DE102005056868A1 - Mechanism for a high frequency sputtering device comprises an exciting device with a piezoelectric activating part and a vibration plate extending from one side of the plate - Google Patents

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Wen-Pin Hsin Tien Chen
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Abstract

Mechanism comprises an exciting device (1) with a piezoelectric activating part and a vibration plate (12) extending from one side of the plate. The plate has vibration holes and the exciting device is arranged on a floating support (21) which floats on the surface (40) of an operating liquid (400). Preferred Features: The activating part and the vibration plate are joined together by soldering the connecting surfaces. A direction-changing part adjusts the relative horizontal position between the vibration plate and the activating part. The activating part and the vibration plate are joined together in one plane. The floating support has a chamfered opening whose sides form corners for protecting the vibration plate.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNGBACKGROUND OF THE INVENTION

(a) Umfeld der Erfindung(a) Environment of the invention

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Mechanismus für den Zug einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung, der insbesondere dazu dient, mit Hilfe einer schwimmenden Tragemethode eine Anregungsvorrichtung auf einer Oberfläche einer großen Menge einer Betriebsflüssigkeit zu unterstützen. Nach dem Tragen der Anregungsvorrichtung kann die Vibrationsplatte die vergleichbaren Lastbedingungen aufnehmen und die quantitative Leistung ausführen.The The present invention relates to a mechanism for the train a high frequency sputtering apparatus, which in particular serves, with the help of a floating carrying method an excitation device on a surface of a large amount a working fluid to support. To Carrying the excitation device, the vibration plate can absorb comparable load conditions and perform the quantitative performance.

(b) Beschreibung der herkömmlichen Ausführungsart(b) Description of the Conventional embodiment

Eine herkömmliche Flüssigkeits-Zerstäubungsvorrichtung wendet hauptsächlich eine Hochfrequenz-Vibriervorrichtung, die in eine wässerige Flüssigkeit eingetaucht ist, um die Energie durch die Vibrationswellen anzuregen, mit der die Flüssigkeitsfläche in einen Dunst aufgelöst wird, oder eine Vibriervorrichtung, deren Innenseite mit einer Vibrationsplatte verbunden ist und diese antreibt, um die wässerige Flüssigkeit mit einer kinetischen Energie durch Wellenbewegungen anzuregen.A conventional Liquid atomization applies mainly a high-frequency vibrating device, which in an aqueous liquid immersed to excite the energy through the vibration waves, with the liquid surface in one Haze dissolved is, or a vibrating device whose inside with a vibrating plate is connected and this drives to the aqueous liquid with a kinetic To stimulate energy through wave motion.

Wenn ein scheibenförmiges piezoelektrisches Keramik-Aktivierungsglied unter die Oberfläche der Flüssigkeit angeordnet wird, werden nach der Stromzuführung die Energiewellen, die mit der Hochfrequenzvibrierung erzeugt werden, auf die Oberfläche der Flüssigkeit aufgeschlagen, um die Kohäsionsspannung der Oberfläche der Flüssigkeit aufzulösen und um die Flüssigkeit zu zerstäuben. Da jedes der oben genannten Aktivierungsglieder sich innerhalb der Flüssigkeit befinden, wird der größte Anteil der kinetischen Energie durch die Flüssigkeit aufgenommen und verschwendet.If a disc-shaped piezoelectric ceramic activator under the surface the liquid is arranged, after the power supply, the energy waves, the generated with the high-frequency vibration, on the surface of the liquid pitched to the cohesion stress the surface dissolve the liquid and around the liquid to atomise. Since each of the above activators is within the liquid will be the largest share the kinetic energy absorbed by the fluid and wasted.

Die 1 zeigt eine Ausführungsart für eine Zerstäubungs- und Anregungsvorrichtung, die von S.C. Johnson & Son Inc., in den letzten paar Jahren geschaffen wurde, wobei eine Zerstäubungs- und Anregungsvorrichtung 1 mit einem scheibenförmigen piezoelektrischen Keramik-Aktivierungsglied 100 aufgebaut ist, wobei dieses Keramik-Aktivierungsglied 100 mit einem durchgehenden Loch 101 versehen und eine runde Vibrationsplatte 102 auf einer Seite dieses piezoelektrischen Keramik-Aktivierungsgliedes 100 verbunden ist. Von einer Mitte der runden Vibrationsplatte 102 ist vorstehend eine halbrunde Fläche 103 gebildet, während mehrere Vibrationslöcher 104 dicht nebeneinander auf der halbrunden Fläche 103 verteilt sind. Die Zerstäubungs- und Anregungsvorrichtung 1 nimmt eine Flüssigkeit von einer Flüssigkeitsquelle mit Hilfe einer flüssigkeitsführenden Faser 105 auf, deren ein Ende sich in einen Behälter 106 erstreckt, wobei mit dieser flüssigkeitsführenden Faser 105 die sich im Behälter 106 befindliche Flüssigkeit angezogen wird. Weiter kann ein Flüssigkeitsfilm, die mit der Oberflächenspannung am oberen Ende der flüssigkeitsführenden Faser 105 gebildet wird, in eine enge Berührung mit der halbrunden Fläche 103 kommen. Nach dem Antreiben der Vibrationsplatte 102 mit dem Aktivierungsglied 100 erzeugen die Vibrationslöcher 104 einen Vibriereffekt, mit der die Flüssigkeit in einen Dunst aufgelöst wird. Eine solche Ausführungsart kann zum Anwenden mit dem Behälter 106, der mit einer geringen Flüssigkeitsmenge gefüllt ist, angewendet werden.The 1 shows an embodiment for a sputtering and excitation device, which was created by SC Johnson & Son Inc., in the last few years, wherein a sputtering and excitation device 1 with a disk-shaped piezoelectric ceramic activator 100 is constructed, this ceramic activating member 100 with a through hole 101 provided and a round vibrating plate 102 on one side of this piezoelectric ceramic activator 100 connected is. From a middle of the round vibration plate 102 is above a semicircular surface 103 formed while several vibration holes 104 close together on the semicircular surface 103 are distributed. The sputtering and excitation device 1 takes a liquid from a liquid source by means of a liquid-carrying fiber 105 on, one end of which is in a container 106 extends, with this liquid-conducting fiber 105 which is in the container 106 is attracted liquid located. Next, a liquid film that matches the surface tension at the top of the liquid-conducting fiber 105 is formed, in close contact with the semicircular surface 103 come. After driving the vibration plate 102 with the activator 100 create the vibration holes 104 a vibrating effect that dissolves the liquid into a vapor. Such an embodiment may be for use with the container 106 , which is filled with a small amount of liquid to be applied.

Die Höhe der Oberfläche der Flüssigkeit im Behälter 106 erzeugt eine Veränderung der Effizienz der flüssigkeitsführenden Faser 105 beim Führen der Flüssigkeit. Die Ausführung der flüssigkeitsführenden Faser 105 beeinträchtigt die Effizienz ihrer Kapillarwirkung und führt zu einer ungleichen Menge der Zerstäubung und Anregung.The height of the surface of the liquid in the tank 106 produces a change in the efficiency of the liquid-conducting fiber 105 while guiding the liquid. The execution of the liquid-conducting fiber 105 affects the efficiency of their capillary action and results in an uneven amount of atomization and excitation.

Hinsichtlich der Ausführungsart der flüssigkeitsführenden Faser 105 und falls die im Behälter 106 enthaltene Flüssigkeit für medizinische Zwecke verwendet werden soll und mit flüssigen oder pulverförmigen medizinischen Substanzen vermischt wird, und falls das spezifische Gewicht der Substanzen von der der Flüssigkeit unterschiedlich ist, schwimmen die Substanzen entweder auf der Oberfläche der Flüssigkeit oder sinken in die Flüssigkeit ein, wobei beim Aufnehmen der Flüssigkeit mit der flüssigkeitsführenden Faser 105 und beim Anregen der angeregte Dunst für medizinische Zwecke unzureichend ist.Regarding the embodiment of the liquid-conducting fiber 105 and if in the container 106 contained liquid is to be used for medical purposes and is mixed with liquid or powdered medicinal substances, and if the specific gravity of the substances is different from that of the liquid, the substances either float on the surface of the liquid or sink into the liquid, wherein Picking up the liquid with the liquid-conducting fiber 105 and when stimulating the stimulated haze is inadequate for medical purposes.

