DE102005037764A1 - Field illumination device for micro-lithography projection exposure system, has field homogenization unit and lens provided between laser and reflecting unit, which is designed so that position of optical axis is not changed by rotation - Google Patents

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Abstract

The device has a light beam that is transformed by a refractive lens (5), where a rotatably supported reflecting unit (6) is arranged between the laser and a pupil plane (7) of illumination. The unit is rotated around an optical axis (17) of the beam and is designed in such a manner that the position of the axis is not changed by rotation. A field homogenization unit (10) and the lens are provided between the laser and the reflecting unit. A laser (1) transmits a raw beam (2) that is separated into a light beam (3).

Description

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur homogenen Beleuchtung eines Feldes, bei der ein Laser einen Rohstrahl aussendet, welcher ein drehbares optisches Bauelement durchstrahlt und in Lichtbündel aufgeteilt wird, die durch eine Linse umgeformt werden und ein Feld ausleuchten.The The invention relates to an arrangement for homogeneous illumination of a Field in which a laser emits a raw beam, which a rotatable optical component irradiated and divided into light bundles which are reshaped by a lens and illuminate a field.

Bei der Anwendung teilkohärenter Lichtquellen, zum Beispiel einem Excimer Laser, wird ein erheblicher Aufwand betrieben, das rechteckige Strahlprofil in eine homogene strukturarme Pupillen- und Feldverteilung umzuwandeln.at the application more coherent Light sources, for example, an excimer laser, becomes a significant Effort operated, the rectangular beam profile into a homogeneous to transform poor-pupil and field distribution.

In WO 2005/006079 A1 wird eine Beleuchtungseinrichtung für eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage beschrieben, bei der eine in der Intensität rotationssymmetrische Beleuchtungspupille dadurch erzeugt wird, dass ein Amplitudenfilter in Kombination mit einem Lichtmischstab verwendet wird. Der Amplitudenfilter besteht aus 4 Segmenten um die optische Achse, wobei die jeweils gegenüberliegenden Segmente die gleiche Transmission aufweisen. Durch Verdrehung dieses Filters zum Lichtmischstab ist eine Symmetrisierung der Beleuchtungspupille möglich. Es findet also eine statische Symmetrisierung statt.In WO 2005/006079 A1 discloses a lighting device for a microlithographic Projection exposure system described in which a rotationally symmetrical in intensity Illuminating pupil is generated by having an amplitude filter used in combination with a light mixing rod. The amplitude filter consists of 4 segments around the optical axis, with the opposite ones Segments have the same transmission. By twisting this Filters to the light mixing rod is a symmetrization of the illumination pupil possible. So there is a static symmetrization instead.

Da jedoch Mikroskopsysteme einen geringeren Lichtleitwert haben, werden dort andere Lösungen verwendet. In WO 01/23940 A1 wird ein Mikroskop beschrieben, welches einen Laser als Lichtquelle verwendet, bei dem die Rohstrahlung des Lasers durch bewegte Streuscheiben homogenisiert wird. Für die Mikroskopie wurde bisher auf eine gleichmäßige Verteilung geachtet, d.h. „Top hat". Ein perfekter „Top hat" erfüllt auch die Rotationssymmetrie, kann jedoch aufgrund von Fertigungstoleranzen nur näherungsweise eingehalten werden. Die Abweichungen liegen bei einigen Prozent, wenn die Beleuchtungsbereiche, die man miteinander vergleicht, groß sind, d.h. wenn ausreichende Mittelung stattfindet. Verkleinert man jedoch diese Bereich steigen die Abweichungen in den zweistelligen % Bereich.There However, microscope systems have a lower optical conductivity, be there other solutions used. WO 01/23940 A1 describes a microscope which a laser used as a light source, where the raw radiation of the laser is homogenized by moving lenses. For microscopy has been on an even distribution respected, i. "Top has "a perfect" top has met "too the rotational symmetry, but can due to manufacturing tolerances only approximately be respected. The deviations are a few percent, when the lighting areas that are compared with each other are large, i. if sufficient averaging takes place. However, you reduce it these ranges increase the deviations in the double-digit% range.

