DE10038125A1 - Polymer, an dem eine Nanoröhre kovalent gebunden ist, Mikroelektronisches Bauelement aufweisend ein Polymer, und Verfahren zum Binden einer Nanoröhre an einem Polymer - Google Patents

Polymer, an dem eine Nanoröhre kovalent gebunden ist, Mikroelektronisches Bauelement aufweisend ein Polymer, und Verfahren zum Binden einer Nanoröhre an einem Polymer

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Abstract

Ein Verfahren zum Binden einer Nanoröhre an einem Polymer weist folgende Schritte auf: DOLLAR A È Derivatisieren eines Endes der Nanoröhre mit einer chemisch reaktiven Gruppe; DOLLAR A È Reaktion der so derivatisierten Nanoröhre mit einem Polymer, derart, dass zwischen der Nanoröhre und dem Polymer über die chemisch reaktive Gruppe eine kovalente Bindung gebildet wird.

Description

Die Erfindung betrifft Nanoröhren. Insbesondere betrifft die Erfindung Nanoröhren, die an leitfähige Polymere gebunden sind.
Kohlenstoff-Nanoröhren sowie Verfahren zu deren Herstellung sind aus [1] bekannt. Eine typische Single Wall-Nanoröhre hat einen Durchmesser von ungefähr 1 nm, wobei die Länge einer Nanoröhre mehrere hundert Nanometer betragen kann. Die Enden einer Nanoröhre sind typischerweise mit jeweils einem halben Fullerenmolekülteil gekappt.
Kohlenstoff-Nanoröhren sind aromatische Strukturen. Ihr ausgedehntes π-Elektronensystem zusammen mit ihrer typischen Geometrie verleiht den Nanoröhren eine elektrische Leitfähigkeit, die sie als besonders geeignet für den Aufbau von Nanoschaltkreisen erscheinen lassen. Mehrere Grundsatzexperimente haben die Steuerbarkeit dieser Leitfähigkeit der Nanoröhren belegt. Bislang hat man dem Durchmesser und der Chiralität einer Nanoröhre eine wichtige Rolle für den Charakter der Leitfähigkeit zuerkannt.
Weiterhin ist es bekannt, durch Dotierung einer Kohlenstoff- Nanoröhre mit Bornitrid die Leitfähigkeit herabzusetzen [2].
Die Leitfähigkeit der Nanoröhre kann weiterhin durch Anlegen eines elektrischen Feldes beeinflusst werden (sogenannter Feldeffekt), wie es in [3] beschrieben worden ist.
Aufgrund der Leitfähigkeit von Nanoröhren sowie aufgrund der Steuerbarkeit dieser Leitfähigkeit in der oben genannten Weise werden Nanoröhren für eine große Anzahl von Anwendungen diskutiert, zum Beispiel für die Verbindungstechnik in integrierten Schaltkreisen, für Bauelemente in der Mikroelektronik sowie für Elektronen-Emitter.
Problematisch bei der Untersuchung der Leitfähigkeit von Nanoröhren ist, dass die elektrische Kontaktierung von Nanoröhren oft schwierig und nicht reproduzierbar ist. Dies führt dazu, dass die bei den Untersuchungen ermittelten Messergebnisse oft kaum eine verlässliche Aussagekraft besitzen.
Es besteht daher das Bedürfnis, die Kontaktierung zwischen einer Nanoröhre und einem Substrat in einer solchen Weise sicherzustellen, dass ein sich daraus ergebender Messwert für die elektrische Leitfähigkeit der Nanoröhre reproduzierbar wird.
Somit liegt der Erfindung das Problem zugrunde, eine sichere Bindung zwischen einer Nanoröhre und einem Substrat zu schaffen, die eine reproduzierbare Kontaktierung der Nanoröhre gewährleistet, und daher zuverlässige elektrische Messergebnisse ermöglicht.
Das Problem wird gelöst durch ein Polymer, an dem eine Nanoröhre kovalent gebunden ist, ein Mikroelektronisches Bauelement aufweisend ein Polymer, und ein Verfahren zum Binden einer Nanoröhre an einem Polymer mit den Merkmalen gemäß den unabhängigen Patentansprüchen.
