DD297700A5 - METHOD OF MEASURING LENGTH - Google Patents

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Abstract

The invention concerns a method of measuring lengths, in which a scanning device scans a substrate (1) with a graduated scale (2), having a graduation band, and reference marks (RAK-3, RAK-2, ..., RAK, ..., RAK+3) various distances apart on at least one other band (3). The scanner signals are processed in a processing device and in a display unit, the various distances (dK-2, dK-1, dK, ..., dK+3) between the reference marks (7) being determined in graduation-band units by scanning the graduated scale from these interval-measurement signals, information is obtained in coded form on the absolute positions of the reference marks (7). The code for the absolute position of a particular reference mark (RAK) is produced by scanning two other reference marks (RAK-1, RAK-2) preceding this reference mark (RAK) in the direction of travel (8).

Description

Hierzu 1 Seite ZeichnungenFor this 1 page drawings

Anwendungsgebiet der ErfindungField of application of the invention

Das Verfahren ist bei translatorischen MeCsystemen anwendbar, insbesondere bei hochauflösenden Meßsystemen für große Längen an Werkzeugmaschinen und Längen- und Koordinatenmeßmaschinen.The method is applicable to translatory measuring systems, in particular high-resolution measuring systems for long lengths of machine tools and length and coordinate measuring machines.

Charakteristik des bekannten Standes der TechnikCharacteristic of the known state of the art

Im Werkzeugmaschinenbau und im allgemeinen Maschinenbau werden in großem Umfang Längenmeßsysteme eingesetzt. Grundsätzlich sind dabei zwei Arten bekannt, wobei die eine Art unter dem Begriff Absolutwert-System und die andere Art unter dem Begriff Inkrementalzählsystem zu beschreiben sind. Absolutwertsysteme, z. B. CH374207, und Inkremental-Systeme, z. B. CH499091, haben jeweils eine Reihe spezifischer Vor- und Nachteile. Eine Reihe von Lösungen vereinigt mit spezifischen hybriden Lösungen die Vorteile von beiden bzw. vermeidet deren Nachteile, z.B. DT 2416212 B2 oder DE 3144334C2. In der Längen- und Winkelmeßeinrichtung nach DE 2416212 82 wird ein Teilungsträger mit einer zweiten zur Inkrementskala parallelen Referen .pur und identischen Referenzmarken verwendet. Die Referenzmarken können auch aus einzelnen Marken zusammengesetzt sein. Der Absolutwert jeder Referenzmarke bestimmt sich aus dem jeweiligen spezifischen Abstand zu genau einer benachbarten Referenzmarke, wobei diese unterschiedlichen Abstände zwischen den benachbarten Referenzmarken durch die Abtastung der Inkrementspur ermittelt werden. Zur Identifizierung der einzelnen identischen Referenzmarker. muß diese und eine benachbarte Referenzmarke abgetastet und deren gegenseitiger spezifischer Abstand in Einheiten der Inkrementspur ermittelt werden und zusammen mit der Meßrichtungsinformation ausgewertet werden. Bei vertretbaren maximalen Abständen der Referenzmarken ist der Informationsgehalt einer so kodierten Referenzspur begrenzt. Daraus folgt, daß diese Kodierung nicht für beliebig lange Meßsysteme geeignet ist.In machine tool and general engineering length measuring systems are used on a large scale. In principle, two types are known, one type being described by the term absolute value system and the other type by the term incremental counting system. Absolute value systems, eg CH374207, and incremental systems, e.g. B. CH499091, each have a number of specific advantages and disadvantages. A number of solutions combine the advantages of both with specific hybrid solutions and avoid their disadvantages, e.g. DT 2416212 B2 or DE 3144334C2. In the length and angle measuring device according to DE 241621282, a graduation carrier is used with a second reference track parallel to the incremental scale and identical reference marks. The reference marks can also be composed of individual stamps. The absolute value of each reference mark is determined from the respective specific distance to exactly one adjacent reference mark, these different distances between the adjacent reference marks being determined by the scanning of the increment track. To identify the individual identical reference markers. this and an adjacent reference mark must be scanned and their mutual specific spacing in units of the incremental track determined and evaluated together with the measuring direction information. At reasonable maximum distances of the reference marks, the information content of a so-coded reference track is limited. It follows that this coding is not suitable for arbitrarily long measuring systems.

