DE10130752B4 - Semiconductor memory device with circuit for generating a boosted potential and associated control method - Google Patents

Semiconductor memory device with circuit for generating a boosted potential and associated control method Download PDF

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Abstract

Halbleiterspeichervorrichtung, die folgendes aufweist:
ein Speicherzellenfeld (10) mit einer Vielzahl von Wortleitungen (11);
eine Wortauswahlschaltung (3), die eine der Vielzahl von Wortleitungen basierend auf dem Wert einer Adressse aktiviert;
eine Schaltung (5–8) zur Erzeugung eines verstärkten Potentials, die mit der Wortauswahlschaltung (3) gekoppelt ist, wobei die Schaltung zur Erzeugung eines verstärkten Potentials ein verstärktes Potential an die Wortauswahlschaltung (3) liefert, wenn die Wortleitung zu aktivieren ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Schaltung (5–8) zur Erzeugung eines verstärkten Potentials einen Befehl zur Aktivierung einer Wortleitung (11) erfasst und ein höheres Potential liefert als ein erstes festgelegtes Potential, bevor die Wortleitung (11) aktiviert war.
A semiconductor memory device comprising:
a memory cell array (10) having a plurality of word lines (11);
a word selection circuit (3) that activates one of the plurality of word lines based on the value of an address;
a boosted potential generating circuit (5-8) coupled to the word selecting circuit (3), wherein the boosted potential generating circuit supplies an amplified potential to the word selecting circuit (3) when the word line is to be activated characterized in that the boosted potential generating circuit (5-8) detects a command to activate a word line (11) and supplies a higher potential than a first fixed potential before the word line (11) has been activated.

Figure 00000001
Figure 00000001

Description

TECHNISCHES GEBIETTECHNICAL AREA

Die vorliegende Erfindung betrifft allgemein Halbleitervorrichtungen und insbesondere eine Halbleiterspeichervorrichtung mit einem Steuerverfahren, das eine Potentialreduzierung einer Wortleitungspotential-Leistungsversorgung auf eine Wortleitungsauswahl hin unterdrücken kann.The The present invention relates generally to semiconductor devices and more particularly to a semiconductor memory device having a control method, which a potential reduction of a word line potential power supply can suppress it to a word line selection.

HINTERGRUND DER ERFINDUNGBACKGROUND OF THE INVENTION

Eine Halbleiterspeichervorrichtung, wie beispielsweise ein dynamischer Direktzugriffsspeicher (DRAM), kann eine Speicherzelle haben, die durch einen Speicherzellentransistor und einen Speicherzellenkondensator gebildet ist. Der Speicherzellentransistor ist typischerweise ein n-Typ-Feldeffekttransistor mit isoliertem Gate (IGFET). Das Steuergate des Speicherzellentransistors ist mit einer Wortleitung verbunden, ein Source/Drainanschluß ist mit einer Bitleitung verbunden und ein anderer Source/Drainanschluß ist mit dem Speicherzellenkondensator verbunden. Der Speicherzellenkondensator speichert eine Ladung, die den logischen Pegel des in der Speicherzelle gespeicherten Bits anzeigt. Weil das Potential des Sourceanschlusses eines n-Typ-IGFET auf eine Schwellenspannung (Vt) unterhalb des Potentials begrenzt ist, das an den Gateanschluß des n-Typ-IGFET angelegt ist, ist das im Speicherzellenkondensator gehaltene Potential begrenzt. In dem Fall, in welchem eine Leistungsversorgungsspannung Vint das maximale an eine Wortleitung angelegte Potential ist, hat der Speicherzellenkondensator ein maximales Potential von Vint – Vt, wobei Vt die Schwellenspannung des Speicherzellentransistors ist. Somit wird selbst dann, wenn ein Datenpotential entsprechend der Leistungsversorgung Vint an die Bitleitung angelegt wird, ein Potential von Vint – Vt im Speicherzellenkondensator gespeichert. Dies kann sich auf eine Datenintegrität und/oder Auffrischspezifikationen auswirken.A Semiconductor memory device, such as a dynamic Random Access Memory (DRAM), may have a memory cell which by a memory cell transistor and a memory cell capacitor is formed. The memory cell transistor is typically a n-type field effect transistor with insulated gate (IGFET). The control gate of the Memory cell transistor is connected to a word line, a Source / drain is connected to a bit line and another source / drain is connected to connected to the memory cell capacitor. The memory cell capacitor stores a charge that is the logical level of the stored in the memory cell Indicates bits. Because the potential of the source terminal of an n-type IGFET limited to a threshold voltage (Vt) below the potential which is connected to the gate terminal of the n-type IGFET is applied, which is held in the memory cell capacitor Potential limited. In the case where a power supply voltage Vint is the maximum potential applied to a word line the memory cell capacitor has a maximum potential of Vint - Vt, where Vt is the threshold voltage of the memory cell transistor. Consequently even if a data potential corresponding to the power supply Vint is applied to the bit line, a potential of Vint - Vt in Memory cell capacitor stored. This can affect data integrity and / or Affect refresh specifications.

Zum Verhindern des oben angegebenen Problems wird der Wortleitung typischerweise ein Potential zugeführt, das höher als das Leistungsversorgungspotential Vint ist. Das Potential, das höher als die Leistungsversorgungsspannung Vint ist, kann als Wortleitungs-Aktivierungspotential angesehen werden. Das Wortleitungs-Aktivierungspotential kann das Potential sein, das zum Liefern einer adäquaten Ladungsübertragung zu und von dem Speicherzellenkondensator nötig ist.To the Preventing the above problem, the wordline typically becomes supplied a potential, the higher when the power supply potential is Vint. The potential, that higher than that Power supply voltage Vint is, as word line activation potential be considered. The word line activation potential may be the potential to provide an adequate charge transfer is necessary to and from the memory cell capacitor.

Es gibt zwei Ansätze zum Erhalten einer Spannung, die höher als die Leistungsversorgungsspannung Vint ist.It There are two approaches for obtaining a voltage higher than the power supply voltage Vint is.

Ein Ansatz verwendet einen Oszillator, der mit einem multiplizierenden Ladepump-Gleichrichter verbunden ist. Der Ansatz kann konstant eine verstärkte bzw. erhöhte Spannung zuführen.One Approach uses an oscillator that multiplies with one Charge pump rectifier connected is. The approach can constant increased or increased tension respectively.

Ein anderer Ansatz besteht im Verwenden eines Urlade-Kondensators, so daß ein Urladeimpuls über ein Wortleitungs-Versorgungspotential gelegt werden kann.One Another approach is to use a bootloader capacitor, so the existence Bootloader over a word line supply potential can be placed.

Gemäß 9 ist ein schematisches Blockdiagramm eines herkömmlichen DRAM aufgezeigt und ihm ist das allgemeine Bezugszeichen 100 zugeteilt.According to 9 Fig. 12 is a schematic block diagram of a conventional DRAM and is the general reference numeral 100 allocated.

Ein herkömmlicher DRAM 100 enthält einen Befehlsdecodierer 101, der einen von einer Zentralverarbeitungseinheit (CPU) empfangenen Befehl decodiert und ein Steuersignal zu einer Zeilen-Steuerschaltung 104 liefert. Ebenso enthalten ist ein Adressenpuffer 102, der ein Adressensignal empfängt und eine Zeilenadresse zu einer Wortauswahlschaltung 103 und eine Spaltenadresse zu einer Bitauswahlschaltung 109 liefert. Der Befehlsdecodierer 101 liefert ein Zeilenfreigabesignal RE zum Adressenpuffer 102 und zur Wortauswahlschaltung 103.A conventional DRAM 100 contains a command decoder 101 which decodes a command received from a central processing unit (CPU) and a control signal to a row control circuit 104 supplies. Also included is an address buffer 102 receiving an address signal and a row address to a word selection circuit 103 and a column address to a bit selection circuit 109 supplies. The command decoder 101 supplies a row enable signal RE to the address buffer 102 and to the word selection circuit 103 ,

Der herkömmliche DRAM 100 enthält ein Feld von Speicherzellen 110. Speicherzellen (beispielsweise eine Speicherzelle 113) sind bei der Schnittstelle einer Bitleitung (beispielsweise einer Bitleitung 112 und einer Wortleitung (beispielsweise einer Wortleitung 111) gebildet. Die Wortauswahlschaltung empfängt eine verstärkte Spannung VPP von einer Verstärkerschaltung 108 und wählt basierend auf dem vom Adressenpuffer 102 empfangenen Adressenwert eine Wortleitung 111 aus, wenn das Zeilenfreigabesignal RE aktiv wird. Die verstärkte Spannung VPP wird an eine ausgewählte Wortleitung 111 angelegt.The conventional DRAM 100 contains a field of memory cells 110 , Memory cells (for example, a memory cell 113 ) are at the interface of a bit line (eg a bit line 112 and a wordline (eg, a wordline 111 ) educated. The word selection circuit receives a boosted voltage VPP from an amplifier circuit 108 and selects based on that from the address buffer 102 received address value a word line 111 when the row enable signal RE becomes active. The amplified voltage VPP is applied to a selected word line 111 created.

Eine Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 106 empfängt das verstärkte Potential VPP und erfaßt, ob das verstärkte Potential VPP unter ein vorbestimmtes Potential abfällt oder nicht. Die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 106 liefert ein Verstärkungsspannungssignal VBUP zu einer Oszillatorschaltung 107 und einer Verstärkerschaltung 108. Die Oszillatorschaltung 107 liefert ein Oszillationssignal VBOS zur Verstärkerschaltung 108.A circuit for detecting an amplified potential 106 receives the amplified potential VPP and detects whether the amplified potential VPP falls below a predetermined potential or not. The circuit for detecting an amplified potential 106 provides a boost voltage signal VBUP to an oscillator circuit 107 and an amplifier circuit 108 , The oscillator circuit 107 provides an oscillation signal VBOS to the amplifier circuit 108 ,

Ein Leseverstärker 114 umfaßt ein Datensignal in einer Zeile von ausgewählten Speicherzellen (beispielsweise den Speicherzellen, die mit der ausgewählten Wortleitung 111 verbunden sind). Die Bitauswahlschaltung 109 wählt dann eine Spalte (beispielsweise die Bitleitung 112) basierend auf einer vom Adressenpuffer 102 empfangenen Spaltenadresse aus. Somit werden Daten zu oder von dem herkömmlichen DRAM 100 mittels eines Eingangs/Ausgangs-(I/O)-Puffers 115 geliefert.A sense amplifier 114 includes a data signal in a row of selected memory cells (eg, the memory cells associated with the selected wordline) 111 are connected). The bit selection circuit 109 then selects a column (for example, the bit line 112 ) based on one of the address buffers 102 received column address. Thus, data becomes or becomes from the conventional DRAM 100 by means of an input / output (I / O) buffer 115 delivered.

Nimmt man nun Bezug auf 10, ist ein schematisches Schaltungsdiagramm einer Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 106 aufgezeigt. Die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 106 ist die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 106 der 9.Now take reference 10 13 is a schematic circuit diagram of a boosted potential detection circuit 106 demonstrated. The circuit for detecting an amplified potential 106 is the circuit for detecting an amplified potential 106 of the 9 ,

Die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 106 hat Widerstandsvorrichtungen (R101a und R101b), die zwischen dem verstärkten Potential VPP und der Erdung GND in Reihe geschaltet sind. Das verstärkte Potential VPP ist mit einem Anschluß der Widerstandsvorrichtung R101a verbunden. Ein Anschluß der Widerstandsvorrichtung R101b ist mit der Erdung GND verbunden. Die anderen Anschlüsse der Widerstandsvorrichtungen (R101a und R101b) sind angeschlossen, um ein Potential zu einem Eingangsanschluß einer Komparatorschaltung COM101 zu liefern. Ein Referenzpotential Vs wird zum anderen Eingangsanschluß der Komparatorschaltung COM101 zugeführt. Das Verstärkungsspannungssignal VBUP wird vom Komparator COM101 ausgegeben. Die Widerstandswerte der Widerstandsvorrichtungen (R101a und R101b) werden basierend auf den Werten des erwünschten verstärkten Potentials VPP und des Referenzpotentials Vs bestimmt, so daß dann, wenn das verstärkte Potential auf einem erwünschten Potential ist, ein an der Verbindungsstelle der Widerstandsvorrichtungen (R101a und R101b) erhaltenes Potential gleich der Referenzspannung Vs ist.The circuit for detecting an amplified potential 106 has resistance devices (R101a and R101b) connected in series between the boosted potential VPP and the ground GND. The amplified potential VPP is connected to one terminal of the resistance device R101a. One terminal of the resistance device R101b is connected to the ground GND. The other terminals of the resistance devices (R101a and R101b) are connected to supply a potential to an input terminal of a comparator circuit COM101. A reference potential Vs is supplied to the other input terminal of the comparator circuit COM101. The boost voltage signal VBUP is output from the comparator COM101. The resistance values of the resistance devices (R101a and R101b) are determined based on the values of the desired amplified potential VPP and the reference potential Vs, so that when the amplified potential is at a desired potential, one at the junction of the resistance devices (R101a and R101b). obtained potential is equal to the reference voltage Vs.

Nimmt man nun Bezug auf 11, ist ein schematisches Schaltungsdiagramm einer Oszillatorschaltung 107 aufgezeigt. Die Oszillatorschaltung 107 ist eine Oszillatorschaltung 107 der 9.Now take reference 11 Figure 13 is a schematic circuit diagram of an oscillator circuit 107 demonstrated. The oscillator circuit 107 is an oscillator circuit 107 of the 9 ,

Die Oszillatorschaltung 107 hat ein NAND-Gatter NAND110 und Inverter (IV111 bis IV115). Das NAND-Gatter NAND110 und die Inverter (IV111 bis IV114) sind in Reihe geschaltet, um eine Ringoszillatorschaltung zu bilden, wobei der Ausgang des Inverters IV114 mit einem Eingang des NAND-Gatters NAND110 verbunden ist. Das NAND-Gatter NAND110 empfängt auch das Verstärkungsspannungssignal VBUP an einem Eingang. Der Inverter IV115 ist angeschlossen, um die Ausgabe des Inverters IV114 als Eingabe zu empfangen, und liefert das Oszillationssignal VBOS als Ausgabe.The oscillator circuit 107 has a NAND gate NAND110 and inverters (IV111 to IV115). The NAND gate NAND110 and the inverters (IV111 to IV114) are connected in series to form a ring oscillator circuit, the output of the inverter IV114 being connected to an input of the NAND gate NAND110. The NAND gate NAND110 also receives the boost voltage signal VBUP at an input. The inverter IV115 is connected to receive the output of the inverter IV114 as an input, and supplies the oscillation signal VBOS as an output.

Wenn das Verstärkungsspannungssignal VBUP auf einem hohen logischen Pegel ist, oszilliert die Oszillatorschaltung 107 und das Oszillationssignal VBOS ändert periodisch den logischen Pegel. Jedoch dann, wenn das Verstärkungsspannungssignal VBUP auf einem niedrigen logischen Pegel ist, stoppt die Oszillatorschaltung 107 ein Oszillieren, und das Oszillationssignal VBOS wird auf einem vorbestimmten logischen Pegel (auf logisch niedrig) gehalten.When the boost voltage signal VBUP is at a high logic level, the oscillator circuit oscillates 107 and the oscillation signal VBOS periodically changes the logic level. However, when the boost voltage signal VBUP is at a low logic level, the oscillator circuit stops 107 an oscillation, and the oscillation signal VBOS is maintained at a predetermined logic level (logic low).

Nimmt man nun Bezug auf 13, ist ein schematisches Diagramm einer Verstärkerschaltung 108 aufgezeigt. Die Verstärkerschaltung 108 ist eine Verstärkerschaltung 108 der 9.Now take reference 13 Figure 13 is a schematic diagram of an amplifier circuit 108 demonstrated. The amplifier circuit 108 is an amplifier circuit 108 of the 9 ,

Die Verstärkerschaltung 108 hat Transistoren (Tr111 und Tr112), einen Inverter IV116, einen Verstärkungskondensator Cc und einen Glättungskondensator Cd. Eine Leistungsversorgungsspannung Vint ist mit dem Gateanschluß und dem Sourceanschluß des Transistors Tr111 verbunden. Ein Drainanschluß des Transistors Tr111 ist mit einem Knoten a verbunden. Der Inverter IV116 empfängt ein Oszillationssignal VBOS als Eingabe und liefert eine Ausgabe zu einem Anschluß des Verstärkungskondensators Cc bei einem Knoten b. Ein anderer Anschluß des Verstärkungskondensators Cc ist mit dem Knoten a verbunden. Der Transistor Tr112 hat einen Sourceanschluß und einen Gateanschluß, die mit dem Knoten a verbunden sind, und einen Drainanschluß, der bei einem Knoten c mit dem Glättungskondensator Cd verbunden ist. Ein verstärktes bzw. erhöhtes Potential VPP ist eine Ausgabe am Knoten c. Ein anderer Anschluß des Glättungskondensators Cd ist mit dem Erdungspotential verbunden.The amplifier circuit 108 has transistors (Tr111 and Tr112), an inverter IV116, a boosting capacitor Cc and a smoothing capacitor Cd. A power supply voltage Vint is connected to the gate and the source of the transistor Tr111. A drain of the transistor Tr111 is connected to a node a. The inverter IV116 receives an oscillation signal VBOS as input and provides an output to a terminal of the amplification capacitor Cc at a node b. Another terminal of the amplification capacitor Cc is connected to the node a. The transistor Tr112 has a source and a gate connected to the node a, and a drain connected to the smoothing capacitor Cd at a node c. A boosted potential VPP is an output at node c. Another terminal of the smoothing capacitor Cd is connected to the ground potential.

Nun wird der Betrieb der Verstärkerschaltung bzw. Erhöhungsschaltung bzw. Boosterschaltung 108 beschrieben.Now, the operation of the amplifier circuit or booster circuit or booster circuit 108 described.

Wenn das Oszillationssignal VBOS auf logisch hoch ist, ist der Knoten b auf einem niedrigen Potential. Der Knoten a wird dann durch den Transistor Tr111 auf ein Potential der Leistungsversorgungsspannung Vint minus Vt (einer Schwellenspannung des Transistors Tr111) vorgeladen. Wenn das Oszillationssignal VBOS auf logisch niedrig übergeht, geht der Knoten b auf ein hohes Potential (Vint) über. Der Knoten a wird dann auf 2Vint minus Vt verstärkt bzw. erhöht. Der Transistor Tr112 in Diodenschaltung führt dann eine Ladung und überträgt sie vom Verstärkungskondensator Cc zum Glättungkondensator Cd. Das Oszillationssignal VBOS fährt damit fort zu oszillieren, und das verstärkte Potential VPP hat eine theoretische Grenze von (2Vint – 2Vt), wobei 2Vt die kombinierten Schwellenspannungen der Transistoren (Tr111 und Tr112) ist.If the oscillation signal VBOS is high, is the node b at a low potential. The node a is then replaced by the Transistor Tr111 to a potential of the power supply voltage Vint minus Vt (a threshold voltage of transistor Tr111). When the oscillation signal VBOS transitions to logic low, node b transitions to a high potential (Vint). The knot a is then boosted to 2Vint minus Vt. Of the Transistor Tr112 in diode connection then carries a charge and transmits it from boost capacitor Cc to the smoothing capacitor CD. The oscillation signal VBOS continues to oscillate, and the reinforced Potential VPP has a theoretical limit of (2Vint - 2Vt), where 2Vt is the combined threshold voltages of the transistors (Tr111 and Tr112).

Das verstärkte Potential VPP kann durch Erhöhen der Anzahl von Stufen des Transistors Tr112 und des Verstärkungskondensators Cc erhöht werden.The increased Potential VPP can be increased by increasing the number of stages of the transistor Tr112 and the amplification capacitor Cc increased become.

Nimmt man nun Bezug auf 12, ist ein Zeitdiagramm gezeigt, das eine Verstärkungsoperation bzw. Erhöhungsoperation beim herkömmlichen DRAM 100 darstellt.Now take reference 12 13, there is shown a timing chart illustrating an amplifying operation in the conventional DRAM 100 represents.

