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Die
Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Kopplung von Strahlführungen
optischer Systeme zur uni- oder
bidirektionalen Übertragung
von Strahlen über
einen Strahlübergang
zwischen den optischen Systemen mit einer Verbindungsvorrichtung und
mechanischen Zentriermitteln.
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Gekoppelte
optische Systeme finden in vielfältiger
Form Verwendung, beispielsweise in interferometrischen Messeinrichtungen.
Dabei wird ein Strahl von einem optischen System der Messeinrichtung
in ein weiteres optisches System geleitet. Der Strahlübergang
kann als Freistrahl oder als ein in einem Lichtwellenleiter geführter Strahl
erfolgen.
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Die
Schrift
DE 198 08 273 beschreibt
eine interferometrische Messeinrichtung zum Erfassen der Form rauer
Oberflächen,
wobei eine räumlich
kohärente
Strahlerzeugungseinheit vorgesehen ist, die eine zeitlich kurzkohärente und
breitbandige Strahlung abgibt, und eine Trennung in einen Abschnitt
mit den Komponenten eines Modulationsinterferometers und den Komponenten
einer Messsonde vorgenommen und die Messsonde über eine Lichtleitfaseranordnung
mit dem Modulationsinterferometer gekoppelt ist und von dem Modulationsinterferometer
entfernt verwendbar ist.
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Solche
interferometrische Messeinrichtungen werden in Formmessmaschinen
eingesetzt. Die Messsonde ist in einem optischen Tastarm integriert, der
beispielsweise über
eine Magnetkupplung auswechselbar mit einer Messmaschine mechanisch verbunden
ist. Ein Modulationsinterferometer als Bestandteil eines optischen
Messgerätes
ist ebenfalls an die Messmaschine angebunden. Die optische Verbindung
zwischen dem optischen Messgerät
und der Messsonde erfolgt über
Lichtwellenleiter. Dabei ist ein Lichtwellenleiter als optische
Verbindung zwischen der Messmaschine und der Messsonde neben dem
Tastarm frei geführt.
Die optische und mechanische Ankopplung des Lichtwellenleiters erfolgt über eine
Steckverbindung an der Messmaschine.
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Nachteilig
bei diesem Aufbau ist, dass aufgrund der parallel zur Magnetkupplung
vorliegenden Steckverbindung des Lichtwellenleiters ein automatischer
Wechsel der Messsonde nicht ausgeführt werden kann. Der manuelle
Wechsel ist umständlich
und zeitaufwändig.
Durch den frei verlaufenden Lichtwellenleiter werden beim Schwenken
des Tastarms parasitäre
Kräfte
auf den Tastarm übertragen,
weiterhin kann der Lichtwellenleiter bei Betrieb oder beim Wechsel
der Messsonde leicht beschädigt
werden. Verbiegen der optischen Fasern in dem Lichtwellenleiter
beziehungsweise Vibrationen der Fasern relativ zur Messsonde können optischen
Einfluss auf das Messergebnis haben.
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Es
ist Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung der eingangs erwähnten Art
bereitzustellen, welche die genannten Nachteile vermeidet und eine
einfach lösbare
optische und mechanische Kopplung optischer Systeme ermöglicht.
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Vorteile der
Erfindung
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Die
Aufgabe der Erfindung wird dadurch gelöst, dass die Verbindungsvorrichtung
in einem Kopplungsbereich eine Magnetkupplung zum Bewirken einer
Koppelverbindung aufweist und dass die Zentriermittel in der Weise
ausgebildet und an den sich gegenüberliegenden zu koppelnden
optischen Systemen angeordnet sind, dass sie bei der durch die magnetischen
Kräfte
bewirkten Anziehung eine Selbstzentrierung der Strahlführungen
bewirken. Die Verbindungsvorrichtung bewirkt somit sowohl die mechanische
Verbindung zwischen den optischen Systemen als auch die optische
Verbindung. Die Magnetkupplung ermöglicht ein leichtes Trennen
und Verbinden der optischen Systeme. Die optischen Systeme können somit
in einem Arbeitsschritt, dem Lösen
der magnetischen Verbindung, getrennt werden. Es sind keine zusätzlichen
Montageschritte, wie das Trennen einer zusätzlichen optischen Verbindung,
notwendig, was einen automatisierten Wechsel eines der optischen
Systeme ermöglicht.