Weiter verursacht das Kapillarphänomen der flüssigkeitsführenden Faser 105 eine Filterwirkung, die dazu führt, dass der angeregte Dunst für medizinische Zwecke unzureichend ist.Furthermore, the capillary phenomenon causes the liquid-conducting fiber 105 a filtering effect that results in the stimulated haze being inadequate for medical purposes.

Die unzulängliche Affinität zwischen den medizinischen Substanzen und der im Behälter 106 eingefüllten Flüssigkeit führt zu einem statischen Zustand innerhalb des Behälters 106, so dass die medizinischen Substanzen und die flüssige Lösung nicht miteinander vermischt werden können, so dass die mit der flüssigkeitsführenden Faser 105 aufgenommene Flüssigkeit von den medizinischen Substanzen getrennt wird.The insufficient affinity between the medicinal substances and that in the vessel 106 filled liquid leads to a static state within the container 106 so that the medicinal substances and the liquid solution can not be mixed together, so that the liquid-carrying fiber 105 absorbed liquid is separated from the medical substances.

Der mit der Anregungsvorrichtung angeregte Dunst dient allgemein zu medizinischen Zwecken.Of the Haze stimulated with the excitation device generally serves to for medical purposes.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNGSUMMARY OF THE INVENTION

Angesichts der oben genannten Nachteile wendet die vorliegende Erfindung ein piezoelektrisches Keramik-Aktivierungsglied an, das als Ausleger mit einer Vibrationsplatte verbunden ist, um die Vibrationsplatte freizulegen. Ein freies Ende der Vibrationsplatte ist unter eine Oberfläche der Flüssigkeit in Betriebsstellung eingetaucht, während der gesamte Aufbau mit Hilfe eines Schwimmträgers auf der Oberfläche der Flüssigkeit schwimmt. Die Vibrationswellen, die erzeugt werden, wirken direkt auf die Oberfläche der Flüssigkeit, während ein Anteil der Energie zur Flüssigkeit übertragen wird, um einen Mischeffekt zu erzeugen. Die Vibrationsplatte behält einen definierten gerichteten Effekt auf der Oberfläche der Flüssigkeit, kann vergleichbare Lastbedingungen aufnehmen und eine quantitative Leistung ausführen.In view of the above disadvantages, the present invention employs a piezoelectric beautiful ceramic activator, which is connected as a boom with a vibration plate to expose the vibrating plate. A free end of the vibrating plate is submerged under a surface of the liquid in the operative position while the entire structure floats on the surface of the liquid by means of a floating carrier. The vibration waves that are generated act directly on the surface of the liquid while a portion of the energy is transferred to the liquid to create a mixing effect. The vibrating plate maintains a defined directional effect on the surface of the liquid, can absorb comparable load conditions and perform a quantitative performance.

Für ein besseres Verständnis der oben genannten Ziele und technischen Methoden der vorliegenden Erfindung folgt nach der nachstehenden Kurzbeschreibung der Zeichnungen eine detaillierte Beschreibung der bevorzugten Ausführungsarten.For a better one understanding the above objectives and technical methods of the present Invention follows the brief description of the drawings below a detailed description of the preferred embodiments.

KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGENBRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

1 zeigt eine schematische Ansicht des Positionsverhältnisses zwischen einer flüssigkeitsführenden Faser und einer entsprechenden Vibrationsplatte einer herkömmlichen Zerstäubungs- und Anregungsvorrichtung. 1 shows a schematic view of the positional relationship between a liquid-conducting fiber and a corresponding vibration plate of a conventional sputtering and exciting device.

2 zeigt eine schematische Grundansicht des Aufbaus einer Anregungsvorrichtung nach der vorliegenden Erfindung. 2 shows a schematic basic view of the structure of an excitation device according to the present invention.

3 stellt eine schematische Ansicht einer erfindungsgemäßen Ausführungsart bei der Anwendung dar. 3 FIG. 12 is a schematic view of an embodiment of the invention in use. FIG.

4 zeigt eine schematische Ansicht eines richtungsändernden Gliedes zwischen einem Aktivierungsglied und einer Vibrationsplatte nach der vorliegenden Erfindung. 4 shows a schematic view of a direction-changing member between an activating member and a vibration plate according to the present invention.

5 zeigt eine schematische Ansicht einer gebogenen Konfiguration zwischen dem Aktivierungsglied und der Vibrationsplatte nach der vorliegenden Erfindung. 5 shows a schematic view of a bent configuration between the activating member and the vibrating plate according to the present invention.

6 zeigt eine schematische Ansicht der Anregungsvorrichtung, die schräg an einen Schwimmträger nach der vorliegenden Erfindung angebracht ist. 6 shows a schematic view of the excitation device, which is mounted obliquely to a floating carrier according to the present invention.

7 zeigt eine Seitenansicht der 6. 7 shows a side view of 6 ,

8 zeigt eine schematische Ansicht des Schwimmträgers der vorliegenden Erfindung, der als einen runden Rahmen ausgeführt ist. 8th shows a schematic view of the floating carrier of the present invention, which is designed as a round frame.

9 zeigt eine schematische Ansicht des Schwimmträgers der vorliegenden Erfindung, der als einen quadratischen Rahmen ausgeführt ist. 9 shows a schematic view of the floating carrier of the present invention, which is designed as a square frame.

10 zeigt eine Seitenansicht des rahmenförmigen Schwimmträgers nach der vorliegenden Erfindung. 10 shows a side view of the frame-shaped floating carrier according to the present invention.

11 zeigt eine schematische Ansicht des Aktivierungsgliedes der vorliegenden Erfindung, das seitlich mit der Vibrationsplatte verbunden ist. 11 shows a schematic view of the activating member of the present invention, which is laterally connected to the vibrating plate.

12 zeigt eine schematische Ansicht eines runden und scheibenförmigen Aktivierungsgliedes der vorliegenden Erfindung, das mit der Vibrationsplatte verbunden ist. 12 shows a schematic view of a round and disc-shaped activation member of the present invention, which is connected to the vibration plate.

13 zeigt eine schematische Ansicht der Vibrationsplatte der vorliegenden Erfindung, die an zwei Seiten des runden und scheibenförmigen Aktivierungsgliedes angebracht ist. 13 shows a schematic view of the vibrating plate of the present invention, which is attached to two sides of the circular and disk-shaped activation member.

14 zeigt eine schematische Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Ausführungsart des Schwimmträgers und der Vibrationsplatte, die an zwei Seiten des Aktivierungsgliedes angebracht ist. 14 shows a schematic side view of an embodiment of the invention of the floating carrier and the vibrating plate, which is attached to two sides of the activating member.

15 zeigt eine schematische Ansicht einer gebogenen Ausführung der an zwei Seiten des Aktivierungsgliedes angebrachten Vibrationsplatte der vorliegenden Erfindung. 15 shows a schematic view of a curved version of the mounted on two sides of the activation member vibration plate of the present invention.

16 zeigt eine schematische Ansicht eines Schwimmträgers der vorliegenden Erfindung, der über eine Montage an eine Gleitschiene einer Limitiervorrichtung angebracht ist. 16 shows a schematic view of a floating carrier of the present invention, which is attached via a mounting to a slide rail of a limiting device.

17 zeigt eine Seitenansicht der 16. 17 shows a side view of 16 ,

18 zeigt ein in der 17 dargestelltes System der Kräfte. 18 shows one in the 17 illustrated system of forces.

19 zeigt eine schematische Seitenansicht einer in der 16 gezeigten Ausführungsart in einem Behälter der vorliegenden Erfindung. 19 shows a schematic side view of a in the 16 shown embodiment in a container of the present invention.

20 zeigt eine schematische Seitenansicht der Limitiervorrichtung der vorliegenden Erfindung, die mit einem Schwenkarm ausgeführt ist. 20 shows a schematic side view of the limiting device of the present invention, which is designed with a pivoting arm.

21 zeigt eine schematische Ansicht der Limitiervorrichtung der vorliegenden Erfindung, die weiter mit Gleitsäulen ausgeführt ist. 21 shows a schematic view of the limiting device of the present invention, which is further carried out with slide columns.

22 zeigt eine schematische Ansicht einer Seite des erfindungsgemäßen Schwimmträgers, der mit Gleitsäulen auf der Limitiervorrichtung angeordnet ist. 22 shows a schematic view of a side of the floating support according to the invention, which is arranged with slide columns on the limiting device.

23 zeigt eine schematische Ansicht der Vibrationslöcher, die als lineare Schlitze in der Vibrationsplatte nach der vorliegenden Erfindung gebildet sind. 23 shows a schematic view of the vibration holes, which are linear slots in the vibra tion plate are formed according to the present invention.

