DE102004027898A1

DE102004027898A1 - Transport unit for display screens, e.g. for mobile phones or DVD players, supports display in hanging position between fixed strip and smooth cylinder which is pressed against it by wedge-shaped jaws

Info

Publication number: DE102004027898A1
Application number: DE200410027898
Authority: DE
Inventors: Mario RÖDER; Peter Traßl; Andreas Caspari; Udo Willkommen
Original assignee: Leybold Optics GmbH
Current assignee: Buehler Alzenau GmbH
Priority date: 2004-06-09
Filing date: 2004-06-09
Publication date: 2006-01-05

Abstract

The transport unit for display screens (130), e.g. for mobile phones or DVD players, supports the display in a hanging position between a fixed strip (13) and a smooth cylinder (120). This is pressed against it by wedge-shaped jaws (20, 30).

Description

Die Erfindung betrifft ein Transportmodul und ein Transportsystem für ein flaches Substrat gemäß den Oberbegriffen der unabhängigen Patentansprüche.The The invention relates to a transport module and a transport system for a flat Substrate according to the generic terms the independent one Claims.

Für die Herstellung von optischen Displays werden zunehmend größere Substrate gefordert. Derartige Displays finden Anwendung vor allem bei kleinen und mittelgroßen Anzeigesystemen für beispielsweise Handys, DVD-Player, Notebooks, TV-Geräte, Autoradios oder im industriellen Einsatz. Gegenwärtig dominieren mit über 80 % Flüssigkeitskristall-Displays, während alternative Fertigungsverfahren für Plasma-Displays mit gegenwärtig 15 % und organische Leuchtdioden mit gegenwärtig 2 % schon bereitstehen. Insbesondere bei den genannten alternativen Fertigungsverfahren entstehen erhöhte Anforderungen an die Gleichmäßigkeit einer Oberflächenbearbeitung, insbesondere der Beschichtung der Substrate, die mit wachsender Substratgröße bisher nur mit Schwierigkeiten erreichbar sind.For the production Optical displays are increasingly demanding larger substrates. such Displays are used primarily for small and medium-sized display systems for example Cell phones, DVD players, notebooks, TVs, car radios or industrial Commitment. Currently dominate with over 80% liquid crystal displays, while alternative manufacturing processes for plasma displays with currently 15% and organic light-emitting diodes with present 2% already ready. In particular, in the alternative mentioned Manufacturing processes arise increased requirements for uniformity a surface treatment, In particular, the coating of the substrates with increasing Substrate size so far can only be reached with difficulty.

Aus der EP 0 346 815 ist bereits ein Transportsystem für eine Vakuumbehandlungsvorrichtung bekannt mit einer Halterungsvorrichtung zur Halterung von zu behandelnden Substraten und Transportmitteln zum Transport der besagten Halterungsvorrichtung in die Vakuumvorrichtung. Die Halterungsvorrichtung beinhaltet eine sich vertikal erstreckende Basiskomponente, mit der eine Glasplatte gehalten werden kann, mit Halterungselementen im oberen und unteren Bereich der Basis. Die Glasplatte ist vertikal stehend angeordnet, setzt dabei auf dem unteren Halterungselement auf und wird in einem oberen Bereich mit Klammern an dem oberen Halterungselement fixiert. Die stehende Anordnung der Glasplatte verursacht Verformungskräfte, die bei großen Substraten zu Ungleichmäßigkeiten bei einer Beschichtung der Glasplatte führen können. Ferner ist bereits eine vertikale Halterung eines auf einer Unterkante stehenden Substrats in einem Halterahmen bekannt.From the EP 0 346 815 A transport system for a vacuum treatment device is already known with a holding device for holding substrates to be treated and transport means for transporting said holding device into the vacuum device. The mounting device includes a vertically extending base member for holding a glass plate with support members in the upper and lower portions of the base. The glass plate is arranged vertically standing, it sits on the lower support member and is fixed in an upper region with brackets on the upper support member. The standing arrangement of the glass plate causes deformation forces, which can lead to unevenness in a coating of the glass plate with large substrates. Furthermore, a vertical support of a substrate standing on a lower edge in a holding frame is already known.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Schaffung eines Transportmoduls sowie eines Transportsystems mit einem derartigen Transportmodul für flache Substrate, mit denen eine Minimierung von auf das flache Substrat wirkenden Verformungskräften, insbesondere während des Transports und während eines Bearbeitungsprozesses in einer Vakuumvorrichtung, erreicht werden kann.task The present invention provides a transport module and a transport system with such a transport module for flat Substrates that minimize on the flat substrate acting deformation forces, in particular while of transport and during one Machining process in a vacuum device can be achieved can.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe durch die Merkmale der unabhängigen Patentansprüche gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind den abhängigen Ansprüchen zu entnehmen.According to the invention Problem solved by the features of the independent claims. advantageous Further developments of the invention are the dependent claims remove.

