DE102004036214A1 - Mikrofluidik-Anordnung - Google Patents

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Abstract

Bei einer Mikrofluidik-Anordnung mit Fluidkanälen und Sensoren zur Erfassung fluidischer Messgrößen wird eine optimale Anordnung der Sensoren im Hinblick auf die zu erfassenden Messgrößen und den Aufbau und die Herstellung der Mikrofluidik-Anordnung dadurch erreicht, dass eine erste plattenförmige Einheit (1) und eine zweite plattenförmige Einheit (15) unter Zwischenlage einer dünnen Platte (8) aneinander liegen, wobei die erste plattenförmige Einheit (1) die Fluidkanäle (4) enthält, die zumindest an den zur Erfassung der fluidischen Messgrößen vorgesehenen Stellen in Kontakt mit der dünnen Platte (8) sind, wobei die dünne Platte (8) auf ihrer von den Fluidkanälen (4) abgewandten Seite elektrische Strukturen (9) aufweist, die an den vorgegebenen Stellen die Sensoren (10, 12, 13) bilden, und wobei die zweite plattenförmige Einheit (15) Hohlräume (16) zur Aufnahme der Sensoren (10, 12, 13) aufweist und außerhalb der vorgegebenen Stellen zumindest teilweise an der dünnen Platte (8) anliegt.

Description

  • Mikrofluidik-Anordnungen, die je nach Ausführung entweder ein komplettes Mikrofluidik-System oder Teile davon, insbesondere Module, bilden können, versprechen bei der Durchführung von chemischen oder biologischen Analyse- oder Syntheseprozessen erhebliche Verbesserungen bezüglich Qualität, Schnelligkeit und Kostenaufwand gegenüber makroskopischen Anordnungen bzw. Systemen, weil die Reaktions- und Verweilzeiten in den Fluidkanälen vergleichsweise kurz sind und sehr geringe Substanzmengen hochgenau und reproduzierbar eingesetzt und verarbeitet werden können. Insbesondere bei einer Automatisierung der Analyse- oder Syntheseprozesse ist eine geeignete Sensorik erforderlich, um relevante fluidische Messgrößen, wie Druck, Temperatur, Durchfluss usw. zu erfassen.
    •
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Mikrofluidik-Anordnung anzugeben, in der Sensoren im Hinblick auf die zu erfassenden Messgrößen und den Aufbau und die Herstellung der Mikrofluidik-Anordnung optimal angeordnet sind.
  • Gemäß der Erfindung würde die Aufgabe durch die in Anspruch 1 angegebene Mikrofluidik-Anordnung gelöst, von der vorteilhafte Weiterbildungen in den Unteransprüchen angegeben sind.
  • Bei der erfindungsgemäßen Mikrofluidik-Anordnung sind die in einer plattenförmigen Einheit ausgebildeten Fluidkanäle zumindest an den Stellen, wo Messgrößen erfasst werden sollen, lediglich durch eine dünne Platte von den Sensoren getrennt, wobei die Sensoren auf der von den Fluidkanälen abgewandten Seite der dünnen Platte in Form von elektrischen Strukturen ausgebildet sind. Die Sensoren sind somit nicht in den Fluidkanälen angeordnet und reichen auch nicht in diese hinein, so dass zum einen die Fluidströmung in den Fluidkanälen nicht gestört wird und zum anderen die Sensoren nicht in Kontakt mit den möglicherweise chemisch aggressiven Fluiden kommen. Außerdem ist die die Sensoren tragende Platte dünn genug, um die fluidischen Messgrößen durch die Platte hindurch ohne nennenswerte Messverluste erfassen zu können. Bei der dünnen Platte handelt es sich also um eine Trennmembran, die eine Abstützung durch die zweite plattenförmige Einheit benötigt, um die Fluidkanäle in der ersten plattenförmigen Einheit dicht abdecken zu können. So können insbesondere Temperatur und Druck der Fluide