DE10045275A1

DE10045275A1 - Implantable measuring device, in particular pressure measuring device for determining the intracardial or intraluminal blood pressure

Info

Publication number: DE10045275A1
Application number: DE10045275A
Authority: DE
Inventors: Max Schaldach; Bernhard Doellgast; Gregor Niewalda
Original assignee: Biotronik Mess und Therapiegeraete GmbH and Co
Current assignee: Biotronik SE and Co KG
Priority date: 2000-07-22
Filing date: 2000-09-13
Publication date: 2002-01-31

Abstract

- Eine implantierbare Druckmeßvorrichtung umfaßt einen in der jeweiligen Körperhöhlung (4) positionierbaren, vorzugsweise katheterartigen Grundkörper (2), DOLLAR A - einen drucksensitiven Sensor (5) am Grundkörper (2), DOLLAR A - eine mit dem Sensor gekoppelte Signalleitung (13) zur Übertragung der dem zu erfassenden Druck entsprechenden, vom Sensor (5) generierten Meßsignale zu einer Meßsignal-Auswerteeinheit (14) der Druckmeßvorrichtung und DOLLAR A - ein mit dem Sensor (5) gekoppeltes Reinigungselement (6) in Form eines piezoelektrischen Aktuators, der durch elektrische Anregung über Versorgungsleitungen (13) in Vibrationen versetzbar ist, die auf den Sensor (5) zur Entfernung von Ablagerungen übertragbar sind.- An implantable pressure measuring device comprises a preferably catheter-like base body (2), DOLLAR A, which can be positioned in the respective body cavity (4), a pressure-sensitive sensor (5) on the base body (2), DOLLAR A - a signal line (13) coupled to the sensor Transmission of the measurement signals corresponding to the pressure to be detected and generated by the sensor (5) to a measurement signal evaluation unit (14) of the pressure measuring device and DOLLAR A - a cleaning element (6) coupled to the sensor (5) in the form of a piezoelectric actuator which is electrically controlled by Excitation via supply lines (13) can be set in vibrations, which can be transferred to the sensor (5) to remove deposits.

Description

Die Erfindung betrifft eine implantierbare Meßvorrichtung, insbesondere Druckmeßvorrichtung zur Bestimmung des intrakardialen oder intralumi nalen Blutdrucks, mit den im Oberbegriff des Anspruches 1 angegebenen Merkmalen.The invention relates to an implantable measuring device, in particular Pressure measuring device for determining the intracardiac or intralumi Nale blood pressure, with those specified in the preamble of claim 1 Features.

Zum Hintergrund der Erfindung ist am Beispiel einer implantierbaren Druckmeßvorrichtung festzuhalten, daß die Messung des intrakardialen oder intraluminalen - z. B. arteriellen - Blutdrucks in der Herzschrittma chertherapie von Bedeutung ist. Der mittlere arterielle Blutdruck beispiels weise ist ein physiologischer Parameter, mit dessen Hilfe die Stimulations rate eines ratenadaptiven Herzschrittmachers adaptierbar ist. Der intrakar diale Druckverlauf als weiteres Beispiel für die Anwendung von Druck messungen kann Aufschluß geben über die Tätigkeit der Herzklappen, den Kontraktionsablauf des Herzens und dessen Kontraktionsstärke. Derartige physiologische Parameter sind im Optimalfall permanent zu überwachen, da sie kontinuierlich als Eingangsgröße bei den verschiedensten Anwen dungsfällen benötigt werden können.For the background of the invention is the example of an implantable Pressure measuring device to record that the measurement of the intracardiac or intraluminal - e.g. B. arterial - blood pressure in cardiac pace chertherapy is important. The mean arterial blood pressure, for example wise is a physiological parameter with the help of which stimulation rate of a rate-adaptive pacemaker is adaptable. The intracar the pressure curve as another example of the application of pressure Measurements can provide information about the activity of the heart valves, the The contraction process of the heart and its contraction strength. such ideally, physiological parameters should be permanently monitored, since it is continuously used as an input variable for a wide variety of applications cases may be needed.

