DE10102611B4 - Process for the production of a SiO2 blank - Google Patents

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Abstract

Verfahren für die Herstellung eines SiO2-Rohlings, bei welchem SiO2-Partikel in mehreren, in einer Reihe angeordnete Abscheidebrennern, denen jeweils eine Brennerflamme zugeordnet ist, gebildet und auf einer Ablagerungsfläche eines um seine Längsachse rotierenden Trägers abgeschieden werden, wobei die Reihe der Abscheidebrenner in einem vorgegebenen Bewegungsablauf entlang des sich bildenden Rohlings zwischen Wendepunkten, an denen sich ihre Bewegungsrichtung umkehrt hin- und herbewegt wird, und wobei die Brennerflamme jeweils in einer Projektion auf eine Ebene parallel zu ihrer Hauptausbreitungsrichtung und parallel zur Trägerlängsachse eine Projektionsfläche bildet, deren seitliche Begrenzungslinien mit der Hauptausbreitungsrichtung einen Öffnungswinkel einschließen, dadurch gekennzeichnet, dass jeweils der Öffnungswinkel (α) auf einen Wert zwischen 5° und 10° und der Abstand (D) des Abscheidebrenners (2) von der Ablagerungsfläche (10) im Bereich zwischen 180 mm und 220 mm eingestellt wird.Process for the production of an SiO 2 blank, in which SiO 2 particles are formed in a plurality of deposition burners arranged in a row, each of which is assigned a burner flame, and are deposited on a deposition surface of a carrier rotating about its longitudinal axis, the row of Separation burner in a predetermined movement sequence along the forming blank between turning points at which their direction of movement is reversed, and the burner flame forms a projection surface in a projection onto a plane parallel to its main direction of propagation and parallel to the longitudinal axis of the carrier, the lateral surface of which Boundary lines with the main direction of propagation include an opening angle, characterized in that in each case the opening angle (α) has a value between 5 ° and 10 ° and the distance (D) of the deposition burner (2) from the deposition surface (10) in the range between 180 mm and 220 mm is set.

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Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren für die Herstellung eines SiO2-Rohlings, bei welchem SiO2-Partikel in mehreren, in einer Reihe angeordneter Abscheidebrennern, denen jeweils eine Brennerflamme zugeordnet ist, gebildet und auf einer Ablagerungsfläche eines um seine Längsachse rotierenden Trägers abgeschieden werden, wobei die Reihe der Abscheidebrenner in einem vorgegebenen Bewegungsablauf entlang des sich bildenden Rohlings zwischen Wendepunkten, an denen sich ihre Bewegungsrichtung umkehrt hin- und herbewegt wird, und wobei die Brennerflamme jeweils in einer Projektion auf eine Ebene parallel zu ihrer Hauptausbreitungsrichtung und parallel zur Trägerlängsachse eine Projektionsfläche bildet, deren seitliche Begrenzungslinien mit der Hauptausbreitungsrichtung einen Öffnungswinkel einschließen.The invention relates to a method for producing a SiO 2 blank, in which SiO 2 particles are formed in a plurality of deposition burners arranged in a row, each of which is assigned a burner flame, and are deposited on a deposition surface of a carrier rotating about its longitudinal axis. the row of deposition burners in a predetermined movement sequence along the blank being formed between turning points at which their direction of movement is reversed, and wherein the burner flame is projected onto a plane parallel to its main direction of propagation and parallel to the longitudinal axis of the carrier forms, whose lateral boundary lines include an opening angle with the main direction of propagation.

Verfahren für die Herstellung von Vorformen für optische Fasern nach dem Außenabscheideverfahren (OVD-Verfahren; Outside vapour deposition) sind allgemein bekannt. Bei diesem Verfahren werden unter Einsatz eines oder mehrerer Flammhydrolysebrenner SiO2-Partikel auf einem Träger abgeschieden, so dass sich . ein Rohling aus porösem Quarzglas (im folgenden auch als „Sootkörper" bezeichnet) bildet. Um den Brechungsindex von Quarzglas zu verändern, werden Dotierstoffe, wie Germanium, Phosphor, Bor, Titan, Aluminium, Tantal oder Fluor in das Quarzglas eingebracht.Processes for the production of preforms for optical fibers by the outer deposition process (OVD process; outside vapor deposition) are generally known. In this method, SiO 2 particles are deposited on a carrier using one or more flame hydrolysis burners, so that. forms a blank made of porous quartz glass (hereinafter also referred to as “soot body”). In order to change the refractive index of quartz glass, dopants such as germanium, phosphorus, boron, titanium, aluminum, tantalum or fluorine are introduced into the quartz glass.

Ein OVD-Verfahren der eingangs genannten Gattung ist aus der EP-A 476 218 bekannt. Darin wird die Herstellung eines länglichen, porösen Rohlings aus SiO2-Partikeln beschrieben, wobei SiO2-Partikel in den Brennerflammen von Flammhydrolyse-Brennern gebildet und auf einem waagerecht orientierten, um seine Längsachse rotierenden Träger schichtweise abgeschieden werden. Die Abscheidebrenner sind mit äquidistanten Abstand von 10 cm zueinander auf einem parallel zur Längsachse des Trägers verlaufenden Brennerblock montiert. Der Brennerblock wird entlang des sich bildenden porösen, zylinderförmigen Rohlings zwischen einem linken und einem rechten Wendepunkt mittels einer regelbaren Verschiebeeinrichtung hin- und herbewegt. Die Amplitude dieser Translationsbewegung des Brennerblocks ist kleiner als die Länge der Vorform. Es hat sich gezeigt, dass nach dem Verglasen des Rohlings im Bereich der Wendepunkte Inhomogenitäten – überwiegend in Form von Blasen – auftreten können. Diese werden einer lokalen Überhitzung der Rohlingoberfläche durch das Abbremsen der Translationsbewegung des Brennerblocks bei der Umkehr der Bewegungsrichtung im Bereich der Wendepunkte zugeschrieben, die zu lokalen, axialen Dichteschwankungen führen kann. Dadurch würden Bereiche unterschiedlicher Reaktivität erzeugt, die sich insbesondere bei nachfolgenden chemischen Reaktionen bei der Weiterverarbeitung des Rohlings bemerkbar machen und Inhomogenitäten im daraus hergestellten Quarzglaskörper hinterlassen könnten. Um dies zu vermeiden, wird vorgeschlagen, bei jedem Brennerdurchgang sowohl die rechten, als auch die linken Wendepunkte um einige Millimeter zu verlagern. Dadurch werden die an den Wendepunkten entstehenden lokalen Dichteschwankungen gleichmäßig im Rohling verteilt.An OVD method of the aforementioned type is known from EP-A 476 218. This describes the production of an elongated, porous blank from SiO 2 particles, SiO 2 particles being formed in the burner flames by flame hydrolysis burners and being deposited in layers on a horizontally oriented support rotating about its longitudinal axis. The separation burners are mounted at an equidistant distance of 10 cm from each other on a burner block running parallel to the longitudinal axis of the carrier. The burner block is moved back and forth along the forming porous, cylindrical blank between a left and a right turning point by means of an adjustable displacement device. The amplitude of this translational movement of the burner block is less than the length of the preform. It has been shown that after the blank has been vitrified, inhomogeneities - predominantly in the form of bubbles - can occur in the area of the turning points. These are attributed to local overheating of the blank surface due to the braking of the translational movement of the burner block upon reversal of the direction of movement in the area of the turning points, which can lead to local, axial density fluctuations. This would create areas of different reactivity, which would be particularly noticeable in subsequent chemical reactions during further processing of the blank and which could leave inhomogeneities in the quartz glass body produced therefrom. In order to avoid this, it is proposed to shift both the right and the left turning points by a few millimeters for each burner pass. As a result, the local density fluctuations occurring at the turning points are evenly distributed in the blank.

