DE10164053A1

DE10164053A1 - Verfahren zur Herstellung eines SiO¶2¶-Sootkörpers

Info

Publication number: DE10164053A1
Application number: DE2001164053
Authority: DE
Inventors: Udo Peper; Juergen Roeper; Hans-Georg Fritsche
Original assignee: Heraeus Tenevo GmbH
Current assignee: Heraeus Quarzglas GmbH and Co KG
Priority date: 2001-12-28
Filing date: 2001-12-28
Publication date: 2003-07-17
Anticipated expiration: 2021-12-29
Also published as: DE10164053B4

Abstract

Es ist ein Verfahren für die Herstellung eines SiO¶2¶-Sootkörpers bekannt, bei welchem SiO¶2¶-Partikel auf einem um seine Längsachse rotierenden Träger unter Einsatz einer Vielzahl von Abscheidebrennern abgeschieden werden, denen jeweils eine Brennerflamme zugeordnet ist, die den Sootkörper in einem Auftreffpunkt schneidet, wobei zwischen den Auftreffpunkten benachbarter Abscheidebrenner ein vorgegebener axialer Soll-Abstand eingestellt wird. Um hiervon ausgehend den Justageaufwand für die Herstellung von Rohlingen mit vorgegebener, insbesondere axial homogener Dichte- und Massenverteilung gering zu halten, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, den Soll-Abstand dadurch einzustellen, dass ein Probe-Sootkörper mit einem Oberflächen-Relief erzeugt wird, aus dem der Ist-Abstand benachbarter Brennerflammen-Auftreffpunkte zu entnehmen ist, und die Position oder Orientierung der Abscheidebrenner anhand der gemessenen Ist-Abstände zu korrigieren.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines SiO₂- Sootkörpers durch schichtweises Abscheiden von SiO₂-Partikeln auf einem um seine Längsachse rotierenden Träger unter Einsatz einer Vielzahl von Abscheidebrennern, die mit axialem Abstand zueinander in einer linearen Brenneranordnung angeordnet und in einem vorgegebenem Bewegungsablauf entlang des sich bildenden Sootkörpers zwischen Wendepunkten hin- und herbewegt werden, und denen jeweils eine Brennerflamme zugeordnet ist, die in Verlängerung ihrer Hauptausbreitungsrichtung den Sootkörper in einem Auftreffpunkt schneidet, wobei zwischen den Auftreffpunkten benachbarter Abscheidebrenner ein vorgegebener axialer Soll-Abstand eingestellt wird.
Ein Verfahren der genannten Gattung ist aus der DE 196 28 958 A1 bekannt. Zur Herstellung eines porösen, zylinderförmigen SiO₂-Sootkörpers werden in den Brenner flammen mehrerer Knallgasbrenner SiO₂-Partikel erzeugt und auf einem waagerecht orientierten, um seine Längsachse rotierenden Trägerrohr SiO₂-Partikel schichtweise abgeschieden. Die Abscheidebrenner sind mit äquidistanten Abstand von 15 cm zueinander auf einem parallel zur Längsachse des Trägerrohrs verlaufenden Brennerblock montiert. Der Brennerblock wird entlang des sich bildenden porösen Sootkörpers zwischen einem linken und einem rechten Wendepunkt mittels einer regelbaren Verschiebeeinrichtung hin- und herbewegt, wobei die Amplitude dieser Translationsbewegung des Brennerblocks kleiner ist als die Länge der Vorform.