Das erfindungsgemäße Transportmodul für ein flaches Substrat beinhaltet zumindest eine mit einer Antriebseinrichtung verbindbare Halteeinrichtung zur vertikalen Halterung des Substrats, wobei die Halterungseinrichtung eine hängende Halterung des Substrats erlaubt und zumindest zwei einander zugeordnete, jeweils mit Kontaktflächen versehene Klemmelemente aufweist, mittels denen Klemmkraft in zugeordnete Kontaktbereiche der Substratoberfläche applizierbar ist. Die hängende Halterung des Substrats ist weitgehend verformungsfrei, wobei durch das Eigengewicht des hängenden Substrats eine Quer-Positionierung des Substrats gewährleistet ist. Gegenüber einer Halterung eines Substrats in einem Halterahmen, insbesondere bei einem auf einer Unterkante stehenden Substrat, ist es bei dem erfindungsgemäßen Transportmodul auch möglich, durch unterschiedliche Wärmeausdehnungen von Substrat und Halterungsrahmen bedingte Deformationen des Substrats auszuschließen.The inventive transport module for a Flat substrate includes at least one with a drive device connectable holding device for vertical mounting of the substrate, wherein the support means is a hanging support of the substrate allowed and at least two mutually associated, each provided with contact surfaces Having clamping elements by means of which clamping force in associated Contact areas of the substrate surface can be applied. The hanging bracket of the substrate is largely free of deformation, with its own weight of the hanging Substrate ensures a transverse positioning of the substrate is. Across from a holder of a substrate in a holding frame, in particular in a standing on a lower edge substrate, it is in the inventive transport module also possible, by different thermal expansions substrate and support frame conditional deformations of the substrate excluded.

Die erfindungsgemäße Ausbildung des Transportmoduls ermöglicht einen sicheren Transport in einer Vakuumkammer insbesondere von großflächigen Substraten wie etwa optischen Displays.The inventive training of the transport module allows a safe transport in a vacuum chamber in particular of large-area substrates such as optical displays.

Die Klemmkraft kann auf beliebige Weise erzeugt werden.The Clamping force can be generated in any way.

Bei einer zweckmäßigen Weiterbildung ist die Klemmkraft von einer mechanischen Klemmvorrichtung erzeugbar, womit eine konstruktiv einfache und von äußeren Energiequellen unabhängige Halterung der Substrate erzielt werden kann.at an appropriate training if the clamping force can be generated by a mechanical clamping device, with a structurally simple and independent of external energy sources holder the substrates can be achieved.

Bei einer weiteren Weiterbildung der Erfindung wird die Klemmkraft von einer Magneteinrichtung erzeugt, womit ein einfaches Handling und eine hohe Stabilität auch bei schnellen Lastveränderungen schwerer Substrate erreicht werden kann.at Another embodiment of the invention, the clamping force of a magnetic device generates, so easy handling and a high stability even with fast load changes heavy substrates can be achieved.

Bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist der Halteeinrichtung eine im Halterungszustand in einem geodätisch unteren Bereich des Substrats anordenbare Führungseinrichtung zugeordnet, so dass eine erhöhte Querstabilität und verbesserte Vertikalausrichtung der Substrate im Halterungszustand erreicht werden kann. Besonders bevorzugt ist dabei, wenn die Führungseinrichtung an ein stationäres Führungselement magnetisch-berührungslos ankoppelbar ist.at a further embodiment In the invention, the holding device is a holding state in a geodesic associated with the lower region of the substrate, so that increased lateral stability and improved vertical alignment of the substrates in the mounting state can be achieved. It is particularly preferred if the guide device to a stationary one guide element electromagnetic contactless can be coupled.

