It is particularly advantageous if the volume fraction of binder is increased by a factor between 1.5 and 3. This can reduce the risk that too little ceramic powder is present in the ceramic layer, so that after the sintering there is no monolithic component, but rather a component that is already subdivided into individual partial components before electrical operation.

Im Folgenden werden bevorzugte Aspekte der vorliegenden Erfindung beschrieben. Die Aspekte sind nummeriert, um eine Rückbeziehung der Aspekte untereinander zu ermöglichen. Merkmale der Aspekte können sowohl für sich genommen als auch in Kombination mit den Merkmalen eines oder mehrerer anderer Aspekte relevant sein.

  1. 1. Piezoelektrisches Vielschichtbauelement,
    • - mit einer Vielzahl von übereinanderliegenden piezoelektrischen Schichten,
    • - mit zwischen den piezoelektrischen Schichten angeordneten Elektrodenschichten,
    • - wobei im Schichtstapel eine Absorptionsschicht zur Absorption mechanischer Schwingungsenergie angeordnet ist.
  2. 2. Bauelement nach Aspekt 1, bei dem die Absorptionsschicht eine piezoelektrische Schicht ist.
  3. 3. Bauelement nach Aspekt 2, bei dem die Absorptionsschicht eine höhere Porosität aufweist, als die benachbarten piezoelektrischen Schichten.
  4. 4. Bauelement nach einem der Aspekte 1 bis 3, bei dem der Schichtstapel gebildet wird aus keramischen piezoelektrischen Schichten, die miteinander versintert sind.
  5. 5. Bauelement nach einem der Aspekte 1 bis 4, das ein durch Sintern hergestelltes monolithisches Bauelement ist.
  6. 6. Bauelement nach einem der Aspekte 1 bis 5, bei dem mehrere Absorptionsschichten vorgesehen sind.
  7. 7. Bauelement nach Aspekt 6, bei dem die Absorptionsschichten gleichmäßig über die Höhe des Schichtstapels verteilt sind.
  8. 8. Bauelement nach einem der Aspekte 1 bis 7, bei dem wenigstens eine Absorptionsschicht einen anorganischen Werkstoff enthält.
  9. 9. Bauelement nach Aspekt 8, bei dem wenigstens eine Absorptionsschicht ein Metall oder eine Keramik enthält.
  10. 10. Bauelement nach einem der Aspekte 1 bis 8, bei dem wenigstens eine Absorptionsschicht ein organisches Material enthält.
  11. 11. Bauelement nach Aspekt 10, bei dem eine Absorptionsschicht einen Klebstoff oder einen duroplastischen Kunststoff enthält.
  12. 12. Bauelement nach einem der Aspekte 1 bis 4, bei dem die zu einer Absorptionsschicht unmittelbar benachbarten Elektrodenschichten demselben elektrischen Pol des Bauelements zugeordnet sind.
  13. 13. Bauelement nach einem der Aspekte 1 bis 5, bei dem die Porosität der Absorptionsschicht gegenüber den keramischen Schichten um den Faktor 1,2 bis 3 erhöht ist.
  14. 14. Bauelement nach einem der Aspekte 1 bis 6, bei dem die Absorptionsschicht aus demselben Keramikmaterial wie die piezoelektrischen Schichten bestehen.
Preferred aspects of the present invention are described below. The aspects are numbered in order to enable the aspects to be related to one another. Characteristics of the aspects can be relevant both individually and in combination with the characteristics of one or more other aspects.
  1. 1. Piezoelectric multilayer component,
    • with a multiplicity of superimposed piezoelectric layers,
    • with electrode layers arranged between the piezoelectric layers,
    • - An absorption layer for absorbing mechanical vibrational energy is arranged in the layer stack.
  2. 2. Component according to aspect 1 , in which the absorption layer is a piezoelectric layer.
  3. 3. Component according to aspect 2nd , in which the absorption layer has a higher porosity than the neighboring piezoelectric layers.
  4. 4. Component according to one of the aspects 1 to 3rd , in which the layer stack is formed from ceramic piezoelectric layers which are sintered together.
  5. 5. Component according to one of the aspects 1 to 4th which is a monolithic device made by sintering.
  6. 6. Component according to one of the aspects 1 to 5 , in which several absorption layers are provided.
  7. 7. Component according to aspect 6 , in which the absorption layers are evenly distributed over the height of the layer stack.
  8. 8. Component according to one of the aspects 1 to 7 , in which at least one absorption layer contains an inorganic material.
  9. 9. Component according to aspect 8th , in which at least one absorption layer contains a metal or a ceramic.
  10. 10. Component according to one of the aspects 1 to 8th , in which at least one absorption layer contains an organic material.
  11. 11. Component according to aspect 10th , in which an absorption layer contains an adhesive or a thermosetting plastic.
  12. 12. Component according to one of the aspects 1 to 4th , in which the electrode layers immediately adjacent to an absorption layer are assigned to the same electrical pole of the component.
  13. 13. Component according to one of the aspects 1 to 5 , in which the porosity of the absorption layer is increased by a factor of 1.2 to 3 compared to the ceramic layers.
  14. 14. Component according to one of the aspects 1 to 6 , in which the absorption layer consists of the same ceramic material as the piezoelectric layers.

