DE102005025167B3 - Multi-bit virtual ground NAND-memory unit, has memory cells of two adjacent groups of rows connected in common - Google Patents

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Abstract

A multi-bit virtual-ground NAND-memory unit in which each memory cell (MC) has a gate connection, two-source/drain connections and two separate memory sites (SS). Each of the memory sites is adjacent to a source/drain connection and the memory cells of the columns are connected in circuit in series via the source/drain connection. Bit-lines (BL) are spaced from one another along the columns and are arranged mutually parallel to one another. The memory cells of two adjacent groups of rows are connected in common and alternating with one of the bit lines and an adjacent bit line, to form NAND-chains of memory cells of the same column and the same group of rows. Each word-line joins the gate-connections of the memory cells of a row to one another.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft Virtual-Ground-NAND-Speichereinheiten, die Charge-trapping-Multi-Bit-Speicherzellen umfassen.The The present invention relates to virtual ground NAND storage devices. comprising the batch-trapping multi-bit memory cells.

Charge-trapping-Speichereinheiten, die eine Folge von Speicherschichten dielektrischer Materialien umfassen, die zum Ladungseinfang vorgesehen sind, um die Speicherzelle zu programmieren, insbesondere SONOS-Speicherzellen, die als Speichermedium Oxid-Nitrid-Oxid-Schichtfolgen umfassen, werden gewöhnlich durch Injektion heißer Elektronen aus dem Kanal (CHE, channel hot electrons) programmiert. Chargetrapping-Speicherzellen können so aufgebaut sein, dass sie die Speicherung von zwei Daten-Bits in jeder Speicherzelle ermöglichen. In der US 5,768,192 und der US 6,011,725 sind Charge-trapping-Speicherzellen einer besonderen Art so genannter NROM-Zellen beschrieben, die benutzt werden können, um Daten-Bits sowohl an Source als auch an Drain unterhalb der entsprechenden Gatekanten zu speichern. Die programmierte Zelle wird in umgekehrter Richtung gelesen (reverse read), um eine Zwei-Bit-Trennung zu erreichen. Die Löschung erfolgt durch Injektion heißer Löcher (hot holes). Die US 2003/0080372 A1, US 2003/0148582 A1, US 2003/0161192 A1 und US 6,324,099 B1 beschreiben ebenfalls Charge-trappingmulti-bit-Speicher.Charge-trapping memory units comprising a series of memory layers of dielectric materials intended for charge trapping to program the memory cell, in particular SONOS memory cells comprising oxide-nitride-oxide layer sequences as the storage medium, are usually formed by injection of hot electrons programmed from the channel (CHE, channel hot electrons). Charge trapping memory cells may be constructed to allow the storage of two bits of data in each memory cell. In the US 5,768,192 and the US 6,011,725 There are described charge trapping memory cells of a particular type of so-called NROM cells which may be used to store data bits at both the source and drain below the respective gate edges. The programmed cell is read in the reverse direction (reverse read) to achieve a two-bit separation. The deletion is done by hot-hole injection. US 2003/0080372 A1, US 2003/0148582 A1, US 2003/0161192 A1 and US 6,324,099 B1 also describe charge-trapping multi-bit memory.

In der US 2003/0185055 A1 und einer entsprechenden Veröffentlichung von C. C. Yeh u.a., „PHINES: A Novel Low Power Program/Erase, Small Pitch, 2-Bit per Cell Flash Memory", 2002 IEEE, ist eine nichtflüchtige Halbleiterspeicherzelle mit eingefangenen Elektronen im Löschzustand beschrieben, die als Flash-Memory betrieben wird und zwei Bits in einer herkömmlichen Charge-trapping-Schichtfolge, zum Beispiel einer ONO-Schichtfolge, speichern kann. Beim Programmieren dieses Speichers werden elektrische Löcher in die nichtleitende Charge-trapping-Schicht injiziert. Die Injektion der heißen Löcher kann an Source oder Drain, also an beiden Enden des Kanals, hervorgerufen werden. Diese Betriebsweise vermeidet hohe Programmierströme. Die Löschung geschieht durch Fowler-Nordheim-Tunneln von Elektronen entweder vom Kanal oder von der Gate-Elektrode in die Speicherschicht.In US 2003/0185055 A1 and a corresponding publication C. C. Yeh et al., "PHINES: A Novel Low Power Program / Erase, Small Pitch, 2-Bit by Cell Flash Memory ", 2002 IEEE, is a non-volatile one Semiconductor memory cell with trapped electrons in the erase state described, which is operated as a flash memory and two bits in a conventional one Charge-trapping layer sequence, for example an ONO layer sequence, can save. When programming this memory will be electrical holes injected into the non-conductive charge-trapping layer. The injection the hot ones holes can be caused at the source or drain, ie at both ends of the channel become. This mode of operation avoids high programming currents. The deletion either happens through Fowler-Nordheim tunneling of electrons from the channel or gate electrode into the memory layer.

Da die Speicherschicht von Charge-trapping-Speicherzellen elektrisch isolierendes Material ist, ist die eingefangene Ladung an den Orten der Einfangstellen eingeschlossen, die sich an jedem Ende des Kanals befinden. Dies bedeutet, dass der Ladungseinfang angrenzend an jeden der Source-/Drainbereiche jeder Speicherzelle stattfinden kann. Der Programmierungsmechanismus wird verbessert, wenn die Speicherschicht zusätzlich auf begrenzte Bereiche in der Nachbarschaft der zwei Source-/Drainbereiche beschränkt wird. Auf diese Weise kann eine hohe Dichte gespeicherter Daten erreicht werden.There the storage layer of charge-trapping memory cells electrically is insulating material, is the trapped charge in the places trapped at the trapping points located at each end of the channel. This means that the charge trapping is adjacent to each of the source / drain regions every memory cell can take place. The programming mechanism is improved when the storage layer in addition to limited areas is limited in the vicinity of the two source / drain regions. In this way, a high density of stored data can be achieved become.

Eine hohe Speicherdichte kann auch mit einem Feld von Floating-Gate-Speicherzellen in einer NAND-Architektur erreicht werden. Das Floating-Gate wird gewöhnlich aus einer elektrisch leitenden Schicht zwischen einer Kontroll-Gate-Elektrode und der Kanalzone gebildet. Die Ladungsträger, die sich auf der Floating-Gate-Elektrode in dem programmierten Zustand der Speicherzelle ansammeln, werden nicht eingefangen, sondern werden über das Floating Gate verteilt, so dass das elektrische Feld innerhalb des elektrischen Leiters verschwindet.A High storage density can also be achieved with a field of floating gate memory cells can be achieved in a NAND architecture. The floating gate will usually from an electrically conductive layer between a control gate electrode and the channel zone formed. The charge carriers, which are located on the floating gate electrode do not accumulate in the programmed state of the memory cell be captured, but over the floating gate is distributed so that the electric field inside of the electrical conductor disappears.

Die Verkleinerbarkeit von Charge-trapping-Speichereinheiten mit 2 Bit/Zelle ist im Wesentlichen durch zwei Beschränkungen limitiert. Eine minimale Kanallänge ist erforderlich, um eine ausreichend hohe Source/Drain-Spannung zu ermöglichen; und die Anordnung selbstjustierter Source/Drain-Kontakte zwischen den Wortleitungen erfordert ausreichend dicke Isolierungen, um die geforderte Spannung zu garantieren. Eine Anordnung von Charge-trapping-Speicherzellen in einem NAND-Feld würde eine noch höhere Speicherdichte ergeben als frühere Virtual-Ground-Felder. Deswegen wäre im Prinzip eine Verringerung der Fläche der Einheit möglich, wenn die Speicherzellen in Reihen von Speicherzellen angeordnet werden könnten. Das ist jedoch derzeit nicht möglich, wenn in der Speicherzelle die herkömmlichen Lese/Schreib-Operationen ausgeführt werden, da die Speicherzellen einer Reihe nur über weitere Speicherzellen adressiert werden können, die in Reihe geschaltet sind.The Reducibility of 2 bit / cell batch trapping memory units is essentially limited by two restrictions. A minimal channel length is required to have a sufficiently high source / drain voltage to enable; and the arrangement of self-aligned source / drain contacts between the word lines requires sufficiently thick insulation to the required voltage to guarantee. An array of charge-trapping memory cells in a NAND field would an even higher one Storage density revealed as earlier Virtual ground fields. Therefore, in principle, a reduction would be the area the unit possible, when the memory cells are arranged in rows of memory cells could become. This is currently not possible if in the memory cell, the conventional read / write operations accomplished because the memory cells of a series only have more memory cells can be addressed which are connected in series.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Chargetrapping-Speichereinheit anzugeben, die ein Feld von Multi-Bit-Speicherzellen umfasst, das eine höhere Speicherdichte als frühere Virtual-Ground-Felder ermöglicht. Außerdem soll ein Betriebsmodus der Speichereinheit angegeben werden, mit dem eine angemessene Leistung der Einheit erreicht wird.task It is the object of the present invention to provide a charge tracing storage unit indicating a field of multi-bit memory cells comprising a higher Storage density as earlier Virtual ground fields enabled. Furthermore an operating mode of the memory unit should be specified, with adequate performance of the unit is achieved.