Die Erfindung soll eine bessere rotationssymmetrische Intensitätsverteilung in der Pupillenebene einer Beleuchtungsanordnung erzeugen. Dabei steht die Aufgabe, eine möglichst gleichmäßige Winkel-Ausleuchtung des Feldes zu erreichen, wobei eine große Homogenität der Intensitätsverteilung im Feld erhalten bleiben muss.The The invention aims for a better rotationally symmetrical intensity distribution generate in the pupil plane of a lighting arrangement. It stands the task, one as possible uniform angle illumination to achieve the field, with a large homogeneity of the intensity distribution must be preserved in the field.

Die Lösung der Aufgabe gelingt erfindungsgemäß mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1.The solution the object succeeds according to the invention with the characterizing features of claim 1.

Die Unteransprüche 2 bis 7 sind vorteilhafte Ausgestaltungen der kennzeichnenden Merkmale des Hauptanspruches.The under claims 2 to 7 are advantageous embodiments of the characterizing features of Main claim.

Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Laser und einer Pupillenebene der Beleuchtung ein drehbar gelagertes spiegelndes Element angeordnet ist, welches sich um eine optische Achse der Lichtbündel dreht und so gestaltet ist, dass sich die Lage der optischen Achse durch diese Drehung nicht ändert.The Invention is characterized in that between the laser and a pupil plane of the illumination a rotatably mounted reflective element is arranged, which rotates about an optical axis of the light beam and is designed so that the position of the optical axis through this rotation does not change.

Somit wird das aus dem drehbar gelagerten Element austretende Licht im Bezug zum einfallenden Licht ebenfalls um die eine optische Achse gedreht.Consequently is the emerging from the rotatably mounted element light in Reference to the incident light also around the one optical axis turned.

Dabei kann der Drehsinn des Lichtbündels gleich oder entgegen dem des optischen Elementes gerichtet sein. Der Umlauf des Lichtbündels kann ein Vielfaches oder ein Bruchteil des Umlaufs des optischen Elementes sein.there the direction of rotation of the light beam can be the same or directed opposite to the optical element. The circulation of the light beam can be a multiple or fraction of the circulation of the optical Be element.

Bei dieser Lösung wird eine statistische Mittelung genutzt. Die Symmetrisierung erfolgt dynamisch durch zeitliche Mittelung rotierter Pupillenbilder. Die Drehgeschwindigkeit des die Pupille formenden Lichtbündels und die Belichtungszeit bestimmen die Homogenität der Intensitätsverteilung in der Beleuchtungspupille.at this solution a statistical averaging is used. Symmetrization takes place dynamically by temporal averaging of rotated pupil images. The Rotational speed of the pupil forming light beam and the exposure time determines the homogeneity of the intensity distribution in the lighting pupil.

Mit der Erfindung gelingt es, eine rotationssymmetrische Pupille zu erzeugen, deren Inhomogenität kleiner 1 % ist. Dies führt in der Feldebene zu einer sehr guten Winkel-Homogenität der Beleuchtung, die mit den Lösungen, die aus dem Stand der Technik bekannt sind, nicht erreichbar ist.With The invention succeeds in providing a rotationally symmetrical pupil generate their inhomogeneity less than 1%. this leads to in the field level to a very good angle homogeneity of lighting, the with the solutions, which are known from the prior art, is not available.

Die Lage der optischen Achse muss jedoch nicht völlig starr sein, sondern kann sich auch geringfügig ändern, wobei ein Winkelversatz kleiner 1° und/oder ein Parallelversatz kleiner 1/10 der Größe des beleuchteten Feldes vorgesehen sind. Diese Maßnahme verbessert die Homogenität weiter, insbesondere auch hinsichtlich störender Speckle in der Beleuchtung des Feldes. Jedoch ist auch ein noch größerer Winkel-Versatz und/oder Parallelversatz zulässig, der bis zum 5-fachen der angegebenen Werte betragen kann.The However, the position of the optical axis does not have to be completely rigid but can also change slightly, with an angular offset of less than 1 ° and / or a parallel offset smaller than 1/10 of the size of the illuminated field are provided. This measure improves homogeneity continue, especially with regard to disturbing speckle in the lighting of the field. However, an even larger angle offset and / or Parallel offset allowed, which can be up to 5 times the specified values.