Alternativ dazu wird in der DE-A 196 28 958 vorgeschlagen, eine Überhitzung des Rohlings in den Bereichen um die Wendepunkte zu verhindern, indem bei der Brennerbewegung die Umfangsgeschwindigkeit des Rohlings im Bereich der Wendepunkte erhöht, die Flammentemperatur der Brennerflamme gesenkt, oder der Abstand der Abscheidebrenner von der Rohlingoberfläche vergrößert wird. Mittels dieser Maßnahmen kann eine Temperaturerhöhung der Rohlingoberfläche im Bereich der Wendepunkte ganz oder teilweise kompensiert werden, so dass der Rohling über seine gesamte Länge mit einer zeitlich und räumlich möglichst gleich hohen Heizleistung beaufschlagt wird, so dass axiale Dichteschwankungen vermieden oder vermindert werden.Alternatively, in the DE-A 196 28 958 proposed to prevent overheating of the blank in the areas around the turning points by increasing the peripheral speed of the blank in the area of the turning points during the burner movement, lowering the flame temperature of the burner flame, or increasing the distance of the deposition burner from the blank surface. By means of these measures, an increase in temperature of the blank surface in the area of the turning points can be fully or partially compensated, so that the blank is subjected to a heating power which is as high in terms of time and space as possible over its entire length, so that axial density fluctuations are avoided or reduced.

Die Brennerflammen sind bei den bekannten Verfahren mit bloßem Auge als im wesentlichen kegelförmige, leuchtende Bereiche sichtbar. In einer Projektion auf eine Ebene parallel zu ihrer Hauptausbreitungsrichtung und parallel zur Trägerlängsachse weist die Brennerflamme jeweils eine Projektionsfläche auf, deren seitliche Begrenzungslinien mit der Hauptausbreitungsrichtung einen bestimmten Öffnungswinkel einschließen.The burner flames are in the known processes with bare Eye as a substantially conical, glowing areas visible. In a projection on one level points parallel to their main direction of propagation and parallel to the longitudinal axis of the beam the burner flame each have a projection surface, the lateral boundary lines with the main direction of propagation a certain opening angle lock in.

Die axiale Verteilung der Wendepunkte gemäß der EP-A 476 218 erfordert einen hohen apparativen und regelungstechnischen Aufwand. Die in der DE-A 196 28 958 zur Vermeidung lokaler Überhitzungen im Bereich der Wendepunkte vorgeschlagenen Maßnahmen verlangen eine zeitliche Veränderung von Gasflüssen, Abständen oder Relativgeschwindigkeiten im Bereich der Wendepunkte, wobei diese Maßnahmen mit einer unerwünschten Änderung der Abscheiderate einhergehen können.The axial distribution of the turning points according to EP-A 476 218 requires a high level of equipment and control engineering. The in the DE-A 196 28 958 Measures proposed to avoid local overheating in the area of the turning points require a temporal change in gas flows, distances or relative speeds in the area of the turning points, which measures can be accompanied by an undesirable change in the deposition rate.

Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein einfaches Verfahren für die Herstellung eines porösen Rohlings anzugeben, aus dem ein homogener Quarzglaskörper erhalten wird.The present invention lies hence the task of creating a simple method of manufacture a porous Specify the blank from which a homogeneous quartz glass body is obtained becomes.

Diese Aufgabe wird ausgehend von dem gattungsgemäßen Verfahren erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass der Öffnungswinkel der Brennerflamme jeweils auf einen Wert zwischen 5° und 10° und der Abstand des Abscheidebrenners von der Ablagerungsfläche im Bereich zwischen 180 mm und 220 mm eingestellt wird.This task is based on the generic method solved according to the invention in that the opening angle the burner flame to a value between 5 ° and 10 ° and the distance of the deposition burner from the deposition area in the range between 180 mm and 220 mm is set.

Die Brennerflamme ist als im wesentlichen kegelförmiger, leuchtender Bereich mit bloßem Auge sichtbar. Der „Öffnungswinkel" des sichtbaren Kegelbereichs wird aus der Projektion der Brennerflamme auf eine Ebene parallel zur Hauptausbreitungsrichtung und parallel zur Trägerlängsachse ermittelt. Der Öffnungswinkel ist dabei der Winkel zwischen der seitlichen Begrenzungslinie der Brennerflamme und deren Hauptausbreitungsrichtung, wobei die „seitliche Begrenzungslinie" der Brennerflamme in der Projektion als Tangente an den Kegelbereich im Bereich des Austritts der Brennerflamme aus dem Brennermund definiert wird.The burner flame is essentially conical, luminous area with bare Eye visible. The "opening angle" of the visible cone area becomes parallel from the projection of the burner flame onto one plane to the main direction of propagation and parallel to the longitudinal axis of the beam determined. The opening angle is the angle between the side boundary of the Burner flame and its main direction of propagation, the “lateral Boundary line "of the Burner flame in the projection as tangent to the cone area in the area where the burner flame emerges from the burner mouth becomes.