Im folgenden wird ein Bauelement anhand eines Ausführungsbeispiels und den dazugehörigen Figuren näher erläutert.

  • 1 zeigt beispielhaft ein Vielschichtbauelement in einer perspektivischen Ansicht.
  • 2 zeigt einen Längsschnitt eines Teilbereichs des Bauelements aus 1.
In the following, a component is explained in more detail using an exemplary embodiment and the associated figures.
  • 1 shows an example of a multilayer component in a perspective view.
  • 2nd shows a longitudinal section of a portion of the component 1 .

Die 1 und 2 zeigen einen piezoelektrischen Aktor, bei dem eine Vielzahl von keramischen Schichten 1 entlang einer Längsachse 3 übereinandergestapelt sind. Als Keramikmaterial für die keramischen Schichten 1 kann insbesondere eine PZT-Keramik, beispielsweise der Zusammensetzung Pb0, 96Cu0, 02Nd0, 02(Zr0,54Ti0,46)O3 verwendet werden.The 1 and 2nd show a piezoelectric actuator in which a plurality of ceramic layers 1 along a longitudinal axis 3rd are stacked on top of each other. As ceramic material for the ceramic layers 1 In particular, a PZT ceramic, for example, the composition Pb 0 96 Cu 0 02 Nd 0, 02 (Zr 0.54 Ti 0.46) O are used. 3

Daneben sind Elektrodenschichten 2a, 2b vorgesehen, die jeweils zwischen zwei benachbarten keramischen Schichten 1 angeordnet sind. Dabei gehören die Elektrodenschichten 2a zu einem elektrischen Pol des Bauelements und die Elektrodenschichten 2b zum anderen Pol des elektrischen Bauelements. Die bis ganz an den rechten Rand des Bauelements herangeführten Elektrodenschichten 2b sind durch die Außenkontaktierung 51 miteinander elektrisch leitend verbunden und gleichzeitig ermöglicht die Außenkontaktierung 51 das Anlegen eines Pols einer elektrischen Spannungsquelle.Next to it are electrode layers 2a , 2 B provided, each between two adjacent ceramic layers 1 are arranged. The electrode layers belong here 2a to an electrical pole of the component and the electrode layers 2 B to the other pole of the electrical component. The electrode layers all the way to the right edge of the component 2 B are due to the external contact 51 electrically conductively connected to each other and at the same time enables external contact 51 the application of a pole of an electrical voltage source.

Dementsprechend sind die auf der linken Seite des Bauelements bis an den äußeren Rand reichenden Elektrodenschichten 2b mit einer auf der linken Seite des Bauelements (nicht in 1 sichtbar) angeordneten Außenkontaktierung 52 elektrisch leitend verbunden. An die Außenkontaktierung 52 kann der andere Pol der elektrischen Spannungsquelle angeschlossen werden.Accordingly, the electrode layers reaching to the outer edge on the left side of the component are 2 B with one on the left side of the component (not in 1 visible) arranged external contact 52 electrically connected. To the external contact 52 the other pole of the electrical voltage source can be connected.

Im Gebiet einer passiven Zone 7 überlappen die Elektrodenschichten 2a und 2b einander nicht, sondern es sind lediglich Elektrodenschichten einer einzigen Sorte, beispielsweise Elektrodenschichten 2a (vgl. 2) in der passiven Zone 7 vorhanden. Um einen von außen auftretenden Stoß 8 in Bezug auf seine Zerstörwirkung auf das Bauelement zu schwächen, sind Absorptionsschichten 4 vorgesehen.In the area of a passive zone 7 overlap the electrode layers 2a and 2 B not each other, but only electrode layers of a single type, for example electrode layers 2a (see. 2nd ) in the passive zone 7 available. A shock that comes from outside 8th absorption layers are to be weakened with regard to its destructive effect on the component 4th intended.