Dies ist insbesondere bei gekoppelten optischen Systemen relevant,
bei denen eines der Systeme einen optischen Messkopf beziehungsweise
Tastarm darstellt, der spezifisch für eine jewei lige Messaufgabe
ausgetauscht werden muss. Da solche Messköpfe oder Tastarme oft auch
beweglich ausgeführt
sind, ist durch die in die Verbindungsvorrichtung aufgenommene optische
Anbindung sicher gestellt, dass keine parasitären Kräfte, wie sie beispielsweise
durch eine optische Ankopplung durch separate Lichtwellenleiter
auftreten, auf den Messkopf beziehungsweise den Tastarm übertragen
werden. Die in die Verbindungsvorrichtung aufgenommene Strahlführung ist im
montierten Zustand von außen
nicht zugänglich und
somit mechanisch geschützt.
Durch das Zusammenwirken der magnetischen Kräfte und der Zentriermittel
wird erreicht, dass die optischen Systeme bei der Montage ausgerichtet
werden und in einer definierten Position halten, so dass eine genaue
gegenseitige Positionierung der optischen Systeme für einen
optimierten Strahlübergang
gewährleistet
ist.
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In
einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist die Magnetkupplung
aus einer Magnetanordnung von zumindest einem im montierten Zustand einander
gegenüber
liegenden Paar von Magneten gebildet, wobei die Magnete als Dauermagnete und/oder
als Elektromagnete ausgeführt
sind, oder die Magnetkupplung besteht aus zumindest einem Magneten
und einem im montierten Zustand gegenüberliegenden magnetisch anziehbaren
Material, wobei der Magnet als Dauermagnet oder als Elektromagnet
ausgeführt
ist.
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Einander
gegenüber
liegende Dauermagnete bewirken eine starke magnetische Verbindung. Durch
entsprechende Auswahl der Polarität der Dauermagnete kann bei
Verwendung von mehr als einem Magnetpaar, beispielsweise bei rotationssymmetrischen
Verbindungsvorrichtungen, eine definierte gegenseitige Ausrichtung
der optischen Systeme bewirkt werden.
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Bei
Verwendung einer Kombination von Magneten und magnetisch anziehbaren
Materialien kann beispielsweise das Gehäuse oder der Bereich der Verbindungsvorrichtung
des Gehäuses
eines der optischen Systeme aus einem solchen magnetisch anziehbaren
Material gefertigt sein. Dadurch entfällt für eines der optischen Systeme
bei der Herstellung die Bereitstellung und Montage von separaten
Magneten.
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Durch
die Verwendung von Elektromagneten kann die mechanische Verbindung
zwischen den optischen Systemen elektrisch geschlossen und geöffnet werden.
Zur Trennung der optischen Systeme müssen daher keine magnetischen
Kräfte
mechanisch überwunden
werden, was bei empfindlichen optischen Systemen einen schonenden
Austausch ermöglicht.
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Sind
vor und nach dem Strahlübergang
optisch abbildende Bauelemente angeordnet, welche in dem Strahlübergang
einen kollimierten oder einen fokussierten Strahl erzeugen, so ermöglichen
diese einen verlustarmen Übergang
der Strahlung zwischen den optischen Systemen in Form eines Freistrahls. Sowohl
ein kollimierter Strahl wie auch ein fokussierter Strahl sind invariant
gegenüber
einer Drehung der optischen Systeme um die optische Achse.
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Darüber hinaus
ist ein kollimierter Strahl in bestimmten Grenzen tolerant gegenüber einer
gegenseitigen Verschiebung der optischen Systeme quer zur optischen
Achse, was im Allgemeinen lediglich zu einer Lichtschwächung führt, wenn
das in Strahlrichtung nachfolgende optische Bauelement nicht mehr
den gesamten Strahlbündelquerschnitt
erfasst. Eine beispielsweise interferometrische Messung wir dadurch
nicht berührt.
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Ein
fokussierter Strahl ist tolerant gegenüber einer Verkippung im Bereich
des Fokuspunktes. Beide Strahlführungen
ermöglichen
somit in bestimmten Grenzen eine gegenseitige Abweichung der optischen
Achsen der gekoppelten optischen Systeme, was zum einen dem Ausgleich
von mechanischen Toleranzen der Verbindung dient, zum anderen auch gezielt
eingesetzt werden kann, wenn beispielsweise eines der optischen
Systeme während
einer Messung gegenüber
dem anderen optischen System bewegt werden muss oder die Strahlführung in
dem zweiten optischen System abweichend von der optischen Achse
des ersten optischen Systems erfolgen soll.