Ein dauerhafter Betrieb solcher implantierbarer Druckmeßvorrichtungen, wie z. B. elektromechanischer Druckmeßkatheter, ist bislang praktisch nicht möglich, da die Sensorflächen durch ihre andauernde Beaufschlagung durch den Blutstrom aufgrund der daran stattfindenden Thrombenbildung, Koagulierung und Endothelialisierung mit der Zeit überdeckt werden. Da durch nimmt ihre Sensitivität stark ab. Dies gilt beispielsweise auch für optisch arbeitende Sensoren, die durch Messung des Amplituden- Verhältnisses zweier Peaks im infraroten Strahlungsband die Blutsauer stoffsättigung ermitteln können, deren Meßeigenschaften durch die er wähnten Überdeckungsprozesse ebenfalls stark verschlechtert werden. Aus den vorstehenden Gründen werden implantierbare Meßsensoren und insbesondere Drucksensoren daher nur temporär eingesetzt.Permanent operation of such implantable pressure measuring devices, such as B. electromechanical pressure measurement catheter has so far not been practical possible because the sensor surfaces due to their constant exposure through the blood flow due to the thrombus formation taking place there, Coagulation and endothelialization are covered over time. because through their sensitivity decreases significantly. This also applies to, for example optically working sensors, which by measuring the amplitude Ratio of two peaks in the infrared radiation band the blood acid can determine saturation, the measurement properties of which he mentioned coverage processes are also greatly deteriorated. For the above reasons, implantable measuring sensors and pressure sensors in particular are therefore only used temporarily.

Aus dem Stand der Technik sind in grundsätzlichem Zusammenhang mit intrakorporal implantierten Kathetern bereits Maßnahmen zur Beseitigung von Verunreinigungen aufgrund des Blutstromes bekannt. So offenbart die US-A-4698058 ein Perfusionskatheter, dessen flüssigkeitsführendes Lumen mittels Ultraschall gereinigt wird. Die Schallwellen werden dabei über ein weiteres, die innere Katheterröhre mit dem zu reinigenden Lumen aufneh mendes zweites Lumen eingestrahlt. Perfusionskatheter werden allerdings üblicherweise nur temporär implantiert. Die sich in ihrem Lumen absetzen den Verunreinigungen beruhen in erster Linie auf die unterschiedlichen chemischen oder bluthaltigen Flüssigkeiten, die in beiden Richtungen durch den Katheter geleitet werden.From the state of the art are basically related to Intracorporeally implanted catheters already have measures to eliminate them of contaminants due to blood flow. So the reveals US-A-4698058 a perfusion catheter, the fluid-carrying lumen is cleaned by ultrasound. The sound waves are over one further, take up the inner catheter tube with the lumen to be cleaned irradiating second lumen. Perfusion catheters, however usually only temporarily implanted. That settle in their lumen the contaminants are based primarily on the different ones chemical or blood-containing liquids that flow in both directions the catheter.

Die US-A-4 509 947 offenbart die Reinigung einer implantierte Medika menten-Infusionspumpe mittels Ultraschall. Dabei werden jedoch keine durch den Kontakt der Infusionspumpe mit Körperflüssigkeiten entstande ne Ablagerungen entfernt, sondern mögliche Auskristallisierungen des Me dikamenten-Reservoirs abgetragen.US-A-4 509 947 discloses cleaning an implanted medicament infusion pump using ultrasound. However, none caused by the contact of the infusion pump with body fluids ne deposits removed, but possible crystallization of the Me dicament reservoirs removed.

Ersichtlich betreffen die Ultraschall-Reinigungsvorrichtungen gemäß den genannten Druckschriften nicht die Problematik der Verunreinigung dauer haft implantierter Katheter durch Blut. Die Druckschriften stellen somit lediglich technologischen Hintergrund dar.Obviously, the ultrasonic cleaning devices according to the mentioned publications do not last the problem of contamination imprisoned implanted catheter through blood. The publications therefore represent only represent technological background.

Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, eine implantierbare Meß vorrichtung so auszurüsten, daß sie dauerhaft in einer Körperhöhlung posi tionierbar ist, die ein zu Ablagerungen auf dem Sensor der Meßvorrichtung führendes Körpermedium leitet oder beinhaltet.The invention is based on the object of an implantable measurement to equip the device so that it permanently posi in a body cavity It is possible to deposit on the sensor of the measuring device leading body medium conducts or contains.