Um die Absorptionsschicht 4 möglichst feldfrei auch bei Betrieb des Piezoaktors zu halten, ist es vorgesehen, wie in 2 dargestellt, die unmittelbar zur Absorptionsschicht 4 benachbarten Elektrodenschichten 2a ein und demselben elektrischen Pol des Piezoaktors zuzuordnen.Around the absorption layer 4th To keep it as field-free as possible even when the piezo actuator is in operation, it is provided, as in 2nd shown that go directly to the absorption layer 4th adjacent electrode layers 2a assign one and the same electrical pole of the piezo actuator.

Die Verteilung der Absorptionsschicht 4 entlang der Längsachse 3 ist dabei so vorzunehmen, daß Teilaktoren 9 entstehen, deren Höhe so stark reduziert ist, daß die bei dem normalen Betrieb des Piezoaktors auftretende mechanische Schwingungen keine Zerstörungen mehr in dem Aktor erzeugen können. The distribution of the absorption layer 4th along the longitudinal axis 3rd is to be done so that partial actuators 9 arise, the height of which is so greatly reduced that the mechanical vibrations occurring during normal operation of the piezo actuator can no longer produce any destruction in the actuator.

Beispielsweise kann es bei einem 30 mm hohen Piezoaktor vorgesehen sein, diesen durch 9 Sollbruchschichten 4 in 10 Teilaktoren 9 zu unterteilen, wobei jeder Teilaktor eine Höhe von 3 mm aufweist. Diese Höhe von 3 mm entspricht in einem Ausführungsbeispiel des Aktors einer Anzahl von 37 keramischen Schichten 1.For example, in the case of a 30 mm high piezo actuator, this can be provided by 9 predetermined breaking layers 4th in 10 subactuators 9 to subdivide, each actuator having a height of 3 mm. In one embodiment of the actuator, this height of 3 mm corresponds to a number of 37 ceramic layers 1 .

Als Material der Elektrodenschichten 2a, 2b kommt beispielsweise eine Mischung aus Silber und Palladium, wie sie zur Gemeinsamsinterung mit piezoaktiven Keramikschichten geeignet ist, in Betracht. Darüber hinaus kommen aber auch Elektrodenschichten 2a, 2b in Betracht, welche Kupfer enthalten oder sogar ganz aus Kupfer bestehen.As the material of the electrode layers 2a , 2 B For example, a mixture of silver and palladium, as is suitable for sintering together with piezoactive ceramic layers, comes into consideration. But there are also electrode layers 2a , 2 B into consideration, which contain copper or even consist entirely of copper.

Die Herstellung des in den 1 und 2 dargestellten Piezoaktors kann mittels eines Schichtstapels erfolgen, dessen Aussehen dem in den 1 und 2 dargestellten Bauelement im wesentlichen gleicht, wobei jedoch noch keine Außenkontaktierungen 51, 52 vorhanden sind. Im übrigen entspricht der Aufbau der keramischen Schichten, der Elektrodenschichten und der Absorptionsschicht dem Aufbau eines Schichtstapels, wobei die keramischen Schichten in einer Vorform als keramische Grünfolien enthaltend ein Keramikpulver und einen organischen Binder ausgeführt sind. Die Elektrodenschichten sind als metallpulverhaltige Pasten ausgeführt. Die Absorptionsschichten sind wie die keramischen Schichten als Grünfolien ausgeführt, wobei jedoch der Anteil an organischem Binder in den später zu den Absorptionsschichten zu verarbeitenden Schichten gegenüber den übrigen keramischen Schichten erhöht ist. Beispielsweise können für die keramischen Schichten Grünfolien verwendet werden, bei denen ein Volumenanteil von 30 % von dem organischen Binder beansprucht wird. Um den Volumenanteil in bestimmten Schichten des Schichtstapels zu erhöhen, kann dieser auf einen Volumenanteil von 50 bis 60 % erhöht werden. Bei einem solchen Volumenanteil an organischem Binder bekommt man auch noch keine Probleme beim Folienziehen im Hinblick darauf, daß das Keramikpulver agglomeriert und keine definierten Folien mehr gezogen werden können.The manufacture of the in the 1 and 2nd Piezo actuator shown can be done by means of a layer stack, the appearance of which in the 1 and 2nd Component shown is essentially the same, but no external contacts 51 , 52 available. Otherwise, the structure of the ceramic layers, the electrode layers and the absorption layer corresponds to the structure of a layer stack, the ceramic layers being designed in a preform as ceramic green sheets containing a ceramic powder and an organic binder. The electrode layers are designed as pastes containing metal powder. Like the ceramic layers, the absorption layers are designed as green foils, but the proportion of organic binder in the layers to be processed into the absorption layers is increased compared to the other ceramic layers. For example, green foils can be used for the ceramic layers, in which a volume fraction of 30% is claimed by the organic binder. In order to increase the volume fraction in certain layers of the layer stack, this can be increased to a volume fraction of 50 to 60%. With such a volume fraction of organic binder, there are still no problems with film drawing in view of the fact that the ceramic powder agglomerates and no defined films can be drawn.