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Eine
mechanische Rotation eines der optischen Systeme wird dadurch ermöglicht,
dass die Magnetkupplung um die optische Achse der Strahlführung drehbar
ausgeführt
ist. Stellt das zweite optische System beispielsweise einen Messkopf
mit seitlichem Lichtaustritt zu einem Prüfling dar, so kann die Position
des Messpunktes durch Drehen des zweiten optischen Systems verändert werden,
beispielsweise zur Abtastung der inneren Oberfläche einer zylindrischen Bohrung.
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Dazu
ist die Drehebene bevorzugt im Bereich des Strahlübergangs
angeordnet, da hier die Strahlführung
als Freistrahl erfolgt und, unabhängig von der gewählten Art
der Strahlführung
als kollimierter oder fokussierter Strahl, invariant gegenüber einer
Drehung um die optische Achse ist.
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Der
Strahlübergang
kann sowohl innerhalb der Magnetanordnung oder seitlich von der
Magnetanordnung angeordnet sein. Eine Anordnung innerhalb der Magnete
ermöglicht
einen weitestgehend symmetrischen Aufbau mit entsprechend symmetrischer
Kräfteverteilung,
was zu einem gleich bleibenden Spalt im Bereich des Strahlübergangs
zwischen den optischen Systemen führt. Die Verbindung ist sehr
robust und reproduzierbar herstellbar. Es sind jedoch mehrere Magnetpaare
oder ein umlaufender Ringmagnet notwendig. Eine seitliche Anordnung
ermöglicht
die Verwendung von nur einem Magnetpaar zur magnetischen Kupplung.
Gegenüber
der Anordnung innerhalb der Magnete ergeben sich weitere Freiheitsgrade
bezüglich
der Positionierung des optischen Übergangs. So kann dieser beispielsweise
am Rand oder in einer Ecke der Verbindungsvorrichtung angeordnet
sein.
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In
einer Ausgestaltung der Erfindung ist zumindest eines der optischen
Systeme als Lichtwellenleiter ausgebildet ist. Dabei können zwei
Lichtwellenleiter mit optisch abbildenden Bauelementen direkt miteinander
verbunden werden oder es kann eine Verbindung zwischen einem optischen
Lichtwellenleiter und einem als Freistrahl-Optik ausgeführten System
hergestellt sein. Lichtwellenleiter ermöglichen die Zuleitung eines
Strahls innerhalb eines optischen Systems, beispielsweise direkt
von einer Strahlungsquelle oder von einem optischen Messsystem,
zu der Verbindungsvorrichtung und anschließend zu entsprechenden optischen
Bauelementen in dem zweiten optischen System. Die Verbindungsstelle
kann somit räumlich
getrennt von den jeweiligen optischen Mess- und Auswertesystemen
angeordnet werden.
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Bevorzugt
kann die Vorrichtung zur Kopplung optischer Systeme verwendet werden,
bei denen das eine optische System ein Modulationsinterferometer
aufweist und das andere optische System eine mit dem Modulationsinterferometer
optisch gekoppelte Messsonde und/oder Referenzsonde aufweist. Solche
Systeme werden häufig
in Formmessmaschinen zur interferometrischen Erfassung der Form
oder des Abstandes rauer Oberflächen
eingesetzt. Dabei werden Messsonden abhängig der jeweiligen Messaufgabe
und des jeweiligen Prüfobjektes
eingesetzt, was einen Wechsel der Messsonden bedingt. Durch die
erfindungsgemäße Verbindungsvorrichtung
ist ein schneller und auch automatisierter Wechsel der Messsonde
möglich,
da nur die magnetische Verbindung gelöst werden muss. Findet die Messung
in einer klimatisierten Kabine statt, so muss zum Wechseln der Messsonde
im Vergleich zu bekannten Systemen mit einer separaten optischen
Anbindung der Messsonde mit Lichtwellenleitern die Kabinentür nicht
oder nur kurz geöffnet
werden, was zu geringeren Temperaturschwankungen führt. Durch
eine Drehlagerung kann die Messsonde entsprechend der Messaufgabe
ausgerichtet werden. Sind für
die Bewegung der Messsonde weitere Freiheitsgrade vorgesehen, so
werden durch die Verbindungsvorrichtung keine parasitären Kräfte auf
die Messsonde beziehungsweise einen die Messsonde beinhaltenden
Tastarm übertragen,
wie dies bei einer optischen Ankopplung der Messsonde an die Messmaschine
mit einem frei verlaufenden Lichtwellenleiter der Fall ist. Zumeist
ist bei einem Wechsel der Messsonde auch ein Wechsel der Referenzsonde
erforderlich. Die Anbindung der Referenzsonde kann ebenfalls mit
einer erfindungsgemäßen Verbindungsvorrichtung
mit den bereits für
die Messsonde beschriebenen Vorteilen erfolgen.