Bei einem Verfahren zum Binden einer Nanoröhre an einem Polymer wird in einem ersten Schritt ein Ende der Nanoröhre mit einer chemisch reaktiven Gruppe versehen und in einem zweiten Schritt die so derivatisierte Nanoröhre mit einem Polymer derart in umgesetzt, dass zwischen der Nanoröhre und dem Polymer über die chemisch reaktive Gruppe eine kovalente Bindung gebildet wird.
Das oben genannte Substrat kann ein elektrisch leitfähiges Polymer sein. Solche elektrisch leitfähigen Polymere zeichnen sich dadurch aus, dass sie eine konjugierte Anordnung von Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindungen besitzen. Hierfür sind im Rahmen der Erfindung typische Beispiele Polypyrrol, Polyphenylen, Polythiophen oder Polyacetylen.
Die Nanoröhre kann beispielsweise eine Kohlenstoff-Nanoröhre oder eine mit Bornitrid dotierte Nanoröhre sein.
Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung erfolgt das Bilden einer kovalenten Bindung zwischen der Nanoröhre und dem leitfähigem Polymer durch eine Friedel-Crafts-Reaktion. Zu diesem Zweck kann das Derivatisieren der Nanoröhre durch Oxidation der Nanoröhre d. h. durch oxidierende Säuren oder Halogene erfolgen.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung kann das Oxidieren der Nanoröhre mit starker Säure erfolgen, beispielsweise mit Salpetersäure, Schwefelsäure, Chromsäure, Carosche Säure, Perhalogensäuren, organische Persäuren oder eine Kombination davon, sodass eine Carboxylgruppe an dem derivatisierten Ende der Nanoröhre gebildet wird.
Die so erzeugten Carboxylgruppen können dann durch Umsetzen mit einem zu diesem Zweck geeigneten Reagenz in das entsprechenden Säurehalogenid konvertiert werden. Hierbei ist die Umwandlung zum entsprechenden Säurechloridam günstigsten, was beispielsweise durch Umsetzen der mit der Carboxylgruppen derivatisierten Nanoröhre mit SOCl2, PCl3, PCl5, CCl4 und Ph3P, PhCOCl, ClCOCOCl oder Cl2CHOMe erfolgen kann.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung kann alternativ hierzu die underivatisierte Nanoröhre durch Umsetzung mit einem stark chlorierend wirkenden Mittel zur chlorierten Nanoröhre direkt umgesetzt werden. Als Beispiele solcher chlorierend wirkenden Reagenzien kann zu diesem Zweck Cl2, (Cl2 und H2O), SO2Cl2, CuCl2, (TiCl4 und CF3CO3H), JCl3 oder (NaOCl und HOAc) verwendet werden. Alternativ dazu kann das direkte Chlorieren der Nanoröhre durch Chlorelektrolyse in Gegenwart der Nanoröhre erfolgen.
Die Nanoröhre, die entweder zum Säurechlorid umgesetzt oder mit Chlor wie oben beschrieben derivatisiert worden ist, kann dann mit einem Metallhalogenid als Friedel-Crafts-Katalysator der allgemeinen Formel MXn in Gegenwart eines leitfähigen Polymers weiter zur Reaktion gebracht werden. Hierbei ist M ein Metall, X ist ein Halogenatom und 1 ≦ n ≦ 5.
In diesem Zusammenhang kommen solche Halogenide in Betracht, die als Lewissäure wirken. Bevorzugte Metalle (M) zu diesem Zweck sind beispielsweise Aluminium, Eisen, Bor, Zink, Zirkonium, Antimon, Zinn oder Gallium. Hierbei sind als MXn- Verbindungen AlCl3, GaCl3, FeCl3, SbCl5, ZrCl4, SnCl4, SnCl2, BF3, BCl3, oder SbCl3 bevorzugt.
Für dem Fall, dass die Nanoröhre mit einer Säurechloridgruppe derivatisiert worden ist, wird die Nanoröhre durch eine solche Behandlung über eine Carbonylgruppe an den Polymer kovalent gebunden.
