DE102005024210B3 - Metal organic substance accommodating safety tank, has valve block fixed with lid by fixing screws which are inserted through holes of respective connecting plates and running bore holes of block - Google Patents

Metal organic substance accommodating safety tank, has valve block fixed with lid by fixing screws which are inserted through holes of respective connecting plates and running bore holes of block Download PDF

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Abstract

The tank has a lid (18) with threaded blind boreholes that are axially parallel to one another. A valve block (30) has through-running bore holes aligned along with the blind bore holes. Conducting sections are welded with connecting plates having respective holes (52) that are aligned with the running bore holes. The block is fixed with the lid by fixing screws which are inserted through the holes (52) and the running bore holes. The space between the holes in the connecting plate and the valve block, and holes in the valve block and in the lid are sealed from outer atmosphere by gaskets. The lid has a socket with an upper planar area.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Sicherheitsbehälter, insbesondere zum Transport, Lagerung und Abgabe von metallorganischen Substanzen nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.The The invention relates to a security container, in particular for transport, Storage and release of organometallic substances according to the preamble of claim 1

Metallorganische Substanzen, die zum Beispiel zum Dotieren von Halbleitern dienen, sind hoch reaktiv, zumeist aggressiv und auch giftig. Darüber hinaus sind sie empfindlich gegen Verunreinigung und können daher rasch unbrauchbar werden. Für den Transport, die Lagerung und den Einsatz ist daher erforderlich, derartige Substanzen in geeigneten Behältern so unterzubringen, dass sie nicht ungewollt nach außen treten und umgekehrt keine Verunreinigung erleiden.Organometallic Substances that serve for example for doping semiconductors, are highly reactive, mostly aggressive and also toxic. Furthermore they are sensitive to contamination and can therefore quickly become unusable become. For the Transport, storage and use is therefore necessary to place such substances in suitable containers so that Do not unintentionally go outside and vice versa do not suffer contamination.

Das Material derartiger Behälter besteht üblicherweise aus einer hochwertigen Stahllegierung, und das Innere des Behälters ist oberflächenbearbeitet, so dass ein reaktiver Austausch mit dem aufgenommenen Medium nicht eintritt. Beim Einsatz wird eine aufgenommene Substanz entweder dadurch aus dem Behälter abgegeben, dass über einen Leitungsanschluß ein Gasdruck erzeugt wird, der die Substanz über einen zweiten Leitungsabschnitt austreibt oder reaktives Gas über einen Leitungsabschnitt oder ein Tauchrohr in den Behälter eingeleitet wird, wonach dann die gasförmige Verbindung über den anderen Leitungsabschnitt austritt und zur Anwendung gebracht werden kann. Für den beschriebenen Betrieb sind Ventile zu betätigen. Es ist bekannt, Ventile in den Leitungsabschnitten anzuordnen. Die Leitungsabschnitte, das heißt die Verbindungsleitung zwischen dem Behälter und den Ventilen stellt ein Risiko dar, da sie durch Fehlbehandlungen oder Transporteinflüsse verbogen werden können. Kommt es dabei zu Rissen, besteht keine Absperrmöglichkeit mehr und der toxische Inhalt gelangt in die Atmosphäre.The Material of such containers usually exists made of a high quality steel alloy, and the inside of the container is machined surface, so that a reactive exchange with the recorded medium is not entry. When used, a consumed substance either thereby out of the container delivered that over a line connection Gas pressure is generated, which is the substance via a second line section expels or reactive gas over introducing a conduit section or dip tube into the vessel, then the gaseous Connection over the other line section emerges and be applied can. For the described operation valves are to be operated. It is known valves to arrange in the line sections. The pipe sections, the is called put the connecting line between the tank and the valves a risk because they are distorted by mistreatment or transport can be. If it comes to cracks, there is no more shut-off and the toxic Content gets into the atmosphere.

