DE102005006933A1 - Planar gas sensor internal temperature gradient determination procedure for lambda sensors measures applied thermal voltage and heating meander input - Google Patents

Planar gas sensor internal temperature gradient determination procedure for lambda sensors measures applied thermal voltage and heating meander input Download PDF

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Abstract

A planar gas sensor (12) internal temperature gradient determination procedure measures the applied thermal voltage at the heating meander input. Independent claims are included for planar sensor elements using the procedure.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Ermittlung von Temperaturgradienten im Inneren eines planaren Sensorelements und ein planares Sensorelement für einen Gassensor nach den Oberbegriffen der unabhängigen Ansprüche 1 und 5.The The invention relates to a method for determining temperature gradients inside a planar sensor element and a planar sensor element for one Gas sensor according to the preambles of independent claims 1 and 5th

Ein planares Sensorelement für einen Gassensor geht beispielsweise aus der DE 199 32 545 A1 hervor. Ein derartiges Sensorelement weist ein Heizelement aus Platin mit einem hochohmigen Heizmäander und niederohmigen Zuleitungen auf. Der hochohmige Heizmäander besteht beispielsweise aus einer Platinlegierung mit Paladium oder Rhodium. Insbesondere bei Fahrzeugen mit Diesel- oder Benzindirekteinspritzungs-Brennkraftmaschinen entsteht nun beim Einsatz des Sensorelements in Lambda-Sonden eine einseitige Abkühlung der Sensorelementoberfläche, da diese einer Kaltluftströmung ausgesetzt ist. Hierdurch entstehen in der kalten Oberfläche aufgrund des Wärmegradienten zum beheizten Inneren des Sensors mechanische Thermospannungen, die beim Überschreiten einer kritischen Zugspannung zur Zerstörung des Sensorelements führen können. Aus diesem Grunde muss die Beaufschlagung des Sensorelements mit Wärme durch das Heizelement rampenförmig erfolgen.A planar sensor element for a gas sensor, for example, from the DE 199 32 545 A1 out. Such a sensor element has a heating element made of platinum with a high-impedance Heizmäander and low-impedance leads. The high-resistance Heizmäander consists for example of a platinum alloy with paladium or rhodium. Particularly in the case of vehicles with diesel or gasoline direct injection internal combustion engines, when the sensor element is used in lambda probes, a one-sided cooling of the sensor element surface is produced since it is exposed to cold air flow. This results in the cold surface due to the thermal gradient to the heated interior of the sensor mechanical thermal stresses that can lead to the destruction of the sensor element when a critical tensile stress is exceeded. For this reason, the admission of heat to the sensor element by the heating element must be ramped.

Der Keramikkörper dieser Sensorelemente weist einen schichtartigen Aufbau auf, wobei der Heizmäander und die Zuleitungen mittels Siebdrucktechnik auf einzelne Keramikfolien aufgebracht werden. Aufgrund der Trockenschrumpfung der gegossenen Folien können nun Versätze der Drucklayouts zwischen den einzelnen Druckschritten entstehen. Hieraus resultiert beim Vereinzeln der Sensorelemente ein unterschiedlich breiter Dichtrahmen, der zu einseitigen Thermospannungen führen kann und damit zur Zerstörung des Sensorelements, wenn dieses einer Kaltluftströmung im Fahrzeug ausgesetzt ist, da ein schmalerer Dichtrahmen einen höheren Temperaturgradient und damit eine höhere Thermospannung bewirkt als ein breiterer Dichtrahmen. Als Dichtrahmen wird dabei ein an sich bekannter Folienrahmen verstanden, wie er beispielsweise aus der DE 199 28 165 A1 hervorgeht, auf die zum Zwecke der Offenbarung vorliegend Bezug genommen wird.The ceramic body of these sensor elements has a layered structure, wherein the heating meander and the leads are applied by means of screen printing technique on individual ceramic films. Due to the dry shrinkage of the cast films, offsets of the print layouts between the individual printing steps can now occur. This results in singling the sensor elements a different width sealing frame, which can lead to destruction of the sensor element, if this is exposed to a cold air flow in the vehicle, as a narrower sealing frame causes a higher temperature gradient and thus a higher thermal voltage than a wider sealing frame , As a sealing frame is a known per se foil frame understood as he, for example, from the DE 199 28 165 A1 to which reference is made for the purposes of the disclosure.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die vorstehend erläuterten Nachteile zu beseitigen und ein Verfahren zur Ermittlung von Temperaturgradienten im Inneren des planaren Sensorelements und ein Sensorelement anzugeben, bei welchem ohne zusätzlich eingebaute Thermoelemente die Richtung und Größe der Abkühlung bestimmt werden können, um so beispielsweise durch entsprechendes Ansteuern der Heizelemente oder eine Überwachung des Herstellungsprozesses eine Zerstörung des Sensorelements aufgrund hoher Thermospannungen zu vermeiden.Of the Invention is based on the object explained above Disadvantages to eliminate and a method for determining temperature gradients indicate inside the planar sensor element and a sensor element, in which without additional built-in thermocouples the direction and size of the cooling can be determined to so for example by appropriate control of the heating elements or monitoring the Manufacturing process a destruction to avoid the sensor element due to high thermal stresses.