Gemäß 12 in Zusammenhang mit 9 decodiert im herkömmlichen DRAM 100, wenn ein Befehl in einem Befehlsdecodierer 101 eingegeben wird, der Befehlsdecodierer 101 den Befehl. Wenn der Befehl ein Datenlese-, ein Datenschreib- oder ein Auffrischbefehl ist, gibt der Befehlsdecodierer ein Steuersignal ACT/REF als einzelnes bzw. stabiles Signal zur Zeilen-Steuerschaltung 104 aus. Die Zeilen-Steuerschaltung 104 gibt ein Zeilenfreigabesignal RE zum Aktivieren des Adressenpuffers 102 und der Wortauswahlschaltung 103 aus. Während der Zeit, zu welcher der Befehl in den Befehlsdecodierer 101 eingegeben wird, wird auch ein Adressensignal in den Adressenpuffer 102 eingegeben. Der Adressenpuffer 102 überträgt bzw. sendet die Adresse synchron zum Anstieg des Zeilenfreigabesignals RE zur Wortauswahlschaltung 103.According to 12 relating to 9 decoded in conventional DRAM 100 , when a Command in a command decoder 101 is input, the command decoder 101 the command. When the command is a data read, data write or refresh command, the command decoder issues a control signal ACT / REF as a single or stable signal to the row control circuit 104 out. The line control circuit 104 gives a row enable signal RE for activating the address buffer 102 and the word selection circuit 103 out. During the time at which the instruction enters the instruction decoder 101 is input, also an address signal in the address buffer 102 entered. The address buffer 102 transmits the address in synchronization with the rise of the row enable signal RE to the word selection circuit 103 ,

Nimmt man nun Bezug auf 10, wird in der Schaltung zur Erfassung eines verstärkten bzw. erhöhten Potentials 106 das verstärkte Potential VPP in einen Anschluß der Widerstandsvorrichtung R101a eingegeben. Widerstandswerte der Widerstände (R101a und R101b) werden so ausgewählt, daß das Potential am Verbindungsknoten zwischen den Widerstandsvorrichtungen (R101a und R101b) VPP/2 ist. Der Komparator COM101 vergleicht das Potential VPP/2 mit dem Refe renzpotential Vs. Das Referenzpotential Vs wird auf 2,0 V eingestellt. Wenn das Potential VPP/2 höher als das Referenzpotential Vs (z. B. 2,0 V) ist, ist das verstärkte Spannungssignal VBUP logisch niedrig. Jedoch dann, wenn das verstärkte Potential VPP so abfällt, daß das Potential VPP/2 unter das Referenzpotential Vs abfällt, ist das verstärkte Spannungssignal VBUP logisch hoch. Dies zeigt an, daß das verstärkte Potential VPP unter das erwünschte minimale Potential von 4,0 V abgefallen ist.Now take reference 10 , is in the circuit for detecting an increased or increased potential 106 the amplified potential VPP is input to one terminal of the resistance device R101a. Resistance values of the resistors (R101a and R101b) are selected so that the potential at the connection node between the resistance devices (R101a and R101b) is VPP / 2. The comparator COM101 compares the potential VPP / 2 with the reference potential Vs. The reference potential Vs is set to 2.0V. When the potential VPP / 2 is higher than the reference potential Vs (eg, 2.0 V), the boosted voltage signal VBUP is logically low. However, when the boosted potential VPP drops so that the potential VPP / 2 falls below the reference potential Vs, the boosted voltage signal VBUP is logically high. This indicates that the amplified potential VPP has dropped below the desired minimum potential of 4.0V.

Nimmt man wiederum Bezug auf 12, kann zu einer Zeit, bevor der Befehl eingegeben worden ist, gesehen werden, daß das verstärkte Potential VPP unter das minimale Potential von 4,0 V abfällt. Dann wird das verstärkte Spannungssignal VBUP logisch hoch. Nimmt man nun Bezug auf 11, empfängt die Oszillatorschaltung 107 das logisch hohe verstärkte Spannungssignal VBUP. Die Oszillatorschaltung 107 wird somit freigegeben. Somit beginnt das Oszillationssignal VBOS eine Zeitverzögerung Δt1, nachdem das verstärkte Potential VPP unter das minimale Potential (4,0 V) abfällt, zu oszillieren, und die Verstärkungsschaltung 108 beginnt, das verstärkte Potential VPP zu verstärken. Die Zeitverzögerung Δt1 wird durch die Ausbreitungsverzögerung der Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 106 und der Oszillationsschaltung 107 bestimmt.Take again reference 12 , at a time before the command has been input, it can be seen that the boosted potential VPP falls below the minimum potential of 4.0V. Then, the amplified voltage signal VBUP becomes logic high. Now take reference 11 , receives the oscillator circuit 107 the logic high amplified voltage signal VBUP. The oscillator circuit 107 will be released. Thus, the oscillation signal VBOS starts to oscillate a time delay Δt1 after the amplified potential VPP falls below the minimum potential (4.0 V), and the amplification circuit 108 begins to reinforce the increased potential VPP. The time delay Δt1 is determined by the propagation delay of the amplified potential detection circuit 106 and the oscillation circuit 107 certainly.

Nachdem der Befehl vom Befehlsdecodierer 101 empfangen ist, gibt der Befehlsdecodierer 101 dann, wenn der Befehl ein Datenlese-, ein Datenschreib- oder ein Auffrischbefehl ist, ein Steuersignal ACT/REF als stabiles Signal zur Zeilen-Steuerschaltung 104 aus. Die Zeilen-Steuerschaltung 104 gibt ein Zeilenfreigabesignal RE zum Aktivieren des Adressenpuffers 102 und der Wortauswahlschaltung 103 aus. Während der Zeit, zu welcher der Befehl in den Befehlsdecodierer 101 eingegeben wird, wird auch ein Adressensignal in den Adressenpuffer 102 eingegeben. Der Adressenpuffer 102 überträgt bzw. sendet die Adresse synchron zum Anstieg des Zeilenfreigabesignals RE zur Wortauswahlschaltung 103.After the command from the command decoder 101 is received, the command decoder gives 101 when the command is a data read, a data write or a refresh command, a control signal ACT / REF as a stable signal to the row control circuit 104 out. The line control circuit 104 gives a row enable signal RE for activating the address buffer 102 and the word selection circuit 103 out. During the time at which the instruction enters the instruction decoder 101 is input, also an address signal in the address buffer 102 entered. The address buffer 102 transmits the address in synchronization with the rise of the row enable signal RE to the word selection circuit 103 ,

Wenn die Wortauswahlschaltung 103 das aktive Zeilenfreigabesignal RE empfängt, verbindet die Wortauswahlschaltung 103 das verstärkte Leistungspotential VPP elektrisch mit einer Wortleitung (beispielsweise der Wortleitung 111). Eine Wortleitung 111 ist mit einer großen Anzahl von Speicherzellen verbunden. Somit hat eine Wortleitung eine relativ große Wortleitungskapazität Cw. Dies veranlaßt, daß das verstärkte Leistungspotential VPP sofort abfällt, wie es in 12 dargestellt ist.When the word selection circuit 103 receives the active row enable signal RE, connects the word select circuit 103 the amplified power potential VPP electrically connected to a word line (eg, the word line 111 ). A wordline 111 is connected to a large number of memory cells. Thus, a word line has a relatively large word line capacitance Cw. This causes the boosted power potential VPP to drop immediately as shown in FIG 12 is shown.

Demgemäß gibt die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 106 ein logisch hohes verstärktes Spannungssignal VBUP aus. Eine Zeitverzögerung Δt2, nachdem das verstärkte Potential VPP abfällt, beginnt die Oszillatorschaltung 107 zu oszillieren und ein oszillierendes Oszillationssignal VBOS zu liefern. Die Verstärkerschaltung 108 beginnt dann, das verstärkte Potential VPP zu verstärken. Somit kann gesehen werden, daß das verstärkte Potential VPP nicht beginnt, sich zu erholen, bis zu einer Zeitverzögerung Δt2, nachdem das verstärkte Potential VPP abfällt. Wenn das verstärkte Potential VPP höher als 4,0 V wird, kehrt das verstärkte Spannungssignal VBUP auf niedrig zurück, und die Oszillatorschaltung 107 und die Verstärkerschaltung 108 werden gesperrt.Accordingly, the boosted potential detection circuit is provided 106 a logic high amplified voltage signal VBUP. A time delay Δt2 after the amplified potential VPP drops, the oscillator circuit starts 107 to oscillate and deliver an oscillating oscillation signal VBOS. The amplifier circuit 108 then begins to amplify the amplified potential VPP. Thus, it can be seen that the boosted potential VPP does not start to recover until a time delay Δt2 after the boosted potential VPP drops. When the boosted potential VPP becomes higher than 4.0V, the boosted voltage signal VBUP returns to low, and the oscillator circuit 107 and the amplifier circuit 108 will be closed.

In den letzten Jahren wird die Kapazität von DRAMs fortlaufend größer. Als Ergebnis wird die Anzahl von, bei einer Aktivierungsoperation ausgewählten Speicherzellen größer. Somit wird eine größere Anzahl von Speicherzellen mit einem verstärkten Potential VPP an den Steuergates der Speicherzellentransistoren beliefert. Dies erhöht die Kapazität Cw, die das verstärkte Potential VPP lädt, wenn Speicherzellen ausgewählt werden.In In recent years, the capacity of DRAMs is steadily increasing. When The result is the number of memory cells selected during an activation operation greater. Consequently will be a larger number of memory cells having a boosted potential VPP to the Control gates of the memory cell transistors supplied. This increases the capacity Cw, the the reinforced Potential VPP charges, when memory cells selected become.

Wenn eine Wortleitung ausgewählt wird, wird eine Ladung an einem Glättungskondensator Cd zur ausgewählten Wortleitung übertragen bzw. transferiert. Dieser Ladungstransfer veranlaßt, daß das verstärkte Potential VPP abfällt, wie es durch die Kapazitätsverhältnisse zwischen dem Glättungskondensator Cd und der Wortleitungskapazität Cw sowie ihre jeweiligen Potentiale bestimmt wird. Aufgrund der Zeitverzögerung Δt2, bevor das verstärkte Potential VPP beginnt, sich zu erholen, kann eine ausreichende verstärkte Spannung VPP nicht sofort erhalten werden. Wenn die verstärkte Spannung VPP niedriger wird, erholt sich das Wortleitungspotential Vw langsam auf einen geeigneten Pegel. Dies kann die Betriebsgeschwindigkeit des DRAM beeinflussen.When a word line is selected, a charge on a smoothing capacitor Cd is transferred to the selected word line. This charge transfer causes the boosted potential VPP to drop as determined by the capacitance ratios between the smoothing capacitor Cd and the wordline capacitance Cw and their respective potentials. Due to the time delay Δt2 before the boosted potential VPP starts to recover, a sufficient boosted voltage VPP can not be immediately obtained be. When the boosted voltage VPP becomes lower, the word line potential Vw slowly recovers to an appropriate level. This can affect the operating speed of the DRAM.

Der Spannungsabfall des verstärkten Potentials VPP kann durch Erhöhen des Kapazitätswerts des Glättungskondensators Cd verkleinert werden. Jedoch erhöht dies die Chipgröße, was wiederum die Produktionskosten erhöht.Of the Voltage drop of the amplified Potential VPP can be increased by increasing the capacity value of the smoothing capacitor Cd be scaled down. However, this increases the chip size, which in turn increases production costs.

Ein Beispiel des zweiten Verstärkungsverfahrens ist in der japanischen veröffentlichten ungeprüften Patentanmeldung JP 05-151773 A dargestellt.An example of the second amplification method is disclosed in Japanese Published Unexamined Patent Application JP 05-151773 A shown.

Das zweite Verstärkungsverfahren enthält ein Erfassen des Anlegens des Zeilenadressenhinweis-(RASB-)Signals und ein temporäres Verstärken eines Potentials RX, das zum Wortleitungstreiber zugeführt wird. Weil jedoch ein Verstärken temporär unter Verwendung eines Impulses durchgeführt wird, kann der Pegel der verstärkten Spannung stark schwanken. Verschiedene Faktoren können die Schwankung des Potentials RX verursachen. Solche Faktoren enthalten Schwankungen von: Transistorkennlinien, Verdrahtungswiderständen, einer parasitären Kapazität, Leistungsversorgungsspannungen und Temperaturen, was nur einige Beispiele sind.The second amplification method contains one Detecting the application of the row address indication (RASB) signal and a temporary one Reinforce one Potential RX, which is supplied to the word line driver. Because, however, a reinforcing temporarily under Using a pulse is performed, the level of the increased Voltage fluctuate greatly. Various factors can be the fluctuation of the potential RX cause. Such factors contain fluctuations from: transistor characteristics, wiring resistances, parasitic capacitance, power supply voltages and Temperatures, which are just a few examples.

Wenn der Pegel der verstärkten Spannung (das Potential RX) zu hoch ist, kann eine Spannung an der Speicherzelle veranlassen, daß der Zellentransistor verschlechtert wird und die Lebensdauer der Halbleiterspeichervorrichtung verkürzt wird. Alternativ dazu kann dann, wenn der Pegel der Verstärkungsspannung zu niedrig ist, keine ausreichende Menge an Ladung zum Speicherzellenkondensator zugeführt werden. Somit wird eine Datenintegrität verschlechtert und eine unzureichende Ladung kann für eine Leseoperation verfügbar sein, oder die Leseoperation kann verzögert werden, weil es für den Leseverstärker länger dauern kann, die differentielle Spannung an einem Bitleitungspaar geeignet zu erfassen. Ebenso werden sich die Daten in der Speicherzelle im Verlaufe der Zeit schneller verschlechtern und muß die Auffrischperiode verkürzt werden.If the level of the amplified Voltage (the potential RX) is too high, a voltage at the Memory cell cause the Cell transistor is deteriorated and the life of the semiconductor memory device shortened becomes. Alternatively, if the level of the boost voltage is too low, no sufficient amount of charge is supplied to the memory cell capacitor. Thus, data integrity is degraded and insufficient charge may be available for a read operation, or the reading operation may be delayed because it is for the sense amplifier longer can take the differential voltage on a bit line pair suitable to capture. Likewise, the data will be in the memory cell deteriorate faster over time and must have the refresh period shortened become.

Ebenso kann dann, wenn die parasitäre Kapazität der Wortleitung größer wird, kein vorbestimmter Pegel der verstärkten Spannung erreicht werden, ohne die Verstärkungskapazität zu erhöhen. Diese erhöhte Verstärkungskapazität muß durch einen großen Transistor getrieben werden. Als Ergebnis dieser Faktoren wird die Chipgröße der Halbleiterspeichervorrichtung größer. Ebenso kann ein kontinuierliches Laden und Entladen großer Kondensatoren ein Rauschen auf dem Chip erzeugen, welches Operationen, wie beispielsweise ein Lesen, beeinflussen kann.As well can if the parasitic capacity the word line gets bigger, no predetermined level of boosted voltage can be achieved without to increase the amplification capacity. This increased amplification capacity must by a big Be driven transistor. As a result of these factors, the Chip size of the semiconductor memory device greater. As well A continuous charging and discharging of large capacitors can cause a noise generate on the chip which operations, such as a Reading, can influence.

Angesichts der obigen Diskussion wäre es wünschenswert, eine Halbleiterspeichervorrichtung mit einem Steuerverfahren zu schaffen, das ein Wortleitungspotential erhöhen kann, ohne die Chipgröße nachteilig zu beeinflussen. Es wäre auch wünschenswert, den Potentialabfall eines verstärkten Potentials zu unterdrücken, wenn eine Wortleitung ausgewählt wird. Es wäre auch wünschenswert, die Zeit zu reduzieren, die zum Beginnen einer Wiederherstellung des verstärkten Potentials und zum Verbessern von Lese- und Schreibgeschwindigkeiten erforderlich ist. Es wäre auch wünschenswert, das Auftreten von Rauschen zu reduzieren, das aus einem Bereitstellen eines verstärkten Potentials erzeugt werden kann.in view of the discussion above would be it desirable a semiconductor memory device with a control method create that can increase a word line potential, without the chip size disadvantageous to influence. It would be also desirable the potential drop of a reinforced To suppress potential if a wordline is selected becomes. It would be also desirable to reduce the time to start a recovery of the reinforced Potential and to improve read and write speeds is required. It would be also desirable to reduce the occurrence of noise that comes from providing a reinforced Potentials can be generated.

Aus der JP 11-288588 A ist eine Halbleiterschaltung zur Erzeugung einer stablien erhöhten Spannung bekannt, aufweisend eine interne Spannungserzeugungsschaltung zur Erzeugung einer internen Spannung eines festgelegten Pegels, eine Erfassungsschaltung für die Erfassung des Spannungspegels der internen Spannung und eine Initialisierungsschaltung zur Aktivierung der Erfassungsschaltung für eine festgelegte Zeitdauer, wenn eine Spannungsversorgung an einen Spannungsversorgungsknoten gestartet wird, wobei die Erfassungsschaltung in Antwort auf ein internes Steuersignal nach Ablauf einer festgelegten Zeitdauer aktiviert wird.From the JP 11-288588 A A semiconductor circuit for generating an increased voltage is known, comprising an internal voltage generating circuit for generating an internal voltage of a predetermined level, a detection circuit for detecting the voltage level of the internal voltage and an initialization circuit for activating the detection circuit for a fixed period of time when a power supply is on a power supply node is started, wherein the detection circuit is activated in response to an internal control signal after a predetermined period of time.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNGSUMMARY OF THE INVENTION