Die vorliegende Multi-Bit-Speichereinheit umfasst ein Feld von Speicherzellen, die in Zeilen und Spalten angeordnet sind und eine Virtual-Ground-NAND-Architektur bilden. Die Speicherzellen sind Charge-trapping-Speicherzellen, die jeweils zwei getrennte Speicherstellen umfassen, wobei eine der Speicherstellen sich in der Nähe eines der Source/Drainanschlüsse befindet und die andere Speicherstelle sich in der Nähe des gegenüberliegenden Source/Drainanschlusses befindet.The present multi-bit memory unit comprises a field of memory cells, arranged in rows and columns and a virtual ground NAND architecture form. The memory cells are charge-trapping memory cells, each comprising two separate memory locations, wherein a the memory location is near one of the source / drain terminals and the other storage location is near the opposite Source / drain terminal is located.

Die Zeilen der Speicherzellen sind unterteilt in Gruppen von vorzugsweise derselben Anzahl an Zeilen. Entlang der Spalten sind die Speicherzellen über ihre Source/Drainanschlüsse in Reihe geschaltet. Die Source/Drainanschlüsse, welche die Speicherzellen zweier angrenzender Zeilengruppen gemeinsam haben, d. h. die Source/Drainanschlüsse, die sich zwischen den Zeilengruppen befinden, bilden eine spezielle Auswahl von Source/Drainanschlüssen, welche durch eine Bitleitung aus einer Vielzahl von Bitleitungen verbunden sind. Die Bitleitungen sind in einem Abstand voneinander entlang der Spalten parallel zueinander angeordnet; Wortleitungen sind quer zu den Bitleitungen in einem Abstand voneinander entlang der Zeilen parallel zueinander angeordnet.The Lines of the memory cells are divided into groups of preferably the same number of lines. Along the columns are the memory cells over their Source / drain terminals connected in series. The source / drain terminals, which are the memory cells have two adjacent stanzas in common, d. H. the source / drain terminals, the between the stanzas form a special Selection of source / drain connections, which by a bit line of a plurality of bit lines are connected. The bit lines are at a distance from each other arranged along the columns parallel to each other; word lines are at a distance from each other across the bitlines the rows are arranged parallel to each other.

Entlang jeder Spalte sind die Source/Drainanschlüsse der besagten Auswahl, die sich zwischen den Zeilengruppen befinden, entweder abwechselnd mit einer der Bitleitungen und mit einer zu dieser Bitleitung benachbarten Bitleitung verbunden, oder der Reihe nach mit aufeinander folgenden Bitleitungen. Auf diese Weise werden NAND-Ketten von Speicherzellen gebildet durch Speicherzellen derselben Spalte und derselben Zeilengruppe zwischen aufeinander folgenden Source/Drainanschlüssen, die zu der Auswahl gehören.Along each column are the source / drain terminals of said selection, the are between the stanzas, either alternating with one of the bit lines and one adjacent to that bit line Bit line connected, or in succession with successive Bit lines. In this way, NAND chains of memory cells formed by memory cells of the same column and the same stanza between successive source / drain terminals, the belong to the selection.

Jede der Wortleitungen verbindet die Gateanschlüsse der Speicherzellen einer der Zeilen. Dies bedeutet, dass jeder Gateanschluss der Speicherzellen einer NAND-Kette mit einer anderen Wortleitung verbunden ist, die zu dieser NAND-Kette gehört. Die NAND-Ketten haben vorzugsweise dieselbe Länge, umfassen also dieselbe Anzahl an Speicherzellen.each the word lines connect the gate terminals of the memory cells of a the lines. This means that each gate of the memory cells a NAND chain is connected to another word line, the Belongs to this NAND chain. The NAND chains preferably have the same length, ie they are the same Number of memory cells.

In einer ersten bevorzugten Ausführungsform sind die Bitleitungen entlang der Spalten angeordnet, vorzugsweise im Wesentlichen geradlinig, und jede Bitleitung ist mit den Source/Drainanschlüssen verbunden, die vier Speicherzellen gemeinsam haben, welche in einem Quadrat angeordnet sind und daher zu zwei Zeilen und zwei Spalten gehören.In a first preferred embodiment the bitlines are arranged along the columns, preferably substantially straight line, and each bit line is connected to the source / drain terminals have four memory cells in common, which are arranged in a square and therefore belong to two rows and two columns.

Eine zweite bevorzugte Ausführungsform umfasst Bitleitungen, die in Zickzackform entlang der Spalten angeordnet sind. Jede Bitleitung ist abwechselnd mit Source/Drainanschlüssen der Speicherzellen einer von zwei benachbarten Spalten verbunden.A second preferred embodiment includes bitlines arranged in zigzag along the columns are. Each bit line is alternating with source / drain terminals of Memory cells connected to one of two adjacent columns.

Eine andere bevorzugte Ausführungsform umfasst Spalten von Speicherzellen in aktiven Bereichen, die in Zickzackform angeordnet sind, während die Bitleitungen gerade oder zumindest größtenteils gerade sein können. Auch bei dieser Ausführungsform ist jede Bitleitung abwechselnd verbunden mit Source/Drainanschlüssen von Speicherzellen einer von zwei benachbarten Spalten.A another preferred embodiment includes columns of memory cells in active areas that are in Zigzag shape are arranged while the bitlines may be straight or at least mostly straight. Also in this embodiment Each bit line is alternately connected to source / drain terminals of Memory cells one of two adjacent columns.

Eine weitere bevorzugte Ausführungsform umfasst vorzugsweise geradlinige Bitleitungen, die mit Abstand voneinander parallel angeordnet sind, in einem kleinen Winkel zu den Speicherzellenspalten. Die Spalten durchlaufen daher eine Bitleitung nach der anderen. Entlang jeder Spalte sind die Source/Drainanschlüsse der besagten Auswahl der Reihe nach mit aufeinander folgenden Bitleitungen verbunden.A further preferred embodiment preferably comprises rectilinear bitlines spaced apart from one another are arranged in parallel, at a small angle to the memory cell columns. The columns therefore pass through one bit line after another. Along each column, the source / drain ports of said selection are the Connected in series with successive bit lines.

Ein elektronischer Schaltkreis, der zum Anlegen von Spannungen an die Speicherzellen vorgesehen ist, um Lese-, Schreib- und Löschoperationen durchzuführen, wird vorzugsweise mit Mitteln zum Anlegen einer Schreibspannung an jede beliebige Bitleitung und einer Blockierspannung an eine dazu benachbarte Bitleitung versehen, wobei die Blockierspannung geeignet ist, eine Schreiboperation in denjenigen Speicherzellen zu verhindern, die zu NAND-Ketten gehören, die mit der benachbarten Bitleitung verbunden sind.One electronic circuit for applying voltages to the Memory cells is provided to read, write and erase operations perform, is preferably provided with means for applying a write voltage to any bitline and blocking voltage to one provided to adjacent bit line, wherein the blocking voltage is suitable, a write operation in those memory cells to prevent, which belong to NAND chains, which coincide with the neighboring Bit line are connected.

Bevorzugte Ausführungsformen sind mit Auswahltransistoren ausgerüstet, die als Schalter fungieren, um eine Verbindung jeder Bitleitung individuell mit einer von zwei globalen Bitleitungen zu ermöglichen. In diesen Ausführungsformen ist jede zweite Bitleitung in Folge durch die Auswahltransistoren mit der ersten globalen Bitleitung verbunden, und die anderen Bitleitungen sind mit der anderen globalen Bitleitung verbunden.preferred embodiments are equipped with select transistors that act as switches to a connection of each bit line individually with one of two enable global bitlines. In these embodiments is every other bitline in sequence through the selection transistors connected to the first global bitline, and the other bitlines are connected to the other global bitline.