In DE 3617254A1 wird ein Meßverfahren realisiert, bei dem zur Bestimmung des Absolutwertes einer Referenzmarke mindestens zwei Abstände zwischen dieser Referenzmarke und zwei weiteren Referenzmarken ermittelt werden. Diese Lösung hat den Vorteil, daß ein wesentlich höherer Informationsgehalt in vertretbar kleinen Abständen über die Referenzmarken kodiert werden kann. Die eindeutige Dekodierung der unterschiedlichen Abstände ist jedoch aufwendiger und die auftretende Zeitverzögerung zwischen dem rechentechnischen Bestimmen der zwei Abstände zu dieser Referenzmarke und der Zuordnung der Absolutposition zu dieser gleichen Referenzmarke ist größer und kann die zulässige Verfahrgeschwindigkeit einschränken. In DE 3 324 004 A1 wird ein Meßverfahren beschrieben, bei dem analog zu DT 2416212A1 die Bestimmung des Absolutwertes einer Referenzmarke mittels der Dekodierung des jeweiligen spezifischen Abstandes zu einer benachbarten Referenzmarke erfolgt. Zur Vergrößerung des Codierumfanges wird hier zusätzlich eine zweite parallele Referenzmarkenspur eingeführt, die parallel abgetastet und ausgewertet werden mußIn DE 3617254A1 a measuring method is realized in which at least two distances between this reference mark and two further reference marks are determined for determining the absolute value of a reference mark. This solution has the advantage that a much higher information content can be coded in reasonably small intervals over the reference marks. However, the unambiguous decoding of the different distances is more complicated and the occurring time delay between the computationally determining the two distances to this reference mark and the assignment of the absolute position to this same reference mark is greater and can limit the permissible travel speed. DE 3 324 004 A1 describes a measuring method in which, analogously to DT 2416212A1, the determination of the absolute value of a reference mark takes place by means of the decoding of the respective specific distance to an adjacent reference mark. To increase the Codierumfanges here a second parallel reference mark track is additionally introduced, which must be scanned and evaluated in parallel

Allen angeführten Meßverfahren haften folgende Mängel auf: All listed measuring methods have the following defects:

Die Ermittlung des Absolutwertes der jeweiligen Referenzmarke müßte zeitgleich mit dem Abtasten der Referenzmarke durch die Abtasteinheit beim Überfahren erfolgen. Es ist aber eine endliche Zeit für die Dekodierung der Abstände und die Bereitstellung der abgespeicherten Absolutwerte in der Auswerteeinrichtung notwendig, insbesondere dann, wenn zur Dekodierung Mikrorechner eingesetzt werden sollen. Bei hohen Verfahrgeschwindigkeiten wäre die bereitgestellte Absolutposition nicht mehr identisch mit der tatsächlichen Position.The determination of the absolute value of the respective reference mark would have to take place simultaneously with the scanning of the reference mark by the scanning unit when driving over. However, a finite time is required for the decoding of the distances and the provision of the stored absolute values in the evaluation device, in particular if microcomputers are to be used for the decoding. At high travel speeds, the absolute position provided would no longer be identical to the actual position.

Für Anwendungsfäile, bei aenen die Absolutpositionen, die als metrologisches Raster gelten, mit variablen Fehlerkomponenten, wie z. B. Temperaturfehler oder belastungsabhängige Deformationsanteile mittels Mikrorechnern korrigiert werden sollen, steht keine ausreichende Zeit für diese Korrekturrechnung zur Verfügung.For application cases, in which the absolute positions, which are considered metrological raster, with variable error components, such. B. temperature error or load-dependent deformation components to be corrected by micro-computers, is not sufficient time for this correction calculation available.

Ziel der ErfindungObject of the invention

Ziel der Erfindung ist es, den Gebrauchswert eines Längenmeßsystems, dfis einen Mikrorechner enthält, durch Erhöhung der Meßsignalverarbeitungsgeschwindigkeit zu verbessern.The aim of the invention is to improve the utility of a length measuring system, which includes a microcomputer, by increasing the Meßsignalverarbeitungsgeschwindigkeit.