Die Erfindung umfasst ferner ein Transportsystem mit einer Transportbahn und zumindest einem Transportmodul, das eine Halterungseinrichtung zur vertikal hängenden Halterung des Substrats gemäß den Merkmalen des Patentanspruchs 1 umfaßt. Das erfindungsgemäße Transportsystem erlaubt einen sicheren und kostengünstigen Transport von großflächigen Substraten wie etwa für optische Displays, insbesondere bei fabrikmäßigen hochpräzisen Bearbeitungsprozessen, vorzugsweise Beschichtungsprozessen.The invention further comprises a transport system with a transport path and at least one transport module, which ge a support means for vertically hanging support of the substrate according to the features of claim 1. The transport system according to the invention allows safe and cost-effective transport of large-area substrates such as for optical displays, especially in factory-high-precision machining processes, preferably coating processes.

Der nachfolgenden Beschreibung der Erfindung anhand von Zeichnungen sind auch unabhängig von der Zusammenfassung in den Patentansprüchen weitere Merkmale, Einzelheiten und Vorteile der Erfindung zu entnehmen. Es zeigen in schematischer DarstellungOf the following description of the invention with reference to drawings are also independent from the summary in the claims further features, details and to take advantages of the invention. It show in a schematic representation

1 einen Schnitt B-B durch eine Halterungseinrichtung eines erfindungsgemäßen Transportmoduls 1 a section BB through a mounting device of a transport module according to the invention

2 eine Vorderansicht einer Halterungseinrichtung eines erfindungsgemäßen Transportmoduls 2 a front view of a mounting device of a transport module according to the invention

3 einen Schnitt A-A einer Halterungseinrichtung eines erfindungsgemäßen Transportmoduls 3 a section AA of a mounting device of a transport module according to the invention

4 eine räumliche Darstellung eines erfindungsgemäßen Transportmoduls. 4 a spatial representation of a transport module according to the invention.

Das erfindungsgemäße Transportmodul findet bevorzugt Anwendung in einem Transportsystem für eine Produktionsanlage, die für Display-Beschichtungsprozesse geeignet ist. Bevorzugt ist eine Durchlaufanlage für flache Substrate aus Glas. Eine derartige Produktionsanlage umfasst Vakuumkammermodule, vorzugsweise aus Edelstahl. Die Module können Prozessmodule, Erweiterungsmodule, Lowed-Lock-Module, Heizmodule, Transfer- oder Wendekammern und dergleichen sein. Die Prozessmodule beinhalten eine vorzugsweise auf einer Seitenfläche exzentrisch angebrachte Sputter-Kathode zur Beschichtung der Substrate. Die Substratträgerbreite wird so gewählt, dass alle Teilschritte des Transportvorgangs innerhalb der Kammern durchgeführt werden können, insbesondere die Übernahme des Substrats durch eine Schleuse, Übergabe von einem schnelleren zu einem langsameren Antrieb, Aufbau und Auflösung eines kontinuierlichen Substratflusses, Wobbeln des Substrats vor der Kathode. In den Kammern sind Heizeinrichtungen installiert, mit denen die Substrate auf eine vorgegebene Temperatur von beispielsweise 300 Grad C aufgeheizt werden können. Üblicherweise werden die Substratträger von einer Bereitstellungsstation, in der die Scheiben aus der Waagerechten in das Transportmodul und in die Senkrechte transferiert werden, in eine erste Kammer gefahren.The inventive transport module finds preferential application in a transport system for a production plant, the for Display coating processes is suitable. Preferred is a continuous flow system for flat Substrates of glass. Such a production plant comprises vacuum chamber modules, preferably made of stainless steel. The modules can be process modules, expansion modules, Lowed-lock modules Heating modules, transfer or reversing chambers and the like. The Process modules include one eccentric preferably on one side surface attached sputtering cathode for coating the substrates. The Substrate carrier width is chosen so that all sub-steps of the transport process within the chambers carried out can be especially the takeover of the substrate through a lock, passing from a faster to a slower drive, setup and resolution of a continuous Substrate flow, wobble the substrate in front of the cathode. In the chambers are heaters installed with which the substrates on a predetermined temperature of, for example, 300 degrees C heated can be. Usually become the substrate carrier of a staging station where the panes are horizontal be transferred to the transport module and into the vertical, drove to a first chamber.

