DE10140374A1 - Verfahren zur optoelektronischen Prüfung von Mantelflächen an zylindrischen Körpern auf Fehlerstellen mit Kamerasystemen - Google Patents
Verfahren zur optoelektronischen Prüfung von Mantelflächen an zylindrischen Körpern auf Fehlerstellen mit KamerasystemenInfo
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Abstract
Dargestellt und beschrieben ist ein Verfahren und eine Prüfeinrichtung (Fig. 1) zur optoelektronischen Prüfung von Mantelflächen an zylindrischen Körpern z. B. an Wellen, Schrauben und Gewindestiften auf Beschädigungen und das Vorhandensein von Beschichtungen. Die Prüfeinrichtung besteht aus einem Matrix-Kamerasystem (2) mit Objektiv (3), einer Strahllenkungsoptik (4) und einer elektronischen Auswerteeinheit (1), wobei das Kamerasystem einen CCD- oder CMOS-Arraysensor und die Auswerteeinheit zumindest einen Mikrocontroller und Speicherbausteine aufweisen und das von dem Sensor gelieferte Bild (6) auf Veränderungen hin, die auf Gewindefehler oder einen Fehler in der Beschichtung hinweisen, überprüft. DOLLAR A Das Bild (6) wird je nach Anforderung aus der Applikation mittels einer Ringleuchte (7) oder mittels einer Kaltlichtquelle direkt durch die Optik ausgeleuchtet. DOLLAR A Erfindungsgemäß ist das Gesamtsystem dadurch besonders gekennzeichnet, daß die Optik eine 360 DEG -Abwicklung von der Mantelfläche des zu prüfenden Körpers auf das Sensorfeld der Kamera abbildet und die Auswerteeinheit mittels Verfahren der Bildverarbeitung und des Bildvergleichs auf Abweichungen der Bilddaten in Bezug auf ein Referenzbild hin überwacht. Der sensitive Überwachungsbereich kann durch Anpassung der Optik oder durch softwaremäßige Fensterung der sensitiven Bildbereiche derart gestaltet werden, daß eine optimale Kontrolle der gesamten Mantelfläche möglich ist. Des Weiteren ist das System und das Verfahren ...
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Prüfeinrichtung (Fig. 1) zur optoelektronischen Prüfung
von Mantelflächen an zylindrischen Körpern, z. B. Oberflächen an Wellen, Außengewinde an Schrau
ben und Gewindestiften auf Beschädigungen und das Vorhandensein von Beschichtungen, mit zu
mindest einem digitalen Bildsensor und einer elektronischen Auswerteeinheit, wobei der Bildsensor
einen CCD-/oder CMOS-Arraysensor und die Auswerteeinheit zumindest einen Mikrocontroller und
Speicherbausteine aufweisen. Desweiteren nutzt die Erfindung die von einem Außengewinde oder von
der Mantelfläche reflektierte Lichtstrahlung zur erfindungsgemäßen Abbildung der Mantelfläche auf
dem Bildsensor. Die Auswerteeinheit überprüft die von dem Sensor gelieferten digitalen oder analo
gen Datenwerte auf Veränderungen hin, die auf Oberflächenfehler, Gewindefehler oder einen Fehler
in der Oberflächenstruktur hinweisen, errechnet aus diesem Abgleich ein digitales Steuersignal und
stellt dieses der Maschinensteuerung zur Aktionssteuerung bereit.
Fehler auf Mantelflächen von rotationssymmetrischen Körpern, wie z. B. Stiften, Schrauben, Zahnrä
dern, usw. wurden bisher visuell durch Betrachten der Flächen von Kontrolleuren gesucht. Damit die
Mantelfläche über 360° rundum geprüft werden konnte mußte das Teil gedreht werden. Dies erhöhte
die Anforderungen an den Prüfer erheblich und reduzierte die Prüfleistung sehr. Deshalb wird der
Prüfling häufig vor Spiegel so positioniert, das die Prüfer den kompletten Umfang der zu prüfenden
Mantelfläche mit einem Blick erfassen kann.