Der Abscheidebrenner weist im allgemeinen mehrere Düsen für die Zufuhr von Glasausgangsstoffen, Sauerstoff und Brennstoff auf. Der Öffnungswinkel der Brennerflamme ist im wesentlichen abhängig vom Massenstrom und der Temperatur der in die Brennerflamme eingeleiteten Medien (üblicherweise Gasen) und den Öffnungsquerschnitten der Düsen des Abscheidebrenners. Dementsprechend lässt sich der gewünschte Öffnungswinkel durch Änderung dieser Parameter einstellen. Eine Änderung der Temperatur der Medien ist häufig unerwünscht, so dass der Öffnungswinkel vorteilhaft über eine Anpassung des Massenstroms (vorzugsweise des Stroms des mengenmäßig wichtigsten Glasausgangsmaterials) oder über eine Einstellung der Düsenquerschnitte erfolgt.The deposition burner generally has several Feeding nozzles of glass raw materials, oxygen and fuel. The opening angle the burner flame is essentially dependent on the mass flow and the Temperature of the media introduced into the burner flame (usually gases) and the opening cross sections of the nozzles of the Deposition burner. The desired opening angle can be adjusted accordingly by changing this Set parameters. A change the temperature of the media is common undesirable, so the opening angle advantageous over an adjustment of the mass flow (preferably the flow of the most important quantity Glass raw material) or via an adjustment of the nozzle cross sections he follows.

Bei einem Abscheidebrenner mit bündig am Brennermund abschließenden Düsen ergibt sich der Abstand zwischen Abscheidebrenner und Ablagerungsfläche als kürzeste Strecke zwischen Brennermund und der Oberfläche des sich bildenden Rohlings. Andernfalls wird dieser Abstand definiert als die kürzeste Strecke zwischen der Düsenöffnung derjenigen Düse, durch welche das mengenmäßig wichtigste Glasausgangsmaterial geleitet wird. Dabei handelt es sich in der Regel um die zentrale Düse (Mitteldüse).With a separating burner flush with the burner mouth final Results in nozzles the distance between the burner and the deposit surface as shortest Distance between the burner mouth and the surface of the blank being formed. Otherwise this distance is defined as the shortest distance between the nozzle opening of those Nozzle, through which is the most important in terms of quantity Glass raw material is passed. It is in the Rule around the central nozzle (middle nozzle).

Es wurde gefunden, dass Inhomogenitäten im Quarzglas weniger durch Dichteschwankungen im „Sootkörper" im Bereich der Wendepunkte der Brennerbewegung hervorgerufen werden – wie bisher angenommen -, sondern in erster Linie durch lokal ungleichmäßige Ablagerungen von SiO2-Partikeln auf der Ablagerungsfläche (im folgenden auch als Schwankungen im „Masseauftrag" bezeichnet). Weiterhin wurde gefunden, dass ein zeitlich und lokal gleichmäßiger Masseauftrag von physikalischen und chemischen Eigenschaften der in der Brennerflamme gebildeten SiO2-Partikel (wie Größe und Dichte) und von deren geometrischer Verteilung in der Brennerflamme abhängt, und dass sich diese Eigenschaften und die Partikelverteilung je nach Art der Flamme selbst und in Abhängigkeit von der Verweildauer in der Brennerflamme ändern. Es hat sich gezeigt, dass die Partikelverteilung in der Brennerflamme und die Eigenschaften der SiO2-Partikel im Zeitpunkt der Auftreffens auf die Ablagerungsfläche bei einem Öffnungswinkel der Brennerflamme zwischen 5° und 10° und bei einem Abstand zwischen Abscheidebrenner und Ablagerungsfläche zwischen 180 mm und 220 mm derart sind, dass ein gleichförmiger Masseauftrag erleichtert wird.It was found that inhomogeneities in the quartz glass are less caused by density fluctuations in the soot body in the area of the turning points of the burner movement - as previously assumed - but primarily by locally non-uniform deposits of SiO 2 particles on the deposition surface (in the following also as Fluctuations in "bulk order"). It was also found that a uniform application of mass over time and locally depends on the physical and chemical properties of the SiO 2 particles formed in the burner flame (such as size and density) and on their geometric distribution in the burner flame, and that these properties and the particle distribution depend on each other change according to the type of flame itself and depending on the length of time in the burner flame. It has been shown that the particle distribution in the burner flame and the properties of the SiO 2 particles at the time of impact with the deposition surface with an opening angle of the burner flame between 5 ° and 10 ° and with a distance between the deposition burner and the deposition surface between 180 mm and 220 mm are such that a uniform application of mass is facilitated.

Bei einer Einstellung des Öffnungswinkels der Brennerflamme und bei gleichzeitiger Einhaltung des angegeben Abstands zwischen Abscheidebrenner und Ablagerungsfläche wird ein gleichmäßiger Masseauftrag auf der Ablagerungsfläche erleichtert, so dass aus dem so hergestellten Rohling durch Verglasen ein Quarzglaskörper erhalten wird, der sich durch hohe Homogenität auszeichnet. Zusätzliche Vorkehrungen zur Vermeidung einer Überhitzung im Bereich der Wendepunkte der Brennerbewegung – wie bei den eingangs erläuterten Verfahren vorgeschlagen – sind nicht erforderlich.When setting the opening angle of the Burner flame and while maintaining the specified distance There is an even application of mass between the deposition burner and the deposit surface relieved on the deposit surface, so that a quartz glass body is obtained from the blank thus produced by glazing which is characterized by high homogeneity. Additional precautions to avoid overheating in the area of the turning points of the burner movement - as in the case of the above Procedures are proposed - are not mandatory.

Bei den genannten Einstellungen von Öffnungswinkel und Abstand bildet die Brennerflamme mit der Ablagerungsfläche eine Schnittfläche, deren Größe im Bereich zwischen 8 cm2 bis 20 cm2, vorzugsweise im Bereich zwischen 10 cm2 bis 17 cm2 liegt. Es hat sich gezeigt, dass auch diese Schnittfläche als Maß für diejenigen Partikeleigenschaften und deren örtliche Verteilung herangezogen werden kann, bei denen ein gleichförmiger Masseauftrag erleichtert wird.With the aforementioned settings of the opening angle and distance, the burner flame forms a cut surface with the deposition surface, the size of which lies in the range between 8 cm 2 to 20 cm 2 , preferably in the range between 10 cm 2 to 17 cm 2 . It has been shown that this cut surface can also be used as a measure of those particle properties and their local distribution in which a uniform application of mass is facilitated.