Zur Vermindung von Partikelemission während des Transports der Substrate durch die Anlage wird, obwohl auch Rollensysteme denkbar sind, bevorzugt ein reibungsfreies magnetisches Transportsystem verwendet. Als reibungsfreies magnetisches Antriebssystem mit geringer Partikelemission wird bevorzugt ein magnetischer Linearantrieb eingesetzt. Die Flachsubstrate sind während des Transports in den Kammern senkrecht hängend und können dabei mit verschiedenen Geschwindigkeiten durch die Kammern befördert werden. Das Transportmodul ist innerhalb der Kammern oberhalb der Bereiche, in denen Bearbeitungsprozesse, insbesondere Beschichtungsprozesse, erfolgen, angeordnet. Zur Bereichstrennung von Transportsystem und Prozessräumen sind ferner verschiedene Einrichtungen, insbesondere Abschirmbleche, Glastrennung und elektrische Potentialführung vorgesehen.to Reduction of particulate emission during transport of the substrates although roller systems are conceivable, the system is preferred by the system used a frictionless magnetic transport system. As a frictionless magnetic drive system with low particle emission is preferred a magnetic linear drive used. The flat substrates are while the transport in the chambers hanging vertically and can with different Speeds are transported through the chambers. The transport module is within the chambers above the areas where machining processes, in particular coating processes, take place, arranged. For area separation of transport system and process spaces Furthermore, various devices, in particular shielding plates, Glass separation and electrical potential guidance provided.

Das erfindungsgemäße Transportmodul für ein flaches Substrat weist zumindest eine mit einer Antriebseinrichtung verbindbare Halterungseinrichtung zur vertikalen Halterung des Substrats auf. Die Halterungseinrichtung kann sich in einem Halterungszustand oder in einem Öffnungszustand sowie in Zwischenzuständen befinden. Die Halterungseinrichtung erlaubt eine hängende Halterung des Substrats, wobei einander zugeordnete Klemmelemente vorgesehen sind, zwischen denen das Substrat in einem Halterungszustand angeordnet ist. Die Klemmelemente sind jeweils mit Kontaktflächen versehen, mittels denen Klemmkraft in den Kontaktflächen zugeordneten Kontaktbereichen der Substratoberfläche einleitbar ist. Ferner ist vorgesehen, dass in einem Öffnungszustand der Halterungseinrichtung keine Klemmkraft in die Kontaktbereiche einleitbar ist. Die Kontaktbereiche sind bevorzugt in einer oberen oder seitlichen Randzone des Substrats angeordnet, womit eine besonders stabile hängende Halterung des Substrats erreicht werden kann. Die Klemmkraft ist die Normalkomponente einer zwischen zumindest einer Kontaktfläche eines Klemmelements und einem Kontaktbereich der Substratoberfläche auftretenden Reibungskraft.The inventive transport module for a Flat substrate has at least one with a drive device connectable mounting means for vertical support of the substrate on. The mounting device can be in a mounting state or in an open state as well as in intermediate states are located. The mounting device allows a hanging bracket of the substrate, with associated clamping elements provided between which the substrate is arranged in a holding state is. The clamping elements are each provided with contact surfaces, by means of which clamping force in the contact surfaces associated contact areas the substrate surface can be introduced. It is further provided that in an open state the holding device no clamping force in the contact areas can be introduced. The contact areas are preferably in an upper or lateral edge zone of the substrate, whereby a particularly stable hanging Holder of the substrate can be achieved. The clamping force is the normal component of a between at least one contact surface of a Clamping elements and a contact area of the substrate surface occurring Frictional force.

Zumindest eine der Kontaktflächen kann im Halterungszustand unmittelbar auf einem Kontaktbereich der Substratfläche aufliegen. In einer weiteren Ausbildungsform der Erfindung kann die Substratoberfläche in zumindest einem Kontaktbereich ein Adapterelement aufweisen, auf dem die Kontaktfläche im Halterungszustand aufliegt,. Das Adapterelement kann beispielsweise aus Teflon bestehen.At least one of the contact surfaces can in the holder state directly on a contact area of the substrate surface rest. In a further embodiment of the invention the substrate surface have an adapter element in at least one contact area, on the the contact surface in Holding state rests ,. For example, the adapter element made of Teflon.

Die Kontaktflächen bestehen zweckmäßigerweise aus einem Material, mit dem gewünschte Reibeffekte bei einer Reibpaarung mit der Substratoberfläche bzw. gegebenenfalls einem Adapterelement erzielt werden. Ferner bestehen die Kontakflächen bevorzugt aus einem Material, welches bei Belastung und Reibung partikelarm ist. Besonders geeignet ist eine glatte Kontaktfläche aus Titan oder einer Titanlegierung, die direkt auf der Substratfläche aufliegen kann.The contact surfaces are expediently made of a material, with the desired frictional effects in a friction pairing with the substrate surface or optionally an adapter element can be achieved. Furthermore, the contact surfaces preferably consist of a material which under load and friction is low in particles. Particularly suitable is a smooth contact surface made of titanium or a titanium alloy, which can rest directly on the substrate surface.

