DE10112021C1 - Adjustable optical level adjuster - Google Patents

Adjustable optical level adjuster

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DE10112021C1
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polymer
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Norbert Keil
Huihai Yao
Crispin Zawadzki
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Abstract

Um unterschiedliche optische Leistungspegel in einzelnen Wellenlängenbereichen eines optischen WDM-Netzes anzugleichen, werden wellenlängenabhängige Pegelangleicher eingesetzt. Verschiedene Lösungen auf Basis von Mach-Zehnder-Filtern oder AWG-Multiplexern in Verbindung mit Phasenschiebern sind bekannt, weisen aber zu hohe Schaltleistungswerte und entweder zu grobe Filtercharakteristiken oder zu hohe Dämpfungswerte auf. Deshalb ist bei dem erfindungsgemäßen Pegelangleicher (GE) ein erster Wellenleiter (WG¶1¶) mit einem zweiten Wellenleiter (WG¶2¶), die unterschiedliche Brechzahlen (n¶1¶, n¶2¶) aufweisen, über zwei 3 dB-Filterkoppler (GC¶1¶, GC¶2¶) verbunden, in deren Koppelbereichen (CA) je ein Gitter (G¶1¶, G¶2¶) zur Selektion eines Wellenlängenbereichs (lambda¶Ci¶, i = 1...m) integriert ist. Im zweiten Wellenleiter (WG¶2¶) ist zwischen den beiden Filterkopplern (GC¶1¶, GC¶2¶) außerhalb ihrer Koppelbereiche (CA) ein einstellbarer Phasenschieber (PS) integriert. Bei einer besonders bevorzugten Hybridausführung der Wellenleiter wird der Vorteil der niedrigen Dämpfung in einem Silica-Wellenleiter mit dem Vorteil der gut einstellbaren Schaltbarkeit in einem Polymer-Wellenleiter kombiniert. Zur gleichzeitigen Pegelangleichung in mehreren Wellenlängenbereichen können erfindungsgemäße Pegelangleicher mit unterschiedlichen Filterkurven hintereinander geschaltet werden.In order to equalize different optical power levels in individual wavelength ranges of an optical WDM network, wavelength-dependent level adjusters are used. Various solutions based on Mach-Zehnder filters or AWG multiplexers in connection with phase shifters are known, but have switching power values that are too high and either too coarse filter characteristics or damping values that are too high. Therefore, in the level adjuster (GE) according to the invention, a first waveguide (WG¶1¶) with a second waveguide (WG¶2¶), which have different refractive indices (n¶1¶, n¶2¶), is over two 3 dB Filter coupler (GC¶1¶, GC¶2¶) connected, in their coupling areas (CA) each a grating (G¶1¶, G¶2¶) for the selection of a wavelength range (lambda¶Ci¶, i = 1 ... m) is integrated. In the second waveguide (WG¶2¶) an adjustable phase shifter (PS) is integrated between the two filter couplers (GC¶1¶, GC¶2¶) outside their coupling areas (CA). In a particularly preferred hybrid embodiment of the waveguide, the advantage of low attenuation in a silica waveguide is combined with the advantage of easily adjustable switchability in a polymer waveguide. For simultaneous level adjustment in several wavelength ranges, level adjusters according to the invention can be connected in series with different filter curves.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen einstellbaren optischen Pegelangleicher zur wellenlängenabhängigen Angleichung der Leistungspegel in WDM-Netzen mit zwei Kopplern zur optischen Kopplung eines ersten Wellenleiters mit einem im Koppelbereich parallel dazu verlaufenden zweiten Wellenleiter, einem zwischen den Kopplern angeordneten Filterfunktionselement zur Selektion eines Wellenlängenbereichs um eine Zentralwellenlänge und einem zwischen den Kopplern außerhalb ihrer Koppelbereiche angeordneten einstellbaren Phasenschieber.The invention relates to an adjustable optical level equalizer for wavelength-dependent adjustment of the power level in WDM networks with two couplers for optically coupling a first waveguide with one in the coupling area, a second waveguide running parallel to it, one filter function element arranged between the couplers for selection of a wavelength range around a central wavelength and between the couplers adjustable outside their coupling areas Phase shifter.

Eine Kapazitätserhöhung bei bestehenden optischen Netzwerken zur Daten­ übertragung, die in den nachrichtentechnischen bevorzugten Wellenlängen­ bereichen um 1300 nm und 1550 nm erfolgt, kann nur durch Vergrößerung der übertragbaren Datenbitrate oder durch Parallelisierung des Übertragungs­ prozesses mittels Wellenlängenmultiplex (Wavelength Division Multiplex WDM) realisiert werden. Insbesondere Entwicklungen auf dem Gebiet der Erbium- dotierten Faserverstärker (EDFA) machen die zweite Möglichkeit besonders attraktiv. Eines der Probleme bei der Implementierung von WDM-Netzen stellt jedoch die unterschiedliche Übertragungscharakteristik der einzelnen WDM- Komponenten dar. Deren Eigenschaften sind nur im Idealfall für alle Wellen­ längen gleich. Wellenlängenabhängige Verstärkungsprofile, Sättigungseigen­ schaften der EDFA und uneinheitliche Dämpfungen an den Multiplex- und Demultiplexbauelementen führen dazu, dass jeder Kanal im WDM-Netz ein anderes Übertragungsverhalten aufweist. Für eine weitgehend fehlerfreie Funktion des WDM-Netzes ist jedoch eine gleichmäßige Leistungsverteilung auf die einzelnen Kanäle notwendig. Die Angleichung der Leistungspegel in den einzelnen Übertragungskanälen ist deshalb eine vordringliche Aufgabe, zumal die Anzahl der parallelen Übertragungskanäle durch fortschreitende Verringerung der Kanalabstände noch weiter stetig zunimmt (die minimale Kanalbandbreite liegt derzeit bei ungefähr 10 GHz).A capacity increase in existing optical networks for data transmission, in the preferred communications wavelengths ranges around 1300 nm and 1550 nm can only be done by enlarging the transferable data bit rate or by parallelizing the transmission process using wavelength division multiplex (WDM) will be realized. Developments in the field of erbium doped fiber amplifiers (EDFA) make the second option special attractive. One of the problems with the implementation of WDM networks poses however, the different transmission characteristics of the individual WDM Components. Their properties are only ideal for all shafts length equal. Wavelength-dependent gain profiles, saturation properties EDFA and inconsistent attenuation on the multiplex and Demultiplex components lead to the fact that every channel in the WDM network has different transmission behavior. For a largely error-free However, the function of the WDM network is an even distribution of power necessary on the individual channels. Approximation of power levels in the individual transmission channels is therefore an urgent task especially since the number of parallel transmission channels due to progressive  Reduction of the channel spacing continues to increase (the minimum Channel bandwidth is currently around 10 GHz).

Insbesondere die in die Strecken integrierten optischen Verstärker weisen wellenlängenabhängige Verstärkungsprofile auf und beeinflussen damit das Übertragungsverhalten der Strecken wesentlich. Die übertragene Signal­ leistung in den einzelnen Kanälen differiert, das Übertragungsprofil ist nicht glatt. Dieses kann durch einstellbare optische Pegelangleicher ausgeglichen werden, die für eine Verbesserung des Übertragungsverhaltens besonders niedrige zusätzliche Dämpfungswerte, eine geringe Polarisationsabhängigkeit und eine hohe Dynamik aufweisen müssen. Außerdem sollen sie einfach aufgebaut und zu möglichst geringen Kosten herstellbar sein. Bekannte einstellbare Pegelangleicher zur Pegelanpassung auf einem breiten Über­ tragungsspektrum basieren auf Mach-Zehnder-Filtern, akustisch-optischen Filtern, Hologrammen, mikromechanisch angetriebenen Spiegeln, Multiplex- Demultiplex-Paaren mit variablen Dämpfern oder Phasenschiebern.In particular, the optical amplifiers integrated into the lines point wavelength-dependent gain profiles and thus influence that Transmission behavior of the routes essential. The transmitted signal performance differs in the individual channels, the transmission profile is not smooth. This can be compensated for by adjustable optical level adjusters that are particularly important for an improvement in transmission behavior low additional attenuation values, low polarization dependence and have to be dynamic. They should also be simple be built and manufactured at the lowest possible cost. Known adjustable level adjuster for level adjustment over a wide range load spectrum are based on Mach-Zehnder filters, acoustic-optical Filters, holograms, micromechanically driven mirrors, multiplex Demultiplex pairs with variable dampers or phase shifters.