24 zeigt eine schematische Ansicht der Vibrationslöcher, die als Löcher in der Vibrationsplatte nach der vorliegenden Erfindung gebildet sind. 24 Fig. 12 is a schematic view of the vibration holes formed as holes in the vibration plate according to the present invention.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSARTENDETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS

Wie dies in der 2 gezeigt ist, die eine Ausführungsart einer Anregungsvorrichtung 1 nach der vorliegenden Erfindung darstellt, ist diese Anregungsvorrichtung 1 hauptsächlich aus einer Vibrationsplatte 12 aufgebaut, die mit einer Auslegermethode an eine Seite eines piezoelektrischen Block-Keramik-Aktivierungsgliedes 11 angebracht ist. Mit einer auf einer Seite der Vibrationsplatte 11 befindlichen Verbundfläche 10 wird ein entsprechendes Ende einer Unterseite des Aktivierungsgliedes 11 verbunden. Die Verbundfläche 10 kann mit einer mechanischen oder anderen Komponente, durch Verklebung oder durch Anlöten an das Aktivierungsglied 11 angebracht werden.Like this in the 2 which is one embodiment of an excitation device 1 according to the present invention, this excitation device is 1 mainly from a vibrating plate 12 constructed using a cantilever method on one side of a piezoelectric block ceramic activator 11 is appropriate. With one on one side of the vibrating plate 11 located composite surface 10 becomes a corresponding end of a bottom of the activation member 11 connected. The composite surface 10 can with a mechanical or other component, by gluing or by soldering to the activator 11 be attached.

Die Vibrationsplatte 12 ist innerhalb ihrer Breite mit Vibrationslöchern 120 versehen. Diese Vibrationslöcher 120 sind sehr kleine runde Löcher, die sich dicht nebeneinander befinden und einen verteilten geometrischen Bereich bilden. Die Vibrationslöcher 120 befinden sich dabei auf einer Höhe neben einer Oberfläche einer Flüssigkeit.The vibration plate 12 is within its width with vibration holes 120 Mistake. These vibration holes 120 are very small round holes, which are close together and form a distributed geometric area. The vibration holes 120 are located at a height next to a surface of a liquid.

Eine Außenfläche des Aktivierungsgliedes 11 ist mit einer dielektrischen Beschichtung 110 versehen, um damit mit einem Stromkabel eine elektrische Verbindung zu bilden.An outer surface of the activation member 11 is with a dielectric coating 110 provided so as to form an electrical connection with a power cable.

Die 3 zeigt die Anregungsvorrichtung 1, die mit einem Schwimmträger 21 verbunden ist, der an einer Schwimmträgereinheit 2 befestigt ist, um eine horizontale Konfiguration zu bilden. Der Schwimmträger 21 schwimmt auf einer Oberfläche 40 einer Betriebsflüssigkeit 400 in einem Behälter 4, damit die Vibrationsplatte 12 der Anregungsvorrichtung 1 sich in einer horizontalen Position und neben der Oberfläche 40 der Flüssigkeit befindet.The 3 shows the excitation device 1 that with a float carrier 21 connected to a Schwimmträgereinheit 2 is attached to form a horizontal configuration. The float carrier 21 floating on a surface 40 a working fluid 400 in a container 4 , so that the vibration plate 12 the excitation device 1 in a horizontal position and next to the surface 40 the liquid is located.

Die Schwimmträgereinheit 2 ist an einer Montage 22 angebracht, die so angeordnet ist, damit sie auf einer Limitiervorrichtung 3 gegleitet werden kann. Daher hängt die Höhe der Schwimmträgereinheit 2 von der Verschiebung der Montage 22 auf der Limitiervorrichtung 3 ab, um eine vertikale Verschiebung zu bewirken, damit die Schwimmträgereinheit 2 innerhalb des Behälters 4 vertikal verschoben werden kann.The Schwimmträgereinheit 2 is on an assembly 22 attached, which is arranged so that they are on a limiting device 3 can be glided. Therefore, the height of the Schwimmträgereinheit depends 2 from the displacement of the assembly 22 on the limiting device 3 to cause a vertical displacement, so that the Schwimmträgereinheit 2 inside the container 4 can be moved vertically.

Nachdem die Anregungsvorrichtung 1 mit Strom angeregt wird, vibriert die Vibrationsplatte 12 mit hoher Frequenz und wirkt auf die Oberfläche 40 der Flüssigkeit, wobei die Flüssigkeit auf der Oberfläche aufgelöst wird, um einen mit der Vibrierung angeregten Dunst unter Druck zu bilden.After the excitation device 1 is energized with electricity vibrates the vibrating plate 12 with high frequency and acts on the surface 40 the liquid, wherein the liquid is dissolved on the surface to form a vibrating excited vapor under pressure.

Ein großer Anteil der kinetischen Energie der Vibrationsplatte 12 wirkt auf die Oberfläche 40 der Flüssigkeit, während ein Anteil der kinetischen Energie auf die Betriebsflüssigkeit 400 übertragen wird, um die Betriebsflüssigkeit zu vermischen oder um darin eine turbulente Strömung zu verursachen.A large proportion of the kinetic energy of the vibrating plate 12 acts on the surface 40 the fluid, while a portion of the kinetic energy on the working fluid 400 is transferred to mix the operating fluid or to cause a turbulent flow therein.

Wie dies in der 4 gezeigt ist, kann der Schwimmträger 21 mit einer beliebigen Methode mit dem Aktivierungsglied 11 verbunden werden, während mit dem richtungsändernden Glied 121 die horizontale und relative Höhe zwischen der Vibrationsplatte 12 und dem Aktivierungsglied 11 verändert werden kann.Like this in the 4 shown, the float carrier 21 by any method with the activator 11 connected while with the direction-changing member 121 the horizontal and relative height between the vibrating plate 12 and the activator 11 can be changed.

Da die Höhe des Schwimmträgers über der Oberfläche 40 der Flüssigkeit je nach der Masse und Dichte des Schwimmträgers variiert, kann durch die Verstellung des richtungsändernden Gliedes 121 die Vibrationsplatte 12 auf der Oberfläche 40 der Flüssigkeit positioniert werden.Because the height of the swim carrier is above the surface 40 The fluid varies depending on the mass and density of the floating carrier, can be adjusted by adjusting the direction-changing member 121 the vibration plate 12 on the surface 40 the liquid can be positioned.

Die Schwimmhöhe des Schwimmträgers 21 kann in bezug zur Oberfläche 40 der Flüssigkeit je nach dem spezifischen Gewicht der Betriebsflüssigkeit 400 ebenfalls unterschiedlich sein. Daher kann mit dem richtungsändernden Glied 121 auf ähnliche Weise die Schwimmhöhe verändert und sichergestellt werden, dass die Vibrationsplatte 12 auf der Oberfläche 40 der Flüssigkeit horizontal positioniert wird.The swimming height of the swimming carrier 21 can with respect to the surface 40 the liquid depending on the specific gravity of the working fluid 400 also be different. Therefore, with the direction-changing member 121 Similarly, the floating height can be changed and ensured that the vibration plate 12 on the surface 40 the liquid is positioned horizontally.

Mit dem richtungsändernden Glied 121 kann das Aktivierungsglied 11 oben auf dem Schwimmträger 12 angebracht werden, wobei das Aktivierungsglied 11 nicht in die Betriebsflüssigkeit 400 eingetaucht werden muss, um so eine mögliche chemische Veränderung zu vermeiden, die die strukturelle Bindungskraft usw. der Konfiguration beeinträchtigen könnte.With the direction-changing link 121 can be the activator 11 on top of the float carrier 12 be attached, wherein the activating member 11 not in the operating fluid 400 must be immersed so as to avoid a possible chemical change that could affect the structural binding force etc. of the configuration.

Die 5 zeigt, dass das Aktivierungsglied 11 oben auf dem Schwimmträger 21 angebracht ist, wobei die mit dem Ausleger verlängerte Vibrationsplatte 12 des Aktivierungsgliedes 11 so ausgeführt ist, um einen schrägen Winkel im Verhältnis zum Schwimmträger 21 durch Biegung an einem gebogenen Teil 122 zu bilden, so dass die Oberfläche 40 der Flüssigkeit mit Wirkung der schräg angeordneten Vibrationsplatte aufgelöst wird, während ein freies Ende der Vibrationsplatte 12 in die Betriebsflüssigkeit 400 eingetaucht wird.The 5 shows that the activator 11 on top of the float carrier 21 is mounted, with the extended boom with the vibration plate 12 of the activator 11 is designed to be at an oblique angle relative to the floating carrier 21 by bending at a bent part 122 to form, leaving the surface 40 the liquid is dissolved with the action of the inclined vibrating plate, while a free end of the vibrating plate 12 into the working fluid 400 is immersed.

