DE10046354C1 - Scanner und Verfahren zur Defekterkennung bei der elektronischen Bildverarbeitung - Google Patents
Scanner und Verfahren zur Defekterkennung bei der elektronischen BildverarbeitungInfo
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und einen Scanner zur Erkennung von Defekten auf der Oberfläche von fotografischen Bildvorlagen bei der elektronischen Bildverarbeitung. Das Licht einer Beleuchtungseinrichtung wird an eine Bildvorlage geleitet und es werden sichtbare Bilder erzeugt, indem eine Aufnahmeeinrichtung von der Bildvorlage reflektiertes oder transmittiertes Licht aufnimmt. Eine Recheneinrichtung erzeugt ein Defektbild, indem diese aufgenommenen, sichtbaren Bilder miteinander kombiniert werden. Eines der sichtbaren Bilder für das Defektbild wird erzeugt, indem zusätzlich zum achsenparallelen Licht Licht aus unterschiedlichen Richtungen auf die Bildvorlage geleitet wird. Dabei entsteht ein defektfreies oder zumindest defektreduziertes Bild.
Description
Die Erfindung geht aus von einem Verfahren zur Erkennung von Defekten auf
der Oberfläche von fotografischen Bildvorlagen nach dem Oberbegriff der An
sprüche 1 und 5 und einem Scanner nach dem Oberbegriff von Anspruch 10 und
Anspruch 13.
Beim Abtasten von Bildvorlagen zeigen sich im abgetasteten Bild oft Defekte,
welche verschiedene Ursachen haben können. Sie können von Staub oder ande
ren Partikeln, welche sich auf der Vorlage oder dem Vorlagenträger befinden,
oder durch Fehlstellen in der abbildenden Optik oder der Aufnahmevorrichtung
verursacht werden. Hauptsächlich rühren diese Defektstellen jedoch von Streu
ung des Abbildungslichts an Kratzern in der Bildvorlage her. An derartigen Krat
zern werden die abzubildenden Lichtstrahlen ähnlich wie an Zylinderlinsen vom
Abbildungsstrahlengang weggebrochen. Damit tragen diese weggebrochenen
Lichtstrahlen nicht mehr zur Abbildung bei. Aus diesem Grunde erscheinen der
artige Defekte im eingescannten Bild als dunkle Stellen. Sie machen sich in ei
nem lokalen Abfall der Dichte in dem in Dichten umgewandelten Bildsignal be
merkbar.
Um derartige Defekte beim Aufnehmen digitaler Bilder zu erkennen, wurden be
reits mehrere Verfahren vorgeschlagen.
Die US 4,680,638 beschreibt ein Verfahren, bei dem ein Infrarotscan zur Defekt
erkennung bei einem Videofilm verwendet wird. Da das Infrarotlicht beim Durch
leuchten des Videofilms nicht von der auf dem Film befindlichen Bildinformation
beeinflußt wird, tritt das Infrarot-Signal vollständig ungehindert durch den Film,
außer an den Stellen, an denen sich Kratzer im Film befinden. An diesen Defekt
stellen wird auch das Infrarotlicht vom Abbildungsstrahlengang weg gebrochen,
an der Aufnahmeeinrichtung trifft nur ein reduzierter Anteil der Infrarotstrahlung
ein. Somit zeigt das im Infraroten aufgenommene Signal keinerlei Bildinforma
tion, dafür aber alle defekten Stellen des Films. Die durch die Defektstellen im
Infraroten verursachten Dichteabfälle stimmen mit den im optischen Bild zu be
obachtenden Defektstellen überein, falls das Infrarotlicht genauso abgebildet
wird wie das visuelle Licht. Um eine exakt übereinstimmende Abbildung zu ge
währleisten, ist es notwendig, eine infrarotkorrigierte Optik zu verwenden. Diese
ist jedoch relativ teuer und aufwendig herzustellen.
Die US 5,266,805 beschreibt ebenfalls ein Defekterkennungsverfahren, welches
auf der Aufnahme eines Infrarot-Signals zusätzlich zu den Farbsignalen beruht.
Auch dieses Verfahren setzt eine infrarotkorrigierte Optik voraus. Falls die Optik
nicht infrarotkorrigiert ist und das Infrarot-Signal anders abgebildet wird als die
optischen Signale, sind aufwendige Korrekturalgorithmen - wie sie beispiels
weise in der EP 0 893 914 A2 beschrieben werden - notwendig, um optisches und
Infrarot-Signal zur Übereinstimmung zu bringen.
In der DE 100 29 826 wird deshalb vorgeschlagen, anstelle des Infrarotscans
zusätzlich zu den drei Farbscans der Bildvorlage eine Defektaufnahme in einem
weiteren optischen Spektralbereich durchzuführen. Diese zusätzliche Aufnahme
wird mit den Farbscans verrechnet, um Defekte zu eliminieren. Dieses Verfahren
vermeidet einen Infrarotscan, ist jedoch sehr rechenaufwendig und außerdem
filmtypabhängig.
Defekterkennungsverfahren sind auch aus dem Gebiet der Materialprüfung
bekannt. So beschreibt beispielsweise die JP 11-326224 A ein Verfahren zur
Erkennung von Defekten in einem durchsichtigen, glasförmigen Wafer. Bei
diesem Verfahren soll insbesondere zwischen Defekten auf der
Wafer-Oberfläche und Defekten im Inneren des Wafers unterschieden werden.