Es folgt eine genauere Beschreibung von Beispielen der Speichereinheiten anhand der Figuren.It follows a more detailed description of examples of the storage units based on the figures.

1 zeigt einen Schaltplan einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Speichereinheit. 1 shows a circuit diagram of an embodiment of the storage unit according to the invention.

2 zeigt den Schaltplan gemäß 1 mit Programmierspannungen einer direkten Methode eines Programmierverfahrens durch Injektion heißer Löcher. 2 shows the wiring diagram according to 1 with programming voltages of a direct method of a programming method by hot-hole injection.

3 zeigt einen Schaltplan einer weiteren Ausführungsform der Speichereinheit für die Löschoperation. 3 shows a circuit diagram of another embodiment of the memory unit for the erase operation.

4 zeigt den Schaltplan gemäß 3 für die Schreiboperation. 4 shows the wiring diagram according to 3 for the write operation.

5 zeigt den Schaltplan gemäß 3 für die Leseoperation. 5 shows the wiring diagram according to 3 for the read operation.

6 zeigt einen Schaltplan gemäß 1 für eine andere Ausführungsform der Speichereinheit. 6 shows a circuit diagram according to 1 for another embodiment of the storage unit.

7 zeigt einen Schaltplan gemäß 1 für noch eine andere Ausführungsform der Speichereinheit. 7 shows a circuit diagram according to 1 for still another embodiment of the storage unit.

8 ist eine Draufsicht auf eine Ausführungsform der Speichereinheit entsprechend dem Schaltplan von 4, die die Anordnung der NAND-Ketten, Bitleitungen und Wortleitungen zeigt. 8th is a plan view of an embodiment of the memory unit according to the circuit diagram of 4 showing the arrangement of NAND chains, bit lines and word lines.

9 ist eine Draufsicht gemäß 8 einer Ausführungsform entsprechend dem Schaltplan von 6. 9 is a plan view according to 8th an embodiment according to the circuit diagram of 6 ,

10 ist eine Draufsicht gemäß 8 einer Ausführungsform entsprechend dem Schaltplan von 7. 10 is a plan view according to 8th an embodiment according to the circuit diagram of 7 ,

11 ist eine Draufsicht gemäß 8 einer weiteren Ausführungsform entsprechend dem Schaltplan von 7. 11 is a plan view according to 8th a further embodiment according to the circuit diagram of 7 ,

12 zeigt ein Schaltschema, das eine NAND-Kette mit einer zu programmierenden Speicherzelle darstellt. 12 shows a circuit diagram illustrating a NAND chain with a memory cell to be programmed.

13 zeigt ein Schaltschema, das die gespiegelte NAND-Kette darstellt, die der NAND-Kette aus 12 entspricht. 13 FIG. 12 shows a schematic diagram illustrating the mirrored NAND chain that represents the NAND chain 12 equivalent.

In der vorliegenden Speichereinheit sind Charge-trapping-Speicherzellen als Virtual-Ground-NAND-Feld angeordnet und verbunden. 1 zeigt einen Schaltplan eines Abschnitts einer ersten Ausführungsform. Dieser Plan zeigt eine Anzahl von Speicherzellen MC, die Teil des Speicherzellenfeldes sind. Jede Speicherzelle MC ist eine Charge-trapping-Speicherzelle, welche zwei Speicherstellen SS umfasst, die an die beiden Source/Drainanschlüsse angrenzen. In 1 sind die Speicherzellen auf einer horizontalen Linie gezeichnet, was nicht die tatsächliche physikalische Anordnung der Speicherzellen innerhalb des Feldes wiedergibt. Die Wortleitungen WL laufen entlang der Zeilen von Speicherzellen, und die Bitleitungen entlang der Spalten, quer zu den Wortleitungen. Die in dem Ausschnitt von 1 gezeigten Speicherzellen, die sich zwischen den Bitleitungen BLm-1 und BLm befinden, gehören alle zu derselben Speicherzellenspalte. Ihre Abfolge entlang der Spalte kann aus ihren Anschlüssen an die eingezeichneten Wortleitungen abgeleitet werden. Die Bitleitungen sind mit einer von zwei globalen Bitleitungen über Auswahltransistoren ST verbunden. Die Speicherzellen sind zwischen den Anschlüssen an zwei benachbarte Bitleitungen in Reihe geschaltet. In diesem Beispiel umfasst jede NAND-Kette vier Speicherzellen. Die Programmierung wird durch Injektion heißer Löcher bewirkt, weil die Source-Drain-Spannung der Speicherzellen entlang der Reihenschaltung für eine herkömmliche Injektion heißer Elektronen aus dem Kanal ungünstigerweise zu niedrig ist.In the present memory unit, charge trapping memory cells are arranged and connected as a virtual ground NAND field. 1 shows a circuit diagram of a portion of a first embodiment. This plan shows a number of memory cells MC that are part of the memory cell array. Each memory cell MC is a charge-trapping memory cell comprising two memory locations SS adjoining the two source / drain terminals. In 1 the memory cells are drawn on a horizontal line, which does not reflect the actual physical arrangement of the memory cells within the field. The word lines WL run along the rows of memory cells, and the bit lines along the columns, across the word lines. The in the clipping from 1 shown memory cells, which are located between the bit lines BL m-1 and BL m , all belong to the same memory cell column. Their sequence along the column can be deduced from their connections to the drawn word lines. The bitlines are connected to one of two global bitlines via select transistors ST. The memory cells are connected in series between the terminals on two adjacent bit lines. In this example, each NAND chain includes four memory cells. The programming is effected by injection of hot holes because the source-drain voltage of the memory cells along the series connection is unfavorably too low for conventional injection of hot electrons from the channel.

2 zeigt den Schaltplan gemäß 1 mit den eingetragenen Programmierspannungen. Die Speicherzelle und die Speicherstelle, die programmiert werden soll, sind durch den Pfeil auf der rechten Seite gekennzeichnet. Auf derselben Seite wie die zu programmierende Speicherstelle wird die Schreibspannung von 4 V an den Source/Drainanschluss am Ende der NAND-Kette angelegt. Das andere Ende der NAND-Kette wird auf 0 V eingestellt. Die Gateanschlüsse werden auf eine hohe Spannung VH von zum Beispiel typisch 5 V eingestellt, mit Ausnahme des Gateanschlusses der zu programmierenden Speicherzelle, der auf die Progammierspannung VP von zum Beispiel typisch –7 V eingestellt wird. Obwohl die nächste Bitleitung BLm+1 auf der anderen Seite sich auf gleitendem Potential befindet, ist eine Programmierungsstörung (program disturb) an derjenigen Zelle zu erwarten, die zwischen der Programmierspannung und dem gleitenden Potential in der zu der programmierten Zelle gespiegelten Lage vorhanden ist. Dieses Problem wird durch einen speziellen Betriebsmodus vermieden, der für dieses Speicherzellenfeld geeignet ist und im Zusammenhang mit 4 detailliert beschrieben wird. 2 shows the wiring diagram according to 1 with the entered programming voltages. The memory cell and the memory location to be programmed are indicated by the arrow on the right. On the same side as the memory location to be programmed, the write voltage of 4 V is applied to the source / drain terminal at the end of the NAND chain. The other end of the NAND chain is set to 0V. The gate terminals are set to a high voltage VH of, for example, typically 5V, except for the gate terminal of the memory cell to be programmed, which is set to the programming voltage VP of, for example, typically -7V. Although the next bit line BL m + 1 on the other side is at a floating potential, a program disturb is expected on the cell between the programming voltage and the floating potential in the the programmed cell mirrored position is present. This problem is avoided by a special mode of operation suitable for this memory cell array and in connection with 4 is described in detail.