Aus dem Aufsatz [I] "Tunable gain equalization using a Mach-Zehnder optical filter in multistage fiber amplifiers" (K. Inoue, T. Kominato, and H. Toba, IEEE Photon. Technol. Lett., Vol. 3, pp. 718-720, 1991) ist ein einstellbarer Pegelan­ gleicher auf Silicabasis (Silica: dotiertes Silizium-Dioxid SiO2) bekannt, bei dem zwei einstellbare optische Koppler über zwei unterschiedlich lange Wellenleiterabschnitte miteinander verbunden sind, von denen einer als einstellbarer Phasenschieber benutzt wird. In dem Aufsatz [II] "Dynamic wave­ length equalizer in silica using the single-filtered-arm interferometer" (C. R. Doerr, M. Cappuzzo, E. Laskowski, A. Paunescu, L. Gomez, L. W. Stulz and J. Gates, IEEE Photon. Technol. Lett., Vol. 11, pp. 581-583, 1999) wird ein einstellbarer, wellenlängenabhängiger Pegelangleicher in Silica-Technik für WDM-Netze beschrieben. Dieser ist aus einem Mach-Zehnder-Interferometer mit zwei Kopplern und einem als optisches Filterfunktionselement wirkenden Multiplex-Demultiplex-Paar (Arrayed-Waveguide-Gratings AWG) aufgebaut. Das Multiplex-Demultiplex-Paar ist über eine Vielzahl von parallelen und gleich langen, thermo-optisch gesteuerten Phasenschiebern verbunden, über die die Transmission des Pegelangleichers wellenlängenabhängig eingestellt werden kann. Die bekannten Pegelangleicher selektieren aber entweder die Wellenlänge zu grob [I] oder fügen eine hohe Dämpfung in die Übertragungs­ strecke ein [II]. Des Weiteren werden relativ hohe Schaltleistungen für die Phasenschieber benötigt.From the article [I] "Tunable gain equalization using a Mach-Zehnder optical filter in multistage fiber amplifiers" (K. Inoue, T. Kominato, and H. Toba, IEEE Photon. Technol. Lett., Vol. 3, pp. 718-720, 1991) an adjustable level is known on the basis of silica (silica: doped silicon dioxide SiO 2 ), in which two adjustable optical couplers are connected to one another via two waveguide sections of different lengths, one of which is used as an adjustable phase shifter. In the article [II] "Dynamic wave length equalizer in silica using the single-filtered-arm interferometer" (CR Doerr, M. Cappuzzo, E. Laskowski, A. Paunescu, L. Gomez, LW Stulz and J. Gates, IEEE Photon. Technol. Lett., Vol. 11, pp. 581-583, 1999) describes an adjustable, wavelength-dependent level adjuster in silica technology for WDM networks. This is made up of a Mach-Zehnder interferometer with two couplers and a multiplex-demultiplex pair (arrayed waveguide gratings AWG) that acts as an optical filter function element. The multiplex-demultiplex pair is connected via a large number of parallel and equally long, thermo-optically controlled phase shifters, via which the transmission of the level adjuster can be adjusted depending on the wavelength. The known level adjusters either select the wavelength too coarse [I] or add a high attenuation to the transmission path [II]. Furthermore, relatively high switching powers are required for the phase shifters.

Andere optische Schlüsselkomponenten in WDM-Netzen sind Add/Drop-Filter, die das Einbringen und Herausfiltern einer oder mehrerer Wellenlängen in bzw. aus der Faser ermöglichen. Es ist bekannt, Add/Drop-Filter in der Struktur eines Richtkoppler-Filters auszubilden. In einem solchen Filter sind mindestens zwei dicht benachbart verlaufende Wellenleiter mit unterschiedlichen Brechungsindizes angeordnet, von denen mindestens ein Wellenleiter ein Gitter als Filterfunktionselement aufweist. Vorzugsweise ist dieses auf dem Wellenleiter mit dem größeren Brechungsindex aufgebracht. Ein solches Add/Drop-Filter ist beispielsweise in IEEE Phot. Technol. Lett., Vol. 4, No. 12, December 1992, pp. 1386-1389 beschrieben. Rein faseroptische Lösungen für Add/Drop-Filter, bei denen Silica für diese Fasern verwendet wird, sind in IEEE Phot. Technol. Lett., Vol. 8, No. 12, December 1996, pp. 1656-1658 beschrieben. Unter anderem von diesem Stand der Technik geht ein optisches gitterunterstütztes Add/Drop-Filter mit materialhybridem Aufbau aus, das Gegenstand einer älteren deutschen Patentanmeldung 100 25 307.5 des­ selben Anmelders wie für die vorliegende Erfindung ist.Other key optical components in WDM networks are add / drop filters, that introduce and filter out one or more wavelengths in or allow from the fiber. It is known to add / drop filters in the structure to form a directional coupler filter. In such a filter are at least two closely adjacent waveguides with different ones Refractive indices arranged, of which at least one waveguide Has grid as a filter function element. This is preferably on the Waveguide with the larger refractive index applied. Such one Add / drop filter is for example in IEEE Phot. Technol. Lett., Vol. 4, No. 12 December 1992, pp. 1386-1389. Purely fiber optic solutions for Add / drop filters using silica for these fibers are in IEEE Phot. Technol. Lett., Vol. 8, No. December 12, 1996, pp. 1656-1658 described. Among other things, this state of the art is an optical one lattice-assisted add / drop filter with a hybrid material structure Subject of an older German patent application 100 25 307.5 des same applicant as for the present invention.

Die Aufgabe für die Erfindung besteht darin, einen gegenüber dem nächstliegenden Stand der Technik verbesserten optischen Pegelangleicher mit einer möglichst geringen Dämpfung, einer ausreichenden Wellenlängen­ selektivität und einer möglichst geringen Schaltleistung anzugeben. Dabei soll dieser auch eine geringe Polarisationsabhängigkeit, eine hohe Dynamik und eine gute Abstimmbarkeit aufweisen sowie einfach und kostengünstig aufgebaut sein. The object of the invention is one over closest prior art improved optical level equalizer with the lowest possible attenuation and sufficient wavelengths selectivity and the lowest possible switching capacity. In doing so this also has low polarization dependency, high dynamics and have good tunability and is simple and inexpensive be constructed.  

Als Lösung für diese Aufgabe ist bei dem erfindungsgemäßen Pegel­ angleicher der eingangs beschriebenen Art deshalb vorgesehen, dass jeder Koppler als gitterunterstützter 3 dB-Filterkoppler zwischen den beiden Wellen­ leitern mit unterschiedlichen Brechungsindizes und das Filterfunktionselement in Form von zwei zugeordneten Gittern ausgebildet ist, die jeweils im Koppel­ bereich eines 3 dB-Filterkopplers angeordnet sind, und dass der Phasen­ schieber direkt in einen der beiden Wellenleiter integriert ist. Bei einer vorteilhaften Fortführung des erfindungsgemäßen Pegelangleichers ist darüber hinaus vorgesehen, dass der erste Wellenleiter als Silica-Wellenleiter und der zweite Wellenleiter als Polymer-Wellenleiter ausgebildet und der einstellbare Phasenschieber in den Polymer-Wellenleiter integriert ist. Des Weiteren kann gemäß einer nächsten Fortführung der Polymer-Wellenleiter nichtlineare optische Eigenschaften aufweisen.The solution to this problem is at the level according to the invention of the type described in the introduction therefore provided that everyone Coupler as a grid-supported 3 dB filter coupler between the two waves conductors with different refractive indices and the filter function element is in the form of two assigned grids, each in the coupling range of a 3 dB filter coupler are arranged, and that of the phases slider is integrated directly into one of the two waveguides. At a advantageous continuation of the level adjuster according to the invention is above also provided that the first waveguide as a silica waveguide and the second waveguide designed as a polymer waveguide and the adjustable Phase shifter is integrated in the polymer waveguide. Furthermore, can according to a next continuation of the polymer waveguides nonlinear have optical properties.