Die 1 bis 3 zeigen eine schematische Darstellung einer Halterungseinrichtung 1 mit einer mechanischen Vorrichtung zur Erzeugung der Klemmkraft.The 1 to 3 show a schematic representation of a mounting device 1 with a mechanical device for generating the clamping force.

In 1 ist die Halterungseinrichtung 1 in einem Schnitt B-B mit einem Substrat 130 im Halterungszustand dargestellt. Die Klemmkraft wird bei dieser Ausführungsform der Erfindung mechanisch erzeugt. Die Klemmeinrichtung weist als erstes Klemmelement einen Klemmzylinder 120 mit vorzugsweise glatter Oberfläche auf. Ein zweites Klemmelement ist als Gegenfläche 12 zu dem Klemmzylinder 120 ausgebildet. Der Klemmzylinder 120 liegt an einer Klemmschräge 21 eines Klemmblocks 20 an.In 1 is the mounting device 1 in a section BB with a substrate 130 shown in the holder state. The clamping force is generated mechanically in this embodiment of the invention. The clamping device has a clamping cylinder as the first clamping element 120 preferably with a smooth surface. A second clamping element is as a counter surface 12 to the clamping cylinder 120 educated. The clamping cylinder 120 lies on a clamping slope 21 a terminal block 20 at.

Zur lateralen Sicherung des Klemmzylinders 120 ist ein Sicherungsklotz 30 vorgesehen, durch den eine Verschiebung des Klemmzylinders 120 aus dem Bereich, in dem er an der Gegenfläche anliegt, verhindert wird. Die Halterungseinrichtung 1 weist ferner ein Kopplungselement 10 auf, mit dem es mit einer nicht dargestellten Antriebseinrichtung verbindbar ist. Zur Positionierung von Sicherungsklotz 30 und Klemmklotz 20 sind Zylinderschrauben 100 bzw. 110 vorgesehen. Die Gegenfläche kann auch als Klemmstück, insbesondere als Klemmzylinder ausgebildet sein, wobei geeignete Haltekomponenten seinen sicheren Sitz gewährleisten.For lateral securing of the clamping cylinder 120 is a fuse block 30 provided by the displacement of the clamping cylinder 120 from the area in which it rests against the opposite surface is prevented. The mounting device 1 also has a coupling element 10 on, with which it is connectable to a drive device, not shown. For positioning of safety block 30 and clamp 20 are cylinder screws 100 respectively. 110 intended. The mating surface may also be formed as a clamping piece, in particular as a clamping cylinder, with suitable holding components ensure its secure fit.

Eine Schräge 14 der Gegenleiste 13 verringert den bei Beschichtungsprozessen durch die Gegenleiste 13 bedingten Verschattungsbereich auf der Substratoberfläche.A slant 14 the counter bar 13 reduces the coating process by the counter bar 13 conditional shading area on the substrate surface.

Im Halterungszustand der Halterungseinrichtung 1 ist das Substrat 130 zwischen dem Klemmzylinder 120 und der Gegenfläche 12 durch Reibkräfte fixiert. Der Klemmzylinder 120 kann die dazu notwendige Position in einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung selbständig schwerkraftbedingt einnehmen. Dies ist bevorzugt bei einer manuellen Beladung der Halterungseinrichtung 1 mit dem Substrat 130. In einer weiteren, für eine automatische Be- und Entladung bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist der Klemmzylinder 120 mit einer mechanischen Betätigungseinrichtung koppelbar. Zum Erreichen eines Öffnungszustandes der Halterungseinrichtung 1 wird der Klemmzylinder 120 im wesentlichen vertikal zwischen der Klemmschräge 21 und der Oberfläche des Substrats 130 bewegt, so dass eine Klemmkrafteinleitung in den Kontaktbereich der Oberfläche des Substrats 130 nicht mehr erfolgt. Es versteht sich, dass der Öffnungszustand der Halterungseinrichtung 1 manuell oder durch eine an den Klemmzylinder 120 ankoppelnde Betätigungsmechanik erreicht werden kann.In the holder state of the mounting device 1 is the substrate 130 between the clamping cylinder 120 and the counter surface 12 fixed by frictional forces. The clamping cylinder 120 can take the necessary position in a preferred embodiment of the invention independently gravity. This is preferred for a manual loading of the mounting device 1 with the substrate 130 , In a further preferred embodiment of the invention for automatic loading and unloading, the clamping cylinder is provided 120 Coupled with a mechanical actuator. To achieve an opening state of the mounting device 1 becomes the clamping cylinder 120 essentially vertically between the clamping slope 21 and the surface of the substrate 130 moves, so that a clamping force introduction into the contact region of the surface of the substrate 130 not done anymore. It is understood that the opening state of the mounting device 1 manually or by a to the clamping cylinder 120 Ankoppelnde actuating mechanism can be achieved.