Diese Aufgabe wird durch die im Kennzeichnungsteil des Anspruches 1 angegebenen Merkmale gelöst. Demnach ist ein mit dem Sensor gekoppel tes Reinigungselement in Form eines piezoelektrischen, vorzugsweise pie zokeramischen Aktuators vorgesehen, der durch elektrische Anregung über Versorgungsleitungen in Vibrationen versetzbar ist. Diese übertragen sich auf den Sensor, versetzen diesen in mechanische Schwingungen und ent fernen dadurch die Ablagerungen. Der Reinigungsprozeß kann dabei in regelmäßigen Abständen oder bei Bedarf durchgeführt werden. Entspre chend können auch die Frequenz und die Amplitude des Vibrationssignals entweder vorbestimmt oder automatisch nach dem Grad der Verschmut zung oder nach dem Reinigungserfolg optimiert werden. Verschmutzung bzw. Reinigungserfolg sind anhand der elektrischen, optischen oder me chanischen Eigenschaften des Meßsensors ermittelbar.This object is achieved by the in the characterizing part of claim 1 specified features solved. Accordingly, one is coupled to the sensor tes cleaning element in the form of a piezoelectric, preferably pie Ceramic actuator provided by electrical excitation Supply lines can be vibrated. These are transferred on the sensor, set it in mechanical vibrations and ent this removes the deposits. The cleaning process can be done in be carried out at regular intervals or as required. Entspre The frequency and the amplitude of the vibration signal can also be adjusted accordingly either predetermined or automatically based on the degree of pollution tion or after the cleaning success. pollution or cleaning success are based on the electrical, optical or me mechanical properties of the measuring sensor can be determined.

Als bevorzugte Ausführungsform für den Aktuator des Reinigungselemen tes haben sich flache, quader- oder scheibenförmige Plattenelemente aus Piezokeramik erwiesen, deren Flachseiten zumindest teilweise mit elek trisch leitenden Kontaktflächen für den Anschluß der Versorgungsleitungen belegt sind. Vorzugsweise liegt dann ein solcher Aktuator flächig an dem zu reinigenden Sensor an, damit eine möglichst optimale Übertragung der reinigenden Vibrationen erfolgt. As a preferred embodiment for the actuator of the cleaning element tes have flat, cuboid or disc-shaped plate elements Piezoceramic proven, the flat sides at least partially with elec trically conductive contact surfaces for the connection of the supply lines are occupied. Such an actuator then preferably lies flat on the sensor to be cleaned so that the best possible transmission of the cleaning vibrations occurs.

Da bei Druckmeß-Kathetern selbst vor allem piezokeramische Elemente als drucksensitive Sensoren verwendet werden, liegt eine besonders bevor zugte Ausführungsform der Erfindung darin, daß drucksensitiver Sensor und Aktuator gemeinsam durch ein einheitliches Piezokeramik-Platten element gebildet sind. Demzufolge können dann auch die Signalleitung und die Versorgungsleitung durch ein einziges gemeinsames Leitungspaar ge bildet sein, das sowohl mit der Meßsignal-Auswerteeinheit für die Drucker fassung als auch mit einer Ansteuerschaltung für die Vibrationsansteuerung des Plattenelementes verbunden ist.Because in the case of pressure measuring catheters themselves, especially piezoceramic elements pressure-sensitive sensors are used, one is particularly important drafted embodiment of the invention in that pressure-sensitive sensor and actuator together through a uniform piezoceramic plate element are formed. As a result, the signal line and the supply line through a single common line pair ge forms, both with the measurement signal evaluation unit for the printer version as well as with a control circuit for the vibration control of the plate element is connected.

Gemäß bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung ist es zur Optimie rung der Reinigungswirkung vorgesehen, die Vibrationsfrequenz des Ak tuators auf dessen Eigenresonanzfrequenz in Längs- oder Dickenrichtung abzustimmen. Ferner kann der Aktuator mit Mikrokanälen zur Erzeugung von Mikro-Gas-Blasen oder -Flüssigkeits-Strömungen versehen sein. Diese wie Düsen wirkenden Mikrokanäle arbeiten nach der gleichen Funktions weise wie der Druckkopf eines Tintenstrahldruckers und bedürfen daher keiner detaillierten Erläuterung.According to preferred embodiments of the invention, it is for optimization tion of the cleaning effect provided, the vibration frequency of the Ak tuators on its natural resonance frequency in the longitudinal or thickness direction vote. Furthermore, the actuator can have microchannels for generation be provided by micro gas bubbles or liquid flows. This Microchannels acting like nozzles work according to the same function wise as the printhead of an inkjet printer and therefore need no detailed explanation.

Schließlich kann zur optimierten Energieversorgung der implantierbaren Meßvorrichtung im Hinblick auf eine möglichst unbegrenzte Funktions dauer die induktive Einkopplung der für die Erzeugung der Vibrationen des Aktuators notwendigen elektrischen Energie über eine Antenne vorgesehen sein. Letztere kann im Implantat, in dessen sogenannten Header, in der Zuleitung zum Sensor oder am Sensor selbst sitzen.Finally, the implantable Measuring device with regard to a function as unlimited as possible duration the inductive coupling of the for the generation of the vibrations of the Actuator necessary electrical energy is provided via an antenna his. The latter can be in the implant, in its so-called header, in the Connect the cable to the sensor or on the sensor itself.