3 zeigt einen Schaltplan gemäß 1 zu einer anderen Ausführungsform für die Löschoperation mit eingetragenen Spannungen gemäß dem speziellen Betriebsmodus. Alle Wortleitungen WL sind auf eine hohe Spannung eingestellt, zum Beispiel typisch 15 V. Wenn eine niedrigere Spannung, in diesem Beispiel 0 V, an die Bitleitungen und an das Substrat angelegt wird, beginnt das Fowler-Nordheim-Tunneln der Elektronen von der Kanalzone in die Speicherschicht, so dass die Schwellenspannung der Speichertransistoren lokal erhöht wird. Wenn die Schwellenspannung hoch genug ist, befinden sich alle Speicherzellen in einem Zustand, der als Löschung betrachtet wird. 3 shows a circuit diagram according to 1 to another embodiment for the erase operation with registered voltages according to the special mode of operation. All wordlines WL are set to a high voltage, for example, typically 15V. When a lower voltage, in this example 0V, is applied to the bitlines and to the substrate, Fowler-Nordheim tunneling of electrons from the channel zone begins the memory layer, so that the threshold voltage of the memory transistors is locally increased. If the threshold voltage is high enough, all the memory cells are in a state that is considered as erasure.

4 zeigt den Schaltplan gemäß 3 für die Schreiboperation. Die Wortleitung der ausgewählten Zelle, die programmiert werden soll, wird auf eine geeignete negative Spannung eingestellt, die Programmierspannung von zum Beispiel typisch –7 V. Die anderen Speicherzellen dieser NAND-Kette werden durch eine geeignete positive Spannung offen geschaltet, zum Beispiel die hohe Spannung VH von typisch 5 V. Um eine Injektion heißer Löcher zu erhalten, muss der Source/Drainanschluss an der Speicherstelle der ausgewählten Speicherzelle, an der die Programmierung stattfinden soll, auf eine positive Schreibspannung VW von zum Beispiel typisch 4 V eingestellt werden. Deswegen wird die Bitleitung, die mit dem in der 4 bezeichneten Source/Drainanschluss A verbunden ist, auf 4 V eingestellt, wenn zum Beispiel die Speicherstelle programmiert werden soll, die durch den nach oben zeigenden Pfeil markiert ist, während die Bitleitung, die mit dem anderen Ende der NAND-Kette verbunden ist (Anschluss B), auf gleitendem Potential gehalten wird. Das gleitende Potential beträgt üblicherweise 0 V, weil die nicht adressierten Bitleitungen auf 0 V gehalten werden und die Schreiboperation kurz ist, so dass das gleitende Potential sich während dieses kurzen Zeitintervalls nicht wesentlich ändert. In jedem Fall ist die Potentialdifferenz zwischen den Source/Drainanschlüssen der zu programmierenden Speicherzelle groß genug, um durch den so genannten GIDL-Effekt Löcher zu erzeugen. Diese Löcher werden nacheinander in die Speicherschicht injiziert. Das bedeutet, dass die Schwellenspannung der ausgewählten Speicherzelle auf der entsprechenden Seite verringert wird, sodass der Zustand der entsprechenden Speicherstelle in den programmierten Zustand geändert wird. 4 shows the wiring diagram according to 3 for the write operation. The word line of the selected cell to be programmed is set to a suitable negative voltage, the programming voltage of, for example, typically -7 V. The other memory cells of this NAND chain are switched open by a suitable positive voltage, for example the high voltage of typically 5 V to get VH order a hot hole injection, must the source / drain connection at the location of the selected memory cell where you want to place the programming, for example, typically 4 V be set to a positive write voltage V W of. Because of this, the bit line that matches the one in the 4 designated source / drain terminal A is set to 4 V, for example, if the memory location marked by the up arrow is to be programmed while the bit line connected to the other end of the NAND chain (terminal B ), is kept at moving potential. The floating potential is usually 0 V because the non-addressed bit lines are held at 0 V and the write operation is short, so that the sliding potential does not change significantly during this short time interval. In any case, the potential difference between the source / drain terminals of the memory cell to be programmed is large enough to create holes by the so-called GIDL effect. These holes are successively injected into the storage layer. This means that the threshold voltage of the selected memory cell on the corresponding page is reduced so that the state of the corresponding memory location is changed to the programmed state.

Wenn keine Gegenmaßnahmen ergriffen werden, tritt eine unerwünschte Programmierung in derjenigen Speicherzelle auf, die sich in einer gespiegelten Position in Bezug auf diejenige Bitleitung befindet, die auf die Schreibspannung eingestellt wird. Diese unerwünschte Schreiboperation wird verhindert durch das Anlegen einer Blockierspannung Vi, typisch etwa 2 V, zum Beispiel an den nächsten Bitleitungsanschluss C am anderen Ende der Spiegel-NAND-Kette. In jedem Fall wird die Blockierspannung so gewählt, dass keine Speicherzelle der NAND-Ketten programmiert wird, die an dem Anschluss C enden. Die Spannungsdifferenz von 2 V zwischen der Schreibspannung Vw und der Blockierspannung Vi, und zwischen der Blockierspannung Vi und dem gleitenden Potential von etwa 0 V ist zu gering, um eine Injektion heißer Löcher in die Speicherzellen derjenigen NAND-Ketten zu erzeugen, die am Anschluss C enden. Die Schwellenspannungen dieser Speicherzellen bleiben daher im Wesentlichen unverändert. Durch die Blockierspannung Vi kann eine Programmierungsstörung derjenigen Speicherzellen, die über dieselbe Wortleitung adressiert werden, aber nicht programmiert werden sollen, vermieden werden. Dieser Betriebsmodus ermöglicht einen angemessenen Betrieb dieser Speicherzellenarchitektur und stellt somit eine ausreichende Leistung sogar in einem Feld mit extrem erhöhter Speicherdichte sicher.Unless countermeasures are taken, unwanted programming will occur in that memory cell which is in a mirrored position with respect to the bitline being set to the write voltage. This unwanted write operation is prevented by applying a blocking voltage V i , typically about 2V, to, for example, the next bit line terminal C at the other end of the mirror NAND chain. In any case, the blocking voltage is chosen so that no memory cell of the NAND chains ending in terminal C is programmed. The voltage difference of 2 V between the writing voltage V w and the blocking voltage V i , and between the blocking voltage V i and the sliding potential of about 0 V is too small to produce a hot-hole injection into the memory cells of those NAND chains which end at port C. The threshold voltages of these memory cells therefore remain essentially unchanged. By the blocking voltage V i , a programming error of those memory cells that are addressed via the same word line, but should not be programmed, can be avoided. This mode of operation enables adequate operation of this memory cell architecture and thus ensures sufficient performance even in a field of extremely increased storage density.

Die Leseoperation wird nach dem Schaltplan von 5 durchgeführt, der die hierzu geeigneten Spannungen zeigt. Die Wortleitung, die die zu lesende Speicherzelle adressiert, wird auf die Lesespannung VR von zum Beispiel ty pisch 3 V eingestellt. Die anderen Wortleitungen derselben NRND-Kette werden auf die hohe Spannung VH von zum Beispiel typisch etwa 5 V eingestellt. Die Speicherstelle, die gelesen werden soll, ist in 5 durch den nach oben zeigenden Pfeil markiert. Die Bitleitung, die beim Programmieren dieser Speicherstelle auf die Schreibspannung eingestellt wurde, wird auf ein niedriges Potential eingestellt, typisch 0 V, während die Bitleitung am anderen Ende der NAND-Kette auf eine geeignete Drain-Spannung von zum Beispiel typisch 1,6 V eingestellt wird.The reading operation will follow the wiring diagram of 5 performed, which shows the appropriate voltages for this purpose. The word line, which addresses the memory cell to be read, is set to the read voltage VR of, for example, 3 volts. The other word lines of the same NRND chain are set to the high voltage VH of, for example, typically about 5V. The memory location to be read is in 5 marked by the upward pointing arrow. The bit line set to the write voltage when programming this memory location is set to a low potential, typically 0V, while the bit line at the other end of the NAND chain is set to a suitable drain voltage of, for example, typically 1.6V becomes.

Aufgrund der erzeugten Raumladungszone in der ausgewählten Speicherzelle auf der Seite der Drain-Spannung ist der Einfluss der nicht ausgewählten Speicherstelle dieser Speicherzelle ausreichend klein. Deswegen ist der Strom durch diese Speicherzelle im Wesentlichen durch die ausgewählte Speicherstelle festgelegt, die gelesen werden soll, und kann ausgewertet werden, um den programmierten Zustand dieser Speicherstelle zu überprüfen und damit das gespeicherte Daten-Bit zu lesen. Auf diese Weise können die beiden Speicherstellen der Charge-trapping-2-Bit-Speicherzellen bei der Leseoperation unterschieden werden.by virtue of the generated space charge zone in the selected memory cell on the Side of the drain voltage is the influence of the unselected memory location this memory cell is sufficiently small. That's why the electricity is through this memory cell essentially through the selected memory location which is to be read, and can be evaluated to check the programmed state of this memory location and to read the stored data bit. In this way, the both memory locations of the charge-trapping 2-bit memory cells be distinguished in the reading operation.