Das drehbar gelagerte optische Element wird vorzugsweise in einer pupillennahen Position in dem Beleuchtungsstrahlengang angeordnet. Eine pupillennahe Position bedeutet im optischen Sinne, dass die Pupillenebene näher am drehbar gelagerten spiegelnden Element liegt als die Feldebene.The rotatably mounted optical element is preferably in a pupil near Position disposed in the illumination beam path. A pupil-close Position means in the optical sense that the pupil plane is closer to the rotatable stored reflective element lies as the field level.

Um die Lichtbündel auf ein Feld zu konzentrieren steht in der Pupillenebene ein Element zur Feldhomogenisierung und nachfolgend ist eine Kollimator-Optik fest angeordnet. Im einfachsten Fall ist die Kollimator-Optik eine sammelnde refraktive Linse.To concentrate the light bundles on a field In the pupil plane there is an element for field homogenization and subsequently a collimator optic is fixedly arranged. In the simplest case, the collimator optics is a collecting refractive lens.

Das drehbar gelagerte optische Element mit der Eigenschaft Lichtbündel in sich zu drehen sind zum Beispiel drehbar gelagerte Spiegelanordnungen mindestens dreier fest zugeordneter Spiegelflächen, ein Abbe-König-Prisma oder ein Dove-Prisma. Es muss immer eine ungerade Anzahl von Reflexionen vorliegen. Ein besonderer Vorteil bei der Anwendung in einem Mikroskop ist der geringe Lichtleitwert, so dass nur geringe Winkelbelastungen der Prismen auftreten.The rotatably mounted optical element with the property light beam in To turn, for example, rotatably mounted mirror assemblies at least of three dedicated mirror surfaces, an Abbe-King prism or a dove prism. There must always be an odd number of reflections. One particular advantage of using in a microscope is the low light conductance, so that only small angular loads of the Prisms occur.

Zwischen dem Laser und dem drehbar gelagerten spiegelnden Element sind zur Optimierung ein weiteres Element zur Feldhomogenisierung und eine strahl bündelnde refraktive Linse vorgesehen. Diese verbessern die Homogenität der Ausleuchtung weiter.Between the laser and the rotatably mounted reflective element are for Optimizing another element for field homogenization and a beam bundling refractive lens provided. These improve the homogeneity of the illumination further.

Die Elemente zur Feldhomogenisierung sind diffraktive optische Elemente oder Wabenkondensoren. Es ist jedoch auch vorgesehen, jeweils ein diffraktives optisches Element und ein Wabenkondensor in einer Anordnung einzusetzen.The Elements for field homogenization are diffractive optical elements or honeycomb condensers. However, it is also intended, one each diffractive optical element and a honeycomb condenser in an array use.

Die Erfindung wird nachfolgend an Hand von Ausführungsbeispielen beschrieben. Es zeigen:The The invention will be described below with reference to exemplary embodiments. Show it:

1: Aufbau mit zwei DOE und drehendem Element 1 : Two DOE construction and rotating element

2: Aufbau mit einem DOE und Abbe-König-Prisma 2 : Construction with a DOE and Abbe King Prism

3: Ausführung gemäß 2 mit zwei Wabenkondensoren 3 : Execution according to 2 with two honeycomb condensers

4: Ausführungsformen eines Elementes zur Pupillenrotation 4 Embodiments of an element for pupil rotation

1 zeigt eine Anordnung zur homogenen Beleuchtung eines Feldes, welche ein Dove-Prisma 16 als drehbar gelagertes spiegelndes Element 6 benutzt. Im Beispiel wird der von einem Laser 1 ausgehender Rohstrahl 2 durch ein erstes diffraktive optische Element 4 aufgeweitet und mittels einer refraktiven Linse 5 gebündelt. Das erstes diffraktive optische Element 4 ist ein Beispiel für ein Element zur Feldhomogenisierung 10'. 1 shows an arrangement for homogeneous illumination of a field, which is a Dove prism 16 as a rotatably mounted reflective element 6 used. In the example, that is from a laser 1 Outgoing raw jet 2 by a first diffractive optical element 4 expanded and by means of a refractive lens 5 bundled. The first diffractive optical element 4 is an example of a field homogenization element 10 ' ,