durch oder mittels der dünnen Platte verlustlos an die Sensoren übertragen werden, bei denen es sich dementsprechend vorzugsweise um Temperatur- und Drucksensoren handelt. Durch geeignete Materialauswahl für die dünne Platte, insbesondere Glas, kann eine Ausbreitung der erfassten Temperatur in Plattenlängsrichtung weitgehend vermieden werden, so dass die Temperatur an Ort und Stelle genau erfasst wird. Damit ergibt sich im Weiteren auch die Möglichkeit, die Durchflussgeschwindigkeit von Fluiden zu erfassen, indem an einer in Durchflussrichtung vor dem Temperatursensor liegenden Stelle ein pulsweise ansteuerbarer Heizwiderstand auf der dünnen Platte ausgebildet ist und die Laufzeit eines von dem Heizwiderstand erzeugten Temperaturpulses bis zu dem Temperatursensor gemessen wird. Im Falle von Drucksensoren sind auf der dünnen Platte Wandler angeordnet, die Auslenkungen oder Biegungen der dünnen Platte in Messsignale umsetzen. Bei dem Wandler kann es sich beispielsweise um ein Piezoelement oder um einen Plattenkondensator handeln, dessen bewegliche Kondensatorplatte auf der dünnen Platte ausgebildet ist. Auch hier ergibt sich die Möglichkeit der Erfassung der Durchflussgeschwindigkeit, indem zur Erfassung der Durchflussgeschwindigkeit nach dem Laufzeitdifferenz-Prinzip der Drucksensor und ein gegenüber diesem in Durchflussrichtung versetzt angeordneter weiterer Drucksensor jeweils als, z. B. piezoelektrischer, Schallwandler ausgebildet sind., so wie dies beispielsweise bei makroskopischen Ultraschall-Durchflussmessern praktiziert wird.
  • Die dünne Platte ist zwischen der ersten plattenförmigen Einheit mit den Fluidkanälen und einer zweiten plattenförmigen Einheit angeordnet, die an den Stellen, wo die Sensoren auf der dünnen Platte ausgebildet sind, diese aufnehmende Hohlräume aufweist und außerhalb dieser Stellen zumindest teilweise an der dünnen Platte anliegt und diese dabei mechanisch abstützt. Im Falle des oben genannten Plattenkondensators kann die feste Kondensatorplatte in der zweiten plattenförmigen Einheit an der der beweglichen Kondensatorplatte gegenüberliegenden Innenfläche des Hohlraumes angeordnet sein. Alternativ kann die feste Kondensatorplatte in einem kappen- oder brückenförmigen Element angeordnet sein, das innerhalb des Hohlraums angeordnet und auf der dünnen Platte aufgesetzt ist.
  • Die Herstellung der erfindungsgemäßen Mikrofluidik-Anordnung ist besonders einfach und kostengünstig, weil die Sensorik ohne Weiteres an die jeweilige Funktion der Mikrofluidik-Anordnung, z. B. Mischer, Reaktor oder Verweilstrecke, und an die jeweils zum Einsatz kommenden Fluide angepasst werden kann, indem auf der ersten plattenförmigen Einheit mit den Fluidkanälen je nach Anforderung unterschiedliche dünne Platten mit unterschiedlichen Sensoren oder Sensoranordnungen montiert werden.
  • Bei einer vorteilhaften Weiterbildung der erfindungsgemäßen Mikrofluidik-Anordnung können zur Temperierung der Fluide auf der dünnen Platte elektrische Heiz- und/oder Kühlelemente angeordnet und/oder in der auf der dünnen Platte aufliegenden zweiten plattenförmigen Einheit Kanäle zur Führung eines Heiz- und/oder Kühlmediums ausgebildet sein. An den zur Temperierung der Fluide vorgesehenen Stellen sind die Fluide lediglich durch die dünne Platte von den elektrischen Heiz- und/oder Kühlelementen bzw. dem Heiz- und/oder Kühlmedium getrennt, so dass die Fluidtemperierung sehr wirksam erfolgt.