Für den Fall, dass die Nanoröhre mit einem Chloratom derivatisiert worden ist, wird die Nanoröhre durch die obige Behandlung direkt an den Polymer kovalent gebunden, ohne dass es einer chemische Gruppe als Brückenglied zwischen der Nanoröhre und dem elektrisch leitfähigen Polymerbedarf.
In dieser Weise wird eine feste Bindung zwischen der Nanoröhre und dem elektrisch leitfähigen Polymer gebildet, so dass eine sichere, reproduzierbare elektrische Kontaktierung zwischen der Nanoröhre und dem Polymer gewährleistet wird.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung wird eine kovalente Bindung zwischen der Nanoröhre und dem Polymer mit Hilfe einer Grignard-Reaktiongebildet.
Gemäß dieser Ausgestaltung kann die Nanoröhre, wie oben beschrieben, chloriert oder alternativ durch Umsetzung mit beispielweise Br2-Dampf, (Br2 und CCl4) oder (Br2 und CS2) bromiert werden.
Alternativ kann die Nanoröhre auch durch Bromelektrolyse bromiert werden.
Durch Umsetzung der so chlorierten oder bromierten Nanoröhren mit metallischem Magnesium in trockenem Lösungsmittel, wird die entsprechende, als Grignard-Reagenz reaktive Magnesiumchlorid-Nanoröhre oder Magnesiumbromid-Nanoröhre gebildet.
Wasserfreies Inkontaktbringen eines solchen Grignard-Reagenzes mit einem elektrisch leitfähigen Polymer, das im voraus mit zum Beispiel Aldehydgruppen derivatisiert worden ist, und nachfolgende Aufarbeitung mit Wasser und zum Beispiel wässrigem HCl, ergibt ein Produkt, bei dem die Nanoröhre über eine sekundäre Alkoholgruppe mit dem elektrisch leitfähigen Polymer kovalent gebunden ist.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung kann das elektrisch leitfähige Polymer durch vorherige Behandlung mit starker Säure wie zum Beispiel Salpetersäure, Schwefelsäure, Chromsäure, Carosche Säure, Perhalogensäuren, organischen Persäuren oder Kombinationen davon carboxyliert werden.
Anschließendes Reduzieren zum entsprechenden Polymer-Aldehyd kann beispielsweise durch Umsetzen des carboxylierten Polymers mit einem Reduktionsmittel, das zur partiellen Reduktion zum entsprechenden Aldehyd geeignet ist, erfolgen. Als Reduktionsmittel sind Aluminum-Hydride bevorzugt, wie beispielsweise LiAlH4, LiAlH(OEt)3, LiAlH(Otert-But)3, oder LiAlH2(iBu)2. Alternativ dazu kann Tri-n-butylzinnhydrid zu diesem Zweck verwendet werden.
Durch das kovalente Binden einer Nanoröhre über eine sekundäre Alkoholgruppe an dem elektrisch leitfähigen Polymer wird ebenfalls wie zuvor beschrieben eine feste elektrische Kontaktierung zwischen der Nanoröhre und dem elektrisch leitfähigen Polymer gewährleistet, so dass elektrische Messungen hinsichtlich der Leitfähigkeit der Nanoröhre reproduzierbar und relevant sind.
Ein Polymer ist mit einer Nanoröhre kovalent gebunden. Das Polymer kann elektrisch leitfähig sein. Als elektrisch leitfähiges Polymer kann beispielsweise Polypyrrol, Polyphenylen, Polythiophen oder Polyacetylen verwendet werden.
Ein mikroelektronisches Bauelement weist ein Polymer auf, an dem eine Nanoröhre kovalent gebunden ist. Die Nanoröhre kann direkt oder über eine Carboxylgruppe an dem Polymer gebunden sein. Das Polymer des mikroelektronischen Bauelements kann ein elektrisch leitfähiges Polymer sein, wobei das elektrisch leitfähige Polymer Polypyrrol, Polyphenylen, Polythiophen oder Polyacetylen sein kann.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden im weiteren näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1a bis 1d eine schematische Darstellung einer Nanoröhre, die über einer Carboxylgruppe an einem elektrisch leitfähigen Polymer gemäß einer Ausführungsform der Erfindung kovalent gebunden wird.