Die hierfür eingesetzten Abscheidebrenner bestehen im allgemeinen aus Quarzglas oder aus Metall. Quarzglasbrenner haben den Vorteil, dass Kontaminationen des Quarzglaskörpers durch Abrieb weitgehend vermieden werden. Bei der Fertigung der Abscheidebrenner sind jedoch Maßabweichungen unvermeidlich, so dass jeder Abscheidebrenner eine individuelle Abscheide-Charakteristik aufweist. Dadurch, und durch Abweichungen bei der Brenner-Justage kann es zu axialen Inhomogenitäten im Sootkörper kommen, die insbesondere bei einem Einsatz als Ausgangsmaterial für Vorformen für optische Fasern problematisch sind. Daher sind vor dem Abscheideprozess Position und Orientierung für jeden Abscheidebrenner sowie Prozessparameter an die individuelle Abscheide-Charakteristik anzupassen. Da sich benachbarte Abscheidebrenner jedoch auch gegenseitig beeinflussen, ist nach dem Austausch eines Abscheidebrenners häufig eine Zeit- und materialaufwändige Anpassung der gesamten Brenneranordung erforderlich.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, den Aufwand für die Herstellung von Rohlingen mit vorgegebener, insbesondere axial homogener Dichte- und Masserverteilung zu verringern.
Diese Aufgabe wird ausgehend von dem eingangs genannten Verfahren erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass das Einstellen des Soll-Abstands umfasst

- ein Abscheiden von SiO₂-Partikeln auf einem Substratkörper unter Einsatz der Brenneranordnung jedoch ohne die Hin-und Herbewegung zwischen den Wendepunkten zur Erzeugung eines Probe-Sootkörpers mit einem Oberflächen-Relief, bei dem sich - in Richtung der Längsachse gesehen - Täler und Höhen wellenförmig abwechseln, und aus dem der Ist-Abstand benachbarter Brennerflammen-Auftreffpunkte zu entnehmen ist,
- und eine Justierung von Abscheidebrennern der Brenneranordnung anhand der gemessenen Ist-Abstände zur Korrektur der Brennerflammen-Auftreffpunkte.

Die Einstellung des Soll-Abstands der Auftreffpunkte voneinander umfasst die Erzeugung eines Probe-Sootkörpers mit einem Oberflächen-Relief. Hierzu werden SiO₂-Partikel auf einem Substratkörper abgeschieden, ohne dass dabei die Abscheidebrenner der Brenneranordnung oszillierend zwischen Wendepunkten hin- und herbewegt werden. Dadurch bildet sich auf dem Substratkörper ein Sootkörper mit einem wellenförmigen Oberflächen-Relief das Täler und Höhen aufweist, die sich in Richtung der Längsachse der Brenneranordnung gesehen abwechseln. Das Oberflächen-Relief des Probe- Sootkörpers spiegelt die lokalen Abscheidebedingungen wider. Höhen des Oberflächen-Reliefs stellen sich in Bereichen mit lokal hohem Masse-Auftrag und/oder niedriger lokaler Soot-Dichte ein. Täler ergeben sich durch geringen Masse-Auftrag und/oder hohe lokale Soot-Dichte. Dadurch, dass ein poröser Probe-Sootkörper hersgestellt wird (und nicht ein verglaster, dichter Probekörper) ergeben sich zusätzliche Informationen über die Sootdichte.
Für jeden der Abscheidebrenner ergibt sich so eine charakteristische, formstabile Soot-Anhäufung auf dem Substratkörper. Im einfachsten Fall - bei vollkommen stillstehenden Abscheidebrennern - weist eine typische Soot- Anhäufung zwei Maxima (Höhen) auf, die ein relatives Minimum (Tal) umgeben. Das relative Minimum ist dabei in der Regel dem Auftreffpunkt der Brennerflamme auf dem Substratkörper zuzurechnen. Die dazu benachbarten Maxima ergeben sich infolge der geringeren Sootdichte (im Vergleich zur Sootdichte im relativen Minimum). Die Lage und Form der Soot-Anhäufungen ergeben Hinweise auf die Lage und den Abstand der Brennerflammen und sie lassen Rückschlüsse über die Abscheideeffizienz und die Abscheidesymmetrie des jeweiligen Abscheidebrenners zu. Durch Vermessung und Auswertung des gesamten Oberflächen-Reliefs des Probe-Sootkörper werden darüber hinaus Unterschiede im Abscheideverhalten der einzelnen Abscheidebrenner erkennbar.