  • Die Fluidkanäle, die Kanäle für das Heiz- und/oder Kühlmedium und/oder die Hohlräume können in Form von Vertiefungen, beispielsweise offenen Kanälen, auf der der dünnen Platte zugewandten Seite der ersten bzw. zweiten plattenförmigen Einheit ausgebildet sein. Alternativ können die erste und/oder zweite plattenförmige Einheit jeweils aus einer Grundplatte mit einer darauf aufgebrachten strukturierten Schicht bestehen, wobei die strukturierte Schicht die Fluidkanäle, die Kanäle für das Heiz- und/oder Kühlmedium bzw. die Hohlräume enthält. Bei der Grundplatte kann es sich beispielsweise um eine Glasplatte und bei der strukturierten Schicht um eine strukturierte Glasfritte handeln.
  • Um eine größere Anzahl von Stellen zu schaffen, an denen fluidische Messgrößen erfasst oder die Fluide temperiert werden können, und um einen möglichst symmetrischen Aufbau der Mikrofluidik-Anordnung zu halten, ist in vorteilhafter Weise die Grundplatte der ersten plattenförmigen Einheit als weitere dünne Platte ausgebildet, an der eine dritte plattenförmige Einheit anliegt, wobei die weitere dünne Platte auf ihrer von den Fluidkanälen abgewandten Seite weitere elektrische Strukturen aufweist, die an zur Erfassung der fluidischen Messgrößen vorgesehenen weiteren Stellen als weitere Sensoren ausgebildet sind, und wobei die dritte plattenförmige Einheit Hohlräume zur Aufnahme der weiteren Sensoren aufweist und außerhalb der weiteren Stellen zumindest teilweise an der weiteren dünnen Platte anliegt. Ergänzend oder alternativ kann die dritte plattenförmige Einheit weitere Kanäle zur Führung eines Heiz- und/oder Kühlmediums enthalten, so dass die Fluide in der ersten plattenförmigen Einheit an zwei einander gegenüberliegenden Seiten temperiert werden können. Dies hat den Vorteil, dass neben einer besonders effektiven Temperierung der Fluide ein in etwa symmetrisches Temperaturprofil in der erfindungsgemäßen Mikrofluidik-Anordnung erreicht werden kann, so dass ein Verziehen oder Verbiegen der durch Platten aufgebauten Mikrofluidik-Anordnung aufgrund unterschiedlicher Temperaturausdehnungen weitgehend vermieden werden kann.
  • Die Fluidkanäle können innerhalb einer einzigen Lage der ersten plattenförmigen Einheit ausgebildet sein. Alternativ ist die erste plattenförmige Einheit mehrlagig ausgebildet, wobei die Fluidkanäle in zumindest einer inneren Lage verlaufen und im Bereich der zur Erfassung der fluidischen Messgrößen und/oder zur Fluidtemperierung vorgesehenen Stellen Fluidverbindungen zu einer an die dünnen Platte und/oder weitere dünne Platte angrenzenden äußeren Lage aufweisen.
    •
  • Zur weiteren Erläuterung der Erfindung wird im Folgenden auf die Zeichnung Bezug genommen, die in den
  • 1, 2 und 3 drei unterschiedliche Ausführungsbeispiele der erfindungsgemäßen Mikrofluidik-Anordnung jeweils im Schnitt darstellen.