Hierzu werden insbesondere die Oberflächendefekte mit senkrecht einfallendem
Licht aufgenommen. Eine weitere Aufnahme mit Licht, das unter einem
bestimmten Winkel auf den Wafer geleitet wird, zeigt sowohl Oberflächendefekte
als auch Defekte im Inneren des Wafers. Ein Differenzbild ermöglicht die
Unterscheidung. Derartige Verfahren aus der Materialprüfung sind aber nicht
direkt auf die Defekterkennung bei fotografischen Vorlagen übertragbar, da
beispielsweise Wafer durchsichtig sind, also bei der Aufnahme nur die Defekte
abgebildet werden, während bei der Abbildung fotografische Vorlagen der
Bildinhalt immer mit abgebildet wird. Ferner ist bei fotografischen Vorlagen keine
Unterscheidung zwischen Oberflächen- und inneren Defekten notwendig, eine
Identifikation der Oberflächendefekte ist ausreichend.
Aufgabe der Erfindung war es deshalb, ein Verfahren zur Erkennung von De
fekten auf der Oberfläche von fotografischen Bildvorlagen bei der digitalen Bild
verarbeitung sowie einen Scanner hierfür bereitzustellen, bei dem die genannten
Nachteile vermieden werden. Die Defekterkennung sollte ohne großen Rechen
zeit- und Ressourcenaufwand in jeden Scanner (auch einen nicht infrarotkorri
gierten) einfach integrierbar sein.
Gelöst wird die Aufgabe von einem Verfahren zur Erkennung von Defekten auf
der Oberfläche von fotografischen Bildvorlagen bei der digitalen Bildverarbei
tung mit den Merkmalen von Anspruch 1 und Anspruch 5 sowie einem Scanner
mit den Merkmalen von Anspruch 10 und Anspruch 13.
Erfindungsgemäß wird zur Erzeugung des Defektbildes ein weiteres Bildsignal
aufgenommen, wobei die Bildvorlage zusätzlich zum achsenparallelem Licht mit
Licht aus unterschiedlichen Richtungen beleuchtet wird. Zusätzlich zur Aufnahme
des Farbbilds, bei der im wesentlichen paralleles Licht verwendet wird, wird also
eine weitere Aufnahme mit weicherem, also aus verschiedenen Richtungen
kommendem Licht gemacht. In der zusätzlichen Aufnahme treten Defekte auf
grund der weichen Beleuchtung nur noch reduziert oder gar nicht mehr auf, wo
gegen das Signal des Bildinhalts unverändert bleibt.
An Defekten in der Bildvorlage wird das auf den Defekt auftreffende Abbildungs
licht von der Auftreffrichtung weg gebrochen. Das bedeutet, dass Lichtstrahlen,
welche in dem optischen Abbildungssystem achsenparallel verlaufen, von der
optischen Achse weg gebrochen werden, so dass dieses abgelenkte Licht nicht
mehr in die Eintrittspupille des abbildenden Objektivs gelangt und somit nicht
mehr zur Abbildung beitragen kann. Wird die Bildvorlage also mit hartem Licht,
welches achsenparallel zum optischen Abbildungssystem eingestrahlt wird, be
leuchtet, so wird das Bildsignal an den Defektpositionen reduziert.
Wird die Bildvorlage dagegen mit in einem flachen Winkel auftreffendem Licht
beleuchtet, welches nicht in die Eintrittspupille des abbildenden Objektives ge
langt, so wird dieses Licht ebenfalls an den Defektpositionen gebrochen. Auf
grund der Lichtbrechung werden dabei Lichtstrahlen, welche die Eintrittspupille
an sich nicht passieren, so abgelenkt, dass sie nunmehr auf das abbildende
Objektiv gelangen und somit auf der Aufnahmeeinrichtung abgebildet werden.
Bei Beleuchtung der Bildvorlage mit Licht in sehr flachem Winkel werden also in
erster Linie die Defekte wiedergegeben.
Verwendet man zur Abbildung sehr weiches, diffuses Licht - also Licht, das aus
vielen unterschiedlichen Richtungen auf die Bildvorlage trifft - so werden in etwa
genauso viele schräg auf die Vorlage auftreffende Lichtstrahlen so gebrochen,
dass sie durch das abbildende Objektiv gelangen, wie von den achsenparallel
verlaufenden Lichtstrahlen vom abzubildenden Objektiv weg gebrochen werden.
Das heißt, bei der Abbildung mit sehr diffusem, weichem Licht wird das Bildsignal
an den Defekten nicht mehr reduziert und es kann ein defektfreies Bildsignal
erzeugt werden.
Die Beleuchtung der Bildvorlage mit sehr hartem Licht führt also zur Aufnahme
eines Bildsignals, in dem die Defekte gut sichtbar abgebildet werden, während
die Beleuchtung mit sehr weichem Licht dazu führt, dass ein nahezu oder voll
ständig defektfreies Bildsignal entsteht. Die beiden Bildsignale unterscheiden
sich also nur an den Defektpositionen. Werden also defektfreies Bildsignal und
das Defekte enthaltende Bildsignal miteinander kombiniert, so kann ein Defekt
bild erzeugt werden.
Das weiche, diffuse Licht, welches aus unterschiedlichen Richtungen auf die
Vorlage geleitet wird, wird in einer vorteilhaften Ausführungsform erzeugt, indem
eine Streuscheibe in den Strahlengang zwischen Beleuchtungseinrichtung und
Bildvorlage eingebracht wird. Die Streuscheibe ist beweglich angeordnet, so
dass sie zur Aufnahme des zur Erzeugung des Defektbildes verwendeten Bildsignals
in den Strahlengang einbringbar und zur Aufnahme der für die Farbscans
erforderlichen Bildsignale wieder aus dem Strahlengang entfernbar ist.