Die typischen Spannungen, die bei der Schreib- und der Leseoperation angelegt werden, sind zur Übersicht in der folgenden Tabelle nochmals angegeben.The typical voltages in the write and read operations are created, are to overview shown again in the following table.

Figure 00120001
Figure 00120001

Figure 00130001
Figure 00130001

6 zeigt den Schaltplan für eine andere Ausführungsform, in welcher die Abfolge der Anschlüsse der Wortleitungen nicht wie in der ersten Ausführungsform symmetrisch zu den Bitleitungen ist. Die Abfolge der Anschlüsse der Wortleitungen wird nach jedem Anschluss an eine Bitleitung wiederholt. Daher ist die Abfolge der Anschlüsse von einer Bitleitung zur nächsten periodisch. Die Betriebsmoden, die in Zusammenhang mit der ersten Ausführungsform beschrieben worden sind, werden in dieser zweiten Ausführungsform in entsprechender Weise angewendet. Die angelegten Spannungen können dieselben sein; nur die Position der Speicherzelle, in der eine Programmstörung auftreten würde, wenn keine Blockierspannung angelegt würde, ist eine andere. 6 shows the circuit diagram for another embodiment in which the sequence of the terminals of the word lines is not symmetrical to the bit lines as in the first embodiment. The sequence of the word line connections is repeated after each connection to a bit line. Therefore, the sequence of connections from one bit line to the next is periodic. The operation modes described in connection with the first embodiment are similarly applied in this second embodiment. The applied voltages can be the same; only the position of the memory cell in which a program disturbance would occur if no blocking voltage were applied is another.

7 zeigt den Schaltplan für eine andere Ausführungsform, in der die Abfolge der Anschlüsse der Wortleitungen nach jedem Anschluss an eine Bitleitung wiederholt wird. Diese Ausführungsform unterscheidet sich von der Ausführungsform gemäß 6, was aus der folgenden Beschreibung der Draufsichten auf beispielhafte Strukturen des Bauelementes deutlich wird. 7 shows the circuit diagram for another embodiment, in which the sequence of connections of the word lines is repeated after each connection to a bit line. This embodiment differs from the embodiment according to FIG 6 which will become apparent from the following description of the plan views of exemplary structures of the device.

8 ist eine Draufsicht auf eine Ausführungsform der Speichereinheit entsprechend dem Schaltplan von 3. Sie zeigt im Schema die Anordnung der NAND-Ketten, der Bitleitungen und der Wortleitungen. Die Speicherzellen sind in aktiven Bereichen AA des Substrates angeordnet, welche durch flache Grabenisolierungen STI getrennt sind. Die Grenzen der flachen Grabenisolierungen werden durch die parallelen gestrichelten Linien dargestellt, die eng nebeneinander verlaufen. Die Wortleitungen WL laufen entlang der Speicherzellenzeilen und bedecken im Wesentlichen die Kanalbereiche. Die Source/Drainbereiche sind auf beiden Seiten der Wortleitungen angeordnet, vorzugsweise selbstjustiert. Die Source/Drainbereiche, die die Source/Drainanschlüsse der Speicherzellen bilden, haben die Speicherzellen gemeinsam, die entlang der Spalten aufeinander folgen. Auf diese Weise sind die Speicherzellen in Reihe angeordnet, um die NAND-Ketten zwischen zwei aufeinander folgenden Bitleitungsanschlüssen BC zu bilden. Die Bitleitungen BL laufen entlang der Speicherzellenspalten und sind mit Abstand voneinander parallel als gerade Streifen angeordnet. Der Pitch p des Speicherzellenfeldes ist zwischen den entsprechenden Grenzen zweier benachbarter Bitleitungen angezeigt. 8th is a plan view of an embodiment of the memory unit according to the circuit diagram of 3 , It shows in the diagram the arrangement of the NAND chains, the bit lines and the word lines. The memory cells are arranged in active areas AA of the substrate, which are separated by shallow trench isolations STI. The boundaries of the shallow trench isolation are represented by the parallel dashed lines that run close together. The word lines WL run along the memory cell rows and substantially cover the channel regions. The source / drain regions are arranged on both sides of the word lines, preferably self-aligned. The source / drain regions that form the source / drain terminals of the memory cells share the memory cells that follow one another along the columns. In this way, the memory cells are arranged in series to form the NAND chains between two consecutive bit line terminals BC. The bit lines BL run along the memory cell columns and are spaced apart in parallel as straight strips. The pitch p of the memory cell array is indicated between the corresponding boundaries of two adjacent bitlines.

Die Bitleitungsanschlüsse BC sind in solcher Weise angeordnet, dass jede Bitleitung mit den Source/Drainanschlüssen verbunden ist, welche vier aneinander liegende Speicherzellen gemeinsam haben, die in einem Quadrat angeordnet sind. Entlang jeder der Spalten sind diejenigen Source/Drainanschlüsse, die mit Bitleitungen verbunden sind, abwechselnd mit den zwei benachbarten Bitleitungen verbunden. Jede NAND-Kette in dem in 8 gezeigten Beispiel umfasst vier Speicherzellen, und alle NAND-Ketten gehören denselben Zeilengruppen an, die in diesem Beispiel jeweils vier Zeilen und vier Wortleitungen umfassen. Die Enden der NAND-Ketten sind auch Enden derjenigen NAND-Ketten, die auf beiden Seiten in derselben Spalte folgen. Innerhalb derselben Zeilengruppe bilden die NAND-Ketten eine Folge von NAND-Ketten, die durch ihre gemeinsamen Source/Drainanschlüsse, die durch die Bitleitungen verbunden sind, in Reihe geschaltet sind. Dies ist in 8 durch die Schraffur einer Folge von NAND-Ketten auf der linken Seite hervorgehoben, was ebenso durch die Folge von Doppelpfeilen auf der rechten Seite dargestellt ist. Diese Folge von Doppelpfeilen entspricht der Anordnung von Speicherzellen, die in den 3 bis 5 auf einer horizontalen Geraden dargestellt sind.The bit line terminals BC are arranged in such a manner that each bit line is connected to the source / drain terminals which have four adjacent memory cells in common are arranged in a square. Along each of the columns, those source / drain terminals connected to bit lines are alternately connected to the two adjacent bit lines. Every NAND chain in the 8th The example shown comprises four memory cells, and all NAND strings belong to the same stanzas, which in this example each comprise four rows and four word lines. The ends of the NAND chains are also ends of those NAND chains that follow on both sides in the same column. Within the same stanza, the NAND chains form a sequence of NAND chains connected in series by their common source / drain terminals connected by the bitlines. This is in 8th highlighted by the hatching of a sequence of NAND chains on the left side, which is also represented by the sequence of double arrows on the right side. This sequence of double arrows corresponds to the arrangement of memory cells in the 3 to 5 are shown on a horizontal line.

9 ist eine Draufsicht gemäß 8 für eine Ausführungsform entsprechend dem Schaltplan von 6. Die Speicherzellenspalten sind in aktiven Bereichen AA in einem kleinen Winkel zu den geraden Bitleitungen BL angeordnet, die quer zu den Wortleitungen WL verlaufen. Von oben nach unten entlang einer Spalte in 9 verbinden die aufeinander folgenden Bitleitungsanschlüsse BC die Source/Drainanschlüsse der Auswahl, die zu der entsprechenden Spalte gehören, mit aufeinander folgenden (von links nach rechts in dem Beispiel der 9) Bitleitungen. 9 is a plan view according to 8th for an embodiment according to the circuit diagram of 6 , The memory cell columns are arranged in active areas AA at a small angle to the even bit lines BL, which extend transversely to the word lines WL. From top to bottom along a column in 9 The successive bit line terminals BC connect the source / drain terminals of the selection associated with the corresponding column with successive ones (from left to right in the example of FIGS 9 ) Bitlines.