Darlegung des Wesens der ErfindungExplanation of the essence of the invention

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Meßverfahren für ein quasi-absolutes inkrementales Längenmeßsystem anzugeben, bei welchem ein Teilungsträger mit abstardscodierten Referenzmarken einer Referenzspur abgetastet wird, und welches eine ausreichende Zeit zwischen dem Erkennen des Abstandscodes der Referenzmarken und dem Bereitstellen der Absolutposition zu Dekodierung und für Korrekturrechnungen gewährleistet.The invention has for its object to provide a measuring method for a quasi-absolute incremental length measuring system, in which a graduation carrier is scanned with abstardscodierten reference marks a reference track, and which is sufficient time between the recognition of the distance codes of the reference marks and providing the absolute position to decoding and guaranteed for correction.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß bei einem Verfahren zum Messen von Längen, bei dem ein Teilungsträger, der eine Rasterteilung in einer Zählspur und Referenzmarken mit unterschiedlichen Abständen in mindestens einer anderen Spur aufweist, von einer Abtasteinrichtung abgetastet wird, wobei die Abtastsignale in einer Auswerteeinrichtung und einer Anzeigeeinrichtung weiterverarbeitet werden, und bei dem die unterschiedlichen Abstände der Referenzmarken zueinander durch Abtastung der Rasterteilung in Zähleinheiten der Zählspur ermittelt werden, wobei aus diesen Abstandssignalen Informationen in codierter Form über die Absolutwerte der Position der Referenzmarken gewonnen werden, der Code für den Absolutwert einer Referenzmarke durch Abtastung von zwei weiteren Referenzmarken gebildet wird, die in Verfahrrichtung vor dieser Referenzmarke liegen. Dabei ist es vorteilhaft, wenn die den Code bildende Referenzmarke in Verfahrrichtung unmittelbar vor der Referenzmarke liegt, der der Absolutwret zugeordnet wird. Die Referenzmarke ist damit selbst nicht Bestandteil der Codierung für ihren eigenen Absolutwert.The object is achieved in that in a method for measuring lengths, in which a graduation carrier having a grid division in a counting track and reference marks with different distances in at least one other track is scanned by a scanning device, wherein the scanning signals in one Evaluation device and a display device are further processed, and in which the different distances of the reference marks to each other by scanning the grid division in counting units of the count track are determined, being obtained from these distance signals information in coded form on the absolute values of the position of the reference marks, the code for the absolute value a reference mark is formed by scanning two further reference marks, which lie in the direction of travel before this reference mark. It is advantageous if the reference mark forming the code lies in the direction of travel immediately before the reference mark, which is assigned to the absolute value. The reference mark itself is therefore not part of the coding for its own absolute value.

Gemäß dem erfindungsgemäßon quasi-absoluten inkrementalen Längenmeßverfahren steht die Zeit für die Dekodierung, für HilfsOperationen und für die Absolutwertbereitstellung zur Verfügung, die für die relative Verschiebung der Abtasteinrichtung vom Moment der Abtastung der letzten zum abstandskodierten Code gehörenden Referenzmarke bis zum Erreichen der Referenzmarke, der der Absolutwert zugeordnet wird, benötigt wird. Von der Art der Codierung hängt es ab, ob jedeAccording to the quasi-absolute incremental length measuring method according to the invention, the time is available for decoding, for auxiliary operations and for the absolute value provision, for the relative displacement of the scanning device from the moment of scanning the last reference mark belonging to the distance-coded code until reaching the reference mark, which is the Absolute value is assigned, is needed. It depends on the type of coding, whether each

solche Referenzmarke keinen zugeordneten Absolutwert hat. Das Verfahren ermöglicht es, daß bei einem quasi-absoluten inkrementalen Längenmeßsystem die den Referenzmarken zugeordneten Absolutwerte ohne Zeitverzögerung bereitgestellt worden und somit die bereitgestellten Absolutpositionen auch bei hohen Verfahrgeschwindigkeiten identisch mit den tatsächlichen Positionen sind. Weiterhin sind den absoluten Positionen aktuelle variable Fehlerkomponenten zuordenbar, ohne dos dynamische Verhalten des Meßsystems zu beeinflussen.such reference mark has no associated absolute value. The method makes it possible that, in a quasi-absolute incremental length measuring system, the absolute values assigned to the reference marks have been provided without time delay and thus the absolute positions provided are identical to the actual positions even at high travel speeds. Furthermore, the absolute positions of current variable error components can be assigned without influencing dos dynamic behavior of the measuring system.