Gemäß der vorliegenden Erfindung wird eine Halbleiterspeichervorrichtung gemäß Anspruch 1 sowie ein Steuerverfahren zum Steuern einer Halbleiterspeichervorrichtung gemäß Anspruch 8 vorgeschlagen.According to the present The invention is a semiconductor memory device according to claim 1 and a control method for controlling a semiconductor memory device according to claim 8 proposed.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Ausführungsbeispiele kann eine Verstärkungs-Steuerschaltung ein einzelnes bzw. Einkreis-Verstärkungs-Steuersignal liefern, das anzeigt, daß eine Wortleitung zu aktivieren ist.According to one another aspect of the embodiments may be a gain control circuit single or single loop gain control signal which indicates that one Word line is to be activated.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Ausführungsbeispiele kann eine Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials das Verstärkungs-Steuersignal empfangen und kann ein verstärktes Spannungssignal mit einem Oszillator-Freigabezustand und einem Oszillator-Sperrzustand liefern. Das verstärkte Spannungssignal kann den Oszillator-Freigabezustand haben, wenn das Verstärkungs-Steuersignal anzeigt, daß die Wortleitung zu aktivieren ist.According to one another aspect of the embodiments For example, a boosted potential detection circuit may amplify the control signal receive and can be a fortified Voltage signal having an oscillator enable state and an oscillator disable state deliver. The reinforced Voltage signal may have the oscillator enable state when the gain control signal indicates that the Word line is to be activated.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Ausführungsbeispiele kann das verstärkte Spannungssignal den Oszillator-Freigabezustand haben, wenn der Knoten eines verstärkten Potentials unter ein vorbestimmtes Potential abfällt.According to one another aspect of the embodiments can the amplified Voltage signal to have the oscillator enable state when the node a reinforced Potential drops below a predetermined potential.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Ausführungsbeispiele kann das verstärkte Spannungssignal den Oszillator-Freigabezustand haben, wenn das verstärkte Potential niedriger als ein vorbestimmtes Potential ist, wenn das Verstärkungs-Steuersignal nicht anzeigt, daß die Wortleitung zu aktivieren ist. Das verstärkte Spannungssignal kann den Oszillator-Freigabezustand haben, wenn das verstärkte Potential niedriger als ein zweites vorbestimmtes Potential ist, wenn das Verstärkungs-Steuersignal anzeigt, daß die Wortleitung zu aktivieren ist. Das zweite vorbestimmte Potential kann größer als das erste vorbestimmte Potential sein.According to one another aspect of the embodiments can the amplified Voltage signal to have the oscillator enable state when the amplified potential is lower than a predetermined potential when the boost control signal is not indicates that the Word line is to be activated. The amplified voltage signal can be the Have oscillator enable state when the boosted potential is lower than is a second predetermined potential when the gain control signal indicates that the Word line is to be activated. The second predetermined potential can be bigger than be the first predetermined potential.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Ausführungsbeispiele kann die Oszillatorschaltung einen Oszillationssignalgenerator und eine Oszillator-Voreinstellschaltung enthalten. Der Oszillationssignalgenerator kann oszillieren, wenn das verstärkte Spannungssignal im Oszillator-Freigabezustand ist, und die Oszillator-Voreinstellschaltung kann den Oszillationssignalgenerator zu einem entgegengesetzten Startzustand voreinstellen, wenn das verstärkte Spannungssignal im Oszillator-Sperrzustand ist.According to one another aspect of the embodiments For example, the oscillator circuit may include an oscillation signal generator and an oscillator presetting circuit contain. The oscillation signal generator can oscillate when the reinforced Voltage signal in the oscillator enable state, and the oscillator preset circuit may cause the oscillation signal generator to an opposite start state Preset when the amplified voltage signal is in the oscillator lockout state.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Ausführungsbeispiele kann eine Oszillationsschaltung gekoppelt sein, um ein Oszillationssignal zu erzeugen, das periodische logische Übergänge haben kann, wenn das verstärkte Spannungssignal im Oszillator-Freigabezustand ist. Eine Verstärkerschaltung kann gekoppelt sein, um eine Ladung in Antwort auf logische Übergänge im Oszillationssignal zum Knoten eines verstärkten Potentials zu liefern.According to one another aspect of the embodiments For example, an oscillation circuit may be coupled to an oscillation signal which can have periodic logic transitions when the amplified voltage signal in the oscillator release state. An amplifier circuit can be coupled be to charge in response to logic transitions in the oscillation signal to Knot of a reinforced To deliver potential.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Ausführungsbeispiele kann eine Verstärkungs-Steuerschaltung ein Verstärkungs-Steuersignal in Antwort auf ein Steuersignal erzeugen, das anzeigt, daß eine Wortleitung zu aktivieren ist. Das Verstärkungs-Steuersignal kann ein einzelner Impuls sein und ein Befehlsdecodierer kann einen von außen angelegten Befehl empfangen und das Steuersignal erzeugen.According to one another aspect of the embodiments may be a gain control circuit Gain control signal in response to a control signal indicating that a word line is to be activated. The gain control signal may may be a single pulse and an instruction decoder may be one of Outside received command and generate the control signal.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Ausführungsbeispiele kann die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials einen Komparator enthalten, der ein Referenzpotential und einen verstärkten Pegel, der ein Potential anzeigt, vergleichen kann, und kann ein verstärktes Spannungssignal mit einem Oszillator-Freigabezustand erzeugen, wenn das Referenzpotential größer als das Potential zum Anzeigen eines verstärkten Pegels ist.According to one another aspect of the embodiments For example, the boosted potential detection circuit may be a comparator containing a reference potential and a boosted level, which indicates a potential, can compare, and can be an amplified voltage signal with an oscillator enable state generate when the reference potential is greater than the potential for display a reinforced Level is.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Ausführungsbeispiele kann die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials das Verstärkungs-Steuersignal mit einem ersten Verstärkungs-Steuerlogikzustand erzeugen, wenn eine Wortleitung freizugeben ist. Die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials kann das verstärkte Spannungssignal mit dem Oszillator-Freigabezustand erzeugen, wenn das Verstärkungs-Steuersignal den ersten Verstärkungs-Steuerlogikzustand hat.According to one another aspect of the embodiments For example, the boosted potential detection circuit may receive the boost control signal with a first gain control logic state generate when a word line is to be released. The circuit for Capturing an increased potential can the amplified Generate voltage signal with the oscillator enable state when the gain control signal the first gain control logic state Has.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Ausführungsbeispiele kann die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials eine Spannungsteilerschaltung enthalten, die ein verstärktes Potential empfangen kann, und ein Potential liefern, das proportional zum verstärkten Potential ist. Ein Komparator kann das proportionale Potential mit dem verstärkten Potential vergleichen und das verstärkte Spannungssignal basierend auf dem Vergleich liefern.According to one another aspect of the embodiments For example, the boosted potential detection circuit may include a voltage divider circuit contain a reinforced Can receive potential, and deliver a potential that is proportional to reinforced Potential is. A comparator can use the proportional potential the reinforced one Compare potential and the amplified voltage signal based deliver on the comparison.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Ausführungsbeispiele kann die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials eine erste und eine zweite Spannungsteilerschaltung enthalten, die gemäß dem logischen Wert des Verstärkungs-Steuersignals auswählbar sein können. Dies kann dem Knoten eines verstärkten Potentials ermöglichen, ein höheres Potential zu haben, wenn eine Wortleitung auszuwählen ist.According to one another aspect of the embodiments For example, the boosted potential detection circuit may be a first and a second voltage divider circuit according to the logical Value of the gain control signal selectable can. This can reinforce the knot Enable potentials a higher one To have potential when selecting a word line.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Ausführungsbeispiele kann ein Steuerverfahren zum Steuern einer Halbleiterspeichervorrichtung mit einer Verstärkerschaltung, die ein verstärktes Potential in Antwort auf ein Oszillationssignal erzeugen kann, das durch eine Oszillatorschaltung erzeugt werden kann, die folgenden Schritte enthalten: Empfangen eines Befehls und einer Adresse, Decodieren des Befehls, Erzeugen eines Verstärkungs-Steuersignals in Antwort auf den decodierten Befehl, der anzeigt, daß eine Wortleitung zu aktivieren ist, Liefern einer Ladung zu einem Knoten eines verstärkten Potentials in Antwort auf das Verstärkungs-Steuersignal, Bereitstellen einer elektrischen Verbindung zwischen dem Knoten eines verstärkten Potentials und der Wortleitung gemäß dem Wert der empfangenen Adresse.According to one another aspect of the embodiments For example, a control method for controlling a semiconductor memory device with an amplifier circuit, the one reinforced Can generate potential in response to an oscillation signal passing through an oscillator circuit can be generated, the following steps include: receiving a command and an address, decoding of the command, generating a gain control signal in response to the decoded command indicating that to activate a wordline is, delivering a charge to a node of an amplified potential in response to the gain control signal, Providing an electrical connection between the node a reinforced Potentials and the word line according to the value of the received Address.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Ausführungsbeispiele kann der Schritt zum Liefern einer Ladung zum Knoten eines verstärkten Potentials ein verstärktes Potential liefern, das größer als ein Aktivierungspotential der Wortleitung ist.According to one another aspect of the embodiments For example, the step of supplying a charge to the node of an amplified potential a reinforced one Deliver potential greater than that is an activation potential of the word line.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Ausführungsbeispiele kann der Schritt zum Erzeugen eines verstärkten Steuersignals ein Erzeugen des verstärkten Steuersignals mit einem einzelnen Impuls enthalten.According to one another aspect of the embodiments For example, the step of generating a boosted control signal may generate of the reinforced Control signal with a single pulse included.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Ausführungsbeispiele enthält der Schritt zum Liefern einer Ladung zu einem verstärkten Knoten ein Erzeugen des Oszillationssignals mit einer Oszillationssignalperiode zwischen logischen Übergängen. Das Oszillationssignal kann in Antwort auf das Verstärkungs-Steuersignal erzeugt werden.According to another aspect of the embodiments, the step of supplying a charge to a boosted node includes generating the oscillation signal with an oscillation signal period between logical transitions. The oscil The lation signal can be generated in response to the gain control signal.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Ausführungsbeispiele kann ein Erzeugen des Oszillationssignals in Antwort auf das Verstärkungs-Steuersignal ein Erzeugen eines Oszillations-Steuersignals in Antwort auf das Verstärkungs-Steuersignal enthalten. Das Oszillationssignal kann einen letzten Oszillationszustand haben, wenn das Oszillations-Steuersignal in einem Oszillations-Sperrzustand ist, und das Oszillationssignal kann zu einem gegenüber einem letzten Oszillationszustand entgegengesetzten Zustand übergehen, wenn das Steuersignal zu einem Oszillations-Freigabezustand übergeht, ohne daß es durch die Oszillationssignalperiode zwischen Übergängen verzögert wird.According to one another aspect of the embodiments may include generating the oscillation signal in response to the gain control signal Generating an oscillation control signal in response to the gain control signal contain. The oscillation signal may have a last oscillation state when the oscillation control signal is in an oscillation locked state is, and the oscillation signal can be compared to a last Oscillation state to go opposite state when the control signal goes to an oscillation release state, without it through the oscillation signal period is delayed between transitions.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGENBRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

1 ist ein schematisches Blockdiagramm einer Halbleiterspeichervorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung. 1 FIG. 10 is a schematic block diagram of a semiconductor memory device according to an embodiment of the invention. FIG.

2 ist ein schematisches Schaltungsdiagramm einer Verstärkungs-Steuerschaltung gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung. 2 Fig. 10 is a schematic circuit diagram of a gain control circuit according to an embodiment of the invention.

3 ist ein schematisches Schaltungsdiagramm einer Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung. 3 FIG. 12 is a schematic circuit diagram of a boosted potential detection circuit according to an embodiment of the invention. FIG.

4 ist ein schematisches Schaltungsdiagramm einer Oszillatorschaltung gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung. 4 FIG. 12 is a schematic circuit diagram of an oscillator circuit according to an embodiment of the invention. FIG.

5 ist ein Zeitdiagramm, das den Betrieb einer Verstärkungs-Steuerschaltung gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung darstellt. 5 FIG. 13 is a timing diagram illustrating the operation of a gain control circuit according to an embodiment of the invention. FIG.

6 ist ein Zeitdiagramm, das den Verstärkungsbetrieb gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung darstellt. 6 FIG. 13 is a timing diagram illustrating the boost operation according to an embodiment of the invention. FIG.

7 ist ein schematisches Schaltungsdiagramm einer Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung. 7 FIG. 12 is a schematic circuit diagram of a boosted potential detection circuit according to an embodiment of the invention. FIG.

8 ist ein Zeitdiagramm, das den Verstärkungsbetrieb gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung darstellt. 8th FIG. 13 is a timing diagram illustrating the boost operation according to an embodiment of the invention. FIG.

9 ist ein schematisches Blockdiagramm eines herkömmlichen DRAM. 9 Fig. 10 is a schematic block diagram of a conventional DRAM.

10 ist ein schematisches Schaltungsdiagramm einer herkömmlichen Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials. 10 FIG. 12 is a schematic circuit diagram of a conventional boosted potential detection circuit. FIG.

11 ist ein schematisches Schaltungsdiagramm einer herkömmlichen Oszillatorschaltung. 11 Fig. 10 is a schematic circuit diagram of a conventional oscillator circuit.

12 ist ein Zeitdiagramm, das den Verstärkungsbetrieb eines herkömmlichen DRAM darstellt. 12 FIG. 13 is a timing chart illustrating the amplifying operation of a conventional DRAM. FIG.

13 ist ein schematisches Diagramm einer Verstärkerschaltung. 13 is a schematic diagram of an amplifier circuit.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSBEISPIELEDETAILED DESCRIPTION THE EMBODIMENTS

Nun werden verschiedene Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung detailliert unter Bezugnahme auf eine Anzahl von Zeichnungen beschrieben.Now Be different embodiments of the present invention in detail with reference to a Number of drawings described.

Nimmt man nun Bezug auf 1, ist eine Halbleiterspeichervorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel in einem schematischen Blockdiagramm gezeigt, und ihr ist das allgemeine Bezugszeichen 50 zugeteilt. Es wird verstanden, daß die in 1 dargestellte Halbleiterspeichervorrichtung 50 nur Teile zeigen kann, die beim Diskutieren der vorliegenden Erfindung relevant sein können.Now take reference 1 1, a semiconductor memory device according to an embodiment is shown in a schematic block diagram, and it is the general reference numeral 50 allocated. It is understood that the in 1 illustrated semiconductor memory device 50 only show parts that may be relevant in discussing the present invention.

Die Halbleiterspeichervorrichtung 50 kann einen Befehlsdecodierer 1 enthalten, der einen Befehl CMD von einer externen Vorrichtung, wie beispielsweise einer Zentralverarbeitungseinheit (CPU), empfangen kann. Der Befehl CMD kann synchron zu einem Taktsignal CK eingegeben werden. Das Taktsignal CK kann durch einen Taktpuffer 16 erzeugt werden. Der Taktpuffer 16 kann einen externen Takt CLK empfangen und kann das Taktsignal CK erzeugen. Der Befehl CMD kann synchron zum Taktsignal CK durch den Befehlsdecodierer 1 decodiert werden. Wenn ein Befehl CMD fordert, daß eine Wortleitung aktiviert wird, kann der Befehlsdecodierer 1 ein Steuersignal ACT/REF aktivieren. Das Steuersignal ACT/REF kann anzeigen, daß ein Aktivierungsbefehl oder ein Auffrischbefehl empfangen worden ist, was nur zwei Beispiele sind. Eine Zeilen-Steuerschaltung 4 kann das Steuersignal ACT/REF empfangen und kann ein Zeilenfreigabesignal RE erzeugen. Eine Verstärkungs-Steuerschaltung 5 kann das Steuersignal ACT/REF und das Zeilenfreigabesignal RE empfangen und kann ein Verstärkungs-Steuersignal PREVBT erzeugen. Das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT kann ein Impuls mit einer vorbestimmten Verzögerung gegenüber dem aktivierten Steuersignal ACT/REF sein. Das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT kann ein einzelner Impuls mit einer vorbestimmten Impulsbreite sein.The semiconductor memory device 50 can be a command decoder 1 which may receive a command CMD from an external device such as a central processing unit (CPU). The command CMD may be input in synchronism with a clock signal CK. The clock signal CK can by a clock buffer 16 be generated. The clock buffer 16 may receive an external clock CLK and may generate the clock signal CK. The command CMD may be synchronized with the clock signal CK by the command decoder 1 be decoded. When a command CMD requests that a wordline be activated, the command decoder may 1 activate a control signal ACT / REF. The control signal ACT / REF may indicate that an activation command or a refresh command has been received, which are only two examples. A line control circuit 4 may receive the control signal ACT / REF and may generate a row enable signal RE. A gain control circuit 5 may receive the control signal ACT / REF and the row enable signal RE and may generate a gain control signal PREVBT. The gain control signal PREVBT may be a pulse having a predetermined delay relative to the activated control signal ACT / REF. The gain control signal PREVBT may be a single pulse having a predetermined pulse width.

Eine Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 6 kann das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT und ein verstärktes Potential VPP als Eingabe emp fangen und kann ein verstärktes Spannungssignal VBUP erzeugen. Das verstärkte Spannungssignal VBUP kann einen freigegebenen Zustand haben, wenn entweder das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT aktiv ist oder das verstärkte Potential VPP unter einem vorbestimmten Potential ist. Eine Oszillatorschaltung 7 kann das verstärkte Spannungssignal VBUP empfangen und kann ein Oszillationssignal VBOS erzeugen. Eine Verstärkerschaltung 8 kann ein Oszillationssignal VBOS und das verstärkte Spannungssignal VBUP empfangen und kann das verstärkte Potential VPP erzeugen. Ein Glättungskondensator Cd kann das verstärkte Potential VPP empfangen. Der Glättungskondensator Cd kann zum Liefern einer sofortigen Ladung zur Schaltung verwendet werden, die das verstärkte Potential VPP als Leistungsversorgung verwenden kann. Auf diese Weise können Spannungen mit Spitzen beim verstärkten Potential VPP reduziert werden.A circuit for detecting an amplified potential 6 may receive the gain control signal PREVBT and an amplified potential VPP as input, and may amplify a span generate signal VBUP. The amplified voltage signal VBUP may have a released state when either the boost control signal PREVBT is active or the boosted potential VPP is below a predetermined potential. An oscillator circuit 7 may receive the amplified voltage signal VBUP and may generate an oscillation signal VBOS. An amplifier circuit 8th may receive an oscillation signal VBOS and the amplified voltage signal VBUP and may generate the amplified potential VPP. A smoothing capacitor Cd can receive the amplified potential VPP. The smoothing capacitor Cd may be used to provide an immediate charge to the circuit that can use the boosted potential VPP as a power supply. In this way voltages with peaks at the amplified potential VPP can be reduced.

Die Halbleiterspeichervorrichtung 50 kann auch einen Adressenpuffer 2 enthalten. Der Adressenpuffer 2 kann ein Adressensignal ADD empfangen und kann eine Zeilenadresse zu einer Wortauswahlschaltung 3 und/oder eine Spaltenadresse zu einer Bit-Auswahlschaltung 9 liefern. Ein Speicherfeld 10 kann Wortleitungen (beispielsweise eine Wortleitung 11), Bitleitungen (beispielsweise eine Bitleitung 12) und Speicherzellen (beispielsweise eine Speicherzelle 13), die bei der Schnittstelle von Wortleitungen und Bitleitungen ausgebildet sein können, enthalten. Auf diese Weise kann das Speicherfeld 10 ein Feld von Speicherzellen (wie beispielsweise die Speicherzelle 13) enthalten.The semiconductor memory device 50 can also have an address buffer 2 contain. The address buffer 2 may receive an address signal ADD and may input a row address to a word selection circuit 3 and / or a column address to a bit selection circuit 9 deliver. A memory field 10 may be wordlines (eg, a wordline 11 ), Bitlines (eg, a bitline 12 ) and memory cells (for example, a memory cell 13 ), which may be formed at the intersection of word lines and bit lines. That way the memory box can 10 a field of memory cells (such as the memory cell 13 ) contain.

Die Wortauswahlschaltung 3 kann das Zeilenfreigabesignal RE, eine Zeilenadresse (vom Adressenpuffer 2) und das verstärkte Potential VPP empfangen und kann eine Wortleitung (beispielsweise die Wortleitung 11) basierend auf dem Wert der empfangenen Zeilenadresse aktivieren. Auf diese Weise kann die Wortauswahlschaltung 3 das verstärkte Potential VPP zu einer vorbestimmten Wortleitung (beispielsweise zur Wortleitung 11) liefern.The word selection circuit 3 For example, the row enable signal RE, a row address (from the address buffer 2 ) and the amplified potential VPP and may receive a word line (eg, the word line 11 ) based on the value of the received row address. In this way, the word selection circuit 3 the amplified potential VPP to a predetermined word line (for example, to the word line 11 ) deliver.

Ein Leseverstärker 14 kann Bitleitungen (wie beispielsweise die Bitleitung 12) empfangen und kann empfangene kleine Signale verstärken. Auf diese Weise können Daten aus einer Zeile von Speicherzellen (wie beispielsweise der Speicherzelle 13) erfaßt werden. Die Bit-Auswahlschaltung 9 kann ein vorbestimmtes Bit oder eine Gruppe von Bits basierend auf einer Spaltenadresse (vom Adressenpuffer 2) auswählen. Ein Eingabe/Ausgabe-(I/O)-Puffer 15 kann Daten DATA zwischen dem Leseverstärker 14 und externen Anschlüssen zur Verfügung stellen.A sense amplifier 14 may be bitlines (such as the bitline 12 ) and can amplify received small signals. In this way, data from a row of memory cells (such as the memory cell 13 ) are detected. The bit selection circuit 9 may be a predetermined bit or group of bits based on a column address (from the address buffer 2 ) choose. An input / output (I / O) buffer 15 can data DATA between the sense amplifier 14 and external connections.

Auf diese Weise können die Daten DATA synchron zum Taktsignal CK vom Speicherfeld 10 gelesen oder zu ihm geschrieben werden.In this way, the data DATA can be synchronized with the clock signal CK from the memory array 10 read or written to him.

Nimmt man nun Bezug auf 2 ist ein schematisches Schaltungsdiagramm einer Verstärkungs-Steuerschaltung 5 gemäß einem Ausführungsbeispiel gezeigt. Die Verstärkungs-Steuerschaltung 5 kann die Verstärkungs-Steuerschaltung 5 in der in 1 dargestellten Halbleiterspeichervorrichtung 50 sein.Now take reference 2 Fig. 10 is a schematic circuit diagram of a gain control circuit 5 shown according to an embodiment. The gain control circuit 5 may be the gain control circuit 5 in the in 1 illustrated semiconductor memory device 50 be.

Die Verstärkungs-Steuerschaltung 5 kann das Steuersignal ACT/REF und das Zeilenfreigabesignal RE empfangen und kann das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT erzeugen. Die Verstärkungs-Steuerschaltung 5 kann einen Inverter IV1, Transistoren (Transistor bis Tr3), Verzögerungsschaltungen (D1 bis D3), NAND-Gatter (NAND1 und NAND2) und eine Latch-Schaltung L1 enthalten.The gain control circuit 5 may receive the control signal ACT / REF and the row enable signal RE and may generate the gain control signal PREVBT. The gain control circuit 5 may include an inverter IV1, transistors (transistor to Tr3), delay circuits (D1 to D3), NAND gates (NAND1 and NAND2) and a latch circuit L1.

Der Inverter IV1 kann das Zeilenfreigabesignal RE an einem Eingang empfangen und kann einen Ausgang mit einem Gateanschluß des Transistors Tr3 verbunden haben. Der Transistor Tr3 kann einen Sourceanschluß mit einem Erdungspotential GND verbunden und einen Drainanschluß mit einem Sourceanschluß des Transistors Tr2 verbunden haben. Der Transistor Tr2 kann einen Gateanschluß zum Empfangen des Steuersignals ACT/REF angeschlossen und einen Drainanschluß mit einem Knoten N1 verbunden haben. Der Transistor Tr1 kann einen Gateanschluß zum Empfangen des Steuersignals ACT/REF angeschlossen, einen Sourceanschluß mit einer Leistungsversorgung VCC verbunden und einen Drainanschluß mit dem Knoten N1 verbunden haben. Die Transistoren (Tr2 und Tr3) können n-Typ-Feldeffekttransistoren mit isoliertem Gate (IGFETs) sein. Der Transistor Tr1 kann ein p-Typ-IGFET sein.Of the Inverter IV1 may receive the row enable signal RE at an input and may connect an output to a gate of the transistor Tr3 to have. The transistor Tr3 may have a source terminal with a Ground potential GND connected and a drain terminal with a Source of the Transistor Tr2 have connected. The transistor Tr2 may have a gate terminal for receiving the control signal ACT / REF connected and a drain terminal with a Have connected node N1. The transistor Tr1 may have a gate terminal for receiving the control signal ACT / REF connected, a source terminal with a Power supply VCC connected and a drain connection with the Have connected node N1. The transistors (Tr2 and Tr3) may be n-type field-effect transistors with insulated gate (IGFETs). The transistor Tr1 may be a p-type IGFET be.

Die Latch-Schaltung L1 kann einen Eingang mit dem Knoten N1 verbunden haben. Die Latch-Schaltung kann Inverter (IV2 und IV3) enthalten. Der Inverter IV2 kann einen Eingang mit dem Knoten N1 verbunden und einen Ausgang mit einem Eingang des Inverters IV3 verbunden haben. Der Inverter IV3 kann einen Ausgang mit dem Knoten N1 verbunden haben. Auf diese Weise kann die Latch-Schaltung L1 den Knoten N1 von einem schwebenden Zustand abhalten.The Latch circuit L1 can connect an input to node N1 to have. The latch circuit may include inverters (IV2 and IV3). Inverter IV2 may connect an input to node N1 and an output connected to an input of the inverter IV3 to have. Inverter IV3 may connect an output to node N1 to have. In this way, the latch circuit L1 can node N1 to prevent it from floating.

