DE10034116A1 - Cut measuring system for use during internal circular fine machining of small drilled holes in workpiece uses ultra-sound to detect cut online during machining process while measuring wall thickness - Google Patents

Cut measuring system for use during internal circular fine machining of small drilled holes in workpiece uses ultra-sound to detect cut online during machining process while measuring wall thickness

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Abstract

A machining tool (14) is inserted in a drilled hole (11) in a workpiece (10). It fits on an inner wall surface of the side of the drilled hole and has an operating device (18) e.g. a grinding wheel, on its perimeter as the workpiece rotates. For online detection of a cut during the machining process, the wall thickness of the side of the drilled hole is continuously measured. The measuring process uses ultra-sound at spots on the workpiece between the outer surface of the workpiece and the inner wall surface surrounding the drilled hole.

Description

Stand der TechnikState of the art

Die Erfindung geht aus von einem Verfahren zum Messen des Abtrags bei der Innenrundfeinbearbeitung einer in ein Werkstück eingebrachten, insbesondere kleinen Bohrung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.The invention relates to a method for measuring the Removal of internal round machining one in one Workpiece introduced, especially small hole the preamble of claim 1.

Bei der Feinbearbeitung von großen Bohrungen durch Schleifen oder Honen verwendet man zum Messen des erzielten Innendurchmessers der Bohrung Meßabtaster oder Kalibrierdorne. Dies läßt aber nur eine sehr eingeschränkte Meßgenauigkeit zu und hat den wesentlichen Nachteil, daß der Bearbeitungsvorgang zwecks Messen des erreichten Bohrungsdurchmessers ständig unterbrochen werden muß. Außerdem ist bei höheren Anforderungen an die Bearbeitungstoleranzen zu beachten, daß das Werkzeug zur Fortsetzung der Bearbeitung mitunter nicht mehr die erforderliche Zustellposition anfahren kann, die es zur Unterbrechung des Bearbeitungsvorgangs verlassen hat.When finishing large bores by grinding or honing is used to measure what has been achieved Internal diameter of the bore probe or Calibration mandrels. But this leaves only a very limited Accuracy of measurement and has the major disadvantage that the Processing process to measure the achieved Hole diameter must be interrupted constantly. In addition, with higher demands on the Machining tolerances to note that the tool for The processing may no longer continue  can approach the required delivery position that it is to Has interrupted the machining process.

Vorteile der ErfindungAdvantages of the invention

Das erfindungsgemäße Verfahren hat demgegenüber den Vorteil, daß während des Bearbeitungsprozesses der Materialabtrag in der Bohrung ständig gemessen wird und bei Erreichen des gewünschten Maßes des Abtrags oder der gewünschten Wanddicke der Bohrungswand zwischen der die Bohrung umschließende Innenwandfläche und der Außenfläche des Werkstücks der Bearbeitungsprozeß bei Kenntnis der Ist-Abmessungen gestoppt werden kann. Das Werkzeug muß also die Bearbeitung nicht unterbrechen und seine Position zur Vermessung der Bohrung nicht verlassen. Neben der Verbesserung der erreichbaren Fertigungsqualität werden zugleich die Fertigungszeiten extrem reduziert, und die Fertigungskosten, in die auch der Aufwand für die Meßmittel eingeht, sinken. Das Vermessen der Wanddicke mittels Ultraschall läßt eine hohe Meßauflösung zu, so daß Bohrungstoleranzen von besser als 1 µm erzielbar sind.In contrast, the method according to the invention has the advantage that during the machining process the material removal in the bore is constantly measured and when the desired amount of removal or the desired wall thickness the hole wall between the one enclosing the hole Inner wall surface and the outer surface of the workpiece Machining process stopped when the actual dimensions are known can be. So the tool does not have to be processed interrupt and position to measure the hole do not leave. In addition to improving the achievable Manufacturing quality also becomes the manufacturing times extremely reduced, and the manufacturing costs in which the Incoming effort for the measuring equipment decrease. Measuring the Wall thickness by means of ultrasound allows a high measurement resolution, so that hole tolerances of better than 1 µm can be achieved.

Durch die in den weiteren Ansprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen des im Anspruch 1 angegebenen Meßverfahrens möglich.By the measures listed in the other claims are advantageous further developments and improvements in Claim 1 specified measurement method possible.

In alternativen Ausführungsformen der Erfindung erfolgt die Messung der Wanddicke mittels Ultraschall diskontinuierlich, z. B. durch Messen der Laufzeit von an der Innenwandfläche der Bohrungswand reflektierten Schallimpulsen oder kontinuierlich durch Messung der Frequenz einer durch Reflexion an der Innenwandfläche sich in der Bohrungswand ausbildenden, stehenden Welle.In alternative embodiments of the invention, the Measurement of the wall thickness discontinuously using ultrasound, z. B. by measuring the transit time on the inner wall surface of the Bore wall reflected sound pulses or continuously by measuring the frequency of one by reflection at the  Inner wall surface forming in the bore wall, standing wave.

Bei der kontinuierlichen Messung der Wanddicke wird gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung durch Beschallung der die Bohrung umschließenden Bohrungswand an mindestens einer Stelle mittels eines außerhalb des Werkstücks angeordneten Ultraschallwandlers der beschallte Wandbereich zur Schwingung in seiner Dickenresonanz angeregt, die Frequenz der Dickenresonanz und/oder deren Änderung fortlaufend gemessen und aus der Änderung der Frequenz das Maß des Abtrags bestimmt.With the continuous measurement of the wall thickness according to a preferred embodiment of the invention Sonication of the bore wall surrounding the bore at least one position by means of an outside of the Workpiece arranged ultrasonic transducer the sonicated Wall area stimulated to vibrate in its thickness resonance, the frequency of the thickness resonance and / or its change continuously measured and from the change in frequency that Measure of the removal determined.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird der Ultraschallwandler dem Werkstück drehfest so zugeordnet, daß er an dessen Rotation teilnimmt. Dies kann gemäß alternativer Ausführungsformen der Erfindung dadurch realisiert werden, daß der Ultraschallwandler auf dem Werkstück selbst befestigt wird oder als dünne piezoelektrische Folie aus PVDF (Polyvinylidenfluorid) auf den Greifbacken des Werkstückhalters angeordnet wird und damit nach Einspannen des Werkstücks unmittelbar auf der Außenwand des Werkstücks aufliegt, oder dadurch, daß der Ultraschallwandler zurückversetzt in einer Greifbacke angeordnet ist. In letzterem Fall kann der Ultraschallwandler als konventioneller Piezoquarz ausgeführt werden. Die Einkopplung der Schallsignale erfolgt über den bekannten Abstand des Piezoquarzes zum Werkstück durch das Greifbackenmaterial, wobei jedoch ein Impedanzsprung in Kauf genommen werden muß. According to a preferred embodiment of the invention the ultrasonic transducer is assigned to the workpiece in a rotationally fixed manner, that he participates in its rotation. This can be done according to alternative embodiments of the invention thereby be realized that the ultrasonic transducer on the Workpiece is attached itself or as a thin piezoelectric film made of PVDF (polyvinylidene fluoride) the gripping jaws of the workpiece holder is arranged and so after clamping the workpiece directly on the Outer wall of the workpiece rests, or in that the Ultrasonic transducer set back in a gripper jaw is arranged. In the latter case, the ultrasonic transducer can be designed as conventional piezo quartz. The The sound signals are coupled in via the known Distance of the piezo quartz to the workpiece through the Gripping jaw material, but an impedance jump in purchase must be taken.  