Aufgrund der erfindungsgemäß geschaffenen Zeitspanne zwischen der Codeerkennung und der Bereitstellung der Absolutwerte sind vor allem auch für die Dekodierung von Doppelcodes und für zusätzliche Korrekturrechnungen ökonomisch vorteilhafte Mikrorechnerlösungen einsetzbar.Due to the time span between the code recognition and the provision of the absolute values created according to the invention, economically advantageous microcomputer solutions can be used, above all, also for the decoding of double codes and for additional correction calculations.

Ausführungsbeispielembodiment Die Erfindung soll nachstehend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden. In der Zeichnung zeigenThe invention will be explained in more detail below using an exemplary embodiment. In the drawing show

Fig. 1: einen Teilungsträger mit einer einfach kodierten Referenzspur, Fig. 2: einen Teilungsträger mit einer zweifach kodierten Referenzspur, und Fig. 3: die Anordnung der Abtastelemente in der Abtasteinrichtung.1 shows a graduation carrier with a single-coded reference track, FIG. 2 shows a graduation carrier with a doubly coded reference track, and FIG. 3 shows the arrangement of the sampling elements in the scanner.

Das quasi-absolute inkrementale Längenmeßsystem, mit dem das erfindungsgemäße Verfahren durchgeführt werden kann,The quasi-absolute incremental length measuring system with which the method according to the invention can be carried out

von dem in Fig. 1 nur ein Teilungsträger 1 dargestellt ist, umfaßt eine eine Rasterteilung 2 und eine Referenzmarkenspur 3 abtastende Abtasteinrichtung, welche mit einer Auswerteeinrichtung verbunden ist, die elektrische Absolutwertsignale erzeugt.of which only a graduation carrier 1 is shown in FIG. 1, comprises a scanning device 2 scanning a reference mark track 3 and a reference mark track 3, which scanning device is connected to an evaluation device which generates electrical absolute value signals.

Eine in Fig.3 dargestellte Abtastplatte 4 der Abtasteinrichtung umfaßt eine Marke 5 zur Abtastung der Referenzspur 3 und einA scanning 4 of the scanning device shown in Fig.3 comprises a mark 5 for scanning the reference track 3 and a Gegengitter 6 mit vier um 90° phasenverschobenen Bereichen zur Abtastung der Rasterteilung 2.Countergrid 6 with four phases shifted in phase by 90 ° for scanning the grid division 2. In Fig. 1 ist eine einfach kodierte Referenzspur 3 dargestellt, für die alle Referenzmarken 7 der Referenzmarkenspur 3In Fig. 1, a simple coded reference track 3 is shown, for all reference marks 7 of the reference mark track third Referenzmarken mit Absolutwertzuordnung Ra sind.Reference marks with absolute value assignment Ra are. Die Information über den Absolutwert der Referenzmarke Rak ist für den Fall der Vorwärtsbewegung der nicht dargestelltenThe information about the absolute value of the reference mark Rak is, in the case of the forward movement, not shown Abtasteinrichtung in Teilungsrichtung 8 in den Referenzmarken Rak-2 und Rak-i bzw. in deren Abstand dK-i enthalten, welcherScanning device in the division direction 8 in the reference marks Rak-2 and Rak-i or at their distance d K -i included, which

anhand der Rasterteilung 2 mittels der von ihr abgeleiteten Zählsignale ermittelt wird.is determined by the grid division 2 by means of the derived from their count signals.