Mit dem gebogenen Teil 122 kann auf ähnliche Weise sichergestellt werden, dass das Aktivierungsglied 11 nicht konstant in die Betriebsflüssigkeit 400 eingetaucht wird.With the bent part 122 can be similarly ensured that the activity approximately Member 11 not constant in the working fluid 400 is immersed.

Die 6 zeigt, dass das Aktivierungsglied 11 mit dem Schwimmträger 21 verbunden ist, wobei der Schwimmträger 21 an einem Ende mit einer Öffnung 210 versehen ist. Die Öffnung 210 ist mit einer abgeschrägten Seite 213 versehen, auf die das Aktivierungsglied 11 positioniert werden kann. Die Vibrationsplatte 12 ist so mit dem Aktivierungsglied 11 verbunden, dass sie entlang der gleichen ebenen Fläche der abgeschrägten Seite 213 anliegt. Die Verschiebung des Aktivierungsgliedes hängt daher vom Winkel der abgeschrägten Seite 213 ab, wobei der schräge Winkel der Vibrationsplatte 12 entsprechend beeinflußt wird.The 6 shows that the activator 11 with the float carrier 21 is connected, the float carrier 21 at one end with an opening 210 is provided. The opening 210 is with a beveled side 213 provided on the activating member 11 can be positioned. The vibration plate 12 is like that with the activator 11 connected them along the same flat surface of the beveled side 213 is applied. The shift of the activation member therefore depends on the angle of the beveled side 213 from, with the oblique angle of the vibrating plate 12 is affected accordingly.

Auf zwei Seiten der Öffnung 210 sind Ecken 211, 212 gebildet, mit denen der Schwimmträger 21 ausgeglichen wird und mit denen ebenfalls die dazwischen angeordnete Vibrationsplatte 12 geschützt wird.On two sides of the opening 210 are corners 211 . 212 formed, with which the floating carrier 21 is compensated and with which also arranged therebetween vibrating plate 12 is protected.

Die 7 zeigt die schräge Verschiebung zwischen der Vibrationsplatte 12 und der abgeschrägten Seite 213 sowie das freie Ende der Vibrationsplatte 12, das in die Oberfläche 40 der Flüssigkeit eingetaucht ist, und dass die Vibrationsplatte von der Seite her mit den Ecken 211, 212 geschützt ist.The 7 shows the oblique displacement between the vibrating plate 12 and the beveled side 213 as well as the free end of the vibrating plate 12 that in the surface 40 the liquid is submerged, and that the vibrating plate from the side with the corners 211 . 212 is protected.

Die 8 zeigt, dass der Schwimmträger 21 als einen Schwimmträger 21A mit einem runden Rahmen ausgeführt sein kann, wobei in ein internes durchgehendes Loch 210 die Anregungsvorrichtung 1 eingeschoben und mit dem Schwimmträger 21A mit dem runden Rahmen verbunden werden kann. Die Vibrationsplatte 12 ist schräg im durchgehenden Loch 210A angeordnet, während mit einem Umfang des Schwimmträgers 21A mit rundem Rahmen die Vibrationsplatte 12 vollständig geschützt wird.The 8th shows that the float carrier 21 as a float carrier 21A can be made with a round frame, being in an internal through hole 210 the excitation device 1 pushed in and with the floating carrier 21A can be connected to the round frame. The vibration plate 12 is slanted in the through hole 210A arranged while with a perimeter of the swim carrier 21A with round frame the vibration plate 12 is completely protected.

Die 9 zeigt, dass der Schwimmträger 21 als einen Schwimmträger 21B mit einem quadratischen Rahmen ausgeführt sein kann, wobei in ein internes durchgehendes Loch 210B die Anregungsvorrichtung 1 eingeschoben und mit dem Schwimmträger 21B mit dem quadratischen Rahmen verbunden werden kann. Die Vibrationsplatte 12 ist schräg im durchgehenden Loch 210B angeordnet, während mit einem Umfang des Schwimmträgers 21B mit quadratischem Rahmen die Vibrationsplatte 12 vollständig geschützt wird.The 9 shows that the float carrier 21 as a float carrier 21B can be made with a square frame, being in an internal through hole 210B the excitation device 1 pushed in and with the floating carrier 21B can be connected to the square frame. The vibration plate 12 is slanted in the through hole 210B arranged while with a perimeter of the swim carrier 21B with square frame the vibrating plate 12 is completely protected.

Die 10 zeigt, dass eine Innenfläche des Behälters 4 im Verhältnis zur Außenform des Schwimmträgers 21A (21B) je nach dem Aufbau dieser Schwimmträger 21A (21B) symmetrisch ausgeführt ist, wie dies in der 8 bzw. 9 gezeigt ist. Ein innerer Querschnitt des Behälters 4 ist relativ größer als der des Schwimmträgers 21A (21B), damit der Schwimmträger 21A (21B) innerhalb des Behälters 4 frei bewegt werden kann. Weiter kann die Vibrationsplatte 12 der Anregungsvorrichtung 1 schräg im inneren durchgehenden Loch 210A (210B) eingeschoben und in die Oberfläche 40 der Flüssigkeit eingetaucht sein. Die Anregungsvorrichtung 1 ist mit einem flexiblen Stromkabel 111 verbunden, damit die Schwimmträgereinheit 2 ungehindert innerhalb des Behälters 4 aufsteigen und absinken kann.The 10 shows that an inner surface of the container 4 in relation to the outer shape of the swim carrier 21A ( 21B ) depending on the structure of this floating carrier 21A ( 21B ) is symmetrical, as in the 8th respectively. 9 is shown. An inner cross-section of the container 4 is relatively larger than the swimming carrier 21A ( 21B ), so that the float carrier 21A ( 21B ) within the container 4 can be moved freely. Next, the vibration plate 12 the excitation device 1 obliquely in the inner through hole 210A ( 210B ) and into the surface 40 be immersed in the liquid. The excitation device 1 is with a flexible power cable 111 connected to the swim carrier unit 2 unhindered within the container 4 can ascend and descend.

An eine Unterseite des Schwimmträgers 21A (21B) kann ein Ausgleichsgewicht 24 angebracht sein. Das Ausgleichsgewicht 24 kann mit einer beliebigen Methode mit Hilfe von Verbundkabeln 240 an diese Unterseite des Schwimmträgers 21A (21B) angebracht sein. Das Ausgleichsgewicht 24 dient zum Verstellen der Schwerkraftposition des gesamten Aufbaus, damit der Schwimmträger 21A (21B) eine horizontale Lage beim Schwimmen auf der Oberfläche 40 der Flüssigkeit beibehält.To a bottom of the swim carrier 21A ( 21B ) can be a balance weight 24 to be appropriate. The balance weight 24 can be done by any method using composite cables 240 to this underside of the swimming carrier 21A ( 21B ) to be appropriate. The balance weight 24 Used to adjust the gravity position of the entire body, so that the float carrier 21A ( 21B ) a horizontal position while swimming on the surface 40 of the liquid.

Die 11 zeigt, dass das Aktivierungsglied 11 mit einer Auslegermethode an der Vibrationsplatte 12 angebracht und so ausgeführt ist, dass die beiden Seiten des Aktivierungsgliedes 11 jeweils symmetrisch mit zwei Vibrationsplatten 12 verbunden sind, um so eine symmetrische Konfiguration zu erhalten. Die beiden Vibrationsplatten 12 werden gleichzeitig mit dem Aktivierungsglied 11 angetrieben, damit mit beiden Vibrationsplatten 12 gleichzeitig durch die größere Kraft des Aktivierungsgliedes 11 eine deutlich größere Dunstmenge erzeugt werden kann.The 11 shows that the activator 11 with a cantilever method on the vibrating plate 12 attached and designed so that the two sides of the activation member 11 each symmetrical with two vibrating plates 12 connected so as to obtain a symmetrical configuration. The two vibrating plates 12 be simultaneously with the activator 11 driven, so with both vibratory plates 12 at the same time due to the larger force of the activation element 11 a significantly larger amount of haze can be generated.

Die Vibrationsplatten 12, die am Aktivierungsglied 11 angebracht sind, können als einen streifenförmigen Einzelkörper ausgeführt sein, wobei sich beide Enden dieses Körpers in den Vibrationslöchern 120 befinden. Eine Verbundfläche 10 des mittleren Teils der streifenförmigen einzelnen Vibrationsplatte 12 weist eine Fläche auf, die ungefähr gleich gross ist wie die einer Unterseite des Aktivierungsgliedes 11, und die mit dieser Unterseite des Aktivierungsgliedes 11 verbunden ist, um die Vibrationsplatte 12 und das Aktivierungsglied 11 als einen einzelnen integrierten Körper auszuführen.The vibrating plates 12 that are on the activator 11 are attached, may be designed as a strip-shaped single body, with both ends of this body in the vibration holes 120 are located. A compound surface 10 the middle part of the strip-shaped single vibration plate 12 has an area that is approximately the same size as that of a bottom of the activation member 11 , and those with this underside of the activator 11 connected to the vibrating plate 12 and the activator 11 as a single integrated body.

Die 12 zeigt ein Aktivierungsglied, das als ein rundes und scheibenförmiges Aktivierungsglied 11A ausgeführt ist. Eine Seite dieses Aktivierungsgliedes 11A ist auf ähnliche Weise mit der Vibrationsplatte 12 verbunden. Die Verbundfläche 10 mit der bogenförmigen Fläche ist an einem Ende der Vibrationsplatte 12 gebildet, während die bogenförmige Verbundfläche 10 mit einer beliebigen Methode an das runde und scheibenförmige Aktivierungsglied 11A angebracht werden kann.The 12 shows an activator that acts as a circular and disk-shaped activator 11A is executed. One page of this activation element 11A is similar to the vibration plate 12 connected. The composite surface 10 with the arcuate surface is at one end of the vibrating plate 12 formed while the arcuate composite surface 10 with any method to the round and disk-shaped activator 11A can be attached.

Die 13 zeigt, dass das runde und scheibenförmige Aktivierungsglied 11A, das mit den Vibrationsplatten 12 verbunden ist, eine Methode eines seitlich verlängerten Auslegers anwendet, wobei die Vibrationsplatten 12 mit einer symmetrischen Methode an das runde und scheibenförmige Aktivierungsglied 11A befestigt sind. Die Vibrationsplatten 12 sind verbunden und erstrecken sich symmetrisch von zwei Seiten des Aktivierungsgliedes 11, damit mit dem Aktivierungsglied 11 zwei symmetrische Vibrationsplatten 12 gleichzeitig vibriert werden, so dass mit der größeren Kraft des Aktivierungsgliedes 11 mit zugelassener oder verstärkter Leistung eine deutlich größere Dunstmenge erzeugt werden kann. Die Vibrationsplatten 12 können als zwei unabhängige Streifen ausgeführt oder miteinander verbunden sein, um einen streifenförmigen Einzelkörper zu bilden. Die Verbundfläche 10 weist dieselbe Form wie die der Unterseite des runden und scheibenförmigen Betätigungsteils 11 auf, wobei mit dieser Verbundfläche 10 die Vibrationsplatte 12 mit dem Aktivierungsglied 11 befestigt wird, um so einen einzelnen integrierten Körper zu bilden und um somit die mechanische Festigkeit der Konfiguration zu verstärken.The 13 shows that the round and disk-shaped activator 11A that with the vibrating plates 12 connected, a method of one laterally extended boom applies, with the vibrating plates 12 with a symmetrical method to the round and disc-shaped activator 11A are attached. The vibrating plates 12 are connected and extend symmetrically from two sides of the activator 11 , so with the activator 11 two symmetrical vibrating plates 12 be vibrated simultaneously, so with the greater force of the activator 11 With approved or enhanced performance a significantly larger amount of haze can be produced. The vibrating plates 12 may be designed as two independent strips or connected together to form a strip-shaped single body. The composite surface 10 has the same shape as that of the underside of the circular and disk-shaped actuating part 11 on, with this composite surface 10 the vibration plate 12 with the activator 11 is attached so as to form a single integrated body and thus to increase the mechanical strength of the configuration.

Die 14 zeigt, dass die Anregungsvorrichtung 1, die wie in der 11, 12 und in der 13 gezeigt ausgeführt ist, an einen Balken 5 aufgehängt oder von diesem hängen und mit einem mittleren Teil des Schwimmträgers 21 verbunden sein kann. Der Schwimmträger 21 kann in einer der oben genannten Rahmenformen, wie in der 8 oder 9 gezeigt, oder als zwei Schwimmträger ausgeführt und symmetrisch an zwei Enden des Balkens 5 angebracht sein, um eine ausgeglichene Schwimmkonfiguration zu bilden.The 14 shows that the excitation device 1 like in the 11 . 12 and in the 13 shown executed, to a bar 5 suspended or hanging from this and with a central part of the swim carrier 21 can be connected. The float carrier 21 can in any of the above frame shapes, as in the 8th or 9 shown, or designed as two floating supports and symmetrical at two ends of the beam 5 be appropriate to form a balanced swim configuration.

Die Anregungsvorrichtung 1 hängt von einem Balken 5 herunter, während die Vibrationsplatte 12 nahe mit der Oberfläche 40 der Flüssigkeit in Berührung kommt. Weiter wird der Schwimmträger 2 1 mit Hilfe des Balkens und dem schwimmfähigen Effekt, mit dem eine relative und bestimmte Höhe zwischen dem Schwimmträger 21 und der Oberfläche 40 der Flüssigkeit beibehalten wird, mit der Vibrationsplatte 12, die mit dem Aktivierungsglied 11A befestigt ist, indirekt getragen, um so sicherzustellen, dass die Vibrationsplatte 12 genau auf der Oberfläche 40 der Flüssigkeit positioniert wird.The excitation device 1 depends on a beam 5 down while the vibration plate 12 close to the surface 40 the liquid comes into contact. Next is the float carrier 2 1 with the help of the beam and the buoyant effect, with which a relative and certain height between the float carrier 21 and the surface 40 the liquid is maintained with the vibrating plate 12 that with the activator 11A is attached, indirectly worn, so as to ensure that the vibration plate 12 exactly on the surface 40 the liquid is positioned.

Mit den an der Vibrationsplatte 12 angebrachten richtungsändernden Gliedern 121 werden die horizontale Lage und die relative Höhe zwischen der Vibrationsplatte 12 und dem Aktivierungsglied 11 (11A) verstellt, damit die Vibrationsplatte 12 horizontal nahe mit der Oberfläche 40 der Flüssigkeit in Berührung kommt.With the on the vibration plate 12 attached direction-changing links 121 be the horizontal position and the relative height between the vibrating plate 12 and the activator 11 ( 11A ) adjusted so that the vibration plate 12 horizontal close to the surface 40 the liquid comes into contact.

Die 15 zeigt, dass die mit dem in der 14 gezeigten Aktivierungsglied 11, 11A verbundene Vibrationsplatte 12 schräg in die Oberfläche 40 der Flüssigkeit mit Hilfe der Funktion der gebogenen Teile 122 eingetaucht ist.The 15 shows that with the in the 14 shown activation element 11 . 11A connected vibration plate 12 diagonally into the surface 40 the liquid by means of the function of the bent parts 122 is immersed.

Die 16 zeigt, dass die Schwimmträgereinheit 2 hauptsächlich mit dem Schwimmträger 21 die Anregungsvorrichtung 1 trägt. Das mit der Anregungsvorrichtung 1 verbundene Aktivierungsglied 11 ist mit Hilfe einer Auslegermethode an der Vibrationsplatte 12 angebracht. Ein Ende des Schwimmträgers 21 ist so angeordnet, damit es mit Hilfe der Montage 22 auf der Limitiervorrichtung 3 gegleitet werden kann, wobei die Montage 22 mit Gleitlöchern 221 versehen ist und auf je einer der beiden Seiten einer Gleitschiene 31 je eine Schiene 311 angeordnet ist, damit die Montage 22 durch die Gleitlöcher 221 auf der Gleitschiene 31 gegleitet werden kann, wobei die Gleitlöcher 221 dieselbe Form wie die der Schienen 311 aufweisen.The 16 shows that the swim carrier unit 2 mainly with the floating carrier 21 the excitation device 1 wearing. That with the excitation device 1 affiliate activator 11 is by means of a cantilever method on the vibrating plate 12 appropriate. One end of the swim wearer 21 is arranged so it with the help of assembly 22 on the limiting device 3 can be glided, with the assembly 22 with sliding holes 221 is provided and on each one of the two sides of a slide rail 31 one rail each 311 is arranged so that the assembly 22 through the sliding holes 221 on the slide rail 31 can be glided, with the sliding holes 221 the same shape as the rails 311 exhibit.