Der erfindungsgemäße Pegelangleicher löst die Aufgabe zur Verbesserung der optischen Leistungsangleichung in WDM-Netzen durch eine vorteilhafte Kombination von Filterkopplern, deren Filterfunktionen durch optische Gitter ausgebildet werden, mit einem einzelnen Phasenschieber. Dabei kann gemäß der bevorzugten Ausführungsform zusätzlich die besonders vorteilhafte Kombi­ nation der Silica-Technologie mit der Polymer-Technologie (Hybrid-Techno­ logie, vergleiche DE 198 49 862 C1 "Thermooptischer Schalter") eingesetzt werden. Hier sind die Vorteile insbesondere darin zu sehen, dass der Brechungsindexunterschied zwischen Silica- und Polymer-Wellenleitern sehr hoch eingestellt werden kann, wodurch eine Konzeption eines besonders kompakten Pegelangleichers möglich ist. Außerdem wird die gute optische Abstimmbarkeit der Polymer-Technologie verknüpft mit der niedrigen optischen Dämpfung der Silica-Technologie. Der Silica-Wellenleiter wird als optisch transmittive, passive Schicht, der Polymerwellenleiter als aktive Schicht für die Schaltfunktion und für die Phasen- bzw. Wellenlängen-Verschiebungsfunktion genutzt. Da insbesondere der thermo-optische Effekt in Polymer-Wellenleitern sehr ausgeprägt ist, sind nur geringe Schaltleistungen bei einer entsprechen­ den Steuerung erforderlich. Entsprechend gering ist auch die abzuführende Wärmemenge. Typische Schaltzeiten liegen hier im ms-Bereich. Durch Ausnutzung nichtlinearer optischer Effekte können diese noch wesentlich unterschritten werden. Insgesamt gesehen führen die vorgesehenen Maßnahmen bei dem erfindungsgemäßen Pegelangleicher daher zu gut abstimmbaren gitterunterstützten Filterkopplern mit einem Phasenschieber mit niedrigem elektrischen Leistungsverbrauch.The level adjuster according to the invention solves the problem of improving optical power adjustment in WDM networks through an advantageous Combination of filter couplers, their filter functions through optical gratings be trained with a single phase shifter. According to the preferred embodiment, the particularly advantageous station wagon nation of silica technology with polymer technology (hybrid techno logie, compare DE 198 49 862 C1 "Thermo-optical switch") used become. The advantages can be seen here in particular in that the Very high refractive index difference between silica and polymer waveguides can be set high, creating a conception of a special compact level adjuster is possible. In addition, the good optical Tunability of the polymer technology combined with the low optical Attenuation of silica technology. The silica waveguide is called optical transmittive, passive layer, the polymer waveguide as an active layer for the Switching function and for the phase or wavelength shift function used. In particular, the thermo-optical effect in polymer waveguides is very pronounced, only low switching capacities at a correspond the control required. The amount to be discharged is correspondingly low  Amount of heat. Typical switching times are in the ms range. By Utilization of nonlinear optical effects can still significantly be undercut. All in all, the planned ones Measures in the level adjuster according to the invention are therefore too good tunable grid-assisted filter couplers with a phase shifter low electrical power consumption.

Bei der besonders vorteilhaften Ausführungsform des erfindungsgemäßen wellenlängenabhängigen Pegelangleichers wird die optische Leistung in den Silica-Wellenleiter eingekoppelt. Die beiden gitterunterstützten 3 dB-Filter­ koppler werden über die Geometrie so eingestellt, dass die Hälfte der optischen Leistung eines durch die Gitter definierten optischen Wellenlängen­ bereiches um eine zentrale Wellenlänge in den Polymer-Wellenleiter eingekoppelt wird (Koppelfaktor R = 0,5). Die mit den Gittern verbundene hohe Wellenlängenselektivität wird bei dem erfindungsgemäßen Pegelangleicher für die Filterfunktion ausgenutzt. Je nachdem, wie stark das Wellenlängenband gedämpft werden soll, wird in dem Phasenschieber die Phase der Signale zwischen den beiden Wellenleitern zwischen 0 und π verschoben. In dem zweiten Filterkoppler überlagern sich die Anteile des ausgefilterten Wellenlängenbandes wieder, um sich in ihren Amplituden zu ergänzen, zu dämpfen oder vollständig auszulöschen. Die Filterkoppler haben also zwei Funktionen, die sich aus ihrer speziellen Struktur ergeben. Sie selektieren zum einen durch die aufgeprägte Filterkurve ein vorgegebenes Wellenlängenband und teilen oder vereinigen zum anderen die optische Leistung in diesem Wellenlängenbereich.In the particularly advantageous embodiment of the invention wavelength-dependent level equalizer, the optical power in the Silica waveguide coupled. The two grid-supported 3 dB filters Couplers are set via the geometry so that half of the optical power of an optical wavelength defined by the grating range around a central wavelength in the polymer waveguide is coupled (coupling factor R = 0.5). The high associated with the bars Wavelength selectivity is in the level equalizer for exploited the filter function. Depending on how strong the wavelength band is to be damped, the phase of the signals in the phase shifter shifted between 0 and π between the two waveguides. By doing the second filter coupler overlap the portions of the filtered out Wavelength band again to complement each other in their amplitudes dampen or completely extinguish. The filter couplers therefore have two Functions that result from their special structure. You select for a predetermined wavelength band through the impressed filter curve and on the other hand divide or unite the optical power in it Wavelength range.

Bei einer nächsten vorteilhaften Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Pegel­ angleichers ist vorgesehen, dass die zugeordneten Gitter eine periodische Brechungsindexvariation aufweisen, die durch geometrische oder optische Maßnahmen definiert ist. Bei den geometrischen Maßnahmen handelt es sich um solche, die beispielsweise durch Materialabtrag zu einer kammartigen Struktur führen. Die hierbei entstehenden Zwischenräume können mit einem zweiten Material ausgefüllt werden, das einen anderen Brechungsindex aufweist. Bei den optischen Methoden werden die Brechzahldifferenzen beispielsweise mittels UV-Belichtung eingeschrieben. Die Gitter können an jeder beliebigen Stelle im Koppelbereich des Kopplers angeordnet sein, beispielsweise im Raum zwischen den beiden Wellenleitern. Bei einer anderen Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Pegelangleichers ist vorteilhaft vorgesehen, dass die zugeordneten Gitter jeweils direkt in einen der beiden Wellenleiter eingeschrieben sind. Dabei kann es an allen Außenseiten eines Wellenleiters angeordnet sein, insbesondere, wenn dieser einen planaren Querschnitt aufweist. Nähere Einzelheiten zu den unterschiedlichen Gitter­ definierungsmöglichkeiten und zu weiteren Ausgestaltungen und Dimensi­ onierungsangaben der Wellenleiter können der weiter oben erwähnten älteren deutschen Patentanmeldung 100 25 307.5 nach ihrer Veröffentlichung entnommen werden.In a next advantageous embodiment of the level according to the invention it is also provided that the assigned grids are periodic Have refractive index variation caused by geometric or optical Measures is defined. The geometric measures are to those that, for example, by material removal to a comb-like Lead structure. The resulting gaps can be created with a  second material to be filled, which has a different refractive index having. With the optical methods the refractive index differences are for example inscribed by means of UV exposure. The grids can be on be located anywhere in the coupling area of the coupler, for example in the space between the two waveguides. Another one Design of the level adjuster according to the invention is advantageous provided that the assigned grids each directly in one of the two Waveguides are inscribed. There can be one on all the outside Waveguide can be arranged, especially if it is a planar Has cross section. More details on the different grids definition options and further configurations and dimensions Information on the waveguides can be of the older ones mentioned above German patent application 100 25 307.5 after its publication be removed.

