DD284556A5 - column guide - Google Patents

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DD284556A5
DD284556A5 DD32908889A DD32908889A DD284556A5 DD 284556 A5 DD284556 A5 DD 284556A5 DD 32908889 A DD32908889 A DD 32908889A DD 32908889 A DD32908889 A DD 32908889A DD 284556 A5 DD284556 A5 DD 284556A5
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DD
German Democratic Republic
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compressed air
guide
column
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DD32908889A
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Inventor
Reiner Hofmann
Andreas Fischer
Joachim Herrmann
Wolfgang Ehmer
Peter Kaiser
Original Assignee
Veb Carl Zeiss Jena,Dd
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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Saeulenfuehrung, insbesondere fuer vertikale Verstellbewegungen. Erfindungsgemaesz ist auf einer Fuehrungssaeule eine prismatische Grundplatte angeordnet. Die Grundplatte wird von einer als bewegliches Positionierelement ausgebildeten Traegerplatte fuehrungsseitig umschlossen, wobei die Traegerplatte mechanisch justierbare, paarweise gegensinnig angeordnete, Druckluftaustrittsoeffnungen besitzende, Arme aufweist. Diese Arme sind auf ein als Ebenheitsnormal wirkendes Spannbandlineal gerichtet. Die Zufuhr der Druckluft zu den Druckluftaustrittsoeffnungen ist mit einer die Druckluftkomponenten beeinflussenden Druckluftsteuereinrichtung verbunden. Bedingt durch die paarweise gegensinnig auf das Spannbandlineal wirkenden Druckluftkomponenten laeszt sich die Dicke des Luftpolsters in der vertikalen Achse veraendern, wodurch die Traegerplatte feinfuehlig bei hoher Lagesteifigkeit verschiebbar wird. Fig. 1{Saeulenfuehrung; vertikale Verstellbewegung; Druckluftlagerung; Druckluftkomponentensteuerung; