DE102004012672A1

DE102004012672A1 - probe

Info

Publication number: DE102004012672A1
Application number: DE200410012672
Authority: DE
Inventors: Juergen Wilde
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 2004-03-16
Filing date: 2004-03-16
Publication date: 2005-10-06
Also published as: WO2005090957A1

Abstract

Es wird ein Messfühler zur Bestimmung einer physikalischen Eigenschaft eines Messgases, insbesondere zur Bestimmung von Druck, Temperatur oder der Konzentration einer Gaskomponente, im Abgas von Brennkraftmaschinen angegeben, der ein Sensorelement (15), das auf einem anschlussseitigen Abschnitt (152) elektrische Kontaktstellen (16) trägt, und ein gegeneinander elektrisch isolierte Leiter aufweisendes Anschlusskabel (20) aufweist, dessen Leiter mit den Kontaktstellen (16) verbunden sind. Zur Gewinnung eines fertigungs- und montagetechnisch kostengünstigen Anschlusskabels (20) für das Sensorelement (15), das im Hochtemperaturbereich eine zuverlässige elektrische Signal- und Stromleitung und eine zuverlässige Isolation zwischen den elektrischen Leitern gewährleistet, weist das Anschlusskabel (20) mindestens eine hochtemperaturfeste, flexible Folie (21) auf und sind die Leiter von auf der mindestens einen Folie (21) verlaufenden Leiterbahnen (22) gebildet.A sensor is provided for determining a physical property of a measurement gas, in particular for determining pressure, temperature or the concentration of a gas component in the exhaust gas of internal combustion engines, comprising a sensor element (15) having electrical contact points (16) on a connection-side section (152) ), and having a mutually electrically insulated conductor exhibiting connection cable (20) whose conductors are connected to the contact points (16). To obtain a production and assembly technology cost-effective connection cable (20) for the sensor element (15), which ensures a reliable electrical signal and power line and reliable insulation between the electrical conductors in the high temperature range, has the connection cable (20) at least one high-temperature resistant, flexible Slide (21) and the conductors of on the at least one film (21) extending conductor tracks (22) are formed.

Description

Die Erfindung geht aus von einem Messfühler zur Bestimmung einer physikalischen Eigenschaft eines Messgases, insbesondere zur Bestimmung von Druck, Temperatur oder der Konzentration einer Gaskomponente im Abgas von Brennkraftmaschinen, nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.The The invention is based on a sensor for determining a physical Property of a sample gas, in particular for the determination of pressure, Temperature or the concentration of a gas component in the exhaust gas of Internal combustion engine, according to the preamble of claim 1.

Bei einem bekannten Gassensor oder Messfühler, insbesondere Lambda-Sonde, ( DE 197 40 363 A1 ) weist das Anschlusskabel für das Sensorelement mehrere, gegeneinander elektrisch isolierte Adern oder Leiter auf, die in einem Mantelrohr geführt sind. Die Enden der Leiter sind auf die einzelnen Kontaktstellen auf dem anschlussseitigen Ende des Sensorelements geführt und dort mittels eines Verbindungselements auf die Kontaktstellen kraftschlüssig aufgedrückt (Klemmkontaktierung).In a known gas sensor or sensor, in particular lambda probe, ( DE 197 40 363 A1 ), the connecting cable for the sensor element on several mutually electrically insulated wires or conductors, which are guided in a jacket tube. The ends of the conductors are guided to the individual contact points on the connection-side end of the sensor element and there by means of a connecting element to the contact points force-pressed (Klemmkontaktierung).