In einer weiteren vorteilhaften Fortführung des erfindungsgemäßen Pegel­ angleichers ist vorgesehen, dass die beiden Wellenleiter vertikal zueinander angeordnet sind und zwischen den beiden Wellenleitern eine dünne Trennschicht und oberhalb und unterhalb der beiden Wellenleiter je eine Passivierungsschicht vorgesehen ist. Dabei dient die Trennschicht ("gap") der definierten optischen Kopplung zwischen den beiden Wellenleitern, wohingegen die beiden Passivierungsschichten die Wellenleiter von dem Substrat und der Umgebung isolieren. Bei einem derartigen Schichtenaufbau kann gemäß einer nächsten Erfindungsfortführung dann vorgesehen sein, dass die Zentralwellenlänge des zu selektierenden Wellenlängenbereichs mittels einer Steuerelektrode zusätzlich einstellbar ist, die auf der Passivie­ rungsschicht, insbesondere oberhalb des Polymer-Wellenleiters, angeordnet ist.In a further advantageous continuation of the level according to the invention it is also provided that the two waveguides are vertical to one another are arranged and a thin between the two waveguides Interface and one above and one below the two waveguides Passivation layer is provided. The separating layer ("gap") serves defined optical coupling between the two waveguides, whereas the two passivation layers remove the waveguide from that Isolate the substrate and the environment. With such a layer structure can then be provided according to a next continuation of the invention, that the central wavelength of the wavelength range to be selected is also adjustable by means of a control electrode, which is based on the passive tion layer, in particular arranged above the polymer waveguide is.

Gemäß einer nächsten Erfindungsausgestaltung ist es möglich, dass der Phasenschieber über ein Steuerelement einstellbar ist, das auf der Passivierungsschicht, insbesondere oberhalb des Polymer-Wellenleiters, angeordnet ist. Eine gute thermo-optische Einstellbarkeit des Phasenschiebers kann durch einfache Zufuhr von Wärme realisiert werden. Der thermo-optische Effekt ist bei vielen Polymerwerkstoffen, die für eine Ausformung als Wellenleiter geeignet sind, besonders stark ausgeprägt. Deshalb ist es besonders sinnvoll, wenn nach einer nächsten Weiterbildung des erfindungsgemäßen Pegelangleichers der Phasenschieber thermo-optisch über eine Heizelektrode als Steuerelement einstellbar ist. Der elektro-optische Effekt weist ebenfalls eine gute Wirkung auf und ermöglicht besonders niedrige Schaltzeiten. Bei einer alternativen Weiterbildung ist deshalb vorgesehen, dass der Phasenschieber elektro-optisch über eine Steuer­ elektrode als Steuerelement einstellbar ist. In beiden Fällen ist eine gute, örtlich begrenzte Beeinflussung eines der beiden Wellenleiters, insbesondere des Polymer-Wellenleiters, zur exakten Erzeugung vorgewählter Phasenver­ schiebungen zwischen den beiden Lichtwellen in den Wellenleitern gegeben.According to a next embodiment of the invention, it is possible that the Phase shifter is adjustable via a control that is on the Passivation layer, especially above the polymer waveguide,  is arranged. Good thermo-optical adjustability of the phase shifter can be realized by simply adding heat. The thermo-optical Effect is with many polymer materials that are considered for a molding Waveguides are particularly strong. That's why it is particularly useful if after a further training of the Level shifter according to the invention of the phase shifter thermo-optical is adjustable via a heating electrode as a control element. The electro-optical Effect also has a good effect and enables particularly low switching times. In the case of alternative further training is therefore provided that the phase shifter electro-optically via a control electrode is adjustable as a control element. In both cases, a good one local influence on one of the two waveguides, in particular of the polymer waveguide, for the exact generation of preselected phase ver shifts between the two light waves in the waveguides.

Bei dem bekannten Silica-Pegelangleicher, von dem die vorliegende Erfindung ausgeht, werden den beiden Kopplern AWG-Multiplexer mit Phasenschiebern für jeden zu selektierenden Wellenlängenbereich zwischen geschaltet. Damit ergibt sich in dem einen Arm des Mach-Zehnder-Interferometers ein umfang­ reicher Schaltungsaufbau. Bei dem erfindungsgemäßen Hybrid-Pegelan­ gleicher ist es hingegen nach einer nächsten Erfindungsfortführung möglich, dass eine hintereinander geschaltete Reihenanordnung zusammen mit weiteren Pegelangleichern desselben Typs vorgesehen ist, von denen jeder Pegelangleicher in einem anderen Wellenlängenbereich um eine andere Zentralwellenlänge arbeitet. Es ergibt sich somit eine sehr übersichtliche, kaskadierte Anordnung, die einfach herstellbar ist. Jeder Pegelangleicher ist einem vorgegebenen Wellenlängenbereich zugeordnet, der durch die eingeprägte Filterfunktion der zugehörigen gitterunterstützten Filterkoppler vorgegeben ist. Jeder Phasenschieber kann über die örtlich begrenzte, genau einstellbare Wärmezufuhr dann auf die erforderliche Phasenverschiebung eingestellt werden. Als besonderer Vorteil dieser Anordnung ist zu nennen, dass bei einem Hybridaufbau mit einem Silica- und einem Polymer-Wellenleiter jede Wellenlänge nur einmal auf einer kurzen Strecke den Polymer- Wellenleiter passieren muss, die größte Strecke jedoch in dem niedrig dämpfenden Silica-Wellenleiter verbleibt. Eine derartige kaskadierte Struktur aus mehreren Pegelangleichern der erfindungsgemäßen Bauart ist ent­ sprechend der Anzahl der anzugleichenden Wellenlängenbereiche beliebig erweiterbar.In the known silica level adjuster, of which the present invention goes out, the two couplers are AWG multiplexers with phase shifters switched between for each wavelength range to be selected. In order to there is a large amount in one arm of the Mach-Zehnder interferometer rich circuit design. At the hybrid level according to the invention however, the same is possible after a next invention continuation, that a series arrangement together with additional level equalizers of the same type are provided, each of which Level equalizer in a different wavelength range around another Central wavelength works. The result is a very clear, cascaded arrangement that is easy to manufacture. Every level adjuster is assigned a predetermined wavelength range, which by the Embossed filter function of the associated grid-supported filter coupler is specified. Each phase shifter can be localized, exactly adjustable heat supply then to the required phase shift can be set. A particular advantage of this arrangement is that that in a hybrid construction with a silica and a polymer waveguide  each wavelength only once over a short distance the polymer Waveguide must pass, but the longest distance in the low damping silica waveguide remains. Such a cascaded structure from several level equalizers of the type according to the invention is ent speaking of the number of wavelength ranges to be adjusted expandable.

Ausbildungsformen der Erfindung werden nachfolgend anhand der schematischen Figuren näher erläutert. Dabei zeigt:Forms of the invention are described below with reference to schematic figures explained in more detail. It shows:

Fig. 1 ein Diagramm zur Variation der Gitterlänge, Fig. 1 is a diagram for varying the grating length,

Fig. 2 ein Diagramm zur Variation der Dicke der Trennschicht, Fig. 2 is a diagram for varying the thickness of the separating layer,

Fig. 3 eine Tabelle zum kopplungsabhängigen Dämpfungsverhalten des erfindungsgemäßen Pegelangleichers, Fig. 3 is a table for the coupling-dependent damping behavior of the Pegelangleichers according to the invention,

Fig. 4 das schematische Diagramm des erfindungsgemäßen Pegel­ angleichers, Fig. 4 angleichers the schematic diagram of the level according to the invention,

Fig. 5 einen integriert-planaren Aufbau des erfindungsgemäßen Pegelangleichers im räumlichen Längsschnitt und Fig. 5 shows an integrated planar structure of the level adjuster according to the invention in spatial longitudinal section and

Fig. 6 eine kaskadierte Anordnung aus mehreren erfindungsge­ mäßen Pegelangleichern für mehrere Zentralwellenlängen im Längsschnitt in der Frontansicht. Fig. 6 shows a cascaded arrangement of several inventive level equalizers for several central wavelengths in longitudinal section in the front view.