Die 17 zeigt, dass die Schwimmträgereinheit 2 aus dem daran montierten Schwimmträger 21 und der Montage 22 aufgebaut ist. Die Schwimmträgereinheit 2 weist einen Schwerpunkt W auf, der zwischen einer Stelle der Reaktionskraft P1 oder P2 beim Positionieren der Montage 22 auf der Gleitschiene 31 der Limitiervorrichtung 3 positioniert wird. Diese Stellen der Reaktionskraft P1, P2 befinden sich auf einer vertikalen Linie der Gleitschiene 31. Die Gleitlöcher 221 in der Montage 22 sind durch eine Höhe H voneinander getrennt, während die Verschiebung durch das Schwimmen der Schwimmträgereinheit 2 je nach der Schwimmfähigkeit der Betriebsflüssigkeit 400 auf dem Schwimmträger 21 sowie von einem Moment der Gegenkraft von der Schwerkraft W und dem Kraftarm R abhängt.The 17 shows that the swim carrier unit 2 from the floating carrier mounted on it 21 and the assembly 22 is constructed. The Schwimmträgereinheit 2 has a center of gravity W between a location of the reaction force P1 or P2 in positioning the assembly 22 on the slide rail 31 the limiting device 3 is positioned. These locations of the reaction force P1, P2 are on a vertical line of the slide rail 31 , The sliding holes 221 in the assembly 22 are separated from each other by a height H, while the displacement by the swimming of the Schwimmträgereinheit 2 depending on the buoyancy of the working fluid 400 on the float carrier 21 and depends on a moment of counterforce of gravity W and force arm R.

Wie dies in der 18 gezeigt ist, zeigt F3 eine Kraft von der Stelle der Reaktionskraft P1 zur Stelle der Reaktionskraft P2, wobei eine schräg ausgeführte Kraft F2 zwischen der Schwerkraft W und der Stelle der Reaktionskraft P2 gebildet wird. Wegen dem Arm des Kraftverhältnisses wird die Spannung F1 zwischen der Stelle der Reaktionskraft P1 und der Schwerkraft W erzeugt.Like this in the 18 4, F3 shows a force from the position of the reaction force P1 to the position of the reaction force P2, and an oblique force F2 is formed between the gravity W and the position of the reaction force P2. Because of the arm of the force ratio, the stress F1 between the location of the reaction force P1 and the gravity W is generated.

Mit einer solchen Konfiguration der Kraft wird die Spannung F1 von der kombinierten Kraft der Komponentenkräfte F2 und F3 beim Absinken des Schwimmträgers 12 unter seinem eigenen Gewicht ausreichend, um eine Kraft zum Verschieben nach unten zu bilden, die durch die Reibung an der Stelle der Reaktionskraft P1 größer ist. Die Bedingung, dass die nach unten wirkende Kraft hergestellt werden kann größer sein kann, besteht darin, dass die Stellen der Reaktionskräfte P1, P2 mit der Höhe H getrennt sein müssen, um eine ausreichende Kraft der Komponenten erzeugen zu können.With such a configuration of the force, the tension F1 becomes the combined force of the component forces F2 and F3 as the float carrier descends 12 under its own weight sufficient to form a force to move down, which is greater by the friction at the location of the reaction force P1. The condition that the downward force can be made larger is that the positions of the reaction forces P1, P2 must be separated by the height H in order to produce a sufficient force of the components.

Die 19 zeigt, dass mit dem oben genannten Aufbau die Schimmträgereinheit 2 auf der Gleitschiene 31 begrenzt vertikal verschoben werden kann und auch die getragene Anregungsvorrichtung 1 auf wirksame Weise auf der Oberfläche 40 der im Behälter 4 befindlichen Betriebsflüssigkeit 400 positioniert werden kann. Daher kann die Schwimmträgereinheit 2 mit Hilfe der Gleitbewegung der Montage 22 nach unten bewegt werden, wobei die Anregungsvorrichtung 1 weiter eine horizontale Position auf der Oberfläche 40 der Flüssigkeit beibehält.The 19 shows that with the above construction, the wiper carrier unit 2 on the slide rail 31 limited vertically can be moved and also the carried excitation device 1 effectively on the surface 40 the im container 4 located operating fluid 400 can be positioned. Therefore, the Schwimmträgereinheit 2 with the help of the sliding movement of the assembly 22 to be moved downwards, the excitation device 1 continue a horizontal position on the surface 40 of the liquid.

Die 20 zeigt, dass eine Limitiervorrichtung 3 weiter mit einer Drehzapfenmontage 32 ausgeführt ist, wobei letztere auf einer Seite des Behälters 4 angebracht ist. An dieser Drehzapfenmontage 32 ist mit einer drehbaren Zapfenverbindung ein Schwenkarm 321 befestigt. Ein freies Ende dieses Schwenkarmes 321 ist mit einem Zapfen drehbar mit dem Schwimmträger 21 verbunden, während der Schwimmträger 21 nach dem Winkel innerhalb der Schwenkweite und der Bogenweite des Schwenkarmes 321 verschoben werden kann. Da die Höhenposition des Schwimmträgers 21 von der Höhe der Oberfläche 40 der Flüssigkeit abhängt, auf der er schwimmt, wird die Schwenkweite L des Schwenkarmes 321 durch die Höhenposition des Schwimmträgers 21 eingeschränkt.The 20 shows that a limiting device 3 continue with a trunnion assembly 32 is executed, the latter being on one side of the container 4 is appropriate. At this pivot mounting 32 is a swivel arm with a pivotable pin connection 321 attached. A free end of this swivel arm 321 is rotatable with a pin with the float carrier 21 connected while the float carrier 21 according to the angle within the swivel width and the arc width of the swivel arm 321 can be moved. Because the height position of the swim carrier 21 from the height of the surface 40 depends on the liquid on which it floats, the swivel width L of the swivel arm 321 by the height position of the swim carrier 21 limited.

Zum Bestimmen einer Winkelposition des Schwimmträgers 21 wird eine Verbundmethode des Schwenkarmes 321 angewendet, mit der grundsätzlich eine horizontale Lage auf der Oberfläche 40 der Flüssigkeit ermöglicht wird.To determine an angular position of the swim carrier 21 becomes a compound method of the swivel arm 321 applied, with basically a horizontal position on the surface 40 the liquid is allowed.

Die 21 zeigt, dass die Schwimmträgereinheit 2 mit den Montagen 22 mit der Limitiervorrichtung 3 eingeschränkt wird. Diese Limitiervorrichtung 3 ist mit Gleitsäulen 33 aufgebaut, wobei mit einem Außenumfang die Schwimmträgereinheit 2 durch die Gleitlöcher 221 der Montage 22 eingeschoben und geführt werden kann, wobei die Form der Gleitlöcher die der Gleitsäulen 33 entspricht. Der Schwimmträger 21, der an der Schwimmträgereinheit 2 befestigt ist, kann daher die Anregungsvorrichtung 1 tragen.The 21 shows that the swim carrier unit 2 with the montages 22 with the limiting device 3 is restricted. This limitation device 3 is with sliding columns 33 constructed, with an outer periphery of the Schwimmträgereinheit 2 through the sliding holes 221 the assembly 22 can be inserted and guided, the shape of the sliding holes that of the slide columns 33 equivalent. The float carrier 21 who joined the Schwimmträgereinheit 2 is fixed, therefore, the excitation device 1 wear.

Die 22 zeigt, dass die auf einer Seite des Schwimmträgers 21 der Schwimmträgereinheit 2 montierte Montage 22 angebracht ist, während die Montage 22 auf den Gleitsäulen 33 durch die Gleitlöcher 221 eingeführt und bewegt wird, so dass die Schwimmträgereinheit mit einer Auslegermethode getragen wird.The 22 shows that on one side of the swim carrier 21 the Schwimmträgereinheit 2 mounted assembly 22 is attached while mounting 22 on the slide columns 33 through the sliding holes 221 is inserted and moved so that the Schwimmträgereinheit is supported by a cantilever method.

Die 23 stellt die Breite der Vibrationsplatte 12 mit den Vibrationslöchern 120 dar, die als schmale und lineare Schlitze 123 ausgeführt sind und sich in einer gestuften Anordnung dicht nebeneinander innerhalb der Breite dieser Vibrationsplatte 12 vorgesehen sind. Die Anordnung weist dabei einen bestimmten Vorne-Hinten-Betriebslängenbereich D auf.The 23 represents the width of the vibrating plate 12 with the vibration holes 120 which are called narrow and linear slots 123 are executed and in a stepped arrangement close together within the width of this vibrating plate 12 are provided. The arrangement in this case has a specific front-rear operating length range D.