Die aufgeweiteten Lichtbündel 3 fallen dann in das drehbar gelagerte Dove-Prisma 16 ein und werden mit der doppelten Drehgeschwindigkeit des Prismas um eine optische Achse 17 des Lichtbündels 3 in sich gedreht. Die Lichtbündel 3 treffen dann auf ein weiteres Element zur Feldhomogenisierung 10, welches im Beispiel ein zweites diffraktives optisches Element 11 ist. Dieses Element steht in der Pupillenebene 7, weitet das Lichtbündel 3 auf und mischt dieses. Eine in Lichtausbreitungsrichtung folgende Kollimator-Optik 8, die im einfachsten Fall eine refraktive Linse ist, bündelt die Lichtbündel 3 kollinear zur Ausleuchtung eines Feldes 9. Bei einer Messzeit von beispielsweise 200 ms soll sich das die Pupillenebene 7 formende Lichtbündel 3 mit einer Frequenz von 5 s–1 drehen, damit eine Umdrehung pro Messvorgang gewährleistet ist. Ein Abbe-König-Prisma oder das Dove-Prisma 16 bräuchten sich dabei mit nur 2,5 s–1 zu drehen.The expanded light bundles 3 then fall into the rotatably mounted Dove prism 16 and become at twice the rotational speed of the prism around an optical axis 17 of the light beam 3 turned in itself. The light bundles 3 then meet another element for field homogenization 10 , which in the example a second diffractive optical element 11 is. This element is at the pupil level 7 , widens the light beam 3 and mix this. A collimator optics following in the light propagation direction 8th , which in the simplest case is a refractive lens, focuses the light bundles 3 collinear for illuminating a field 9 , At a measuring time of, for example, 200 ms, this should be the pupil level 7 forming light bundles 3 rotate at a frequency of 5 s -1 to ensure one revolution per measurement. An Abbe-King Prism or the Dove Prism 16 would need to turn with only 2.5 s -1 .

2 zeigt eine Anordnung, bei der das drehbar gelagerte optische Element 6 direkt in den Rohstrahl 2 des Lasers 1 gestellt ist. Im Beispiel ist dieses ein Abbe-König-Prisma 15. Mit dem rotierenden Rohstrahl 2 wird das diffraktive optische Element 11 in der Pupillenebene 7 beleuchtet, durch welches die Feldhomogenisierung erzeugt wird. 2 shows an arrangement in which the rotatably mounted optical element 6 directly into the raw stream 2 the laser 1 is placed. In the example this is an Abbe-King prism 15 , With the rotating raw jet 2 becomes the diffractive optical element 11 in the pupil plane 7 illuminated, by which the field homogenization is generated.

3 zeigt einen Aufbau analog zu 1, jedoch mit zwei Wabenkondensoren 12 und 13, die an Stelle der diffraktiven optischen Elemente 4 und 11 eingesetzt werden. Sie sind ein anderes Beispiel für ein Element zur Feldhomogenisierung 10, 10'. Die Lichtbündel 3 beleuchten den Wabenkondensor 13 rotationssymmetrisch und die Pupille 7 ist durch die Mikrolinsen des Wabenkondensors 13 strukturiert, was die Homogenität in der Feldebene 9 weiter verbessert. Durch die nicht identischen Einfallswinkel am Dove-Prisma 16 wirkt dieses zusätzlich wie eine Keilplatte und trägt damit zu einer noch besseren Homogenisierung des Feldes 9 bei. 3 shows a structure analogous to 1 , but with two honeycomb condensers 12 and 13 , which replace the diffractive optical elements 4 and 11 be used. They are another example of a field homogenization element 10 . 10 ' , The light bundles 3 illuminate the honeycomb condenser 13 rotationally symmetric and the pupil 7 is through the microlenses of the honeycomb condenser 13 structured, which is the homogeneity at the field level 9 further improved. Due to the non-identical angle of incidence on the Dove prism 16 This acts in addition like a wedge plate and thus contributes to an even better homogenization of the field 9 at.