Zunächst werden noch einige grundlegende mathematische Beziehungen zum weiteren Verständnis der Wirkweise des erfindungsgemäßen Pegelangleichers in der besonders bevorzugten Ausführungsform mit einem Silica-Wellenleiter als erstem Wellenleiter und einem Polymer-Wellenleiter als zweitem Wellenleiter gegeben.First, some basic mathematical relationships with the further understanding of the mode of operation of the level adjuster according to the invention in the particularly preferred embodiment with a silica waveguide as the first waveguide and a polymer waveguide as the second Given waveguide.

Der erfindungsgemäße Pegelangleicher besteht prinzipiell aus zwei Komponenten: dem gitterunterstützten Koppler und dem Phasenschieber. Der gitterunterstützte Koppler wird sowohl als 3 dB-Koppler als auch als Filter eingesetzt. Die zentrale Wellenlänge, die herausgefiltert werden soll, wird be­ stimmt durch die auftretenden Brechungsindizes, durch die Geometrie der Gitter und durch die Struktur der Wellenleiter. Die Gitterperiode Λ ergibt sich zu
The level adjuster according to the invention basically consists of two components: the grid-supported coupler and the phase shifter. The grid-supported coupler is used both as a 3 dB coupler and as a filter. The central wavelength to be filtered out is determined by the refractive indices that occur, by the geometry of the grating and by the structure of the waveguide. The grating period Λ results in

mit λci als zentraler Wellenlänge in einem Wellenlängenbereich Δλi mit i = 1. . .m (3 dB-Filterbandbreite), nSilica (= n1) als Brechungsindex des Silica- Wellenleiters und nPolymer (= n2) als Brechungsindex des Polymer-Wellenleiters. Jedes gitterunterstützte Koppelfilter hat einen 3 dB-Kopplungskoeffizienten bei der zentralen Wellenlänge λci (R = 0,5). Der Kopplungskoeffizient des gitterunterstützten Kopplers ist abhängig vom Abstand zwischen den Wellenleitern ("gap"), wenn die Gitterperiode Λ und die Gesamtlänge des Gitters L festgelegt sind. Die 3 dB-Filterbandbreite Δλi hängt zunächst von der Länge des Gitters in umgekehrter Proportionalität ab. Bezeichnet man die Anzahl einzelner Gitterelemente mit NG, kann folgende Näherung aufgestellt werden:
with λ ci as the central wavelength in a wavelength range Δλ i with i = 1.. .m (3 dB filter bandwidth), n silica (= n 1 ) as the refractive index of the silica waveguide and n polymer (= n 2 ) as the refractive index of the polymer waveguide. Each grating-supported coupling filter has a 3 dB coupling coefficient at the central wavelength λ ci (R = 0.5). The coupling coefficient of the grating-assisted coupler depends on the distance between the waveguides ("gap") if the grating period Λ and the total length of the grating L are fixed. The 3 dB filter bandwidth Δλ i initially depends on the length of the grating in inverse proportionality. If one designates the number of individual grid elements with N G , the following approximation can be established:

Aus diesem Zusammenhang ist abzuleiten, dass mit zunehmender Gitterlänge L die Filterbandbreite Δλi abnimmt. In der Fig. 1 ist eine Simulation für einen gitterunterstützten 3 dB-Kopplerfilter mit einer Gitterperiode Λ von 64 µm und einer Trennschichtdicke (gap) von 4 µm bei einer veränderlichen Gitterlänge L dargestellt. Es ist zu erkennen, dass sich sowohl die gekoppelte optische Leistung P als auch die 3 dB-Filterbandbreite Δλi verändern, wenn die Gitter­ länge L variiert wird. From this context it can be deduced that the filter bandwidth Δλ i decreases with increasing lattice length L. In FIG. 1, a simulation for a grating-assisted 3 dB is Kopplerfilter microns with a grating period Λ of 64 and a separation layer thickness (gap) of 4 micrometers shown at a variable grating length L. It can be seen that both the coupled optical power P and the 3 dB filter bandwidth Δλ i change when the grating length L is varied.

In der Fig. 2 ist eine Simulation für einen gitterunterstützten Filterkoppler mit einer konstanten Gitterperiode Λ von 64 µm und einer Gitterlänge L von 10 mm gezeigt, bei der die Dicke der Trennschicht (gap) variiert wird. Dieser Darstellung ist zu entnehmen, dass die optische Leistungskopplung in ihrem Spitzenwert von der Dicke der Trennschicht abhängt. Je dicker diese ist, desto kleiner ist der Kopplungskoeffizient R. Wenn sie 4,4 µm beträgt, ist der Kopplungskoeffizient R genau 3 dB. Deutlich ist in der Fig. 2 zu erkennen, dass die 3 dB-Filterbandbreite Δλi des Kopplers für unterschiedliche Dicken der Trennschicht nicht schwankt.In FIG. 2, a simulation for a grating-assisted filter coupler with a constant grating period Λ of 64 microns and a grating length L of 10 mm shown in which the thickness of the separating layer (gap) is varied. This illustration shows that the peak optical power coupling depends on the thickness of the interface. The thicker it is, the smaller the coupling coefficient R. If it is 4.4 µm, the coupling coefficient R is exactly 3 dB. It can clearly be seen in FIG. 2 that the 3 dB filter bandwidth Δλ i of the coupler does not fluctuate for different thicknesses of the interface.

Der Phasenschieber verbindet die beiden gitterunterstützten Filterkoppler. Die Übertragungsfunktion des gitterunterstützten Filterkopplers kann angegeben werden mit Φ als deren Phasenverschiebung zu
The phase shifter connects the two grid-supported filter couplers. The transfer function of the grid-assisted filter coupler can be specified with Φ as its phase shift to

Für einen 3 dB-Koppler gilt: Φ(λ) = π/4 bei λci. Die Übertragungsfunktion für den Phasenschieber kann angegeben werden zu
The following applies to a 3 dB coupler: Φ (λ) = π / 4 at λ ci . The transfer function for the phase shifter can be specified as

Die Übertragungsfunktion der Kombination gitterunterstützter Filterkoppler - Phasenschieber - gitterunterstützter Filterkoppler ist
The transfer function of the combination of grid-assisted filter couplers - phase shifters - grid-assisted filter couplers is

Deshalb beträgt die koppelbare optische Leistung PPolymer am Ausgang des Polymer-Wellenleiters:
The coupling optical power P polymer at the output of the polymer waveguide is therefore:

PPolymer = sin2(2Φ) × cos2(Δϕ/2) (6)P polymer = sin 2 (2Φ) × cos 2 (Δϕ / 2) (6)

Die Leistung am Ausgang des Silica-Wellenleiters hingegen beträgt:
The power at the output of the silica waveguide, however, is:

PSilica = cos2(2Φ) × cos2(Δϕ/2) + sin2(Δϕ/2) (7)P silica = cos 2 (2Φ) × cos 2 (Δϕ / 2) + sin 2 (Δϕ / 2) (7)

Wenn gilt: Δϕ/2 = 2mπ (m = ganze positive Zahl), cos(Δϕ/2) = 1, sin(Δϕ/2) = 0, liegt eine vollständige Überkopplung vor ("cross-state"):
If: Δϕ / 2 = 2mπ (m = whole positive number), cos (Δϕ / 2) = 1, sin (Δϕ / 2) = 0, there is a complete overcoupling ("cross-state"):

PPolymer = sin2(2Φ) × cos2(Δϕ/2) = sin2(2Φ) Und PSilica = cos2(2Φ).P polymer = sin 2 (2Φ) × cos 2 (Δϕ / 2) = sin 2 (2Φ) and P silica = cos 2 (2Φ).