Die Verzögerungsschaltung D1 kann einen Eingang mit dem Knoten N1 verbunden und einen Ausgang mit einem Eingang des NAND-Gatters NAND1 und einem Eingang der Verzögerungsschaltung D1 verbunden haben. Die Verzögerungsschal tung D1 kann eine Inverterkette mit einer ungeraden Anzahl von Stufen enthalten. Somit kann die Verzögerungsschaltung D1 eine verzögerte und invertierte Ausgabe in bezug auf das vom Knoten N1 empfangene Signal liefern.The delay circuit D1 can connect an input to node N1 and an output with an input of the NAND gate NAND1 and an input of the delay circuit D1 have connected. The delay circuit D1 can be an inverter chain with an odd number of levels contain. Thus, the delay circuit D1 a delayed and inverted output with respect to that received from node N1 Deliver signal.

Die Verzögerungsschaltung D2 kann einen Ausgang mit einem Eingang des NAND-Gatters NAND1 verbunden haben. Die Verzögerungsschaltung D2 kann eine Inverterkette mit einer ungeraden Anzahl von Stufen enthalten. Somit kann die Verzögerungsschaltung D2 eine verzögerte und invertierte Ausgabe in bezug auf das von der Verzögerungsschaltung D1 empfangene Signal liefern. Das NAND-Gatter NAND1 kann einen Ausgang mit einem Eingang des NAND-Gatters NAND2 und einem Eingang der Verzögerungsschaltung D3 verbunden haben. Die Verzögerungsschaltung D3 kann einen Ausgang mit einem Eingang des NAND-Gatters NAND2 verbunden haben. Die Verzögerungsschaltung D3 kann eine Inverterkette mit einer geraden Anzahl von Stufen enthalten. Somit kann die Verzögerungsschaltung D3 eine verzögerte Ausgabe in bezug auf das vom NAND-Gatter NAND1 empfangene Signal liefern. Elementenverhältnisse, wie beispielsweise von Transistoren, können in der Verzögerungsschaltung D3 eingestellt werden, um eine Anstiegsflankenverzögerung zu liefern, so daß eine abfallende Flanke des empfangenen Eingangssignals sich durch die Verzögerungsschaltung D3 ausbreiten kann, aber eine Anstiegsflanke um eine vorbestimmte Zeitperiode verzögert sein kann. Das NAND-Gatter NAND2 kann das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT bei einem Ausgang erzeugen.The delay circuit D2 may be a Output connected to an input of the NAND gate NAND1. The delay circuit D2 may include an inverter chain having an odd number of stages. Thus, the delay circuit D2 can provide a delayed and inverted output with respect to the signal received from the delay circuit D1. The NAND gate NAND1 may have an output connected to an input of the NAND gate NAND2 and an input of the delay circuit D3. The delay circuit D3 may have an output connected to an input of the NAND gate NAND2. The delay circuit D3 may include an inverter chain having an even number of stages. Thus, the delay circuit D3 can provide a delayed output with respect to the signal received from the NAND gate NAND1. Element ratios, such as transistors, may be adjusted in the delay circuit D3 to provide a rising edge delay so that a falling edge of the received input signal may propagate through the delay circuit D3, but a rising edge may be delayed by a predetermined period of time. The NAND gate NAND2 may generate the gain control signal PREVBT at an output.

Nun wird der Betrieb der Verstärkungs-Steuerschaltung 5 erklärt.Now, the operation of the gain control circuit 5 explained.

Anfangs kann das Steuersignal ACT/REF logisch niedrig sein und kann das Zeilenfreigabesignal RE logisch niedrig sein. Somit kann der Transistor Tr1 eingeschaltet werden und kann der Knoten N1 durch den Transistor Tr1 auf logisch hoch gezogen werden. Die Verzögerungsschaltung D1 kann eine logisch niedrige Ausgabe liefern. Somit kann die Verzögerungsschaltung D2 eine logisch hohe Ausgabe liefern. Mit einer Eingabe auf logisch niedrig, kann das NAND-Gatter NAND1 eine logisch hohe Ausgabe zu einem Eingang des NAND-Gatters NAND2 liefern. Die Verzögerungsschaltung D3 kann eine logisch hohe Ausgabe zum anderen Eingang des NAND-Gatters NAND2 liefern. Mit beiden Eingängen am NAND-Gatter NAND2 auf logisch hoch kann das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT logisch niedrig sein.At first For example, the control signal ACT / REF may be logically low and may Row enable signal RE logic low. Thus, the transistor Tr1 can be turned on and the node N1 through the transistor Tr1 be pulled up to logical. The delay circuit D1 may be a deliver a logically low output. Thus, the delay circuit D2 deliver a logically high output. With an input on logical low, the NAND gate NAND1 can be a logically high output to one Input of the NAND gate NAND2 supply. The delay circuit D3 may be a Logically high output to the other input of the NAND gate NAND2 deliver. With both inputs at the NAND gate NAND2 to logic high, the gain control signal PREVBT be logically low.

Wenn der Befehlsdecodierer 1 (1) einen Befehl CMD empfängt, der anzeigt, daß eine Wortleitung zu aktivieren ist, kann das Steuersignal ACT/REF auf logisch hoch übergehen. Mit dem Steuersignal ACT/REF auf logisch hoch und dem Zeilenfreigabesignal RE auf logisch niedrig, können die beiden Transistoren Tr2 und Tr3 eingeschaltet werden und kann der Knoten N1 auf niedrig gezogen werden. Die Verzögerungsschaltung D1 kann eine logisch hohe Ausgabe nach einer vorbestimmten Verzögerungsperiode liefern. Weil die Ausgabe der Verzögerungsschaltung D1 noch logisch hoch sein kann, kann die Ausgabe des NAND-Gatters NAND1 auf logisch niedrig übergehen. Mit einer Eingabe des NAND-Gatters NAND2 auf logisch niedrig, kann das Verstärkungs-Steuersignals PREVBT auf logisch hoch übergehen. Auf diese Weise kann die Verzögerungsschaltung D1 im wesentlichen die vorbestimmte Verzögerung von der Anstiegsflanke des Steuersignals ACT/REF zur Anstiegsflanke des Verstärkungs-Steuersignals PREVBT liefern.When the command decoder 1 ( 1 ) receives a command CMD indicating that a word line is to be activated, the control signal ACT / REF may go high. With the control signal ACT / REF at logic high and the row enable signal RE at logic low, the two transistors Tr2 and Tr3 can be turned on and the node N1 can be pulled low. The delay circuit D1 may provide a logic high output after a predetermined delay period. Because the output of the delay circuit D1 may still be logic high, the output of the NAND gate NAND1 may transition to logic low. With an input of the NAND gate NAND2 to logic low, the gain control signal PREVBT can transition to logic high. In this way, the delay circuit D1 can supply substantially the predetermined delay from the rising edge of the control signal ACT / REF to the rising edge of the boost control signal PREVBT.

Weil die Verzögerungsschaltung D3 eine vorbestimmte Verzögerung nur für eine Anstiegsflanke liefern kann, kann die Ausgabe der Verzögerungsschaltung D3 kurz nachdem das NAND-Gatter NAND1 eine logisch niedrige Ausgabe liefert, logisch niedrig werden.Because the delay circuit D3 a predetermined delay only for may provide a rising edge, the output of the delay circuit D3 shortly after the NAND gate NAND1 has a logic low output delivers, logically low.

Eine vorbestimmte Verzögerung (bestimmt durch die Verzögerungsschaltung D2), nachdem die Ausgabe der Verzögerungsschaltung D1 auf hoch übergeht, kann die Ausgabe der Verzögerungsschaltung D2 auf logisch niedrig übergehen. Somit kann die Ausgabe des NAND-Gatters NAND1 zurück auf logisch hoch übergehen. Jedoch kann das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT deshalb, weil die Ausgabe der Verzögerungsschaltung D3 noch auf logisch niedrig ist, auf logisch hoch bleiben. Jedoch kann eine vorbestimmte Verzögerung (bestimmt durch die Verzögerungsschaltung D3), nachdem die Ausgabe des NAND-Gatters NAND1 logisch hoch wird, die Ausgabe der Verzögerungsschaltung D3 logisch hoch werden. Mit beiden Eingaben zum NAND-Gatter NAND2 auf logisch hoch kann das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT logisch niedrig werden. Auf diese Weise kann das Verstärkungs-Steuersignal eine Impulsbreite haben, die im wesentlichen durch die Verzögerungsschaltungen (D2 und D3) bestimmt wird.A predetermined delay (determined by the delay circuit D2) after the output of the delay circuit D1 goes high, can be the output of the delay circuit D2 go to logic low. Thus, the output of NAND gate NAND1 can go back to logical go over high. However, the gain control signal PREVBT, because the output of the delay circuit D3 is still open Logically low, stay at logical high. However, one can predetermined delay (determined by the delay circuit D3), after the output of the NAND gate NAND1 becomes logically high, the output of the delay circuit D3 logically high. With both inputs to the NAND gate NAND2 to logic high, the gain control signal PREVBT become logically low. In this way, the gain control signal have a pulse width substantially through the delay circuits (D2 and D3) is determined.

Somit kann eine vorbestimmte Verzögerung (bestimmt durch die Verzögerungsschaltung D1), nachdem das Steuersignal ACT/REF auf logisch hoch übergeht, das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT logisch hoch werden. Dann kann eine vorbestimmte Verzögerung (bestimmt durch die Summe der Verzögerungsschaltungen D1 und D2) später das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT zu logisch niedrig zurückkehren. Auf diese Weise kann das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT ein verzögerter einzelner Impuls mit einer vorbestimmten Impulsbreite sein.Consequently a predetermined delay (determined through the delay circuit D1) after the control signal ACT / REF transitions to logic high, the gain control signal PREVBT logically high. Then, a predetermined delay (determined by the sum of the delay circuits D1 and D2) later the gain control signal PREVBT return to logically low. In this way, the gain control signal PREVBT a delayed be a single pulse with a predetermined pulse width.

Die Verzögerungsschaltung D2 und das NAND-Gatter NAND1 können funktionsmäßig einen bei der positiven Flanke getriggerten Einzelimpuls mit einer negativen Impulsausgabe bilden. Die Verzögerungsschaltung D3 und das NAND-Gatter NAND2 können funktionsmäßig eine Impulserweiterungseinheit oder eine Impulsverbreiterungseinheit mit einer positiven Impulsausgabe bilden.The delay circuit D2 and the NAND gate NAND1 can functionally form a positive pulse triggered single pulse with a negative pulse output. The delay circuit D3 and the NAND gate NAND2 may functionally comprise a pulse extension unit or a pulse extension unit form with a positive pulse output.

Kurz gesagt kann das Zeilenfreigabesignal RE, nachdem das Steuersignal ACT/REF logisch hoch wird, logisch hoch werden. Somit kann der Transistor Tr3 ausgeschaltet werden. Jedoch kann der logische Zustand des Knotens N1 durch die Latch-Schaltung L1 beibehalten werden.Short That is, the row enable signal RE after the control signal ACT / REF becomes logically high, becomes logically high. Thus, the transistor Tr3 are turned off. However, the logical state of the node can N1 be maintained by the latch circuit L1.

Das Steuersignal ACT/REF kann ein Impuls sein. Wenn die Impulsbreite des Steuersignals ACT/REF gleich oder größer als die erwünschte vorbestimmte Impulsbreite des Verstärkungs-Steuersignals PREVBT ist, können die Verzögerungsschaltungen (D2 und D3) weggelassen werden.The Control signal ACT / REF may be a pulse. When the pulse width of the control signal ACT / REF is equal to or greater than the desired predetermined one Pulse width of the gain control signal PREVBT is, can the delay circuits (D2 and D3) are omitted.

Nimmt man nun Bezug auf 3, ist ein schematisches Schaltungsdiagramm der Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 6 gemäß einem Ausführungsbeispiel gezeigt. Die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 6 kann die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 6 in der in 1 dargestellten Halbleiterspeichervorrichtung 50 sein.Now take reference 3 13 is a schematic circuit diagram of the boosted potential detection circuit 6 shown according to an embodiment. The circuit for detecting an amplified potential 6 For example, the circuit for detecting an amplified potential 6 in the in 1 illustrated semiconductor memory device 50 be.

Die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 6 kann ein Referenzpotential Vref1, das verstärkte Potential VPP, und das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT als Eingaben empfangen und kann ein verstärktes Spannungssignal VBUP als Ausgabe liefern.The circuit for detecting an amplified potential 6 may receive a reference potential Vref1, the boosted potential VPP, and the boost control signal PREVBT as inputs, and may provide an amplified voltage signal VBUP as an output.

Die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 6 kann Widerstandsvorrichtungen (R1a und R1b), einen Komparator COM1 und ein ODER-Gatter OR1 enthalten. Die Widerstandsvorrichtung R1a kann einen Anschluß mit dem verstärkten Potential VPP verbunden und einen anderen Anschluß mit einem An schluß der Widerstandsvorrichtung R1b bei einem Widerstandsverbindungsknoten haben. Die Widerstandsvorrichtung R1b kann einen anderen Anschluß mit dem Erdungspotential GND verbunden haben. Der Komparator COM1 kann einen Eingang mit dem Widerstandsverbindungsknoten verbunden und einen anderen bzw. weiteren Anschluß zum Empfangen des Referenzpotentials Vref1 angeschlossen haben. Das Referenzpotential Vref1 kann etwa 2,0 V sein, was nur ein Beispiel ist.The circuit for detecting an amplified potential 6 may include resistance devices (R1a and R1b), a comparator COM1 and an OR gate OR1. The resistance device R1a may have one terminal connected to the amplified potential VPP and another terminal having a terminal of the resistance device R1b at a resistance connection node. The resistance device R1b may have connected another terminal to the ground potential GND. The comparator COM1 may have one input connected to the resistance connection node and connected another terminal for receiving the reference potential Vref1. The reference potential Vref1 may be about 2.0V, which is only an example.

Der Komparator COM1 kann eine Ausgabe zu einem Eingang des ODER-Gatters OR1 liefern. Das ODER-Gatter OR1 kann das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT bei einem weiteren Eingang empfangen und kann das verstärkte Spannungssignal VBUP erzeugen.Of the Comparator COM1 may have an output to an input of the OR gate Deliver OR1. The OR gate OR1 may be the gain control signal PREVBT received at a further input and the amplified voltage signal VBUP produce.

Nun wird der Betrieb der Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 6 erklärt.Now, the operation of the boosted potential detection circuit will become 6 explained.

Wenn das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT logisch hoch ist, kann das ODER-Gatter OR1 ein logisch hohes verstärktes Spannungssignal VBUP liefern.If the gain control signal PREVBT is high, the OR gate OR1 a logically high fortified one Supply voltage signal VBUP.

Die Widerstandsvorrichtungen (R1a und R1b) können als Spannungsteiler zum Liefern eines Potentials bei einem Eingang des Komparators COM1 wirken, das proportional zum verstärkten Potential VPP sein kann. Die Widerstandsvorrichtungen (R1a und R1b) können Widerstandswerte von etwa 1000 kΩ haben, was nur ein Beispiel ist. Auf diese Weise kann das am Eingang des Komparators COM1 zur Verfügung gestellte Potential etwa gleich der Hälfte des Potentials des verstärkten Potentials VPP sein. Wenn das verstärkte Potential VPP unter 4,0 Volt abfällt, kann der Verbindungsknoten der Widerstandsvorrichtung (R1a und R1b) ein Potential unter 2,0 Volt haben. Der Komparator COM1 kann dann eine hohe Ausgabe zu einem Eingang des ODER-Gatters OR1 liefern. Somit kann das ODER-Gatter OR1 ein logisch hohes verstärktes Spannungssignal VBUP liefern. Jedoch dann, wenn das verstärkte Potential VPP über 4,0 Volt ist, kann der Verbindungsknoten der Widerstandsvorrichtungen (R1a und R1b) ein Potential von über 2,0 Volt haben. Der Komparator COM1 kann dann eine niedrige Ausgabe zu einem Eingang des ODER-Gatters OR1 liefern. In diesem Zustand kann das verstärkte Spannungssignal VBUP logisch niedrig sein, wenn das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT auch logisch niedrig ist.The Resistor devices (R1a and R1b) can be used as voltage dividers for Supplying a potential at an input of the comparator COM1 act, which can be proportional to the increased potential VPP. The resistance devices (R1a and R1b) can have resistance values of about 1000 have kΩ, which is just an example. In this way, that can be done at the entrance of the Comparator COM1 available Asked potential about equal to half of the potential of the amplified potential VPP be. If the amplified Potential VPP drops below 4.0 volts, the connection node of the resistance device (R1a and R1b) have a potential below 2.0 volts. The comparator COM1 can then provide a high output to an input of the OR gate OR1. Thus, the OR gate OR1 may be a logic high amplified voltage signal VBUP deliver. However, if the amplified potential VPP is above 4.0 Volts can, the connection node of the resistance devices (R1a and R1b) have a potential of over Have 2.0 volts. The comparator COM1 can then have a low output to an input of the OR gate OR1. In this condition can the amplified Voltage signal VBUP be logically low when the gain control signal PREVBT is also logically low.

Somit kann die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 6 anzeigen, ob das verstärkte Potential VPP oder ein vorbestimmtes Potential (etwa 4 Volt, was nur ein Beispiel ist) abgefallen ist, oder ob eine Wortleitung zu aktivieren ist (das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT hoch wird). Auf diese Weise kann die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 6 anzeigen, daß mehr Ladung zum verstärkten Potential VPP zugeführt werden kann.Thus, the circuit for detecting a boosted potential 6 indicate whether the boosted potential VPP or a predetermined potential (about 4 volts, which is just one example) has dropped or whether a wordline is to be activated (the boost control signal PREVBT goes high). In this way, the circuit for detecting a boosted potential 6 indicate that more charge can be supplied to the amplified potential VPP.

Nimmt man nun Bezug auf 4, ist ein schematisches Schaltungsdiagramm einer Oszillatorschaltung 7 gemäß einem Ausführungsbeispiel gezeigt. Die Oszillatorschaltung 7 kann die Oszillatorschaltung 7 in der in 1 dargestellten Halbleiterspeichervorrichtung 50 sein.Now take reference 4 Figure 13 is a schematic circuit diagram of an oscillator circuit 7 shown according to an embodiment. The oscillator circuit 7 can the oscillator circuit 7 in the in 1 illustrated semiconductor memory device 50 be.

Die Oszillatorschaltung 7 kann das verstärkte Spannungssignal VBUP und ein Referenzpotential Vref empfangen und kann ein Oszillationssignal VBOS erzeugen. Die Oszillatorschaltung 7 kann einen Oszillationssignalgenerator 7a, eine Oszillator-Voreinstellschaltung 7b, eine Oszillatorzustands-Latch-Schaltung 7c und eine Treiberschaltung 7d enthalten.The oscillator circuit 7 may receive the boosted voltage signal VBUP and a reference potential Vref, and may generate an oscillation signal VBOS. The oscillator circuit 7 may be an oscillation signal generator 7a , an oscillator presetting circuit 7b , an oscillator state latch circuit 7c and a driver circuit 7d contain.

Der Oszillationssignalgenerator 7a kann Inverter (IV11 und IV12), Transistoren (Tr11 und Tr37) und ein Übertragungsgatter G1 enthalten. Das Referenzpotential Vref kann jeweils zu Gateanschlüssen der Transistoren (Tr11 und Tr12) geliefert werden. Der Transistor Tr11 kann eine Sourceanschluß mit dem Erdungspotential verbunden haben und kann einen Drainanschluß mit einem Sourceanschluß des Transistors Tr12 verbunden haben. Der Transistor Tr12 kann einen Drainanschluß mit einem Drainanschluß der Transistoren (Tr13 und Tr14) und einem Gateanschluß der Transistoren (Tr13 bis Tr20) verbunden haben. Die Transistoren Tr13 bis Tr20 können jeweils einen Sourceanschluß mit einer Leistungsversorgung Vint verbunden haben. Die Leistungsversorgung Vint kann, nur als Beispiel, eine intern erzeugte Leistungsversorgung sein. Der Transistor Tr15 kann einen Drainanschluß mit einem Drainanschluß der Transistoren (Tr21 und Tr22) und Gateanschlüssen der Transistoren (Tr22 bis Tr27) verbunden haben. Die Transistoren (Tr16 bis Tr20) können jeweils einen Drainanschluß mit einem jeweiligen Sourceanschluß der Transistoren (Tr28 bis Tr32) verbunden haben. Die Transistoren (Tr21 bis Tr27) können jeweils einen Sourceanschluß mit dem Erdungspotential verbunden haben. Die Transistoren (Tr23 bis Tr27) können jeweils einen Drainanschluß mit jeweils einem Sourceanschluß der Transistoren (Tr33 bis Tr37) verbunden haben. Der Inverter IV11 kann das verstärkte Spannungssignal VBUP an einem Eingang empfangen und kann eine Ausgabe zu einem Gateanschluß des Transistors Tr21 und einem Eingang des Inverters IV12 liefern. Der Inverter IV12 kann eine Ausgabe zu einem Gateanschluß des Transistors Tr14 liefern.The oscillation signal generator 7a Can In verter (IV11 and IV12), transistors (Tr11 and Tr37) and a transmission gate G1 included. The reference potential Vref may be supplied to gate terminals of the transistors (Tr11 and Tr12), respectively. The transistor Tr11 may have a source connected to the ground potential and may have a drain connected to a source of the transistor Tr12. The transistor Tr12 may have a drain connected to a drain of the transistors (Tr13 and Tr14) and a gate of the transistors (Tr13 to Tr20). The transistors Tr13 to Tr20 may each have a source connected to a power supply Vint. The power supply Vint may be, for example only, an internally generated power supply. The transistor Tr15 may have a drain connected to a drain of the transistors (Tr21 and Tr22) and gates of the transistors (Tr22 to Tr27). The transistors (Tr16 to Tr20) may each have a drain connected to a respective source of the transistors (Tr28 to Tr32). The transistors (Tr21 to Tr27) may each have a source connected to the ground potential. The transistors (Tr23 to Tr27) may each have a drain connected to a source of each of the transistors (Tr33 to Tr37). The inverter IV11 may receive the boosted voltage signal VBUP at an input and may provide an output to a gate of the transistor Tr21 and an input of the inverter IV12. The inverter IV12 may provide an output to a gate of the transistor Tr14.