Aus DE 3 544 260 A1 ist ein Sicherheitsbehälter bekannt geworden, bei dem ein Deckel an der Oberseite eines Behälters angeflanscht ist. Ein Ventilblock ist seinerseits auf der Oberseite des Deckels angeflanscht, wobei Leitungsabschnitte im Ventilblock mit Öffnungen im Deckel ausgerichtet sind. In den Leitungsabschnitten sind Ventilglieder ange ordnet, die über entsprechende Handhaben auf der Außenseite des Ventilblocks betätigbar sind.Out DE 3 544 260 A1 a safety container has become known in which a lid is flanged to the top of a container. A valve block is in turn flanged to the top of the lid, wherein line sections in the valve block are aligned with openings in the lid. In the line sections valve members are arranged, which can be actuated via corresponding handles on the outside of the valve block.

Aus DE 102 00 786 B1 ist ein Sicherheitsbehälter der eingangs genannten Art bekannt geworden, bei dem der Deckel einen eine Aussparung bildenden Absatz aufweist, auf dem der Ventilblock angeordnet ist, wobei die Deckelöffnungen in der aufrechten Fläche des Absatzes angeordnet sind und der Ventilblock mit Hilfe mindestens einer Spannschraube, die quer zur Achse des Behälters durch den vollen Abschnitt des Deckels geführt ist, gegen die aufrechte Fläche gespannt wird.Out DE 102 00 786 B1 a safety container of the aforementioned type has become known in which the lid has a recess forming a recess on which the valve block is arranged, wherein the lid openings are arranged in the upright surface of the shoulder and the valve block by means of at least one clamping screw, the transversely is guided to the axis of the container through the full portion of the lid, is stretched against the upright surface.

Aus US 2003/0094205 A1 ist ein Sicherheitsbehälter bekannt geworden mit einer oberen Öffnung im Behälter, die ein Innengewinde aufweist zur Aufnahme eines Anschlusses mit Außengewinde, der dichtend auf den Behälter aufgeschraubt wird. Der mit dem Behälter verschraubte Ansatz enthält eine Platte mit einem Durchgang eines Mediums, das in den Behälter eingeführt bzw. aus diesem entnommen wird. Eine Platte enthält Durchgänge, die mit einem entfernbaren Anschlußteil ausrichtbar sind, an dem Leitungen zum Einfüllen bzw. zur Abgabe eines Mediums angebracht sind.Out US 2003/0094205 A1 discloses a security container has become known with a upper opening in Container, which has an internal thread for receiving a connection with External thread, the sealing on the container is screwed on. The bolted to the container approach contains a plate with a passage of a medium introduced into the container or is taken from this. A plate contains passages that come with a removable one connector are aligned, on the lines for filling or for delivering a Medium are attached.

Weitere vergleichbare Sicherheitsbehälter sind in folgenden Druckschriften beschrieben: US 5,199,603 A , US 4,738,356 , US 5,152,437 A oder US 5,356,045 A Schließlich ist noch die EP 0 600 503 A1 zu nennen.Further comparable containment containers are described in the following publications: US 5,199,603 A . US 4,738,356 . US 5,152,437 A or US 5,356,045 A Finally, that is still EP 0 600 503 A1 to call.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Sicherheitsbehälter, insbesondere zum Transport, zur Lagerung und zur Abgabe von metallorganischen Substanzen, zu schaffen, der ohne großen Aufwand an unterschiedliche Abgabebedingungen angepaßt werden kann.Of the Invention is based on the object, a security container, in particular for transport, storage and disposal of organometallic substances Substances, to create, with little effort to different Adjusted delivery conditions can be.

Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst.These The object is solved by the features of claim 1.