Um auf diese zeitraubende, aufwendige mechanische Bewegung verzichten zu
können, wird in einer weiteren, vorteilhaften Ausgestaltung ein Streumedium
verwendet, welches ständig zwischen Beleuchtungseinrichtung und Bildvorlage
angeordnet ist, aber zwei mögliche Arbeitszustände hat. Es kann mittels eines
elektrischen Feldes zwischen einem streuenden und einem transparenten Zu
stand geschaltet werden.
In einer anderen vorteilhaften Ausführungsform wird das Licht, welches zur Er
zeugung der für das Defektbild verwendeten Bildsignale benötigt wird, von zu
sätzlichen Lichtquellen emittiert, welche entweder so angeordnet sind, dass sie
die Bildvorlage aus unterschiedlichen Richtungen beleuchten, oder deren Licht
mittels entsprechender Optiken so geleitet wird, dass es aus unterschiedlichen
Richtungen auf die Bildvorlage trifft. Hierzu sind Spiegel beispielsweise in einem
Winkel ungleich 90° zur Bildvorlage angeordnet.
Erfindungsgemäß wird das Defektbild aus der Differenz zweier sichtbarer Bilder
erzeugt, welche im gleichen Spektralbereich aufgenommen wurden. Eines der
Bilder wird mit sogenanntem hartem Licht, also Licht, das vorzugsweise in einer
Richtung emittiert wird, erzeugt, während das zweite Bild mit Licht aufgenommen
wird, welches aus vielen verschiedenen Richtungen auf die Bildvorlage trifft. In
dem mit gerichtetem Licht aufgenommenem Bild werden auf der Vorlage oder im
Abbildungsstrahlengang befindliche Defektstellen stark in Erscheinung treten, da
das aus einer Richtung eintreffende Licht an der Defektstelle von der Eintritts
pupille der Abbildungsoptik weg gestreut wird und demzufolge nicht auf die Auf
nahmeeinrichtung gelangt. In dem Bild, das mit ungerichtetem Licht, welches aus
vielen unterschiedlichen Richtungen auf die Vorlage trifft, aufgenommen wird,
wird dagegen Licht, das unter einem bestimmten Winkel auf die Defektstellen
trifft und ohne die Defektstellen nicht in die Eintrittspupille gelangen würde, zur
Eintrittspupille der Aufnahmerichtung hin gebrochen. Je mehr unterschiedliche
Richtungen im auftreffenden Licht vertreten sind, desto mehr Formen und Aus
richtungen von Defekten können so unterdrückt werden. Das zweite Bild enthält
somit an den nicht von Defekten beeinträchtigten Vorlagestellen dieselbe Bild
information wie das mit parallelem Licht aufgenommene Bild, an den Defektstel
len kann aber ein Teil des weichen Abbildungslichts an die Aufnahmeeinrichtung
gelangen. Somit enthält dieses zweite Bild auch an den Defektstellen Bildinfor
mation, die Defekte sind im Gegensatz zur regulären Aufnahme reduziert.
Damit unterscheiden sich beide Bilder nur an den von Defekten auf der Bildvor
lage oder in der Abbildungsoptik beeinträchtigten Stellen. Eine Differenz der bei
den Bilder gibt also Aufschluss über Position und Form der Defekte.
In der Regel ist es ausreichend, die Defekte in der Bildvorlage in einer Farbe
aufzunehmen, da die Defekte im Bild in allen drei Farben in etwa gleich wieder
gegeben werden. Deshalb wird nur in einer Farbe eine zusätzliche Aufnahme mit
entweder härterem oder weicherem als dem für die Farbscans verwendete Licht
erzeugt. Aus der Kombination der zwei in einer Farbe aufgenommenen Bilder
wird ein Defektbild entwickelt. Bei einem Schwarzweiß-Scanner kann einfach ein
zusätzliches Schwarzweiß-Bild mit weicherer oder härterer Beleuchtung der Bild
vorlage erzeugt werden.
Falls die regulären Aufnahmen mit eher hartem Licht erzeugt werden, beispiels
weise, um viel Licht zum Scannen zur Verfügung zu haben, ist es sinnvoll, den
zusätzlichen, zur Erzeugung des Defektbildes verwendeten Scan mit weichem
Licht vorzunehmen. Hierfür wird ein Streumedium zwischen Beleuchtungsein
richtung und Bildvorlage in den Strahlengang eingebracht oder ein schaltbares,
streuendes Medium in diesem Bereich aktiviert.
Ein erfindungsgemäßer Scanner zum Einscannen von auf einem Vorlagenhalter
befindlichen Bildvorlagen weist also außer den für einen Scanner notwendigen,
bekannten Elementen zusätzlich ein Medium zum Verändern der Abstrahl
charakteristik der Beleuchtungseinrichtung auf. Ein Scanner hat in der Regel
eine Beleuchtungseinrichtung, welche zum Beleuchten der abzubildenden Bild
vorlage dient, eine Halterung oder Auflagefläche für die abzuscannende Bildvor
lage und eine Aufnahmeeinrichtung, welche bei Durchlichtscannern zum Abta
sten transparenter Bildvorlagen an der von der Beleuchtungseinrichtung abge
wandten Seite der Bildvorlage angebracht ist und sich bei Auflichtscannern an
derselben Seite wie die Beleuchtungseinrichtung befindet. Diese Aufnahmeein
richtung kann eine Sensorzeile umfassen, welche entlang der aufzunehmenden
Bildvorlage bewegt wird. In einer weiteren, vorteilhaften Ausführungsform weist
die Aufnahmeeinrichtung einen Flächensensor wie beispielsweise einen Flä
chen-CCD-Chip oder CMOS-Chip auf, auf den das gesamte Bild mit einer Be
lichtung abgebildet werden kann. Zum Erzeugen von Farbaufnahmen können
Filter in den Strahlengang eingeschwenkt werden oder das Licht kann in ver
schiedenen Farben mittels eines Strahlteilers aufgespalten werden.