Die Transistoren (Tr11, Tr12 und Tr21 bis Tr27) können n-Typ-IGFETs sein. Die Transistoren (Tr13 bis Tr20) können p-Typ-IGFETs sein.The Transistors (Tr11, Tr12 and Tr21 to Tr27) may be n-type IGFETs. The Transistors (Tr13 to Tr20) can be p-type IGFETs.

Die Transistoren (Tr28 und Tr33) können jeweils ein Steuergate mit einem Ausgang des Übertragungsgatters G1 verbunden haben. Die Transistoren Tr28 und Tr33) können Drainanschlüsse gemeinsam angeschlossen haben. Die Transistoren (Tr29 und Tr34) können jeweils ein Steuergate mit Drainanschlüssen der Transistoren (Tr28 und Tr33) verbunden haben. Die Transistoren (Tr29 und Tr34) können Drainanschlüsse gemeinsam angeschlossen haben. Die Transistoren (Tr30 und Tr35) können jeweils ein Steuergate mit Drainanschlüssen der Transistoren (Tr29 und Tr34) verbunden haben. Die Transistoren (Tr30 und Tr35) können Drainanschlüsse gemeinsam angeschlossen haben. Die Transistoren (Tr31 und Tr36) können jeweils ein Steuergate mit Drainanschlüssen der Transistoren (Tr30 und Tr35) verbunden haben. Die Transistoren (Tr31 und Tr36) können Drainanschlüsse gemeinsam angeschlossen haben. Die Transistoren (Tr32 und Tr37) können jeweils ein Steuergate mit Drainanschlüssen der Transistoren (Tr31 und Tr36) verbunden haben. Die Transistoren (Tr32 und Tr37) können Drainanschlüsse gemeinsam am Knoten N3 angeschlossen haben. Die Transistoren (Tr28 bis Tr32) können p-Typ-IGFETs sein. Die Transistoren (Tr33 bis Tr37) können n-Typ-IGFETs sein.The Transistors (Tr28 and Tr33) can in each case one control gate is connected to an output of the transmission gate G1 to have. The transistors Tr28 and Tr33) may be connected in common to drain terminals to have. The transistors (Tr29 and Tr34) may each have a control gate with drains of the transistors (Tr28 and Tr33). The transistors (Tr29 and Tr34), drain connections can be common have connected. The transistors (Tr30 and Tr35) can each a control gate with drains of the transistors (Tr29 and Tr34). The transistors (Tr30 and Tr35) drains have joined together. The transistors (Tr31 and Tr36) can one control gate with drain terminals of the transistors (Tr30 and Tr35). The transistors (Tr31 and Tr36) can share drain connections have connected. The transistors (Tr32 and Tr37) can each a control gate with drains of transistors (Tr31 and Tr36). The transistors (Tr32 and Tr37) drains have joined together at node N3. The transistors (Tr28 to Tr32) be p-type IGFETs. The transistors (Tr33 to Tr37) may be n-type IGFETs.

Das Übertragungsgatter G1 kann einen Eingang mit Drainanschlüssen der Transistoren (Tr32 und Tr37) am Knoten N3 verbunden und einen Ausgang mit der Oszillatorzustands-Latch-Schaltung 7c am Knoten N4 verbunden haben. Das Übertragungsgatter G1 kann Transistoren (Tr61 und Tr62) enthalten. Der Transistor Tr61 kann einen Source/Drainanschluß mit Drainanschlüssen der Transistoren (Tr32 und Tr37) verbunden, einen anderen Source/Drainanschluß mit der Oszillatorzustands-Latch-Schaltung 7c am Knoten N4 verbunden haben und ein Gateanschluß kann ein durch die Oszillator-Voreinstellschaltung 7b erzeugtes Signal empfangen. Der Transistor Tr62 kann einen Source/Drainanschluß mit Drainanschlüssen der Transistoren (Tr32 und Tr37) verbunden, einen anderen Source/Drainanschluß mit der Oszillatorzustands-Latch-Schaltung 7c am Knoten N4 verbunden haben und ein Gateanschluß kann ein durch die Oszillator- Voreinstellschaltung 7b erzeugtes Signal empfangen. Der Transistor Tr61 kann ein p-Typ-IGFET sein. Der Transistor Tr62 kann ein n-Typ-IGFET sein.The transfer gate G1 may connect an input to drains of the transistors (Tr32 and Tr37) at node N3 and an output to the oscillator state latch 7c connected at node N4. The transmission gate G1 may include transistors (Tr61 and Tr62). The transistor Tr61 may connect a source / drain terminal to drains of the transistors (Tr32 and Tr37), another source / drain terminal to the oscillator state latch circuit 7c at the node N4 and a gate terminal may be turned on by the oscillator preset circuit 7b received signal received. The transistor Tr62 may connect a source / drain terminal to drains of the transistors (Tr32 and Tr37), another source / drain terminal to the oscillator state latch circuit 7c at the node N4 and a gate terminal may be turned on by the oscillator preset circuit 7b received signal received. The transistor Tr61 may be a p-type IGFET. The transistor Tr62 may be an n-type IGFET.

Die Oszillator-Voreinstellschaltung 7b kann Inverter (IV13 und IV14) und Transistoren (Tr41 bis Tr60) enthalten. Der Inverter IV13 kann das verstärkte Spannungssignal VBUP an einem Eingang empfangen und kann eine Ausgabe zu einem Eingang des Inverters IV14 und einem Gateanschluß der Transistoren (Tr46 bis Tr50, Tr64 und Tr61) liefern. Der Inverter IV14 kann eine Ausgabe zu einem Gateanschluß der Transistoren (Tr41 bis Tr45, Tr63 und Tr62) liefern. Die Transistoren (Tr41 bis Tr45) können jeweils einen Sourceanschluß mit der Leistungsversorgung Vint verbunden haben und können jeweils einen Drainanschluß mit einem jeweiligen Sourceanschluß der Transistoren (Tr51 bis Tr55) verbunden haben. Die Transistoren (Tr46 bis Tr50) können jeweils einen Sourceanschluß mit dem Erdungspotential verbunden haben und können jeweils einen Drainanschluß mit einem jeweiligen Sourceanschluß der Transistoren (Tr56 bis Tr60) verbunden haben. Die Transistoren (Tr51 und Tr56) können einen Gateanschluß mit dem Knoten N4 verbunden haben und können Drainanschlüsse gemeinsam an die Gateanschlüsse der Transistoren (Tr52 und Tr57) angeschlossen haben. Die Transistoren (Tr52 und Tr57) können Drainanschlüsse gemeinsam an die Gateanschlüsse der Transistoren (Tr53 und Tr58) angeschlossen haben. Die Transistoren (Tr53 und Tr58) können Drainanschlüsse gemeinsam an die Gateanschlüsse der Transistoren (Tr54 und Tr59) angeschlossen haben. Die Transistoren (Tr54 und Tr59) können Drainanschlüsse gemeinsam an die Gateanschlüsse der Transistoren (Tr55 und Tr60) angeschlossen haben. Die Transistoren (Tr55 und Tr60) können Drainanschlüsse gemeinsam an den Knoten N3 angeschlossen haben. Die Transistoren (Tr41 bis Tr45 und Tr51 bis Tr55) können p-Typ-IGFETs sein. Die Transistoren (Tr46 bis Tr50 und Tr56 bis Tr60) können n-Typ-IGFETs sein.The oscillator presetting circuit 7b may include inverters (IV13 and IV14) and transistors (Tr41 to Tr60). The inverter IV13 may receive the boosted voltage signal VBUP at an input and may provide an output to an input of the inverter IV14 and a gate of the transistors (Tr46 to Tr50, Tr64 and Tr61). The inverter IV14 may provide an output to a gate of the transistors (Tr41 to Tr45, Tr63 and Tr62). The transistors (Tr41 to Tr45) may each have a source connected to the power supply Vint and may each have a drain connected to a respective source of the transistors (Tr51 to Tr55). The transistors (Tr46 to Tr50) may each have a source connected to the ground potential and may each have a drain connected to a respective source of the transistors (Tr56 to Tr60). The transistors (Tr51 and Tr56) may have a gate connected to the node N4 and may have drain terminals connected in common to the gates of the transistors (Tr52 and Tr57). The transistors (Tr52 and Tr57) may have common drain terminals connected to the gates of the transistors (Tr53 and Tr58). The transistors (Tr53 and Tr58) may have common drain terminals connected to the gates of the transistors (Tr54 and Tr59). The transistors (Tr54 and Tr59) can share drain connections to the Gate terminals of the transistors (Tr55 and Tr60) have connected. The transistors (Tr55 and Tr60) may have common drain terminals connected to the node N3. The transistors (Tr41 to Tr45 and Tr51 to Tr55) may be p-type IGFETs. The transistors (Tr46 to Tr50 and Tr56 to Tr60) may be n-type IGFETs.

Zusätzlich können die Transistoren (TR51 und Tr56) der Oszillator-Voreinstellschaltung 7b können Drainanschlüsse gemeinsam an die Drainanschlüsse der Transistoren (Tr28 und Tr33) des Oszillationssignalgenerators 7a angeschlossen haben. Die Transistoren (Tr52 und Tr57) der Oszillator-Voreinstellschaltung 7b können Drainanschlüsse gemeinsam an die Drainanschlüsse der Transistoren (Tr29 und Tr34) des Oszillationssignalgenerators 7a angeschlossen haben. Die Transistoren (Tr53 und Tr58) der Oszillator-Voreinstellschaltung 7b können Drainanschlüsse gemeinsam an die Drainanschlüsse der Transistoren (Tr30 und Tr35) des Oszillationssignalgenerators 7a an geschlossen haben. Die Transistoren (Tr54 und Tr59) der Oszillator-Voreinstellschaltung 7b können Drainanschlüsse gemeinsam an die Drainanschlüsse der Transistoren (Tr31 und Tr36) des Oszillationssignalgenerators 7a angeschlossen haben. Die Transistoren (Tr55 und Tr60) der Oszillator-Voreinstellschaltung 7b können Drainanschlüsse gemeinsam an die Drainanschlüsse der Transistoren (Tr32 und Tr37) des Oszillationssignalgenerators 7a angeschlossen haben.In addition, the transistors (TR51 and Tr56) of the oscillator preset circuit 7b For example, drain terminals may be common to the drains of the transistors (Tr28 and Tr33) of the oscillation signal generator 7a have connected. The transistors (Tr52 and Tr57) of the oscillator preset circuit 7b For example, drain terminals may be common to the drains of the transistors (Tr29 and Tr34) of the oscillation signal generator 7a have connected. The transistors (Tr53 and Tr58) of the oscillator presetting circuit 7b For example, drain terminals may be common to the drains of the transistors (Tr30 and Tr35) of the oscillation signal generator 7a to have closed. The transistors (Tr54 and Tr59) of the oscillator presetting circuit 7b For example, drains may be connected in common to the drains of the transistors (Tr31 and Tr36) of the oscillation signal generator 7a have connected. The transistors (Tr55 and Tr60) of the oscillator presetting circuit 7b For example, drain terminals may be common to the drains of the transistors (Tr32 and Tr37) of the oscillation signal generator 7a have connected.

Die Oszillatorzustands-Latch-Schaltung 7c kann einen Inverter IV15 und Transistoren (Tr63 bis Tr66) enthalten. Der Inverter IV15 kann einen Eingang mit dem Knoten N4 verbunden und einen Ausgang mit einem Gateanschluß der Transistoren (Tr65 und Tr66) verbunden haben. Der Transistor Tr63 kann einen Sourceanschluß mit der Leistungsversorgung Vint verbunden und einen Drainanschluß mit einem Sourceanschluß des Transistors Tr65 verbunden haben. Der Transistor Tr64 kann einen Sourceanschluß mit dem Erdungspotential verbunden haben und kann einen Drainanschluß mit einem Sourceanschluß des Transistors Tr66 verbunden haben. Die Transistoren (Tr65 und Tr66) können Drainanschlüsse gemeinsam an den Knoten N4 angeschlossen haben. Die Transistoren (Tr63 und Tr65) können p-Typ-IGFETs sein. Die Transistoren (Tr64 und Tr66) können n-Typ-IGFETs sein.The oscillator state latch circuit 7c may include an inverter IV15 and transistors (Tr63 to Tr66). Inverter IV15 may have an input connected to node N4 and an output connected to a gate of transistors (Tr65 and Tr66). The transistor Tr63 may have a source connected to the power supply Vint and a drain connected to a source of the transistor Tr65. The transistor Tr64 may have a source connected to the ground potential and may have a drain connected to a source of the transistor Tr66. The transistors (Tr65 and Tr66) may have common drain terminals connected to node N4. The transistors (Tr63 and Tr65) may be p-type IGFETs. The transistors (Tr64 and Tr66) may be n-type IGFETs.

Die Treiberschaltung 7b kann Inverter (IV16 und IV17) enthalten. Der Inverter IV16 kann einen Eingang mit einem Ausgang des Inverters IV15 verbunden und einen Ausgang mit einem Eingang des Inverters IV17 verbunden haben. Der Inverter IV17 kann ein Oszillationssignal VBOS an einem Ausgang erzeugen.The driver circuit 7b may include inverter (IV16 and IV17). The inverter IV16 may have an input connected to an output of the inverter IV15 and an output connected to an input of the inverter IV17. The inverter IV17 may generate an oscillation signal VBOS at an output.

Nun wird der Betrieb der Oszillatorschaltung 7 beschrieben.Now the operation of the oscillator circuit 7 described.

Der Oszillationssignalgenerator 7a kann einen Ringoszillator bilden, bei welchem eine ungerade Anzahl von Invertern in einem Ring angeordnet sein kann. Die Transistoren (Tr28 und Tr33) können einen Inverter bilden. Die Transistoren (Tr29 und Tr34) können einen Inverter bilden. Die Transistoren (Tr30 und Tr35) können einen Inverter bilden. Die Transistoren (Tr31 und Tr36) können einen Inverter bilden. Die Transistoren (Tr32 und Tr37) können einen Inverter bilden. Wenn das Übertragungsgatter G1 freigegeben (leitend) wird, kann der Oszillationssignalgenerator 7a ein Ringoszillator mit fünf Inverterstufen sein, die in einem Ring verbunden sind, und kann ein Oszillationsausgangssignal am Knoten N4 liefern.The oscillation signal generator 7a may form a ring oscillator in which an odd number of inverters may be arranged in a ring. The transistors (Tr28 and Tr33) can form an inverter. The transistors (Tr29 and Tr34) may form an inverter. The transistors (Tr30 and Tr35) can form an inverter. The transistors (Tr31 and Tr36) may form an inverter. The transistors (Tr32 and Tr37) may form an inverter. When the transmission gate G1 is enabled (conducting), the oscillation signal generator 7a be a ring oscillator with five inverter stages connected in a ring, and can provide an oscillation output at node N4.

Innerhalb des Oszillationssignalgenerators 7a können die Transistoren (Tr11 bis Tr13 und Tr15 bis Tr20 und Tr22 bis Tr27) eine Stromquelle für den Ringoszillatorteil des Oszillationssignalgenerators 7a zur Verfügung stellen. Das Referenzpotential Vref kann zum Einstellen der Menge an zugeführtem Strom verwendet werden. Somit kann das Referenzpotential Vref zum Einstellen der Frequenz einer Oszillation des Ringoszillatorteils verwendet werden. Das Referenzpotential Vref kann zu Gateanschlüssen der Transistoren (Tr11 und Tr12) geliefert werden. Dies kann den Strom einstellen, der durch den Transistor Tr13 in Diodenschaltung fließt. Die Transistoren (Tr15 bis Tr20) können jeweils Stromspiegeltyp-Konfigurationen bilden und können somit einen Strom haben, der (in Abhängigkeit von Vorrichtungsgrößen) proportional zu dem Strom sein kann, der durch den Transistor Tr13 fließt. Der Strom, der durch den Transistor Tr15 fließt, kann auch durch den Transistor Tr22 in Diodenkonfiguration bzw. -schaltung fließen. Die Transistoren (Tr23 bis Tr27) können jeweils Stromspiegeltyp-Konfigurationen bilden und können somit einen Strom haben, der (in Abhängigkeit von Vorrichtungsgrößen) proportional zu dem Strom sein kann, der durch den Transistor Tr22 fließt.Within the oscillation signal generator 7a For example, the transistors (Tr11 to Tr13 and Tr15 to Tr20 and Tr22 to Tr27) may be a current source for the ring oscillating part of the oscillation signal generator 7a provide. The reference potential Vref may be used to adjust the amount of current supplied. Thus, the reference potential Vref can be used to set the frequency of oscillation of the ring oscillator part. The reference potential Vref may be supplied to gate terminals of the transistors (Tr11 and Tr12). This can adjust the current flowing through the diode-connected transistor Tr13. The transistors (Tr15 to Tr20) may each form current mirror type configurations and thus may have a current which (depending on device sizes) may be proportional to the current flowing through the transistor Tr13. The current flowing through the transistor Tr15 may also flow through the transistor Tr22 in diode configuration. The transistors (Tr23 to Tr27) may each form current mirror type configurations and thus may have a current which (depending on device sizes) may be proportional to the current flowing through the transistor Tr22.

Die Transistoren (Tr14 und Tr21) können als Sperrvorrichtungen angesehen werden. Wenn der Transistor Tr14 eingeschaltet wird, können Gateanschlüsse der Transistoren (Tr13 und Tr15 bis Tr20) auf hoch gezogen werden. Somit können die Transistoren (Tr13 und Tr15 bis Tr20) ausgeschaltet werden, und ein Stromfluß kann im Ringoszillatorteil des Oszillationssignalgenerators 7a unterbrochen bzw. gestört werden. Auf gleiche Weise können dann, wenn der Transistor Tr21 eingeschaltet wird, Gateanschlüsse der Transistoren (Tr22 bis Tr27) auf niedrig gezogen werden. Somit können die Transistoren (Tr22 bis Tr27) ausgeschaltet werden, und ein Stromfluß kann im Ringoszillatorteil des Oszillationssignalgenerators 7a gestört werden. Durch Stören bzw. Unterbrechen eines Stromflusses im Oszillationssignalgenerator 7a kann ein Stromverbrauch reduziert werden und kann ein Leistungsverbrauch des gesamten Chips reduziert werden.The transistors (Tr14 and Tr21) can be considered as blocking devices. When the transistor Tr14 is turned on, gates of the transistors (Tr13 and Tr15 to Tr20) can be pulled high. Thus, the transistors (Tr13 and Tr15 to Tr20) can be turned off, and a current can flow in the ring oscillator part of the oscillation signal generator 7a be interrupted or disturbed. Similarly, when the transistor Tr21 is turned on, gate terminals of the transistors (Tr22 to Tr27) can be pulled low. Thus, the transistors (Tr22 to Tr27) can be turned off, and a current flow can in the ring oscillator part of the oscillation signal generator 7a be disturbed. By disturbing or interrupting a current flow in the oscillation signal generator 7a For example, power consumption can be reduced and power consumption of the entire chip can be reduced.

Wenn das verstärkte Spannungssignal VBUP auf logisch hoch ist, kann der Oszillationssignalgenerator 7a freigegeben werden und er kann ein Oszillationssignal am Knoten N4 liefern. Wenn das verstärkte Spannungssignal VBUP auf logisch niedrig ist, kann der Oszillationssignalgenerator 7a gesperrt werden.When the boosted voltage signal VBUP is at logic high, the oscillation signal generator 7a can be enabled and it can provide an oscillation signal at node N4. When the boosted voltage signal VBUP is at logic low, the oscillation signal generator 7a be locked.

Wenn das verstärkte Spannungssignal VBUP logisch niedrig ist, kann die Oszillator-Voreinstellschaltung 7b Transistoren (Tr41 bis Tr50) haben, die eingeschaltet werden können. Somit können Inverter mit drei Zuständen, die durch die Transistoren (Tr41 bis Tr60) gebildet sind, freigegeben werden. Der erste Invertereingang (Gateanschlüsse der Transistoren Tr51 und Tr56) können einen logischen Pegel vom Knoten N4 (der zwischengespeichert sein kann) empfangen. Nach einem Ausbreiten durch die in Reihe geschalteten fünf Inverter mit drei Zuständen, die durch die Transistoren (Tr41 bis Tr60) gebildet werden, kann ein zum Knoten N4 entgegengesetzter logischer Pegel an den Knoten N3 angelegt werden. Auf diese Weise kann die Oszillator-Voreinstellschaltung 7b einen logischen Zustand am Knoten N3 liefern, der das entgegengesetzte zum logischen Zustand am Knoten N4 ist.When the boosted voltage signal VBUP is logic low, the oscillator preset circuit may 7b Transistors (Tr41 to Tr50) that can be turned on. Thus, three-state inverters formed by the transistors (Tr41 to Tr60) can be enabled. The first inverter input (gates of transistors Tr51 and Tr56) may receive a logic level from node N4 (which may be latched). After propagating through the series-connected five three-state inverters formed by the transistors (Tr41 to Tr60), a logic level opposite to node N4 can be applied to node N3. In this way, the oscillator presetting circuit 7b provide a logical state at node N3 which is the opposite of the logic state at node N4.

Zusätzlich kann jeder der innerhalb der Oszillator-Voreinstellschaltung 7b gebildeten Inverter mit drei Zuständen die Ausgaben aller Inverter, die den Ringoszillator des Oszillationssignalgenerators 7a bilden, auf zum letzten logischen Zustand, bei welchem der Oszillationssignalgenerator 7a freigegeben wurde, entgegengesetzte logische Zustände einstellen.In addition, each of the within the oscillator preset circuit 7b Three-state inverter formed the outputs of all the inverters that make up the ring oscillator of the oscillation signal generator 7a form to the last logical state at which the oscillation signal generator 7a has been released, set opposite logical states.

Wenn das verstärkte Spannungssignal VBUP logisch niedrig ist, kann das Übertragungsgatter G1 gesperrt werden.If the reinforced Voltage signal VBUP is logic low, the transmission gate G1 be locked.

Wenn das verstärkte Spannungssignal VBUP logisch niedrig ist, kann die Oszillatorzustands-Latch-Schaltung 7c freigegeben werden und kann einen logischen Pegel beim Knoten N4 zwischenspeichern. Wenn das verstärkte Spannungssignal VBUP logisch niedrig ist, können die Transistoren (Tr63 und Tr64) eingeschaltet werden. Somit können der Inverter IV15 und die Transistoren (Tr63 bis Tr66) als Flip-Flop-Typ-Latch-Schaltung arbeiten und können einen logischen Pegel beim Knoten N4 zwischenspeichern.When the boosted voltage signal VBUP is logic low, the oscillator state latch circuit may 7c can be released and can latch a logic level at node N4. When the boosted voltage signal VBUP is logic low, the transistors (Tr63 and Tr64) can be turned on. Thus, the inverter IV15 and the transistors (Tr63 to Tr66) can operate as a flip-flop type latch circuit and can latch a logic level at the node N4.

Die Treiberschaltung 7d kann den durch die Oszillatorzustands-Latch-Schaltung 7c zwischengespeicherten logischen Pegel empfangen und kann das Oszillationssignal VBOS erzeugen.The driver circuit 7d can by the oscillator state latch circuit 7c latched logic level and can generate the oscillation signal VBOS.

Wenn das verstärkte Spannungssignal VBUP auf logisch hoch übergeht, kann der Oszillationssignalgenerator 7a freigegeben werden. Die Oszillatorzustands-Latch-Schaltung 7c kann ausgeschaltet werden (die Transistoren Tr63 und Tr64 können ausgeschaltet werden). Das Übertragungsgatter G1 kann eingeschaltet werden, und der gegenüber dem Knoten N4 entgegengesetzte logische Pegel, der an den Knoten N3 angelegt wird, kann an den Knoten N4 angelegt werden. Auf diese Weise kann sich das Oszillationssignal VBOS nur eine kurze Zeitperiode, nachdem die Oszillatorschaltung 7 eine hohe Abfallflanke des verstärkten Spannungssignals VBUP empfängt, ändern.When the amplified voltage signal VBUP transitions to logic high, the oscillation signal generator 7a be released. The oscillator state latch circuit 7c can be turned off (transistors Tr63 and Tr64 can be turned off). The transmission gate G1 can be turned on, and the logic level opposite to the node N4, which is applied to the node N3, can be applied to the node N4. In this way, the oscillation signal VBOS can only be a short period of time after the oscillator circuit 7 a high falling edge of the amplified voltage signal VBUP receives change.

Die Oszillator-Voreinstellschaltung 7b kann eine vorbestimmte Verzögerung zum Ändern des logischen Pegels des Knotens N3 liefern, wenn das verstärkte Spannungssignal auf logisch niedrig übergeht. Dies kann unerwünschte Defekte am Oszillationssignal VBOS eliminieren, wenn das verstärkte Spannungssignal VBOS Übergänge im logischen Zustand durchführt.The oscillator presetting circuit 7b may provide a predetermined delay for changing the logic level of node N3 when the boosted voltage signal transitions to a logic low. This can eliminate unwanted defects in the oscillation signal VBOS when the boosted voltage signal VBOS transitions in the logic state.

Als nächstes wird der Betrieb der Halbleiterspeichervorrichtung 50 unter Bezugnahme auf die 1 bis 6 beschrieben.Next, the operation of the semiconductor memory device 50 with reference to the 1 to 6 described.

Nimmt man nun Bezug auf 5, ist ein Zeitdiagramm gezeigt, das den Betrieb der Verstärkungs-Steuerschaltung 5 darstellt.Now take reference 5 13, there is shown a timing diagram illustrating the operation of the gain control circuit 5 represents.

Das Zeitdiagramm der 5 kann das Steuersignal ACT/REF, das Zeilenfreigabesignal RE und das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT enthalten.The time diagram of the 5 may include the control signal ACT / REF, the row enable signal RE and the gain control signal PREVBT.

Wenn der Befehlsdecodierer 1 (1) einen Befehl empfängt, der anzeigt, daß eine Wortleitung zu aktivieren ist, kann das Steuersignal ACT/REF ein Impuls sein, der auf dem hohen Pegel ist. Dieser Zustand kann zur Zeit t1 dargestellt sein. Diese auf hoch gehende Flanke des Steuersignals ACT/REF kann durch die Verstärkungs-Steuerschaltung 5 (2) an den Gateanschlüssen der Transistoren (Tr1 und Tr2) empfangen werden, was den Transistor Tr2 einschalten kann. Weil das Zeilenfreigabesignal RE zur Zeit t1 niedrig ist (5), kann der Transistor Tr3 auch eingeschaltet werden und kann der Knoten N1 auf niedrig gezogen werden. Nach einer durch die Verzögerungsschaltung D1 zur Verfügung gestellten vorbestimmten Verzögerung kann die Eingabe zum NAND-Gatter NAND1 auf hoch übergehen, und das NAND-Gatter NAND1 kann eine niedrige Ausgabe zum NAND-Gatter NAND2 liefern. Somit kann das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT nach einer Verzögerung von T1 auf hoch übergehen. Auf diese Weise kann die Verzögerung T1 im wesentlichen durch die Verzögerungsschaltung D1 bestimmt werden.When the command decoder 1 ( 1 ) receives a command indicating that a word line is to be activated, the control signal ACT / REF may be a pulse which is at the high level. This state can be represented at time t1. This high-going edge of the control signal ACT / REF can be controlled by the gain control circuit 5 ( 2 ) are received at the gate terminals of the transistors (Tr1 and Tr2), which can turn on the transistor Tr2. Because the row enable signal RE is low at time t1 ( 5 ), the transistor Tr3 can also be turned on and the node N1 can be pulled low. After a predetermined delay provided by the delay circuit D1, the input to the NAND gate NAND1 may go high, and the NAND gate NAND1 may supply a low output to the NAND gate NAND2. Thus, the gain control signal PREVBT may transition to high after a delay from T1. In this way, the delay T1 can be determined substantially by the delay circuit D1.

Weil die Verzögerungsschaltung D3 eine vorbestimmte Verzögerung nur für eine Anstiegsflanke liefern kann, kann die Ausgabe der Verzögerungsschaltung D3 logisch niedrig werden, kurz nachdem das NAND-Gatter NAND1 eine logisch niedrige Ausgabe liefert.Because the delay circuit D3 a vor may provide certain delay for only a rising edge, the output of the delay circuit D3 may become logic low shortly after the NAND gate NAND1 provides a logic low output.

Eine vorbestimmte Verzögerung (bestimmt durch die Verzögerungsschaltung D2), nachdem die Ausgabe der Verzögerungsschaltung D1 auf hoch übergeht, kann die Ausgabe der Verzögerungsschaltung D2 auf logisch niedrig übergehen. Somit kann die Ausgabe des NAND-Gatters NAND1 zurück auf logisch hoch übergehen. Jedoch deshalb, weil die Ausgabe der Verzögerungsschaltung D3 noch auf logisch niedrig ist, kann das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT logisch hoch bleiben. Eine vorbestimmte Verzögerung (bestimmt durch die Verzögerungsschaltung D3), nachdem die Ausgabe des NAND-Gatters NAND1 logisch hoch wird, kann die Ausgabe der Verzögerungsschaltung D3 logisch hoch werden. Mit beiden Eingaben zum NAND-Gatter NAND2 auf logisch hoch kann das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT logisch niedrig werden. Auf diese Weise kann das Verstärkungs-Steuersignal eine Impulsbreite haben, die im wesentlichen durch die Verzögerungsschaltungen (D2 und D3) bestimmt wird.A predetermined delay (determined by the delay circuit D2) after the output of the delay circuit D1 goes high, can be the output of the delay circuit D2 go to logic low. Thus, the output of NAND gate NAND1 can go back to logical go over high. However, because the output of the delay circuit D3 is still open is logic low, the gain control signal PREVBT stay logically high. A predetermined delay (determined by the delay circuit D3), after the output of the NAND gate NAND1 becomes logically high, can be the output of the delay circuit D3 logically high. With both inputs to the NAND gate NAND2 to logic high, the gain control signal PREVBT logically low. In this way, the gain control signal can be a Pulse width, which essentially by the delay circuits (D2 and D3) is determined.

Somit kann nach einer Verzögerung von T2 (zu einer Zeit t3), die im wesentlichen durch die Verzögerungsschaltungen (D2 und D3) bestimmt sein kann, das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT auf niedrig zurückkehren. Die Zeitverzögerungen T1 und T2 können durch Einstellen der Verzögerungen der Verzögerungsschaltungen (D1 bis D3) gemäß einem erwünschten Ladungstransfer zum verstärkten Potential VPP eingestellt werden, wenn eine Wortleitung aktiviert werden kann.Consequently can after a delay from T2 (at a time t3), essentially through the delay circuits (D2 and D3) may be determined, the gain control signal PREVBT return to low. The time delays T1 and T2 can by adjusting the delays the delay circuits (D1 to D3) according to a desired one Charge transfer to reinforced Potential VPP be set when a word line is activated can be.

Das Zeilenfreigabesignal RE kann nach einer Zeit t1 auf logisch hoch übergehen. Jedoch kann die Latch-Schaltung L1 (2) den Knoten N1 auf dem logisch niedrigen Zustand halten, bis das Steuersignal ACT/REF auf niedrig zurückkehrt. Auf diese Weise kann der Knoten N1 davon abgehalten werden, im schwebenden Zustand zu sein.The row enable signal RE may transition to logic high after a time t1. However, the latch circuit L1 (FIG. 2 ) keep node N1 at the logic low until the control signal ACT / REF returns to low. In this way, the node N1 can be prevented from being in the floating state.

Nach einer Zeit t3 kann der Befehlsdecodierer 1 (1) einen weiteren Befehl empfangen, der anzeigt, daß eine Wortleitung zu aktivieren ist. Jedoch kann eine Wortleitung nicht aktiviert werden, bis das Zeilenfreigabesignal RE zu niedrig zurückkehrt und das Speicherfeld 10 (1) vorgeladen worden ist. Somit kann das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT nicht erzeugt werden. Wie es angegeben ist, kann der Transistor Tr3 (2) dann, wenn das Zeilenfreigabesignal RE hoch ist, ausgeschaltet werden.After a time t3, the instruction decoder may 1 ( 1 ) receive another command indicating that a wordline is to be activated. However, a wordline can not be activated until the row enable signal RE returns to low and the memory array 10 ( 1 ) has been summoned. Thus, the gain control signal PREVBT can not be generated. As indicated, the transistor Tr3 ( 2 ) when the row enable signal RE is high, are turned off.

Nimmt man nun Bezug auf 6, ist ein Zeitdiagramm gezeigt, das die Verstärkungsoperation gemäß einem Ausführungsbeispiel darstellt.Now take reference 6 13, there is shown a timing diagram illustrating the amplification operation according to one embodiment.

Das Zeitdiagramm der 6 kann das Steuersignal ACT/REF, das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT, eine Ausgabe der Komparatorschaltung COM1 (3), das verstärkte Spannungssignal VBUP, das Oszillationssignal VBOS, das verstärkte Potential VPP und das Potential der Wortleitung 11 der (1) enthalten.The time diagram of the 6 For example, the control signal ACT / REF, the gain control signal PREVBT, an output of the comparator circuit COM1 (FIG. 3 ), the boosted voltage signal VBUP, the oscillation signal VBOS, the boosted potential VPP and the potential of the word line 11 of the ( 1 ) contain.

Während eines normalen Betriebs der Schaltung für ein verstärktes Potential 6 (3) kann das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT niedrig sein. Die Schaltung für ein verstärktes Potential 6 kann ein verstärktes Spannungssignal VBUP erzeugen, wenn der Komparator COM1 anzeigt, daß das verstärkte Potential VPP unter etwa 4,0 V abgefallen ist. Dies kann damit angezeigt werden, daß die Ausgabe des Komparators COM1 hoch wird. Wie es in 6 zu einer Zeit t1 zu sehen ist, kann das verstärkte Potential VPP unter 4,0 V abfallen. Dies kann veranlassen, daß die Ausgabe der Komparatorschaltung COM1 hoch wird, wodurch veranlaßt wird, daß das verstärkte Spannungssignal VBUP auf hoch geht.During normal operation of the circuit for an amplified potential 6 ( 3 ), the gain control signal PREVBT may be low. The circuit for an amplified potential 6 may generate an amplified voltage signal VBUP when the comparator COM1 indicates that the amplified potential VPP has dropped below about 4.0V. This can be indicated by the fact that the output of the comparator COM1 becomes high. As it is in 6 at a time t1, the boosted potential VPP may drop below 4.0V. This may cause the output of the comparator circuit COM1 to go high, causing the boosted voltage signal VBUP to go high.

Die Oszillationsschaltung 7 (4) kann das logisch hohe verstärkte Spannungssignal VBUP empfangen. Dies kann veranlassen, daß der Oszillationssignalgenerator 7a ein Oszillieren beginnt. Wie es früher angegeben ist, kann der aktuelle Zustand des Oszillationssignals VBOS durch die Oszillatorzustands-Latch-Schaltung 7c zwischengespeichert worden sein. Die Oszillator-Voreinstellschaltung 7b kann den aktuellen Zustand des Oszillationssignals VBOS mittels des Knotens N4 empfangen haben und kann den Oszillationssignalgenerator 7a auf eine derartige Weise voreingestellt haben, daß der entgegengesetzte logische Zustand am Knoten N3 eingerichtet worden sein kann. Auf diese Weise kann das Oszillationssignal VBOS einen logischen Übergang durchführen, kurz nachdem das verstärkte Spannungssignal VBUP aktiv (logisch hoch) wird. Dies kann bei einer Verzögerung von ΔT1 nach einer Zeit t1 in 6 angezeigt sein. Auf diese Weise kann die Verstärkerschaltung 8 (1) schnell eine Ladung zum verstärkten Potential VPP liefern. Das Oszillationssignal VBOS kann darauffolgend bei einer durch den Oszillationssignalgenerator 7a bestimmten Frequenz oszillieren. Diese Frequenz kann durch Modifizieren des Potentialpegels des Referenzpotential Vref eingestellt werden.The oscillation circuit 7 ( 4 ) can receive the logic high amplified voltage signal VBUP. This may cause the oscillation signal generator 7a an oscillation begins. As stated earlier, the current state of the oscillation signal VBOS can be detected by the oscillator state latch circuit 7c cached. The oscillator presetting circuit 7b may have received the current state of the oscillation signal VBOS by means of the node N4 and may be the oscillation signal generator 7a have been preset in such a way that the opposite logical state may have been established at node N3. In this way, the oscillation signal VBOS can make a logical transition shortly after the amplified voltage signal VBUP becomes active (logic high). This can occur with a delay of ΔT1 after a time t1 in 6 be displayed. In this way, the amplifier circuit 8th ( 1 ) rapidly deliver a charge to the amplified potential VPP. The oscillation signal VBOS can subsequently be at a by the oscillation signal generator 7a certain frequency oscillate. This frequency can be adjusted by modifying the potential level of the reference potential Vref.

Das Oszillationssignal VBOS kann damit fortfahren, zu oszillieren, bis die Verstärkerschaltung 8 (1) das verstärkte Potential VPP auf ein Potential über etwa 4,0 V verstärkt. Die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 6 kann eine Ausgabe des Komparators COM1 liefern, die logisch niedrig werden kann, und das verstärkte Spannungssignal VBUP kann logisch niedrig werden.The oscillation signal VBOS may continue to oscillate until the amplifier circuit 8th ( 1 ) amplifies the amplified potential VPP to a potential above about 4.0V. The circuit for detecting an amplified potential 6 can provide an output of the comparator COM1, which can logically become low, and the amplified voltage signal VBUP can become logically low.

Nimmt man immer noch auf 6 Bezug, kann das Steuersignal ACT/REF zur Zeit t2 ein hoher Impuls sein. Dies kann anzeigen, daß der Befehlsdecodierer 1 (1) einen Befehl empfangen hat, in welchem eine Wortleitung aktiviert werden kann. Bei einer Zeitverzögerung, die im wesentlichen durch die Verzögerungsschaltung D1 (2) nach der Zeit t1 bestimmt werden kann, kann das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT hoch werden. Die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 6 kann das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT empfangen und kann ein logisch hohes verstärktes Spannungssignal VBUP erzeugen. Die Oszillatorschaltung 7 kann das logisch hohe verstärkte Spannungssignal VBUP empfangen. Wie es früher angezeigt ist, kann die Oszillatorzustands-Latch-Schaltung 7c einen logischen Zustand des Oszillationssignal VBOS durch Zwischenspeichern eines logischen Zustands beim Knoten N4 zwischengespeichert haben. Die Oszillator-Voreinstellschaltung 7b kann einen entgegengesetzten Zustand zum Knoten N3 geliefert haben. Dies kann das Oszillationssignal VBOS kurz nach einem Empfangen eines freigegebenen (logisch hohen) verstärkten Spannungssignals VBUP zum Ändern eines logischen Pegels freigeben. Auf diese Weise kann die Verstärkerschaltung 8 (1) schnell eine Ladung zum verstärkten Potential VPP liefern.You still take it on 6 Reference, the control signal ACT / REF may be a high pulse at time t2. This may indicate that the instruction decoder 1 ( 1 ) has received a command in which a word line can be activated. With a time delay which is essentially determined by the delay circuit D1 ( 2 ) can be determined after time t1, the gain control signal PREVBT may become high. The circuit for detecting an amplified potential 6 may receive the gain control signal PREVBT and may generate a logic high boosted voltage signal VBUP. The oscillator circuit 7 can receive the logic high amplified voltage signal VBUP. As indicated earlier, the oscillator state latch circuit 7c have latched a logic state of the oscillation signal VBOS by latching a logic state at node N4. The oscillator presetting circuit 7b may have delivered an opposite state to node N3. This may enable the oscillation signal VBOS shortly after receiving a released (logic high) boosted voltage signal VBUP to change a logic level. In this way, the amplifier circuit 8th ( 1 ) rapidly deliver a charge to the amplified potential VPP.

Zu einer Zeit t3 kann die Wortleitung 11 (1) ansteigen. Dies kann dem verstärkten Potential VPP eine Last auferlegen. Aufgrund des Ladungsverlustes vom Glättungskondensator Cd (1) kann das verstärkte Potential VPP unter etwa 4,0 V abfallen. Die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 6 (3) kann eine Ausgabe des Komparators COM1 liefern, die logisch hoch werden kann. Dies kann das verstärkte Spannungssignal VBUP auf hoch halten, auch nachdem das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT auf niedrig zurückkehrt. Dies kann die Oszillatorschaltung 7 freigegeben halten und die Verstärkerschaltung 8 kann weiterhin eine Ladung zum verstärkten Potential VPP zuführen. Eine Zeitverzögerung ΔT2 nach der Zeit t3 können das verstärkte Potential VPP und das Wortleitungspotential Vw über etwa 4,0 V werden. Somit können die Ausgabe des Komparators COM1 und das verstärkte Spannungssignal niedrig werden. Dies kann die Oszilla torschaltung 7 sperren und die Verstärkerschaltung 8 kann ein Zuführen einer Ladung zum verstärkten Potential VPP stoppen.At a time t3, the word line can 11 ( 1 ) increase. This may place a burden on the boosted potential VPP. Due to the charge loss from the smoothing capacitor Cd ( 1 ), the amplified potential VPP may drop below about 4.0V. The circuit for detecting an amplified potential 6 ( 3 ) can provide an output of the comparator COM1, which can become logic high. This can keep the boosted voltage signal VBUP high even after the boost control signal PREVBT returns to low. This can be the oscillator circuit 7 keep released and the amplifier circuit 8th may further supply a charge to the boosted potential VPP. A time delay ΔT2 after the time t3 may become the boosted potential VPP and the word line potential Vw over about 4.0V. Thus, the output of the comparator COM1 and the amplified voltage signal may become low. This can be the Oszilla gate circuit 7 lock and the amplifier circuit 8th may stop supplying a charge to the boosted potential VPP.