Das Bauelement wird durch gemeinsames Sintern der in dem Schichtstapel befindlichen Schichten hergestellt. Dies geschieht in einem einzigen Prozessschritt.The component is produced by jointly sintering the layers located in the layer stack. This is done in a single process step.

Es wird abschließend darauf hingewiesen, daß das vorstehend beschriebene elektrische Vielschichtbauelement nicht auf das genannte Keramikmaterial beschränkt ist. Es kommen vielmehr alle möglichen Keramikmaterialien in Betracht, die einen piezoelektrischen Effekt zeigen. Darüber hinaus ist das Bauelement auch nicht auf Piezoaktoren beschränkt. Es kommen vielmehr alle möglichen Keramikmaterialien in Betracht, die eine elektrische Funktion ausüben. Insbesondere kann das Bauelement immer dort Verwendung finden, wo es mechanischen Belastungen, insbesondere Stoßbelastungen, ausgesetzt ist.Finally, it is pointed out that the electrical multilayer component described above is not limited to the ceramic material mentioned. Rather, all possible ceramic materials that have a piezoelectric effect come into consideration. In addition, the component is not limited to piezo actuators. Rather, all possible ceramic materials that have an electrical function come into consideration. In particular, the component can always be used where it is exposed to mechanical loads, in particular shock loads.

BezugszeichenlisteReference symbol list

11
piezoelektrische Schichtpiezoelectric layer
2a, b2a, b
ElektrodenschichtElectrode layer
33rd
LängsachseLongitudinal axis
44th
AbsorptionsschichtAbsorption layer
51, 5251, 52
AußenkontaktierungExternal contact
77
passive Zonepassive zone
88th
StoßbelastungShock load
99
TeilaktorPartial actuator

Claims (14)