Die Einhaltung äquidistanter Abstände zwischen den Auftreffpunkten der Brennerflammen der Brenneranordnung ist für den Erfolg des erfindungsgemäßen Verfahrens wesentlich. Hierzu liefert die Auswertung des Oberflächen-Reliefs des Probe-Sootkörpers den entscheidenden Beitrag. Denn die axialen Abstände der relativen Minima entsprechen den tatsächlichen axialen Ist-Abständen Abständen der Flammenaufreffpunkte der Abscheidebrenner.
In einem nächsten Schritt erfolgt daher eine Korrektur der Lage der Brennerflammen-Auftreffpunkte anhand der gemessenen Ist-Abstände, indem derjenige oder diejenigen Abscheidebrenner der Brenneranordnung, die eine Abweichung vom Soll-Abstand bewirken, neu justiert werden. Das Justieren der Abscheidebrenner erfolgt durch Verschieben und/oder durch Ändern ihrer Orientierung. Die Auswirkungen derartiger Korrekturmaßnahmen lassen sich anhand weniger Versuche ermitteln.
Die Orientierung des Abscheidebrenners ergibt sich aus der Hauptausbreitungsrichtung der dazugehörigen Brennerflamme. Die Brenneranordnung ist im einfachsten Fall bei der Herstellung des Probe- Sootkörpers örtlich fixiert. Sie wird somit nicht entlang des Substratkörpers, sei es ein rotierender Träger oder eine ruhende Prallfläche, bewegt. Im Fall einer geringen axialen Bewegung sind jedoch die Flammen-Auftreffpunkte noch auswertbar.
Es hat sich gezeigt, dass die Form des Probe-Sootkörpers bei gleichen Ausgangsbedingungen reproduzierbar ist. Eine einmal korrekt justierte Brenneranordnung ist für die Herstellung axial homogener Sootkörper theoretisch unbegrenzt geeignet. Es ist nicht erforderlich, vor jedem Abscheideprozess einen Probe-Sootkörper herzustellen, um den Soll-Abstand der Flammenauftreffpunkte einzustellen. Diese Maßnahme ist lediglich nach dem Austausch eines oder mehrerer Abscheidebrenner sinnvoll, und sie kann aus Sicherheitserwägungen auch von Zeit zu Zeit durchgeführt werden.
Vorzugsweise werden zur Herstellung des Probe-Sootkörpers SiO₂-Partikel auf einem rotierenden Träger abgeschieden werden. Dabei kann der gleiche oder ein ähnlicher Träger wie beim Abscheideprozess als Substratkörper eingesetzt werden. Bei vergleichbarer Rotationsgeschwindigkeit ergeben sich so bei der Herstellung des Probe-Sootkörpers prozessnahe Abscheidebedingungen, was die Korrektur der Position und Orientierung der Abscheidebrenner erleichtert.
Bei dieser Verfahrensweise erzeugt jeder der Abscheidebrenner einen charakteristischen Soot-Ablagerungsring, der das oben erwähnte Oberflächenrelief aus Höhen und Tälern aufweist, und das einem Baumkuchen ähnelt.
Alternativ dazu hat es sich auch bewährt, zur Herstellung des Probe- Sootkörpers SiO₂-Partikel auf einer ruhenden Prallfläche abzuscheiden. Durch den Einsatz einer ruhenden Prallfläche als Substratkörper werden zum Beispiel Verwaschungen des Oberflächenreliefs durch unrunde Rotation vermieden, so dass insoweit die Auswertung des Oberflächenreliefs vereinfacht wird. Hierbei gibt die Verteilung der SiO₂-Partikel Aufschluss über die Abstände der Flammenauftreffpunkte voneinander. Die Prallfläche ist beispielsweise als Prallplatte ausgebildet, die mit einem Koordinatensystem versehen sein kann, so dass die Lage des Auftreffpunktes der Brennerflammen sehr einfach zu bestimmen ist.