Neben der geometrischen Form der Brennerflamme und der Verweildauer der SiO2-Partikel in der Flamme wirkt sich auch die Temperatur auf die für den Masseauftrag maßgeblichen Eigenschaften der SiO2-Partikel aus. Es hat sich auch als günstig erwiesen, die Temperatur der Brennerflamme im Bereich der Ablagerungsfläche auf einen Wert zwischen 1100°C und 1300°C einzustellen. Bei konstantem Abstand zwischen Abscheidebrenner und Ablagerungsfläche kann die Flammentemperatur durch Ändern der Ströme von Brennstoff, Sauerstoff, Glasausgangsstoffen oder von Inertgasströmen entsprechend eingestellt werden.In addition to the geometric shape of the burner flame and the residence time of the SiO 2 particles in the flame, the temperature also has an effect on the properties of the SiO 2 particles that are relevant for the mass application. It has also proven to be advantageous to set the temperature of the burner flame in the region of the deposition area to a value between 1100 ° C. and 1300 ° C. If the distance between the deposition burner and the deposit surface is constant, the flame temperature can be adjusted accordingly by changing the flows of fuel, oxygen, glass raw materials or of inert gas flows.

Es hat sich weiterhin als vorteilhaft erwiesen, dass die Brennerflamme jeweils einen durch den Schnittpunkt der Hauptausbreitungsrichtung mit der Ablagerungsfläche definierten Auftreffpunkt auf der Ablagerungsfläche aufweist, und dass die Auftreffpunkte benachbarter Brennerflammen voneinander – in Richtung der Trägerlängsachse gesehen – einen äquidistanten Flammenabstand voneinander haben, mit der Maßgabe, dass die Standardabweichung aller Flammenabstände weniger als 5% beträgt. Durch exakte Positionierung und Ausrichtung der Abscheidebrenner wird im Idealfall ein exakt „äquidistanter" Flammenabstand erhalten. In der Praxis ist eine Abweichung von einem Mittelwert der Abstände benachbarter Auftreffpunkte von 5% tolerierbar, um noch eine ausreichende Gleichmäßigkeit des Masseauftrags zu gewährleisten.It has also proven to be beneficial proved that the burner flame passed one through the intersection the main direction of propagation with the deposition area Point of impact on the deposit surface, and that the Impact points of neighboring burner flames from each other - in the direction the longitudinal axis of the beam seen - an equidistant Have flame spacing from each other, with the proviso that the standard deviation all flame distances is less than 5%. Through exact positioning and alignment of the separating burner ideally an exactly "equidistant" flame spacing is obtained. In practice, a deviation from an average of the distances is more adjacent Impact points of 5% can be tolerated to ensure sufficient uniformity to ensure the bulk order.

Bei einer bevorzugten Verfahrensweise umfasst der Bewegungsablauf eine Translationsgeschwindigkeit, mit der die Abscheidebrenner zwischen den Wendepunkten hin- und herbewegt werden und eine Beschleunigungsdauer, während der die Abscheidebrenner von einem Wendepunkt kommend auf die Translationsgeschwindigkeit beschleunigt, und einen Wendepunkt anfahrend von der Translationsgeschwindigkeit abgebremst werden, derart, dass die Translationsgeschwindigkeit auf einen Wert im Bereich zwischen 350 mm/min und 550 mm/min und die Beschleunigungsdauer auf einen Wert im Bereich zwischen 70 ms und 700 ms eingestellt wird. Sowohl die Dauer der positiven Beschleunigung, bei der die Abscheidebrenner von einem Wendepunkt kommend auf die Translationsgeschwindigkeit beschleunigt werden, als auch die Dauer der negativen Beschleunigung, während der die Abscheidebrenner einen Wendepunkt anfahrend von der Translationsgeschwindigkeit abgebremst werden, wird auf einen Wert im Bereich zwischen 70 ms und 700 ms eingestellt. Es hat sich gezeigt, dass diese Maßnahme in Verbindung mit einer Translationsgeschwindigkeit zwischen 350 mm/min und 550 mm/min die Einhaltung eine gleichförmigen Masseauftrags und einer geringen Welligkeit der Rohlingoberfläche erleichtert.In a preferred procedure, the movement sequence comprises a translation speed with which the separating burner between between the turning points and an acceleration period during which the deposition burner accelerates from a turning point to the translation speed and a turning point approaching the translation speed are decelerated such that the translation speed is in the range between 350 mm / min and 550 mm / min and the acceleration time is set to a value in the range between 70 ms and 700 ms. Both the duration of the positive acceleration, at which the deposition burners are accelerated from a turning point to the translation speed, and the duration of the negative acceleration, during which the deposition burners are decelerated from the translation speed to a turning point, are set to a value in the range between 70 ms and 700 ms set. It has been shown that this measure, in conjunction with a translation speed between 350 mm / min and 550 mm / min, makes it easier to maintain a uniform application of mass and a slight undulation of the blank surface.

Vorzugsweise wird die Translationsgeschwindigkeit auf einen Wert im Bereich zwischen 400 mm/min und 500 mm/min und die Beschleunigungsdauer auf einen Wert im Bereich zwischen 100 ms und 500 ms eingestellt.Preferably the translation speed to a value in the range between 400 mm / min and 500 mm / min and the acceleration duration to a value in the range between 100 ms and set to 500 ms.

Besonders bewährt hat sich eine Verfahrensweise, bei der die Abscheidebrenner mit exponentieller Zeitabhängigkeit beschleunigt und abgebremst werden. Durch die exponentielle Zeitabhängigkeit der Beschleunigung (positive und negative Beschleunigung) wird bei einem Exponenten größer als 1 eine kurze Beschleunigungsdauer und dementsprechend kurze Wegstrecken erhalten, was die Einstellung einer gleichförmigen Partikelverteilung und eine geringe Welligkeit der Rohlingoberfläche erleichtert. Außerdem hat es sich gezeigt, dass durch diese Maßnahme die einen gleichmäßigen Masseauftrag beeinträchtigende Totzeit der Brennerbewegung am Wendepunkt besonders klein gehalten werden kann.A procedure that has proven particularly useful is where the deposition burner with exponential time dependency be accelerated and braked. Due to the exponential time dependence of the Acceleration (positive and negative acceleration) occurs at one Exponents greater than 1 a short acceleration time and accordingly short distances get what the setting of a uniform particle distribution and a slight waviness of the blank surface facilitates. Also has it has been shown that this measure ensures that the mass is applied evenly impairing Dead time of the burner movement at the turning point was kept particularly small can be.

Weiterhin hat es sich als vorteilhaft erwiesen, dass der Abstand zwischen den Wendepunkten als ein gerades Vielfaches des Abstands zwischen benachbarten Brennerflammen eingestellt wird. Dadurch wird die Einstellung einer geringen Welligkeit und einer gleichförmigen Partikelverteilung erleichtert, wogegen sich in dieser Hinsicht ein ungerades Vielfaches des betreffenden Abstands überraschenderweise als eher nachteilig erwiesen hat.Furthermore, it has proven to be advantageous proved that the distance between the turning points as a straight line Multiple of the distance between adjacent burner flames set becomes. This will set a low ripple and a uniform Particle distribution eases, but in this regard an odd multiple of the distance in question, surprisingly has proven to be rather disadvantageous.