Piezoelektrisches Vielschichtbauelement, - mit einer Vielzahl von übereinanderliegenden piezoelektrischen Schichten (1), - mit zwischen den piezoelektrischen Schichten (1) angeordneten Elektrodenschichten (2a, 2b), - wobei im Schichtstapel eine Absorptionsschicht (4) angeordnet ist, die dazu ausgelegt ist, einen von außen auftretenden Stoß in Bezug auf seine Zerstörwirkung auf das Bauelement zu schwächen, wobei die Absorptionsschicht (4) ein Metall außerhalb eines keramischen Werkstoffs enthält, wobei die zu der Absorptionsschicht (4) unmittelbar benachbarten Elektrodenschichten (2a, 2b) demselben elektrischen Pol des Bauelements zugeordnet sind, und wobei die zu der Absorptionsschicht (4) unmittelbar benachbarten piezoelektrischen Schichten (1) bei Betrieb des piezoelektrischen Vielschichtbauelements feldfrei sind.Piezoelectric multilayer component, - with a multiplicity of piezoelectric layers (1) lying one above the other, - with electrode layers (2a, 2b) arranged between the piezoelectric layers (1), wherein an absorption layer (4) is arranged in the layer stack, which is designed to weaken an external impact with regard to its destructive effect on the component, wherein the absorption layer (4) contains a metal outside of a ceramic material, the to Absorption layer (4) directly adjacent electrode layers (2a, 2b) are assigned to the same electrical pole of the component, and the piezoelectric layers (1) immediately adjacent to the absorption layer (4) are field-free when the piezoelectric multilayer component is in operation. Bauelement nach Anspruch 1, bei dem die Absorptionsschicht (4) eine piezoelektrische Schicht (1) ist.Component after Claim 1 , in which the absorption layer (4) is a piezoelectric layer (1). Bauelement nach Anspruch 2, bei dem die Absorptionsschicht (4) eine höhere Porosität aufweist, als die benachbarten piezoelektrischen Schichten (1).Component after Claim 2 , in which the absorption layer (4) has a higher porosity than the adjacent piezoelectric layers (1). Bauelement nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem der Schichtstapel gebildet wird aus keramischen piezoelektrischen Schichten (1), die miteinander versintert sind.Component according to one of the preceding claims, in which the layer stack is formed from ceramic piezoelectric layers (1) which are sintered together. Bauelement nach einem der vorherigen Ansprüche, das ein durch Sintern hergestelltes monolithisches Bauelement ist.Component according to one of the preceding claims, which is a monolithic component produced by sintering. Bauelement nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem mehrere Absorptionsschichten (4) vorgesehen sind.Component according to one of the preceding claims, in which a plurality of absorption layers (4) are provided. Bauelement nach Anspruch 6, bei dem die Absorptionsschichten (4) gleichmäßig über die Höhe des Schichtstapels verteilt sind.Component after Claim 6 , in which the absorption layers (4) are evenly distributed over the height of the layer stack. Bauelement nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem wenigstens eine Absorptionsschicht (4) einen anorganischen Werkstoff enthält.Component according to one of the preceding claims, in which at least one absorption layer (4) contains an inorganic material. Bauelement nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem wenigstens eine Absorptionsschicht (4) ein organisches Material enthält.Component according to one of the preceding claims, in which at least one absorption layer (4) contains an organic material. Bauelement nach Anspruch 9, bei dem eine Absorptionsschicht (4) einen Klebstoff oder einen duroplastischen Kunststoff enthält.Component after Claim 9 , in which an absorption layer (4) contains an adhesive or a thermosetting plastic. Bauelement nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem die Porosität der Absorptionsschicht (4) gegenüber den piezoelektrischen Schichten (1) um den Faktor 1,2 bis 3 erhöht ist.Component according to one of the preceding claims, in which the porosity of the absorption layer (4) is increased by a factor of 1.2 to 3 compared to the piezoelectric layers (1). Bauelement nach Anspruch 4, bei dem die Absorptionsschicht (4) aus demselben Keramikmaterial wie die piezoelektrischen Schichten (1) bestehen.Component after Claim 4 , in which the absorption layer (4) consist of the same ceramic material as the piezoelectric layers (1). Bauelement nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei in Schallgeschwindigkeit durch das Bauelement laufende Stoßwellen an Grenzflächen zwischen der Absorptionsschicht (4) und einer piezoelektrischen Schicht (1) bzw. an einer Grenzfläche zwischen der Absorptionsschicht (4) und einer Elektrodenschicht (2a, 2b) eine Beugung oder eine Brechung erfahren, wodurch die geradlinige Ausbreitung der Stoßwelle geschwächt wird.Component according to one of the preceding claims, wherein shock waves passing through the component at the speed of sound at interfaces between the absorption layer (4) and a piezoelectric layer (1) or at an interface between the absorption layer (4) and an electrode layer (2a, 2b) Undergo diffraction or refraction, which weakens the linear propagation of the shock wave. Bauelement nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei das Bauelement ein piezoelektrischer Aktor ist, der in Kraftfahrzeugen eingesetzt werden kann.Component according to one of the preceding claims, wherein the component is a piezoelectric actuator that can be used in motor vehicles.
DE102005063652.7A 2005-06-09 2005-06-09 Piezoelectric multilayer component Active DE102005063652B3 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102005063652.7A DE102005063652B3 (en) 2005-06-09 2005-06-09 Piezoelectric multilayer component

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102005063652.7A DE102005063652B3 (en) 2005-06-09 2005-06-09 Piezoelectric multilayer component

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102005063652B3 true DE102005063652B3 (en) 2020-06-04

Family

ID=70681508

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102005063652.7A Active DE102005063652B3 (en) 2005-06-09 2005-06-09 Piezoelectric multilayer component