Um einen besonders schnell arbeitenden Scanner zur Verfügung zu haben, weist
die Aufnahmeeinrichtung mehrere Flächensensoren auf, auf denen jeweils eine
Farbe abgebildet wird. Als Beleuchtungseinrichtung zum Beleuchten der Vorlage
wird beispielsweise eine Weißlichtquelle verwendet, deren Farben für Farb
scans - wie bereits erwähnt - durch Filter oder Strahlteiler aufgespalten werden.
Es ist auch vorteilhaft, zum Beleuchten der Bildvorlage zur Aufnahme von Farb
scans farbige Lichtquellen zu verwenden. Hier sind insbesondere LEDs beson
ders vorteilhaft, da sie in den drei Grundfarben Rot, Grün und Blau zur Verfü
gung stehen und besonders schnell schaltbar sind, so dass ein mechanischer
Verschluss, der zum Auslesen von CCDs benötigt wird, eingespart werden kann.
Das die Abstrahlcharakteristik der Beleuchtungseinrichtung modifizierende Me
dium kann ein Streumedium sein, das eine größere Winkelverteilung der die
Bildvorlage beleuchtenden Strahlung bewirkt. Es kann aber auch ein apertur
begrenzendes Medium sein, welches die Winkelverteilung des Beleuchtungs
lichts reduziert. Besonders vorteilhaft ist es, zusätzlich zur regulären Beleuch
tungseinrichtung weitere Lichtquellen so anzuordnen, dass das Licht dieser Beleuchtungseinrichtungen
unter verschiedenen Winkeln auf die Bildvorlage trifft.
Dadurch, dass verschiedene dieser Lichtquellen je nach Bedarf eingeschaltet
werden können, kann nahezu jede beliebige gewünschte Abstrahlcharakteristik
der damit entstehenden gesamten Lichtquelle realisiert werden.
Wird ein Streumedium zur Aufnahme des für das Defektbild verwendeten Si
gnals benutzt, so kann dieses Streumedium wahlweise in den Strahlengang ein
geschwenkt oder aus diesem entfernt werden. Als Streumedium eignen sich
Streuscheiben oder sogenannte Integratoren, wie z. B. eine Ullbricht-Kugel oder
Spiegel, über die das Licht in verschiedene Winkel gestreut wird.
Besonders vorteilhaft ist es jedoch, kein bewegliches Streumedium zu benutzen,
sondern ein in seinem Zustand veränderbares, schaltbares Medium immer im
Strahlengang angeordnet zu haben. Hierfür bietet sich beispielsweise ein PDLC
an, also ein Polymer-dispergiertes Liquid Crystal, welcher aus Flüssigkristallen
besteht, die in einer Polymerschicht eingebettet sind. Durch Anlegen eines elek
trischen Feldes an die Polymerschicht werden die Flüssigkristalltröpfchen in ihrer
Ausrichtung verändert. Dadurch ändert sich der Brechungsindex der Folie, und
die Folie wird lichtstreuend.
Zur Erzeugung von weicherem Licht ist es besonders vorteilhaft, eine zusätzliche
Beleuchtung in dem Scanner anzuordnen, von der Licht aus verschiedenen Win
keln auf die Bildvorlage geleitet wird. Anstelle einer zusätzlichen Beleuchtung
können auch Spiegel so angeordnet werden, dass das von der Beleuchtungsein
richtung ausgesandte Licht teilweise in andere Winkel umgeleitet wird. Die zu
sätzlichen Beleuchtungsmittel werden vorteilhafterweise so angeordnet und auf
gebaut, dass das entlang der optischen Achse von ihnen ausgesandte Licht nicht
auf die Eintrittspupille der Aufnahmeeinrichtung trifft. Ihr Licht geht also nach
ungehindertem Durchstrahlen der Bildvorlage an der Aufnahmeeinrichtung vorbei
und trägt nicht zur Bildaufnahme bei. Befindet sich jedoch eine das Licht beu
gende Defektstelle in der Bildvorlage oder dem Strahlengang der Abbildungsoptik,
so wird ein Teil dieses regulär nicht auf die Aufnahmeeinrichtung treffen
den Lichts zu dieser hin abgelenkt und abgebildet. Die Beugung ist abhängig von
der Form und der Ausrichtung der Defekte, da diese hier als Linsen - in der Re
gel Zylinderlinsen - wirken. Da die Defektstellen im allgemeinen unterschiedlich
ausgerichtet sind, wird aus unterschiedlichen Winkeln auf die Defektstellen tref
fendes Licht unterschiedlich an der jeweiligen Defektstelle gebeugt. Je nach Aus
richtung und Form des Defekts gibt es immer einen bestimmten Winkel, unter
dem auf die Vorlage treffendes Licht diesen Defekt reduziert. Um möglichst viele
Defekte zu reduzieren, ist es deshalb wichtig, dass das Licht zur Aufnahme des
weichen Bildes aus möglichst vielen Richtungen auf die Vorlage trifft. Allerdings
trifft ein großer Anteil von Licht, welches aus sehr vielen Richtungen auf die
Vorlage trifft, in der Regel nicht auf die Aufnahmeeinrichtung, so dass dieses
nicht sehr effizient zum Aufnehmen eines Scans ist. Somit muss die Bildvorlage
sehr lange beleuchtet werden, bis eine sinnvolle Aufnahme erzeugt wird.