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung werden mindestens zwei Ultraschallwandler vorgesehen und im Drehwinkelabstand voneinander angeordnet. Durch eine solche Maßnahme kann der Einfluß der Exzentrizität der Bohrung gegenüber der Werkstückmittenachse bei der Bestimmung des Abtragsmaßes kompensiert werden.According to an advantageous embodiment of the invention at least two ultrasonic transducers are provided and in Angle of rotation arranged from each other. By such Measure can influence the eccentricity of the hole compared to the workpiece center axis when determining the Allowance can be compensated.

Um Meßfehlern zu begegnen, die durch unterschiedliche Werkstoffzusammensetzungen der Werkstücke, z. B. aufgrund von Chargenschwankungen, entstehen und damit unterschiedliche Schallgeschwindigkeiten im Werkstoff zur Folge haben, wird gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung von der Anzahl der einer Charge zugehörigen Werkstücke ein Referenzwerkstück mit toleranzgenau endbearbeiteter Bohrung hergestellt, die Frequenz der Dickenresonanz des Referenzstücks gemessen und als Sollfrequenz bei der Bearbeitung der übrigen Werkstücke der Charge vorgegeben. Das Maß des durch den Bearbeitungsprozeß erzielten Abtrags wird aus dem Vergleich der Istfrequenz mit der Sollfrequenz bestimmt.To counter measurement errors caused by different Material compositions of the workpieces, e.g. B. due to Batch fluctuations arise and therefore different Speed of sound in the material will result according to an advantageous embodiment of the invention from the number of workpieces belonging to a batch Reference workpiece with precisely finished bore manufactured the frequency of the thickness resonance of the Reference piece measured and as the target frequency at the Processing of the remaining workpieces in the batch is specified. The Measure of the removal rate achieved by the machining process from the comparison of the actual frequency with the target frequency certainly.

Alternativ hierzu kann gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung bei jedem zu bearbeitenden Werkstück einer Charge vor dem Bearbeitungsprozeß der Innen- und Außendurchmesser sowie die Frequenz der Dickenresonanz gemessen und daraus eine Sollfrequenz für das endbearbeitete Werkstück berechnet werden. Das Maß des bei dem Bearbeitungsprozeß erzielten Abtrags wird aus dem Vergleich der Istfrequenz mit der Sollfrequenz bestimmt. Alternatively, according to a further embodiment of the invention in each workpiece to be machined Batch before the machining process of the interior and Outside diameter and the frequency of the thickness resonance measured and from this a target frequency for the finished Workpiece to be calculated. The measure of that Machining process is deducted from the comparison the actual frequency is determined with the target frequency.  

Da auch die beim Bearbeitungsprozeß sich ändernde Temperatur des Werkstücks Einfluß auf die Schallgeschwindigkeit im Werkstück nimmt, wird gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung während des Bearbeitungsprozesses die Temperatur des Werkstücks gemessen und mittels einer die Werkstücktemperatur berücksichtigenden Kompensationsrechnung das ermittelte Maß des Abtrags korrigiert.Since the temperature changes during the machining process of the workpiece influences the speed of sound in the Workpiece takes, according to an advantageous Embodiment of the invention during the Machining process measured the temperature of the workpiece and by taking the workpiece temperature into account Compensation calculation the determined amount of the deduction corrected.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung wird die Temperaturmessung mittels eines Sensors, der in einer der Greifbacken des Werkstückhalters so integriert ist, daß der Sensor mit der Oberfläche des eingespannten Werkstücks in Wärmekontakt kommt, durchgeführt.According to an advantageous embodiment of the invention temperature measurement using a sensor in one of the Gripping jaws of the workpiece holder is integrated so that the Sensor with the surface of the clamped workpiece in Thermal contact comes, performed.

Zeichnungdrawing

Die Erfindung ist anhand von in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen im folgenden näher beschrieben. Es zeigen in jeweils schematischer DarstellungThe invention is illustrated in the drawing Embodiments described in more detail below. It each show a schematic representation

Fig. 1 einen Längsschnitt einer Vorrichtung zur Innenrundfeinbearbeitung einer Bohrung in einem darin eingespannten Werkstück, Fig. 1 a longitudinal section of a device for internal cylindrical finishing a bore in a clamped therein workpiece,

Fig. 2 einen Querschnitt längs der Linie II-II in Fig. 1., Fig. 2 is a cross section along the line II-II in Fig. 1.,

Fig. 3 einen Querschnitt eines Werkstücks und eines Bearbeitungswerkzeugs in Verbindung mit einer Meßvorrichtung zur Messung des beim Bearbeitungsprozeß erreichten Materialabtrags, Fig. 3 shows a cross-section of a workpiece and a machining tool in combination with a measuring device for measuring the material removal achieved during the machining process,

Fig. 4 eine gleiche Darstellung wie in Fig. 3 gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel, Fig. 4 is a same view as in Fig. 3 according to a further embodiment,

Fig. 5 und 6 jeweils ausschnittweise einen Querschnitt eines Werkstückhalters mit einem in seinen Greifbacken eingespannten Werkstück, Fig. 5 and 6 are respectively fragmentary cross section of a workpiece holder with a clamped in its gripping jaws workpiece,

Fig. 7 eine gleiche Darstellung wie in Fig. 3 mit einer Meßvorrichtung gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel. Fig. 7 is the same representation as in Fig. 3 with a measuring device according to another embodiment.