Die Erfindung zielt darauf ab, in axialer Richtung äquidistante Abstände zwischen den Auftreffpunkten der Brennerflammen einzustellen. Dies gelingt am einfachsten durch Verschieben der Abscheidebrenner in axialer Richtung, und/oder durch Ändern der Orientierung der Abscheidebrenner. Vorzugsweise umfasst das Ändern der Ausrichtung ein Verkippen des Abscheidebrenners aus der Normalen zur Sootkörperlängsachse. Sofern nicht ausdrücklich anderes beschrieben ist, bezieht sich der Ausdruck "axial" hier und im Folgenden stets auf die Sootkörperlängsachse. Eine Änderung der Ausrichtung der Abscheidebrenner durch Verkippen ist konstruktiv einfach zu bewerkstelligen.
Es hat sich als günstig erwiesen, wenn die Abscheide-Dauer zur Herstellung des Probe-Sootkörpers unter Einsatz der Brenneranordnung zwischen 10 Minuten und 30 Minuten beträgt. Die Abscheide-Dauer wird aus Kostengründen so kurz wie möglich gehalten, wobei sich jedoch bei Abscheidedauern von weniger als 10 Minuten ein Probe-Sootkörper ergibt, bei dem eine Auswertung des Oberflächen-Reliefs stark fehlerbehaftet ist. Eine Abscheide-Dauer von mehr als 30 Minuten verbessert die Genauigkeit der Auswertung des Oberflächenreliefs hingegen nur noch unwesentlich.
Zur Herstellung des Probe-Sootkörpers wird die Medienzufuhr zu den Abscheidebrennern und der Abstand der Abscheidebrenner von der Sootkörper-Oberfläche vorzugsweise so eingestellt, wie bei der Herstellung des SiO₂-Sootkörpers. Dadurch, dass bei der Herstellung des Probe-Sootkörpers die Medienzufuhr dieselbe ist, wie bei der Herstellung des Sootkörpers, ergeben sich prozessnahe Abscheidebedingungen, die sich auf die Abbildungsgenauigkeit des Oberflächenreliefs hinsichtlich der Abstände des Flammenauftreffpunkte bei der eigentlichen Sootkörperherstellung günstig auswirken. Die Auswertung des Probe-Sootkörpers hinsichtlich des axialen Abstandes der Abscheidebrenner wird somit genauer. Die Medienzufuhr zu den Abscheidebrenner beinhaltet die Gasflüsse für die Brenngase (Wasserstoff und Sauerstoff) und für den Glasausgangsstoff (z. B. SiCl₄).
Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen und einer Zeichnung näher erläutert. In der Zeichnung zeigen im Einzelnen
Fig. 1 in schematischer Darstellung eine Brenneranordnung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens beim Verfahrensschritt der Abscheidung eines Soot-Probekörpers in einer Seitenansicht,
Fig. 2 einen Ausschnitt des Oberflächenprofils bei einem Probe-Sootkörper in einer Projektion auf eine senkrecht zur Hauptausbreitungsrichtung der Abscheidebrenner verlaufenden Ebene,
Fig. 3a einen Ausschnitt des Oberflächenprofils von Fig. 2 in vergrößerter Darstellung,
Fig. 3b den Ausschnitt des Oberflächenprofils gemäß Fig. 3a nach Änderung der Ausrichtung eines Abscheidebrenners an Position "a".
Die in den Fig. 2, 3a und 3b dargestellten Oberflächenprofile wurden an einem Probe-Sootkörper gemessen, dessen Herstellung im Folgenden anhand Fig. 1 näher beschrieben wird.