Bei einem ebenfalls bekannten Messfühler ( DE 196 38 208 C2 ) weist das Anschlusskabel mehrere elektrische Leiter auf, die mit einer Isolierumhüllung versehen und in einem Mantelrohr geführt sind. Zum Verbinden der elektrischen Leiter mit den auf dem anschlussseitigen Ende des Sensorelements vorhandenen Kontaktstellen dienen Kontaktteile aus Nickel oder einer Nickellegierung. Die Kontaktteile haben jeweils einen anschlussseitigen Abschnitt und einen kontaktseitigen Abschnitt sowie ein dazwischen angeordnetes, bogenförmiges Zwischenstück. Am anschlussseitigen Abschnitt ist ein elektrischer Leiter des Anschlusskabels angeschweißt. Am kontaktstelleseitigen Abschnitt ist eine stoffschlüssige Verbindung zwischen dem Kontaktteil und einer der Kontaktstellen z.B. durch Diffusionsschweißen oder Diffusionslöten hergestellt. Das bogenförmige Zwischenstück dient zum Ausgleich von thermischen und/oder mechanischen Ausdehnungen und Bewegungen.In a likewise known sensor ( DE 196 38 208 C2 ), the connecting cable has a plurality of electrical conductors, which are provided with an insulating sheath and guided in a jacket tube. For connecting the electrical conductors with the existing on the connection-side end of the sensor element contact points serve contact parts made of nickel or a nickel alloy. The contact parts each have a terminal-side portion and a contact-side portion, and an arcuate intermediate piece interposed therebetween. On the connection-side section, an electrical conductor of the connection cable is welded. At the contact-site-side section, a cohesive connection between the contact part and one of the contact points is produced, for example, by diffusion bonding or diffusion soldering. The arcuate intermediate piece is used to compensate for thermal and / or mechanical expansion and movement.

Vorteile der ErfindungAdvantages of invention

Der erfindungsgemäße Messfühler mit den Merkmalen des Anspruchs 1 hat den Vorteil eines fertigungs- und montagetechnisch kostengünstigen Anschlusskabels für das Sensorelement, das im Hochtemperaturbereich zwischen 400–800°C eine zuverlässige elektrische Signal- und Stromleitung und eine zuverlässige Isolation zwischen den elektrischen Leitern gewährleistet. Das Anschlusskabel kann beliebig geführt und gebogen werden, was die Montage wesentlich erleichtert, und gleicht selbsttätig thermische und/oder mechanische Ausdehnungen und Bewegungen aus. Darüber hinaus ermöglicht das Anschlusskabel eine flache Ausbildung des Kontaktierbereichs des Sensorelements, so dass ein das Sensorelement aufnehmendes Fühlergehäuse bauklein ausgeführt werden kann.Of the inventive sensor with The features of claim 1 have the advantage of a manufacturing and mounting technology cost-effective Connection cable for the sensor element, which in the high temperature range between 400-800 ° C a reliable electrical Signal and power line and a reliable one Ensuring insulation between the electrical conductors. The connection cable can be arbitrary and be bent, which facilitates the assembly, and equals self-acting thermal and / or mechanical expansions and movements. About that also allows the connection cable a flat configuration of the Kontaktierbereichs the sensor element, so that a sensor housing receiving sensor housing are made small construction can.

Durch die in den weiteren Ansprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen des im Anspruch 1 angegebenen Messfühlers möglich.By in the further claims listed activities are advantageous developments and improvements of the claim 1 specified sensor possible.

Zeichnungdrawing

Die Erfindung ist anhand von in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen in schematisierter Darstellung:The The invention is based on embodiments shown in the drawing the following description explained. In a schematic representation:

1 eine Seitenansicht eines als Lambda-Sonde eingesetzten Messfühlers mit Sensorelement und Anschlusskabel für das Sensorelement, teilweise geschnitten, 1 a side view of a sensor used as lambda probe with sensor element and connecting cable for the sensor element, partially cut,

2 ausschnittweise eine perspektivische Darstellung des auf das Sensorelement kontaktierten Anschlusskabels, 2 a detail of a perspective view of the contacted to the sensor element connecting cable,

3 ausschnittweise eine Draufsicht des Anschlusskabels in 2, 3 a detail of a top view of the connection cable in 2 .

4 ausschnittweise eine perspektivische Darstellung des auf das Sensorelement kontaktierten Anschlusskabels gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel, 4 a perspective view of the contacted to the sensor element connecting cable according to a further embodiment,

5 eine perspektivische Darstellung des Anschlusskabels in 4. 5 a perspective view of the connection cable in 4 ,