Es wird eine Verfahrensweise bevorzugt, bei welcher den Abscheidebrennern in einem zentralen Bereich eine erste, Silizium enthaltende Ausgangskomponente, in einem äußeren Bereich ein Wasserstoffstrom und ein Sauerstoffstrom, und zwischen dem zentralen Bereich und dem äußeren Bereich ein Trenngasstrom zugeführt werden, wobei das Volumenverhältnis von Wasserstoffstrom und Sauerstoffstrom auf einen Wert im Bereich von 0,2 bis 0,4 eingestellt wird. Um einen möglichst gleichmäßigen Masseauftrag auf der Ablagerungsfläche zu erhalten, werden vorteilhafterweise solche Abscheidebrenner eingesetzt, denen jeweils in einem zentralen Bereich eine erste, Silizium enthaltende Ausgangskomponente, in einem äußeren Bereich ein Wasserstoffstrom und ein Sauerstoffstrom, und zwischen dem zentralen Bereich und dem äußeren Bereich ein Trenngasstrom zugeführt werden. Derartige Abscheidebrenner sind an sich aus der DE-A1 195 27 451 bekannt. Der Erfindung liegt die zusätzliche Erkenntnis zugrunde, dass derartige Abscheidebrenner auch für einen Einsatz besonders geeignet sind, bei dem es auf eine homogene Masseverteilung auf der Ablagerungsfläche eines Rohlings ankommt, wobei das Volumenverhältnis von Wasserstoffstrom und Sauerstoffstrom auf einen Wert im Bereich von 0,2 bis 0,4 eingestellt wird.A method is preferred in which the deposition burners are supplied with a first silicon-containing starting component in a central region, a hydrogen stream and an oxygen stream in an outer region, and a separation gas stream between the central region and the outer region, the volume ratio of hydrogen stream and oxygen flow is set in the range of 0.2 to 0.4. In order to obtain the most uniform possible mass application on the deposition surface, such deposition burners are advantageously used, each of which has a first, silicon-containing starting component in a central area, a hydrogen flow and an oxygen flow in an outer area, and between the central area and the outer area Separating gas stream are supplied. Such deposition burners are inherently from the DE-A1 195 27 451 known. The invention is based on the additional finding that such deposition burners are also particularly suitable for use in which a homogeneous mass distribution on the deposition surface of a blank is important, the volume ratio of hydrogen flow and oxygen flow being in the range from 0.2 to 0.4 is set.

Die jeweils dem zentralen Bereich des Abscheidebrenners zuzuführende Ausgangskomponente kann auch Dotierstoff bildende Substanzen enthalten, wie etwa eine hydrolysierbare Germaniumverbindung zur Bildung von GeO2. Dadurch, dass der zentrale Bereich des Abscheidebrenners von einem Trenngasstrom umgeben ist, wird eine gewisse Abschirmung der Ausgangskomponente von den Brenngasen gewährleistet.The starting component to be fed to the central region of the deposition burner can also contain dopant-forming substances, such as a hydrolyzable germanium compound for the formation of GeO 2 . The fact that the central area of the separating burner is surrounded by a separating gas stream ensures that the starting component is shielded from the fuel gases to a certain extent.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird nachfolgend näher erläutert. In der Zeichnung zeigen in schematischer Darstellung im einzelnen:An embodiment of the invention is shown in the drawing and is explained in more detail below. In The drawing shows in a schematic representation in detail:

1: eine Ausführungsform einer Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens in einer Seitenansicht, 1 1 shows an embodiment of a device for carrying out the method according to the invention in a side view,

2: einen Ausschnitt aus 1 in vergrößerter Darstellung, 2 : an excerpt from 1 in an enlarged view,

3: ein Diagramm mit einem Geschwindigkeitsprofil der Brennerbewegung als Funktion der Position eines Abscheidebrenners im Bereich zwischen zwei Wendepunkten A und B, und 3 : a diagram with a speed profile of the burner movement as a function of the position of a separating burner in the area between two turning points A and B, and

4: einen zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens geeigneten Abscheidebrenner in einem Längsschnitt. 4 : a deposition burner suitable for carrying out the method according to the invention in a longitudinal section.

Bei der in 1 dargestellten Vorrichtung ist ein Trägerrohr 1 aus Aluminiumoxid vorgesehen, entlang dem eine Vielzahl in einer Reihe angeordneter Flammhydrolyse-Brenner 2 angeordnet sind. Die Flammhydrolyse-Brenner 2 sind auf einem gemeinsamen Brennerblock 3 montiert, der parallel zur Längsachse 4 des Trägerrohrs 1 hin- und herbewegbar und senkrecht dazu verschiebbar ist, wie dies die Richtungspfeile 5 und 6 andeuten. Die Brenner 2 bestehen aus Quarzglas; ihr Abstand zueinander beträgt 10 cm.At the in 1 The device shown is a carrier tube 1 made of aluminum oxide, along which a plurality of flame hydrolysis burners arranged in a row 2 are arranged. The flame hydrolysis burner 2 are on a common burner block 3 mounted parallel to the longitudinal axis 4 of the support tube 1 can be moved back and forth and moved perpendicular to it, as is the case with the directional arrows 5 and 6 suggest. The burners 2 consist of quartz glass; their distance from each other is 10 cm.

Für die Regelung der Bewegung des Brennerblocks 3 ist eine Regeleinrichtung 7 vorgesehen, die mit dem Antrieb 8 für den Brennerblock 3 verbunden ist.For regulating the movement of the burner block 3 is a control device 7 intended, the one with the drive 8th for the burner block 3 connected is.

Mittels der Brenner 2 werden auf dem um seine Längsachse 4 rotierenden Trägerrohr 1 SiO2-Partikel abgeschieden, so dass schichtweise der Rohling 9 aufgebaut wird. Hierzu wird der Brennerblock 3 entlang der Längsachse 4 des Trägerrohrs 1 zwischen zwei, in Bezug auf die Längsachse 4 ortsfesten Wendepunkten hin- und herbewegt. Die Amplitude der Hin- und Herbewegung beträgt 20 cm und entspricht damit dem doppelten axialen Abstand der Brenner 2, der mittels des Richtungspfeils 5 charakterisiert ist.By means of the burner 2 are on the around its longitudinal axis 4 rotating carrier tube 1 SiO 2 particles deposited, so that the blank in layers 9 is built up. For this the burner block 3 along the longitudinal axis 4 of the support tube 1 between two, in relation to the longitudinal axis 4 fixed turning points moved back and forth. The amplitude of the back and forth movement is 20 cm and thus corresponds to twice the axial distance between the burners 2 by means of the directional arrow 5 is characterized.