Bei der Erfindung weist der Deckel mindestens drei achsparallele Sackgewindebohrungen auf. Der Ventilblock hat eine obere und eine untere ebene Fläche und ist mit Durchgangsbohrungen versehen, die mit den Sackgewindebohrungen ausgerichtet werden können. Ferner ist eine Verbindungsplatte vorgesehen, mit der die Leitungsabschnitte verschweißt sind. Die Verbindungsplatte weist mit Durchgangsbohrungen ausrichtbare Löcher auf. Die Verbindungsplatte kann mit Hilfe von Spannschrauben, die sich durch die Löcher und die Durchgangsbohrungen des Ventilblocks hindurch erstrecken, fest mit dem Deckel verspannt werden. Dabei wird zugleich der Ventilblock am Deckel verspannt. Die zueinander ausrichtbaren Durchflußöffnungen von Verbindungsplatte, Ventilblock und Deckel werden jeweils mit Hilfe geeigneter Dichtringe so abgedichtet, dass eine ausreichende Abdichtung nach außen geschaffen ist. Hierfür werden nach einer Ausgestaltung der Erfindung Dichtkanten aufweisende Dichtringe vorgesehen, die aus sehr hartem Material geformt sind. Sie graben sich in die zugeordneten Flächen ein, wenn die Teile mittels der Spannschrauben fest gegeneinander verspannt werden.at According to the invention, the lid has at least three axially parallel blind threaded bores on. The valve block has an upper and a lower flat surface and is provided with through holes, with the blind tapped holes can be aligned. Further, a connection plate is provided, with which the line sections welded are. The connecting plate has alignable with through holes holes on. The connection plate can with the help of clamping screws, the through the holes and extending through the through holes of the valve block, firmly clamped to the lid. At the same time the valve block becomes clamped on the lid. The mutually alignable flow openings of connecting plate, valve block and cover are each with Using suitable sealing rings so sealed that sufficient Sealing to the outside is created. Therefor Be after one embodiment of the invention sealing edges having Provided sealing rings, which are formed of very hard material. They dig into the assigned areas, if the parts by means of the clamping screws are firmly clamped against each other.

Bei dem erfindungsgemäßen Sicherheitsbehälter wird der Vorteil erhalten, dass die Leitungsabschnitte mit der Verbindungsplatte dicht und fest verbunden sind. Bei unterschiedlichen Einsatz- bezw. Anschlußbedingungen braucht lediglich eine unterschiedliche Ausbildung der Leitungsabschnitte vorgesehen zu werden. Es ist daher eine Vielzahl von Verbindungs-platten mit entsprechend unterschiedlich ausgebildeten Leitungsabschnitten ausführbar, so dass eine gute Anpassung an die jeweiligen Einsatzbedingungen erzielt werden kann. Droht ein Bruch oder eine Beschädigung eines Leitungsab schnitts dergestalt, dass die Dichtigkeit nicht mehr gewährleistet ist, braucht lediglich die Verbindungsplatte mit den Leitungsabschnitten ausgetauscht zu werden.at the security container according to the invention is obtained the advantage that the line sections with the connection plate are tight and firmly connected. For different Einsatzbezw. connection conditions only needs a different design of the line sections to be provided. It is therefore a variety of connection plates with correspondingly different trained line sections executable, so that achieves a good adaptation to the respective conditions of use can be. Threatens to break or damage a Leitungsab section In such a way that the tightness is no longer guaranteed, all you need is the connection plate to be replaced with the line sections.

Nach einer Ausgestaltung der Erfindung weist der Deckel an der Oberseite einen Sockel auf, in dem die Gewindebohrungen und die Deckelöffnungen geformt sind. Der Sockel hat eine obere ebene Fläche, die mit der unteren ebenen Fläche des Ventilblocks zusammenwirkt, wobei vorzugsweise der Umriss von Sockel und Ventilblock identisch ist. Auch Verbindungsplatte und obere Fläche des Ventilblocks weisen einen gleichen Umriss auf, so dass keine freiliegenden Kanten entstehen, wenn die Teile miteinander verbunden sind.To an embodiment of the invention, the lid on the top a pedestal in which the threaded holes and the lid openings are shaped. The base has an upper flat surface, which is level with the lower one area the valve block cooperates, preferably the outline of Base and valve block is identical. Also connection plate and upper surface of the valve block have a same outline, so that no exposed edges arise when the parts are joined together are.

Der Sockel, der einen deutlich geringeren Umfang als der Behälter hat, ist zum Beispiel in der Mitte des Deckels ausgebildet, so dass ausreichend Platz bleibt, und um die Handhabe für die Ventilglieder problemlos zu betätigen.Of the Socket, which has a much smaller circumference than the container, is designed, for example, in the middle of the lid, leaving enough space remains, and the handle for easy to operate the valve members.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachfolgend anhand von Zeichnungen näher erläutert.One embodiment The invention will be explained in more detail with reference to drawings.