Eine automatische Methode; Mantelflächen zu kontrollieren bedient sich einer Zeilenkamera die kon
tinuierlich während der Prüfling gedreht wird die zu kontrollierende Fläche abscannt, die Bilddaten
speichert und nach Abschluß des Scannvorgangs die Daten auf Fehlermerkmale hin überprüft.
Ebenso kann die Mantelfläche während sich der zu prüfende Körper dreht durch mehrere Aufnahmen
mit einer Matrixkamera erfaßt werden und ein Rechner die Bilddaten automatisch auswerten.
Allen diesen Verfahren liegt die Tatsache zu Grunde, das immer verschiedene Blickrichtungen oder
Drehbewegungen erforderlich sind um die gesamte Mantelfläche zu erfassen. Dies ist zeitaufwendig
und erschwert die Kontrolle von Mantelflächen an zylindrischen Körpern bei liniarer Bewegung des
Teils erheblich.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren zur optoelektronischen Kontrolle von Au
ßengewinden und Mantelflächen von Stiften bereitzustellen bzw. ein optoelektronisches Kontrollsys
tem zur Verfügung zu stellen, mit dem zum einen Fehler am kompletten Umfang von Außengewinden
oder Mantelflächen von Zylinderkörpern bei nur einer Bildaufnahme sicher erkannt und äußerst zu
verlässig der Maschinensteuerung signalisiert werden können. Je nach Art der Steuerung (automatisch
oder personengebunden) erfolgt die Signalübergabe elektronisch (SPS-Signal) oder durch optische
Signalschaltung.
Die Bildauswerteeinheit hat ein Bild bzw. Helligkeitsmuster pixelweise als Referenzdaten für einen
fehlerfreien Kontrollbereich hinterlegt. Fehler, wie z. B. Beschädigungen an Gewinden oder Oberflä
chenfehler, die das Helligkeitsmuster verändern werden elektronisch mittels Bildvergleich oder se
quenzieller Bildauswertealgorithmen mit den Referenzdaten verglichen und als fehlerhaft erkannt. Im
Überwachungsbetrieb erfasst die Kamera auf Triggerimpuls hin das Helligkeitsmuster vom zu prüfen
den Teil. Die Auswerteeinheit vergleicht die von der Kamera erfassten Helligkeitswerte mit den Refe
renzdaten, so daß durch den pixelweisen Vergleich des fortlaufend erfassten Helligkeitsprofils mit
dem Referenzprofil Abweichungen, die auf einen Fehler am Teil hindeuten eindeutig erkannt und de
tektiert werden. Die Größe der Objekte wird u. a. durch die physikalische Auflösung des Sensors, die
verwendete Optik, die Einbauverhältnisse und die Größe des kontrollierten Teils bestimmt.
Vorteilhafterweise erfolgt der Vergleich und die Auswertung zwischen dem aktuellem Helligkeitspro
fil und dem Referenz-Helligkeitsprofil dadurch, daß die Differenz zwischen den Profilsegmenten ge
bildet wird. Überschreitet der Absolutbetrag dieser Differenz einen vorher eingestellten Schwellwert,
so wird das dieser Messung zugrundeliegende Segment als fehlerhaft gewertet. In Abhängigkeit da
von erzeugt die elektronische Auswerteeinheit dann ein SPS-Signal. Liegt der Helligkeitswert unter
halb des Grenzwertes, so erzeugt die Auswerteeinheit ein "ok"-Signal. Durch den Vergleich der Hel
ligkeitswerte der einzelnen Bereiche ist eine einfache und schnelle aber dennoch sehr sichere Kontrol
le der Mantelfläche möglich, da eine sehr feine Aufteilung des Überwachungsbereichs in viele - bei
spielsweise 200 - Profilsegmente möglich ist. Auch kann durch Fensterung des Kontrollfeldes eine
Anpassung der sensitiven Bildbereiche an die jeweiligen Erfordernissen aus der Anwendung vor
genommen werden.