Beschreibung der Ausführungsbeispieledescription the embodiments

Der in 1 teilweise im Längsschnitt dargestellte Messfühler zur Bestimmung einer physikalischen Eigenschaft eines Messgases ist als sog. Lambda-Sonde konzipiert, mit der die Sauerstoffkonzentration im Abgas von Brennkraftmaschinen gemessen wird. Der Messfühler weist ein Fühlergehäuse 11 auf, das von zwei hülsenförmigen Gehäuseteilen 12, 13 gebildet ist. Die beiden Gehäuseteile 12, 13 sind durch eine Schweißnaht 14 fest miteinander verbunden. Der Gehäuseteil 12 dient zur Aufnahme einer sog. planaren Sensorelements 15, das stabförmig mit rechteckigem Querschnitt ausgebildet ist. Das Sensorelement 15 weist einen messgasseitigen Abschnitt 151 und einen anschlussseitigen Abschnitt 152 auf. Der messgasseitige Abschnitt 151 steht aus dem Gehäuseteil 12 hervor und ist dem Mess- oder Abgas ausgesetzt. Üblicherweise ist zum Schutze des Sensorelements 15 der messgasseitige Abschnitt 151 von einem Schutzrohr umgeben. Der anschlussseitige Abschnitt 152 des Sensorelements 15 trägt eine Mehrzahl von Kontaktstellen 16, von denen in 1 nur zwei Kontaktstellen 16, zu sehen sind, die auf voneinander abgekehrten Großflächen 153 des Sensorelements 15 angeordnet und über hier nicht dargestellte Anschlussbahnen mit dem messgasseitigen Abschnitt 151 verbunden sind.The in 1 partially shown in longitudinal section sensor for determining a physical property of a sample gas is designed as a so-called lambda probe, with which the oxygen concentration in the exhaust gas of internal combustion engines is measured. The sensor has a sensor housing 11 on, that of two sleeve-shaped housing parts 12 . 13 is formed. The two housing parts 12 . 13 are through a weld 14 firmly connected. The housing part 12 serves to receive a so-called planar sensor element 15 , which is rod-shaped with a rectangular cross-section. The sensor element 15 has a measuring gas side section 151 and a connection-side section 152 on. The gas side section 151 stands out of the housing part 12 and is exposed to the measuring or exhaust gas. Usually, to protect the sensor element 15 the measuring gas side section 151 surrounded by a protective tube. The connection side section 152 of the sensor element 15 carries a plurality of contact points 16 of which in 1 only two contact points 16 , which can be seen on large areas facing away from each other 153 of the sensor element 15 arranged and not shown here connecting tracks with the measuring gas side section 151 are connected.

In den Gehäuseteil 13 ist stirnseitig eine Metallhülse 17 eingesetzt, die mit dem Gehäuseteil 13 durch eine Schweißnaht 18 fest verbunden ist. In der Metallhülse 17 ist ein Anschlusskabel 20 geführt, über das das Sensorelement 15 an ein Steuergerät anschließbar ist. Das Anschlusskabel 20 weist mindestens eine hochtemperaturfeste, flexible Folie 21 auf, auf der Leiterbahnen 22 (2 und 3) angeordnet sind. Die Temperaturfestigkeit der Folie 21 ist so ausgelegt, dass der Folienwerkstoff sich bei den üblichen Betriebstemperaturen, denen der Messfühler ausgesetzt ist, nicht verändert, insbesondere nicht seine isolierende bzw. elektrisch leitende Eigenschaften sowie seine Flexibilität verliert. Bei Messfühlern, die im Abgas von Brennkraftmaschinen eingesetzt werden, beträgt dieser Temperaturbereich 400–800°C. Im Ausführungsbeispiel der 1 umfasst das Anschlusskabel 20 zwei identisch ausgebildete flexible Folien 21, von denen eine in 2 und 3 ausschnittweise dargestellt ist. Zusätzlich kann eine dritte Folie, die keine Leiterbahn trägt, als Isolierung zwischen den beiden flexiblen Folien angeordnet sein. Die Leiterbahnen 22 verlaufen auf der Folie 21 voneinander beabstandet in Längsrichtung der Folie 21 und sind vorzugsweise parallel zueinander ausgerichtet. Die Leiterbahnen 22 weisen zumindest innerhalb des sensorseitigen Endabschnitts der Folie 21 solche Abstände voneinander auf, dass jeweils eine Leiterbahn 22 eine Kontaktstelle 16 des Sensorelements 20 zu kontaktieren vermag.In the housing part 13 is frontally a metal sleeve 17 used with the housing part 13 through a weld 18 is firmly connected. In the metal sleeve 17 is a connection cable 20 guided, over which the sensor element 15 can be connected to a control unit. The connection cable 20 has at least one high temperature resistant, flexible film 21 on, on the tracks 22 ( 2 and 3 ) are arranged. The temperature resistance of the film 21 is designed so that the film material does not change at the usual operating temperatures to which the sensor is exposed, in particular does not lose its insulating or electrically conductive properties and its flexibility. For sensors used in the exhaust gas of internal combustion engines, this temperature range is 400-800 ° C. In the embodiment of 1 includes the connection cable 20 two identically formed flexible films 21 of which one in 2 and 3 is shown in sections. In addition, a third foil, which does not carry a conductor track, can be arranged as insulation between the two flexible foils. The tracks 22 run on the slide 21 spaced apart in the longitudinal direction of the film 21 and are preferably aligned parallel to each other. The tracks 22 have at least within the sensor-side end portion of the film 21 such distances from each other, that in each case a conductor track 22 a contact point 16 of the sensor element 20 to contact.