Der Klemmklotz 20 ist, wie in 2 dargestellt, als sich entlang der Oberfläche des Substrats erstreckende Klemmleiste 25 ausgebildet. Vorzugsweise erstreckt sich die Gegenfläche als Gegenleiste 13 entlang der entgegengesetzten Seite des Substrats 130. Die Gegenleiste 13 kann länger oder kürzer als die Klemmleiste 25 sein.The clamp block 20 is how in 2 shown as extending along the surface of the substrate terminal strip 25 educated. Preferably, the counter surface extends as a counter bar 13 along the opposite side of the substrate 130 , The counter bar 13 may be longer or shorter than the terminal strip 25 be.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist ein Klemmzylinder 120 zwischen zwei Klemmleisten 25, 25' angeordnet. Die Endbereiche der Klemmleisten 25, 25' sind als Sicherungsklotz 30 bzw. 30' ausgebildet.In a preferred embodiment of the invention is a clamping cylinder 120 between two terminal strips 25 . 25 ' arranged. The end areas of the terminal strips 25 . 25 ' are as a safety block 30 respectively. 30 ' educated.

Bei einer weiteren Ausführungsform sind zwei Klemmzylinder 120, 120' und eine zwischen ihnen angeordnete gemeinsame Klemmleiste 25 vorgesehen.In another embodiment, two clamping cylinders 120 . 120 ' and a common terminal strip arranged between them 25 intended.

Die Aneinanderreihung von mehreren Klemmzylindern und Klemmleisten ermöglicht. die sichere Halterung auch von sehr großen Substraten.The Stringing together of several clamping cylinders and terminal strips allows. the secure mounting even of very large substrates.

Es versteht sich, dass auch andere Ausbildungen der Halteeinrichtung, bei der die Klemmkraft von einer mechanischen Vorrichtung erzeugbar ist, von der Erfindung umfasst sind.It it is understood that other embodiments of the holding device, in which the clamping force generated by a mechanical device is included in the invention.

In 4 ist eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Transportmoduls mit einer Halteeinrichtung 1 und einer der Halteeinrichtung zugeordneten Führungseinrichtung 150 dargestellt.In 4 is a schematic representation of a transport module according to the invention with a holding device 1 and a guide device associated with the holding device 150 shown.

Die Führungseinrichtung 150 kann durch Klemmkräfte an das Substrat 130 angekoppelt sein und ermöglicht eine bessere vertikale Ausrichtung des Substrats 130. In einer besonders bevorzugten Ausführungsform ist der Führungseinrichtung 150 ein in der 4 nicht dargestelltes stationäres Führungselement zugeordnet. Besonders bevorzugt ist eine magnetisch-berührungslose Koppelung von Führungseinrichtung 150 und stationärem Führungselement, da hiermit Partikelemissionen beim Transport weitgehend vermieden werden können.The management device 150 can by clamping forces to the substrate 130 be coupled and allows a better vertical alignment of the substrate 130 , In a particularly preferred embodiment, the guide device 150 an Indian 4 Assigned not shown stationary guide element. Particularly preferred is a magnetic non-contact coupling of guide device 150 and stationary guide element, since this particle emissions during transport can be largely avoided.

Die Halterungseinrichtung 1 ist an ein magnetische Antriebseinrichtung 145 angekoppelt, die an einer Magnetschiene 140 bewegbar angeordnet ist.The mounting device 1 is to a magnetic drive device 145 docked to a magnetic rail 140 is movably arranged.