In sehr schnell arbeitenden Scannern, wie sie beispielsweise in sogenannten
Hochleistungsprintern in Labors zum Kopieren fotografischer Filme verwendet
werden, ist es jedoch wünschenswert, möglichst geringe Aufnahmezeiten und
Beleuchtungszeiten zu erzielen. Deshalb werden in diesem Anwendungsbereich
vorteilhafterweise für die Erzeugung der Farbscans Lichtquellen als Beleuch
tungseinrichtung verwendet, welche sehr hartes, also sehr gerichtetes, intensives
Licht abstrahlen. Der Defektscan wird dann bei derartigen Hochleistungsscan
nern vorteilhafterweise mit weichem Licht erzeugt. Hierfür kann ein Streumedium
verwendet werden, es ist jedoch besonders vorteilhaft, auch bei der Aufnahme
des Defektbildes wenig Belichtungszeit zu benötigen. Deshalb ist es vorteilhafter,
das Defektbild durch Beleuchtung der Bildvorlage mit der Beleuchtungseinrich
tung und zusätzlichen, in einer bestimmten Winkelverteilung angeordneten Be
leuchtungsmitteln zu realisieren.
Es kann jedoch auch bei Hochleistungsscannern gewünscht sein, weicheres
oder aus verschiedenen Winkeln auftreffendes Licht zur Aufnahme der Farbbilder
zu verwenden, um dadurch bereits bei der Aufnahme die Defektstellen zu
reduzieren. Wenn die Defektstellen bereits bei der Aufnahme durch die Verwen
dung von weicherem Licht reduziert sind, muss nämlich anschließend weniger
Bearbeitungszeit zur Korrektur der verbleibenden Defekte aufgewendet werden.
In diesem Fall ist es also vorteilhaft, beispielsweise zusätzliche Beleuchtungs
mittel einzusetzen, welche winkelverteiltes Licht auf die Bildvorlage senden.
Ebenso wie die Beleuchtungseinrichtung emittieren die zusätzlichen Beleuch
tungsmittel in verschiedenen Farben. Dadurch werden die Defekte bereits bei
der Aufnahme der Farbscans reduziert. Zur Aufnahme eines Hart- oder Weich
lichtscans zur Erzeugung des Defektbildes, welches zur Korrektur der noch ver
bleibenden Defekte verwendet wird, können die zusätzlichen Beleuchtungsmitttel
dann abgeschaltet werden oder es werden weitere Beleuchtungsmittel ange
schaltet.
Die Korrektur der erfindungsgemäß identifizierten Defekte kann nach herkömmli
chen Methoden, wie beispielsweise durch Interpolation, durchgeführt werden, es
ist jedoch auch möglich, bei der Defektaufnahme mit weichem Licht eine so voll
ständige Winkelverteilung des beleuchtenden Lichts vorzunehmen, dass die
Defekte in dieser einen Farbaufnahme vollständig eliminiert sind. Aus der Diffe
renz des regulär aufgenommenen Farbbildes und des Defektbildes ergibt sich
dann auch die Stärke der Defekte. Die somit bekannte Lage und Stärke der De
fekte kann dann in der Bildverarbeitung auch in den anderen Farben korrigiert
werden. Zur Korrektur der Defekte sind jedoch auch alle anderen bekannten Kor
rekturverfahren verwendbar.
Weitere Einzelheiten und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der Beschrei
bung von Ausführungsbeispielen, die anhand der Zeichnungen eingehend er
läutert werden.
Es zeigen:
Fig. 1 den schematischen Aufbau eines Scanners mit einem Streumedium im
Beleuchtungsstrahlengang und
Fig. 2 den schematischen Aufbau eines Scanners mit zusätzlichen Beleuch
tungsmitteln.
Fig. 1 zeigt einen erfindungsgemäßen Scanner zum Abbilden transparenter
Vorlagen auf eine Aufnahmeeinrichtung. Eine Beleuchtungseinrichtung 1 be
leuchtet die transparenten Vorlagen 2, um diese auf die Aufnahmeeinrichtung 3
abzubilden. Die Beleuchtungseinrichtung weist verschiedenfarbige LED-Arrays 4
und 5 auf, deren Licht über Linsen-Arrays 6 und 7 auf einen Strahlteiler 8 abge
bildet wird, an dem dieses mehrfarbige Licht in einen Strahlengang vereinigt
wird. Der LED-Array 4 weist beispielsweise rote LEDs auf, während im
LED-Array 5 grüne und blaue LEDs vermischt angeordnet sind. Anstelle des hier
gewählten Aufbaus können auch die LEDs aller benötigten Farben in einem
Array verteilt zusammengefaßt sein. Das in einem Strahlengang vereinigte,
mehrfarbige Licht wird über ein Streumedium 9 auf eine Kondensorlinse 10 ab
gebildet. Als Streumedium 9 ist eine in einen streuenden und einen nicht
streuenden Zustand schaltbare Streufolie vorgesehen. Ebensogut kann auch
eine mechanisch in den Strahlengang einschwenkbare Streuplatte vorgesehen
sein. Die Kondensorlinse 10 fokussiert das Licht auf die auf der Filmbühne 11
befindliche transparente Vorlage 2, welche beispielsweise ein fotografischer Film
sein kann. Das durch die auf der Filmbühne 11 befindliche Vorlage 2 getretene
Licht trifft auf die Eintrittspupille einer Abbildungsoptik 12. Von dieser Abbil
dungsoptik 12 wird das Abbildungslicht auf eine Aufnahmeeinrichtung 3 geleitet.