Weitere Merkmale, Einzelheiten und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung, in der ein Ausführungsbeispiel an hand der beigefügten Zeichnungen näher erläutert wird.Further features, details and advantages of the invention emerge from the following description in which an embodiment hand is explained in more detail by the accompanying drawings.

Es zeigen:Show it:

Fig. 1 eine schematische perspektivische Darstellung einer dauerhaft zu implantierenden Herzschrittmachers mit einem davon ausgehenden Druckmeßkatheter, und Fig. 1 is a schematic perspective view of a cardiac pacemaker to be permanently implanted with a pressure measuring catheter emanating therefrom, and

Fig. 2 eine schematische perspektivische Darstellung eines Piezokeramik- Plattenelements, wie es als selbstreinigender Drucksensor im Ka theter gemäß Fig. 1 zum Einsatz kommt. Fig. 2 is a schematic perspective view of a piezoceramic plate element as it is used as a self-cleaning pressure sensor in Ka theter shown in FIG. 1.

In Fig. 1 ist ein Herzschrittmacher 1 erkennbar, der dauerhaft im Körper eines Patienten implantierbar ist. Er ist vom Typ eines ratenadaptiven Schrittmachers, dessen Stimulationsrate über den mittleren arteriellen Blut druck als physiologischer Parameter eingestellt wird. Zu dessen Ermittlung ist mit dem Herzschrittmacher I ein Katheter 2 gekoppelt, dessen distales Ende 3 in der punktiert angedeuteten Arterie 4 positionierbar ist. Am di stalen Ende 3 des Katheters 2 ist ein selbstreinigender Drucksensor 5 ange ordnet, der den in der Arterie 4 herrschenden Druck erfaßt.In Fig. 1, a cardiac pacemaker 1 can be seen which is permanently implanted in the body of a patient. It is of the type of a rate-adaptive pacemaker, whose stimulation rate is set as a physiological parameter via the mean arterial blood pressure. To determine this, a catheter 2 is coupled to the pacemaker I, the distal end 3 of which can be positioned in the artery 4 indicated by a dotted line. At the di stalen end 3 of the catheter 2 , a self-cleaning pressure sensor 5 is arranged, which detects the pressure prevailing in the artery 4 .

Wie aus Fig. 2 deutlich wird, besteht dieser Drucksensor 5 aus einem flachquaderförmigen Piezokeramik-Plattenelement 6, dessen beiden Flach seiten 7, 8 mit einer Kontaktschicht 9, 10 beispielsweise aus Silber belegt sind. An diese Kontaktschichten 9, 10 sind jeweils ein Leitungsdraht 11, 12 eines Leitungspaars 13 (Fig. 1) durch Löten ankontaktiert, das einerseits mit einer Meßsignalauswerteeinheit 14 und andererseits einer Ansteuer schaltung 15 zur Erzeugung einer hochfrequenten Wechselspannung zwi schen den beiden Leitungsdrähten 11, 12 verbunden ist.As is clear from Fig. 2, this pressure sensor 5 consists of a flat cuboid-shaped piezoceramic plate element 6 , the two flat sides 7 , 8 are coated with a contact layer 9 , 10, for example made of silver. At these contact layers 9 , 10 each have a lead wire 11 , 12 of a line pair 13 ( Fig. 1) contacted by soldering, the one hand with a measurement signal evaluation unit 14 and the other a control circuit 15 for generating a high-frequency AC voltage between the two lead wires 11 , 12th connected is.