Den Brennern 2 werden jeweils als Brennergase Sauerstoff und Wasserstoff und als Ausgangsmaterial für die Bildung der SiO2-Partikel gasförmiges SiCl4 zugeführt. Das Volumenverhältnis von Wasserstoff und Sauerstoff beträgt 0,3. Im Fall einer Dotierung wird den Brennern 2 zusätzlich eine Ausgangssubstanz zur Bildung des Dotierstoffs, wie GeCl4 zur Bildung von GeO2, zugeführt.The burners 2 oxygen and hydrogen are supplied as burner gases and gaseous SiCl 4 is used as the starting material for the formation of the SiO 2 particles. The volume ratio of hydrogen and oxygen is 0.3. In case of doping, the burners 2 additionally a starting substance for the formation of the dopant, such as GeCl 4 for the formation of GeO 2 , is supplied.

Die Temperatur der Rohlingoberfläche 10 wird kontinuierlich gemessen. Hierzu ist eine Thermokamera 11 auf die Rohlingoberfläche 10 im Auftreffpunkt der Brennerflamme 12 gerichtet. Die Thermokamera 11 ist ebenfalls mit dem Brennerblock 3 verbunden und wird mit diesem hin- und herbewegt. Während des Abscheideprozesses stellt sich auf der Rohlingoberfläche 10 eine Temperatur von etwa 1200°C ein.The temperature of the blank surface 10 is measured continuously. For this is a thermal camera 11 on the blank surface 10 at the point of impact of the burner flame 12 directed. The thermal camera 11 is also with the burner block 3 connected and is moved back and forth with it. During the deposition process, it appears on the blank surface 10 a temperature of about 1200 ° C.

Im Verlauf des Abscheideprozesses wird der Abstand zwischen dem Brennerblock 3 und der Rohlingoberfläche 11 konstant gehalten, indem der Brennerblock 3 in Richtung des Richtungspfeils 6 entsprechend verschoben wird.In the course of the deposition process, the distance between the burner block 3 and the blank surface 11 kept constant by the burner block 3 in the direction of the arrow 6 is moved accordingly.

Die Brennerflammen 12 der Abscheidebrenner 2 weisen jeweils einen mit bloßem Auge sichtbaren Flammenkegel auf. Die Hauptausbreitungsrichtung 13 jeder Brennerflamme 12 verläuft senkrecht zur Trägerlängsachse 4.The burner flames 12 the separation burner 2 each have a cone of flame visible to the naked eye. The main direction of propagation 13 every burner flame 12 runs perpendicular to the longitudinal axis of the beam 4 ,

Anhand der Vergrößerung des Ausschnitts „A" von 1 wird nachfolgend die Brennerflamme 12 und ihr Abstand zur Rohlingoberfläche 10 näher erläutert.Based on the enlargement of section "A" from 1 subsequently becomes the burner flame 12 and their distance from the blank surface 10 explained in more detail.

In 2 ist eine Projektion des sichtbaren Flammenkegels der Brennerflamme 12 auf eine Ebene parallel zur Hauptausbreitungsrichtung 13 und parallel zur Trägerlängsachse 4 (siehe 1) schematisch dargestellt. Die Projektion zeigt eine zur Hauptausbreitungsrichtung 13 axialsymmetrische Brennerflamme 12. Der sichtbare Flammenkegel ist in dieser Darstellung deutlich von seitlichen Begrenzungslinien 14 umschlossen. Bei einer fotografischen Darstellung des Flammenkegels zeigen sich die Begrenzungslinien 14 hingegen verschwommen, sie sind aber dennoch leicht bestimmbar. Der Öffnungswinkel α der Brennerflamme 12 wird ermittelt, indem an eine der beiden Begrenzungslinien 14 eine Tangente 15 angelegt wird, und zwar im Bereich des Brennermundes 16. Der Öffnungswinkel α ist dann der von der Tangente 15 und der Hauptausbreitungsrichtung 13 eingeschlossene Winkel. Im Ausführungsbeispiel ist α = 9°.In 2 is a projection of the visible flame cone of the burner flame 12 on a plane parallel to the main direction of propagation 13 and parallel to the longitudinal axis of the beam 4 (please refer 1 ) is shown schematically. The projection shows one to the main direction of propagation 13 axially symmetrical burner flame 12 , In this illustration, the visible flame cone is clearly from lateral boundary lines 14 enclosed. The boundary lines are shown in a photographic representation of the flame cone 14 on the other hand, they are blurry, but they are still easy to determine. The opening angle α of the burner flame 12 is determined by one of the two boundary lines 14 a tangent 15 is created, in the area of the burner mouth 16 , The opening angle α is then that of the tangent 15 and the main direction of propagation 13 included angles. In the exemplary embodiment, α = 9 °.

Der Auftreffpunkt 17 der Brennerflamme 12 auf der Rohlingoberfläche 10 ist durch den Schnittpunkt der Hauptausbreitungsrichtung 13 mit der Rohlingoberfläche 10 definiert. Die Brennerflamme 12 schneidet die Rohlingoberfläche 10 in einem Bereich, der eine Fläche von etwa 15 cm2 aufweist.The point of impact 17 the burner flame 12 on the blank surface 10 is through the intersection of the main direction of propagation 13 with the blank surface 10 Are defined. The burner flame 12 cuts the blank surface 10 in an area that has an area of about 15 cm 2 .

Der eingesetzte Abscheidebrenner 2 wird weiter unten anhand 4 näher erläutert. Er weist mehrere Düsen für die Zufuhr von Glasausgangsmaterialien, Sauerstoff und Brennstoff auf, die im Bereich des Brennermundes 16 bündig enden. Der Abstand „D" zwischen dem Brennermund 16 und der Rohlingoberfläche ist auf 200 mm eingestellt und wird während des Abscheideprozesses auf diesem Wert gehalten.The deposition burner used 2 is based on below 4 explained in more detail. It has several nozzles for the supply of glass raw materials, oxygen and fuel, which are in the area of the burner mouth 16 end flush. The distance "D" between the burner mouth 16 and the blank surface is set to 200 mm and is kept at this value during the deposition process.