4 zeigt drei Ausführungsformen eines drehbar gelagerten spiegelnden Elementes zur Pupillenrotation. Gezeigt ist eine Anordnung aus drei Spiegeln 14, die mechanisch starr miteinander verbunden sind und die in der optischen Achse 17 der Lichtbündel drehbar gelagert sind. Weiterhin sind ein Abbe-König-Prisma 15 und ein Dove-Prisma 16 dargestellt. 4 shows three embodiments of a rotatably mounted mirror element for pupil rotation. Shown is an arrangement of three mirrors 14 , which are mechanically rigidly interconnected and those in the optical axis 17 the light beam are rotatably mounted. Furthermore, an abbe-king prism 15 and a dove prism 16 shown.

11
Laserlaser
22
Rohstrahlraw beam
33
Lichtbündellight beam
44
erstes diffraktives optisches Elementfirst diffractive optical element
55
refraktive Linserefractive lens
66
drehbar gelagertes spiegelndes Elementswiveling stored reflective element
77
Pupille (-nebene)pupil (-Nlevel)
88th
Kollimator-OptikCollimator optics
99
Feld (-ebene)field (-level)
1010
Element zur Feldhomogenisierungelement for field homogenization
1111
zweites diffraktives optisches Elementsecond diffractive optical element
1212
erster Wabenkondensorfirst honeycomb condenser
1313
zweiter Wabenkondensorsecond honeycomb condenser
1414
Spiegelanordnungmirror arrangement
1515
Abbe-König-PrismaAbbe-Koenig prism
1616
Dove-PrismaDove prism
1717
optische Achseoptical axis

Claims (7)

Anordnung zur homogenen Beleuchtung eines Feldes (9), bei der ein Laser (1) einen Rohstrahl (2) aussendet, welcher ein drehbares optisches Bauelement durchstrahlt und in Lichtbündel (3) aufgeteilt wird, die durch eine Linse umgeformt werden und ein Feld ausleuchten, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Laser (1) und einer Pupillenebene (7) der Beleuchtung ein drehbar gelagertes spiegelndes Element (6) angeordnet ist, welches sich um eine optische Achse (17) der Lichtbündel (3) dreht und so gestaltet ist, dass sich die Lage der optischen Achse (17) durch die Drehung nicht ändert.Arrangement for the homogeneous illumination of a field ( 9 ), where a laser ( 1 ) a raw beam ( 2 ), which radiates through a rotatable optical component and into light bundles ( 3 ), which are reshaped by a lens and illuminate a field, characterized in that between the laser ( 1 ) and a pupil plane ( 7 ) the illumination a rotatably mounted reflective element ( 6 ) which is arranged around an optical axis ( 17 ) of the light bundles ( 3 ) and is designed so that the position of the optical axis ( 17 ) does not change by the rotation. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Lage der optischen Achse (17) geringfügig ändert, wobei ein Winkelversatz kleiner 1° und/oder ein Parallelversatz kleiner 1/10 der Größe des beleuchteten Feldes (9) sind.Arrangement according to claim 1, characterized in that the position of the optical axis ( 17 ), wherein an angular offset of less than 1 ° and / or a parallel offset smaller than 1/10 of the size of the illuminated field ( 9 ) are. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das drehbar gelagerte spiegelnde Element (6) in einer Position nahe der Pupillenebene (7) angeordnet ist.Arrangement according to claim 1, characterized in that the rotatably mounted reflective element ( 6 ) in a position near the pupil plane ( 7 ) is arranged. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass in der Pupillenebene (7) ein Element zur Feldhomogenisierung (10) steht und nachfolgend eine Kollimator-Optik (8) fest angeordnet ist.Arrangement according to claim 1, characterized in that in the pupil plane ( 7 ) a field homogenization element ( 10 ) and subsequently a collimator optic ( 8th ) is fixed. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das drehbar gelagerte spiegelnde Element (6) eine starre Anordnung aus mindestens drei Spiegeln (14) ist oder ein Abbe-König-Prisma (15) ist oder ein Dove-Prisma (16) ist.Arrangement according to claim 1, characterized in that the rotatably mounted reflective element ( 6 ) a rigid arrangement of at least three mirrors ( 14 ) or an Abbe-King prism ( 15 ) or a dove prism ( 16 ). Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Laser (1) und dem drehbar gelagerten spiegelnden Element (6) ein weiteres Element zur Feldhomogenisierung (10') und eine strahl bündelnde refraktive Linse (5) vorgesehen sind.Arrangement according to claim 1, characterized in that between the laser ( 1 ) and the rotatably mounted reflective element ( 6 ) another element for field homogenization ( 10 ' ) and a beam-focusing refractive lens ( 5 ) are provided. Anordnung nach Anspruch 1 oder Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Elemente zur Feldhomogenisierung (10, 10') ein diffraktives optisches Element (4, 11) und/oder ein Wabenkondensor (12, 13) ist/sind.Arrangement according to claim 1 or claim 5, characterized in that the elements for field homogenization ( 10 . 10 ' ) a diffractive optical element ( 4 . 11 ) and / or a honeycomb condenser ( 12 . 13 ) is / are.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007027083A1 (en) * 2007-06-12 2008-12-18 Carl Zeiss Sms Gmbh microscope illumination
EP2209135A1 (en) * 2007-11-06 2010-07-21 Nikon Corporation Illumination optical device and exposure device
US8593618B2 (en) * 2008-06-20 2013-11-26 Carl Zeiss Smt Gmbh Optical system of a microlithographic projection exposure apparatus and microlithographic exposure method
EP2894086A4 (en) * 2012-09-07 2016-12-07 Mitsubishi Electric Corp Vehicle headlight device