10 ist eine Draufsicht gemäß 8 für eine Ausführungsform entsprechend dem Schaltplan von 7. In dieser Ausführungsform laufen die Bitleitungen BL in Zickzackform im Wesentlichen entlang der Spalten. Die Bitleitungsanschlüsse BC entlang einer jeweiligen Bitleitung sind abwechselnd mit den Source/Drainanschlüssen zweier nebeneinander liegender Speicherzellenspalten verbunden. Die Abfolge der NAND-Ketten, die in der 6 auf horizontalen Geraden dargestellt sind, ist wiederum durch die Schraffur hervorgehoben. Die Source/Drainanschlüsse an den Enden der NAND-Ketten dieser Abfolge der zweiten Ausführungsform fallen nicht zusammen, sind aber durch die Bitleitungen elektrisch verbunden. Das kann man an den Doppelpfeilen auf der rechten Seite sehen. Die Doppelpfeile zeigen die Abfolge von NAND-Zellen entlang der vertikalen Doppelpfeile, die durch Abschnitte der Bitleitungen, die durch die leicht geneigten Doppelpfeile hervorgehoben sind, verbunden sind. Der Pitch p des Speicherzellenfeldes und der Pitch p' der Bitleitungen sind in 10 eingezeichnet, ebenso wie die Längsabmessung L der NAND-Ketten entlang der Spalten, einschließlich Anteilen der Bitleitungskontakte auf den Source/Drainanschlüssen an den Enden der NRND-Ketten. 10 is a plan view according to 8th for an embodiment according to the circuit diagram of 7 , In this embodiment, the bit lines BL run in zigzag substantially along the columns. The bit line terminals BC along a respective bit line are alternately connected to the source / drain terminals of two adjacent memory cell columns. The sequence of NAND chains used in the 6 are shown on horizontal lines, again highlighted by the hatching. The source / drain terminals at the ends of the NAND chains of this sequence of the second embodiment do not coincide, but are electrically connected by the bit lines. This can be seen by the double arrows on the right side. The double arrows show the sequence of NAND cells along the vertical double arrows connected by portions of the bitlines highlighted by the slightly inclined double arrows. The pitch p of the memory cell array and the pitch p 'of the bit lines are in 10 as well as the longitudinal dimension L of the NAND chains along the columns, including portions of the bitline contacts on the source / drain terminals at the ends of the NRND chains.

Da p'/L und p'/p Sinus und Cosinus desselben Winkels sind, ist (p'/L)2 + (p'/p)2 = 1 oder (p·p')2 + (L·p')2 = (p·L)2, daraus folgt p = (L·p')/(L2 – p'2)1/2. Dieser Wert von p ist der Pitch des Speicherzellenfeldes für einen gegebenen Pitch p' der Bitleitungen, die vorzugsweise in einem minimalen Abstand angeordnet sind. In einem typischen Beispiel beträgt der minimale Bitleitungspitch p' = 120 nm und die Abmessung L = 110 nm + n·140 nm, unter der Annahme, dass die Abmessung der entsprechenden Kontaktbereiche 150 nm beträgt, die Breite jeder von n Wortleitungen 100 nm und jeder Zwischenraum zwischen Wortleitungen 40 nm. Für verschiedene Anzahlen n von Zellen, die in jeder NAND-Kette vorhanden sind, liefert die folgende Tabelle den Zellenpitch p und die zugehörige relative Zunahme (p – p')/p' der Fläche des Zellenfeldes.Since p '/ L and p' / p are sine and cosine of the same angle, (p '/ L) 2 + (p' / p) 2 = 1 or (p * p ') 2 + (L * p') 2 = (p * L) 2 , it follows that p = (L * p ') / (L 2 -p' 2 ) 1/2 . This value of p is the pitch of the memory cell array for a given pitch p 'of the bitlines, which are preferably located at a minimum distance. In a typical example, the minimum bit line pitch p '= 120 nm and the dimension L = 110 nm + n × 140 nm, assuming that the dimension of the respective contact areas is 150 nm, the width of each of n word lines is 100 nm and each Space between word lines 40 nm. For different numbers n of cells present in each NAND chain, the following table gives the cell pitch p and the relative increase (p - p ') / p' of the area of the cell field.

Figure 00170001
Figure 00170001

Diese Tabelle zeigt, dass n mindestens 3 sein sollte, um die Vergrößerung der Fläche des Feldes verglichen mit der ersten Ausführungsform mit geraden Bitleitungen unter 5 % zu halten.These Table shows that n should be at least 3 to increase the magnification area of the field compared to the first embodiment with even bitlines keep below 5%.

11 ist eine Draufsicht gemäß 8 für eine weitere Ausführungsform entsprechend dem Schaltbild von 7. In dieser Ausführungsform sind die aktiven Bereiche AA, in denen sich die Speicherzellenspalten befinden, in Zickzackform angeordnet, während die Bitleitungen gerade sind. Die relative Anordnung der aktiven Bereiche AA, der Bitleitungen BL und der Bitleitungsanschlüsse BC ist vergleichbar mit der Ausführungsform von 10. Es ist auch möglich, dass sowohl die aktiven Bereiche als auch die Bitleitungen von der strikt geraden Anordnung abweichen, um die erforderliche Fläche der Einheit weiter minimieren zu können, entsprechend dem minimalen Pitch, der durch die Verfahrenstechnik realisiert werden kann. 11 is a plan view according to 8th for a further embodiment according to the circuit diagram of 7 , In this embodiment, the active areas AA in which the memory cell columns are located are arranged in a zigzag form while the bit lines are straight. The relative arrangement of the active areas AA, the bit lines BL and the bit line terminals BC is comparable to the embodiment of FIG 10 , It is also possible that both the active areas and the bitlines deviate from the strictly straight array to further minimize the required area of the unit, corresponding to the minimum pitch that can be realized by the processing technique.

Die verschiedenen Widerstände der elektrischen Verbindungen zu den verschiedenen Speicherzellen führen zu einer größeren Schwankung der Schwellenspannungen der programmierten Speicherzellen. Dies kann entweder durch die Anzahl an Programmierimpulsen ausgeglichen werden, kombiniert mit einer Überprüfungsoperation, die aber zeitaufwendig ist, oder durch eine lokale Anpassung der Programmierbedingungen. Die letztere Möglichkeit wird detaillierter beschrieben. Dieses Verfahren passt die Spannungen während der Schreiboperation an die Position der programmierten Speicherzelle innerhalb der NAND-Kette an.The different resistances the electrical connections to the various memory cells lead to a larger fluctuation the threshold voltages of the programmed memory cells. This can be compensated either by the number of programming pulses, combined with a validation operation, which is time consuming, or by a local adaptation of Programming conditions. The latter possibility becomes more detailed described. This method adjusts the stresses during the Write operation to the position of the programmed memory cell within the NAND chain.

12 zeigt ein Schaltschema, das eine NAND-Kette zwischen den Anschlüssen A und B darstellt, die in 4 markiert sind. Die Speicherzellen sind in der Richtung von Anschluss B nach Anschluss A mit den Zahlen 0, 1, 2, ..., n-1, n nummeriert und sind durch ihre Widerstände R0, R1, R2, ..., Rn dargestellt. Wenn zum Beispiel die linke Speicherstelle der Speicherzelle Nummer k mit dem Widerstand Rk programmiert werden soll, muss die Schreibspannung Vw an den linken Source/Drainanschluss der k-ten Speicherzelle angelegt werden, der sich auf der Seite des Anschlusses A befindet, und ein gleitendes Potential muss an den rechten Source/Drainanschluss der k-ten Speicherzelle angelegt werden, der sich auf der Seite des Anschlusses B befindet. Das gleitende Potential an Anschluss B kann als 0 V angenommen werden, was die übliche Bitleitungsspannung ist, die an die Bitleitungen in den Zeiträumen zwischen den Schreib- und den Leseoperationen angelegt wird. 12 shows a circuit diagram illustrating a NAND chain between the terminals A and B, which in 4 are marked. The memory cells are numbered in the direction from terminal B to terminal A with the numbers 0, 1, 2, ..., n-1, n and are represented by their resistors R 0 , R 1 , R 2 , ..., R n shown. For example, when the left memory location of the memory cell number k is to be programmed with the resistor R k , the write voltage V w must be applied to the left source / drain terminal of the k th memory cell located on the terminal A side, and The sliding potential must be applied to the right source / drain terminal of the kth memory cell located on the terminal B side. The floating potential at terminal B can be assumed to be 0V, which is the usual bitline voltage applied to the bitlines in the periods between the write and read operations.