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Zeichnungen
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Die
Erfindung wird im Folgenden anhand der in den Figuren dargestellten
Ausführungsbeispiele näher erläutert. Es
zeigen:
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1 in
schematischer Darstellung eine Vorrichtung zur Kopplung optischer
Strahlführungen mit
kollimiertem Strahl,
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2 in
schematischer Darstellung eine Vorrichtung zur Kopplung optischer
Strahlführungen mit
fokussiertem Strahl,
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3 in
schematischer Darstellung eine Vorrichtung zur Kopplung optischer
Strahlführungen mit
Drehmöglichkeit,
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4 in
schematischer Darstellung eine Vorrichtung zur Kopplung optischer
Strahlführungen mit
Drehmöglichkeit
in einer Formmessmaschine.
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Beschreibung
der Ausführungsbeispiele
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1 zeigt
in schematischer Darstellung eine Vorrichtung zur Kopplung optischer
Strahlführungen 1 mit
kollimiertem Strahl. Ein erstes optisches System 10 beinhaltet
eine Lichtquelle 11 und einen Lichtwellenleiter 12,
mit dem ein Strahl 13 der Lichtquelle 11 einem
abbildenden Bauelement 14 in Form einer optischen Linse
zugeführt
wird. Ein zweites optisches System 20 enthält ein abbildendes
Bauelement 24, ebenfalls in Form einer optischen Linse, welches
dem abbildenden Bauelement 14 des ersten optischen Systems 10 entlang
der optischen Achse gegenüber
liegend angeordnet ist, sowie einen nach geschalteten Lichtwellenleiter 22 und
eine Wirkstelle 21 der Strahlung. Die Strahlung der Lichtquelle 11 wird
von der Lichtquelle 11 über
den Lichtwellenleiter 12 dem ersten abbildenden Bauelement 14 zugeführt, von
diesem im Bereich eines Strahlübergangs 15 kollimiert,
von dem nachfolgenden abbildenden Bauelement 24 auf das
Ende des Lichtwellenleiters 22 fokussiert und von diesem
der Wirkstelle 21 zugeführt.
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Die
mechanische Verbindung zwischen den beiden optischen Systemen 10, 20 wird über eine Verbindungsvorrichtung 30 in
Form einer Magnetkupplung 32 und eines Zentriermittels 31 erreicht.
Die Magnetkupplung 32 ist in dem Ausführungsbeispiel durch zwei in
dem ersten optischen System 10 angeordneten Magneten 32.1, 32.3 und
zwei in dem zweiten optischen System 20 angeordneten Magneten 32.2, 32.4 realisiert,
wobei sich jeweils ein Paar Magnete 32.1, 32.2 und 32.3, 32.4 über den
Spalt zwischen den beiden optischen Systemen 10, 20 gegenüber liegen.
Der Verbindungsvorrichtung 30 sind weiterhin die Zentriermittel 31 in
Form einer Ebene 31.5, von Nuten 31.2, 32.3, 31.6 und
von in die Nuten eingreifenden Zentrierkörpern 31.1, 31.4 zugeordnet.
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Durch
die gegenseitige Anziehung der Magnete 32.1, 32.2, 32.3, 32.4 wird
eine magnetische Kupplung und somit lösbare mechanische Verbindung
zwischen den beiden optischen Systemen 10, 20 erreicht.
Die Zentriermittel 31 bewirken dabei eine gegenseitige
Zentrierung der optischen Systeme 10, 20 dahingehend,
dass die optischen Bauelemente 14, 24 einander
gegenüberliegen
und so einen Strahlübergang 15 zwischen
den optischen Systemen 10, 20 ermöglichen.