Das Piezo-Plattenelement 6 dient - wie erwähnt - einerseits als Drucksen sor, da der auf das Plattenelement ausgeübte Druck zu einer repräsentativen Spannung zwischen den beiden Kontaktschichten 9, 10 führt, die von der Meßsignal-Auswerteeinheit 14 erfaßbar und in einen entsprechenden Druckwert umsetzbar ist. Gleichzeitig dient das Piezokeramik-Platten element 6 auch als Reinigungselement in Form eines piezokeramischen Aktuators, der durch die von der Ansteuerschaltung 15 zur Verfügung ge stellte, hochfrequente Wechselspannung in Vibrationen versetzt wird, die zu einer Entfernung von Ablagerungen auf dem Plattenelement 6 sorgen. Die Energie für diese hochfrequente Wechselspannung wird induktiv von außen auf den Herzschrittmacher 1 durch ein elektromagnetisches Wech selfeld übertragen, das von der mit der Ansteuerschaltung 15 gekoppelten Antenne 16 im Herzschrittmacher 1 empfangen wird. Die Frequenz der Wechselspannung liegt im Bereich der Eigenfrequenz des Piezokeramik- Plattenelementes 6 und damit in der Größenordnung von kHz. Durch eine Anpassung der Anregungsfrequenz an die Eigenresonanzfrequenz des Plattenelementes 6 ist eine besonders intensive Schwingungsanregung des Plattenelementes 6 möglich. Zur einfacheren Ansteuerung und adaptiven Nachführung der Schwingungsanregung kann ein Teil der Kontaktschicht 9, 10 als Rückkoppelungselektrode 18 ausgebildet sein, deren Signal über ein zusätzliche Leitung 19 der Ansteuerschaltung 15 zugeführt wird (Fig. 2). Dies führt ebenso zu einer Optimierung des Reinigungseffektes, wie die Auslegung des Plattenelementes 6 als Mehrschichtaufbau. The piezo plate element 6 serves, as mentioned, on the one hand as a pressure sensor, since the pressure exerted on the plate element leads to a representative voltage between the two contact layers 9 , 10 , which can be detected by the measurement signal evaluation unit 14 and converted into a corresponding pressure value , At the same time, the piezoelectric ceramic plates 6 serves element as a cleaning element in the form of a piezo ceramic actuator which presented by the ge from the driving circuit 15 is available, high frequency AC voltage is vibrated, which provide a removal of deposits on the plate member. 6 The energy for this high-frequency AC voltage is transmitted inductively from the outside to the pacemaker 1 by an alternating electromagnetic field, which is received by the antenna 16 coupled to the control circuit 15 in the pacemaker 1 . The frequency of the AC voltage is in the range of the natural frequency of the piezoceramic plate element 6 and thus in the order of kHz. By adjusting the excitation frequency of the natural resonant frequency of the plate member 6 a particularly intense vibration excitation of the plate element 6 is possible. For easier control and adaptive tracking of the vibration excitation, part of the contact layer 9 , 10 can be designed as a feedback electrode 18 , the signal of which is fed to the control circuit 15 via an additional line 19 ( FIG. 2). This also leads to an optimization of the cleaning effect, as does the design of the plate element 6 as a multilayer structure.

Zur weiteren Verbesserung kann das Piezokeramik-Plattenelement 6 - wie in Fig. 2 angedeutet - mit Mikrokanälen 17 versehen sein, die bei einer Schwingungsanregung des Plattenelementes 6 zusätzlich für ein impulsarti ges Ausstoßen von Gasblasen oder Flüssigkeits-Jets sorgen. Dies wirkt auf Anlagerungen auf dem Plattenelement 6 weiter stark ablösend.To further improve the piezoceramic plate element 6 - as indicated in FIG. 2 - can be provided with microchannels 17 , which additionally provide impulsarti ejection of gas bubbles or liquid jets when the plate element 6 is excited by vibration. This has a strong detaching effect on deposits on the plate element 6 .

Vorversuche mit piezokeramischen Aktuatoren in Form von Plattenele menten mit einer Fläche von 5 mm × 5 mm und Dicken von 0,2 mm, 0,5 mm und 1 mm haben bei zwei unterschiedlichen Keramikmaterialien abge schätzte planare oder längsgerichtete Eigenresonanzfrequenzen zwischen etwa 10 kHz und 15 kHz ergeben. Diese mit vollflächigen Silberelektroden und angelöteten Kupferlackdraht versehenen Plattenelemente wurden für jeweils 15 Minuten, 1 Stunde, 24 Stunden und 4 Tagen in Rinderblut bei 37°C gelagert. Es bildeten sich dadurch je nach Lagerdauer und Materialart Ablagerungen in Form von Koagulationsschichten bis hin zu Fibrin- und Thrombenbildung auf den Plättchen.Preliminary tests with piezoceramic actuators in the form of plate elements elements with an area of 5 mm × 5 mm and thicknesses of 0.2 mm, 0.5 mm and 1 mm have abge with two different ceramic materials estimated planar or longitudinal natural resonance frequencies between about 10 kHz and 15 kHz. These with full-surface silver electrodes and soldered copper wire plate elements were made for 15 minutes, 1 hour, 24 hours and 4 days each in bovine blood Stored at 37 ° C. This formed depending on the duration of storage and the type of material Deposits in the form of coagulation layers up to fibrin and Thrombus formation on the platelets.