Vorteile der ErfindungAdvantages of the invention

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und ein planares Sensorelement mit den Merkmalen des Anspruchs 4 gelöst.These The object is achieved by a method having the features of the claim 1 and a planar sensor element with the features of the claim 4 solved.

Durch die Erfassung der sich am Übergang vom Heizmäander zu den Zuleitungen einstellenden Thermospannungen und die Auswertung dieser Thermospannungen, um so auf die im Inneren des Sensorelements existierenden Temperaturgradienten zu schließen, ist es möglich, während des Betriebs ohne zusätzlich eingebaute Thermoelemente die Richtung und Größe der Abkühlung zu bestimmen und diese beispielsweise für eine Schutzrohroptimierung zu nutzen. Aus der Abkühlung im Schutzrohr kann nämlich auf die Effektivität und Richtungsabhängigkeit der Schutzwirkung des Schutzrohrs geschlossen werden.By the capture of himself at the transition from heating meander to the supply lines adjusting thermoelectric voltages and the evaluation These thermo voltages, so as to the inside of the sensor element It is possible to close existing temperature gradients during the Operation without additional built-in thermocouples to determine the direction and size of the cooling and this for example to use a protection raw optimization. From the cooling in the Protective tube can namely on the effectiveness and directionality the protective effect of the protective tube are closed.

Darüber hinaus ist es auf diese Weise möglich, unsymmetrische Heizelemente im Sensorelement, die beispielsweise aufgrund von Herstellungsfehlern entstehen, zu erkennen.Furthermore is it possible in this way asymmetrical heating elements in the sensor element, for example due to manufacturing defects, to recognize.

Bei bekannter Unsymmetrie kann auf nachfolgend beschriebene Weise auch auf ein Maß für die Strömungsgeschwindigkeit, der das Sensorelement ausgesetzt ist, und damit die Kühlleistung, die auf das Sensorelement einwirkt, geschlossen werden.at known asymmetry can in the manner described below also on a measure of the flow velocity, the sensor element is exposed, and thus the cooling capacity, which acts on the sensor element to be closed.

Wenn die momentane Kühlleistung bekannt ist, kann gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung des Verfahrens die Heizrampe, mit der das Sensorelement beaufschlagt wird, an die Kühlleistung angepasst werden. Da das Heizelement niederohmig ist, wird die Erfassung der Thermospannung nicht durch Polarisatiosspannungen der Heizerisolation gestört, wobei auch die elektromagnetische Verträglichkeit EMV außerordentlich gut ist.If the instantaneous cooling capacity is known, according to a advantageous embodiment of the method, the heating ramp, with the the sensor element is acted upon, adapted to the cooling capacity. Since the heating element is low impedance, the detection of the thermoelectric voltage not disturbed by Polarisatiosspannungen the heater insulation, wherein also the electromagnetic compatibility EMC is extraordinary good is.

Zeichnungdrawing

Weitere Vorteile und Merkmale der Erfindung sind Gegenstand der nachfolgenden Beschreibung sowie der zeichnerischen Darstellung eines Ausführungsbeispiels.Further Advantages and features of the invention are the subject of the following Description and the drawing of an embodiment.