Im Diagramm gemäß 3 ist ein Geschwindigkeitsprofil 30 dargestellt, anhand dem der Brennerblock 3 zwischen den Wendepunkten A und B hin- und hergefahren wird. Das Diagramms zeigt die Geschwindigkeit „v" der Translationsbewegung in mm/s als Funktion des Ortes „r" zwischen den Wendepunkten A und B. Der Abstand zwischen A und B beträgt 20 cm.In the diagram according to 3 is a speed profile 30 shown on the basis of the burner block 3 back and forth between the turning points A and B. The diagram shows the speed "v" of the translation movement in mm / s as a function of the location "r" between the turning points A and B. The distance between A and B is 20 cm.

Daraus ist ersichtlich, dass der Abscheidebrenner zwischen den Wendepunkten A und B im wesentlichen mit einer konstanten Geschwindigkeit von etwa 7 mm/sec (420 mm/min) hin- und herbewegt wird (Kurvenabschnitt 31). Im Bereich der Wendepunkte A, B wird die Translationsgeschwindigkeit mit exponentieller Zeitabhängigkeit auf Null verringert bzw. von Null auf die konstante Geschwindigkeit von etwa 7 mm/sec beschleunigt (Kurvenabschnitte 32). Aufgrund der exponentiellen Zeitabhängigkeit (Exponent größer als 1), wird eine kurze Abbrems- und Beschleunigungsdauer erreicht, wobei beiderseits der Wendepunkte A, B der Übergang zum Bereich der konstanten Translationsgeschwindigkeit ( beim Beschleunigen) bzw. von diesem (beim Abbremsen) allmählich erfolgt. Beim Abbremsen durchlaufen die Abscheidebrenner das umgekehrte Geschwindigkeitsprofil wie beim Beschleunigen, so dass das Geschwindigkeitsprofil 30 bei der Hin-Bewegung zum Wendepunkt B identisch ist zu dem Geschwindigkeitsprofil 30 bei der Weg-Bewegung vom Wendepunkt B; wie dies durch den Blockpfeil 33 symbolisiert wird. Es hat sich gezeigt, dass bei einem derartigen Geschwindigkeitsprofil ein gleichmäßiger Masseauftrag und damit ein Rohling mit geringer Oberflächenwelligkeit erhalten wird.It can be seen from this that the separating burner is moved back and forth between the turning points A and B essentially at a constant speed of about 7 mm / sec (420 mm / min) (curve section 31 ). In the area of the turning points A, B the translation speed is reduced to zero with exponential time dependence or accelerated from zero to the constant speed of about 7 mm / sec (curve sections 32 ). Due to the exponential time dependency (exponent greater than 1), a short braking and acceleration duration is achieved, with the transition to the area of the constant translation speed (when accelerating) or from this (when braking) taking place gradually on both sides of the turning points A, B. When braking, the separating burners run through the reverse speed profile as when accelerating, so that the speed profile 30 the movement towards the turning point B is identical to the speed profile 30 when moving away from turning point B; like this by the block arrow 33 is symbolized. It has been shown that with such a speed profile, a uniform application of mass and thus a blank with low surface ripple is obtained.

Zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens werden Abscheidebrenner eingesetzt, wie schematisch in 4 dargestellt. Der Abscheidebrenner 41 besteht aus insgesamt vier koaxial zueinander angeordneten Brennerrohren 42,43, 44, 45 aus Quarzglas. Das zentrale Brennerrohr 42 umschließt die Mitteldüse 46, zwischen dem zentralen Brennerrohr 42 und dem benachbarten Brennerrohr 43 ist die Trenngasdüse 47 ausgebildet, das Brennerrohr 43 und das Brennerrohr 44 umschließen die Ringspaltdüse 48 und das Brennerrohr 44 und das Außenrohr 45 die Außendüse 49. Im Bereich ihrer Düsenöffnung 50 knickt die ringförmige Trenngasdüse 47 in Richtung auf die Mitteldüse 46 ab, wobei sich gleichzeitig der Öffnungsquerschnitt der Trenngasdüse 47 in diesem Bereich kontinuierlich verjüngt. Im Gegensatz dazu erweitert sich der Öffnungsquerschnitt der Ringspaltdüse 48 im Bereich ihrer Düsenöffnung 51. Die Düsenöffnung der Mitteldüse ist mit der Bezugsziffer 52 gekennzeichnet.Separation burners are used to carry out the method according to the invention, as shown schematically in 4 shown. The separation burner 41 consists of four burner tubes arranged coaxially to each other 42 . 43 . 44 . 45 made of quartz glass. The central burner tube 42 surrounds the center nozzle 46 , between the central burner tube 42 and the neighboring burner tube 43 is the separation gas nozzle 47 trained the burner tube 43 and the burner tube 44 enclose the annular gap nozzle 48 and the burner tube 44 and the outer tube 45 the outer nozzle 49 , In the area of their nozzle opening 50 kinks the annular separation gas nozzle 47 towards the center nozzle 46 from, at the same time the opening cross section of the separation gas nozzle 47 continuously rejuvenated in this area. In contrast to this, the opening cross section of the annular gap nozzle 48 widens in the region of its nozzle opening 51 , The nozzle opening of the center nozzle is with the reference number 52 characterized.

Die Öffnungsquerschnitte der Mitteldüse 46, der Trenngasdüse 47, der Ringspaltdüse 48 und der Außendüse 49 stehen im Bereich der Linie „L" in der Reihenfolge ihrer Nennung im Verhältnis von 1: 5 : 15 : 40 zueinander.The opening cross-sections of the center nozzle 46 , the separation gas nozzle 47 , the annular gap nozzle 48 and the outer nozzle 49 are in the area of line "L" in the order of their naming in a ratio of 1: 5: 15: 40 to each other.

Durch die Fokussierung des Trenngasstroms wird eine wirksame Abschirmung der aus den Düsenöffnungen 51 und 53 austretenden Brenngasströme von dem Strom der Glasausgangsstoffe erreicht. Die Abschirmung wird weiterhin durch die Erweiterung der Ringspaltdüse 48 im Bereich der Düsenöffnung 51 verbessert. Das Volumenverhältnis von Wasserstoffstrom und Gesamt-Sauerstoffstrom beträgt 0,3.By focusing the separating gas stream, an effective shielding of the nozzle openings becomes 51 and 53 escaping fuel gas streams reached by the stream of glass raw materials. The shielding is continued by expanding the annular gap nozzle 48 in the area of the nozzle opening 51 improved. The volume ratio of hydrogen flow and total oxygen flow is 0.3.