Da der Gateanschluss der k-ten Speicherzelle auf ein negatives Potential eingestellt ist, im Beispiel auf –7 V, weist diese Speicherzelle einen hohen Widerstand Rk = Rwrite auf. Die anderen Speicherzellen dieser NAND-Kette werden durch die hohe Spannung von typisch 5 V an ihren Gateanschlüssen offengeschaltet. Deswegen weisen alle anderen Widerstände R0, R1, R2, ..., Rk-1, Rk+1, ..., Rn niedrige Werte auf, von denen angenommen werden kann, dass sie alle denselben durchschnittlichen Wert haben, im Folgenden als Raverage bezeichnet. Die Reihe von Widerständen, die in 12 gezeigt sind, fungiert als Spannungsteilerschaltung zwischen den Anschlüssen A und B. Um die gewünschte Schreibspannung Vw an der festgelegten Position der zu programmierenden Speicherstelle zu haben, ist es erforderlich, eine größere Spannung clVw an Anschluss A anzulegen. Der Wert der Konstante c1 kann nach den bekannten Gesetzen elektrischer Schaltkreise berechnet werden.Since the gate of the k-th memory cell is set to a negative potential, in this example to -7 V, this memory cell has a high resistance R k = R write . The other memory cells of this NAND chain are turned on by their high voltage of typically 5V at their gate terminals. Therefore, all the other resistors R 0 , R 1 , R 2 , ..., R k-1 , R k + 1 , ..., R n have low values that can be assumed to all have the same average value have, hereinafter referred to as R average . The series of resistors in 12 In order to have the desired write voltage V w at the designated position of the memory location to be programmed, it is necessary to apply a larger voltage c l V w to terminal A. The value of the constant c 1 can be calculated according to the known laws of electrical circuits.

13 zeigt die Spiegel-NAND-Kette zwischen den in der 4 markierten Anschlüssen A und C. Die Spiegel-Speicherzellen sind in der Richtung von Anschluss C nach Anschluss A mit den Zahlen 0, 1, 2, ..., n-1, n nummeriert und sind durch ihre Widerstände R'0, R'1, R'2, ..., R'n dargestellt. Die Blockierspannung Vi muss an die linke Seite der k-ten Spiegel-Speicherzelle angelegt werden, welche im Schaltschema von 13 durch ihren Widerstand R'k = Rinhibit dargestellt ist. Die Widerstände R'0, R'1, R'2, ..., R'k-1, R'k+1, ..., R'n der anderen Speicherzellen können als Raverage angenommen werden. Die Konstante c2 kann in der an sich bekannten Weise berechnet werden, um die Spannung herauszufinden, die an den Anschluss C angelegt werden muss, wenn die Spannung clVw an den Anschluss A angelegt wird und die k-te Speicherzelle der Spiegel-NAND-Kette auf die Blockierspannung Vi eingestellt werden muss. 13 shows the mirror NAND chain between those in the 4 marked terminals A and C. The mirror memory cells are numbered in the direction from terminal C to terminal A with the numbers 0, 1, 2, ..., n-1, n and are represented by their resistors R ' 0 , R' 1 , R ' 2 , ..., R' n shown. The blocking voltage V i must be applied to the left side of the k th mirror memory cell, which in the circuit diagram of 13 is represented by its resistance R ' k = R inhibit . The resistors R '0, R' 1, R '2, ..., R' k-1, R 'k + 1, ..., R' n of the other memory cells may average as R are accepted. The constant c 2 can be calculated in the manner known per se in order to find out the voltage which has to be applied to the terminal C when the voltage c l V w is applied to the terminal A and the k th memory cell of the mirror NAND chain to the blocking voltage V i must be set.

Die Berechnung verläuft wie folgt. Wenn Ri den Widerstand der Speicherzelle Nr. i bezeichnet, gezählt von Anschluss B nach Anschluss A, i ganzzahlig und 0 ≤ i ≤ n, und R'i den Widerstand der Spiegel-Speicherzelle Nr. i auf der gegenüberliegenden Seite des Anschlusses A bezeichnet, gezählt in entgegengesetzter Richtung von Anschluss C nach Anschluss A, sei R = R0 + Ri + R2 +...+ Rk +...+ Rn-2 + Rn-1 + Rn, Ri;j = Ri + Ri+1 +Ri+2 +... + Rj-2 + Rj-1 + Rj, R' = R'0 + R'1 + R'2 +...+ R'k +...+ R'n-2 + R'n-1 + R'n,und R'i;j = R'i + R'i+1 + R'i+2 +...+ R'j-2 + R'j-1 + R'j,wobei i und j ganze Zahlen sind und 0 ≤ i ≤ j ≤ n.The calculation is as follows. When R i denotes the resistance of the memory cell No. i, counted from terminal B to terminal A, i is integer and 0 ≦ i ≦ n, and R ' i denotes the resistance of the mirror memory cell No. i on the opposite side of the terminal A. counted in the opposite direction from port C to port A is R = R 0 + R i + R 2 + ... + R k + ... + R n-2 + R n-1 + R n . R i; j = R i + R i + 1 + R i + 2 + ... + R j-2 + R j-1 + R j . R '= R' 0 + R ' 1 + R ' 2 + ... + R ' k + ... + R ' n-2 + R ' n-1 + R ' n . and R ' i; j = R ' i + R ' i + 1 + R ' i + 2 + ... + R ' j-2 + R ' j-1 + R ' j . where i and j are integers and 0 ≤ i ≤ j ≤ n.

Wenn Zelle Nr. k, 0 ≤ k ≤ n, programmiert werden soll und Vw die Schreibspannung und Vi die Blockierspannung bezeichnet, gilt c1 = R/Ro;k und c2 = (R' – c0·R'0;k-1)/R'k;n mit c0 = C1·Vw/Vi Mit der Bezeichnungsweise Rk = Rwrite, R'k = Rinhibit und der Annahme Ri = R'i = Raverage für i ≠ k, c1 = Rwrite + n·Raverage)/Rwrite + k·Raverage) und c2 = (Rinhibit + (n – c0·k)·Raverage)/(Rinhibit + (n – k)·Raverage)Diese Multi-Bit-Speichereinheit ermöglicht eine Anordnung von Charge-trapping-Flash-Memory-Zellen in einem Virtual-Ground-NAND-Feld in verschiedenen Speicherarchitekturen. Ein bevorzugter Betriebsmodus ist an die Struktur und das Layout der Anordnung angepasst. Aus diesen Eigenschaften ergeben sich die folgenden Vorteile: die Kombination aus Charge-trapping-Flash-Memory-Zellen in einem Virtual-Ground-NAND-Feld ermöglicht eine extrem hohe Speicherdichte; wegen der positiven Schwellenspannungen ist kein Auswahltransistor innerhalb der NAND-Ketten erforderlich, im Gegensatz zu herkömmlichen NAND-Feldern; und der geringe Energieverbrauch aufgrund eines Betriebsmodus auf der Basis der Injektion heißer Löcher ermöglicht die Anwendung dieser Speichereinheit als Datenspeicher.When cell No. k, 0 ≦ k ≦ n, is to be programmed, and V w denotes the writing voltage and V i denotes the blocking voltage, c 1 = R / R o, k and c 2 = (R'-c 0 × R '0; k-1 ) / R 'k; n with c 0 = C 1 · V w / V i With the notation R k = R write , R' k = R inhibit and the assumption R i = R ' i = R average for i ≠ k, c 1 = R write + n · R average ) / R write + k · R average ) and c 2 = (R inhibit + (n - c 0 · K) · R average ) / (R inhibit + (n - k) · R average ) This multi-bit storage device allows for an arrangement of charge-trapping flash memory cells in a virtual ground NAND field in various memory architectures. A preferred mode of operation is adapted to the structure and layout of the device. These features provide the following advantages: the combination of charge-trapping flash memory cells in a virtual-ground NAND field allows for extremely high storage density; because of the positive threshold voltages, no selection transistor is required within the NAND chains, unlike conventional NAND fields; and the low power consumption due to a hot hole injection mode of operation allows the use of this memory unit as a data memory.