Die Aufnahmeeinrichtung weist drei CCD-Chips 13, 14 und 15 auf, auf die die
drei Spektralanteile des Lichts abgebildet werden. Diese werden durch Strahltei
ler 16 und 17 aus dem gemeinsamen Strahlengang ausgekoppelt.
Zur Aufnahme eines digitalen Bildes von der Bildvorlage 2 werden LEDs aller
Farben eingeschaltet, um die Bildvorlage in allen Farben gleichzeitig zu
beleuchten. Die drei CCD-Chips integrieren das Licht jeweils einer Farbe,
solange die LEDs angeschaltet sind. Die Anschaltzeit der LEDs richtet sich nach
der für die jeweilige Bildvorlage und die CCD notwendige Belichtungszeit. Sobald
diese Belichtungszeit erreicht ist, wird die LED der entsprechenden Farbe ab
geschaltet, und der CCD wird ausgelesen. Anschließend werden die aufgenom
menen Lichtsignale in digitale elektrische Signale umgewandelt. Sobald der zu
der Farbe mit der kürzesten Belichtungszeit gehörige CCD-Chip ausgelesen ist,
wird das Streumedium 9 auf Streuzustand geschaltet. Dann werden die LEDs mit
der kürzesten Belichtungszeit erneut eingeschaltet, so dass die Defektaufnahme
erzeugt werden kann. Hierzu wird das Licht einer Farbe durch das Streu
medium 9 geleitet und dieses nunmehr weiche Licht durch denselben Abbil
dungsstrahlengang wie das Licht der selben Farbe, welches vorher ungehindert
zur Kondensorlinse 10 gelangt ist, auf den entsprechenden CCD-Chip abgebil
det. Auch dieses Defektsignal wird vom CCD ausgelesen und in digitale elektri
sche Bildsignale umgewandelt. An einer nicht dargestellten Recheneinheit wer
den Defektsignal und das entsprechende Farbsignal miteinander verrechnet, so
dass eine Defektaufnahme erzeugt wird. Mittels dieser Defektaufnahme, die
Form und Position der Defekte zeigt, werden die drei Farbscans anschließend
korrigiert. Hierzu können alle bekannten Korrekturalgorithmen verwendet wer
den.
Anstelle eines Streumediums 9 kann in einer anderen vorteilhaften Vorrichtung
ein aperturbegrenzendes Medium, wie beispielsweise ein Selfoc-Lens-Array oder
eine Channel-Platte, verwendet werden.
Fig. 2 zeigt einen erfindungsgemäßen Scanner, an dem das weiche Licht statt
mit einem Streumedium dadurch erzeugt wird, dass zusätzliche Beleuchtungs
mittel vorgesehen sind, deren Licht schräg auf die Bildvorlage 2 abgestrahlt wird.
Als Beleuchtungseinrichtung 1 dient in diesem Fall ein LEDs in allen Farben, also
R, G, B, aufweisender LED-Array
Vor dem LED-Array ist ein Linsenarray aufgesetzt, um das von den LEDs emit
tierte Licht in Richtung der Bildvorlage zu fokussieren. Davor befindet sich ein
Kantenfilter, der das von den LEDs emittierte Licht auf die drei benötigten Farb
bereiche beschränkt. Ebenfalls wie im ersten Ausführungsbeispiel wird das Licht
der Beleuchtungseinrichtung 1 durch eine Kondensorlinse 10 auf das auf der
Filmbühne 11 befindliche Bildmaterial geleitet. Das durch die Bildvorlage getre
tene Licht wird mittels einer Abbildungsoptik 12 auf die Aufnahmeeinrichtung 3
geleitet, welche ebenfalls drei CCD-Arrays 13, 14 und 15 sowie zwei Strahltei
ler 16 und 17 aufweist. Zusätzlich zu der Beleuchtungseinrichtung 1, die auch
den im Ausführungsbeispiel 1 vorgestellten Aufbau haben kann, sind zusätzliche
Beleuchtungsmittel 19, 20, 21 und 22 vorgesehen. Diese zusätzlichen Beleuch
tungsmittel sind so angeordnet, dass ihr Licht in einem anderen optischen Weg
auf die Bildvorlage trifft. Ihr Aufbau entspricht dem der Beleuchtungseinrich
tung 1 und die auf ihnen befindlichen LEDs emittieren Licht derselben Farben.
Die zusätzlichen Beleuchtungsmittel können so angeordnet sein, dass ihr Licht
ebenfalls durch die Kondensorlinse tritt, sie können aber auch so angerordnet
sein, dass ihr Licht zwischen Kondensorlinse und Filmbühne durchtritt und direkt
auf die Vorlage trifft. Es ist auch möglich, die Kondensorlinse 10 vollständig weg
zulassen.
Durch die zusätzlichen Beleuchtungsmittel wird erreicht, dass jeder Punkt der
Bildvorlage von jedem der Beleuchtungsmittel in einem anderen Winkel be
leuchtet wird. Während das Licht der Beleuchtungseinrichtung 1 senkrecht auf
die Bildvorlage trifft, durch diese durchtritt und über die Eintrittspupille der Abbil
dungsoptik 12 direkt auf die Aufnahmeeinrichtung abgebildet wird, geht das von
den zusätzlichen Beleuchtungsmitteln emittierte Licht im Normalfall nach dem
Durchtreten der Bildvorlage an der Eintrittspupille der Abbildungsoptik 12 vorbei.
