DE102005024210B3 - Metal organic substance accommodating safety tank, has valve block fixed with lid by fixing screws which are inserted through holes of respective connecting plates and running bore holes of block - Google Patents
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Abstract
Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen Sicherheitsbehälter, insbesondere zum Transport, Lagerung und Abgabe von metallorganischen Substanzen nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.The The invention relates to a security container, in particular for transport, Storage and release of organometallic substances according to the preamble of claim 1
Metallorganische Substanzen, die zum Beispiel zum Dotieren von Halbleitern dienen, sind hoch reaktiv, zumeist aggressiv und auch giftig. Darüber hinaus sind sie empfindlich gegen Verunreinigung und können daher rasch unbrauchbar werden. Für den Transport, die Lagerung und den Einsatz ist daher erforderlich, derartige Substanzen in geeigneten Behältern so unterzubringen, dass sie nicht ungewollt nach außen treten und umgekehrt keine Verunreinigung erleiden.Organometallic Substances that serve for example for doping semiconductors, are highly reactive, mostly aggressive and also toxic. Furthermore they are sensitive to contamination and can therefore quickly become unusable become. For the Transport, storage and use is therefore necessary to place such substances in suitable containers so that Do not unintentionally go outside and vice versa do not suffer contamination.
Das Material derartiger Behälter besteht üblicherweise aus einer hochwertigen Stahllegierung, und das Innere des Behälters ist oberflächenbearbeitet, so dass ein reaktiver Austausch mit dem aufgenommenen Medium nicht eintritt. Beim Einsatz wird eine aufgenommene Substanz entweder dadurch aus dem Behälter abgegeben, dass über einen Leitungsanschluß ein Gasdruck erzeugt wird, der die Substanz über einen zweiten Leitungsabschnitt austreibt oder reaktives Gas über einen Leitungsabschnitt oder ein Tauchrohr in den Behälter eingeleitet wird, wonach dann die gasförmige Verbindung über den anderen Leitungsabschnitt austritt und zur Anwendung gebracht werden kann. Für den beschriebenen Betrieb sind Ventile zu betätigen. Es ist bekannt, Ventile in den Leitungsabschnitten anzuordnen. Die Leitungsabschnitte, das heißt die Verbindungsleitung zwischen dem Behälter und den Ventilen stellt ein Risiko dar, da sie durch Fehlbehandlungen oder Transporteinflüsse verbogen werden können. Kommt es dabei zu Rissen, besteht keine Absperrmöglichkeit mehr und der toxische Inhalt gelangt in die Atmosphäre.The Material of such containers usually exists made of a high quality steel alloy, and the inside of the container is machined surface, so that a reactive exchange with the recorded medium is not entry. When used, a consumed substance either thereby out of the container delivered that over a line connection Gas pressure is generated, which is the substance via a second line section expels or reactive gas over introducing a conduit section or dip tube into the vessel, then the gaseous Connection over the other line section emerges and be applied can. For the described operation valves are to be operated. It is known valves to arrange in the line sections. The pipe sections, the is called put the connecting line between the tank and the valves a risk because they are distorted by mistreatment or transport can be. If it comes to cracks, there is no more shut-off and the toxic Content gets into the atmosphere.
Aus
Aus
Aus US 2003/0094205 A1 ist ein Sicherheitsbehälter bekannt geworden mit einer oberen Öffnung im Behälter, die ein Innengewinde aufweist zur Aufnahme eines Anschlusses mit Außengewinde, der dichtend auf den Behälter aufgeschraubt wird. Der mit dem Behälter verschraubte Ansatz enthält eine Platte mit einem Durchgang eines Mediums, das in den Behälter eingeführt bzw. aus diesem entnommen wird. Eine Platte enthält Durchgänge, die mit einem entfernbaren Anschlußteil ausrichtbar sind, an dem Leitungen zum Einfüllen bzw. zur Abgabe eines Mediums angebracht sind.Out US 2003/0094205 A1 discloses a security container has become known with a upper opening in Container, which has an internal thread for receiving a connection with External thread, the sealing on the container is screwed on. The bolted to the container approach contains a plate with a passage of a medium introduced into the container or is taken from this. A plate contains passages that come with a removable one connector are aligned, on the lines for filling or for delivering a Medium are attached.
Weitere
vergleichbare Sicherheitsbehälter sind
in folgenden Druckschriften beschrieben:
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Sicherheitsbehälter, insbesondere zum Transport, zur Lagerung und zur Abgabe von metallorganischen Substanzen, zu schaffen, der ohne großen Aufwand an unterschiedliche Abgabebedingungen angepaßt werden kann.Of the Invention is based on the object, a security container, in particular for transport, storage and disposal of organometallic substances Substances, to create, with little effort to different Adjusted delivery conditions can be.
Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst.These The object is solved by the features of claim 1.