Im einzelnen gibt es nun eine Vielzahl von Möglichkeiten, das erfindungsgemäße Verfahren zur op
toelektronischen Überwachung von Mantelflächen bzw. das erfindungsgemäße Überwachungssystem
auszugestalten und weiterzubilden. Dazu wird verwiesen einerseits auf die den Patentansprüchen
nachgeordneten Patentansprüche, andererseits auf die Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele
in Verbindung, mit den Bildern.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den Zeichnungen und Bildern dargestellt und wird im
Folgenden näher erläutert.
Die Darstellungen zeigen:
Fig. 1 eine schematische Zeichnung einer erfindungsgemäßen Einrichtung zur optoelektroni
schen Kontrolle der Mantelfläche von zylindrischen Körpern.
Fig. 2 eine schematische Zeichnung zum Strahlengang der optischen Strahlung von Prüfobjekt
bis zum Bildaufnahmesensor.
Fig. 3 Abbildung einer fehlerfreien glatten Mantelfläche eines Bolzens.
Fig. 4 Abbildung einer glatten Mantelfläche mit Fehlerstellen.
Fig. 5 Abbildung eines fehlerfreien Außengewindes.
Fig. 6 Abbildung eines beschädigten Außengewindes.
Fig. 7 Abbildung einer Bohrungswandfläche.
Fig. 8 Abbildung eine Bohrung mit Innengewinde.
In Fig. 1 ist schematisch Anlage zur optoelektronischen Kontrolle von Mantelflächen an zylindrischen
Körpern dargestellt. Sie besteht aus einer Matrixkamera (2), einem Objektiv (3) mit vorgesetzter
Strahllenkungsoptik (3), einer Bildauswerteeinheit (1) und einem Monitor (6). Unter der Kamera ist
ein Prüfobjekt (5) positioniert. Dieses wird mit einer Ringleuchte (8) rundum gleichmäßig beleuchtet.
Eine Transorteinrichtung (9) oder einem Handhabungsgerät bringt das Prüfobjekt (5) in die automatisch
in die Meßposition.
Die Kamera enthält vorzugsweise einen CCD-Sensor zur Umsetzung des optischen Bildes in elek
tronische Signale, die ggf. vorverarbeitet, einem in der Bildauswerteeinheit (1) enthaltenen Rechner
zugeführt wird. Sie liegen dann dort in digitalisierter Form vor und können in einem entsprechenden
Speicher gespeichert werden. Die Grauwert- und Geometriedaten des Videobildes (7) lassen sich auf
grund des Helligkeitsmusters aus dem Bild softwaremäßig ermitteln.
Das von der Kamera aufgenommene Bild des zylindrischen Körpers wird auf dem Monitor (6) darges
tellt. Die Strahllenkungsoptik (4) mit dem Objektiv (3) bewirken, daß die Abbildung des Körpers auf
dem CCD-Chip aus ungewöhnlicher Blickrichtung dargestellt wird. Fig. 2 zeigt schematisch einen
möglichen Strahlengang, der die komplette Mantelfläche des zu prüfenden Objekts im Videobild er
laubt. Das besondere ist dabei, daß Strahlen die rundum von der Mantelfläche des Körpers ausgehen
von der Optik erfaßt und so gelenkt werden, daß sich auf dem CCD-Chip ein Abbild der gesamten
Mantelflächen abgebildet werden.
Fig. 3 bis Fig. 8 zeigen Videobilder von verschiedenen Körpern, die durch eine derartige Strahllen
kungsoptik (4) mit einem Strahlengang entsprechend Fig. 2 aufgenommen wurden.
Fig. 3 zeigt die Abbildung einer glatten fehlerfreien Mantelfläche eines Metallbolzens. Die sich im Vi
deobild als heller Ring repräsentierende Mantelfläche kann mit einfachen Bildauswerteprogrammen
auf Fehlerfreiheit überprüft werden.
Fig. 4 zeigt die Abbildung einer glatten Mantelfläche mit eine Fehlerstelle. Der Fehler zeichnet sich
im Videobild als dunkle Stelle deutlich ab.
Fig. 5 zeigt die Mantelfläche einer Schraube mit fehlerfreien Gewindegängen als Videobild. Die Linie
der Gewindespitze wird in dieser Abbildung als saubere Spirallinie wiedergegeben.