Deshalb ergibt sich für eine 3 dB-Kopplung mit Φ = π/4 der optimale cross- state: PPolymer = 1 Und PSilica = 0.Therefore, for a 3 dB coupling with Φ = π / 4, the optimal cross-state is obtained: P polymer = 1 and P silica = 0.

Weicht der Kopplungskoeffizient vom Idealzustand ab: Φ = π/4 + ΔΦ, errechnen sich
If the coupling coefficient deviates from the ideal state: Φ = π / 4 + ΔΦ, they are calculated

PPolymer = sin2(2Φ) = sin2(π/2 + 2ΔΦ)
= cos2(2ΔΦ) ~ {1 - (2ΔΦ)2/2}2 ~ 1 - 4(ΔΦ)2
P polymer = sin 2 (2Φ) = sin 2 (π / 2 + 2ΔΦ)
= Cos 2 (2ΔΦ) ~ {1 - (2ΔΦ) 2/2} 2 ~ 1 - 4 (ΔΦ) 2

PSilica = cos2(2Φ) = cos2(π/2 + 2ΔΦ)
= sin2(2ΔΦ) ~ 4(ΔΦ)2
P silica = cos 2 (2Φ) = cos 2 (π / 2 + 2ΔΦ)
= sin 2 (2ΔΦ) ~ 4 (ΔΦ) 2

Wenn gilt: Δϕ/2 = (2m - 1)π, cos(Δϕ/2) = 0, sin(Δϕ/2) = 1, liegt keine Über­ kopplung, sondern Durchleitung im Silica-Wellenleiter vor ("bar-state"):
If: Δϕ / 2 = (2m - 1) π, cos (Δϕ / 2) = 0, sin (Δϕ / 2) = 1, there is no overcoupling, but transmission in the silica waveguide ("bar-state" ):

PSilica = cos2(2Φ) × cos2(Δϕ/2) + sin2(Δϕ/2) = 1 und
P silica = cos 2 (2Φ) × cos 2 (Δϕ / 2) + sin 2 (Δϕ / 2) = 1 and

PPolymer = sin2(2Φ) × cos2(Δϕ/2) = 0.P polymer = sin 2 (2Φ) × cos 2 (Δϕ / 2) = 0.

Der Kopplungskoeffizient R hat hier also keinen Einfluss, es liegt immer ein perfekter bar-state vor. The coupling coefficient R has no influence here, it is always a factor perfect bar-state before.  

Aus der Gleichung (6) kann die Dämpfung für ein reales 3 dB-Kopplungs­ verhalten im cross-state abgeschätzt werden. In der Tabelle gemäß Fig. 3 sind die Ergebnisse dargestellt. Allgemein gesehen wird bei einem Kopplungs­ koeffizienten R von 0,5 ± 0,2 (bzw. 3 dB ± 1,5 dB) nur eine zusätzliche Dämpfung unterhalb von 0,8 dB hervorgerufen. Das zeigt, dass der erfindungsgemäße Pegelangleicher die an ihn gestellte Teilaufgabe der mög­ lichst geringen zusätzlichen Dämpfung in besonders geeigneter Weise löst.The damping for a real 3 dB coupling behavior in the cross-state can be estimated from equation (6). The results are shown in the table according to FIG. 3. Generally speaking, with a coupling coefficient R of 0.5 ± 0.2 (or 3 dB ± 1.5 dB) only additional attenuation below 0.8 dB is caused. This shows that the level adjuster according to the invention solves the sub-task of the lowest possible additional attenuation in a particularly suitable manner.

In der Fig. 4 ist die Struktur des erfindungsgemäßen einstellbaren optischen Pegelangleichers GE prinzipiell dargestellt. Sie besteht aus einem ersten Wellenleiter WG1 mit einem Brechungsindex n1 und einem in Koppelbereichen CA parallel dazu verlaufenden zweiten Wellenleiter WG2 mit einem Brechungsindex n2 und weist zwei gitterunterstützte Filterkoppler GC1, GC2 auf. Die beiden Filterkoppler GC1, GC2 haben einen Kopplungskoeffizienten R = 0,5, das heißt, sie teilen eine Signalleistung P in zwei Hälften (50% bzw. 3 dB) und vereinigen diese auch wieder. In ihren Koppelbereichen CA weisen beide Filterkoppler GC1, GC2 jeweils ein Gitter G1, G2 auf. Diese können vorzugs­ weise in einen der beiden Wellenleiter WG1, WG2 eingeschrieben sein und filtern aufgrund ihrer geometrischen Verhältnisse einen Wellenlängenbereich Δλi um eine zentrale Wellenlänge λCi aus dem Übertragungsspektrum heraus. Eine zusätzliche Einstellung kann über eine elektrische Steuerelektrode (nicht dargestellt) vorgenommen werden. Zwischen den beiden Filterkopplern GC1, GC2 weist der zweite Wellenleiter WG2 einen einstellbaren Phasenschieber PS auf, über dessen Einstellung eine Phasenverschiebung ϕ zwischen den Leistungsanteilen des ausgekoppelten Wellenlängenbereichs Δλi in den beiden Wellenleitern WG1, WG2 eingestellt wird. Je nach Größe der Phasenverschiebung ϕ wird in dem zweiten Filterkoppler GC2 dann eine vollständige oder anteilige Dämpfung oder Ergänzung durch Überlagerung hervorgerufen, sodass die wellige Übertragungskurve der Strecke ausge­ glichen werden kann. The structure of the adjustable optical level adjuster GE according to the invention is shown in principle in FIG. 4. It consists of a first waveguide WG 1 with a refractive index n 1 and a second waveguide WG 2 with a refractive index n 2 running parallel to it in coupling areas CA and has two grating-supported filter couplers GC 1 , GC 2 . The two filter couplers GC 1 , GC 2 have a coupling coefficient R = 0.5, that is, they divide a signal power P into two halves (50% or 3 dB) and also combine them again. In their coupling areas CA, both filter couplers GC 1 , GC 2 each have a grating G 1 , G 2 . These can preferably be written into one of the two waveguides WG 1 , WG 2 and filter a wavelength range Δλ i by a central wavelength λ Ci from the transmission spectrum due to their geometric relationships. An additional setting can be made via an electrical control electrode (not shown). Between the two filter couplers GC 1 , GC 2 , the second waveguide WG 2 has an adjustable phase shifter PS, the setting of which is used to set a phase shift ϕ between the power components of the coupled wavelength range Δλ i in the two waveguides WG 1 , WG 2 . Depending on the size of the phase shift ϕ in the second filter coupler GC 2 , complete or partial damping or supplementation is then brought about by superimposition, so that the wavy transmission curve of the line can be compensated.