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102005063652B3 (en)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3430161A1 (en) 1984-08-16 1986-02-27 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München POROESE ADJUSTMENT LAYER IN AN ULTRASONIC APPLICATOR
DE19856201A1 (en) 1998-12-05 2000-06-15 Bosch Gmbh Robert Piezoelectric actuator
DE10307825A1 (en) 2003-02-24 2004-09-09 Epcos Ag Electrical multilayer component and layer stack
DE102004012282A1 (en) 2003-03-13 2004-10-28 Denso Corp., Kariya Laminate piezoelectric element has multiple laminate structures connected using joining layers to satisfy specific relations including thickness of laminate structure and thickness of joining layer
WO2004095596A1 (en) 2003-04-16 2004-11-04 1... Limited Electro-active device
DE102005015112A1 (en) 2005-04-01 2006-10-05 Siemens Ag Monolithic piezoelectric component with mechanical decoupling layer, method for manufacturing the component and use of the component

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3430161A1 (en) 1984-08-16 1986-02-27 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München POROESE ADJUSTMENT LAYER IN AN ULTRASONIC APPLICATOR
DE19856201A1 (en) 1998-12-05 2000-06-15 Bosch Gmbh Robert Piezoelectric actuator
DE10307825A1 (en) 2003-02-24 2004-09-09 Epcos Ag Electrical multilayer component and layer stack
DE102004012282A1 (en) 2003-03-13 2004-10-28 Denso Corp., Kariya Laminate piezoelectric element has multiple laminate structures connected using joining layers to satisfy specific relations including thickness of laminate structure and thickness of joining layer
WO2004095596A1 (en) 2003-04-16 2004-11-04 1... Limited Electro-active device
DE102005015112A1 (en) 2005-04-01 2006-10-05 Siemens Ag Monolithic piezoelectric component with mechanical decoupling layer, method for manufacturing the component and use of the component

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102005026717B4 (en) Piezoelectric multilayer component
EP1597780B1 (en) Electrical multilayered component and layer stack
DE102013201928A1 (en) Electroacoustic transducer for producing acoustic waves e.g. shock waves in medical field, has piezoelectric elements whose one side is provided with electrode which is electrical insulated in relation to piezoelectric elements
DE102007049576A1 (en) Piezoelectric multilayer element
EP1476907B1 (en) Piezo actuator comprising a structured external electrode
EP1994573B1 (en) Electrical multilayer component
EP2543085B1 (en) Piezoelectric component
EP2740163B1 (en) Fully active piezo stack having passivation
DE102007015457A1 (en) Piezoelectric component with security layer and method for its production
DE102008052914A1 (en) Piezo actuator with predetermined breaking layer
DE102005063652B3 (en) Piezoelectric multilayer component
EP1129493B1 (en) Piezoceramic multi-layer structure with regular polygon cross-sectional area
DE102010005906A1 (en) Piezoelectric component
EP2798679B1 (en) Piezo-stack with passivation, and a method for the passivation of a piezo-stack
DE102006046217B3 (en) Piezo-stack of ceramic raw material i.e. lead zirconate, manufacturing method, involves inserting stack in matrix-shaped arranged saw patterns in supporting device, and removing and projecting corners of inserted stacks from patterns
DE102007041079A1 (en) Piezoelectric multi-layer component, has stack of piezo-ceramic layers, which are arranged over each other, where stack includes layers crushed into pieces under front-side fixation of stack and dividing stack into stack elements
EP3613064A1 (en) Multi-layer component and method for producing a multi-layer component
DE102005060922A1 (en) Composite material, has ferroelectric tubes arranged parallel and one upon other with specific distance under utilization of maximum packing density, such that direct connection between inner and outer surfaces of tubes does not exist
DE102008031641B4 (en) Piezo actuator in multilayer construction
DE102011089773A1 (en) Piezoelectric actuator for fuel injection valve for combustion engine, has actuator main portion which comprises primary electrode layer and secondary electrode layer that are arranged on opposite sides of ceramic layer

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R129 Divisional application from

Ref document number: 102005026717

Country of ref document: DE

R016 Response to examination communication
R081 Change of applicant/patentee

Owner name: TDK ELECTRONICS AG, DE

Free format text: FORMER OWNER: EPCOS AG, 81669 MUENCHEN, DE

R082 Change of representative

Representative=s name: EPPING HERMANN FISCHER PATENTANWALTSGESELLSCHA, DE

R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R020 Patent grant now final
R079 Amendment of ipc main class

Free format text: PREVIOUS MAIN CLASS: H01L0041083000

Ipc: H10N0030500000