Claims (9)

Verfahren für die Herstellung eines SiO2-Rohlings, bei welchem SiO2-Partikel in mehreren, in einer Reihe angeordnete Abscheidebrennern, denen jeweils eine Brennerflamme zugeordnet ist, gebildet und auf einer Ablagerungsfläche eines um seine Längsachse rotierenden Trägers abgeschieden werden, wobei die Reihe der Abscheidebrenner in einem vorgegebenen Bewegungsablauf entlang des sich bildenden Rohlings zwischen Wendepunkten, an denen sich ihre Bewegungsrichtung umkehrt hin- und herbewegt wird, und wobei die Brennerflamme jeweils in einer Projektion auf eine Ebene parallel zu ihrer Hauptausbreitungsrichtung und parallel zur Trägerlängsachse eine Projektionsfläche bildet, deren seitliche Begrenzungslinien mit der Hauptausbreitungsrichtung einen Öffnungswinkel einschließen, dadurch gekennzeichnet, dass jeweils der Öffnungswinkel (α) auf einen Wert zwischen 5° und 10° und der Abstand (D) des Abscheidebrenners (2) von der Ablagerungsfläche (10) im Bereich zwischen 180 mm und 220 mm eingestellt wird.Process for the production of an SiO 2 blank, in which SiO 2 particles are formed in a plurality of deposition burners arranged in a row, each of which is assigned a burner flame, and are deposited on a deposition surface of a carrier rotating about its longitudinal axis, the row of Separation burner in a predetermined movement sequence along the forming blank between turning points at which their direction of movement is reversed, and the burner flame forms a projection surface in a projection onto a plane parallel to its main direction of propagation and parallel to the longitudinal axis of the carrier, the lateral surface of which Boundary lines with the main direction of propagation include an opening angle, characterized in that in each case the opening angle (α) has a value between 5 ° and 10 ° and the distance (D) of the separating burner ( 2 ) from the deposit area ( 10 ) is set in the range between 180 mm and 220 mm. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Brennerflamme (12) mit der Ablagerungsfläche (10) eine Schnittfläche mit einer Größe im Bereich zwischen 8 cm2 bis 20 cm2, vorzugsweise im Bereich zwischen 10 cm2 bis 17 cm2 bildet.A method according to claim 1, characterized in that the burner flame ( 12 ) with the deposit area ( 10 ) forms a cut surface with a size in the range between 8 cm 2 to 20 cm 2 , preferably in the range between 10 cm 2 to 17 cm 2 . Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Temperatur der Brennerflamme (12) im Bereich der Ablagerungsfläche (10) auf einen Wert zwischen 1100°C und 1300°C eingestellt wird.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the temperature of the burner flame ( 12 ) in the area of the deposit area ( 10 ) is set to a value between 1100 ° C and 1300 ° C. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Brennerflamme (12) jeweils einen durch den Schnittpunkt der Hauptausbreitungsrichtung (13) mit der Ablagerungsfläche (10) definierten Auftreffpunkt (17) auf der Ablagerungsfläche (10) aufweist, und dass die Auftreffpunkte (17) benachbarter Brennerflammen – in Richtung der Trägerlängsachse (4) gesehen – einen äquidistanten Flammenabstand voneinander haben, mit der Maßgabe, dass die Standardabweichung aller Flammenabstände weniger als 5% beträgt.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the burner flame ( 12 ) one through the intersection of the main direction of propagation ( 13 ) with the deposit area ( 10 ) defined point of impact ( 17 ) on the deposit surface ( 10 ) and that the impact points ( 17 ) adjacent burner flames - in the direction of the longitudinal axis of the beam ( 4 ) seen - have an equidistant flame distance from each other, with the proviso that the standard deviation of all flame distances is less than 5%. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Bewegungsablauf eine Translationsgeschwindigkeit, mit der die Abscheidebrenner (2) zwischen den Wendepunkten (A, B) hin- und herbewegt werden und eine Beschleunigungsdauer, während der die Abscheidebrenner (2) von einem Wendepunkt kommend auf die Translationsgeschwindigkeit beschleunigt und einen Wendepunkt anfahrend von der Translationsgeschwindigkeit abgebremst werden, umfasst, mit der Maßgabe, dass die Translationsgeschwindigkeit auf einen Wert im Bereich zwischen 350 mm/min und 550 mm/min und die Beschleunigungsdauer auf einen Wert im Bereich zwischen 70 ms und 700 ms eingestellt wird.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the movement sequence is a translation speed with which the separation burner ( 2 ) between the turning points (A, B) and an acceleration period during which the separating burner ( 2 ) accelerating from a turning point to the translation speed and decelerating to a turning point from the translation speed, with the proviso that the translation speed to a value in the range between 350 mm / min and 550 mm / min and the acceleration time to a value in Range between 70 ms and 700 ms is set. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Translationsgeschwindigkeit auf einen Wert im Bereich zwischen 400 mm/min und 500 mm/min und die Beschleunigungsdauer auf einen Wert im Bereich zwischen 100 ms und 500 ms eingestellt wird.A method according to claim 5, characterized in that the translation speed is in the range between 400 mm / min and 500 mm / min and the acceleration time to one Value in the range between 100 ms and 500 ms is set. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Abscheidebrenner (2) mit einer exponentiellen Zeitabhängigkeit beschleunigt und abgebremst werden.A method according to claim 5 or 6, characterized in that the separation burner ( 2 ) are accelerated and braked with an exponential time dependency. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand zwischen den Wendepunkten als ein gerades Vielfaches des Abstandes (5) zwischen benachbarten Brennerflammen (12) eingestellt wird.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the distance between the turning points as an even multiple of the distance ( 5 ) between neighboring burner flames ( 12 ) is set. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass den Abscheidebrennern (2) in einem zentralen Bereich (46) eine erste, Silizium enthaltende Ausgangskomponente, in einem äußeren Bereich (48; 49) ein Wasserstoffstrom und ein Sauerstoffstrom, und zwischen dem zentralen Bereich (46) und dem äußeren Bereich (48; 49) ein Trenngasstrom zugeführt werden, wobei das Volumenverhältnis von Wasserstoffstrom und Sauerstoffstrom auf einen Wert im Bereich von 0,2 bis 0,4 eingestellt wird.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the deposition burners ( 2 ) in a central area ( 46 ) a first, silicon-containing starting component, in an outer region ( 48 ; 49 ) a hydrogen flow and an oxygen flow, and between the central area ( 46 ) and the outer area ( 48 ; 49 ) a separation gas stream are supplied, the volume ratio of hydrogen stream and oxygen stream being set to a value in the range from 0.2 to 0.4.
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