Bei der Erfindung weist der Deckel mindestens drei achsparallele Sackgewindebohrungen auf. Der Ventilblock hat eine obere und eine untere ebene Fläche und ist mit Durchgangsbohrungen versehen, die mit den Sackgewindebohrungen ausgerichtet werden können. Ferner ist eine Verbindungsplatte vorgesehen, mit der die Leitungsabschnitte verschweißt sind. Die Verbindungsplatte weist mit Durchgangsbohrungen ausrichtbare Löcher auf. Die Verbindungsplatte kann mit Hilfe von Spannschrauben, die sich durch die Löcher und die Durchgangsbohrungen des Ventilblocks hindurch erstrecken, fest mit dem Deckel verspannt werden. Dabei wird zugleich der Ventilblock am Deckel verspannt. Die zueinander ausrichtbaren Durchflußöffnungen von Verbindungsplatte, Ventilblock und Deckel werden jeweils mit Hilfe geeigneter Dichtringe so abgedichtet, dass eine ausreichende Abdichtung nach außen geschaffen ist. Hierfür werden nach einer Ausgestaltung der Erfindung Dichtkanten aufweisende Dichtringe vorgesehen, die aus sehr hartem Material geformt sind. Sie graben sich in die zugeordneten Flächen ein, wenn die Teile mittels der Spannschrauben fest gegeneinander verspannt werden.at According to the invention, the lid has at least three axially parallel blind threaded bores on. The valve block has an upper and a lower flat surface and is provided with through holes, with the blind tapped holes can be aligned. Further, a connection plate is provided, with which the line sections welded are. The connecting plate has alignable with through holes holes on. The connection plate can with the help of clamping screws, the through the holes and extending through the through holes of the valve block, firmly clamped to the lid. At the same time the valve block becomes clamped on the lid. The mutually alignable flow openings of connecting plate, valve block and cover are each with Using suitable sealing rings so sealed that sufficient Sealing to the outside is created. Therefor Be after one embodiment of the invention sealing edges having Provided sealing rings, which are formed of very hard material. They dig into the assigned areas, if the parts by means of the clamping screws are firmly clamped against each other.
Bei dem erfindungsgemäßen Sicherheitsbehälter wird der Vorteil erhalten, dass die Leitungsabschnitte mit der Verbindungsplatte dicht und fest verbunden sind. Bei unterschiedlichen Einsatz- bezw. Anschlußbedingungen braucht lediglich eine unterschiedliche Ausbildung der Leitungsabschnitte vorgesehen zu werden. Es ist daher eine Vielzahl von Verbindungs-platten mit entsprechend unterschiedlich ausgebildeten Leitungsabschnitten ausführbar, so dass eine gute Anpassung an die jeweiligen Einsatzbedingungen erzielt werden kann. Droht ein Bruch oder eine Beschädigung eines Leitungsab schnitts dergestalt, dass die Dichtigkeit nicht mehr gewährleistet ist, braucht lediglich die Verbindungsplatte mit den Leitungsabschnitten ausgetauscht zu werden.at the security container according to the invention is obtained the advantage that the line sections with the connection plate are tight and firmly connected. For different Einsatzbezw. connection conditions only needs a different design of the line sections to be provided. It is therefore a variety of connection plates with correspondingly different trained line sections executable, so that achieves a good adaptation to the respective conditions of use can be. Threatens to break or damage a Leitungsab section In such a way that the tightness is no longer guaranteed, all you need is the connection plate to be replaced with the line sections.
Nach einer Ausgestaltung der Erfindung weist der Deckel an der Oberseite einen Sockel auf, in dem die Gewindebohrungen und die Deckelöffnungen geformt sind. Der Sockel hat eine obere ebene Fläche, die mit der unteren ebenen Fläche des Ventilblocks zusammenwirkt, wobei vorzugsweise der Umriss von Sockel und Ventilblock identisch ist. Auch Verbindungsplatte und obere Fläche des Ventilblocks weisen einen gleichen Umriss auf, so dass keine freiliegenden Kanten entstehen, wenn die Teile miteinander verbunden sind.To an embodiment of the invention, the lid on the top a pedestal in which the threaded holes and the lid openings are shaped. The base has an upper flat surface, which is level with the lower one area the valve block cooperates, preferably the outline of Base and valve block is identical. Also connection plate and upper surface of the valve block have a same outline, so that no exposed edges arise when the parts are joined together are.
Der Sockel, der einen deutlich geringeren Umfang als der Behälter hat, ist zum Beispiel in der Mitte des Deckels ausgebildet, so dass ausreichend Platz bleibt, und um die Handhabe für die Ventilglieder problemlos zu betätigen.Of the Socket, which has a much smaller circumference than the container, is designed, for example, in the middle of the lid, leaving enough space remains, and the handle for easy to operate the valve members.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachfolgend anhand von Zeichnungen näher erläutert.One embodiment The invention will be explained in more detail with reference to drawings.
In
den
Der
Deckel
Bei
Oberhalb
des Ventilblocks
Die
Verbindungsplatte
Die
Montage der in
Wird
bei geöffneten
Ventilen im Ventilblock
Bei
geschlossenen Ventilen und Betätigung eines
Spülventils über die
Handhabe
In
In
den
Aus
den
Claims (8)
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8100 | Publication of the examined application without publication of unexamined application | ||
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R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |
Effective date: 20111201 |