AA
Anschluss von BLm Connection of BL m
AAAA
aktiver Bereichactive Area
BB
Anschluss von BLm+1 Connection of BL m + 1
BCBC
HitleitungsanschlussHitleitungsanschluss
BLBL
Bitleitungbit
CC
Anschluss von BLm-1 Connection of BL m-1
LL
Abmessungdimension
MCMC
Speicherzellememory cell
pp
SpeicherzellenpitchMemory cells Pitch
p'p '
BitleitungspitchBitleitungspitch
RR
Widerstandresistance
R'R '
Widerstandresistance
SSSS
Speicherstellememory location
STST
Auswahltransistorselection transistor
STISTI
flache Grabenisolierungarea grave insulation
Vi V i
Blockierspannungblocking voltage
Vw V w
Schreibspannungwrite voltage
WLWL
Wortleitungwordline

Claims (8)

Multi-Bit-Virtual-Ground-NAND-Speichereinheit mit einem Feld von Speicherzellen (MC), die in Zeilen und Spalten angeordnet sind, wobei die Zeilen in Gruppen unterteilt sind, jede der Speicherzellen einen Gateanschluss, zwei Source/Drainanschlüsse und zwei getrennte Speicherstellen (SS) aufweist, eine der Speicherstellen benachbart zu einem Source/Drainanschluss ist und die andere Speicherstelle benachbart zu dem anderen Source/Drainanschluss ist, die Speicherzellen der Spalten über die Source/Drainanschlüsse in Reihe geschaltet sind, Bitleitungen (BL) im Abstand voneinander entlang der Spalten parallel zueinander angeordnet sind, entlang jeder Spalte die Source/Drainanschlüsse, die zwei Speicherzellen zweier nebeneinander liegender Gruppen von Zeilen gemeinsam sind, abwechselnd mit einer der Bitleitungen und einer dazu benachbarten Bitleitung verbunden sind und so NAND-Ketten von Speicherzellen derselben Spalte und derselben Gruppe von Zeilen gebildet sind, und jeweils eine Wortleitung die Gateanschlüsse der Speicherzellen einer Zeile miteinander verbindet.Multi-bit virtual ground NAND memory unit with a field of memory cells (MC), in rows and columns are arranged, wherein the rows are divided into groups, each the memory cells have a gate terminal, two source / drain terminals and has two separate memory locations (SS), one of the storage locations is adjacent to a source / drain terminal and the other memory location is adjacent to the other source / drain terminal, the memory cells the columns over the source / drain connections are connected in series, Bit lines (BL) at a distance from each other along the columns are arranged parallel to each other, along each Column the source / drain terminals, the two Memory cells of two adjacent groups of lines are common, alternating with one of the bit lines and a bit line adjacent thereto, and thus NAND chains memory cells of the same column and the same group of rows are formed, and one word line the gate terminals of the Memory cells of a row interconnects. Multi-Bit-Virtual-Ground-NAND-Speichereinheit nach Anspruch 1, bei der jede Bitleitung mit Source/Drainanschlüssen verbunden ist, die vier zueinander benachbarten Speicherzellen gemeinsam sind, die zu zwei Zeilen und zwei Spalten gehören.Multi-bit virtual ground NAND storage device after Claim 1, wherein each bit line is connected to source / drain terminals is common to four memory cells adjacent to each other, which belong to two rows and two columns. Multi-Bit-Virtual-Ground-NAND-Speichereinheit nach Anspruch 1, bei der aktive Bereiche (AA) in Zickzackform vorhanden sind, die Spalten von Speicherzellen in den aktiven Bereichen angeordnet sind und jede Bitleitung abwechselnd mit Source/Drainanschlüssen von Speicherzellen aus einer von zwei zueinander benachbarten Spalten verbunden ist.Multi-bit virtual ground NAND storage device after Claim 1, wherein Active areas (AA) in zigzag form available are arranged, the columns of memory cells in the active areas are and each bit line alternating with source / drain terminals of Memory cells from one of two adjacent columns connected is. Multi-Bit-Virtual-Ground-NAND-Speichereinheit nach Anspruch 1, bei der die Bitleitungen entlang der Spalten in Zickzackform angeordnet sind und jede Bitleitung abwechselnd mit Source/Drainanschlüssen von Speicherzellen aus einer von zwei zueinander benachbarten Spalten verbunden ist.Multi-bit virtual ground NAND storage device after Claim 1, wherein the bitlines along the columns in Zigzag shape are arranged and each bit line alternately with source / drain connections of memory cells from one of two adjacent columns connected is. Multi-Bit-Virtual-Ground-NAND-Speichereinheit mit einem Feld von Speicherzellen (MC), die in Zeilen und Spalten angeordnet sind, wobei die Zeilen in Gruppen unterteilt sind, jede der Speicherzellen einen Gateanschluss, zwei Source/Drainanschlüsse und zwei getrennte Speicherstellen (SS) aufweist, eine der Speicherstellen benachbart zu einem Source/Drainanschluss ist und die andere Speicherstelle benachbart zu dem anderen Source/Drainanschluss ist, die Speicherzellen der Spalten über die Source/Drainanschlüsse in Reihe geschaltet sind, Bitleitungen (BL) im Abstand voneinander in einem Winkel zu den Spalten parallel zueinander angeordnet sind, entlang jeder Spalte die Source/Drainanschlüsse, die zwei Speicherzellen zweier nebeneinander liegender Gruppen von Zeilen gemeinsam sind, nacheinander mit in Richtung der Zeilen jeweils aufeinander folgenden Bitleitungen verbunden sind und so NAND-Ketten von Speicherzellen derselben Spalte und derselben Gruppe von Zeilen gebildet sind, und jeweils eine Wortleitung die Gateanschlüsse der Speicherzellen einer Zeile miteinander verbindet.Multi-bit virtual ground NAND storage unit with a field of memory cells (MC) arranged in rows and columns are, where the rows are divided into groups, each the memory cells have a gate terminal, two source / drain terminals and has two separate memory locations (SS), one of the storage locations is adjacent to a source / drain terminal and the other memory location is adjacent to the other source / drain terminal, the memory cells the columns over the source / drain connections are connected in series, Bit lines (BL) at a distance from each other arranged at an angle to the columns parallel to each other, along each column the source / drain terminals, the two memory cells two adjacent groups of rows are common, successively with in the direction of each row successive Bit lines are connected and so NAND chains of memory cells the same column and the same group of lines, and one word line each, the gate terminals of the memory cells of one row connects with each other. Multi-Bit-Virtual-Ground-NAND-Speichereinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei der jede der Gruppen von Zeilen dieselbe Anzahl an Zeilen umfasst.Multi-bit virtual ground NAND storage device after one of the claims 1 to 5, in which each of the groups of rows is the same number Includes lines. Multi-Bit-Virtual-Ground-NAND-Speichereinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei der ein elektronischer Schaltkreis vorhanden ist, der dafür vorgesehen ist, Spannungen an den Gateanschluss und die Source/Drainanschlüsse der Speicherzellen bei Lese-, Schreib- und Löschoperationen anzulegen, und der elektronische Schaltkreis Mittel zum Anlegen einer Schreibspannung an jede beliebige der Bitleitungen und einer Blockierspannung an eine jeweils dazu benachbarte Bitleitung aufweist, wobei die Blockierspannung geeignet ist, eine Schreiboperation an den Speicherzellen zu verhindern, die zu NAND-Ketten gehören, die mit der benachbarten Bitleitung verbunden sind.A multi-bit virtual ground NAND memory device according to any one of claims 1 to 5, wherein there is provided an electronic circuit which is adapted to supply voltages to the gate terminal and the source / drain terminals of the memory cells to apply during read, write and erase operations, and the electronic circuit comprises means for applying a write voltage to any of the bit lines and a blocking voltage to a respectively adjacent bit line, wherein the blocking voltage is suitable to a write operation to prevent the memory cells belonging to NAND chains connected to the adjacent bit line. Multi-Bit-Virtual-Ground-NAND-Speichereinheit nach Anspruch 7, bei der Auswahltransistoren als Schalter in jeder Bitleitung vorgesehen sind, zwei globale Bitleitungen vorhanden sind, jede zweite Bitleitung in Folge über die Auswahltransistoren mit der ersten globalen Bitleitung verbunden ist und die anderen Bitleitungen über die Auswahltransistoren mit der zweiten globalen Bitleitung verbunden sind.Multi-bit virtual ground NAND storage device after Claim 7, wherein Selection transistors as switches in each Bit line are provided two global bitlines available are, every other bitline in sequence across the selection transistors connected to the first global bitline and the others Over bit lines the selection transistors are connected to the second global bit line are.
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