1 zeigt teilweise im Schnitt die Seitenansicht eines Sicherheitsbehälters nach der Erfindung im vormontierten Zustand. 1 shows partially in section the side view of a security container according to the invention in the preassembled state.

2 zeigt den Sicherheitsbehälter nach 1 im montierten Zustand. 2 shows the safety container 1 in the assembled state.

3 zeigt beispielhaft die Abdichtung zwischen zwei miteinander verspannten Teilen des Sicherheitsbehälters nach 1 oder 2. 3 shows by way of example the seal between two braced parts of the containment 1 or 2 ,

48 zeigen unterschiedliche Ausbildungen der Leitungsabschnitte an einer Verbindungsplatte. 4 - 8th show different configurations of the line sections on a connection plate.

In den 1 und 2 ist mit 10 ist allgemein ein Sicherheitsbehälter angedeutet. Er weist einen Behälterkörper 12 auf, der einen topfförmigen Bodenabschnitt 14, einen zylindrischen Wandabschnitt 16 sowie einen Deckel 18 aufweist. Die Teile 14, 16 und 18 sind miteinander durch ein geeignetes Schweißverfahren abgedichtet miteinander verbunden. Sie bestehen aus einer hochwertigen korossionsfesten Stahllegierung. Am Bodenabschnitt 40 befindet sich ein Standring 20, der ebenfalls angeschweißt ist.In the 1 and 2 is with 10 is generally indicated a security container. He has a container body 12 on, the cup-shaped bottom section 14 a cylindrical wall section 16 as well as a lid 18 having. The parts 14 . 16 and 18 are sealed together by a suitable welding process. They consist of a high-quality corrosion-resistant steel alloy. At the bottom section 40 there is a stand ring 20 which is also welded.

Der Deckel 18 weist in der Mitte einen Sockel 22 auf, der zum Beispiel einen achteckigen Umriss hat. Im Sockel 20 sind zwei Durchgangsbohrungen 24 zu erkennen. Ferner sind zwei Sackgewindebohrungen 26 zu erkennen. In 1 und 2 liegen die Gewindebohrungen 26 in gleicher Höhe wie die Durchgangsbohrungen 24. In Wirklichkeit weist der Sockel 22 vier derartige Gewindebohrungen 26 auf, von denen ein Paar etwas oberhalb der Zeichenebene in den 1 und 2 und ein anderes Paar etwas unterhalb der Zeichenebene von 1 und 2 liegt. Eine Durchgangsbohrung 24 ist mit einem Tauchrohr 28 verbunden, welches zu einer Vertiefung 30a im Bodenabschnitt 14 geführt ist.The lid 18 has a pedestal in the middle 22 on, for example, has an octagonal outline. In the pedestal 20 are two through holes 24 to recognize. Furthermore, there are two blind tapped holes 26 to recognize. In 1 and 2 lie the threaded holes 26 at the same height as the through holes 24 , In reality, the pedestal points 22 four such threaded holes 26 on, of which a couple slightly above the plane in the 1 and 2 and another pair just below the drawing plane of 1 and 2 lies. A through hole 24 is with a dip tube 28 connected, which to a depression 30a in the bottom section 14 is guided.

Bei 30 ist ein Ventilblock zu erkennen. Der Ventilblock 30 weist eine untere ebene Fläche 32 und eine obere ebene Fläche 34 auf. Er entspricht im Umriss dem Sockel 22 und wird im montierten Zustand auf die obere ebene Fläche des Sockels 22 aufgesetzt. Der Ventilblock 30 weist vier nicht zu erkennende Durchgangsbohrungen auf, die beim Aufsetzen des Ventilblocks 30 auf den Sockel 22 zu den vier Sackgewindebohrungen 26 ausgerichtet sind. Im Ventilblock sind Ventilglieder vorgesehen, welche durch Handhaben 36, 38 und 40 betätigbar sind. Hierauf wird weiter unten noch eingegangen.at 30 is a valve block to recognize. The valve block 30 has a lower flat surface 32 and an upper flat surface 34 on. It corresponds in outline to the pedestal 22 and is mounted on the upper flat surface of the base 22 placed. The valve block 30 has four unrecognizable through holes, which are when placing the valve block 30 on the pedestal 22 to the four blind tapped holes 26 are aligned. In the valve block valve members are provided, which by handling 36 . 38 and 40 are operable. This will be discussed below.

Oberhalb des Ventilblocks 30 ist eine Verbindungsplatte 40 zu erkennen. Sie weist zwei Durchgangslöcher 42 auf, mit denen angeschweißte Leitungsabschnitte 44, 46 verbunden sind. An den Enden der Leitungsabschnitte 44, 46 sind Anschlüsse 48, 50 vorgesehen. Sie dienen zur Verbindung mit weiteren Leitungen, worauf weiter unten noch eingegangen wird.Above the valve block 30 is a connection plate 40 to recognize. It has two through holes 42 on, with those welded pipe sections 44 . 46 are connected. At the ends of the pipe sections 44 . 46 are connections 48 . 50 intended. They are used to connect to other lines, which will be discussed below.

Die Verbindungsplatte 40 hat außerdem Befestigungslöcher 52. Die Anordnung der Befestigungslöcher 52 ist derart, dass sie mit den Durchgangsbohrungen im Ventilblock 30 und den Sackgewindebohrungen 26 im Deckel 18 ausgerichtet werden können. Die Verbindungsplatte 40 entspricht wiederum dem Umriss des Ventilblocks und weist planparallele obere und untere Flächen auf. Mit Hilfe von nicht gezeigten Spannschrauben, welche durch die Löcher 52 und die Durchgangsbohrungen im Ventilblock gesteckt werden, können Verbindungsplatte 40 und Ventilblock 30 fest mit dem Sockel 22 des Deckels 18 verbunden werden. Im Ventilblock 30 sind an der oberen Fläche zwei Öffnungen vorgesehen, die in diesem Fall mit den Durchgangslöchern 42 der Verbindungsplatte ausgerichtet sind. Der Ventilblock 30 weist an der unteren Fläche 32 Öffnungen auf, die mit den Durchgangsöffnungen 24 im Deckel 18 ausgerichtet sind. Bei Betätigung der Ventile im Ventilblock 30 können daher die Leitungsabschnitte 44, 46 mit den Durchgangsbohrungen 24 im Deckel 18 verbunden werden. Bei Betätigung eines Ventilglieds mit Hilfe der Handhabe 38 läßt sich über einen internen Kanal (nicht gezeigt) im Ventilblock 30 eine unmittelbare Verbindung zwischen den Leitungsabschnitten 44, 46 herstellen.The connection plate 40 also has mounting holes 52 , The arrangement of the mounting holes 52 is such that it communicates with the through holes in the valve block 30 and the blind tapped holes 26 in the lid 18 can be aligned. The connection plate 40 again corresponds to the outline of the valve block and has plane-parallel upper and lower surfaces. With the help of not shown clamping screws, which through the holes 52 and the through-holes can be plugged into the valve block, can connecting plate 40 and valve block 30 stuck to the pedestal 22 of the lid 18 get connected. In the valve block 30 two openings are provided on the upper surface, in this case with the through holes 42 of the Connection plate are aligned. The valve block 30 points to the lower surface 32 Openings on, with the through holes 24 in the lid 18 are aligned. When operating the valves in the valve block 30 Therefore, the line sections 44 . 46 with the through holes 24 in the lid 18 get connected. Upon actuation of a valve member by means of the handle 38 can be via an internal channel (not shown) in the valve block 30 a direct connection between the line sections 44 . 46 produce.