  • 1 zeigt eine Mikrofluidik-Anordnung in Form eines Reaktormoduls für ein Mikrofluidik-System. Eine erste plattenförmige Einheit 1 besteht aus einer Grundplatte 2, hier einer Glasplatte, auf der eine strukturierte Schicht 3, hier eine Glasfritte, aufgebracht ist, die Fluidkanäle 4 enthält. Bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel bilden die Fluidkanäle 4 einen Reaktor 5 mit einer Fluidzuführung 6 für die Edukte und einer Fluidabführung 7 für das Produkt. Alternativ kann die erste plattenförmige Einheit aus einer einzigen Platte bestehen, in der die Fluidkanäle durch ein geeignetes Verfahren der Mikrotechnik (zum Beispiel Ätzverfahren, LIGA-Technik oder Mikromechanik) eingebracht sind. Die nach oben offenen Fluidkanäle 4 sind mit einer dünnen Platte 8, ebenfalls aus Glas, abgedeckt, die auf der ersten plattenförmigen Einheit 1 aufliegt. Auf ihrer von den Fluidkanälen 4 abgewandten Seite trägt diese dünne Platte 8 elektrische Strukturen 9, die im Bereich der Fluidzuführung 6 als Temperatursensor 10, im Bereich des Reaktors 5 als Heizelement 11 und im Bereich der Fluidabführung 7 als weiterer Temperatursensor 12 und Drucksensor 13 mit den zugehörigen elektrischen Anschlussleitungen 14 ausgebildet sind. Auf der dünnen Platte 8 liegt eine weitere plattenförmige Einheit 15 auf, die im Bereich der Sensoren 10, 12 und 13 sowie des Heizelements 11 diese aufnehmende Hohlräume 16 enthält und ansonsten die dünne Platte 8 gegen die erste plattenförmige Einheit 1 presst. Zur Ausbildung der Hohlräume 16 ist die zweite plattenförmige Einheit 15 ähnlich wie die erste plattenförmige Einheit 1 mit einer Grundplatte 17 und einer strukturierten Schicht 18 aufgebaut. Zur Einleitung bzw. Ableitung von Fluiden 19 in die Mikrofluidik-Anordnung enthält die zweite plattenförmige Einheit 15 außerhalb der Hohlräume 16 sowie die dünne Platte 8 durchgehende Öffnungen 20 und 21 bis hin zu den die Fluidzuführung 6 bzw. die Fluidabführung 7 bildenden Fluidkanälen 4. Zur Temperierung der Fluide 19 im Bereich des Reaktors 5 kann die zweite plattenförmige Einheit 15 weitere Fluidkanäle 22 zur Führung eines Heiz- und/oder Kühlmediums 23 enthalten. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel werden die weiteren Fluidkanäle 22 von dem das Heizelement 11 aufnehmenden Hohlraum 16 gebildet. Die Zuführung bzw. Abführung des Heiz- und/oder Kühlmediums 23 in die bzw. aus den weiteren Fluidkanälen 22 erfolgt durch weitere Öffnungen 24 bzw. 25 in der Grundplatte 17 der zweiten plattenförmigen Einheit 15.
  • Die dünne Platte 8 ermöglicht eine sehr gute Temperatur- bzw. Wärmeübertragung zwischen dem Fluid 19 in den Fluidkanälen 4 und den Temperatursensoren 10 und 12 bzw. dem Heizelement 11 und dem Heiz- und/oder Kühlmedium 23. Darüber hinaus wird die dünne Platte 8 durch den Druck des Fluids 19 in den Fluidkanälen 4 auf Biegung beansprucht und überträgt so den Druck auf den Drucksensor 13. Dieser kann beispielsweise aus einem Piezoelement bestehen oder ist, wie im vorliegenden Falle, als Plattenkondensator ausgebildet, dessen bewegliche Kondensatorplatte 26 auf der dünnen Platte 8 und dessen feste Kondensatorplatte 27 in der zweiten plattenförmigen Einheit 15 an der der beweglichen Kondensatorplatte 26 gegenüberliegenden Innenfläche des Hohlraumes 16 angeordnet ist. Um eine selektive Durchbiegung der dünnen Platte 8 im Bereich des Drucksensors 13 zu erhalten, kann die Dicke der dünnen Platte 8 dort durch ein- oder beidseitigen Materialabtrag (z. B. Ätzen) lokal reduziert sein.