Beschreibung der AusführungsbeispieleDescription of the embodiments

Bei der Innenrundfeinbearbeitung einer in ein Werkstück 10 eingebrachten kleinen Bohrung 11 wird das Werkstück 10 in drei um 120° Drehwinkel zueinander versetzt angeordnete Greifbacken 121 eines Werkstückhalters 12 eingespannt, der mit einer bestimmten Drehzahl, z. B. 1500 U/min. in Richtung Pfeil 13 in Fig. 1 rotiert. Ein Bearbeitungswerkzeug 14 ist mit seinem Werkzeugschaft 15 in einer zugleich einen Werkzeughalter bildenden Spindel 16 festgespannt, die sich gemäß Pfeil 17 in Fig. 1 in Gegenrichtung zu dem Werkstückhalter 12 mit einer sehr hohen Drehzahl, z. B. 9000 U/min. dreht. An seinem in die Bohrung 11 des Werkstücks 10 eintauchenden vorderen Ende trägt das Bearbeitungswerkzeug 14 ein an seinem Umfang angeordnetes Arbeitsmittel 18. Die Rotationsachsen von Werkstück 10 und Bearbeitungswerkzeug 14 verlaufen in der Regel parallel zueinander, und da das Werkzeug 14 einem radialen Vorschub in Richtung Pfeil 19 in Fig. 1 unterliegt, setzt das Arbeitsmittel 18 zu Erzeugung eines Abtrags in der Bohrung 11 mit einer Anpreßkraft an der Innenwandfläche 111 der Bohrungswand 112 an, die außen von der Außenfläche 101 des Werkstücks 10 begrenzt wird. Weist - wie im vorliegenden Fall - die Bohrung 11 eine gegenüber der axialen Länge des Arbeitsmittels 18 größere Bohrungstiefe auf, so führt das Bearbeitungswerkzeug 14 zusätzlich eine axiale Pendelbewegung oder Kurzhuboszillation aus, damit die Bohrung 11 gleichmäßig über die gesamte Bohrungstiefe bearbeitet wird. Die Kurzhuboszillation der Spindel 16 bzw. des Bearbeitungswerkzeugs 14 ist in Fig. 1 durch den Doppelpfeil 20 angedeutet. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel wird die Innenrundfeinbearbeitung durch Schleifen ausgeführt, so daß das Arbeitsmittel 18 am Ende des Werkzeugschaftes 15 von einem Schleifbelag gebildet ist, der während des Schleifprozesses einer Abnutzung unterliegt. Die Innenrundfeinbearbeitung kann aber auch z. B. durch Honen erfolgen. Während der Innenrundfeinbearbeitung wird über einen im Werkzeugschaft 15 zentrisch verlaufenden Kühlschmierstoffkanal 21 Kühlschmierstoff in die Bohrung 11 eingebracht und gelangt dort an die zu bearbeitende Innenwandfläche 111 der Bohrungswand 112.In the internal cylindrical finishing of a small bore 11 introduced into a workpiece 10 , the workpiece 10 is clamped in three gripping jaws 121 of a workpiece holder 12 , which are offset by 120 ° from one another and which are held at a certain speed, e.g. B. 1500 rpm. rotates in the direction of arrow 13 in Fig. 1. A machining tool 14 is clamped with its tool shank 15 in a spindle 16 , which at the same time forms a tool holder, and which, according to arrow 17 in FIG. 1, runs in the opposite direction to the workpiece holder 12 at a very high speed, eg. B. 9000 rpm. rotates. At its front end, which dips into the bore 11 of the workpiece 10 , the machining tool 14 carries a working means 18 arranged on its circumference. Extending the axes of rotation of the workpiece 10 and machining tool 14 generally parallel to each other, and because the tool a radial feed in the direction of arrow 19 in FIG. 1, subject 14, sets the operation means 18 to generate a carry in the bore 11 with a pressure force on the Inner wall surface 111 of the bore wall 112 , which is delimited on the outside by the outer surface 101 of the workpiece 10 . If - as in the present case - the bore 11 has a greater bore depth than the axial length of the working medium 18 , the machining tool 14 additionally performs an axial pendulum movement or short stroke oscillation so that the bore 11 is machined uniformly over the entire bore depth. The short stroke oscillation of the spindle 16 or of the machining tool 14 is indicated in FIG. 1 by the double arrow 20 . In the present exemplary embodiment, the internal cylindrical finishing is carried out by grinding, so that the working medium 18 at the end of the tool shank 15 is formed by a grinding coating which is subject to wear during the grinding process. The internal round finishing can also, for. B. done by honing. During the internal round machining, cooling lubricant 21 is introduced into the bore 11 via a cooling lubricant channel 21 which runs centrally in the tool shank 15 and reaches the inner wall surface 111 of the bore wall 112 to be machined there.

Da bei der Innenrundfeinbearbeitung der Bohrung 11 sehr hohe Anforderungen an den zu fertigenden Innendurchmesser der Bohrung 11 gestellt werden, dessen Toleranz kleiner 1 µm liegen muß, wird während des Bearbeitungsprozesses, im vorliegenden Fall während des Schleifprozesses, fortlaufend die Wanddicke zwischen der Außenfläche 101 des im Ausführungsbeispiel zylindrischen Werkstücks 10 und der Innenwandfläche 111 der Bohrungswand 112 an mindestens einer Stelle des Werkstücks 10 mittels Ultraschall gemessen und die Abnahme der Wanddicke als Maß für den Abtrag in der Bohrung 11 ausgegeben. Hierzu wird die die Bohrungen 11 umschließende Bohrungswand 112 an mindestens einer Stelle durch einen außerhalb des Werkstücks 10 angeordneten Ultraschallwandler 22 so beschallt, daß der beschallte Wandbereich zur Schwingung in Dickenresonanz angeregt wird.Since very high demands are placed on the inner diameter of the bore 11 to be produced during the internal round machining of the bore 11 , the tolerance of which must be less than 1 μm, during the machining process, in the present case during the grinding process, the wall thickness between the outer surface 101 of the im Embodiment cylindrical workpiece 10 and the inner wall surface 111 of the bore wall 112 measured at at least one location of the workpiece 10 by means of ultrasound and the decrease in the wall thickness is output as a measure of the removal in the bore 11 . For this purpose, the bore wall 112 surrounding the bores 11 is sonicated at least at one point by an ultrasound transducer 22 arranged outside the workpiece 10 in such a way that the sonicated wall area is excited to vibrate in thickness resonance.