Die Montage der in 1 einzeln gezeigten Teile ist in 2 angedeutet, wobei die Spannschrauben nicht gezeigt sind. In 2 ist auch zu erkennen, dass an den Behälterkörper 12 eine Stange 52a angebracht ist, welche über die Anschlüsse 48, 50 nach oben ragt. Am oberen Ende der Stange ist ein offener Ring 54 angebracht. Er dient zum Anheben und Transport des Sicherheitsbehälters 10.The assembly of in 1 individually shown parts is in 2 indicated, the clamping screws are not shown. In 2 can also be seen that to the container body 12 a pole 52a attached, which is about the connections 48 . 50 sticks up. At the top of the pole is an open ring 54 appropriate. It serves to lift and transport the containment 10 ,

Wird bei geöffneten Ventilen im Ventilblock 30 Gas unter Druck in den Leitungsabschnitt 44 eingeführt, gelangt die Substanz aus den Behältern, zum Beispiel eine metallorganische Substanz, über den Leitungsabschnitt 46 nach außen und kann an den entsprechenden Ort gefördert werden. Eine weitere Möglichkeit besteht darin, über den Leitungsabschnitt 46 ein reaktives Gas, zum Beispiel Wasserstoff und das Tauchrohr 28 in den Behälter einzuleiten. Das entstehende Gas kann über den Leitungsabschnitt 44 nach außen getragen werden. Bei der letzteren Betriebsweise wird der gezeigte Sicherheitsbehälter auch als Bubbler bezeichnet.With the valves open, in the valve block 30 Gas under pressure in the line section 44 introduced, the substance passes out of the containers, for example an organometallic substance, over the line section 46 to the outside and can be promoted to the appropriate place. Another possibility is via the line section 46 a reactive gas, for example hydrogen and the dip tube 28 into the container. The resulting gas can over the line section 44 be worn outside. In the latter mode of operation, the safety container shown is also referred to as a bubbler.

Bei geschlossenen Ventilen und Betätigung eines Spülventils über die Handhabe 38 kann Spülmedium durch die Leitungsabschnitte 44, 46 und die Kanäle im Inneren des Ventilblocks 30 geleitet werden, um eine Reinigung zu bewerkstelligen.For closed valves and actuation of a flushing valve via the handle 38 can flushing medium through the pipe sections 44 . 46 and the channels inside the valve block 30 be directed to a cleaning.

In 3 ist nur beispielhaft angedeutet, wie eine Öffnung im Ventilblock 30 mit einer Durchgangsbohrung 24 im Deckel 18 zueinander ausgerichtet ist, wobei mit Hilfe eines Dichtrings 56 eine ausreichende Dichtung nach außen erfolgt. Der Dichtring hat oben und unten eine scharfe Kante und besteht aus sehr hartem Material. Dadurch graben sich die Kanten in zugehörige Flächen 32, 41 ein und bewirken dadurch eine sichere Abdichtung.In 3 is indicated only by way of example, such as an opening in the valve block 30 with a through hole 24 in the lid 18 aligned with each other, with the aid of a sealing ring 56 a sufficient seal is made to the outside. The sealing ring has a sharp edge at the top and bottom and consists of very hard material. As a result, the edges dig into associated surfaces 32 . 41 and thereby cause a secure seal.

In den 4 bis 8 ist jeweils die gleiche Verbindungsplatte 40 wie in den 1 und 2 dargestellt. Wie erkennbar, sind jedoch unterschiedliche Leitungsabschnitte und Anschlüsse vorgesehen. In 4 sind mit den Leitungsabschnitten jeweils männliche Anschlüsse verbunden. In 5 ist links ein weiblicher und rechts ein männlicher Anschluß mit den Leitungsabschnitten verbunden. In 6 ist links ein männlicher und rechts ein weiblicher Anschluß mit den Leitungsabschnitten verbunden. In 7 ist links ein männlicher und rechts ein weiblicher Anschluß mit den Leitungsabschnitten verbunden. In 8 sind zwei männliche Anschlüsse vorgesehen. Der Abstand der Anschlüsse in den 4 bis 6 ist gleich. In den 7 und 8 ist er unterschiedlich. In den 4 und 5 ist der Niveauunterschied mit den Anschlüssen gleich. In 6 entspricht der Niveauunterschied ebenfalls dem nach den 4 und 5, wobei jedoch die Anschlüsse in der Höhe vertauscht sind. In 7 liegt das Niveau der Anschlüsse näher zusammen als bei den 4 bis 6. In 8 ist das Niveau der Anschlüsse gleich.In the 4 to 8th is always the same connection plate 40 like in the 1 and 2 shown. As can be seen, however, different line sections and connections are provided. In 4 each male connections are connected to the line sections. In 5 on the left is a female and on the right a male connector connected to the lead sections. In 6 on the left is a male and on the right a female terminal connected to the lead sections. In 7 on the left is a male and on the right a female terminal connected to the lead sections. In 8th There are two male connections. The distance of the connections in the 4 to 6 is equal to. In the 7 and 8th he is different. In the 4 and 5 the level difference is equal to the connections. In 6 the level difference also corresponds to that after the 4 and 5 , but the connections are reversed in height. In 7 the level of the connections is closer together than with the 4 to 6 , In 8th the level of connections is the same.