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Durch
die Verbindungsvorrichtung 30 wird sowohl eine mechanische
als auch eine optische Verbindung zwischen den optischen Systemen 10, 20 ohne
zusätzlich
zu montierende optische Komponenten, wie beispielsweise parallel
zur Verbindungsvorrichtung frei verlaufende Lichtwellenleiter, erreicht. Ein
Austausch eines der optischen Systeme 10, 20 ist
somit allein durch Trennen und erneutes Verbinden der magnetischen
Kupplung ohne weiter Montageschritte möglich, was zum Beispiel einen
automatisieren Wechsel eines der optischen Systeme 10, 20 erst
ermöglicht.
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Der
kollimierte Strahl ergibt einen verschiebungsinvarianten Strahlübergang 15.
Eine Versatz der optischen Systeme 10, 20 quer
zur optischen Achse des Strahlübergangs 15,
wie er durch mechanische Toleranzen der Zentriermittel 31 oder
durch eine gewünschte
Bewegung der optischen Systeme 10, 20 gegeneinander
verursacht sein kann, führt
zu einer Strahlschwächung,
hat jedoch keinen weiteren Einfluss auf beispielsweise interferometrische
Messungen. Auch ein gegenseitiges Verdrehen der optischen Systeme 10, 20 um
die optische Achse hat keinen Einfluss auf den Übergang der Strahlung zwischen
den optischen Systemen 10, 20 und somit auf eine
optische Messung.
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Der
Strahlübergang 15 erfolgt
in dem Ausführungsbeispiel
zentrisch zwischen der Magnetanordnung. Es sind jedoch auch asymmetrische
Aufbauten möglich,
bei denen der Strahlübergang 15 seitlich
von den Magneten 32.1, 32.2, 32.3, 32.4 angeordnet
ist. Die Anzahl der eingesetzten Magnete 32.1, 32.2, 32.3, 32.4 kann
von der dargestellten Ausführung
abweichen. Es können
Dauermagnete oder Elektromagnete verwendet werden, letztere mit dem
Vorteil, dass die magnetische Verbindung durch Schalten des entsprechenden
Stromkreises geöffnet und
geschlossen werden kann. Auch Kombinationen von Magneten und magnetisch
anziehbaren Materialien sind möglich.
So kann beispielsweise das Gehäuse
eines der optischen Systeme 10, 20 aus einem magnetisch
anziehbaren Material gefertigt sein, so dass lediglich in dem gegenüberliegenden
optischen System 10, 20 entsprechende Magnete 32.1, 32.2, 32.3, 32.4 vorgesehen
werden müssen.
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Die
Zentriermittel 31 sind in dem Ausführungsbeispiel als ineinander
greifende Kugeln, Nuten 31.2, 31.3, 31.6 und
die Ebene 31.5 gebildet. Hierzu sind viele alternative
Ausführungen,
die in Verbindung mit den magnetischen Kräften zu einer statisch bestimmten
Anordnung führen
und wie sie in Lagerungen allgemein Verwendung finden, möglich. Beispiele
hierzu sind Senkungen, Zylinder, Kegel und dergleichen. Wichtig
ist, dass durch die anziehenden Kräfte der Magnete 32.1, 32.2, 32.3, 32.4 über die Zentriermittel 31 eine
Selbstzentrierung der optischen Systeme 10, 20 zueinander
erfolgt.
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2 zeigt
in schematischer Darstellung eine Vorrichtung zur Kopplung optischer
Strahlführungen 1 mit
fokussiertem Strahl. Die dargestellten Komponenten entsprechen den
bereits in 1 beschriebenen Komponenten.
Im Gegensatz zu 1 ergeben die als optische Linsen
ausgeführten
abbildenden Bauelemente 14, 24 einen im Strahlübergang 15 fokussierten
Strahl. Ein solcher Strahlübergang 15 ist
invariant gegenüber
Verdrehen der optischen Systeme 10, 20 um die
optische Achse und, in bestimmten Grenzen, gegenüber gegenseitigem Verkippen
der optischen Systeme im Fokuspunkt.
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3 zeigt
in schematischer Darstellung eine Vorrichtung zur Kopplung optischer
Strahlführungen
mit Drehmöglichkeit
in einer Erweiterung zu der in 1 dargestellten
Variante. Zusätzlich
zu den bereits in 1 beschriebenen Komponenten
ist dem ersten optischen System 10 im Bereich des Strahlübergangs 15 über ein
Drehlager 16 eine drehbare Aufnahme 17 zugeordnet.
Angetrieben durch einen Motor 18 kann sich die drehbare
Aufnahme 17 um die optische Achse des Strahlübergangs 15 drehen.