Eine planare Ausführungsform des erfindungsgemäßen wellenlängen­ abhängigen Pegelangleichers GE ist in Fig. 5 in einem Längsschnitt räumlich dargestellt. Der Pegelangleicher GE ist integriert optisch aufgebaut und besteht aus zwei gitterunterstützten Filtern GC1, GC2 und einem dazwischen geschalteten, thermo-optisch einstellbaren Phasenschieber PS. Als Techno­ logie wird eine Kombination aus Silicatechnologie mit einer niedrigen Dämpfung und Polymertechnologie mit einer guten, insbesondere thermischen Abstimmbarkeit eingesetzt. Die gitterunterstützten Filterkoppler GC1, GC2 bestehen aus einem Silica-Wellenleiter WGSilica und einem in den Koppelbereichen CA parallel dazu liegenden Polymer-Wellenleiter WGPolymer, die im dargestellten Ausführungsbeispiel vertikal aufgebaut sind. Beide Wellenleiter WGSilica, WGPolymer werden durch eine Silica- oder Polymer- Trennschicht SL voneinander getrennt und durch Passivierungsschichten PL aus Silica oder Polymer von einem Substrat S und von der Umgebung isoliert. Im gewählten Ausführungsbeispiel sind in den Polymer-Wellenleiter WGPolymer Gitter G1, G2 eingeschrieben, welche die Eigenschaft der Filterfunktion bestimmen. Durch die Kombination von Silica- und Polymer-Wellenleiter WGSilica, WGPolymer kann ein hoher Brechungsindexunterschied eingestellt werden, der die Baulänge des Pegelangleichers GE stark reduziert. Die zweite Komponente des erfindungsgemäßen Pegelangleichers GE bildet der Phasenschieber PS. Hierbei ist der Polymer-Wellenleiter WGPolymer so angeordnet, dass er mit dem Silica-Wellenleiter WGSilica nicht koppeln kann. Zusätzlich wird eine Heizelektrode HE oberhalb des Polymer-Wellenleiters WGPolymer außerhalb der Koppelbereiche CA aufgebracht.A planar embodiment of the wavelength-dependent level adjuster GE according to the invention is spatially shown in FIG. 5 in a longitudinal section. The level adjuster GE is optically integrated and consists of two grid-supported filters GC 1 , GC 2 and a thermo-optically adjustable phase shifter PS connected between them. The technology used is a combination of silica technology with low damping and polymer technology with good, especially thermal, tunability. The grating-supported filter couplers GC 1 , GC 2 consist of a silica waveguide WG silica and a polymer waveguide WG polymer lying parallel to it in the coupling regions CA, which are constructed vertically in the exemplary embodiment shown. Both waveguides WG silica , WG polymer are separated from one another by a silica or polymer separating layer SL and isolated from a substrate S and from the environment by passivation layers PL made of silica or polymer. In the selected exemplary embodiment, polymer grids G 1 , G 2 are written into the polymer waveguide WG, which determine the property of the filter function. The combination of WG Silica and WG Polymer silica and polymer waveguides enables a high refractive index difference to be set, which greatly reduces the overall length of the GE level adjuster. The second component of the level adjuster GE according to the invention is the phase shifter PS. Here, the polymer waveguide WG polymer is arranged in such a way that it cannot couple with the silica waveguide WG silica . In addition, a heating electrode HE is applied above the polymer waveguide WG polymer outside the coupling areas CA.

In der Fig. 6 ist eine kaskadierte Anordnung GEC von mehreren hintereinander geschalteten Pegelangleichern GE1, GE2, . . ., GEm (GEi, i = 1. . .m, im gezeigten Beispiel m = 3) mit unterschiedlichen Filterfunktionen (die Gitter sind in diesem Ausführungsbeispiel in den Silica-Wellenleiter WGSilica eingeschrieben) zur gleichzeitigen Pegelangleichung in unterschiedlichen Wellenlängenbereichen Δλi (i = 1. . .m, im gezeigten Beispiel m = 3) im Längsschnitt in der Frontansicht dargestellt (räumliche Darstellung vergleiche Fig. 5). Diese Struktur ist in Abhängigkeit von der Anzahl der signal- tragenden Wellenlängen im WDM-Netz beliebig erweiterbar. Durch getrennt voneinander einstellbare Phasenschieber PS1, PS2, . . ., PSm (PSi, i = 1. . .m, im gezeigten Beispiel m = 3) können die Wellenlängenbereiche Δλ1, Δλ2, . . ., Δλm unabhängig voneinander gedämpft und damit in ihrer Amplitude angeglichen werden. Jeder Wellenlängenbereich Δλ1, Δλ2, . . ., Δλm muss dabei nur einmal den Polymer-Wellenleiter WGPolymer passieren. Die größte Strecke verbleibt er in dem niedrig dämpfenden Silica-Wellenleiter WGSilica. Dadurch erzeugt auch eine solche kaskadierte Anordnung GEC aus mehreren erfindungsgemäßen Pegelangleichern GEi nur eine geringe zusätzliche Dämpfung in optischen WDM-Netzen.In FIG. 6 is a cascaded arrangement of a plurality of series-connected GEC Pegelangleichern GE 1, GE 2. , ., GE m (GE i , i = 1.. .M, in the example shown m = 3) with different filter functions (the gratings are inscribed in the silica waveguide WG silica in this embodiment) for simultaneous level adjustment in different wavelength ranges Δλ i (i = 1.. .m, m = 3 in the example shown) shown in longitudinal section in the front view (spatial representation see FIG. 5). This structure can be expanded as required depending on the number of signal-carrying wavelengths in the WDM network. By separately adjustable phase shifters PS 1 , PS 2 ,. , ., PS m (PS i , i = 1.. .M, in the example shown m = 3), the wavelength ranges Δλ 1 , Δλ 2 ,. , ., Δλ m are damped independently of one another and thus their amplitude adjusted. Each wavelength range Δλ 1 , Δλ 2 ,. , ., Δλ m only has to pass through the polymer waveguide WG polymer once. For the largest part, it remains in the low-attenuation silica waveguide WG Silica . As a result, such a cascaded arrangement GEC from a plurality of level adjusters GE i according to the invention produces only a small additional attenuation in optical WDM networks.

Die gesamte Struktur des erfindungsgemäßen Pegelangleichers kann mittels der an sich bekannten Silica-Polymer-Hybrid-Integrations-Technik hergestellt werden. Der Silica-Wellenleiter kann durch Kombination von Flammen- Hydrolyse-Deposition (FHD) mit reaktiven Ionenstrahl-Ätzen (RIE) hergestellt werden. Die Gitterhöhe kann beim RIE-Prozess genau kontrolliert werden. Nach der Herstellung des Silica-Wellenleiters wird die Trennschicht aufgebracht. Prinzipiell können Silica- oder Polymer-Materialien dafür eingesetzt werden. Die polymere Trennschicht, der Polymer-Wellenleiter und die Passivierungsschicht können mittels eines Spin-Coating-Verfahrens herge­ stellt werden. Der Wellenleiterkern kann durch RIE geformt werden. Zum Schluss werden noch die Steuerelektroden oberhalb der gitterunterstützten Filterkoppler und der Phasenschieber angeordnet. The entire structure of the level adjuster according to the invention can be by means of the known silica-polymer hybrid integration technology become. The silica waveguide can be combined by flame Hydrolysis deposition (FHD) fabricated using reactive ion beam etching (RIE) become. The grid height can be precisely controlled in the RIE process. After the manufacture of the silica waveguide, the separation layer applied. In principle, silica or polymer materials can be used for this be used. The polymeric interface, the polymer waveguide and the passivation layer can be produced by means of a spin coating process be put. The waveguide core can be shaped by RIE. To the Finally, the control electrodes above the grid-supported Filter coupler and the phase shifter arranged.  

Bezugs- und FormelzeichenlisteReference and formula symbol list

ϕ Phasenverschiebung in PS
Φ Phasenverschiebung in GC
Λ Gitterperiode
Δλi
ϕ phase shift in PS
Φ phase shift in GC
Λ grating period
Δλ i

;Wellenlängenbereich (3 dB-Filterbandbreite)
λci
; Wavelength range (3 dB filter bandwidth)
λ ci

;zentrale Wellenlänge im Wellenlängenbereich Δλi
; central wavelength in the wavelength range Δλ i

CA Koppelbereich
SL Trennschicht
G1
CA coupling area
SL separation layer
G 1

, G2 , G 2

;Gitter
gap Trennschichtdicke
GC1
; grid
gap separation layer thickness
GC 1

, GC2 , GC 2

;gitterunterstützter Filterkoppler
GE Pegelangleicher
GEi
; grid-supported filter coupler
GE level adjuster
GE i

;Pegelangleicher in GEC
GEC kombinierte Komponente zur Pegelangleichung
i Laufindex, i = 1. . .m
HE Heizelektrode
L Gitterlänge
NG
; Level equalizer in GEC
GEC combined component for level adjustment
i running index, i = 1.. .m
HE heating electrode
L grid length
N G