Da die Schlitze 123 in einer schmalen und linearen Form ausgeführt sind, können Partikel in einer Größe, die ähnlich sind wie die der Schlitze 123, oder Kornsubstanzen, deren Größe kleiner ist, in diese Schlitze 123 eindringen und diese blockieren, während die in der Flüssigkeit befindlichen Körner, die größer sind als die Schlitze 123, in den Schlitzen 123 aufgefangen werden. Mit den Schlitzen, die mit den relativ größeren Partikeln in der Substanz blockiert sind, wird jedoch keine Verstopfung verursacht, sondern eher einen Filtereffekt.Because the slots 123 In a narrow and linear shape, particles of a size similar to those of the slots may be used 123 , or grain substances whose size is smaller, into these slots 123 and block them while the grains in the liquid are larger than the slits 123 , in the slots 123 be caught. However, with the slits blocked with the relatively larger particles in the substance, no clogging is caused, but rather a filtering effect.

Die 24 zeigt, dass die in einer Wellenform 124 ausgeführten Vibrationslöcher nebeneinander in einer gestuften Anordnung innerhalb der Breite der Vibrationsplatte 12 vorgesehen sind, einen bestimmten Vorne-Hinten-Betriebslängenbereich D aufweisen.The 24 shows that in a waveform 124 running vibration holes side by side in a stepped arrangement within the width of the vibrating plate 12 are provided, a certain front-rear operating length range D have.

Wie dies wiederum in der 5 gezeigt ist, in der die Anwendung des mit den oben genannten Schlitzen 123 (124) gebildeten Betriebslängenbereiches D dargestellt ist, wird an einer beliebigen Stelle innerhalb dieses Betriebslängenbereiches D nach dem schrägen Eintauchen des freien Endes der Vibrationsplatte 12 in die Oberfläche 40 der Flüssigkeit ein Schnittpunkt P der Oberfläche 40 der Flüssigkeit gebildet, damit die Flüssigkeit an der Stelle des Schnittpunktes P vibriert wird, während die Flüssigkeit mit einer Vibrierenergie am freien Ende der eingetauchten Vibrationsplatte 12 angeregt wird.Like this in turn 5 shown in the application of the above-mentioned slots 123 ( 124 ) formed operating range is shown at any point within this operating length range D after the oblique immersion of the free end of the vibrating plate 12 in the surface 40 the liquid is an intersection P of the surface 40 the liquid is formed so that the liquid is vibrated at the point of intersection P, while the liquid with a vibrating energy at the free end of the immersed vibrating plate 12 is stimulated.

Wenn die Vibrationslöcher 120 als wellenförmige Schlitze 124 ausgeführt sind, kann mit den wellenförmigen Schlitzen 124 die Distanz der linearen Länge des Schlitzes verlängert werden.If the vibration holes 120 as wave-shaped slits 124 can run, with the undulating slits 124 the distance of the linear length of the slot can be extended.

Es ist selbstverständlich, dass die hier beschriebenen Ausführungsarten lediglich als Beispiel der Prinzipien der vorliegenden Erfindung dienen und dass von den Fachleuten auf diesem Gebiet eine Vielzahl von Modifizierungen an diesen beschriebenen Ausführungsarten vorgenommen werden können, ohne dabei vom Geist und Umfang der vorliegenden Erfindung, wie in den nachstehenden Schutzansprüchen dargelegt, abzuweichen.It is self-evident, that the embodiments described here merely as an example of the principles of the present invention serve and that of the professionals in this field a variety modifications to these described embodiments are made can, without departing from the spirit and scope of the present invention, such as in the following claims set out to depart.

Claims (24)