Das Licht der zusätzlichen Beleuchtungsmittel trifft ohne Bildvorlage bzw. nach
Durchtreten von regulären Bildpunkten der Bildvorlage nicht auf die Eintritts
pupille der Abbildungsoptik 12 und erreicht somit im Normalfall nicht die Auf
nahmeeinrichtung. Es trägt somit nichts zur Abbildung der auf der Bildvorlage
befindlichen Bildinformation bei, außer, wenn es auf eine defekte Stelle der Bild
vorlage trifft. An Defektstellen der Bildvorlage, welche die Wirkung von Zylinder
linsen haben, wird das Licht der Beleuchtungsmittel oder Einrichtungen gebeugt,
an auf der Bildvorlage befindlichem Staub wird das Licht gestreut. Beugung bzw.
Streuung bewirken bei dem Licht der Beleuchtungseinrichtung 1, dass es nur
noch teilweise die Eintrittspupille der Abbildungsoptik 12 erreicht und an der von
der Defektstelle abgebildeten Bildstelle nur weniger Licht auftrifft, also eine
dunkle Stelle im Bild entsteht. Das Licht der zusätzlichen Beleuchtungsmittel,
welches im Normalfall nicht in die Eintrittspupille trifft, wird an defekten Stellen,
wenn es im richtigen Winkel auf diese trifft, von Zylinderlinsen oder Staubparti
keln zur Eintrittspupille hin gebeugt oder gestreut und damit auf der Aufnahme
einrichtung abgebildet. Dieses Licht kann das von der Beleuchtungseinrichtung 1
verlorengegangene Licht ersetzen und damit die dunkle Stelle im Bild wieder
aufhellen. Dadurch ist es möglich, die Kratzer zu reduzieren.
Mit dem in Fig. 2 gezeigten Scanner können also die Farbaufnahmen ebenfalls
mit Beleuchtung der Bildvorlage durch die Beleuchtungseinrichtung 1 in allen
Farben gleichzeitig aufgenommen werden, zur Aufnahme des für das Defektbild
benötigten Signals werden dann die zusätzlichen Beleuchtungsmittel einge
schaltet, so dass ein an den Defektstellen reduziertes Bildsignal entsteht, wel
ches an den nicht defekten Stellen genau dem vorher erzeugten Farbscan ent
spricht. Hierzu können die zusätzlichen Beleuchtungsmittel auch nur LEDs einer
Farbe aufweisen. Dies führt dazu, dass nur in diesem einen Farbscan ein Unter
schied zwischen regulärem Scan und mit zusätzlich eingeschalteten Beleuch
tungsmitteln erzeugtem Scan zu sehen ist. Dies ist jedoch ausreichend, um die
Defektstellen zu identifizieren. Diese können dann anschließend, nachdem ihre
Lage und Form anhand einer Differenz zwischen regulärem Farbscan und Scan
mit zusätzlicher Beleuchtung ermittelt wurde, nach allen bekannten herkömmli
chen Korrekturalgorithmen korrigiert werden. Es ist auch bei diesem Aufbau
möglich, so viele Beleuchtungsmittel in verschiedenen Winkeln anzuordnen,
dass die Defektstellen in der Aufnahme in einer Farbe völlig eliminiert werden.
Aus der Differenz des so aufgenommenen Bildes und des regulären Farbscans
ergibt sich dann auch die Tiefe der Kratzer, welche mit dieser Information auch in
den anderen beiden Farben korrigiert werden kann.
Claims (16)
1. Verfahren zur Erkennung von Defekten auf der Oberfläche von fotografi
schen Bildvorlagen bei der elektronischen Bildverarbeitung, wobei Licht einer
Beleuchtungseinrichtung an eine Bildvorlage geleitet wird, sichtbare Bilder
erzeugt werden, indem von der Bildvorlage reflektiertes oder transmittiertes
Licht aufgenommen wird und ein Defektbild erzeugt wird, indem sichtbare
Bilder miteinander kombiniert werden, dadurch gekennzeichnet, dass eines
der sichtbaren Bilder für das Defektbild erzeugt wird, indem zusätzlich zum
achsenparallelen Licht Licht aus unterschiedlichen Richtungen auf die
Bildvorlage geleitet wird, so dass ein defektfreies oder zumindest de
fektreduziertes Bild erzeugt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Licht aus
unterschiedlichen Richtungen erzeugt wird, indem eine Streuscheibe in den
Strahlengang zwischen Beleuchtungseinrichtung und Bildvorlage eingebracht
wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Licht aus
unterschiedlichen Richtungen erzeugt wird, indem ein streuendes Medium im
Strahlengang zwischen Beleuchtungseinrichtung und Bildvorlage aktiviert
wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Licht aus
unterschiedlichen Richtungen erzeugt wird, indem die Beleuchtungseinrich
tung aus einzelnen Lichtquellen aufgebaut wird, welche in unterschiedliche
Richtungen zur Bildvorlage angeordnet sind.