Aus den 4 bis 8 erkennt man mithin, dass für die unterschiedlichen Anschlußmöglichkeiten gelegentlich erforderlich ist, die zugehörige Verbindungsplatte mit den Leitungsabschnitten zu verwenden; die Verbindungsplatte selbst bleibt dabei die gleiche. Die übrigen Teile des Sicherheitsbehälters bleiben unverändert.From the 4 to 8th it can therefore be seen that occasionally it is necessary for the different connection possibilities to use the associated connection plate with the line sections; the connection plate itself remains the same. The remaining parts of the containment remain unchanged.

Claims (8)

Sicherheitsbehälter, insbesondere zum Transport und zur Lagerung und Abgabe von metallorganischen Substanzen, der an der Oberseite von einem Deckel dichtend abgeschlossen ist, mit einem Ventilblock, der mittels einer Schraubverbindung derart am Deckel befestigbar ist, dass Öffnungen des Ventilblocks mit Deckelöffnungen ausgerichtet sind und in abgedichteter Verbindung miteinander stehen, wobei der Ventilblock zwei von außen über eine Betätigung betätigbare Ventilglieder aufweist, welche jeweils einen der am Ventilblock dichtend anbringbaren Leitungsabschnitte wahlweise mit einer zugeordneten Deckelöffnung verbinden und der Ventilblock mit Hilfe von Spannschrauben gegen eine Fläche des Deckels gespannt ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Deckel (18) mindestens drei achsparallele Sackgewindebohrungen (26) aufweist, der Ventilblock (30) eine obere und eine untere ebene Fläche (32, 34) aufweist, der Ventilblock (30) mit den Sackgewindebohrungen (26) ausrichtbare Durchgangsbohrungen aufweist, die an der oberen und unteren Fläche (32, 34) münden, die Leitungsabschnitte (44, 46) mit einer Verbindungsplatte (40) verschweißt sind und die Verbindungsplatte (40) mit den Durchgangsbohrungen ausrichtbare Löcher (52) aufweist und mit Hilfe von Spannschrauben, die durch die Löcher (52) und die Durchgangsbohrungen hindurch geführt sind, fest mit dem Deckel (18) verspannt wird und wodurch der Ventilblock (30) mit einer unteren Fläche (32) gegen eine obere ebene Fläche des Deckels (18) verspannt wird und wobei zwischen mit den Leitungsabschnitten (44, 46) ausgerichtete Öffnungen in der Verbindungsplatte (40) und im Ventilblock (30) sowie Öffnungen im Ventilblock und im Deckel mit Hilfe von Dichtringen (56) nach außen abgedichtet sind.Security container, in particular for the transport and storage and release of organometallic substances, which is sealingly sealed at the top of a lid, with a valve block which is fastened by means of a screw connection to the lid such that openings of the valve block are aligned with lid openings and in sealed Connection with each other, wherein the valve block has two actuatable from the outside valve members, which connect one of the valve block sealingly attachable line sections either with an associated lid opening and the valve block is clamped by means of clamping screws against a surface of the lid, characterized that the lid ( 18 ) at least three axially parallel blind tapped holes ( 26 ), the valve block ( 30 ) an upper and a lower flat surface ( 32 . 34 ), the valve block ( 30 ) with the blind threaded holes ( 26 ) has alignable through-holes, which at the upper and lower surface ( 32 . 34 ), the line sections ( 44 . 46 ) with a connection plate ( 40 ) are welded and the connecting plate ( 40 ) holes which can be aligned with the through-holes ( 52 ) and by means of clamping screws through the holes ( 52 ) and the through holes are guided, firmly with the lid ( 18 ) and whereby the valve block ( 30 ) with a lower surface ( 32 ) against an upper flat surface of the lid ( 18 ) and between being with the line sections ( 44 . 