Im Ausführungsbeispiel der 1 bis 3 trägt der anschlussseitige Endabschnitt 152 des Sensorelements 15 auf jeder Großfläche 153 drei Kontaktstellen 16. Entsprechend ist jede der beiden flexiblen Folien 21 des Anschlusskabels 20 mit drei Leiterbahnen 22 versehen, die auf je einer der Kontaktstellen 16 kontaktiert sind. In 2 ist nur die auf die Kontaktstellen 16 auf der oberen Großfläche 153 des Sensorelements 15 kontaktierte Folie 21 dargestellt. Auf die Darstellung der zweiten flexiblen Folie 21 zum Anschließen der auf der unteren Großfläche 153 des Sensorelements 15 liegenden Kontaktstellen 16 ist der Übersichtlichkeit halber verzichtet worden. Diese zweite Folie 21 ist aber identisch wie die in 2 dargestellte Folie 21 ausgebildet.In the embodiment of 1 to 3 carries the connection-side end portion 152 of the sensor element 15 on every large area 153 three contact points 16 , Accordingly, each of the two flexible films 21 of the connection cable 20 with three tracks 22 provided on each of the contact points 16 are contacted. In 2 is only on the contact points 16 on the upper large area 153 of the sensor element 15 contacted foil 21 shown. On the representation of the second flexible film 21 for connecting the on the lower large area 153 of the sensor element 15 lying contact points 16 has been omitted for clarity. This second slide 21 but is the same as the one in 2 represented film 21 educated.

Die Folie 21 besteht aus elektrisch isolierendem Material, wobei in einer ersten Ausführungsform das Isoliermaterial ein keramisches Textilgewebe ist, das beispielsweise 96% Aluminiumoxid (Al₂O₃) und 4% Siliziumoxid (SiO₂) oder 62% Aluminiumoxid (Al₂O₃) und 24% Siliziumoxid (SiO₂) sowie 14% Boroxid (B₂O₃) enthält. Die Leiterbahnen 22 bestehen aus einem Lot, das in Bahnbreite und Bahnlänge auf die flexible Folie 21 aufgebracht ist. Als Lot werden sog. Aktivlote, z.B. AgCuTI3 oder AgTI4, oder Hochtemperaturlote, z.B. AuPdTI2 oder PdNITI3, verwendet. Die feste Verbindung des Lots mit dem keramische Textilgewebe erfolgt entweder durch Ofenlötung im Vakuum oder durch induktive Erwärmung in Schutzgasatmosphäre.The foil 21 consists of electrically insulating material, wherein in a first embodiment the insulating material is a ceramic textile fabric comprising, for example, 96% alumina (Al ₂ O ₃ ) and 4% silicon oxide (SiO ₂ ) or 62% alumina (Al ₂ O ₃ ) and 24% Silicon oxide (SiO ₂ ) and 14% boron oxide (B ₂ O ₃ ) contains. The tracks 22 consist of a solder, in web width and web length on the flexible film 21 is applied. Active solders, eg AgCuTI3 or AgTI4, or high temperature solders, eg AuPdTI2 or PdNITI3, are used as solder. The firm connection of the solder with the ceramic textile fabric is carried out either by furnace soldering in a vacuum or by inductive heating in a protective gas atmosphere.