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19636472A1 (en) * 1996-09-07 1998-03-12 Zeiss Carl Jena Gmbh Ophthalmometer for measuring eye cornea curvature
EP0890862A2 (en) * 1997-07-10 1999-01-13 Bayer Corporation Scanning system with error-correcting deflector
US5923359A (en) * 1997-03-14 1999-07-13 Cymbolic Sciences International Inc. Internal drum scophony raster recording device
US20050170572A1 (en) * 2004-01-30 2005-08-04 Mikio Hongo Laser annealing apparatus and annealing method of semiconductor thin film using the same

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19636472A1 (en) * 1996-09-07 1998-03-12 Zeiss Carl Jena Gmbh Ophthalmometer for measuring eye cornea curvature
US5923359A (en) * 1997-03-14 1999-07-13 Cymbolic Sciences International Inc. Internal drum scophony raster recording device
EP0890862A2 (en) * 1997-07-10 1999-01-13 Bayer Corporation Scanning system with error-correcting deflector
US20050170572A1 (en) * 2004-01-30 2005-08-04 Mikio Hongo Laser annealing apparatus and annealing method of semiconductor thin film using the same

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007027083A1 (en) * 2007-06-12 2008-12-18 Carl Zeiss Sms Gmbh microscope illumination
US20100195198A1 (en) * 2007-06-12 2010-08-05 Laengle Mario Microscope illumination
KR101486102B1 (en) * 2007-06-12 2015-01-23 칼 짜이스 에스엠에스 게엠베하 Microscope illumination system
US9097911B2 (en) * 2007-06-12 2015-08-04 Carl Zeiss Sms Gmbh Microscope illumination
EP2209135A1 (en) * 2007-11-06 2010-07-21 Nikon Corporation Illumination optical device and exposure device
EP2209135A4 (en) * 2007-11-06 2011-06-08 Nikon Corp Illumination optical device and exposure device
US8094290B2 (en) 2007-11-06 2012-01-10 Nikon Corporation Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method
US8593618B2 (en) * 2008-06-20 2013-11-26 Carl Zeiss Smt Gmbh Optical system of a microlithographic projection exposure apparatus and microlithographic exposure method
EP2894086A4 (en) * 2012-09-07 2016-12-07 Mitsubishi Electric Corp Vehicle headlight device
US9689549B2 (en) 2012-09-07 2017-06-27 Mitsubishi Electric Corporation Vehicle headlight device

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