In der Zeichnung zeigen:In show the drawing:

1 ein aus dem Stand der Technik bekanntes Ausführungsbeispiel eines planaren Sensorelements eines Gassensors, 1 a known from the prior art embodiment of a planar sensor element of a gas sensor,

2 schematisch eine Schaltung zur Messung der Thermospannung bei einem von der Erfindung Gebrauch machenden planaren Sensorelement für einen Gassensor und 2 schematically a circuit for measuring the thermal voltage in a making use of the invention planar sensor element for a gas sensor and

3 schematisch eine Schaltung zur Messung der Thermospannung bei einem unsymmetrischen Heizelement eines planaren Sensorelements eines Gassensors. 3 schematically a circuit for measuring the thermal voltage in an asymmetrical heating element of a planar sensor element of a gas sensor.

Beschreibung der AusführungsbeispieleDescription of the embodiments

Ein aus der DE 199 32 545 A1 , auf die vorliegend zum Zwecke der Offenbarung verwiesen wird, bekanntes planares Sensorelement 12 weist einen Heizleiter 10 auf, der von einem elektrischen Isolator 24 umgeben ist. Das Sensorelement 12 weist ferner eine Messelektrode 14 auf, die gegebenenfalls von einer porösen Schutzschicht 22 bedeckt wird. Unterhalb der Messelektrode 14 ist eine Schicht 20 aus einem Festelektrolyten und nachfolgend einer Referenzelektrode 16 angeordnet. Die Referenzelektrode 16 befindet sich in einem mit einem Referenzgas gefüllten Referenzgaskanal 18.One from the DE 199 32 545 A1 , which is hereby referred to for the purpose of disclosure, known planar sensor element 12 has a heating conductor 10 on top of an electrical insulator 24 is surrounded. The sensor element 12 also has a measuring electrode 14 on, if necessary, of a porous protective layer 22 is covered. Below the measuring electrode 14 is a layer 20 from a solid electrolyte and subsequently a reference electrode 16 arranged. The reference electrode 16 is located in a reference gas channel filled with a reference gas 18 ,

Ein derartiges Sensorelement 12 wird üblicherweise zur Bestimmung einer Sauerstoffkonzentration, insbesondere in Abgasen von Brennkraftmaschinen eingesetzt. Dazu wird ein Potenzial, das sich infolge des Sauerstoffgehalts des Abgases in der Messelektrode 14 einstellt, mit einem Potenzial an der Referenzelektrode 16 verglichen. Das Potenzial an der Referenzelektrode 16 ist unter anderem abhängig von der Sauerstoffkonzentration im Referenzgas und der Temperatur. Durch das Heizelement 10 kann nun eine Einstellung der Temperatur erfolgen. Die Funktionsweise eines solchen Sensorelements 12 ist an sich bekannt, so dass vorliegend lediglich darauf hingewiesen wird, daß die Mess- und Referenzelektrode 14, 16 eine ausreichende Porosität aufweisen müssen, um eine ausreichend große 3-Phasen-Grenzfläche zu besitzen. Im Bereich der 3-Phasen-Grenzfläche erfolgt vereinfacht gesehen die Einstellung des Potenzials der Mess- und Referenzelektroden 14, 16.Such a sensor element 12 is usually used to determine an oxygen concentration, in particular in exhaust gases of internal combustion engines. For this purpose, a potential that is due to the oxygen content of the exhaust gas in the measuring electrode 14 adjusts, with a potential at the reference electrode 16 compared. The potential at the reference electrode 16 depends among other things on the oxygen concentration in the reference gas and the temperature. Through the heating element 10 Now can be done a setting of the temperature. The operation of such a sensor element 12 is known per se, so that in the present case it is merely pointed out that the measuring and reference electrode 14 . 16 must have sufficient porosity to have a sufficiently large 3-phase interface. In the area of the 3-phase interface, in a simplified manner, the setting of the potential of the measuring and reference electrodes takes place 14 . 16 ,

Zur Gewährung einer hinreichenden Stromtragfähigkeit des Heizelements 10 ist es notwendig, dessen Porosität möglichst gering zu halten. Die Porosität kann wesentlich durch die Höhe der Sintertemperatur beeinflusst werden. Das Sensorelement 12 zeichnet sich durch einen vorzugsweise schichtweisen Aufbau aus, wobei die einzelnen Schichten durch Siebdruck, Laminieren, Stanzen, Sintern oder dergleichen herstellbar sind.To grant a sufficient current carrying capacity of the heating element 10 it is necessary to keep its porosity as low as possible. The porosity can be significantly influenced by the height of the sintering temperature. The sensor element 12 is characterized by a preferably layered structure, wherein the individual layers by screen printing, laminating, stamping, sintering or the like can be produced.