Fig. 6 zeigt ein Gewinde mit beschädigten Gewindegängen als durch die Strahlablenkungsoptik auf
genommenes Videobild. Beschädigungen im Gewinde zeigen sich deutlich als dunkle Bereiche inner
halb der das Gewinde darstellenden Spirallinie. Solche Bereiche können mittels Bildanalysesoftware
detektiert werden.
Fig. 7 zeigt die Abbildung einer glatten fehlerfreien Bohrungswand. Die sich im Videobild als heller
Ring repräsentierende Fläche kann mit einfachen Bildauswerteprogrammen auf Fehlerfreiheit über
prüft werden.
Fig. 8 zeigt die Mantelfläche einer Bohrung mit fehlerfreien Gewindegängen als Videobild. Die Linie
der Gewindespitze wird in dieser Abbildung als saubere Spirallinie wiedergegeben.
Claims (11)
1. Verfahren zum Abbilden der gesamten Mantelflächen von zylinderförmigen Körpern, ins
besondere die Oberfläche von Zylinderstiften, Passbolzen, Schrauben und Gewindestiften,
usw. auf Bildsensoren wie CCD-Matrixsensoren oder CMOS-Helligkeitssensoren in Video
kameras als ein Videobild.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß durch den Einsatz spezieller
Beleuchtung Qualitätsmerkmale der zu prüfenden Fläche oder Teilen davon in dem
Videobild optisch hervorgehoben werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Videobild optoelek
tronisch detektiert, in einem Bildspeicher als digitales Helligkeitsmuster abgespeichert und
von einer Bildauswerteeinheit mit zumindest einer Rechnerlogik derart ausgewertet wird,
daß Qualitätsmerkmale der Abbildung bestimmt und vermessen oder im Vergleich zu
Referenzdaten bewertet werden.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Vermessung oder der Ver
gleich der errechneten Qualitätsmerkmale mit den Referenzdaten zu einer qualitativen
Bewertung des abgebildeten zylindrischen Körpers in Form einer Maßzahl oder eines
Gut/Schlecht-Ergebnisses führt.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Ergebnis zur Maschinensteu
erung, zur Steuerung eines Prozessablaufs oder eines Materialflusses genutzt wird.
6. Verfahren nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Verfahren für die
Abbildung und Prüfung von glatten Mantelflächen von Drehteilen eingesetzt wird.
7. Verfahren nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Verfahren für die
Abbildung und Prüfung von Mantelflächen mit Verzahnungen eingesetzt wird.
8. Verfahren nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Verfahren für die
Abbildung und Prüfung von Mantelflächen mit Rändelungen eingesetzt wird.
9. Verfahren nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Verfahren für die
Abbildung und Prüfung von Flächen an Kunststoffteilen eingesetzt wird.
10. Verfahren nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Verfahren für die
Abbildung und Prüfung von Wandflächen in Bohrungen (Durchgangsbohrungen, Sackloch
bohrungen, Bohrungen mit Gewinde, usw.) eingesetzt wird.
11. Einrichtung zum Abbilden und optoelektronischen Prüfen von Mantelflächen von zylinder
förmigen Körpern nach dem Verfahren gemäß Anspruch 1 bis 9, insbesondere die Oberflä
che von Zylinderstiften, Passbolzen, Schrauben und Gewindestiften, nach dem Verfahren
gemäß Anspruch 1 bis 5 bestehend aus:
einer Videokamera,
einer Strahllenkungsoptik mit Objektiv,
einem Speicher zur Ablage der Bilddaten,
einer Rechnereinheit zur Bestimmung von Qualitätsmerkmalen und zum Vergleich die ser mit Solldaten,
Schnittstellen zur Kommunikation mit Peripheriegeräten zwecks Prüfergebnisübermitt lung.