Die Brenneranordnung gemäß Fig. 1 umfasst eine Vielzahl von Abscheidebrennern 1 mit vertikal orientierter Mittelachse 6 (in Fig. 1 sind aus Gründen der Übersichtlichkeit nur acht dieser Abscheidebrenner dargestellt), die auf ein um seine Längsachse 3 rotierendes Trägerrohr 2 aus Aluminiumoxid gerichtet sind. Das Trägerrohr 2 hat einen Außendurchmesser von 20 mm. Die Abscheidebrenner 1 sind in Brennerhalterungen mit einer kardanischen Brenneraufnahme 11 gehalten, die es ermöglicht, die Abscheidebrenner 1 einzeln in allen Richtungen um einen Winkel α von 5° aus der Vertikalen, die durch die Bezugsziffer 7 gekennzeichnet ist, zu verkippen, und außerdem jeden Abscheidebrenner um zirka 15 mm in axialer Richtung 13 (in Richtung der Mittelachse 3) zu verschieben. Die durch die kardanische Brenneraufnahme 11 ermöglichten Verschiebungen und Verkippungen jedes einzelnen Abscheidebrenners 1 werden in Fig. 1 durch die Bezugsziffern 12 und 13 angezeigt.
Den Abscheidebrennern 1 werden Glasausgangsstoffe und Brennstoffe zugeführt und in der dem jeweiligen Abscheidebrenner 1 zugeordneten Brennerflamme 5 zu SiO₂-Partikeln umgesetzt. Der Soll-Abstand "d" der Abscheidebrenner 1 voneinander - in Richtung der Längsachse 3 gesehen - beträgt 100 mm.
Die Abscheidebrenner 1 werden während der Herstellung des Probe-Sootkörpers nicht entlang der Trägerlängsachse 3 bewegt. Die Längsachse des Probe- Sootkörpers stimmt mit der Trägerlängsachse 3 überein. Die Brennerflammen 5 der Abscheidebrenner 1 sind auf das Trägerrohr 2 gerichtet derart, dass die Hauptausbreitungsrichtung 6 der Brennerflammen 5 jeweils parallel zur Vertikalen 7 und gleichzeitig senkrecht zur Trägerlängsachse 3 verläuft. Die Brennerflammen 5 treffen in ihrer Verlängerung in Richtung der Hauptausbreitungsrichtung 6 in einem Auftreffpunkt 8 auf die Oberfläche des Trägers 2 bzw. auf einen darauf bereits abgeschiedenen Ablagerungsring 9.
In den Fig. 2, 3a und 3b ist jeweils der Radius "r" eines Probe-Sootkörpers aufgetragen, in Abhängigkeit von der axialen Position "I" - in Richtung der Längsachse des Probe-Sootkörpers gesehen.
Das in den Figuren dargestellte Oberflächenprofil wird mittels Laserabstandsmessung unter Einsatz eines handelsüblichen Geräts ermittelt. Hierbei wird mittels Laserstrahl die Oberfläche des Probe-Sootkörpers 10 (siehe Fig. 1) in einer parallel zur Längsachse 3 verlaufenden Reihe abgetastet und die Messwerte zur Auswertung an einen Rechner übermittelt. Zusätzlich wurde der axiale Dichteverlauf des Probe-Sootkörpers 10 mittels Computertomographie vermessen.
Fig. 2 zeigt ein Oberflächenrelief, das an einem Probe-Sootkörper 10 ermittelt wurde, dessen Herstellung schematisch in Fig. 1 erläutert ist. Bei diesem Oberflächenrelief 10 wechseln sich Höhen und Täler - in Richtung der Längsachse 3 gesehen - ab, so dass sich insgesamt ein Oberflächenprofil ergibt, das einem Baumkuchen ähnelt. Das Oberflächenrelief umfasst eine Vielzahl von Ablagerungsringen 9, die sich jeweils durch ein relatives Minimum 14 auszeichnen, das beiderseits von zwei Maxima 15 umgeben ist. Die axiale Position des relativen Minimums 14 entspricht dabei jeweils der Position des Auftreffpunktes 8 (Fig. 1) der Brennerflamme 4 auf dem Ablagerungsring 9.