Mittels Siebdrucktechnik werden dabei z.B. Pasten auf eine Keramikfolie aufgetragen, die nach dem Sintern die einzelnen Schichten bilden. Die Elektroden 14, 16 und das – Heizelement 10 werden dabei aus Schichten gebildet, die beispielsweise aus einem Cermet bestehen, wobei ein Metalloxyd als Stützgerüst und ein Metall als Leiter verwendet werden. Dazu wird eine die Schicht ergebende Paste aus einem Metallpulver und einem Metalloxydpulver auf einen Träger aufgebracht und anschließend gesintert. Bei derartigen Sensorelementen 12 wird für das Heizelement 10 und die Elektroden 14, 16 Platin verwendet. Als keramisches Material kommt Aluminiumoxid zum Einsatz. Für die Elektroden wird als keramisches Material beispielsweise Zirkonoxid verwendet. Durch eine Beimengung zumindest eines weiteren Edelmetalls zu der Paste, die das Heizelement 10 bildet, kann das Dichtsintern des Heizelements 10 bei einer wesentlich niedrigeren Sintertemperatur als bei einer Verwendung von reinem Platin erfolgen. Nach dem Sintern kann dann eine zumindest binäre Platin-Edelmetall-Legierung vorliegen. Die weiteren Edelmetalle werden aus der Gruppe Palladium, Ruthenium, Rhodium, Gold, Silber und Iridium gewählt. In bezug auf die Zusammensetzung der einzelnen Bestandteile wird auf die DE 199 32 545 A1 , Spalte 3, Zeile 60 bis Spalte 4, Zeile 68 Bezug genommen, die zum Zwecke der Offenbarung in vorliegende Anmeldung einbezogen wird.Pastes are applied to a ceramic film by means of screen printing technology, for example, which forms the individual layers after sintering. The electrodes 14 . 16 and the heating element 10 are formed from layers, which consist for example of a cermet, wherein a metal oxide are used as a scaffold and a metal as a conductor. For this purpose, a paste resulting from the layer of a metal powder and a metal oxide powder is applied to a carrier and then sintered. In such sensor elements 12 is for the heating element 10 and the electrodes 14 . 16 Platinum used. The ceramic material used is alumina. For example, zirconia is used as the ceramic material for the electrodes. By adding at least one further noble metal to the paste containing the heating element 10 forms, the dense sintering of the heating element 10 at a much lower sintering temperature than when using pure platinum. After sintering, an at least binary platinum-noble metal alloy can then be present. The other precious metals are selected from the group palladium, ruthenium, rhodium, gold, silver and iridium. With regard to the composition of the individual components is on the DE 199 32 545 A1 , Column 3, line 60 to column 4, line 68, incorporated herein by reference for purposes of disclosure.

Durch die vorbeschriebenen Verfahren ist auch eine Ermittlung der Kühlleistung möglich. Derartige Heizelemente sind nämlich auf an sich bekannte und beispielsweise aus der DE 199 28 165 A1 , insbesondere Spalte 3, Zeilen 17 ff hervorgehende Weise in die Isolationsschichten eingebettet, wobei diese porösen Isolationsschichten ihrerseits durch einen gasdichten Folienrahmen, einen sogenannten Dichtrahmen, umschlossen sind. Da nun unsymmetrische Dichtrahmenbreiten, d.h. unterschiedliche Breitenmaße des Dichtrahmens auf der einen und auf der anderen Seite des Heizmäanders zu einer unsymmetrischen Erwärmung der Heizmäander 210, 310 führen können, kann unter der Voraussetzung, dass er einer nicht strömenden Gasatmosphäre ausgesetzt ist, ein symmetrischer Dichtrahmen von einem unsymmetrischen unterschieden werden. Umgekehrt kann mit einem ohne Schutzrohr bei bekannter Strömungsgeschwindigkeit kalibrierten Sensorelement 12 die Strömungsgeschwindigkeit des Abgases im Schutzrohr bestimmt werden. Die Strömungsgeschwindigkeit ist ein Maß für die Kühlleistung, die auf das Sensorelement 12 einwirkt. Abhängig von dieser Kühlleistung kann die Heizrampe, mit der das Sensorelement 12 beaufschlagt wird, eingestellt werden.By the method described above, a determination of the cooling capacity is possible. Such heating elements are known per se and for example from the DE 199 28 165 A1 , in particular column 3, lines 17 et seq embedded manner in the insulating layers, said porous insulating layers are in turn enclosed by a gas-tight foil frame, a so-called sealing frame. Since now unbalanced sealing frame widths, ie different width dimensions of the sealing frame on one side and on the other side of the Heizmäanders to an asymmetrical heating of Heizmäander 210 . 310 can lead, it can be distinguished from an unbalanced, provided that it is exposed to a non-flowing gas atmosphere, a symmetrical sealing frame. Conversely, with a calibrated without protective tube at a known flow rate sensor element 12 the flow rate of the exhaust gas in the protective tube can be determined. The flow rate is a measure of the cooling capacity applied to the sensor element 12 acts. Depending on this cooling capacity, the heating ramp, with which the sensor element 12 be adjusted.