5. Verfahren zur Erkennung von Defekten auf der Oberfläche von fotografi
schen Bildvorlagen bei der elektronischen Bildverarbeitung, wobei Licht einer
Beleuchtungseinrichtung an eine Bildvorlage geleitet wird, sichtbare Bilder
erzeugt werden, indem von der Bildvorlage reflektiertes oder transmittiertes
Licht aufgenommen wird und ein Defektbild erzeugt wird, indem sichtbare
Bilder miteinander kombiniert werden, dadurch gekennzeichnet, dass zwei
Bilder in einem Spektralbereich erzeugt werden, indem für das eine Bild Licht
aus einer achsenparallelen Richtung und für das andere Bild zusätzlich zum
achsenparallelen Licht Licht aus unterschiedlichen Richtungen auf die
Bildvorlage geleitet wird, so dass ein defektfreies oder zumindest
defektreduziertes Bild erzeugt wird.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass für das eine Bild
stark gerichtetes Licht auf die Bildvorlage geleitet wird.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das parallele
Licht erzeugt wird, indem ein Selfoc-Lens-Array zwischen Beleuchtungsein
richtung und Bildvorlage angeordnet wird.
8. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das parallele
Licht erzeugt wird, indem eine Channel-Platte zwischen Beleuchtungsein
richtung und Bildvorlage angeordnet wird.
9. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Licht aus
unterschiedlichen Richtungen durch Einbringen eines Streumediums zwi
schen Beleuchtungseinrichtung und Bildvorlage erzeugt wird.
10. Scanner zum Erzeugen von Bilddaten von fotografischen Bildvorlagen mit
einer Beleuchtungseinrichtung zum Beleuchten einer auf einem Vorlagen
halter befindlichen Bildvorlage, einer Aufnahmeeinrichtung zum Umwandeln
des von der Bildvorlage transmittierten oder reflektierten Lichts in elektrische
Bildsignale und einer Recheneinrichtung zum Bearbeiten der elektrischen
Bildsignale und zur Erzeugung eines Bildes von Oberflächendefekten aus
den Bildsignalen, dadurch gekennzeichnet, dass zur Aufnahme für das De
fektbild verwendbarer Bildsignale ein Streumedium in dem Strahlengang zwi
schen Beleuchtungseinrichtung und Bildvorlage anordenbar oder aktivierbar
ist, wobei das Streumedium so aufgebaut und angeordnet ist, dass das Licht
unter so vielen unterschiedlichen Richtungen auf die Bildvorlage trifft, dass
bei der Aufnahme ein defektfreies oder zumindest defektreduziertes Bild ent
steht.
11. Scanner nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass als Streumedium
eine Streuplatte einschwenkbar ist.
12. Scanner nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass eine durch ein
elektrisches Feld schaltbare Streufolie im Strahlengang angeordnet ist.
13. Scanner zum Erzeugen von Bilddaten von fotografischen Bildvorlagen mit
einer Beleuchtungseinrichtung zum Beleuchten einer auf einem Vorlagen
halter befindlichen Bildvorlage, einer Aufnahmeeinrichtung zum Umwandeln
des von der Bildvorlage transmittierten oder reflektierten Lichts in elektrische
Bildsignale und einer Recheneinrichtung zum Bearbeiten der elektrischen
Bildsignale und zur Erzeugung eines Bildes von Oberflächendefekten aus
den Bildsignalen, dadurch gekennzeichnet, dass zur Aufnahme für das De
fektbild verwendbarer Bildsignale weitere Beleuchtungsmittel zum Beleuchten
der Bildvorlage vorgesehen sind, welche außerhalb der optischen Achse des
Beleuchtungsstrahlengangs der Beleuchtungseinrichtung so angeordnet
sind, dass ihr Licht unter so vielen verschiedenen Winkeln ungleich des Ein
fallswinkels des Lichts der Beleuchtungseinrichtung auf die Bildvorlage trifft
oder von optischen Mitteln auf diese geleitet wird, dass bei der Aufnahme ein
defektfreies oder zumindest defektreduziertes Bild entsteht.
14. Scanner nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die weiteren Be
leuchtungsmittel so angeordnet und aufgebaut sind, dass ihr Licht so auf die
Bildvorlage trifft, dass es nach dem Durchstrahlen von nicht defekten Stellen
der Bildvorlagen am optischen System der Aufnahmeeinrichtung vorbei
strahlt.
15. Scanner nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die weiteren Be
leuchtungsmittel LEDs aufweisen.
16. Scanner nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die LEDs Licht
einer von der Beleuchtungseinrichtung unterschiedlichen Wellenlänge ab
strahlen.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2000146354 DE10046354C1 (de) | 2000-09-19 | 2000-09-19 | Scanner und Verfahren zur Defekterkennung bei der elektronischen Bildverarbeitung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2000146354 DE10046354C1 (de) | 2000-09-19 | 2000-09-19 | Scanner und Verfahren zur Defekterkennung bei der elektronischen Bildverarbeitung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10046354C1 true DE10046354C1 (de) | 2002-01-03 |
Family
ID=7656799
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2000146354 Expired - Fee Related DE10046354C1 (de) | 2000-09-19 | 2000-09-19 | Scanner und Verfahren zur Defekterkennung bei der elektronischen Bildverarbeitung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE10046354C1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006035179B4 (de) * | 2006-07-29 | 2016-02-04 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät mit einer Beleuchtungseinrichtung zum Beleuchten eines Objektes |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11326224A (ja) * | 1998-03-15 | 1999-11-26 | Omron Corp | 検査方法及び検査装置 |
-
2000
- 2000-09-19 DE DE2000146354 patent/DE10046354C1/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11326224A (ja) * | 1998-03-15 | 1999-11-26 | Omron Corp | 検査方法及び検査装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006035179B4 (de) * | 2006-07-29 | 2016-02-04 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät mit einer Beleuchtungseinrichtung zum Beleuchten eines Objektes |
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