Dabei besteht zwischen der Frequenz feigen der Dickenresonanz und der Wanddicke 1 der Bohrungswand 112 die Beziehung
The relationship exists between the frequency f inherent to the thickness resonance and the wall thickness 1 of the bore wall 112

wobei c die Schallgeschwindigkeit in dem betreffenden Werkstoff des Werkstücks 10 ist. Während des Bearbeitungsprozesses verstimmt sich durch den Materialabtrag an der Innenwandfläche 111 das resonante System, wobei die relative Änderung der Frequenz der Dickenresonanz der relativen Änderung der Wanddicke entspricht. Aus dem durch die Gleichung
where c is the speed of sound in the relevant material of the workpiece 10 . During the machining process, the material removal from the inner wall surface 111 detunes the resonant system, the relative change in the frequency of the thickness resonance corresponding to the relative change in the wall thickness. From that through the equation

gegebenen Zusammenhang läßt sich durch Messen der Änderung der Eigenfrequenz Δfeigen die damit einhergehende Änderung der Wanddicke Δl, die dem Maß des Abtrags entspricht, bestimmen. Die Frequenz bzw. Änderung der Frequenz der Dickenresonanz wird mittels eines an sich bekannten elektronischen Frequenzmessers 23 (Fig. 3) gemessen. Als Ultraschallwandler 22 können vorzugsweise Piezoschwingquarze oder dünne piezoelektrische Folien aus PVDF (Polyvinylidenfluorid) eingesetzt werden.given context can be determined by measuring the change in the natural frequency .DELTA.f intrinsically the resulting change in wall thickness .DELTA.l corresponding to the degree of the removal, determine. The frequency or change in the frequency of the thickness resonance is measured by means of an electronic frequency meter 23 ( FIG. 3) known per se. Piezo oscillating crystals or thin piezoelectric foils made of PVDF (polyvinylidene fluoride) can preferably be used as ultrasonic transducers 22 .

Bei dem beschriebenen Verfahren der Anregung eines Wandbereichs der Bohrungswand 112 zur Resonanzschwingung, dem sog. Resonance-Mode-Locking (RML)-Verfahren wird der Ultraschall von außen, also von der Außenfläche 101 des Werkstücks 10 her, in das Werkstück 10 an mindestens einer Stelle der Bohrungswand 112 eingeleitet und reflektiert an der Innenwandfläche 111 der Bohrungswand 112. Im Resonanzmodus, also bei Anregung des Wandbereichs mit einer bestimmten Frequenz, bildet sich eine stehende Welle aus, wobei die Beziehung gilt:
In the described method of excitation of a wall area of the bore wall 112 for resonance oscillation, the so-called Resonance Mode Locking (RML) method, the ultrasound is transferred from the outside, i.e. from the outer surface 101 of the workpiece 10 , into the workpiece 10 on at least one Position of the bore wall 112 initiated and reflected on the inner wall surface 111 of the bore wall 112 . In the resonance mode, i.e. when the wall area is excited with a certain frequency, a standing wave forms, whereby the relationship applies:

Die Messung der Wanddicke kann somit kontinuierlich durch Messung der Frequenz der sich in der Bohrungswand 112 ausbildenden stehenden Welle erfolgen.The wall thickness can thus be measured continuously by measuring the frequency of the standing wave formed in the bore wall 112 .

Bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 1 und 2 sind drei Ultraschallwandler 22 stationär am Umfang des Werkstücks 10 um gleiche Drehwinkel zueinander versetzt angeordnet. Zwischen den Ultraschallwandlern 22 und der Außenfläche 101 des Werkstücks 10 verbleibt ein kleiner Spalt, der zur Einkopplung des Ultraschalls in das Werkstück 10 mit einem Flüssigkeitsfilm ausgefüllt werden kann. Zweckmäßigerweise wird als Flüssigkeit der bei dem Bearbeitungsprozeß ohnehin erforderliche Kühlschmierstoff verwendet, wobei entsprechende Kühlschmierstoffversorgungen 24 den Kühlschmierstoffilm 25 in dem jeweiligen Spalt aufrechterhalten. Jeder Ultraschallwandler 22 ist Teil einer Meßvorrichtung, wie sie im Blockschaltbild der Fig. 3 dargestellt ist. Der von einem hier nicht dargestellten Generator in Schwingung versetzte Ultraschallwandler 22 sendet Schallwellen aus, die über den Kühlschmierstoffilm 25 in die Bohrungswand 112 einkoppeln und an der die Bohrung 11 umschließenden Innenwandfläche 111 der Bohrungswand 112 reflektiert werden, wobei sich in der Bohrungswand 112 bei einer bestimmten Frequenz eine stehende Welle ausbildet, die in Fig. 3 mit 26 symbolisiert ist. Das elektrische Ausgangssignal des Ultraschallwandlers 22 wird in einem Verstärker 27 verstärkt und dem elektrischen Frequenzmesser 23 zugeführt. Ein Beispiel für einen solchen Frequenzmesser 23 ist in "Ultrasonics", 1995, Vol. 33, Nr. 3, Seite 253 angegeben. Bei diesem werden mittels einer Spektralanalyse die Resonanzfrequenzen und ihre Verschiebung detektiert.In the exemplary embodiment in FIGS. 1 and 2, three ultrasound transducers 22 are arranged in a stationary manner on the circumference of the workpiece 10 , offset from one another by the same angle of rotation. A small gap remains between the ultrasonic transducers 22 and the outer surface 101 of the workpiece 10 , which can be filled with a liquid film to couple the ultrasound into the workpiece 10 . The cooling lubricant required in the machining process is expediently used as the liquid, with corresponding cooling lubricant supplies 24 maintaining the cooling lubricant film 25 in the respective gap. Each ultrasonic transducer 22 is part of a measuring device, as shown in the block diagram of FIG. 3. The ultrasonic transducer 22 which is set in vibration by a generator (not shown here) emits sound waves which couple into the bore wall 112 via the cooling lubricant film 25 and are reflected on the inner wall surface 111 of the bore wall 112 surrounding the bore 11 , whereby in the bore wall 112 at a certain one Frequency forms a standing wave, which is symbolized in Fig. 3 with 26 . The electrical output signal of the ultrasonic transducer 22 is amplified in an amplifier 27 and fed to the electrical frequency meter 23 . An example of such a frequency meter 23 is given in "Ultrasonics", 1995, Vol. 33, No. 3, page 253. This uses a spectral analysis to detect the resonance frequencies and their shift.