Für den Fall der Rückwärtsbewegung ist die Information in den Referenzmarken Rak+i und Rak+2 bzw. in deren Abstand dK+2 In the case of the backward movement, the information in the reference marks Rak + i and Rak + 2 or at their distance d K + 2

enthalten. Dabei ist zu beachten, daß zur Information über die Absolutposition der Referenzmarken 7 neben den Abständen d auch das Vorzeichen entsprechend Vorwärts (+) oder Rückwärts (-) Bewegung gehört, d.h. die Information über dencontain. It should be noted that for information about the absolute position of the reference marks 7 in addition to the distances d and the sign according to forward (+) or reverse (-) movement heard, i. the information about the

Absolutwert von Rak steckt in +(dx-i)undin -(d*+}).Absolute value of Rak is in + (dx-i) and in - (d * +}). Andererseits beinhaltet — (dK-i) die Information für Rak-3 und +(dKt2) die Information für Rak+3·On the other hand, - (d K -i) contains the information for Rak-3 and + (d Kt2 ) the information for Rak + 3 · Vorteilhaft ist nun, daß z. B. bei einer Vorwärtsbewegung nach dem Passieren der Abtasteinrichtung über Rak-2 und Rak-i undIt is advantageous that z. B. at a forward movement after passing the scanner on Rak-2 and Rak-i and

dem Erfassen des Abstandes +!dK-i) anhand der Zählsignale der Rasterspur 2 diese Information dekodiert werden kann, für diese Dekodierung und weitere Korrekturrechnungen in einem Prozessor Zeit zur Verfugung steht und der berechnete und korrigierte Absolutwert für Rak zur Verfügung steht, bevor Rak erreicht wird, und daß beim Erreichen von Rak dieser Wert sofort für die Anzeigeeinrichtung zur Verfugung steht.the distance +! d K -i) can be decoded on the basis of the counting signals of the raster track 2, time is available for this decoding and further correction calculations in a processor and the calculated and corrected absolute value for Rak is available before Rak is reached, and that when Rak reached this value is immediately available for the display device.

! η Falle einer Zweifach-Kodiei ung, wie in Fig. 2 dargestellt, sind auch Referenzmarken Rc enthalten, die nur zur Kodierung dienen und selbst keine Absolutinformation zugeordnet bekommen. Hierbei würde für eine Vorwärtsbewegung der Absolutwert von! η case of a double Kodiei tion, as shown in Fig. 2, reference marks R c are included, which serve only for coding and even get assigned no absolute information. In this case, the absolute value would be for a forward movement of

Rak durch +(dj_2) und +(dj_,) codiert sein und bei Rückwärtsbewegung durch -(dj+2) und -(dj+3).Rak can be coded by + (dj_ 2 ) and + (dj_,) and by - (d j + 2 ) and - (dj +3 ).

Claims (2)

1. Verfahren zum Messen von Längen, bei dem ein Teilungsträger, der eine Rasterteilung mit einer Zählspur und Referenzmarken mit unterschiedlichen Abständen in mindestens einer anderen Spur aufweist, von einer Abtastrichtung abgetastet wird, wobei die Abtastsignale in einer Auswerteeinrichtung und einer Anzeigeeinrichtung weiterverarbeitet werden, und bei dem die unterschiedlichen Abstände der Referenzmarken zueinander durch Abtastung der Rasterteilung in Zähleinheiten der Zählspur ermittelt werden, wobei aus diesen Abstandssignalen Informationen in codierter Form über die Absolutwerte der Position der Referenzmarken gewonnen werden, dadurch gekennzeichnet, daß der Code für den Absolutwert einer Heferenzmarke (RAk) durch Abtastung von zwei weiteren Referenzmarken (Raic-i, Raic-2) gebildet wird, die in Verfahrrichtung (8) vor dieser Referenzmarke (RAk) liegen.1. A method for measuring lengths, wherein a graduation carrier having a grid pitch with a count track and reference marks at different distances in at least one other track is scanned by a scan direction, wherein the scan signals are further processed in an evaluation and a display device, and in which the different distances of the reference marks to each other are determined by scanning the grid division in counting units of the counting track, information being obtained in encoded form from these distance signals via the absolute values of the position of the reference marks, characterized in that the code for the absolute value of a reference mark (R Ak ) is formed by scanning two further reference marks (Raic-i, Raic-2), which lie in the direction of travel (8) in front of this reference mark (R A k). 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwei weitere Referenzmarken (Raic-1' Rai(-2) abgetastet werden, die unmittelbar vor der ersten Referenzmarke (RaO liegen.2. The method according to claim 1, characterized in that two further reference marks (Raic-1 'Rai (-2) are sampled, which lie immediately before the first reference mark (RaO.
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