  • Das in 2 gezeigte Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Mikrofluidik-Anordnung unterscheidet sich von dem nach 1 dadurch, dass die Grundplatte 2 der ersten plattenförmigen Einheit 1 als weitere dünne Platte 28 ausgebildet ist, an der eine dritte plattenförmige Einheit 29 anliegt. Die weitere dünne Platte 28 weist auf ihrer von den Fluidkanälen 4 abgewandten Seite weitere elektrische Strukturen 30 auf, die im Bereich der Fluidzuführung 6 und der Fluidabführung 7 als Drucksensoren 31 bzw. 32 ausgebildet sind. Die dritte plattenförmige Einheit 29 ist prinzipiell genauso wie die zweite plattenförmige Einheit 15 aufgebaut und enthält Hohlräume 33 zur Aufnahme der Sensoren 31 und 32 sowie einen weiteren Hohlraum 34 im Bereich des Reaktors 5, um diesen auch von der Unterseite her mit dem Heiz- und/oder Kühlmedium 23 temperieren zu können. Außerhalb der Hohlräume 33 und 34 liegt die dritte plattenförmige Einheit 29 an der weiteren dünnen Platte 28 an und drückt diese gegen die strukturierte Schicht 3 mit den Fluidkanälen 4. Da der Drucksensor 32 den Druck des Fluids 19 in der Fluidabführung 7 am Ausgang des Reaktors 5 misst, ist der in 1 gezeigte Drucksensor 13 auf der oberen dünnen Platte 8 nicht mehr erforderlich. Bei dem in 2 gezeigten Ausführungsbeispiel sind demnach die beiden zur Temperaturmessung vor bzw. hinter dem Reaktor 5 dienenden Temperatursensoren 10 und 12 auf der oberen dünnen Platte 8 und die beiden zur Druckmessung vor bzw. hinter dem Reaktor 5 dienenden Drucksensoren 31 und 32 auf der unteren dünnen Platte 28 ausgebildet. Das in 2 gezeigte Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Mikrofluidik-Anordnung zeichnet sich durch einen symmetrischen Aufbau aus. Da die Temperierung des Fluids 19 in den Fluidkanälen 4 beidseitig des Reaktors 5 erfolgt, wird ein in etwa symmetrisches Temperaturprofil in der Mikrofluidik-Anordnung erreicht, so dass ein Verziehen oder Verbiegen der Mikrofluidik-Anordnung aufgrund unterschiedlicher Temperaturausdehnungen weitgehend vermieden werden kann und kein Temperaturgradient über die Höhe der Fluidkanäle 4 des Reaktors 5 entsteht.
  • Bei der in 3 gezeigten Ausführungsvariante der erfindungsgemäßen Mikrofluidik-Anordnung ist die erste plattenförmige Einheit 1 mehrlagig ausgebildet, wobei die Fluidkanäle 4 in einer inneren Lage 35 verlaufen und im Bereich der zur Erfassung der fluidischen Messgrößen und/oder zur Fluidtemperierung vorgesehenen Stellen Fluidverbindungen 36 zu einer an die dünnen Platte 8 angrenzenden äußeren Lage 37 aufweisen. Alternativ zu der Darstellung in den 1 und 2 ist bei dem Plattenkondensator 13 die feste Kondensatorplatte 27 in einem kappen- oder brückenförmigen Element 38 angeordnet sein, das innerhalb des Hohlraums 16 in der zweiten plattenförmigen Einheit 15 angeordnet und auf der dünnen Platte 8 aufgesetzt ist.

Claims (14)

  1. Mikrofluidik-Anordnung mit Fluidkanälen (4) und mit Sensoren (10, 12, 13) zur Erfassung fluidischer Messgrößen sowie mit einer ersten plattenförmigen Einheit (1) und einer zweiten plattenförmigen Einheit (15), die unter Zwischenlage einer dünnen Platte (8) aneinander liegen, wobei die erste plattenförmige Einheit (1) die Fluidkanäle (4) enthält, die zumindest an den zur Erfassung der fluidischen Messgrößen vorgesehenen Stellen in Kontakt mit der dünnen Platte (8) sind, wobei die dünne Platte (8) auf ihrer von den Fluidkanälen (4) abgewandten Seite elektrische Strukturen (9) aufweist, die an den vorgegebenen Stellen die Sensoren (10, 12, 13) bilden, und wobei die zweite plattenförmige Einheit (15) Hohlräume (16) zur Aufnahme der Sensoren (10, 12, 13) aufweist und außerhalb der vorgegebenen Stellen zumindest teilweise an der dünnen Platte (8) anliegt.
