DE10134677B4 - Apparatus for spectral measurements by means of frequency combs - Google Patents

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Abstract

Apparatur, bestehend aus:
– einer ersten Strahlungsquelle für einen Frequenzkamm mit Modenabstand νr1
– einer zweiten Strahlungsquelle für einen Frequenzkamm mit Modenabstand νr2, derart, dass die Differenz |νr1 – νr2| einen Wert Δνr hat, der wesentlich kleiner als νr1 und νr2 ist.
– Vorrichtung, um die Strahlung mindestens einer der beiden Strahlungsquellen mit einem Meßobjekt in Wechselwirkung zu bringen.
– Vorrichtung, um die entsprechend veränderte Strahlung mit der Strahlung der anderen Strahlungsquelle zu überlagern, derart, dass Interferenz stattfindet.
– Detektor zum Nachweis der Interferenz.
Apparatus consisting of:
- A first radiation source for a frequency comb with mode spacing ν r1
- a second radiation source for a frequency comb with mode spacing ν r2 such that the difference | ν r1 - ν r2 | has a value Δν r that is much smaller than ν r1 and ν r2 .
- Device to bring the radiation of at least one of the two radiation sources with a DUT in interaction.
- Device to superimpose the correspondingly changed radiation with the radiation of the other radiation source, such that interference takes place.
- Detector for the detection of interference.

Figure 00000001
Figure 00000001

Description

Häufig besteht die Notwendigkeit, die spektralen Eigenschaften (Absorption, Durchlässigkeit, Streuung) einer Probe zu charakterisieren.Often exists the need to adjust the spectral properties (absorption, permeability, Scattering) of a sample.

Normalerweise werden hierzu sequentielle Messungen durchgeführt, bei denen die Wellenlänge einer Strahlungsquelle über einen Spektralbereich variiert wird, und gleichzeitig das Signal aufgezeichnet wird.Usually For this purpose, sequential measurements are carried out in which the wavelength of a radiation source via a Spectral range is varied, and at the same time recorded the signal becomes.

Bei einem anderen Verfahren, der Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FTIR), benutzt man eine Strahlungsquelle mit einem kontinuierlichen Spektrum, wobei die Messung eine gewisse Integrationszeit benötigt, während derer eine Weglänge im Interferometer durchgefahren wird (siehe zum Beispiel das Patent DE 19940981 C1 von Simon).Another method, the Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FTIR), uses a radiation source with a continuous spectrum, the measurement requiring a certain integration time during which a path length is traversed in the interferometer (see for example the patent DE 19940981 C1 from Simon).

Eine parallele Aufzeichung eines Spektrums ist eine bekannte Technik, bei der man eine Lichtquelle benutzt, die ein breites Spektrum emittiert. Beim Durchtritt durch die Probe wird das Licht dispergiert und wird mit einem Photodioden/CCD-Array aufgezeichnet, woraus man das Transmissionsspektrum erhält.A parallel recording of a spectrum is a known technique, using a light source that emits a broad spectrum. When passing through the sample, the light is dispersed and is with recorded a photodiode / CCD array, from which one the transmission spectrum receives.

Es ist wünschenswert, eine alternative Methode mit hoher spektraler Auflösung und schneller Meßzeit zu entwickeln. Darüber hinaus ist Laserstrahlung wünschenswert, mit der man eine hohe Empfindlichkeit erreichen kann. Solch eine Methode wird hier beschrieben.It is desirable an alternative method with high spectral resolution and fast measuring time too develop. About that In addition, laser radiation is desirable with which one can achieve a high sensitivity. Such a Method is described here.

Mögliche Anwendungen dieser Methode sind: Mikroskopie, mikrospektrale Analyse, LIDAR.Possible applications of this method are: microscopy, microspectral analysis, LIDAR.

Im Vergleich zum bisherigen Stand der Technik beschreibt die Erfindung eine Methode, die insbesondere in dem Spektralbereich angewendet werden kann, in dem technisch ausgereifte Laserquellen vorhanden sind (Infrarot- bis UV-Bereich). Auch der wichtige Spektralbereich für optischen Datenübertragung ist darin enthalten. Darüberhinaus können nichtlinear-optische Verfahren, wie die parametrische Verstärkung und Selbstphasenmodulation, den nutzbaren Wellenlängenbereich auf relativ einfache Weise erweitern. Der spektrale Umfang kann dabei mehrere Oktaven erreichen. Die Erfindung eignet sich prinzipiell sowohl zum Messen von absorptiven wie dispersiven Eigenschaften, weil die beiden verwendeten Frequenzkämme sowohl vor als auch nach der Wechselwirkung mit der Probe überlagert und die Schwebungen vermessen werden.in the Compared to the prior art describes the invention a method that is particularly applied in the spectral range can be found in the technically mature laser sources are available (Infrared to UV range). Also the important spectral range for optical data transmission is included. Furthermore can non-linear optical methods, such as parametric amplification and Self-phase modulation, the usable wavelength range to relatively simple Expand way. The spectral scope can be several octaves to reach. The invention is suitable in principle both for measuring of absorptive and dispersive properties, because the two are used frequency combs superimposed before and after the interaction with the sample and the beats are measured.

Abgesehen von der hohen spektralen Auflösung und der Geschwindigkeit, liegt der Vorteil der Erfindung darin, dass keine dispersiven Komponenten benötigt werden. Für Messungen im Infraroten kommt man ohne teure optische Elemente und Photodioden aus.apart from the high spectral resolution speed, is the advantage of the invention in that that no dispersive components are needed. For measurements in the infrared one comes without expensive optical elements and photodiodes out.

Die Erfindung ermöglicht sowohl simultane Messungen der Eigenschaften einer Probe über einen breiten Spektralbereich, als auch sequentielle Messungen bei unterschiedlichen Frequenzwerten. Besonders vorteilhaft bei letzterer Implementierung mittels Laser ist, daß dafür keine schmalbandige Laserquelle erforderlich ist, sondern dies mit spektral breiten modengekoppelten Lasern durchgeführt werden kann. Entsprechende schmalbandige Laser mit sehr großem Abstimmbereich wären aufwändig in Herstellung und Betrieb. Die Selektivität im Frequenzraum bei der sequentiellen Messung wird nicht direkt sondern vielmehr durch die strikte Periodizität der Laserpulse erreicht. Dieser Aspekt unterscheidet die Erfindung auch von US-Patent US 42 97 035 von Bjorklund, welcher eine schmalbandige Laserquelle vorsieht und eine spezielle Detektionstechnik beschreibt.The invention enables both simultaneous measurements of the properties of a sample over a broad spectral range, as well as sequential measurements at different frequency values. Particularly advantageous in the latter implementation by means of a laser is that no narrowband laser source is required for this, but this can be done with spectrally wide mode-locked lasers. Corresponding narrow-band lasers with a very large tuning range would be complex in production and operation. The selectivity in the frequency domain in the sequential measurement is not achieved directly but rather by the strict periodicity of the laser pulses. This aspect also distinguishes the invention from US patent US 42 97 035 by Bjorklund, which provides a narrowband laser source and describes a special detection technique.

In der Patentschrift DE 4437 575 C2 wird von van der Weide und Keilmann ein Spektrometer mit kohärenter und periodisch gepulster Strahlung beschrieben. In der Anwendung auf Wellenlängen im optischen Spektralbereich ist die angegebene Ausführung mittels des Upconversion-Verfahrens allerdings von hoher Komplexität und für die Praxis kaum geeignet. Weiterhin wird in der Schrift von einer gemeinsamen Bestrahlung der Probe mit zwei periodisch gepulsten Strahlungsbündeln ausgegangen. Diese Bedingung schränkt die aus der Probe erhaltene Information jedoch stark ein.In the patent DE 4437 575 C2 van der Weide and Keilmann describe a spectrometer with coherent and periodically pulsed radiation. When applied to wavelengths in the optical spectral range, however, the specified embodiment by means of the upconversion method of high complexity and hardly suitable in practice. Furthermore, it is assumed in the document of a common irradiation of the sample with two periodically pulsed radiation beams. However, this condition greatly restricts the information obtained from the sample.

Im Patent DE 68927170 T2 von Mitchell wird ein Messinstrument vorgestellt, welches ebenfalls Harmonische-Kammgeneratoren enthält, jedoch dem Zweck der Messung der zeitlichen Antwortfunktion einer fluoreszierenden Probe, nicht aber von spektralen Eigenschaften dient.In the patent DE 68927170 T2 Mitchell presents a measuring instrument that also contains harmonic comb generators but serves the purpose of measuring the temporal response function of a fluorescent sample, but not of spectral properties.

Das grundlegende Prinzip der Anordnung ähnelt einer Schieblehre, die im Frequenzraum wirkt. Eine vorteilhafte Ausgestaltung ist in 1 gezeigt (s. Anspruch 1).

  • 1.) Zwei modengekoppelte Laser erzeugen zwei unabhängige Frequenzkämme, FC1 und FC2, die, falls nötig, durch nichtlineare optische Methoden spektral verbreitert werden können.
  • 2.) Der Servo stabilisiert die Repetitionsrate von FC2 auf einen Wert νr2 = νr1 – Δνr, wobei Δν ≪ νr1, νr2 eine kleine Frequenz ist (z. B. 10 kHz). Auch stabilisiert er die relativen optischen Frequenzen derart, daß zwei bestimmte Frequenzen ν1,0, ν2,0 sehr nah beieinanderliegen, ν2,0 = ν1,0 + δ, wobei δ veränderbar ist.
  • 3.) Der Photodetektor PDref zeichnet die Interferenzen zwischen den beiden Kämmen FC1, FC2 auf, siehe 2. Das RF-Spektrum des Signals von PDref enthält Information über die spektrale Transmission der Probe (s. Ansprüche 5., 6.). 3 zeigt, wie sich eine Reihe von Schwebungen zwischen jeweils einer Mode von FC1 und einer Mode von FC2 ergibt. Einzelne Schwebungen kommen z. B. bei folgenden RF-Frequenzen vor: ν2,0 – ν1,0 = δ ν2,0 + νr2 – (ν1,0 + νr1) = Δνr – δ ν2,0 + 2νr2 – (ν1,0 + 2νr1) = 2Δνr – δ, etc.
The basic principle of the arrangement resembles a vernier caliper acting in frequency space. An advantageous embodiment is in 1 shown (see claim 1).
  • 1.) Two mode-locked lasers produce two independent frequency combs, FC1 and FC2, which, if necessary, can be spectrally broadened by non-linear optical methods.
  • 2.) The servo stabilizes the repetition rate of FC2 to a value ν r2 = ν r1 -Δν r , where Δν r1 , ν r2 is a small frequency (eg 10 kHz). Also, it stabilizes the relative optical frequencies such that two particular frequencies ν 1.0 , ν 2.0 are very close together, ν 2.0 = ν 1.0 + δ, where δ is variable.
  • 3.) The photodetector PD ref records the interference between the two combs FC1, FC2, see 2 , The RF spectrum of the signal from PD ref contains information about the spectral transmission of the sample (see claims 5, 6). 3 shows how a series of beats results between each one mode of FC1 and one mode of FC2. Individual beats come z. At the following RF frequencies: ν 2.0 - ν 1.0 = δ ν 2.0 + ν r2 - (ν 1.0 + ν r1 ) = Δν r - δ ν 2.0 + 2ν r2 - (ν 1.0 + 2ν r1 ) = 2Δν r - δ, etc.

Um zu vermeiden, dass ein Schwebungssignal bei einer bestimmten Schwebungsfrequenz durch verschiedene Moden von FC2 erzeugt wird, muß man bestimmte Bedingungen aufstellen. Die beiden Bedingungen niedrigster Ordnung sind:

Figure 00030001
In order to avoid that a beat signal is generated at a certain beat frequency by different modes of FC2, one must set certain conditions. The two lowest order conditions are:
Figure 00030001

Beispiel: Für die Wahl

Figure 00040001
Example: For the election
Figure 00040001

Diese Bedingungen (s. Anspruch 3) stellen sicher, dass es nur eine einzige Mode in dem Bereich

Figure 00040002
gibt, die eine bestimmte Schwebungsfrequenz verursacht.These conditions (see claim 3) ensure that there is only a single mode in the field
Figure 00040002
which causes a certain beat frequency.

Der Beitrag von Moden außerhalb dieses Bereichs kann unterdrückt werden, indem man die relevanten Moden in den Wellen von FC1 und FC2 durch optische Filter entfernt.Of the Post of fashions outside this area can be suppressed By switching the relevant modes in the waves of FC1 and FC2 removed by optical filters.

Um den obigen Frequenzbereich zu maximieren, ist es nützlich, die Kammabstände, νr1, νr2, zu maximieren, und die Differenz der Kammabstände Δνr zu minimieren. Als Beispiel sei νr1 ≈ νr2 = 1 GHz, Δνr = 10 kHz, gewählt, so daß der eindeutige Bereich

Figure 00040003
ist. Für optische Wellen (ν1,0 ≈ ν2,0 ≈ 500 THz) ist das ein Wellenlängenbereich von ca. 50 nm.In order to maximize the above frequency range, it is useful to maximize the comb spacings, ν r1 , ν r2 , and to minimize the difference of comb spacings Δν r . As an example, choose ν r1 ≈ ν r2 = 1 GHz, Δν r = 10 kHz, so that the unique range
Figure 00040003
is. For optical waves (ν 1.0 ≈ ν 2.0 ≈ 500 THz) this is a wavelength range of about 50 nm.

Die elektrische Leistung des Photostroms von PDsig bei der Schwebungsfrequenz |NΔνr – δ| ist durch |E11,N)E2,out2,N)|2 gegeben, wobei E11,N), E2,out2,N) die Feldstärken bei den entsprechenden Kammfrequenzen sind ν1,N = ν1,0 + Nνr1, ν2,N = ν2,0 + Nνr2 (N ist eine positive oder negative ganze Zahl). Das Verhältnis der Signalleistungen, die von PDsig und PDref bei dieser Schwebungsfrequenz aufgezeichnet werden, ist proportional zu

Figure 00040004
was dem Transmissions-Koeffizienten der Probe bei der optischen Frequenz ν2,N entspricht.The electric power of the photocurrent of PD sig at the beat frequency | NΔν r - δ | is by | E 11, N ) E 2, out2, N ) | 2 , where E 11, N ), E 2, out2, N ) are the field strengths at the corresponding comb frequencies zen are ν 1, N = ν 1,0 + Nν r1 , ν 2, N = ν 2,0 + Nν r2 (N is a positive or negative integer). The ratio of the signal powers recorded by PD sig and PD ref at this beat frequency is proportional to
Figure 00040004
which corresponds to the transmission coefficient of the sample at the optical frequency ν 2, N.

Andere Realisierungsmöglichkeiten werden im folgenden beschrieben.

  • 1. Statt vollständige RF-Spektren mit den Photodetektoren PDref und PDsig aufzuzeichnen, kann man diese Detektoren auch in einem schmalbandigen Modus betreiben, d. h. ihren Output bei einer bestimmten RF-Frequenz ν * / b, filtern. Dadurch erhält man Informationen über die Eigenschaften der Probe bei der optischen Frequenz ν * / 2 = ν2,0 + N* νr2, wobei N* gegeben ist durch
    Figure 00050001
    Wenn man den Kammabstand Δνr verändert, aber bei einem festen Wert ν * / b, mißt, verändert man effektiv die optische Frequenz ν * / 2 und erhält sequentiell das Transmissionsspektrum.
  • 2. Alternativ kann man das Photod →etektorsignal bei einer bestimmten RF-Frequenz ν * / b betrachten und die absolute Frequenz des Kamms FC2 in Schritten von Δνr, d. h. ν2,N → ν2,N + nΔνr, verändern (s. Anspruch 4). Das bedeutet eine Veränderung in Schritten von νr2 der optischen Frequenz derjenigen Mode von FC2, die das Signal bestimmt. Das Verändern des zweiten Kamms kann durchgeführt werden durch einen verstimmbaren akustooptischen Frequenzschieber, der nach dem ersten Strahlteiler (s. 1) eingefügt wird, oder dadurch, dass man δ in Schritten von Δνr erhöht.
Other implementation possibilities are described below.
  • 1. Instead of recording complete RF spectra with the photodetectors PD ref and PD sig , one can also operate these detectors in a narrowband mode, ie, filter their output at a given RF frequency ν * / b. This gives information about the properties of the sample at the optical frequency ν * / 2 = ν 2.0 + N * ν r2 , where N * is given by
    Figure 00050001
    If one changes the comb distance Δν r , but measures at a fixed value ν * / b, one effectively changes the optical frequency ν * / 2 and receives the transmission spectrum sequentially.
  • 2. Alternatively, one can consider the photod → etektorsignal at a certain RF frequency ν * / b and the absolute frequency of the comb FC2 in steps of Δν r , ie ν 2, N → ν 2, N + nΔν r , change (s Claim 4). This means a change in steps of ν r2 of the optical frequency of the mode of FC2 that determines the signal. The altering of the second comb can be carried out by a tunable acousto-optical frequency shifter, which after the first beam splitter (see FIG. 1 ) or by increasing δ in steps of Δν r .

Die technischen Betrachtungen werden im folgenden erläutert.The technical considerations are explained below.

Der Teil des Servo aus 1, der sicherstellt, dass ν2,0 = ν1,0 + δ, kann durch Verwendung eines zusätzlichen Dauerstrich-Lasers der Frequenz νL, die innerhalb des optischen Spektrums der beiden Frequenzkämme liegt, realisiert werden (4). Die Schwebungen zwischen νL und FC1 und νL und FC2 werden durch Überlappen der Wellen erzeugt. Die Absolutfrequenzen der Kämme werden dann durch zwei Servos 1,2 so stabilisiert, dass ν1,0 = νL und ν2,0 = νL + δ.The part of the servo off 1 Ensuring that ν 2.0 = ν 1.0 + δ can be realized by using an additional continuous wave laser of frequency ν L , which lies within the optical spectrum of the two frequency combs ( 4 ). The beats between ν L and FC1 and ν L and FC2 are generated by overlapping the waves. The absolute frequencies of the combs are then stabilized by two servos 1,2 so that ν 1,0 = ν L and ν 2,0 = ν L + δ.

Claims (8)

Apparatur, bestehend aus: – einer ersten Strahlungsquelle für einen Frequenzkamm mit Modenabstand νr1 – einer zweiten Strahlungsquelle für einen Frequenzkamm mit Modenabstand νr2, derart, dass die Differenz |νr1 – νr2| einen Wert Δνr hat, der wesentlich kleiner als νr1 und νr2 ist. – Vorrichtung, um die Strahlung mindestens einer der beiden Strahlungsquellen mit einem Meßobjekt in Wechselwirkung zu bringen. – Vorrichtung, um die entsprechend veränderte Strahlung mit der Strahlung der anderen Strahlungsquelle zu überlagern, derart, dass Interferenz stattfindet. – Detektor zum Nachweis der Interferenz.Apparatus consisting of: - a first radiation source for a frequency comb with mode spacing ν r1 - a second radiation source for a frequency comb with mode spacing ν r2 such that the difference | ν r1 - ν r2 | has a value Δν r that is much smaller than ν r1 and ν r2 . - Device to bring the radiation of at least one of the two radiation sources with a DUT in interaction. - Device to superimpose the correspondingly changed radiation with the radiation of the other radiation source, such that interference takes place. - Detector for the detection of interference. Apparatur aus 1., derart, dass der Frequenzunterschied δ einer Mode der ersten Strahlungsquelle und einer Mode der zweiten Strahlungsquelle einen Wert besitzt, der von einem Vielfachen des halben Modenabstandsunterschieds (Δνr/2) abweicht.Apparatus of 1., such that the frequency difference δ of a mode of the first radiation source and a mode of the second radiation source has a value which differs from a multiple of half the mode spacing difference (Δν r / 2). Apparatur aus 2., derart, dass besagter Frequenzunterschied δ ein ungerades Vielfaches von Δνr/4 ist.Apparatus of 2. such that said frequency difference δ is an odd multiple of Δν r / 4. Apparatur aus einem der vorhergehenden Ansprüche, derart, dass der besagte Frequenzunterschied δ in Schritten von Δνr verändert werden kann und dass das Detektorsignal spektral selektiert wird.Apparatus according to one of the preceding claims, such that said frequency difference δ can be varied in steps of Δν r and that the detector signal is spectrally selected. Apparatur aus einem der vorhergehenden Ansprüche, derart, dass die elektrische Bandbreite des Detektors wesentlich größer als Δνr ist.Apparatus according to any one of the preceding claims, such that the electrical bandwidth of the detector is substantially greater than Δν r . Apparatur aus einem der vorhergehenden Ansprüche, zusätzlich versehen mit einer Vorrichtung, um das elektrische Detektorsignal spektral zu zerlegen.Apparatus according to one of the preceding claims, additionally provided with a device for spectrally detecting the electrical detector signal disassemble. Apparatur aus einem der vorhergegenden Ansprüche, zusätzlich versehen mit Vorrichtungen, um die Moden jedes Kamms phasenstarr zu koppeln und die Kämme aneinander phasenstarr zu koppeln.Apparatus according to one of the preceding claims, additionally provided with devices to phase lock the modes of each comb and the combs to be in phase with each other. Apparatur aus einem der vorhergehenden Ansprüche, zusätzlich versehen mit einer Vorrichtung, um das elektrische Detektorsignal phasenempflindlich zu vermessen.Apparatus according to one of the preceding claims, additionally provided with a device to phase sensitive the electrical detector signal to measure.
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