;Anzahl der Gitterelemente
n1
; Number of grid elements
n 1

;Brechungsindex des ersten Wellenleiters
n2
; Refractive index of the first waveguide
n 2

;Brechungsindex des zweiten Wellenleiters
nPolymer
Refractive index of the second waveguide
n polymer

Brechungsindex des Polymer-Wellenleiters
nSilica
Refractive index of the polymer waveguide
n silica

Brechungsindex des Silica-Wellenleiters
P optische Leistung
PL Passivierungsschicht
PS Phasenschieber
PSi
Refractive index of the silica waveguide
P optical power
PL passivation layer
PS phase shifter
PS i

;Phasenschieber in GEC
R Kopplungskoeffizient
S Substrat
WG1
; Phase shifter in GEC
R coupling coefficient
S substrate
WG 1

;erster Wellenleiter
WG2
; first waveguide
WG 2

;zweiter Wellenleiter
WGPolymer
; second waveguide
Flat share polymer

Polymer-Wellenleiter
WGSilica
Polymer waveguide
Flat share silica

Silica-Wellenleiter
Silica waveguide

Claims (11)

1. Einstellbarer optischer Pegelangleicher zur wellenlängenabhängigen An­ gleichung der Leistungspegel in WDM-Netzen mit zwei Kopplern zur optischen Kopplung eines ersten Wellenleiters mit einem im Koppelbereich parallel dazu verlaufenden zweiten Wellenleiter, einem zwischen den Kopplern angeordne­ ten Filterfunktionselement zur Selektion eines Wellenlängenbereichs um eine Zentralwellenlänge und einem zwischen den Kopplern außerhalb ihrer Koppelbereiche angeordneten einstellbaren Phasenschieber, dadurch gekennzeichnet, dass jeder Koppler als gitterunterstützter 3 dB-Filterkoppler (GC1, GC2) zwischen den beiden Wellenleitern (WG1, WG2) mit unterschiedlichen Brechungsindizes (n1, n2) und das Filterfunktionselement in Form von zwei zugeordneten Gittern (G1, G2) ausgebildet ist, die jeweils im Koppelbereich (CA) eines 3 dB-Filterkopplers (GC1, GC2) angeordnet sind, und dass der Phasenschieber (PS) direkt in einen der beiden Wellenleiter (WG1, WG2) integriert ist.1. Adjustable optical level adjuster for wavelength-dependent equalization of the power levels in WDM networks with two couplers for optically coupling a first waveguide with a second waveguide running in the coupling area, a filter function element arranged between the couplers for selecting a wavelength range around a central wavelength and one adjustable phase shifters arranged between the couplers outside their coupling areas, characterized in that each coupler as a grating-supported 3 dB filter coupler (GC 1 , GC 2 ) between the two waveguides (WG 1 , WG 2 ) with different refractive indices (n 1 , n 2 ) and the filter function element is designed in the form of two assigned grids (G 1 , G 2 ), which are each arranged in the coupling area (CA) of a 3 dB filter coupler (GC 1 , GC 2 ), and that the phase shifter (PS) is directly in one of the two waveguides (WG 1 , WG 2 ) is integrated t. 2. Einstellbarer optischer Pegelangleicher nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Wellenleiter als Silica-Wellenleiter (WGSilica) und der zweite Wellen­ leiter als Polymer-Wellenleiter (WGPolymer) ausgebildet und der einstellbare Phasenschieber (PS) in den Polymer-Wellenleiter (WGPolymer) integriert ist.2. Adjustable optical level adjuster according to claim 1, characterized in that the first waveguide as a silica waveguide (WG silica ) and the second waveguide formed as a polymer waveguide (WG polymer ) and the adjustable phase shifter (PS) in the polymer waveguide (WG polymer ) is integrated. 3. Einstellbarer optischer Pegelangleicher nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Polymer-Wellenleiter (WGPolymer) nichtlineare optische Eigenschaften auf­ weist. 3. Adjustable optical level adjuster according to claim 2, characterized in that the polymer waveguide (WG polymer ) has non-linear optical properties. 4. Einstellbarer optischer Pegelangleicher nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die zugeordneten Gitter (G1, G2) eine periodische Brechungsindexvariation aufweisen, die durch geometrische oder optische Maßnahmen definiert ist.4. Adjustable optical level adjuster according to one of claims 1 to 3, characterized in that the associated grating (G 1 , G 2 ) have a periodic refractive index variation, which is defined by geometric or optical measures. 5. Einstellbarer optischer Pegelangleicher nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die zugeordneten Gitter (G1, G2) jeweils direkt in einen der beiden Wellenleiter (WG1, WGSilica; WG2, WGPolymer) eingeschrieben sind.5. Adjustable optical level adjuster according to one of claims 1 to 4, characterized in that the associated grating (G 1 , G 2 ) are each directly written into one of the two waveguides (WG 1 , WG silica ; WG 2 , WG polymer ). 6. Einstellbarer optischer Pegelangleicher nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Wellenleiter (WGSilica, WGPolymer) vertikal zueinander angeordnet sind und zwischen den beiden Wellenleitern (WGSilica, WGPolymer) eine dünne Trennschicht (SL) und oberhalb und unterhalb der beiden Wellenleiter (WGSilica, WGPolymer) je eine Passivierungsschicht (PL) vorgesehen ist.6. Adjustable optical level adjuster according to one of claims 1 to 5, characterized in that the two waveguides (WG silica , WG polymer ) are arranged vertically to one another and between the two waveguides (WG silica , WG polymer ) a thin separation layer (SL) and A passivation layer (PL) is provided above and below the two waveguides (WG silica , WG polymer ). 7. Einstellbarer optischer Pegelangleicher nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Zentralwellenlänge des zu selektierenden Wellenlängenbereichs mittels einer Steuerelektrode zusätzlich einstellbar ist, die auf der Passivierungs­ schicht, insbesondere oberhalb des Polymer-Wellenleiters, angeordnet ist.7. Adjustable optical level adjuster according to claim 6, characterized in that the central wavelength of the wavelength range to be selected by means of a control electrode can also be set on the passivation layer, in particular above the polymer waveguide, is arranged. 8. Einstellbarer optischer Pegelangleicher nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Phasenschieber (PS) über ein Steuerelement einstellbar ist, das auf der Passivierungsschicht (PL), insbesondere oberhalb des Polymer-Wellenleiters (WGPolymer), angeordnet ist. 8. Adjustable optical level adjuster according to one of claims 1 to 7, characterized in that the phase shifter (PS) is adjustable via a control element which is arranged on the passivation layer (PL), in particular above the polymer waveguide (WG polymer ). 9. Einstellbarer optischer Pegelangleicher nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Phasenschieber (PS) thermo-optisch über eine Heizelektrode (HE) als Steuerelement einstellbar ist.9. Adjustable optical level adjuster according to claim 8, characterized in that the phase shifter (PS) thermo-optically via a heating electrode (HE) Control is adjustable. 10. Einstellbarer optischer Pegelangleicher nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Phasenschieber elektro-optisch über eine Steuerelektrode als Steuer­ element einstellbar ist.10. Adjustable optical level adjuster according to claim 8, characterized in that the phase shifter electro-optically via a control electrode as a control element is adjustable. 11. Einstellbarer optischer Pegelangleicher nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass eine hintereinander geschaltete Reihenanordnung (GEC) zusammen mit weiteren Pegelangleichern (GEi, i = 1. . .m) desselben Typs vorgesehen ist, von denen jeder Pegelangleicher (GEi) in einem anderen Wellenlängenbereich (Δλi) um eine andere Zentralwellenlänge (λCi) arbeitet.11. Adjustable optical level adjuster according to one of claims 1 to 10, characterized in that a series arrangement (GEC) connected in series is provided together with further level adjusters (GE i , i = 1.. .M) of the same type, each of which level adjuster ( GE i ) works in a different wavelength range (Δλ i ) around a different central wavelength (λ Ci ).
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