Fig. 3a zeigt einen Ausschnitt von Fig. 2 in vergrößerter Darstellung. Es sind die Ablagerungsringe 9 von insgesamt vier benachbarten Abscheidebrennern dargestellt. Die relativen Minima 14 bzw. die Maxima 15 sind deutlich erkennbar. Es zeigt sich, dass die verschiedenen Abscheidebrenner unterschiedlich geformte poröse SiO₂-Ablagerungsinge 9 erzeugen, wobei aber die Form und Position der Ablagerungsringe 9 bei gleichen Ausgangsbedingungen reproduzierbar ist.
Die Vermessung und Auswertung des Fig. 3a dargestellten Profils zeigt, dass der axiale Abstand "d'" zwischen den Auftreffpunkten 8 der Abscheidebrenner 1 an den Positionen a und b nicht dem Sollabstand "d" von 100 mm entspricht, wobei der Justagefehler im Wesentlichen durch den Abscheidebrenner an Position "a" verursacht wird.
Nach einer Verkippung des Abscheidebrenners 1 an Position "a" um einen Winkel von 3° nach links in Richtung der Längsachse 3 wurde ein weiterer Probe- Sootkörper 10 hergestellt und bei diesem das in Fig. 3b dargestellte Oberflächenrelief erhalten.
Daraus ist ersichtlich, dass durch die Winkelverstellung die Höhe der Flanken beeinflusst wird und auch die Lage des Auftreffpunktes 8. Die Position "a'" des relativen Minimums 14 des Ablagerungsrings g, die den Auftreffpunkt 8 der betreffenden Brennerflamme kennzeichnet, hat sich gegenüber der Position "a" (Fig. 3a) nach links verschoben. Die Äquidistanz der Flammenauftreffpunkte, gekennzeichnet durch den Soll-Abstand "d" ließ sich so deutlich verbessern.
Durch die Verstellung des Winkels der Brenneraufnahme 11 können gleichmäßige poröse Ablagerungsringe erzeugt werden, was gleichbedeutend mit axialer Homogenität des mit der korrigierten Einstellung erzeugten Sootkörpers und somit mit einer guten Produktqualität ist.
Durch Vermessung der Abstände der einzelnen Senken (relative Minima 14) der porösen Ablagerungsringe 9, die ja den Auftreffpunkt 8 der Brennerflamme 5 kennzeichnen, wurde auch der Einfluss einer axialen Verschiebung der Abscheidebrenner 1 auf die Distanz der Auftreffpunkte 8 unter Prozessbedingungen untersucht.
Aus der folgenden Tabelle sind die Sollabstände zwischen den Flammen- Auftreffpunkten 8 der ersten zehn Abscheidebrenner der Brenneranordnung ersichtlich. Spalte 3 zeigt den Abstand der Auftreffpunkte 8, wie sie am Probe- Sootkörper 10 ermittelt worden sind, in Spalte 4 sind die korrigierten Brennerabstände aufgeführt, die durch axiale Verschiebung der jeweiligen Abscheidebrenner 1 eingestellt worden sind. Und die letzte Spalte der Tabelle zeigt den Abstand zwischen den Auftreffpunkten 8 nach der Abstandskorrektur, wie in Spalte 3 angegeben. Tabelle
Mit Hilfe der am Probe-Sootkörper gewonnenen Messdaten wurden somit die Abstände der Abscheidebrenner der Brenneranordnung so korrigiert, dass annähernd eine Äquidistanz der Brennerauftreffpunkte 8 am Probe-Sootkörper 10 erreicht wird.
Die Herstellung des Probe-Sootkörpers 10 und der daraus ermittelten Korrektur des Abstandes der Flammenauftreffpunkte 8 voneinander durch axiales Verschieben der Abscheidebrenner 1 und/oder durch Verkippen aus der Normalen 7 zur Sootkörperlängsachse 3, ermöglicht somit eine Korrektur des Abstands zwischen den Auftreffpunkten 8 der Brennerflammen 5 in Richtung auf einen äquidistanten Abstand.