Die Messung der Thermospannung erfolgt nun wie in 2 und 3 schematisch dargestellt. An den aus Platin bestehenden Zuleitungen 205, 206 zu dem mäanderförmig gebildeten Heizelement, dem sogenannten Heizmäander 210, wird eine Spannung UThermo mittels einer Messeinrichtung 250 gemessen, die der Differenz der sich an dem Übergang vom Heizmäander 210 zu der Zuleitung 206 einstellenden Temperatur T2 und der sich an dem Übergang von dem Heizmäander 210 zu der Zuleitung 205 einstellenden Temperatur T1 proportional ist. Die Messung der Thermospannung UThermo erfolgt dabei bei abgeschalteter Heizspannung UH = 0, die durch eine Spannungsquelle 240, welche die Heiz spannung UH erzeugt, mittels der Zuleitungen 205, 206 zuführbar ist. Durch ein Schaltmittel 230 in Form eines Umschalters wird sichergestellt, dass die Thermospannung UThermo nur bei abgeschalteter Heizspannung UH = 0 gemessen wird.The measurement of the thermoelectric voltage is now as in 2 and 3 shown schematically. On the existing platinum leads 205 . 206 to the meander-shaped heating element, the so-called Heizmäander 210 , A voltage U Thermo by means of a measuring device 250 measured, the difference in the transition from the meander 210 to the supply line 206 adjusting temperature T2 and at the transition from the Heizmäander 210 to the supply line 205 adjusting temperature T1 is proportional. The measurement of the thermoelectric voltage U Thermo takes place when the heating voltage U H = 0, by a voltage source 240 , which generates the heating voltage U H , by means of the leads 205 . 206 can be fed. By a switching means 230 In the form of a changeover switch it is ensured that the thermoelectric voltage U Thermo is only measured when the heating voltage U H = 0 is switched off.

Bei dem in 3 dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Heizmäander 310 unsymmetrisch ausgebildet, wobei unsymmetrisch bedeutet, dass er teilweise aus einer Platin-Legierung, teilweise aus reinem Platin besteht. In entsprechender Weise besteht eine der Zuleitungen 305 aus reinem Platin, wohingegen die andere Zuleitung 306 aus einer Platin-Legierung besteht. In diesem Falle entsteht nur am Übergang von dem aus reinem Platin bestehenden Teil 311 des Heizmäanders 310 zu dem aus einer Platin-Legierung bestehenden Teil 312 des Heizmäanders 310 eine Thermospannung T1, die auf die oben beschriebene Weise durch eine Spannungs-Messeinrichtung 350 gemessen werden kann. Diese Thermospannung UThermo ist in diesem Falle der Temperatur T1 proportional. Die Messung der Spannung erfolgt nur bei abgeschalteter Heizspannung UH, die durch eine Heizspannungsquelle 340 über die Zuleitungen 305, 306 dem Heizmäander 310 zuführbar ist. Zur abwechselnden Zuführung der Heizspannung UH und zur Messung der Thermospannung UThermo ist wiederum ein Schaltmittel 330 in Form eines Umschalters vorgesehen, das zwischen der Messeinrichtung 350 und der Heizspannungsquelle 340 umschaltet.At the in 3 illustrated embodiment is the Heizmäander 310 asymmetrically formed, where asymmetrical means that it consists partly of a platinum alloy, partly of pure platinum. In a corresponding manner, there is one of the supply lines 305 of pure platinum, whereas the other supply 306 made of a platinum alloy. In this case arises only at the transition from the pure platinum existing part 311 the heating meander 310 to the part made of a platinum alloy 312 the heating meander 310 a thermoelectric voltage T 1 , in the manner described above by a voltage measuring device 350 can be measured. This thermo voltage U Thermo is in this case the temperature T 1 proportional. The measurement of the voltage takes place only when switched off heating voltage U H , by a Heizspannungsquelle 340 over the supply lines 305 . 306 the heating meander 310 can be fed. For alternating supply of the heating voltage U H and for measuring the thermoelectric voltage U Thermo is in turn a switching means 330 provided in the form of a changeover switch between the measuring device 350 and the Heizspannungsquelle 340 switches.