46 ) aligned openings in the connecting plate ( 40 ) and in the valve block ( 30 ) and openings in the valve block and in the cover by means of sealing rings ( 56 ) sealed to the outside are. Sicherheitsbehälter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Ventilblock (30) ein Dreiwegeventil enthält und eine dritte Betätigung (38) aufweist, zur wahlweisen unmittelbaren Verbindung von Leitungsabschnitten im Ventilblock untereinander.Safety container according to claim 1, characterized in that the valve block ( 30 ) contains a three-way valve and a third actuation ( 38 ), for optional direct connection of line sections in the valve block with each other. Sicherheitsbehälter nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den Flächen von Verbindungsplatte (40) und Ventilblock (30) und von Ventilblock (30) und Deckel (18) Dichtkanten aufweisende Dichtringe (56) aus hartem Material angeordnet sind, die sich in die Flächen eingraben.Safety container according to claim 1 or 2, characterized in that between the surfaces of connecting plate ( 40 ) and valve block ( 30 ) and valve block ( 30 ) and lid ( 18 ) Sealing rings having sealing edges ( 56 ) are arranged of hard material, which dig into the surfaces. Sicherheitsbehälter nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Deckel (18) an der Oberseite einen Sockel (22) aufweist, in dem die Gewindebohrungen (26) und die Deckelöffnungen (24) geformt sind und der eine obere ebene Fläche aufweist und die ebene Unterseite des Ventilblocks (30) im Umriss annähernd dem Umriss des Sockels (22) entspricht.Security container according to one of claims 1 to 3, characterized in that the lid ( 18 ) at the top of a pedestal ( 22 ), in which the threaded holes ( 26 ) and the lid openings ( 24 ) are formed and having an upper flat surface and the flat bottom of the valve block ( 30 ) in the outline approximately the outline of the base ( 22 ) corresponds. Sicherheitsbehälter nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Umriss der Verbindungsplatte (40) annähernd dem Umriss der oberen Fläche (34) des Ventilblocks (30) entspricht.Safety container according to claim 4, characterized in that the outline of the connecting plate ( 40 ) approximately the outline of the upper surface ( 34 ) of the valve block ( 30 ) corresponds. Sicherheitsbehälter nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Sockel (22) annähernd mittig am Deckel (18) angeordnet ist.Safety container according to claim 4 or 5, characterized in that the base ( 22 ) approximately in the middle of the lid ( 18 ) is arranged. Sicherheitsbehälter nach einem der Ansprüche 1 bis 6, gekennzeichnet durch einen Satz Verbindungsplatten (40), wobei jede Verbindungsplatte (40) anders bemessene bzw. geformte bzw. ausgebildete Leitungsabschnitte (44, 46) aufweist.Security container according to one of claims 1 to 6, characterized by a set of connecting plates ( 40 ), each connecting plate ( 40 ) differently sized or shaped or formed line sections ( 44 . 46 ) having. Sicherheitsbehälter nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass an der Außenseite des Behälters (10, 12) eine Stange (52a) angeschweißt ist, die über den Ventilblock nach oben ragt und am oberen Ende eine Handhabe (54) aufweist, über welche der Behälter (10, 12) angehoben und transportiert werden kann.Security container according to one of claims 1 to 7, characterized in that on the outside of the container ( 10 . 12 ) a pole ( 52a ) is welded, which projects above the valve block up and at the top of a handle ( 54 ) over which the container ( 10 . 12 ) can be lifted and transported.
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