In dem Ausführungsbeispiel der Meßvorrichtung gemäß Fig. 4 sind zwei Ultraschallwandler 22 vorgesehen, die im Drehwinkelabstand voneinander, beispielsweise um 90° versetzt, angeordnet sind. Jedem Ultraschallwandler 22 ist wiederum ein Verstärker 27 und ein Frequenzmesser 23 zugeordnet. Mittels der Frequenzmesser 23 werden wiederum die momentanen Resonanzfrequenzen gemessen und daraus die momentanen Dickenmaße S1 und S2 bestimmt, die sich zusammensetzen aus der Dicke l der Bohrungswand 112 und dem Spaltabstand s1 und s2 zwischen dem jeweiligen Ultraschallwandler 22 und der Außenfläche 101 des Werkstücks 10. Die Spaltabstände s1 und s2 variieren aufgrund der Exzentrizität des Werkstücks 10 zeitlich mit der momentanen Winkelstellung des Werkstücks 10. Aus den Minima und Maxima der Meßwerte läßt sich die Wanddicke 1 und deren Lage ermitteln, so daß durch die Feinbearbeitung die Bohrung 11 auf eine konzentrische Bohrung mit dem gewünschten Sollmaß aufgeweitet werden kann. Zur Vermeidung des sog. "Übersprechens" der beiden Ultraschallwandler 22 werden die Ultraschallwandler 22 auf unterschiedliche Betriebsfrequenzen eingestellt, die die beiden Wandbereiche des Werkstücks 10 jeweils zur Dickenresonanz anregen.In the exemplary embodiment of the measuring device according to FIG. 4, two ultrasonic transducers 22 are provided, which are arranged at an angular distance from one another, for example offset by 90 °. An amplifier 27 and a frequency meter 23 are in turn assigned to each ultrasound transducer 22 . The instantaneous resonance frequencies are again measured by means of the frequency meter 23 and the instantaneous thickness measurements S 1 and S 2 are determined therefrom, which are composed of the thickness l of the bore wall 112 and the gap distance s 1 and s 2 between the respective ultrasonic transducer 22 and the outer surface 101 of the Workpiece 10 . Due to the eccentricity of the workpiece 10, the gap distances s 1 and s 2 vary with the instantaneous angular position of the workpiece 10 . The wall thickness 1 and its position can be determined from the minima and maxima of the measured values, so that the bore 11 can be widened to a concentric bore with the desired nominal size by the fine machining. To avoid the so-called "crosstalk" of the two ultrasound transducers 22 , the ultrasound transducers 22 are set to different operating frequencies, each of which excites the two wall areas of the workpiece 10 for the thickness resonance.

Bei den in Fig. 5 und 6 dargestellten Ausführungsbeispielen zur Messung der Wanddicke oder der Wanddickenänderung der Bohrungswand 112 bzw. des Abtrags in der Bohrung 11 bei der Innenrundfeinbearbeitung sind die Ultraschallwandler 22 so angeordnet, daß sie mit dem Werkstück 10 mitrotieren. Diese Variante besitzt gegenüber der stationären Anordnung der Ultraschallwandler 22 den Vorteil, daß auf das Koppelmedium "Kühlschmierstoff" im Spalt zwischen Ultraschallwandler 22 und Werkstück 10 verzichtet werden kann und die Schwingungen des Ultraschallwandlers 22 direkt in das Werkstück 10 eingebracht werden. In dem Ausführungsbeispiel der Fig. 5 sind die Ultraschallwandler 22 auf der Einspannfläche der Greifbacken 121 des Werkstückhalter 12, z. B. als dünne piezoelektrische PVDF-Folien, angeordnet und liegen nach Einspannen des Werkstücks 10 formschlüssig auf der Außenfläche 101 des Werkstücks 10 auf. In dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 6 sind die Ultraschallwandler 22 in den Greifbacken 121 zurückgesetzt angeordnet und können dadurch vorzugsweise als konventionelle Piezoschwinger (Schwingquarze) ausgeführt werden. Bei beiden Wandleranordnungen gemäß Fig. 5 und 6 ist für die Durchführung des beschriebenen Meßverfahrens nur ein in einer der Greifbacken 121 angeordneter Ultraschallwandler 22 erforderlich. Durch die Verwendung von zwei Ultraschallwandlern 22, von denen jeweils einer in einer Greifbacke 121 untergebracht ist, kann - wie vorstehend beschrieben - auf die Exzentrizität der Bohrung 11 in dem Werkstück 10 geschlossen werden. Die für das Meßverfahren erforderliche Signalverarbeitung kann im rotierenden Werkstückhalter 12 untergebracht sein oder aber die Signale werden nach der minimal erforderlichen Signalverarbeitung vom rotierenden System zu einem stationären Empfänger übertragen.In the exemplary embodiments shown in FIGS . 5 and 6 for measuring the wall thickness or the change in the wall thickness of the bore wall 112 or the removal in the bore 11 in the internal round machining, the ultrasonic transducers 22 are arranged such that they rotate with the workpiece 10 . This variant has the advantage over the stationary arrangement of the ultrasonic transducers 22 that the coupling medium "cooling lubricant" in the gap between the ultrasonic transducer 22 and the workpiece 10 can be dispensed with and the vibrations of the ultrasonic transducer 22 are introduced directly into the workpiece 10 . In the embodiment of FIG. 5, the ultrasonic transducers 22 are on the clamping surface of the gripping jaws 121 of the workpiece holder 12 , for. B. as thin piezoelectric PVDF films, and lie after clamping the workpiece 10 in a form-fitting manner on the outer surface 101 of the workpiece 10 . In the exemplary embodiment according to FIG. 6, the ultrasound transducers 22 are arranged in the gripping jaws 121 and can thus preferably be designed as conventional piezo oscillators (quartz oscillators). For both transducer assemblies in accordance with Figs. 5 and 6 is required for the implementation of the measuring method described only arranged in one of the gripping jaws 121 ultrasonic transducer 22. By using two ultrasonic transducers 22 , one of which is accommodated in a gripping jaw 121 , the eccentricity of the bore 11 in the workpiece 10 can be deduced, as described above. The signal processing required for the measuring method can be accommodated in the rotating workpiece holder 12 or the signals are transmitted from the rotating system to a stationary receiver after the minimally required signal processing.