Claims (6)

Verfahren zur Ermittlung von Temperaturgradienten im Inneren eines planaren Sensorelements (12) für einen Gassensor mit einem Keramikkörper (20) und mit einem in den Keramikkörper (20) eingebetteten Heizelement umfassend einen Heizmäander (210; 310) und elektrische Zuleitungen (205, 206; 305, 306), dadurch gekennzeichnet, dass sich die am Übergang vom Heizmäander (210; 310) zu den Zuleitungen (205, 206; 305, 306) einstellende Thermospannung bei abgeschalteter Heizspannungsquelle (240) gemessen wird und aus dieser Thermospannung auf Temperaturgradienten im Inneren des planaren Sensorelements (12) geschlossen wird.Method for determining temperature gradients in the interior of a planar sensor element ( 12 ) for a gas sensor with a ceramic body ( 20 ) and with a in the ceramic body ( 20 ) embedded heating element comprising a Heizmäander ( 210 ; 310 ) and electrical leads ( 205 . 206 ; 305 . 306 ), characterized in that at the transition from Heizmäander ( 210 ; 310 ) to the supply lines ( 205 . 206 ; 305 . 306 ) adjusting thermoelectric voltage when the heating voltage source is switched off ( 240 ) and from this thermal voltage to temperature gradients in the interior of the planar sensor element ( 12 ) is closed. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass bei einem unsymmetrischen Heizelement (310) aus der Thermospannung auf eine Größe geschlossen wird, welche die Strömungsgeschwindigkeit einer Strömung, der das Sensorelement ausgesetzt ist, charakterisiert.Method according to claim 1, characterized in that in the case of an asymmetrical heating element ( 310 ) is closed from the thermal voltage to a magnitude that characterizes the flow rate of a flow to which the sensor element is exposed. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Spannung und/oder der Strom, mit denen das Heizelement (310) beaufschlagt ist, an die aufgrund der Strömung hervorgerufene, auf das Sensorelement (12) einwirkende Kühlleistung angepasst werden.Method according to claim 2, characterized in that the voltage and / or the current with which the heating element ( 310 ) is applied, to the due to the flow caused on the sensor element ( 12 ) acting cooling capacity can be adjusted. Planares Sensorelement für einen Gassensor mit einem Keramikkörper (20) und mit einem in den Keramikkörper (20) eingebetteten Heizelement als Wärmequelle umfassend einen Heizmäander (210; 310) und elektrische Zuleitungen (205, 206; 305, 306), gekennzeichnet durch Schaltungsmittel zur Erfassung der sich am Übergang vom Heizmäander (210; 310) zu den Zuleitungen (205, 206; 305, 306) einstellenden Thermospannung bei abgeschalteter Heizspannungsquelle (240).Planar sensor element for a gas sensor with a ceramic body ( 20 ) and with a in the ceramic body ( 20 ) embedded heating element as a heat source comprising a Heizmäander ( 210 ; 310 ) and electrical leads ( 205 . 206 ; 305 . 306 ), characterized by circuit means for detecting at the transition from Heizmäander ( 210 ; 310 ) to the supply lines ( 205 . 206 ; 305 . 306 ) adjusting the thermoelectric voltage when the heating voltage source is switched off ( 240 ). Planares Sensorelement nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Heizmäander (210; 310) aus einer Platin-Legierung besteht.Planar sensor element according to claim 4, characterized in that the heating meander ( 210 ; 310 ) consists of a platinum alloy. Planares Sensorelement nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Zuleitungen (205, 206; 305, 306) aus Platin oder einer Platin-Legierung bestehen.Planar sensor element according to claim 5, characterized in that the supply lines ( 205 . 206 ; 305 . 306 ) consist of platinum or a platinum alloy.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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