Die Oszillatorzustands-Latch-Schaltung 7c kann den logischen Zustand des Oszillationssignal VBOS zwischenspeichern und die Oszillator-Voreinstellschaltung 7b kann die Oszillatorschaltung 7 dazu voreinstellen, schnell den logischen Zustand des Oszillationssignal VBOS zu ändern, wenn das verstärkte Spannungssignal VBUP wieder auf hoch zurückkehrt.The oscillator state latch circuit 7c can latch the logic state of the oscillation signal VBOS and the oscillator preset circuit 7b can the oscillator circuit 7 to quickly change the logic state of the oscillation signal VBOS when the boosted voltage signal VBUP returns to high.

Die Ausführungsbeispiele können zulassen, daß das verstärkte Potential VPP eine Ladung empfängt, bevor ein ladungsverbrauchendes Ereignis eine Ladung von einem Glättungskondensator Cd abreichern kann. Dies kann dem verstärkten Potential VPP ermöglichen, ein vorbestimmtes Potential besser beizubehalten.The embodiments can allow that increased Potential VPP receives a charge, before a charge-consuming event receives a charge from a smoothing capacitor Cd can deplete. This can allow the increased potential VPP to maintain a predetermined potential better.

Nimmt man nun Bezug auf 7, ist ein schematisches Schaltungsdiagramm einer Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials gemäß einem Ausführungsbeispiel gezeigt, und ihr ist das allgemeine Bezugszeichen 60 zugeteilt. Die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 60 kann als die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 6 in der in 1 dargestellten Halbleiterspeichervorrichtung 50 verwendet werden.Now take reference 7 12, there is shown a schematic circuit diagram of a boosted potential detection circuit according to an embodiment, and is the general reference numeral 60 allocated. The circuit for detecting an amplified potential 60 can be considered as the circuit for detecting a boosted potential 6 in the in 1 illustrated semiconductor memory device 50 be used.

Die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 60 kann ein Referenzpotential Vref1, ein verstärktes Potential VPP und ein Verstärkungs-Steuersignal PREVBT als Eingaben empfangen und kann ein verstärktes Spannungssignal VBUP als Ausgabe liefern.The circuit for detecting an amplified potential 60 may receive as inputs a reference potential Vref1, an amplified potential VPP and a gain control signal PREVBT and may provide an amplified voltage signal VBUP as an output.

Die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 60 kann Widerstandsvorrichtungen (R1a, R1b, R2 und R3), Inverter (IV4 und IV5), Transistoren (Tr4 und Tr5) und einen Komparator COM1 enthalten. Die Widerstandsvorrichtung R1a kann einen Anschluß mit dem verstärkten Potential VPP verbunden und einen weiteren Anschluß mit einem Anschluß der Widerstandsvorrichtung R1b bei einem Widerstandsverbindungsknoten verbunden haben. Die Widerstandsvorrichtung R1b kann einen weiteren Anschluß mit dem Erdungspotential GND verbunden haben. Die Widerstandsvorrichtung R2 kann einen Anschluß mit dem verstärkten Potential VPP und einem weiteren Anschluß mit einem Anschluß der Widerstandsvorrichtung bei einem Widerstandsverbindungsknoten verbunden haben. Die Widerstandsvorrichtung R3 kann einen weiteren Anschluß mit dem Erdungspotential GND verbunden haben. Der Transistor Tr4 kann einen Source/Drainanschluß mit dem Widerstandsverbindungsknoten der Widerstände (R1a und R1b) verbunden und einen weiteren Source/Drainanschluß mit einem Eingang des Komparators COM1 verbunden haben. Der Transistor Tr5 kann einen Source/Drainanschluß mit einem Widerstandsverbindungsknoten der Widerstände (R2 und R3) verbunden und einen weiteren Source/Drainanschluß mit einem Eingang des Komparators COM1 verbunden haben. Der Komparator COM1 kann einen weiteren Eingang zum Empfangen des Referenzpotentials Vref1 angeschlossen haben. Das Referenzpotential Vref1 kann, nur beispielsweise, etwa 2,0 V sein. Der Komparator COM1 kann das verstärkte Spannungssignal VBUP als Ausgabe liefern.The circuit for detecting an amplified potential 60 may include resistance devices (R1a, R1b, R2 and R3), inverters (IV4 and IV5), transistors (Tr4 and Tr5) and a comparator COM1. The resistance device R1a may have one terminal connected to the amplified potential VPP and another terminal connected to a terminal of the resistance device R1b at a resistance connection node. The resistance device R1b may have connected another terminal to the ground potential GND. The resistance device R2 may have one terminal connected to the amplified potential VPP and another terminal connected to a terminal of the resistance device at a resistance connection node. The resistance device R3 may have another terminal connected to the ground potential GND. The transistor Tr4 may have a source / drain connected to the resistor connection node of the resistors (R1a and R1b) and another source / drain connected to an input of the comparator COM1. The transistor Tr5 may have a source / drain connected to a resistor connection node of the resistors (R2 and R3) and another source / drain connected to an input of the comparator COM1. The comparator COM1 may have another input connected to receive the reference potential Vref1. The reference potential Vref1 may be about 2.0 V, for example only. The comparator COM1 may provide the boosted voltage signal VBUP as output.

Der Inverter IV4 kann das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT an einem Eingang empfangen und kann eine Ausgabe zu einem Gateanschluß des Transistors Tr4 und einem Eingang des Inverters IV5 liefern. Der Inverter IV5 kann eine Ausgabe zu einem Gateanschluß des Transistors Tr5 liefern.Of the Inverter IV4 may be the gain control signal PREVBT received at an input and can output to a gate of the transistor Tr4 and an input of the inverter IV5 deliver. The inverter IV5 may provide an output to a gate of the transistor Tr5.

Nun wird der Betrieb der Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 60 erklärt.Now, the operation of the boosted potential detection circuit will become 60 explained.

Die Widerstandsvorrichtungen (R1a und R1b) können als Spannungsteiler handeln, um ein Potential an ihrem jeweiligen Widerstandsverbindungsknoten zu liefern, das proportional zum verstärkten Potential VPP sein kann. Die Widerstandsvorrichtungen (R1a und R1b) können, nur als Beispiel, Widerstandswerte von etwa 1000 kΩ haben. Auf diese Weise kann das an ihren jeweiligen Widerstandsverbindungsknoten gelieferte Potential etwa gleich einer Hälfte des Potentials des verstärkten Potentials VPP sein. Die Widerstandsvorrichtungen (R2 und R3) können als Spannungsteiler wirken, um ein Potential an ihren jeweiligen Widerstandsverbindungsknoten zu liefern, das proportional zum verstärkten Potential VPP sein kann. Die Widerstandsvorrichtung R2 kann, nur als Beispiel, einen Widerstandswert von etwa 1048 kΩ haben. Die Widerstandsvorrichtung R3 kann, nur als Beispiel, einen Widerstandswert von etwa 952 kΩ haben. Auf diese Weise kann das an ihren jeweiligen Widerstandsverbindungsknoten gelieferte Potential etwa gleich einer oder kleiner als eine Hälfte des Potentials des verstärkten Potentials VPP sein.The Resistance devices (R1a and R1b) can act as voltage dividers by a potential at its respective resistor connection node which can be proportional to the amplified potential VPP. The resistance devices (R1a and R1b) can, for example only, be resistance values of about 1000 kΩ. On this can be done at their respective resistor connection node provided potential approximately equal to one half of the potential of the amplified potential Be VPP. The resistance devices (R2 and R3) can be used as Voltage dividers act to apply a potential at their respective resistor connection node which can be proportional to the amplified potential VPP. The resistance device R2 may, for example only, have a resistance value of about 1048 kΩ. The resistance device R3 may, for example only, have a resistance value of about 952 kΩ. In this way, this can be done at their respective resistor connection node supplied potential about equal to or less than half of the Potential of the amplified Potential VPP.

Wenn das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT logisch niedrig ist, kann der Transistor Tr4 eingeschaltet werden und kann der Transistor Tr5 ausgeschaltet werden.If the gain control signal PREVBT is low, the transistor Tr4 can be turned on and the transistor Tr5 can be turned off.

Somit kann der Verbindungsknoten der Widerstandsvorrichtungen (R1a und R1b) elektrisch mit dem Eingang des Komparators COM1 verbunden werden. Wenn das verstärkte Potential VPP unter etwa 4,0 Volt abfällt, kann der Verbindungsknoten der Widerstandsvorrichtungen (R1a und R1b) ein Potential unter etwa 2,0 Volt haben. Der Komparator COM1 kann dann eine hohe Ausgabe zum verstärkten Spannungssignal VBUP liefern. Jedoch dann, wenn das verstärkte Potential VPP über etwa 4,0 Volt ist, kann der Verbindungsknoten der Widerstandsvorrichtungen (R1a und R1b) ein Potential über etwa 2,0 Volt haben. Der Komparator COM1 kann dann eine niedrige Ausgabe zum verstärkten Spannungssignal liefern.Consequently For example, the connection node of the resistance devices (R1a and R1b) are electrically connected to the input of the comparator COM1. If the amplified Potential VPP drops below about 4.0 volts, the connection node may the resistance devices (R1a and R1b) have a potential below about Have 2.0 volts. The comparator COM1 can then have a high output to the amplified voltage signal VBUP deliver. However, if the amplified potential VPP exceeds about 4.0 volts, the connection node of the resistance devices (R1a and R1b) a potential over about 2.0 volts. The comparator COM1 can then be a low Issue to the fortified Supply voltage signal.

Wenn das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT logisch hoch ist, kann der Transistor Tr4 eingeschaltet werden und kann der Transistor Tr5 ausgeschaltet werden. Somit kann der Verbindungsknoten der Widerstandsvorrichtungen R2 und R3 elektrisch mit dem Eingang des Komparators COM1 verbunden werden. Wenn das verstärkte Potential VPP unter ein vorbestimmtes Potential abfällt, kann der Verbindungsknoten der Widerstandsvorrichtungen (R2 und R3) ein Potential unter etwa 2,0 Volt haben. Weil die Widerstandswerte der Widerstandsvorrichtungen (R2 und R3) ausgewählt werden können, um ein Potential am Verbindungsknoten der Widerstandsvorrichtungen (R2 und R3) zu ergeben, das größer als die Hälfte von VPP sein kann, kann der Komparator COM1 dann eine hohe Ausgabe zum verstärkten Spannungssignal VBUP liefern, wenn das verstärkte Potential unter ein vorbestimmtes Potential abfällt, das größer als etwa 4,0 Volt sein kann. Jedoch dann, wenn das verstärkte Potential VPP über dem vorbestimmten Potential ist, kann der Verbindungsknoten der Widerstandsvorrichtungen (R1a und R1b) ein Potential über etwa 2,0 Volt haben. Der Komparator COM1 kann dann eine niedrige Ausgabe zum verstärkten Spannungssignal VBUP liefern.If the gain control signal PREVBT is high, the transistor Tr4 can be turned on and the transistor Tr5 can be switched off. Thus, the connection node the resistance devices R2 and R3 are electrically connected to the input of the comparator COM1. When the amplified potential VPP drops below a predetermined potential, the connection node the resistance devices (R2 and R3) have a potential below about Have 2.0 volts. Because the resistance values of the resistance devices (R2 and R3) selected can be to a potential at the connection node of the resistance devices (R2 and R3), which is greater than the half of VPP, the comparator COM1 can then have a high output to reinforced Voltage signal VBUP deliver when the amplified potential below a predetermined Potential drops, the bigger than can be about 4.0 volts. However, then, if the amplified potential VPP over is the predetermined potential, the connection node of Resistance devices (R1a and R1b) have a potential greater than about Have 2.0 volts. The comparator COM1 can then output a low output increased Supply voltage signal VBUP.

Auf diese Weise kann dann, wenn das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT logisch hoch ist, die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 60 das verstärkte Potential VPP regeln, um ein vorbestimmtes Potential sicherzustellen, das hoch genug sein kann, eine ausreichende Ladung zu einer Wortleitung zuzuführen, die ausgewählt werden kann. Das vorbestimmte Potential kann durch das Verhältnis von Widerstandswerten der Widerstände (R2 und R3) bestimmt werden. Das vorbestimmte Potential kann etwa durch die Gleichung VPP ≅ Vref1((R2 + R3)/R3) bestimmt werden, wobei Vref1 das Potential des Referenzpotentials Vref1 ist, R2 der Widerstandswert des Widerstands R2 ist und R3 der Widerstandswert des Widerstands R3 ist. Wenn R2 ≅ 952 kΩ, R3 ≅ 1048 kΩ und Vref1 ≅ 2,0 Volt, dann kann das vorbestimmte Potential des verstärkten Potentials, wenn das Steuersignal PREVBT logisch hoch ist, etwa 4,2 Volt sein.In this way, when the boost control signal PREVBT is high, the boosted potential detection circuit can be provided 60 to control the boosted potential VPP to ensure a predetermined potential that may be high enough to supply a sufficient charge to a wordline that can be selected. The predetermined potential can be determined by the ratio of resistance values of the resistors (R2 and R3). The predetermined potential may be determined by the equation VPP≅Vref1 ((R2 + R3) / R3), where Vref1 is the potential of the reference potential Vref1, R2 is the resistance of the resistor R2, and R3 is the resistance of the resistor R3. If R2 ≅ 952 kΩ, R3 ≅ 1048 kΩ, and Vref1 ≅ 2.0 volts, then the predetermined potential of the boosted potential, when the control signal PREVBT is high, may be about 4.2 volts.

Nimmt man nun Bezug auf 8, ist ein Zeitdiagramm gezeigt, das den Verstärkungsbetrieb gemäß einem Ausführungsbeispiel unter Verwendung der Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 60 darstellt.Now take reference 8th 13, there is shown a timing diagram illustrating the boost operation according to an embodiment using the boosted potential detection circuit 60 represents.

Das Zeitdiagramm der 8 kann ein Steuersignal ACT/REF, ein Verstärkungs-Steuersignal PREVBT, eine Ausgabe der Komparatorschaltung COM1 (7), ein verstärktes Spannungssignal VBUP, ein Oszillationssignal VBOS, ein verstärktes Potential VPP und ein Potential der Wortleitung 11 (1) enthalten.The time diagram of the 8th For example, a control signal ACT / REF, a gain control signal PREVBT, an output of the comparator circuit COM1 (FIG. 7 ), an amplified voltage signal VBUP, an oscillation signal VBOS, an amplified potential VPP, and a potential of the word line 11 ( 1 ) contain.

Während eines normalen Betriebs der Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 60 (7) kann das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT niedrig sein. In diesem Fall kann der Widerstandsverbindungsknoten der Widerstände (R1a und R1b) mit einem Eingang des Komparators COM1 elektrisch verbunden sein. Die Schaltung für ein verstärktes Potential 60 kann ein verstärktes Spannungssignal VBUP erzeugen, wenn der Komparator COM1 anzeigt, daß das verstärkte Potential VPP unter etwa 4,0 V abgefallen ist. Dies kann damit angezeigt werden, daß die Ausgabe des Komparators COM1 hoch wird. Wie es in 8 zur Zeit t1 zu sehen ist, kann das verstärkte Potential VPP unter 4,0 V abfallen. Dies kann veranlassen, daß die Ausgabe der Komparatorschaltung COM1 hoch wird, wodurch veranlaßt wird, daß das verstärkte Spannungssignal VBUP auf hoch geht.During normal operation of the boosted potential detection circuit 60 ( 7 ), the gain control signal PREVBT may be low. In this case, the cons state connection node of the resistors (R1a and R1b) to be electrically connected to an input of the comparator COM1. The circuit for an amplified potential 60 may generate an amplified voltage signal VBUP when the comparator COM1 indicates that the amplified potential VPP has dropped below about 4.0V. This can be indicated by the fact that the output of the comparator COM1 becomes high. As it is in 8th at time t1, the amplified potential VPP may drop below 4.0V. This may cause the output of the comparator circuit COM1 to go high, causing the boosted voltage signal VBUP to go high.

Die Oszillatorschaltung 7 (4) kann das logisch hohe verstärkte Spannungssignal VBUP empfangen. Dies kann veranlassen, daß der Oszillationssignalgenerator 7a ein Oszillieren beginnt. Wie es früher angegeben ist, kann der aktuelle Zustand des Oszillationssignal VBOS durch die Oszillatorzustands-Latch-Schaltung 7c zwischengespeichert worden sein. Die Oszillator-Voreinstellschaltung 7b kann den aktuellen Zustand des Oszillationssignal VBOS mittels des Knotens N4 empfangen haben und kann den Oszillationssignalgenerator 7a auf eine derartige Weise voreingestellt haben, daß der entgegengesetzte logische Zustand am Knoten N3 eingestellt worden sein kann. Auf diese Weise kann das Oszillationssignal VBOS einen logischen Übergang durchführen, kurz nachdem das verstärkte Spannungssignal VBUP aktiv (logisch hoch) wird. Dies kann bei einer Verzögerung von ΔT3 nach der Zeit t1 in 6 angezeigt sein. Auf diese Weise kann die Verstärkerschaltung 8 (1) schnell eine Ladung zum verstärkten Potential VPP liefern. Das Oszillationssignal VBOS kann darauffolgend bei einer Frequenz oszillieren, die durch den Oszillationssignalgenerator 7a bestimmt wird. Diese Frequenz kann durch Modifizieren des Potentialpegels des Referenzpotentials Vref eingestellt werden. Das Oszillationssignal VBOS kann damit fortfahren, zu oszillieren, bis die Verstärkerschaltung 8 (1) das verstärkte Potential VPP auf ein Potential über etwa 4,0 V verstärkt. Dann kann die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 60 eine Ausgabe des Komparators COM1 liefern, die logisch niedrig werden kann, und das verstärkte Spannungssignal VBUP kann logisch niedrig werden.The oscillator circuit 7 ( 4 ) can receive the logic high amplified voltage signal VBUP. This may cause the oscillation signal generator 7a an oscillation begins. As stated earlier, the current state of the oscillation signal VBOS can be detected by the oscillator state latch circuit 7c cached. The oscillator presetting circuit 7b may have received the current state of the oscillation signal VBOS by means of the node N4 and may be the oscillation signal generator 7a have been preset in such a way that the opposite logical state may have been set at node N3. In this way, the oscillation signal VBOS can make a logical transition shortly after the amplified voltage signal VBUP becomes active (logic high). This can occur with a delay of ΔT3 after the time t1 in 6 be displayed. In this way, the amplifier circuit 8th ( 1 ) rapidly deliver a charge to the amplified potential VPP. The oscillation signal VBOS may subsequently oscillate at a frequency determined by the oscillation signal generator 7a is determined. This frequency can be adjusted by modifying the potential level of the reference potential Vref. The oscillation signal VBOS may continue to oscillate until the amplifier circuit 8th ( 1 ) amplifies the amplified potential VPP to a potential above about 4.0V. Then, the circuit for detecting a boosted potential 60 provide an output of the comparator COM1, which may become logic low, and the boosted voltage signal VBUP may become logic low.

Nimmt man immer noch Bezug auf 8, kann zur Zeit t2 das Steuersignal ACT/REF ein hoher Impuls sein. Dies kann anzeigen, daß der Befehlsdecodierer 1 (1) einen Befehl empfangen hat, bei welchem eine Wortleitung aktiviert werden kann. Bei einer Zeitverzögerung, die im wesentlichen durch die Verzögerungsschaltung D1 (2) bestimmt sein kann, nach einer Zeit t1 kann das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT hoch werden. Die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 60 kann das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT empfangen. In diesem Fall kann der Widerstandsverbindungsknoten der Widerstände (R2 und R3) elektrisch mit einem Eingang des Komparators COM1 verbunden sein. Die Schaltung für ein verstärktes Potential 60 kann ein verstärktes Spannungssignal VBUP erzeugen, wenn der Komparator COM1 anzeigt, daß das verstärkte Potential VPP unter ein vorbestimmtes Potential von etwa 4,2 V abgefallen ist. Dies kann damit angezeigt werden, daß die Ausgabe des Komparators COM1 hoch wird. Wie es in 8 zu sehen ist, kann nach der Zeit t2 das verstärkte Potential VPP unter etwa 4,2 V sein. Dies kann veranlassen, daß die Ausgabe der Komparatorschaltung COM1 hoch wird, wodurch veranlaßt wird, daß das verstärkte Spannungssignal VBUP auf hoch geht.If you still refer to 8th At time t2, the control signal ACT / REF may be a high pulse. This may indicate that the instruction decoder 1 ( 1 ) has received a command in which a word line can be activated. With a time delay which is essentially determined by the delay circuit D1 ( 2 ), after a time t1, the gain control signal PREVBT may become high. The circuit for detecting an amplified potential 60 may receive the gain control signal PREVBT. In this case, the resistance connection node of the resistors (R2 and R3) may be electrically connected to an input of the comparator COM1. The circuit for an amplified potential 60 may generate an amplified voltage signal VBUP when the comparator COM1 indicates that the boosted potential VPP has dropped below a predetermined potential of about 4.2V. This can be indicated by the fact that the output of the comparator COM1 becomes high. As it is in 8th can be seen, after the time t2, the amplified potential VPP can be below about 4.2V. This may cause the output of the comparator circuit COM1 to go high, causing the boosted voltage signal VBUP to go high.