  2. Mikrofluidik-Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Fluidkanäle (4) an mindestens einer weiteren, zur Fluidtemperierung vorgesehenen Stelle an der dünnen Platte (8) anliegen und dass die zweite plattenförmige Einheit (15) Kanäle (22) zur Führung eines Heiz- und/oder Kühlmediums (23) enthält, die im Bereich der für die Fluidtemperierung vorgesehenen weiteren Stelle in Kontakt mit der dünnen Platte (8) sind.
  3. Mikrofluidik-Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Fluidkanäle (4) an mindestens einer weiteren, zur Fluidtemperierung vorgesehenen Stelle an der dünnen Platte (8) anliegen und dass die dünne Platte (8) an dieser weiteren Stelle auf ihrer von den Fluidkanälen (4) abgewandten Seite ein elektrische Heiz- und/oder Kühlelement (11) trägt.
  4. Mikrofluidik-Anordnung nach einen der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Fluidkanäle (4), die Kanäle (22) zur Führung des Heiz- und/oder Kühlmediums (23) und/oder die Hohlräume (16) in Form von Vertiefungen auf der der dünnen Platte (8) zugewandten Seite der ersten plattenförmigen Einheit (1) bzw. zweiten plattenförmigen Einheit (15) ausgebildet sind.
  5. Mikrofluidik-Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die erste plattenförmige Einheit (1) und/oder zweite plattenförmige Einheit (15) jeweils aus einer Grundplatte (2, 17) mit einer darauf aufgebrachten strukturierten Schicht (3, 18) besteht, wobei die strukturierte Schicht (3, 18) die Fluidkanäle (4), die Kanäle (22) zur Führung des Heiz- und/oder Kühlmediums (23) und/oder die Hohlräume (16) enthält.
  6. Mikrofluidik-Anordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Grundplatte (2) der ersten plattenförmigen Einheit (1) als weitere dünne Platte (28) ausgebildet ist, an der eine dritte plattenförmige Einheit (29) anliegt, dass die weitere dünne Platte (28) auf ihrer von den Fluidkanälen (4) abgewandten Seite weitere elektrische Strukturen (30) aufweist, die an zur Erfassung der fluidischen Messgrößen vorgesehenen weiteren Stellen als weitere Sensoren (31, 32) ausgebildet sind, und dass die dritte plattenförmige Einheit (29) Hohlräume (33) zur Aufnahme der weiteren Sensoren (31, 32) aufweist und außerhalb der vorgesehenen weiteren Stellen zumindest teilweise an der weiteren dünnen Platte (28) anliegt.
  7. Mikrofluidik-Anordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Grundplatte (2) der ersten plattenförmigen Einheit (1) als weitere dünne Platte (28) ausgebildet ist, an der eine dritte plattenförmige Einheit (29) anliegt, und dass die dritte plattenförmige Einheit (29) weitere Kanäle (34) zur Führung eines Heiz- und/oder Kühlmediums (23) enthält, die im Bereich von für die Fluidtemperierung vorgesehenen Stellen in Kontakt mit der weiteren dünnen Platte (28) sind.
  8. Mikrofluidik-Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die erste plattenförmige Einheit (1) mehrlagig ausgebildet ist, wobei die Fluidkanäle (4) in zumindest einer inneren Lage (35) verlaufen und im Bereich der zur Erfassung der fluidischen Messgrößen und/oder zur Fluidtemperierung vorgesehenen Stellen Fluidverbindungen (36) zu einer an die dünnen Platte (8) und/oder weitere dünne Platte (28) angrenzenden äußeren Lage (37) aufweisen.
  9. Mikrofluidik-Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensoren Temperatursensoren (10, 12) mit temperaturveränderlichen Widerständen umfassen.
  10. Mikrofluidik-Anordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass zur Erfassung der Durchflussgeschwindigkeit an einer in Durchflussrichtung des Fluids vor dem Temperatursensor liegenden Stelle ein pulsweise ansteuerbarer Heizwiderstand auf der dünnen Platte bzw. weiteren dünnen Platte angeordnet ist.