Fig. 2a bis 2g: eine schematische Darstellung der kovalenten Bindung einer Nanoröhre an einem elektrisch leitfähigen Polymet gemäß weiteren Ausführungsformen der Erfindung.
Fig. 1a zeigt eine underivatisierte Nanoröhre 100.
Die Nanoröhre 100 wird durch Umsetzen mit starker Säure, hier mit Salpetersäure an dem Längsende mit einer Carboxylgruppe 101 derivatisiert.
Das Produkt ist in Fig. 1b gezeigt. Die Reaktivität der Enden einer Nanoröhre 100 gegenüber Derivatisieren ist höher als die Reaktivität der dazwischenliegenden Längsflächen der im wesentlichen zylinderförmigen Nanoröhre.
Umsetzen dieser Carboxylgruppe mit SOCl2 ergibt die entsprechende Säurechloridgruppe 102. Alternativ zu SOCl2 kann beispielsweise COCl2, PCl3, PCl5, CCl4 und Ph3P, PhCOCl, ClCOCOCl oder Cl2CHOMe verwendet werden.
Das Säurechlorid-Produkt ist in Fig. 1c gezeigt.
Das in Fig. 1c dargestellte Säurechlorid-Produkt kann mit Hilfe einer Lewissäure wie zum Beispiel AlCl3 weiter umgesetzt werden.
Alternativ hierzu kommen andere Lewissäuren wie beispielsweise GaCl3, FeCl3, SbCl5, ZrCl4, SnCl4, SnCl2, BCl3, oder SbCl3 in Betracht.
Hierbei wird auf bekannte Weise die Elektrophilizität des Kohlenstoff-Atoms der Säurechloridgruppe bei einer Reaktion mit Nukleophilen oder mit Elektronen in Doppelbindungenerhöht.
Das elektrisch leitfähige Polymer 103 stellt einen solchen Ort erhöhter Elektronendichte dar, an den auf bekannte Weise dann der Carbonyl-Kohlenstoff der Säurechloridgruppe 102 angreift. Hierdurch wird unter Abspalten des Chloratoms der Säurechloridgruppe eine kovalente Bindung zwischen dem Carbonyl-Kohlenstoff und einem Kohlenstoffatom des elektrisch leitfähigen Polymers gebildet.
Somit wird, wie in Fig. 1d gezeigt, die Nanoröhre 100 über einer Carbonylgruppe 104 mit dem elektrisch leitfähigen Polymer 103 kovalent gebunden, so dass eine feste Kontaktierung der Nanoröhre 100 mit dem elektrisch leitfähigen Polymer 103 gewährleistet ist (= Friedel-Crafts-Acylierung).
Fig. 2a zeigt die underivatisierte Nanoröhre 200.
Die underivatisierte Nanoröhre 200 wird durch Umsetzen mit Cl2 zu einer Nanoröhre konvertiert, an deren Enden mindestens ein Chloratom 201 aufgebracht ist.
Ein solches mit Chlor derivatisiertes Produkt ist in Fig. 2b gezeigt.
Alternativ hierzu könnte die Nanoröhre auch durch Umsetzen mit Br2 zu dem entsprechenden, an seinem Enden mit Brom derivatisierten Produkt konvertiert werden.
Fig. 2c zeigt das Ergebnis der Umsetzung einer solchen mit einem Chloratom 201 derivatisierten Nanoröhre 200 mit einem elektrisch leitfähigen Polymer 203 in Gegenwart einer Lewissäure, wie zum Beispiel AlCl3.
Alternative hierzu können andere Lewissäuren wie beispielsweise GaCl3, FeCl3, SbCl5, ZrCl4, SnCl4, SnCl2, BCl3, oder SbCl3 zu diesem Zweck verwendet werden.