Die Oszillatorschaltung 7 (4) kann das logisch hohe verstärkte Spannungssignal VBUP empfangen. Dies kann veranlassen, daß der Oszillationssignalgenerator 7a ein Oszillieren beginnt. Wie es früher angegeben ist, kann der aktuelle Zustand des Oszillationssignals VBOS durch die Oszillatorzustands-Latch-Schaltung 7c zwischengespeichert worden sein. Die Oszillator-Voreinstellschaltung 7b kann den aktuellen Zustand des Oszillationssignal VBOS mittels des Knotens N4 empfangen haben und kann den Oszillationssignalgenerator 7a auf eine derartige Weise voreingestellt haben, daß der entgegengesetzte logische Zustand am Knoten N3 eingestellt worden sein kann. Auf diese Weise kann das Oszillationssignal VBOS einen logischen Übergang durchführen, kurz nachdem das verstärkte Spannungssignal VBUP aktiv (logisch hoch) wird. Dies kann bei einer Verzögerung nach der Zeit t2 in 8 angezeigt sein. Auf diese Weise kann die Verstärkerschaltung 8 (1) schnell eine Ladung zum verstärkten Potential VPP liefern. Das Oszillationssignal VBOS kann darauffolgend bei einer Frequenz oszillieren, die durch den Oszillationssignalgenerator 7a bestimmt ist. Diese Frequenz kann durch Modifizier ren des Potentialpegels des Referenzpotentials Vref eingestellt werden. Das Oszillationssignal VBOS kann damit fortfahren zu oszillieren, bis die Verstärkerschaltung 8 (1) das verstärkte Potential VPP auf ein Potential über etwa 4,2 V verstärkt. Dann kann die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 60 eine Ausgabe des Komparators COM1 liefern, die logisch niedrig werden kann, und das verstärkte Spannungssignal VBUP kann logisch niedrig werden.The oscillator circuit 7 ( 4 ) can receive the logic high amplified voltage signal VBUP. This may cause the oscillation signal generator 7a an oscillation begins. As stated earlier, the current state of the oscillation signal VBOS can be detected by the oscillator state latch circuit 7c cached. The oscillator presetting circuit 7b may have received the current state of the oscillation signal VBOS by means of the node N4 and may be the oscillation signal generator 7a have been preset in such a way that the opposite logical state may have been set at node N3. In this way, the oscillation signal VBOS can make a logical transition shortly after the amplified voltage signal VBUP becomes active (logic high). This can occur at a delay after time t2 in 8th be displayed. In this way, the amplifier circuit 8th ( 1 ) rapidly deliver a charge to the amplified potential VPP. The oscillation signal VBOS may subsequently oscillate at a frequency determined by the oscillation signal generator 7a is determined. This frequency can be adjusted by modifying the potential level of the reference potential Vref. The oscillation signal VBOS may continue to oscillate until the amplifier circuit 8th ( 1 ) amplifies the amplified potential VPP to a potential above about 4.2V. Then, the circuit for detecting a boosted potential 60 provide an output of the comparator COM1, which may become logic low, and the boosted voltage signal VBUP may become logic low.

Zur Zeit t3 kann die Wortleitung 11 (1) ansteigen. Dies kann dem verstärkten Potential VPP eine Last auferlegen. Aufgrund des Ladungsverlustes vom Glättungskondensator Cd (1) kann das verstärkte Potential VPP unter etwa 4,0 V abfallen. Die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 60 (3) kann eine Ausgabe des Komparators COM1 liefern, die logisch hoch bleiben kann. Dies kann das verstärkte Spannungssignal VBUP hoch halten, selbst nachdem das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT auf niedrig zurückkehrt. Dies kann die Oszillatorschaltung 7 freigegeben halten und die Verstärkerschaltung 8 kann mit einem Zuführen einer Ladung zum verstärkten Potential VPP fortfahren. Eine Zeitverzögerung ΔT4 nach der Zeit t3 können das verstärkte Potential VPP und das Wortleitungspotential Vw über etwa 4,0 V werden. Somit können eine Ausgabe des Komparators COM1 und das verstärkte Spannungssignal niedrig werden. Dies kann die Oszillatorschaltung 7 sperren und die Verstärkerschaltung 8 kann ein Zuführen einer Ladung zum verstärkten Potential VPP stoppen.At time t3, the word line can 11 ( 1 ) increase. This may place a burden on the boosted potential VPP. Due to the charge loss from the smoothing capacitor Cd ( 1 ), the amplified potential VPP may drop below about 4.0V. The circuit for detecting an amplified potential 60 ( 3 ) can provide an output of the comparator COM1, which can remain logically high. This can keep the boosted voltage signal VBUP high even after the boost control signal PREVBT returns to low. This can be the oscillator circuit 7 keep released and the amplifier circuit 8th may proceed with supplying a charge to the boosted potential VPP. A time delay ΔT4 after the time t3 may become the boosted potential VPP and the word line potential Vw over about 4.0V. Thus, an output of the comparator COM1 and the amplified voltage signal may become low. This can be the oscillator circuit 7 lock and the amplifier circuit 8th may stop supplying a charge to the boosted potential VPP.

Die Oszillatorzustands-Latch-Schaltung 7c kann den logischen Zustand des Oszillationssignal VBOS zwischenspeichern und die Oszillator-Voreinstellschaltung 7b kann die Oszillatorschaltung 7 dazu voreinstellen, den logischen Zustand des Oszillationssignal VBOS schnell zu ändern, wenn das verstärkte Spannungssignal VBUP wieder auf hoch zurückkehrt.The oscillator state latch circuit 7c can latch the logic state of the oscillation signal VBOS and the oscillator preset circuit 7b can the oscillator circuit 7 to quickly change the logic state of the oscillation signal VBOS when the boosted voltage signal VBUP returns high.

Die Ausführungsbeispiele können zulassen, daß das verstärkte Potential VPP eine Ladung empfängt, bevor ein ladungsverbrauchendes Ereignis eine Ladung vom Glättungskondensator Cd abreichern kann. Dies kann einem verstärkten Potential VPP ermöglichen, ein vorbestimmtes Potential besser beizubehalten.The embodiments can allow that increased Potential VPP receives a charge, before a charge-consuming event receives a charge from the smoothing capacitor Cd can deplete. This can allow an increased potential VPP to maintain a predetermined potential better.

Somit kann die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 60 anzeigen, ob das verstärkte Potential VPP unter ein vorbestimmtes Potential (etwa 4 Volt, wenn das Verstärkungs-Steuersignal logisch niedrig ist, was nur ein Beispiel ist) abgefallen ist oder ob eine Wortleitung zu aktivieren ist (das Verstärkungs-Steuersignal PREVBT hoch wird), und die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 60 kann anzeigen, ob das verstärkte Potential VPP unter ein höheres vorbestimmtes Potential (etwa 4,2 Volt, was nur ein Beispiel ist) abgefallen ist. Auf diese Weise kann die Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 60 anzeigen, daß mehr Ladung zum verstärkten Potential VPP zugeführt werden kann.Thus, the circuit for detecting a boosted potential 60 indicate whether the boosted potential VPP has dropped below a predetermined potential (about 4 volts when the boost control signal is logic low, which is only an example) or whether to enable a word line (the boost control signal PREVBT goes high), and the boosted potential detection circuit 60 may indicate whether the amplified potential VPP has dropped below a higher predetermined potential (about 4.2 volts, which is just one example). In this way, the circuit for detecting a boosted potential 60 indicate that more charge can be supplied to the amplified potential VPP.

Das verstärkte Potential VPP kann verstärkt werden, bevor eine Last (wie beispielsweise ein Auswählen einer Wortleitung) auf das verstärkte Potential VPP ausgeübt wird.The increased Potential VPP can be boosted before a load (such as selecting a word line) the reinforced Potential VPP exercised becomes.

Es ist zu beachten, daß das höhere vorbestimmte Potential des verstärkten Potentials VPP beispielsweise derart zugeteilt worden ist, daß es etwa 4,2 Volt ist. Das höhere vorbestimmte Potential sollte nicht auf diesen Wert begrenzt sein. Wenn das vorbestimmte Potential des verstärkten Potentials VPP auf zu niedrig eingestellt wird, können Probleme auftreten, die ähnlich dem herkömmlichen Ansatz sind. Wenn das vorbestimmte Potential des verstärkten Potentials VPP auf zu hoch eingestellt wird, kann der Speicherzellentransistor an einem Durchbruch aufgrund einer Spannung leiden. Als solches können Widerstandswerte der Widerstandsvorrichtungen (R2 und R3) entsprechend ausgewählt werden.It it should be noted that the higher predetermined potential of the amplified Potential VPP, for example, has been assigned such that it is about 4.2 volts. The higher one predetermined potential should not be limited to this value. When the predetermined potential of the boosted potential VPP increases to is set low Problems occur that are similar the conventional one Approach are. When the predetermined potential of the boosted potential VPP is set too high, the memory cell transistor suffer from a breakthrough due to a voltage. As such can resistance values the resistance devices (R2 and R3) are selected accordingly.

Eine Halbleiterspeichervorrichtung 50 kann eine Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials enthalten, die selektiv als entweder eine Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 6 oder eine Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 60 funktionieren kann. In diesem Fall kann dann, wenn eine Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials erwünscht ist, der Gateanschluß des Transistors Tr5 (7) geerdet werden, und kann der Gateanschluß des Transistors Tr4 auf ein hohes Potential eingestellt werden. Dies kann durch Optionen, wie beispielsweise metallische Optionen, Sicherungen oder Bondierungsoptionen durchgeführt werden, was nur ein paar Beispiele sind. Jedoch dann, wenn eine Schaltung zur Erfassung eines verstärkten Potentials 60 erwünscht ist, kann die Eingabe zum ODER-Gatter OR1 (3) geerdet werden und können die Transistoren (Tr4 und Tr5) Gateanschlüsse haben, die angeschlossen sind, wie es in 7 dargestellt ist.A semiconductor memory device 50 may include a boosted potential detection circuit, selectively as either a boosted potential detection circuit 6 or a circuit for detecting a boosted potential 60 can work. In this case, when a boosted potential detection circuit is desired, the gate of the transistor Tr5 (FIG. 7 ), and the gate of the transistor Tr4 can be set to a high potential. This can be done through options such as metallic options, fuses or bonding options, which are just a few examples. However, if a circuit for detecting a boosted potential 60 is desired, the input to the OR gate OR1 (FIG. 3 ) and the transistors (Tr4 and Tr5) can have gate terminals connected as shown in 7 is shown.

Wie es oben beschrieben ist, kann ein Potential, das höher als dasjenige ist, das für eine Wortleitungsauswahl erforderlich ist, im voraus durch ein vorheriges Verstärken eines verstärkten Potentials VPP vor der Wortleitungsauswahl zugeführt werden. Dies kann die nachteiligen Effekte einer Ladungsabreicherung von einem Glättungskondensator Cd reduzieren, der eine Ladung für das verstärkte Potential VPP speichern kann, und kann die Betriebsgeschwindigkeiten einer Halbleiterspeichervorrichtung 50 verbessern. Dies kann auch eine verkleinerte Größe eines Glättungskondensators Cd zulassen und kann eine Chipgröße verkleinern.As described above, a potential higher than that required for a word line selection may be supplied in advance by previously amplifying a boosted potential VPP before the word line selection. This can reduce the adverse effects of charge depletion from a smoothing capacitor Cd, which can store a charge for the boosted potential VPP, and can reduce the operating speeds of a semiconductor memory device 50 improve. This may also allow a reduced size of a smoothing capacitor Cd and may reduce a chip size.

Claims (11)

Halbleiterspeichervorrichtung, die folgendes aufweist: ein Speicherzellenfeld (10) mit einer Vielzahl von Wortleitungen (11); eine Wortauswahlschaltung (3), die eine der Vielzahl von Wortleitungen basierend auf dem Wert einer Adressse aktiviert; eine Schaltung (58) zur Erzeugung eines verstärkten Potentials, die mit der Wortauswahlschaltung (3) gekoppelt ist, wobei die Schaltung zur Erzeugung eines verstärkten Potentials ein verstärktes Potential an die Wortauswahlschaltung (3) liefert, wenn die Wortleitung zu aktivieren ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Schaltung (58) zur Erzeugung eines verstärkten Potentials einen Befehl zur Aktivierung einer Wortleitung (11) erfasst und ein höheres Potential liefert als ein erstes festgelegtes Potential, bevor die Wortleitung (11) aktiviert war.A semiconductor memory device comprising: a memory cell array ( 10 ) with a plurality of word lines ( 11 ); a word selection circuit ( 3 ) activating one of the plurality of word lines based on the value of an address; a circuit ( 5 - 8th ) for generating an amplified potential which is connected to the word selection circuit ( 3 ), the boosted potential generating circuit applying an amplified potential to the word selection circuit (10). 3 ), when the word line is to be activated, characterized in that the circuit ( 5 - 8th ) to generate a boosted potential an instruction to activate a word line ( 11 ) and supplies a higher potential than a first fixed potential before the word line ( 11 ) was activated. Halbleiterspeichervorrichtung nach Anspruch 1, wobei: der Befehl zum Aktivieren einer Wortleitung (11) ein Lesebefehl oder ein Schreibbefehl ist.A semiconductor memory device according to claim 1, wherein: said command to activate a word line ( 11 ) is a read command or a write command. Halbleiterspeichervorrichtung nach Anspruch 1, wobei: der Befehl zum Aktivieren einer Wortleitung (11) ein Auffrischbefehl ist.A semiconductor memory device according to claim 1, wherein: said command to activate a word line ( 11 ) is a refresh command. Halbleiterspeichervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Schaltung zur Erzeugung eines verstärkten Potentials folgendes enthält: eine Oszillatorschaltung (7), die zum Erzeugen eines Oszillationssignals gekoppelt ist; eine Verstärkerschaltung (8), die zum Liefern einer Ladung zum verstärkten Potential in Antwort auf das Oszillationssignal gekoppelt ist; eine Verstärkungs-Steuerschaltung (5), die zum Liefern eines einzelnen Verstärkungs-Steuersignals gekoppelt ist, das anzeigt, dass die Wortleitung zu aktivieren ist; und eine Schaltung (6) zur Erfassung eines verstärkten Potentials, die zum Empfangen des einzelnen Verstärkungs-Steuersignals und zum Liefern eines verstärkten Spannungssignals mit einem Oszillatorfreigabezustand und einem Oszillatorsperrzustand gekoppelt ist.A semiconductor memory device according to any one of claims 1 to 3, wherein said boosted potential generating circuit includes: an oscillation circuit ( 7 ) coupled to generate an oscillation signal; an amplifier circuit ( 8th ) coupled to provide a boost to the boosted potential in response to the oscillation signal; a gain control circuit ( 5 ) coupled to provide a single gain control signal indicating that the wordline is to be activated; and a circuit ( 6 ) for detecting an amplified potential coupled to receive the single gain control signal and to provide a boosted voltage signal having an oscillator enable state and an oscillator off state. Halbleiterspeichervorrichtung nach Anspruch 4, wobei: das verstärkte Spannungssignal den Oszillatorfreigabezustand hat, wenn das einzelne Verstärkungs-Steuersignal (PREVBT) anzeigt, dass die Wortleitung (11) zu aktivieren ist; und das verstärkte Spannungssignal den Oszillatorfreigabezustand hat, wenn das verstärkte Potential niedriger als ein vorbestimmtes Potential ist.A semiconductor memory device according to claim 4, wherein: the amplified voltage signal has the oscillator enable state when the single gain control signal (PREVBT) indicates that the word line ( 11 ) is to be activated; and the amplified voltage signal has the oscillator enable state when the amplified potential is lower than a predetermined potential. Halbleiterspeichervorrichtung nach Anspruch 4, wobei: das verstärkte Spannungssignal den Oszillatorfreigabezustand hat, wenn das verstärkte Potential niedriger als ein erstes vorbestimmtes Potential ist, wenn das einzelne Verstärkungs-Steuersignal (PREVBT) nicht anzeigt, dass die Wortleitung zu aktivieren ist; das verstärkte Spannungssignal den Oszillatorfreigabezustand hat, wenn das verstärkte Potential niedriger als ein zweites vorbestimmten Potential ist, wenn das einzelne Verstärkungs-Steuersignal anzeigt, dass die Wortleitung zu aktivieren ist; und das zweite vorbestimmte Potential größer als das erste vorbestimmte Potential ist.A semiconductor memory device according to claim 4, wherein: the increased Voltage signal has the oscillator enable state when the amplified potential lower than a first predetermined potential is when the single one Gain control signal (PREVBT) does not indicate that the wordline is to be activated; the increased Voltage signal has the oscillator enable state when the amplified potential is lower than a second predetermined potential, if that single gain control signal indicates that the wordline is to be activated; and the second predetermined potential greater than the first predetermined potential is. Halbleiterspeichervorrichtung nach Anspruch 4, 5 oder 6, wobei: die Oszillatorschaltung (7) einen Oszillationssignalgenerator und eine Oszillator-Voreinstellschaltung enthält; der Oszillationssignalgenerator (7a) oszilliert, wenn das verstärkte Spannungssignal im Oszillatorfreigabezustand ist; und die Oszillator-Voreinstellschaltung (7b) den Oszillationssignalgenerator (7a) auf einen zum letzten logischen Zustand, bei welchem der Oszillationssignalgenerator (7a) freigegeben wurde, entgegengesetzten Zustand voreinstellt, wenn das verstärkte Spannungssignal im Oszillatorsperrzustand ist.A semiconductor memory device according to claim 4, 5 or 6, wherein: said oscillator circuit ( 7 ) includes an oscillation signal generator and an oscillator preset circuit; the oscillation signal generator ( 7a ) oscillates when the amplified voltage signal is in the oscillator enable state; and the oscillator presetting circuit ( 7b ) the oscillation signal generator ( 7a ) to a last logical state in which the oscillation signal generator ( 7a ), sets the opposite state when the amplified voltage signal is in the oscillator locked state. Steuerverfahren zum Steuern einer Halbleiterspeichervorrichtung mit einer Verstärkerschaltung, die ein verstärktes Potential in Antwort auf ein durch eine Oszillatorschaltung erzeugtes Oszillationssignal erzeugt, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist: Empfangen eines Befehls und einer Adresse; Decodieren des Befehls; Erzeugen eines Verstärkungs-Steuersignals (PREVBT) in Antwort auf den decodierten Befehl, der anzeigt, dass eine Wortleitung zu aktivieren ist; Liefern einer Ladung zu einem Knoten eines verstärkten Potentials (VPP) in Antwort auf das Verstärkungs-Steuersignal; und Liefern einer elektrischen Verbindung zwischen dem Knoten des verstärkten Potentials und der Wortleitung gemäß dem Wert der empfangenen Adresse, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt zum Liefern einer Ladung zum Knoten des verstärkten Potentials ein verstärktes Potential liefert, das größer als ein Aktivierungspotential der Wortleitung ist.Control method for controlling a semiconductor memory device with an amplifier circuit, the a reinforced one Potential in response to a generated by an oscillator circuit Generated oscillation signal, the method comprising the following steps: Receive a command and an address; Decoding the command; Produce a gain control signal (PREVBT) in response to the decoded instruction indicating that a wordline is to be activated; Delivering a charge to a node of a increased Potential (VPP) in response to the gain control signal; and Deliver an electrical connection between the node of the amplified potential and the word line according to the value the received address, characterized in that the step for supplying a charge to the node of the boosted potential, an amplified potential delivers that larger than is an activation potential of the word line. Steuerverfahren nach Anspruch 8, wobei: der Schritt zum Erzeugen eines Verstärkungs-Steuersignals (PREVBT) ein Erzeugen eines einzelnen Impulses enthält.A control method according to claim 8, wherein: of the Step of generating a gain control signal (PREVBT) contains generating a single pulse. Steuerverfahren nach Anspruch 8, wobei: der Schritt zum Liefern einer Ladung zum Knoten des verstärkten Potentials ein Erzeugen des Oszillationssignals in Antwort auf das Verstärkungs-Steuersignal (PREVBT) enthält; und das Oszillationssignal eine Oszillationssignalperiode zwischen Übergängen hat.A control method according to claim 8, wherein: of the Step of providing a charge to the node of the boosted potential generating the oscillation signal in response to the gain control signal (PREVBT) contains; and the oscillation signal has an oscillation signal period between transitions. Steuerverfahren nach Anspruch 10, wobei: ein Erzeugen eines Oszillationssignals in Antwort auf das Verstärkungs-Steuersignal ein Erzeugen eines Oszillationssteuersignals in Antwort auf das Verstärkungs-Steuersignal enthält; und das Oszillationssignal einen letzten Oszillationszustand hat, wenn das Oszillationssteuersignal in einem Oszillationssperrzustand ist, und das Oszillationssignal zu einem zum letzten Oszillationszustand entgegengesetzten Zustand übergeht, wenn das Oszillationssteuersignal zu einem Oszillationsfreigabezustand übergeht, ohne dass es durch die Oszillationssignalperiode zwischen Übergängen verzögert wird.The control method of claim 10, wherein: generating an oscillation signal in response to the gain control signal includes generating an oscillation control signal in response to the gain control signal; and the oscillation signal has a last oscillation state when the oscillation control signal is in an oscillation inhibited state, and the oscillation signal transitions to a state opposite to the last oscillation state when the oscillation control signal transits to an oscillation enable state without being caused by the oscillation signal period between transitions is delayed.
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