  11. Mikrofluidik-Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensoren Drucksensoren (13, 31, 32) mit einem auf Auslenkung und/oder Biegung reagierenden Wandler aufweisen, der auf der an der für die Druckerfassung vorgesehenen Stelle durch den Fluiddruck auslenkbaren bzw. biegbaren dünnen Platte (8) bzw. weiteren dünnen Platte (28) aufgebracht ist.
  12. Mikrofluidik-Anordnung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Drucksensor (13, 31, 32) einen Plattenkondensator mit einer beweglichen Kondensatorplatte (26) auf der dünnen Platte (8) bzw. weiteren dünnen Platte (28) und mit einer festen Kondensatorplatte (27) an der zweiten plattenförmigen Einheit (15) bzw. dritten plattenförmigen Einheit (29) umfasst.
  13. Mikrofluidik-Anordnung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Drucksensor (13, 31, 32) einen Plattenkondensator mit einer beweglichen Kondensatorplatte (26) auf der dünnen Platte (8) bzw. weiteren dünnen Platte (28) und mit einer festen Kondensatorplatte (27) in einem kappen- oder brückenförmigen Element (38) umfasst, das sich innerhalb des Hohlraums (16) über die bewegliche Kondensatorplatte (26) erstreckt und außerhalb der beweglichen Kondensatorplatte (26) auf dünnen Platte (8) bzw. weiteren dünnen Platte (28) aufsitzt.
  14. Mikrofluidik-Anordnung nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass zur Erfassung der Durchflussgeschwindigkeit nach dem Laufzeitdifferenz-Prinzip der Drucksensor und ein gegenüber diesem in Durchflussrichtung versetzt angeordneter weiterer Drucksensor jeweils als Schallwandler ausgebildet sind.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2040045A2 (de) 2007-09-20 2009-03-25 Yamatake Corporation Durchflusssensor und Herstellungsverfahren dafür
EP2240744A4 (de) * 2008-01-08 2011-08-03 Amir Genosar Multisensor-durchflussmengenmesser und verfahren zu seiner herstellung
WO2013110603A1 (de) * 2012-01-27 2013-08-01 Siemens Aktiengesellschaft Durchfluss-sensor
WO2014194982A3 (de) * 2013-06-08 2015-03-12 Dräger Safety AG & Co. KGaA Drucksensor, messvorrichtung, reaktionsträger und messverfahren

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2040045A2 (de) 2007-09-20 2009-03-25 Yamatake Corporation Durchflusssensor und Herstellungsverfahren dafür
EP2040045A3 (de) * 2007-09-20 2010-05-26 Yamatake Corporation Durchflusssensor und Herstellungsverfahren dafür
EP2282180A1 (de) * 2007-09-20 2011-02-09 Yamatake Corporation Durchflusssensor und Verfahren für seine Herstellung
US8166814B2 (en) 2007-09-20 2012-05-01 Yamatake Corporation Flow sensor and manufacturing method therefor
EP2240744A4 (de) * 2008-01-08 2011-08-03 Amir Genosar Multisensor-durchflussmengenmesser und verfahren zu seiner herstellung
WO2013110603A1 (de) * 2012-01-27 2013-08-01 Siemens Aktiengesellschaft Durchfluss-sensor
WO2014194982A3 (de) * 2013-06-08 2015-03-12 Dräger Safety AG & Co. KGaA Drucksensor, messvorrichtung, reaktionsträger und messverfahren
US9841336B2 (en) 2013-06-08 2017-12-12 Dräger Safety AG & Co. KGaA Pressure sensor, measuring device, reaction carrier and measuring method
DE102013009641B4 (de) * 2013-06-08 2021-05-06 Dräger Safety AG & Co. KGaA Drucksensor mit Membran deren variable Anlagefläche optisch ausgelesen werden kann, Messvorrichtung, Reaktionsträger und Messverfahren mit diesem Drucksensor

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