In einer weiteren Ausführungsform sind die Leiterbahnen 22 nicht als Lote aufgetragen, sondern als Metallbänder ausgebildet, die in das keramische Textilgewebe gefügt oder eingewoben sind. Als Beispiel für ein hier verwendetes Metallband ist das Metallband mit der Werkstoffnummer 2.4060, das einen Anteil von 99,6% Nickel enthält.In a further embodiment, the conductor tracks 22 not applied as solders, but formed as metal bands that are joined or woven into the ceramic textile fabric. An example of a metal strip used here is the metal strip with the material number 2 .4060, which contains 99.6% nickel.

In einer weiteren Ausführungsform besteht die flexible Folie 21 aus Aluminium (Al) mit einer Isolierschicht aus Aluminiumoxid (Al₂O₃). Die Leiterbahnen 22 sind durch Beschichten, Bedampfen oder Bedrucken der Aluminiumfolie mit einem Metall hergestellt.In a further embodiment, the flexible film 21 made of aluminum (Al) with an insulating layer of aluminum oxide (Al ₂ O ₃ ). The tracks 22 are made by coating, steaming or printing the aluminum foil with a metal.

In einer alternativen Ausführungsform besteht die Folie 21 ebenfalls aus Aluminium (Al), und die voneinander isolierten Leiterbahnen 22 werden durch Oxidation von Streifen der Aluminiumfolie gewonnen, wobei die verbleibenden, nichtoxidierten Streifen der Aluminiumfolie die Leiterbahnen 22 ergeben. Die oxidierten Streifen bilden in der Folie Isolierstreifen, so dass die verbleibenden Aluminium-Leiterbahnen gegeneinander elektrisch isoliert sind.In an alternative embodiment, the film is made 21 also made of aluminum (Al), and the interconnects insulated from each other 22 are obtained by oxidation of strips of aluminum foil, with the remaining, non-oxidized strips of the aluminum foil forming the tracks 22 result. The oxidized strips form insulating strips in the film, so that the remaining aluminum conductor tracks are electrically insulated from one another.

Denkbar ist es auch, als Isoliermaterial zur Herstellung der Folie amorphes Metall zu verwenden und die Leiterbahnen 22 durch Wiederaufschmelzen von Streifen herzustellen. Durch das Wiederaufschmelzen werden diese Streifen elektrisch leitfähig und bilden die Leiterbahnen 22, während die übrigen Bereich der Folie 21 elektrisch nicht leitend bleiben. Das Wiederaufschmelzen kann beispielsweise durch Laserumschmelzen erfolgen.It is also conceivable to use amorphous metal as the insulating material for the production of the film and the conductor tracks 22 by remelting strips. As a result of the remelting, these strips become electrically conductive and form the conductor tracks 22 while the remaining area of the film 21 remain electrically non-conductive. The remelting can be done for example by laser remelting.

Die Kontaktierung der Leiterbahnen 22 im Bereich des sensorseitigen Endabschnitts 211 der Folie 21 mit den Kontaktstellen 16 des Sensorelements 20 wird durch Widerstandspaltschweißen, Thermokompressionsschweißen, Löten oder Widerstandsspaltlöten vorgenommen.The contacting of the conductor tracks 22 in the region of the sensor-side end portion 211 the foil 21 with the contact points 16 of the sensor element 20 is done by resistance gap welding, thermo-compression welding, soldering or resistance soldering.

Die Erfindung ist nicht auf das beschriebene Ausführungsbeispiel eines Messfühlers als Lambda-Sonde beschränkt. In gleicher Weise kann das erfindungsgemäße Anschlusskabel 20 auch in Messfühlern verwendet werden, mit denen die Konzentration einer Schadstoffkomponente, z.B. Stickoxide, im Abgas von Brennkraftmaschinen oder der Druck oder die Temperatur im Abgas von Brennkraftmaschinen oder einem sonstigen hochtemperierten Messgas gemessen werden.The invention is not limited to the described embodiment of a sensor as a lambda probe. In the same way, the connection cable according to the invention 20 also be used in sensors with which the concentration of a pollutant component, such as nitrogen oxides, in the exhaust gas of internal combustion engines or the pressure or the temperature in the exhaust gas of internal combustion engines or other high temperature measuring gas can be measured.