Beim Bearbeitungsprozeß erwärmt sich unvermeidlich das Werkstück 10, so daß sich die von der Temperatur abhängigen Werkstoffkenngrößen: Dichte und Elastizitätsmodul (E-Modul) ändern. Da die Schallgeschwindigkeit von diesen Werkstoffkenngrößen abhängig ist, ändert sich auch die Schallgeschwindigkeit, so daß in den Meßwerten eine temperaturbedingte Meßungenauigkeit auftritt, die unzulässig groß sein kann. Um diese Meßungenauigkeit zu kompensieren, wird während des Bearbeitungsprozesses die Temperatur des Werkstücks 10 gemessen und mittels einer die Werkstücktemperatur berücksichtigenden Kompensationsrechnung das Maß des Abtrags korrigiert. Dabei besteht zwischen der Änderung der Schallgeschwindigkeit und der Temperaturänderung Δϑ der Zusammenhang
During the machining process, the workpiece 10 inevitably heats up, so that the temperature-dependent material parameters: density and elastic modulus (modulus of elasticity) change. Since the speed of sound is dependent on these material parameters, the speed of sound also changes, so that a temperature-related measurement inaccuracy occurs in the measured values, which may be impermissibly large. In order to compensate for this measurement inaccuracy, the temperature of the workpiece 10 is measured during the machining process and the amount of the removal is corrected by means of a compensation calculation taking the workpiece temperature into account. There is a connection between the change in the speed of sound and the change in temperature Δϑ

wobei k eine Konstante ist. Mit zunehmender Temperatur muß also durch die Kompensationsrechnung der gemessene Abtrag an der Bohrungswand 112 proportional korrigiert werden, um dem fehlerfreien "wahren" Wert des Abtragsmaßes zu erhalten.where k is a constant. With increasing temperature, the measured removal on the bore wall 112 must be corrected proportionally by the compensation calculation in order to obtain the error-free "true" value of the removal amount.

Der zur Temperaturmessung erforderliche Temperatursensor 28 wird unmittelbar auf der Außenwand 101 des Werkstücks 10 angeordnet und dabei vorzugsweise, wie dies in Fig. 5 und 6 dargestellt ist, in die Spannfläche mindestens einer Greifbacke 121 so integriert, daß er nach Einspannen des Werkstücks 10 in den Werkstückhalter 12 die Außenfläche 101 des Werkstücks 10 kontaktiert.The temperature sensor 28 required for temperature measurement is arranged directly on the outer wall 101 of the workpiece 10 and, as shown in FIGS . 5 and 6, is preferably integrated into the clamping surface of at least one gripping jaw 121 in such a way that after clamping the workpiece 10 in the Workpiece holder 12 contacts the outer surface 101 of the workpiece 10 .

Der Werkstoff der zu bearbeitenden Werkstücke 10 kann aufgrund von Chargenschwankungen unterschiedlich zusammengesetzt sein, was sich auf die Ausbreitungsgeschwindigkeit des Schalls im Werkstück 10 auswirkt. Um diesen Einfluß zu begegnen, wird von den einer Charge zugehörigen Werkstücken 10 ein Referenzstück mit toleranzgenau endbearbeiteter Bohrung 11 hergestellt. Bei einem solchen Referenzwerkstück wird die Frequenz der Dickenresonanz gemessen und als Sollfrequenz bei der Bearbeitung der übrigen Werkstücke der Charge vorgegeben. Das Maß des beim Bearbeitungsprozeß erreichten Abtrags wird durch Vergleich der Istfrequenz mit der Sollfrequenz bestimmt und der Bearbeitungsprozeß wird beendet, sobald die Sollfrequenz erreicht ist.The material of the workpieces 10 to be machined can have different compositions due to batch fluctuations, which has an effect on the speed of propagation of the sound in the workpiece 10 . In order to counteract this influence, a reference piece with a bore 11 that has been finished with precision is produced from the workpieces 10 belonging to a batch. With such a reference workpiece, the frequency of the thickness resonance is measured and specified as the target frequency when processing the other workpieces in the batch. The degree of the removal achieved during the machining process is determined by comparing the actual frequency with the nominal frequency and the machining process is ended as soon as the nominal frequency is reached.

Alternativ kann zur Begegnung der schwankenden Werkstoffzusammensetzungen in den einzelnen Chargen bei jedem zu bearbeitenden Werkstück vor dem Bearbeitungsprozeß der Innen- und Außendurchmesser sowie die Frequenz der Dickenresonanz gemessen und daraus eine Sollfrequenz für das jeweils endzubearbeitende Werkstück berechnet werden. Das Maß des Abtrags durch den Bearbeitungsprozeß wird aus dem Vergleich der Istfrequenz mit der errechneten Sollfrequenz bestimmt.Alternatively, to meet the swaying Material compositions in the individual batches for each workpiece to be machined before the machining process  Inside and outside diameter as well as the frequency of the Thickness resonance measured and from this a target frequency for the each workpiece to be finished can be calculated. The measure of the removal through the machining process is from the Comparison of the actual frequency with the calculated target frequency certainly.