Unter Einsatz der so korrigierten Brenneranordnung 11 wird anschließend ein SiO₂-Sootkörper durch schichtweises Abscheiden von SiO₂-Partikeln auf einem um seine Längsachse rotierenden Träger hergestellt, indem die Brenneranordnung in einem vorgegebenem Bewegungsablauf entlang des sich bildenden Sootkörpers zwischen Wendepunkten hin- und herbewegt wird. Das vorab durchgeführte, erfindungsgemäße Korrekturverfahren gewährleistet dabei eine möglichst exakte axiale Aquidistanz der Flammen-Auftreffpunkte, so dass mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens insgesamt ein Sootkörper erhalten wird, aus dem durch Verglasen ein Quarzglaskörper mit hoher Homogenität erzeugt wird.
Die einmal korrigierte Brenneranordnung behält ihre eingestellte Genauigkeit hinsichtlich der axialen Aquidistanz der Flammen-Auftreffpunkte auch bei weiteren Abscheideprozessen bei, so dass eine Neu-Justierung unter Herstellung eines Probe-Sootkörpers bis zum Austausch eines oder mehrerer Abscheidebrenner verzichtet werden kann. Der Justageaufwand für die Herstellung von Rohlingen mit vorgegebener, insbesondere axial homogener Dichte- und Masserverteilung ist daher gering.

Claims

1. Verfahren zur Herstellung eines SiO₂-Sootkörpers durch schichtweises Abscheiden von SiO₂-Partikeln auf einem um seine Längsachse rotierenden Träger unter Einsatz einer Vielzahl von Abscheidebrennern, die mit axialem Abstand zueinander in einer linearen Brenneranordnung angeordnet und in einem vorgegebenem Bewegungsablauf entlang des sich bildenden Sootkörpers zwischen Wendepunkten hin- und herbewegt werden, und denen jeweils eine Brennerflamme zugeordnet ist, die in Verlängerung ihrer Hauptausbreitungsrichtung den Sootkörper in einem Auftreffpunkt schneidet, wobei zwischen den Auftreffpunkten benachbarter Abscheidebrenner ein vorgegebener axialer Soll-Abstand eingestellt wird, dadurch gekennzeichnet, dass das Einstellen des Soll-Abstands umfasst
ein Abscheiden von SiO₂-Partikeln auf einem Substratkörper unter Einsatz der Brenneranordnung jedoch ohne die Hin-und Herbewegung zwischen den Wendepunkten zur Erzeugung eines Probe-Sootkörpers mit einem Oberflächen-Relief, bei dem sich - in Richtung der Längsachse gesehen - Täler und Höhen wellenförmig abwechseln, und aus dem der Ist-Abstand benachbarter Brennerflammen-Auftreffpunkte zu entnehmen ist,
und eine Justierung von Abscheidebrennern der Brenneranordnung anhand der gemessenen Ist-Abstände zur Korrektur der Brennerflammen-Auftreffpunkte.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zur Herstellung des Probe-Sootkörpers SiO₂-Partikel auf dem rotierenden Träger abgeschieden werden.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zur Herstellung des Probe-Sootkörpers SiO₂-Partikel auf einer ruhenden Prallfläche abgeschieden werden.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass Justieren der Abscheidebrenner durch Verschieben in axialer Richtung und/oder durch Ändern der Ausrichtung erfolgt.

5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Ändern der Ausrichtung ein Verkippen des Abscheidebrenners aus der Normalen zur Sootkörperlängsachse umfasst.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Abscheide-Dauer zu Herstellung des Probekörpers unter Einsatz der Brenneranordnung zwischen 10 Minuten und 30 Minuten beträgt.

7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass bei der Herstellung des Probe-Sootkörpers die Medienzufuhr zu den Abscheidebrennern und der Abstand der Abscheidebrenner von der Sootkörper-Oberfläche so eingestellt werden, wie bei der Herstellung des SiO₂-Sootkörpers.