Wie aus Fig. 2c ersichtlich, wird die aufgrund der Friedel- Crafts-Reaktion gebildete Bindung zwischen der Nanoröhre 200 und dem elektrisch leitfähigen Polymer 203 unmittelbar, dass heißt ohne verbrückende chemische Gruppe, zwischen der Nanoröhre 200 und dem elektrisch leitfähigen Polymer 203 gebildet (= Friedel-Crafts-Alkylierung).
Eine solche direkte Verbindung zwischen der Nanoröhre 200 und dem elektrisch leitfähigen Polymer 203 ist hinsichtlich der festen, beständigen Kontaktierung für elektrische Messungen besonders vorteilhaft.
Fig. 2d zeigt den Fall, dass die mit dem Chloratom 201 an ihrem Ende derivatisierte Nanoröhre 200 unter wasserfreien Bedingungen mit Magnesium-Metall umgesetzt wird, so dass das entsprechende Magnesiumchlorid-Grignard-Reagenz gebildet wird. Für den Fall, dass die Nanoröhre 200 mit Brom derivatisiert wurde, wird statt das Magnesiumchlorid-Grignard-Produkt das Magnesiumbromid-Grignard-Produkt gebildet.
Fig. 2e zeigt die von Fig. 2a, Fig. 2b und Fig. 2d getrennte Reaktionsabfolge, bei der das elektrisch leitfähige Polymer 203 zunächst mit starker Säure, in diesem Fall Salpetersäure, umgesetzt wird, so dass das elektrisch leitfähige Polymer 203 mit einer Carboxylgruppe 204 derivatisiert wird.
Das Produkt einer solchen Carboxylierung ist in Fig. 2f gezeigt.
Diese Carboxylgruppe 204 auf dem elektrisch leitfähigen Polymer 203 kann dann mit einem bekannten Reduktionsreagenz, zum Beispiel gemäß diesem Ausführungsbeispiel LiAlH2(iBu)2 (DIBAL), zum entsprechenden Aldehyd 205 auf dem elektrisch leitfähigen Polymer 203 umgesetzt werden.
Alternativ hierzu kann LiAlH4, LiAlH(OEt)3, LiAlH(Otert- But)3, oder Tri-n-butylzinnhydrid zum Reduzieren der Carboxylgruppe verwendet werden.
Anschließendes Umsetzen der als Grignard-Reagenz wirkenden Nanoröhre aus Fig. 2d mit dem als Aldehyd derivatisierten elektrisch leitfähigen Polymer unter wasserfreien Bedingungen ergibt dann ein Produkt, bei dem die Nanoröhre 200 über eine sekundäre Alkoholgruppe 206 mit dem elektrisch leitfähigen Polymer 203 kovalent gebunden ist. Das Sekundäralkoholprodukt ist in Fig. 2g gezeigt.
In dieser Weise wird ebenfalls wie bei den in Fig. 2c und Fig. 1d dargestellten Produkten eine feste reproduzierbare Kontaktierung zwischen der Nanoröhre 200 und dem elektrisch leitfähigen Polymer 203 gewährleistet, so dass elektrische Messungen der Leitfähigkeit der Nanoröhre 200 zuverlässig werden.
In diesem Dokument sind folgende Veröffentlichungen zitiert:
[1] P. M. Ajayan, Nanotubes from Carbon, Chem. Rev. 99, S. 1787-1799, 1999
[2] W. Han et al. Synthesis of Boron Nitride Nanotubes From Carbon Nanotubes by a substitution Reaction, Applied Physics Letters, Volume 73, Number 21, S. 3085-3087, November 1998
[3] R. Martel et al. Single- and Multi-Wall Carbon Nanotube Field-Effect Transistors, Applied Physics Letters, Volume 73, Number 17, S. 2447-2449, October 1998
Bezugszeichenliste
100
Nanoröhre
101
Carboxylgruppe
102
Säurechloridgruppe
103
Elektrisch leitfähiges Polymer
104
Verbindende Carbonylgruppe
200
Nanoröhre
201
Chloratom
202
Magnesiumchlorid Grignard-Reagenz
203
Elektrisch leitfähiges Polymer
204
Carboxylgruppe auf dem elektrisch leitfähigem Polymer
205
Aldehydgruppe auf dem elektrisch leitfähigem Polymer
206
Verbindende sekundäre Alkoholgruppe, die aus der Grignard-Reaktion resultiert.