Zur Selbstreinigung wurden anschließend diese Plättchen mit einer Sinus spannung im Bereich der oben angegebenen Frequenzen und einer Ampli tude von 5 Volt bis 15 Volt angesteuert. Im Ergebnis betrug die Vibrations dauer, mit der unter den geschilderten Umständen eine effektive Reinigung erzielt werden konnte, zwischen 30 Sekunden und 300 Sekunden je nach Art des Piezoelementes und dessen Lagerdauer. Die Elemente mit einer Schichtdicke von 0,2 mm wiesen dabei gegenüber den dickeren Elementen bessere Eigenschaften, nämlich in erster Linie kürzere Reinigungsdauern auf, was an der aufgrund der geringeren Dicke höheren Feldstärke liegen dürfte. These plates were then cleaned with a sine for self-cleaning voltage in the range of the above frequencies and an ampli tude controlled from 5 volts to 15 volts. As a result, the vibration was duration, with the effective cleaning under the circumstances described could be achieved between 30 seconds and 300 seconds depending Type of the piezo element and its storage period. The elements with one Layer thickness of 0.2 mm showed compared to the thicker elements better properties, primarily shorter cleaning times on what is due to the higher field strength due to the smaller thickness likely.

Bei den oben erwähnten, für die Vorversuche ausgewählten piezokerami schen Aktuatoren liegen im übrigen die Dickeneigenfrequenzen im Bereich von etwa 2 MHz bis 10 MHz. Bei einer Anregung des Aktuators in diesem Frequenzbereich sind zusätzlich Kavitationseffekte zu erwarten, die zu ei ner intensiven Reinigung der Aktuatoren beitragen.At the above-mentioned piezokerami selected for the preliminary tests Actuators are in the rest of the thickness natural frequencies in the range from about 2 MHz to 10 MHz. When the actuator is excited in this Frequency range, additional cavitation effects are expected to ei contribute to an intensive cleaning of the actuators.

Claims

1. Implantable measuring device, in particular pressure measuring device for determining the intracardial or intraluminal blood pressure, comprehensively
a base body ( 2 ) that can be positioned in the respective body cavity ( 4 ), preferably catheter-like,
a measurement-sensitive sensor ( 5 ) on the base body ( 2 ), and
a signal line ( 13 ) coupled to the sensor for transmitting the measurement signals generated by the sensor ( 5 ) and corresponding to the measurement value to be recorded to a measurement signal evaluation unit ( 14 ) of the measurement device,
marked by
a cleaning element ( 6 ) coupled to the sensor ( 5 ) in the form of a piezoelectric, preferably piezoceramic actuator, which can be set into vibrations by electrical excitation via supply lines ( 13 ) and which can be transferred to the sensor ( 5 ) to remove deposits.

2. Measuring device according to claim 1, characterized in that the actuator is a flat plate element ( 6 ) made of piezoceramic, the flat sides ( 7 , 8 ) at least partially with electrically conductive contact surfaces ( 9 , 10 ) for the supply lines ( 13 ) are occupied ,

3. Measuring device according to claim 2, characterized in that at least one contact surface ( 9 ) with a control circuit ( 15 ) for the vibration control of the plate element ( 6 ) connected to the feedback electrode ( 18 ) is divided.

4. Measuring device according to one of claims 1 to 3, characterized records that the actuator lies flat against the sensor.

5. Measuring device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the sensor designed as a pressure sensor and the actuator are formed together by a uniform piezoceramic plate element ( 6 ) ge.

6. Measuring device according to claim 5, characterized in that the signal line and the supply line are formed by a common Lei line pair ( 13 ) with the measurement signal evaluation unit ( 14 ) and a control circuit ( 15 ) for the vibration control of the piezoceramic plate element ( 6 ) is connected.

7. Measuring device according to one of claims 1 to 6, characterized in that the vibration frequency of the actuator ( 6 ) corresponds to the resonance frequency Eigenre.

8. Measuring device according to one of claims 1 to 7, characterized in that the actuator ( 6 ) is provided with micro-channels ( 17 ) for generating micro-gas or liquid flows.

9. Measuring device according to one of claims 1 to 8, characterized in that the electrical energy required for generating the vibrations of the actuator ( 6 ) can be inductively coupled via an antenna ( 16 ).