einer Videokamera,
einer Strahllenkungsoptik mit Objektiv,
einem Speicher zur Ablage der Bilddaten,
einer Rechnereinheit zur Bestimmung von Qualitätsmerkmalen und zum Vergleich die ser mit Solldaten,
Schnittstellen zur Kommunikation mit Peripheriegeräten zwecks Prüfergebnisübermitt lung.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2001140374 DE10140374A1 (de) | 2001-08-28 | 2001-08-28 | Verfahren zur optoelektronischen Prüfung von Mantelflächen an zylindrischen Körpern auf Fehlerstellen mit Kamerasystemen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE2001140374 DE10140374A1 (de) | 2001-08-28 | 2001-08-28 | Verfahren zur optoelektronischen Prüfung von Mantelflächen an zylindrischen Körpern auf Fehlerstellen mit Kamerasystemen |
Publications (1)
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DE10140374A1 true DE10140374A1 (de) | 2002-04-25 |
Family
ID=7695754
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
DE2001140374 Withdrawn DE10140374A1 (de) | 2001-08-28 | 2001-08-28 | Verfahren zur optoelektronischen Prüfung von Mantelflächen an zylindrischen Körpern auf Fehlerstellen mit Kamerasystemen |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE10140374A1 (de) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1457770A1 (de) * | 2003-03-13 | 2004-09-15 | Wente / Thiedig GmbH | Optische Prüfeinrichtung für Hohlkörper und Verfahren zur optischen Prüfung von Hohlkörpern |
EP1544605A2 (de) * | 2003-12-19 | 2005-06-22 | Kamax-Werke Rudolf Kellermann GmbH & Co. KG | Verfahren und Vorrichtung zum Überprüfen eines Gewindes eines Verbindungselements auf Beschädigungen |
EP2428794B1 (de) * | 2010-09-08 | 2015-04-01 | Regg Inspection S.r.L. | Inspektionsvorrichtung für mechanische Elemente und ähnliche. |
DE102017100375A1 (de) * | 2017-01-10 | 2018-07-12 | Wente / Thiedig Gmbh | Innengewindeprüfsystem, Verfahren zur Innengewindeprüfung sowie Computerprogramm |
DE102017107173A1 (de) * | 2017-04-04 | 2018-10-04 | Voss Fluid Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Überprüfung der Vormontage eines Schneidrings auf einem Rohr |
-
2001
- 2001-08-28 DE DE2001140374 patent/DE10140374A1/de not_active Withdrawn
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1457770A1 (de) * | 2003-03-13 | 2004-09-15 | Wente / Thiedig GmbH | Optische Prüfeinrichtung für Hohlkörper und Verfahren zur optischen Prüfung von Hohlkörpern |
DE10311416B4 (de) * | 2003-03-13 | 2005-12-01 | Wente / Thiedig Gmbh | Optische Prüfeinrichtung für Hohlkörper und Verfahren zur optischen Prüfung von Hohlkörpern |
EP1544605A2 (de) * | 2003-12-19 | 2005-06-22 | Kamax-Werke Rudolf Kellermann GmbH & Co. KG | Verfahren und Vorrichtung zum Überprüfen eines Gewindes eines Verbindungselements auf Beschädigungen |
DE10359837A1 (de) * | 2003-12-19 | 2005-07-21 | Kamax-Werke Rudolf Kellermann Gmbh & Co. Kg | Verfahren und Vorrichtung zum Überprüfen eines Gewindes eines Verbindungselements auf Beschädigungen |
EP1544605A3 (de) * | 2003-12-19 | 2006-01-18 | Kamax-Werke Rudolf Kellermann GmbH & Co. KG | Verfahren und Vorrichtung zum Überprüfen eines Gewindes eines Verbindungselements auf Beschädigungen |
EP2428794B1 (de) * | 2010-09-08 | 2015-04-01 | Regg Inspection S.r.L. | Inspektionsvorrichtung für mechanische Elemente und ähnliche. |
DE102017100375A1 (de) * | 2017-01-10 | 2018-07-12 | Wente / Thiedig Gmbh | Innengewindeprüfsystem, Verfahren zur Innengewindeprüfung sowie Computerprogramm |
DE102017107173A1 (de) * | 2017-04-04 | 2018-10-04 | Voss Fluid Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Überprüfung der Vormontage eines Schneidrings auf einem Rohr |
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