Die in ihrer Funktion bereits beschriebenen, dem ersten optischen
System 10 zugeordneten Komponenten Magnete 32.1, 32.3 der
Magnetkupplung 32, die Ebene 31.5 und die Nut 31.2 des
Zentriermittels 31 sind an der drehbaren Aufnahme 17 gegenüber dem
zweiten optischen System 20 angeordnet und ermöglichen
so in beschriebener Art die magnetische Kupplung zwischen den optischen
Systemen 10, 20. Die Drehebene liegt im Bereich
des als kollimierter Freistrahl ausgeführten Strahl übergangs 15. Eine
Drehung um die optische Achse hat daher keinen Einfluss auf den Übergang
der Strahlung zwischen den optischen Systemen 10, 20.
Alternativ hierzu ist auch ein fokussierter Strahlübergang 15, wie
er in 2 dargestellt ist, möglich.
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4 zeigt
in schematischer Darstellung eine Vorrichtung zur Kopplung optischer
Strahlführungen 1 mit
Drehmöglichkeit
an einer Formmessmaschine 60. Das erste optische System 10 besteht
aus einer Messmaschine 50 und einem angegliederten optischen
Messgerät 40.
Das optische Messgerät 40 beinhaltet
eine interferometrische Messeinrichtung in bekannter Ausführung, bestehend
aus der Lichtquelle 11, welche über einen Lichtwellenleiter 41 mit
einem Modulationsinterferometer 42 optisch gekoppelt ist,
einem anschließenden
Lichtwellenleiter-Koppler 44 sowie einem Empfänger 43.
Der Lichtwellenleiter 12 führt die Strahlung der Lichtquelle 11 von
dem Lichtwellenleiter-Koppler 44 des optischen Messgerätes 40 zu
dem in der Messmaschine 50 angeordneten abbildenden Bauelement 14.
Das abbildende Bauelement 14 kollimiert den aus dem Lichtwellenleiter 12 austretenden
Lichtstrahl 13 im Bereich des Strahlübergangs 15 zu dem
zweiten optischen System 20 in Form eines optischen Tastarms.
Die mechanische Ankopplung des optischen Tastarms an die Messmaschine 50 erfolgt
in der drehbaren, bereits in 3 beschriebenen
Ausführung
der Verbindungsvorrichtung 30 mit der Magnetkupplung 32 und mit
dem Zentriermittel 31. Die Weiterleitung der Strahlung
in dem zweiten optischen System 20 erfolgt als Freistrahloptik
ausgeführt
durch zwei abbildende Bauelemente 24, 25, welche
den Strahl auf die Oberfläche
eines Prüfobjektes 52 fokussieren.
Das Prüfobjekt 52 ist über eine
mit der Messmaschine 50 verbundene Drehaufnahme 51 gehalten.
Die von dem Prüfobjekt 52 reflektierte
Strahlung wird in umgedrehter Richtung zu der eintreffenden Strahlung über die
abbildenden Bauelemente 25, 24, 14 und den
Lichtwellenleiter 12 dem Lichtwellenleiter-Koppler 44 und
von dort dem Empfänger 43 zugeführt.
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Die
Formmessmaschine 60 ermöglicht
die interferometrische Vermessung der Oberfläche des Prüfobjekts 52. An der
Verbindungsvorrichtung 30 kann das als Tastarm ausgeführte zweite
optische System 20 leicht von der Messmaschine 50 getrennt werden,
indem bei Verwendung von Dauermagneten die magnetischen Anziehungskräfte überwunden oder
bei Verwendung von Elektromagneten diese abgeschaltet werden. Die
Trennung der mechanischen Kupplung führt sofort auch zur Trennung
der optische Kopplung der optischen Systeme 10, 20.
Es sind keine zusätzlichen
Verbindungen zu trennen, wie sie beispielsweise bei einer optischen
Ankopplung des Tastarms an die Messmaschine 50 beziehungsweise an
das optische Messgerät 40 über einen
parallel und frei hängend
verlaufenden Lichtwellenleiter notwendig ist. Dies ermöglicht einen
automatisierten Wechsel des Tastarms, wie er bei geänderten
Messaufgaben notwendig sein kann. Weiterhin treten keine Störungen der
interferometrischen Messung auf wie sie bei einem frei geführten Lichtwellenleiter
zur optischen Anbindung des Tastarms durch parasitäre mechanische
Kräfte
oder durch Verformung beziehungsweise durch Vibration des Lichtwellenleiters auftreten
können.