In einer weiteren in den Figuren nicht gesondert dargestellten Ausführungsform der Erfindung ist Magneteinrichtung vorgesehen mit der die Klemmkraft erzeugbar ist.In another embodiment not separately shown in the figures The invention magnetic device is provided with the clamping force can be generated.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung umfasst die Magneteinrichtung ein Kopplungselement, wie bei der in den 1 bis 3 gezeigten Ausführungsform sowie eine erste und/oder eine zweite Permanentmagnet-Komponente, wobei die Klemmkraft durch die das zugehörige Magnetfeld bewirkt wird. Hiermit kann ein stromloser Halterungszustand erreicht werden. Die Magneteinrichtung weist optional eine schaltbare Magnetspule, mit der ein magnetisches Gegenfeld erzeugbar ist, auf, so dass ein Öffnungsimpuls erzeugt werden kann.In a preferred embodiment of the invention, the magnetic device comprises a coupling element, as in the in 1 to 3 ge showed embodiment and a first and / or a second permanent magnet component, wherein the clamping force is caused by the associated magnetic field. Hereby, an electroless mounting state can be achieved. The magnetic device optionally has a switchable magnetic coil, with which a magnetic opposing field can be generated, so that an opening pulse can be generated.

Das erfindungsgemäße Transportmodul gestattet die Verwendung von Masken in den Beschichtungsprozessen des Substrats. In einer Weiterbildung der Erfindung wird vor Eintritt in eine Beschichtungszone eine Maske an das zu beschichtende Substrat herangeführt, mikrometergenau positioniert und aufgesetzt. Die Maske kann auch durch Klemmen am Substrat befestigt werden. Die Maske bleibt an der Scheibe angeordnet, so lange diese im kontinuierlichen Substratfluss bewegt wird. Am Ende der Zone des ersten kontinuierlichen Substratflusses wird die Maske von dem Scheibe abgehoben und mikrometergenau um circa 100 μ verschoben und wieder auf die Scheibe aufgesetzt. Während eine zweite Zone mit kontinuierlichem Substratfluss durchfahren muss, verbleibt die Maske fest auf der Scheibe. Bei Erreichen des Endes des zweiten Zone wird die Maske erneut von der Scheibe abgehoben und wiederum mikrometergenau um 100 μ verschoben aufgesetzt. Zu einem späteren Zeitpunkt kann die Maske von der Scheibe abgehoben und getrennt von dieser zu einer Reinigungsstation zur Vorbereitung eines Anodengebrauchs transportiert werden.The inventive transport module allows the use of masks in the coating processes of the substrate. In one embodiment of the invention is prior to entry in a coating zone, a mask to the substrate to be coated introduced, positioned and set to the micrometer. The mask can too be attached by clamping to the substrate. The mask remains on the disk is arranged as long as this in the continuous substrate flow is moved. At the end of the zone of the first continuous substrate flow The mask is lifted from the disc and micrometer to order about 100 μ shifted and put it back on the glass. While a second zone with must pass through continuous substrate flow, the mask remains firmly on the disc. Upon reaching the end of the second zone is the mask again lifted off the disc and again micrometer accurate shifted by 100 μ placed. At a later time At this point, the mask can be lifted off the disc and separated from this to a cleaning station for preparing an anode use be transported.

Das erfindungsgemäße Transportmodul ermöglicht eine rahmenlose Halterung, da erfindungsgemäß die vertikale Halterung mittels Klemmkraft erfolgt. In einer Weiterbildung der Erfindung ist jedoch vorgesehen, dass ein Rahmen zur Absturzsicherung und/oder Stabilisierung des Substrats gegenüber Querverformungen an das Substrat applizierbar ist. Ferner kann ein Rahmen zur Führung des Substrats vorgesehen sein. Ein derartiger zusätzlicher Rahmen kann beispielsweise in dem Bereich eines Kopplungselements mit der Klemmhalterung verbunden sein. Ein Rahmen zur Absturzsicherung des Substrats weist unterhalb der unteren Kante des Substrats beispielsweise hakenförmig geformte Auffangmittel auf, auf die das Substrat im Fall eines Versagens der Klemmhalterung gelangen kann. Ein Rahmen zur Stabilisierung des Substrats ist zur Verhinderung oder Reduzierung von Querverformungen des Substrats insbesondere während eines Beschichtungsprozesses ausgebildet. Vorzugsweise weist ein Rahmen zur Stabilisierung zwei beidseitig des Substrats anlegbare Teilrahmen auf. Diese können zumindest eine Magnetleiste beinhalten. Es versteht sich, dass ein derartiger Rahmen auch mit mechanischen Klemmen an dem Substrat befestigbar ist.The inventive transport module allows a frameless holder, since according to the invention, the vertical support means Clamping force occurs. In a further development of the invention, however, it is provided that a framework for fall protection and / or stabilization of the Substrate versus transverse deformations can be applied to the substrate. Furthermore, a framework for guiding the Substrate be provided. Such an additional frame may be, for example be connected in the region of a coupling element with the clamping bracket. A frame for fall protection of the substrate has below the lower edge of the substrate, for example, hook-shaped Collecting agent on which the substrate in case of failure the clamp can get. A framework for stabilization of the substrate is for preventing or reducing transverse deformations the substrate in particular during a coating process formed. Preferably, a Frame for stabilization two applicable on both sides of the substrate Subframe on. these can include at least one magnetic strip. It is understood that one such frame also with mechanical clamps on the substrate is fastened.