Ein Mechanismus für den Zug einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung, mit dem insbesondere eine Ausleger-Anregungsvorrichtung mit einer Schwimmträgermethode auf der Oberfläche einer großen Menge einer Betriebsflüssigkeit getragen wird, wobei eine Vibrationsplatte genau positioniert und eine quantitative Zerstäubung ermöglicht wird; die Anregungsvorrichtung aus einem piezoelektrischen Block-Aktivierungsglied aufgebaut ist und sich die Vibrationsplatte von einer Seite des Aktivierungsgliedes erstreckt und mit einer Auslegermethode daran angebracht ist, während die Vibrationsplatte innerhalb ihrer Breite mit Vibrationslöchern versehen ist; die Anregungsvorrichtung an einen Schwimmträger angebracht ist, der auf der Oberfläche der Betriebsflüssigkeit schwimmt; eine Betriebsseite eines freien Endes der Vibrationsplatte einen definierten und gerichteten Effekt auf die Oberfläche der Flüssigkeit behält, vergleichbare Lastbedingungen aufnehmen und eine quantitative Leistung ausführen kann.A high-frequency spatter pulling mechanism for carrying, in particular, a cantilever excitation device having a float carrier method on the surface of a large amount of working fluid, accurately positioning a vibrating plate and enabling quantitative atomization; the excitation device is constructed of a piezoelectric block activating member and the vibrating plate extends from one side of the activating member and is attached thereto by a cantilever method while the vibrating plate is mounted in is provided within its width with vibration holes; the excitation device is attached to a float carrier which floats on the surface of the working fluid; an operating side of a free end of the vibrating plate retains a defined and directed effect on the surface of the liquid, can absorb comparable load conditions and perform a quantitative performance. Der Mechanismus für den Zug einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Aktivierungsglied und die Vibrationsplatte durch Löten mit einer Verbundfläche miteinander befestigt werden.The mechanism for the train of a high frequency sputtering device according to claim 1, characterized in that the activating member and the vibration plate by soldering with a composite surface be fastened together. Der Mechanismus für den Zug einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mit einem richtungsändernden Glied die relative horizontale Position zwischen der Vibrationsplatte und dem Aktivierungsglied verstellt wird.The mechanism for the train of a high frequency sputtering device according to claim 1, characterized in that with a direction-changing Link the relative horizontal position between the vibrating plate and the activation member is adjusted. Der Mechanismus für den Zug einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mit einem gebogenen Teil das relative schräge Winkelverhältnis zwischen der Vibrationsplatte und dem Aktivierungsglied verstellt wird.The mechanism for the train of a high frequency sputtering device according to claim 1, characterized in that with a bent part the relative oblique angular relationship adjusted between the vibrating plate and the activation member becomes. Der Mechanismus für den Zug einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Aktivierungsglied und die Vibrationsplatte ebenflächig miteinander verbunden sind, wobei dieser ebenflächige Aufbau auf einer schrägen Seite des Schwimmträgers in einem schrägen Verhältnis damit angebracht ist.The mechanism for the train of a high frequency sputtering device according to claim 1, characterized in that the activating member and the vibrating plate level are interconnected, this planar structure on an oblique side the swimming carrier in a weird way relationship is appropriate. Der Mechanismus für den Zug einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Schwimmträger mit einer eingekerbten Öffnung versehen ist, deren zwei Seiten Ecken bilden, mit denen die Vibrationsplatte des Aktivierungsgliedes geschützt wird.The mechanism for the train of a high frequency sputtering device according to claim 1, characterized in that the floating carrier with a notched opening is provided, whose two sides form corners, with which the vibration plate Protected the activator becomes. Der Mechanismus für den Zug einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Schwimmträger rahmenförmig ausgeführt ist, die Anregungsvorrichtung in ein internes durchgehendes Loch eingeschoben werden kann, damit die Vibrationsplatte nahe mit der Oberfläche der Flüssigkeit in Berührung gebracht werden kann.The mechanism for the train of a high frequency sputtering device according to claim 1, characterized in that the floating support is designed frame-shaped, the excitation device inserted into an internal through hole can be so that the vibration plate close to the surface of the liquid in touch can be brought. Der Mechanismus für den Zug einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass an ein unteres Teil des rahmenförmigen Schwimmträgers ein Ausgleichgewicht befestigt ist.The mechanism for the train of a high frequency sputtering device according to claim 7, characterized in that to a lower part of frame-shaped floating carrier a balance weight is attached. Der Mechanismus für den Zug einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sich je eine symmetrische Vibrationsplatte von zwei gegenüberliegenden Seiten des Block-Aktivierungsgliedes erstreckt.The mechanism for the train of a high frequency sputtering device according to claim 1, characterized in that each have a symmetrical Vibrating plate from two opposite sides of the block activator extends. Der Mechanismus für den Zug einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass mit den richtungsändernden Gliedern die horizontale Position der beiden Vibrationsplatten in bezug auf das Aktivierungsglied eingestellt wird.The mechanism for pulling a high-frequency sputtering device according to claim 9, characterized in that with the direction-changing Divide the horizontal position of the two vibrating plates in is set to the activation member. Der Mechanismus für den Zug einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass mit den gebogenen Teilen das Winkelverhältnis zwischen den beiden Vibrationsplatten in bezug auf das Aktivierungsglied eingestellt wird.The mechanism for pulling a high-frequency sputtering device according to claim 9, characterized in that with the bent parts the angle ratio set between the two vibrating plates with respect to the activating member becomes. Der Mechanismus für den Zug einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Aktivierungsglied mit einem Balken innerhalb des Schwimmträgers montiert ist.The mechanism for pulling a high-frequency sputtering device according to claim 9, characterized in that the activating member with a beam is mounted inside the floating carrier. Der Mechanismus für den Zug einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Block-Aktivierungsglied quadratisch ausgeführt ist.The mechanism for pulling a high-frequency sputtering device according to claim 1 or 9, characterized in that the block activating member square executed is. Der Mechanismus für den Zug einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Block-Aktivierungsglied rund und scheibenförmig ausgeführt ist.The mechanism for pulling a high-frequency sputtering device according to claim 1 or 9, characterized in that the block activating member round and disc-shaped is executed. Ein Mechanismus für den Zug einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung, mit dem insbesondere eine Ausleger-Anregungsvorrichtung mit einer Schwimmträgermethode auf der Oberfläche einer großen Menge einer Betriebsflüssigkeit getragen wird, wobei eine Vibrationsplatte genau positioniert und eine quantitative Zerstäubung ermöglicht wird; die Anregungsvorrichtung aus einem piezoelektrischen Block-Aktivierungsglied aufgebaut ist und sich die Vibrationsplatte von einer Seite des Aktivierungsgliedes erstreckt und mit einer Auslegermethode daran angebracht ist; die Vibrationsplatte innerhalb ihrer Breite mit Vibrationslöchern versehen ist; die Anregungsvorrichtung an einen Schwimmträger angebracht ist, der auf der Oberfläche der Betriebsflüssigkeit schwimmt; eine Betriebsseite eines freien Endes der Vibrationsplatte einen definierten und gerichteten Effekt auf die Oberfläche der Flüssigkeit behält, vergleichbare Lastbedingungen aufnehmen und eine quantitative Leistung ausführen kann; der Schwimmträger an eine Montage angebracht ist, um einen Schwimmträger zu bilden, dessen Bewegung innerhalb des Behälters mit der Limitiervorrichtung eingeschränkt ist, so dass der Schwimmträger nur vertikal verschoben werden kann.A high-frequency spatter pulling mechanism for carrying, in particular, a cantilever excitation device having a float carrier method on the surface of a large amount of working fluid, accurately positioning a vibrating plate and enabling quantitative atomization; the excitation device is constructed of a piezoelectric block activating member and the vibrating plate extends from one side of the activating member and is attached thereto by a cantilever method; the vibrating plate is provided with vibrating holes within its width; the excitation device is attached to a float carrier which floats on the surface of the working fluid; an operating side of a free end of the vibrating plate retains a defined and directed effect on the surface of the liquid, can absorb comparable load conditions and perform a quantitative performance; the floating carrier is mounted on a mounting to form a floating carrier, the movement of which is restricted within the container with the limiting device, so that the floating carrier only vertical can be moved. Der Mechanismus für den Zug einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Limitiervorrichtung aus einer Gleitschiene aufgebaut ist, mit der die Schienen in die Gleitlöcher der Montage eingeschoben und gegleitet werden, wobei die Gleitlöcher dieselbe Form wie die der Schienen aufweisen.The mechanism for pulling a high-frequency sputtering device according to claim 15, characterized in that the limiting device is constructed of a slide rail, with the rails in the sliding holes the assembly are inserted and slid, the sliding holes the same Shape like that of the rails. Der Mechanismus für den Zug einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Limitiervorrichtung mit einer drehbaren Verbundmontage ausgeführt ist, die auf eine Seite des Behälters angebracht ist, während ein Schwenkarm dieser drehbaren Verbundmontage mit einem Zapfen am Schwimmträger befestigt ist.The mechanism for pulling a high-frequency sputtering device according to claim 15, characterized in that the limiting device is designed with a rotatable composite assembly, which is on one side of the container is attached while a swivel arm of this rotatable composite assembly with a pin attached to the floating carrier is. Der Mechanismus für den Zug einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Limitiervorrichtung aus Gleitsäulen aufgebaut ist, mit denen die Montage darauf und die Gleitsäulen durch die Gleitlöcher dieser Montage gegleitet werden kann, wobei die Gleitlöcher dieselbe Form wie die Gleitsäulen aufweisen.The mechanism for pulling a high-frequency sputtering device according to claim 15, characterized in that the limiting device from sliding columns is constructed, with which the assembly on it and the sliding columns through the sliding holes this assembly can be slid, with the sliding holes the same Shape like the slide columns exhibit. Der Mechanismus für den Zug einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Limitiervorrichtung auf einer Seite des Schwimmträgers angebracht ist.The mechanism for pulling a high-frequency sputtering device according to claim 15, characterized in that the limiting device on one side of the swimming carrier is appropriate. Der Mechanismus für den Zug einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Vibrationslöcher innerhalb der Breite der Vibrationsplatte als runde Löcher ausgeführt sind.The mechanism for pulling a high-frequency sputtering device according to claim 1 or 15, characterized in that the vibration holes within the width of the vibrating plate are designed as round holes. Der Mechanismus für den Zug einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere runde Löcher über einen beliebigen geometrischen Bereich angeordnet sind.The mechanism for pulling a high-frequency sputtering device according to claim 20, characterized in that a plurality of round holes over a are arranged in any geometric area. Der Mechanismus für den Zug einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Vibrationslöcher innerhalb der Breite der Vibrationsplatte auf gestufte Weise nebeneinander angeordnet sind, während die Vibrationslöcher als schmale lineare Schlitze ausgeführt und über einen bestimmten Längenbereich verteilt sind.The mechanism for pulling a high-frequency sputtering device according to claim 1 or 15, characterized in that the vibration holes within the width of the vibrating plate in a stepped manner next to each other are arranged while the vibration holes designed as narrow linear slots and over a certain length range are distributed. Der Mechanismus für den Zug einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, dass die schmalen Schlitze gerade linienförmig ausgeführt sind.The mechanism for pulling a high-frequency sputtering device according to claim 22, characterized in that the narrow slots straight linearly accomplished are. Der Mechanismus für den Zug einer Hochfrequenz-Zerstäubungsvorrichtung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, dass die schmalen Schlitze wellenförmig ausgeführt sind.The mechanism for pulling a high-frequency sputtering device according to claim 22, characterized in that the narrow slots are wave-shaped.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2133154A (en) * 1982-12-24 1984-07-18 Tokyo Shibaura Electric Co Air humidifying apparatus
EP0480615A1 (en) * 1990-10-11 1992-04-15 Kohji Toda Ultrasonic atomizing device
DE69210623T2 (en) * 1991-11-06 1996-10-02 Kvaerner Pulping Technologies Ab, Karlstad LIQUID TANK
DE202004005110U1 (en) * 2004-03-31 2004-06-03 Kai Chih Industrial Co., Ltd., Hsin Tien Eye treatment instrument for treating eyes that have been subjected to contact lenses comprises; main body, cover suitable for covering periphery around eyes and openings formed within cover

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2133154A (en) * 1982-12-24 1984-07-18 Tokyo Shibaura Electric Co Air humidifying apparatus
EP0480615A1 (en) * 1990-10-11 1992-04-15 Kohji Toda Ultrasonic atomizing device
DE69210623T2 (en) * 1991-11-06 1996-10-02 Kvaerner Pulping Technologies Ab, Karlstad LIQUID TANK
DE202004005110U1 (en) * 2004-03-31 2004-06-03 Kai Chih Industrial Co., Ltd., Hsin Tien Eye treatment instrument for treating eyes that have been subjected to contact lenses comprises; main body, cover suitable for covering periphery around eyes and openings formed within cover

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