Während in dem vorstehend beschriebenen Verfahren die Messung der Wanddicke der Bohrungswand 112 bzw. die Messung des Abtrags in der Bohrung 11 mittels Ultraschall kontinuierlich durch Messung der Frequenz einer durch Reflexion an der Innenwandfläche 111 der Bohrungswand 112 sich ausbildenden stehenden Welle erfolgt, wird in einem alternativen Meßverfahren, dessen Meßvorrichtung in Fig. 7 illustriert ist, die Wanddicke der Bohrungswand 112 mittels Ultraschall diskontinuierlich durch Messung der Laufzeit von Schallimpulsen innerhalb der Bohrungswand 112 gemessen. Hierzu ist der in gleicher Weise wie vorstehend beschrieben angeordnete Ultraschallwandler 22 einerseits unter Zwischenschaltung eines Verstärkers 30 an einem Impulsgenerator 31 und andererseits an einem Empfänger 32 angeschlossen. Der Empfänger 32 weist einen Analog- Digitalwandler 33, eine Recheneinheit 35 und eine Anzeigeeinheit 36 auf. Ein von dem Impulsgenerator 31 dem Ultraschallwandler 22 zugeführter elektrischer Sendeimpuls wird als Schallimpuls in den Wandbereich der Bohrungswand 112 abgestrahlt. Der Schallimpuls wird an der Innenwandfläche 111 der Bohrungswand 112 reflektiert und vom Ultraschallwandler 22 empfangen. Der Empfangsimpuls wird im A/D-Wandler 33 digitalisiert und der Recheneinheit 35 zugeführt. Der vom Impulsgenerator 31 erzeugte Sendeimpuls wird nach Digitalisieren in einem Analog-Digitalwandler 34 ebenfalls der Recheneinheit 35 zugeführt. Die Recheneinheit 35 ermittelt aus den digitalisierten Sende- und Empfangsimpulsen mittels einer statistischen Korrelationsanalyse die Laufzeit des Schallimpulses vom Aussenden bis zum Empfang und multipliziert diese mit der Schallgeschwindigkeit im Werkstück 10. Aus dem Ergebnis, das ein Maß für die doppelte Wanddicke der Bohrungswand 112 ist, errechnet die Recheneinheit 35 das momentane Abtragsmaß in der Bohrung 11 während des Bearbeitungsprozesses, das in der Anzeigeeinheit 36 dargestellt wird.While in the method described above the measurement of the wall thickness of the bore wall 112 or the measurement of the removal in the bore 11 by means of ultrasound takes place continuously by measuring the frequency of a standing wave formed by reflection on the inner wall surface 111 of the bore wall 112 , an alternative is used Measuring method, the measuring device of which is illustrated in FIG. 7, the wall thickness of the bore wall 112 is measured discontinuously by means of ultrasound by measuring the propagation time of sound pulses within the bore wall 112 . For this purpose, the ultrasonic transducer 22 arranged in the same way as described above is connected on the one hand to an impulse generator 31 with the interposition of an amplifier 30 and on the other hand to a receiver 32 . The receiver 32 has an analog-digital converter 33 , a computing unit 35 and a display unit 36 . An electrical transmission pulse supplied by the pulse generator 31 to the ultrasound transducer 22 is emitted as a sound pulse in the wall area of the bore wall 112 . The sound pulse is reflected on the inner wall surface 111 of the bore wall 112 and received by the ultrasonic transducer 22 . The received pulse is digitized in the A / D converter 33 and fed to the computing unit 35 . The transmitted pulse generated by the pulse generator 31 is also fed to the arithmetic unit 35 after digitization in an analog-digital converter 34 . The computing unit 35 determines the transit time of the sound pulse from transmission to reception from the digitized transmit and receive pulses by means of a statistical correlation analysis and multiplies this by the speed of sound in the workpiece 10 . From the result, which is a measure of the double wall thickness of the bore wall 112 , the computing unit 35 calculates the current removal rate in the bore 11 during the machining process, which is shown in the display unit 36 .

Die Erfindung ist nicht auf das beschriebene Ausführungsbeispiel beschränkt. So ist es für die Feinbearbeitung der Bohrung im Werkstück nicht erforderlich, daß sowohl Werkzeug als auch Werkstück rotieren. Es genügt, daß eines von beiden einer Rotation ausgesetzt ist.The invention is not based on the described Embodiment limited. So it is for them Fine machining of the hole in the workpiece is not necessary that both the tool and the workpiece rotate. It is sufficient, that one of the two is rotating.

Claims (14)