Claims

Measuring sensor for determining a physical property of a measuring gas, in particular for determining pressure, temperature or the concentration of a gas component in the exhaust gas of internal combustion engines, having a sensor element ( 15 ) displayed on a connection-side section ( 152 ) electrical contact points ( 16 ), and with a mutually electrically insulated conductor having connecting cable ( 20 ), its head with the contact points ( 16 ), characterized in that the connecting cable ( 20 ) at least one flexible film ( 21 ) and the electrical conductors of the at least one film ( 21 ) running tracks ( 22 ) are formed.

Sensor according to claim 1, characterized in that the conductor tracks ( 22 ) spaced from each other in the longitudinal direction of the film ( 21 ) and are preferably aligned parallel to each other.

Sensor according to claim 1 or 2, characterized in that at least within one end portion ( 211 ) of the film ( 21 ) the distances of the tracks ( 22 ) are selected so that in each case a conductor track ( 22 ) a contact point ( 16 ) on the sensor element ( 15 ) contacted.

Sensor according to claim 3, characterized in that the sensor element ( 15 ) rod-shaped with two large areas facing away from each other ( 153 ) is formed, on which the contact points ( 16 ) and that the connection cable ( 20 ) a single film ( 21 ) having an end portion ( 211 ) so around the connection side section ( 152 ) of the sensor element ( 15 ) is laid around, that in each case a conductor track ( 22 ) via one of the contact points ( 16 ) on the two large areas ( 153 ) of the sensor element ( 15 ) runs away.

Sensor according to claim 3, characterized in that the sensor element ( 15 ) rod-shaped with two large areas facing away from each other ( 153 ) is formed, on which the contact points ( 16 ) and that the connection cable ( 20 ) two slides ( 21 ), of which in each case one film ( 21 ) with an end portion ( 211 ) on a large area ( 153 ) of the sensor element ( 15 ) so rests, each a conductor track ( 22 ) via a contact point ( 16 ) of the sensor element ( 15 ) runs away.

Sensor according to one of claims 1 - 5, characterized in that the film ( 21 ) consists of electrically insulating material.

Measuring sensor according to claim 6, characterized in that the insulating material is a ceramic textile fabric and the conductor tracks ( 22 ) consist of a lot.

probe according to claim 7, characterized in that in web width and length applied to the textile fabric solder due to furnace soldering in a vacuum connected to the textile fabric.

probe according to claim 7, characterized in that in web width and length applied to the textile fabric solder due to inductive heating in Protective atmosphere firmly connected to the textile fabric.

Sensor according to claim 6, characterized in that the insulating material of the film ( 21 ) is a ceramic textile fabric and the conductor tracks ( 22 ) are joined or woven as metal bands in the textile fabric.

Measuring sensor according to one of claims 7-10, characterized in that the ceramic textile fabric contains 96% aluminum oxide (Al ₂ O ₃ ) and 4% silicon dioxide (SiO ₂ ).

Sensor according to one of claims 7 - 10, characterized in that the ceramic textile fabric contains 62% alumina (Al ₂ O;) and 24% silicon dioxide (SiO ₂ ) and 14% boron oxide (B ₂ O ₃ ).

Sensor according to one of claims 1-5, characterized in that the film ( 21 ) consists of aluminum (Al) with an aluminum oxide (Al ₂ O ₃ ) insulating layer and that the interconnects ( 22 ) by coating, steaming or printing the film ( 21 ) are made with metal.

Sensor according to one of claims 1-5, characterized in that the film ( 21 ) consists of aluminum (Al) and the mutually insulated interconnects ( 22 ) by oxidation of stripes between the desired tracks ( 22 ) are made.

Sensor according to claim 6, characterized in that the insulating material is amorphous metal and the conductor tracks ( 22 ) are produced by remelting strips, for example by laser remelting.

Measuring sensors according to one of claims 1-15, characterized in that the contacting of the conductor tracks ( 22 ) with the contact points ( 16 ) on the sensor element ( 15 ) by resistance gap welding, thermocompression welding, soldering or resistance gap soldering.

Sensor according to one of claims 1-16, characterized in that the film ( 21 ) consists of a high temperature resistant material, which is preferably stable in a temperature range of 400 ° -800 ° C.