Claims (36)

1. Verfahren zum Binden einer Nanoröhre an einem Polymer, aufweisend folgende Schritte:
  • - Derivatisieren eines Endes der Nanoröhre mit einer chemisch reaktiven Gruppe;
  • - Umsetzen der so derivatisierten Nanoröhre mit einem Polymer derart, dass zwischen der Nanoröhre und dem Polymer über die chemisch reaktive Gruppe eine kovalente Bindung gebildet wird.
2. Verfahren gemäß Anspruch 1, bei dem die Nanoröhre eine Kohlenstoff-Nanoröhre oder eine mit Bornitrid dotierte Nanoröhre ist.
3. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 oder 2, bei dem das Derivatisieren durch Oxidieren oder durch Halogenieren der Nanoröhre erfolgt.
4. Verfahren gemäß Anspruch 3, bei dem das Oxidieren durch Umsetzen mit einer starken Säure erfolgt.
5. Verfahren gemäß Anspruch 4, bei dem als starke Säure Salpetersäure, Schwefelsäure, Chromsäure, Carosche Säure, Perhalogensäuren, organische Persäuren oder eine Kombination davon verwendet wird.
6. Verfahren gemäß Anspruch 4 oder 5, bei dem das Umsetzen mit einer oder mit einer Kombination der starken Säuren bei Raumtemperatur oder bis zur Siedetemperatur des jeweiligen Reaktionsgemisches erfolgt.
7. Verfahren gemäß Anspruch 6, bei dem die durch Oxidierung gebildete chemisch reaktive Gruppe eine Carboxylgruppe ist.
8. Verfahren gemäß Anspruch 7, bei dem vor dem weiteren Umsetzen die Carboxylgruppe zum entsprechenden Säurehalogenid umgesetzt wird.
9. Verfahren gemäß Anspruch 8, bei dem das Säurehalogenid ein Säurechlorid ist, das durch Umsetzung der Carboxylgruppe an der Nanoröhre mit SOCl2, COCl2, PCl3, PCl5, (CCl4 und Ph3P), PhCOCl, ClCOCOCl oder Cl2CHOMe gebildet wird.
10. Verfahren gemäß Anspruch 3, bei dem das Halogenieren der Nanoröhre das Chlorieren oder das Bromieren der Nanoröhre ist.
11. Verfahren gemäß Anspruch 10, bei dem das Chlorieren durch Umsetzung der Nanoröhre mit Cl2, (Cl2 und H2O), SO2Cl2, CuCl2, (TiCl4 und CF3CO3H), oder (NaOCl und HOAc), oder durch Chlorelektrolyse in Gegenwart der Nanoröhre erfolgt.
12. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 11, bei dem die Reaktion der derivatisierten Nanoröhre mit dem Polymer in Gegenwart einer Verbindung der allgemeinen Formel MXn erfolgt, wobei M ein Metallatom und X ein Halogenatom ist, und wobei 1 ≦ n ≦ 5.
13. Verfahren gemäß Anspruch 12, bei dem das Metall Aluminium, Eisen, Bor, Zink, Zirkonium, Antimon, Zinn oder Gallium ist.
14. Verfahren gemäß Anspruch 13, bei dem als Verbindung der allgemeinen Formel MXn AlCl3, GaCl3, FeCl3, SbCl5, ZrCl4, SnCl4, SnCl2, BF3, BCl3, oder SbCl3 verwendet wird.
15. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 14, bei dem als Polymer ein elektrisch leitfähiges Polymer verwendet wird.
16. Verfahren gemäß Anspruch 15, bei dem als das elektrisch leitfähige Polymer
  • - Polypyrrol,
  • - Polyphenylen,
  • - Polythiophen, oder
  • - Polyacetylen
verwendet wird.