1. Verfahren zum Messen des Abtrags bei der Innenrundfeinbearbeitung einer in ein Werkstück (10) eingebrachten, insbesondere kleinen Bohrung (11), bei der ein in die Bohrung (11) im Werkstück (10) eintauchendes Bearbeitungswerkzeug (14) mit einem auf seinem Umfang angeordneten Arbeitsmittel an der Innenwandfläche (111) der Bohrungswand (112) ansetzt und dabei das Bearbeitungswerkzeug (14) und/oder das Werkstück (10) rotiert und einem radialen Vorschub ausgesetzt ist, dadurch gekennzeichnet, daß während des Bearbeitungsprozesses fortlaufend die Wanddicke der Bohrungswand (112) zwischen der Außenfläche (101) des Werkstücks (10) und der die Bohrung (11) umschließenden Innenwandfläche (111) an mindestens einer Stelle des Werkstücks (10) mittels Ultraschall gemessen und die Abnahme der Wanddicke als Maß für den Abtrag in der Bohrung (11) ausgegeben wird.1. A method for measuring the removal during the internal cylindrical finishing of a, in particular small, bore ( 11 ) introduced into a workpiece ( 10 ), in which a machining tool ( 14 ) plunging into the bore ( 11 ) in the workpiece ( 10 ) has a circumference arranged work means on the inner wall surface ( 111 ) of the bore wall ( 112 ) and the processing tool ( 14 ) and / or the workpiece ( 10 ) rotates and is exposed to a radial feed, characterized in that during the processing process the wall thickness of the bore wall ( 112 ) between the outer surface ( 101 ) of the workpiece ( 10 ) and the inner wall surface ( 111 ) surrounding the bore ( 11 ) at at least one point on the workpiece ( 10 ) by means of ultrasound and the decrease in wall thickness as a measure of the removal in the bore ( 11 ) is output. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Messung der Wanddicke mittels Ultraschall diskontinuierlich, z. B. durch Messung der Laufzeit von an der Innenwandfläche (111) der Bohrungswand (112) reflektierten Schallimpulsen erfolgt.2. The method according to claim 1, characterized in that the measurement of the wall thickness by means of ultrasound discontinuously, for. B. by measuring the transit time of on the inner wall surface ( 111 ) of the bore wall ( 112 ) reflected sound pulses. 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Messung der Wanddicke mittels Ultraschall kontinuierlich durch die Messung der Frequenz einer durch Reflexion an der Innenwandfläche (111) der Bohrungswand (112) sich in der Bohrungswand (112) ausbildenden stehenden Welle erfolgt.3. The method according to claim 1, characterized in that the measurement of the wall thickness by means of ultrasound is carried out continuously by measuring the frequency of a standing wave formed in the bore wall ( 112 ) by reflection on the inner wall surface ( 111 ) of the bore wall ( 112 ). 4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß mittels Beschallung der Bohrungswand (112) an mindestens einer Stelle durch einen außerhalb des Werkstücks (10) angeordneten Ultraschallwandler (22) der beschallte Wandbereich zur Schwingung in Dickenresonanz angeregt wird, die Frequenz der Dickenresonanz und/oder deren Änderung fortlaufend gemessen und aus der Änderung der Frequenz das Maß des Abtrags bestimmt wird.4. The method according to claim 3, characterized in that by means of sonication of the bore wall ( 112 ) at least one point by an ultrasound transducer ( 22 ) arranged outside the workpiece ( 10 ), the sonicated wall area is excited to vibrate in thickness resonance, the frequency of the thickness resonance and / or whose change is measured continuously and the extent of the removal is determined from the change in frequency. 5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Frequenz oder die Änderung der Frequenz der Dickenresonanz mittels eines elektronischen Frequenzmessers (23) gemessen wird.5. The method according to claim 4, characterized in that the frequency or the change in frequency of the thickness resonance is measured by means of an electronic frequency meter ( 23 ). 6. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Ultraschallwandler (22) unmittelbar an der Außenfläche (101) des rotierenden Werkstücks (10) drehfest mit diesem angeordnet wird. 6. The method according to claim 4 or 5, characterized in that at least one ultrasonic transducer ( 22 ) directly on the outer surface ( 101 ) of the rotating workpiece ( 10 ) is rotatably arranged therewith. 7. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Ultraschallwandler (22) in einem das Werkstück (10) einspannenden Werkstückhalter (12) angeordnet wird.7. The method according to claim 4 or 5, characterized in that at least one ultrasonic transducer ( 22 ) is arranged in a workpiece holder ( 12 ) clamping the workpiece ( 10 ). 8. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Ultraschallwandler (22) unter Belassung eines radialen Spaltes zur Außenfläche (101) des als Zylinder ausgebildeten Werkstücks (10) räumlich feststehend angeordnet und der Spalt mit einem Ankopplungsmedium (25), vorzugsweise mit dem beim Bearbeitungsprozeß benutzten Kühlschmierstoff, ausgefüllt wird.8. The method according to claim 4 or 5, characterized in that at least one ultrasonic transducer ( 22 ) with a radial gap to the outer surface ( 101 ) of the cylinder-shaped workpiece ( 10 ) arranged spatially fixed and the gap with a coupling medium ( 25 ), is preferably filled with the cooling lubricant used in the machining process. 9. Verfahren nach einem der Ansprüche 6-8, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens zwei Ultraschallwandler (22) im Drehwinkelabstand voneinander angeordnet werden und daß aus dem Vergleich der mittels der Ultraschallwandler (22) bestimmten Abtragsmaße in der Bohrung (11) oder der Wanddicke der Bohrungswand (112) eine ggf. vorhandenen Exzentrizität der Bohrung (11) gegenüber der Werkstückmittenachse ermittelt und in dem Abtragsmaß kompensiert wird.9. The method according to any one of claims 6-8, characterized in that at least two ultrasonic transducers ( 22 ) are arranged at an angular distance from each other and that from the comparison of the removal dimensions determined by means of the ultrasonic transducers ( 22 ) in the bore ( 11 ) or the wall thickness of the Bore wall ( 112 ) a possibly existing eccentricity of the bore ( 11 ) with respect to the workpiece center axis is determined and the amount of material is compensated. 10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens zwei Ultraschallwandler (22) auf unterschiedliche Betriebsfrequenzen eingestellt sind, die die Wandbereiche des Werkstücks (10) jeweils zu Dickenresonanz anregen und zueinander einen ausreichenden Frequenzabstand aufweisen.10. The method according to claim 9, characterized in that the at least two ultrasonic transducers ( 22 ) are set to different operating frequencies, each of which excite the wall regions of the workpiece ( 10 ) to resonance thickness and have a sufficient frequency spacing from one another. 11. Verfahren nach einem der Ansprüche 4-10, dadurch gekennzeichnet, daß von einer Charge zugehörigen Werkstücken (10) ein Referenzwerkstück mit toleranzgenau endbearbeiteter Bohrung (11) hergestellt, die Frequenz der Dickenresonanz des Referenzwerkstücks gemessen und als Sollfrequenz bei der Bearbeitung der übrigen Werkstücke (10) der Charge vorgegeben wird und daß das Maß des Abtrags bei dem Bearbeitungsprozeß aus dem Vergleich der Istfrequenz mit der Sollfrequenz bestimmt wird.11. The method according to any one of claims 4-10, characterized in that from a batch associated workpieces ( 10 ) a reference workpiece with precision finished bore ( 11 ) is produced, the frequency of the thickness resonance of the reference workpiece measured and as the target frequency when machining the other workpieces ( 10 ) the batch is specified and that the extent of the removal in the machining process is determined from the comparison of the actual frequency with the target frequency. 12. Verfahren nach einem der Ansprüche 4-10, dadurch gekennzeichnet, daß bei jedem zu bearbeitenden Werkstück (10) vor dem Bearbeitungsprozeß der Innen- und Außendurchmesser sowie die Frequenz der Dickenresonanz gemessen werden und daraus eine Sollfrequenz für das zu bearbeitende Werkstück (10) berechnet wird und daß das Maß des Abtrags beim Bearbeitungsprozeß aus dem Vergleich der Istfrequenz mit der Sollfrequenz bestimmt wird.12. The method according to any one of claims 4-10, characterized in that for each workpiece to be machined ( 10 ) before the machining process, the inner and outer diameter and the frequency of the thickness resonance are measured and from this a target frequency for the workpiece to be machined ( 10 ) is calculated and that the amount of stock removal in the machining process is determined from the comparison of the actual frequency with the target frequency. 13. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-12, dadurch gekennzeichnet, daß während des Bearbeitungsprozesses die Temperatur des Werkstücks (10) gemessen und mittels einer die Werkstücktemperatur berücksichtigenden Kompensationsrechnung das Maß des Abtrags korrigiert wird. 13. The method according to any one of claims 1-12, characterized in that the temperature of the workpiece ( 10 ) is measured during the machining process and the amount of the removal is corrected by means of a compensation calculation taking into account the workpiece temperature. 14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperaturmessung mittels eines im Werkstückhalter (12) integrierten Temperatursensors (28) durchgeführt wird.14. The method according to claim 13, characterized in that the temperature measurement is carried out by means of a temperature sensor ( 28 ) integrated in the workpiece holder ( 12 ).
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