11: Halteeinrichtungholder
1010: Kopplungselementcoupling element
1212: Gegenflächecounter surface
1313: Gegenleistecounterstrip
1414: Schrägeslope
2020: Klemmklotzchock
2121: Klemmschrägeclamping bevel
2525: Klemmleisteterminal block
25'25 ': Klemmleisteterminal block
3030: Sicherungsklotzsafety block
30'30 ': Sicherungsklotzsafety block
100100: Zylinderschraubecylinder head screw
110110: Zylinderschraubecylinder head screw
120120: Klemmzylinderclamp cylinders
130130: Substratsubstratum
140140: Magnetschienemagnetic rail
145145: magnetische Antriebseinheitmagnetic drive unit
150150: Führungseinrichtungguide means

Claims

Transport module for a flat substrate with at least one connectable to a drive device support means for vertical support of the substrate, characterized in that the support means for hanging support of the substrate has two mutually associated, each provided with at least one contact surface clamping elements, wherein in the holder state of the support means the substrate is arranged between the contact surfaces and on the contact surfaces in the contact surfaces associated contact areas of the substrate surface, a clamping force is invocable and in an open state of the support means no clamping force in the contact areas can be introduced.

Transport module according to claim 1, characterized in that that the contact areas in an upper or lateral edge zone of the substrate are arranged.

Transport module according to claim 1 or 2, characterized in that that at least one contact surface in the holder state rests directly on a contact region of the substrate surface.

Transport module according to claim 3, characterized in that that the contact surface of a material, such as titanium or a titanium alloy, the ensures a given frictional force between the contact surface and the substrate surface consists.

Transport module according to at least one of the preceding claims, characterized in that the substrate surface in at least one contact region has at least one adapter element, on which a contact surface in the Halterungszu stood upright.

Transport module according to at least one of the preceding Claims, characterized in that the clamping force is the normal component one between at least one contact surface and at least one contact region occurring friction force.

Transport module according to at least one of the preceding Claims, characterized in that a mechanical device for generating is provided by clamping force.

Transport module according to claim 7, characterized in that that the mounting device as a first clamping element a clamping cylinder with a clamping block and as a second clamping element has a counter surface, wherein the frictional force between a contact surface on the clamping cylinder and a Contact region of the clamping cylinder facing substrate surface generated is.

Transport module according to claim 8, characterized in that that the mating surface as a clamping piece, is preferably designed as a clamping cylinder.

Transport module according to claim 9, characterized in that that the clamping block as a terminal block and / or the counter surface as Counter bar is formed.

Transport module according to claim 10, characterized in that that two clamping cylinder and arranged between them common Terminal strip are provided, wherein the substrate to the terminal block can rest in an upper edge zone.

Transport module according to at least one of claims 1-7, characterized in that a magnetic device is provided for generating the clamping force is.

Transport module according to at least one of the preceding Claims, characterized in that the holding device can be arranged in the holding state guide means in a geodesic associated with the lower region of the substrate.

Transport module according to claim 13, characterized in that that the leadership device by clamping forces can be coupled to the substrate.

Transport module according to claim 13 or 14, characterized characterized in that to the guide means a stationary one Guide element preferably magnetic-contactless, can be coupled.

Transport system for flat substrates with one Transport path and at least one movable along the transport path Transport module, characterized in that the transport module according to at least one of the preceding claims is trained.

Transport system according to claim 16, characterized in that that the transport module to the transport path contactless magnetically coupled is.