17. Verfahren gemäß Anspruch 10, bei dem das Chlorieren durch Umsetzen der Nanoröhre mit Cl2, SOCl2, CuCl2 oder durch Chlorelektrolyse bzw. das Bromieren durch Umsetzen mit Br2 oder durch Bromelektrolyse erfolgt.
18. Verfahren gemäß Anspruch 17, bei dem die mit Chlor bzw. mit Brom derivatisierte Nanoröhre mit metallischem Magnesium in trockenem Lösungsmittel umgesetzt wird.
19. Verfahren gemäß Anspruch 18, bei dem vor dem Schritt der Nanoröhren-Polymer- Bindungsbildung das Polymer derivatisiert wird.
20. Verfahren gemäß Anspruch 19, bei dem das Derivatisieren des Polymers das Oxidieren des Polymers umfasst.
21. Verfahren gemäß Anspruch 20, bei dem das Oxidieren des Polymers das Umsetzen des Polymers mit starker Säure umfasst.
22. Verfahren gemäß Anspruch 21, bei dem als starke Säure
  • - Salpetersäure,
  • - Schwefelsäure,
  • - Chromsäure,
  • - Carosche Säure,
  • - Perhalogensäuren,
  • - organische Persäuren, oder
  • - eine Kombination davon
verwendet wird.
23. Verfahren gemäß Anspruch 22, bei dem als das elektrisch leitfähige Polymer
  • - Polypyrrol,
  • - Polyphenylen,
  • - Polythiophen, oder
  • - Polyacetylen
verwendet wird.
24. Verfahren gemäß Anspruch 23 bei dem die durch Oxidierung gebildete chemisch reaktive Gruppe auf dem Polymer eine Carboxylgruppe ist.
25. Verfahren gemäß Anspruch 24, bei dem vor dem Schritt der Nanoröhren-Polymer- Bindungsbildung die Carboxylgruppe auf dem Polymer weiterhin zur entsprechenden Aldehydgruppe reduziert wird.
26. Verfahren gemäß Anspruch 25, bei dem zum Reduzieren LiAlH4, LiAlH(OEt)3, LiAlH(Otert- But)3, LiAlH2(iBu)2 oder Tri-n-butylzinnhydrid verwendet wird.
27. Verfahren gemäß Anspruch 26, bei dem die Bindungsreaktion der Nanoröhre, die gemäß Anspruch 18 derivatisiert worden ist, mit dem Polymer, das gemäß Anspruch 26 derivatisiert worden ist, in trockenem Lösungsmittelerfolgt.
28. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 19 bis 27, bei dem als Polymer ein elektrisch leitfähiges Polymer verwendet wird.
29. Verfahren gemäß Anspruch 28, bei dem als elektrisch leitfähiges Polymer
  • - Polypyrrol,
  • - Polyphenylen,
  • - Polythiophen, oder
  • - Polyacetylen
verwendet wird.
30. Polymer, an dem eine Nanoröhre kovalent gebunden ist.
31. Polymer gemäß Anspruch 30, bei dem das Polymer ein elektrisch leitfähiges Polymer ist.
32. Polymer gemäß Anspruch 31, bei dem das elektrisch leitfähige Polymer
  • - Polypyrrol,
  • - Polyphenylen,
  • - Polythiophen, oder
  • - Polyacetylen
ist.
33. Mikroelektronisches Bauelement, aufweisend ein Polymer, an dem eine Nanoröhre kovalent gebunden ist.
34. Mikroelektronisches Bauelement gemäß Anspruch 33, bei dem die kovalente Bindung eine direkte kovalente Bindung oder eine kovalente Bindung über eine Carbonylgruppe ist.
35. Mikroelektronisches Bauelement gemäß Anspruch 33 oder 34, bei dem das Polymer ein elektrisch leitfähiges Polymer ist.
36. Mikroelektronisches Bauelement gemäß einem der Ansprüche 33 bis 35, bei dem das elektrisch leitfähige Polymer
  • - Polypyrrol,
  • - Polyphenylen,
  • - Polythiophen, oder
  • - Polyacetylen
ist.
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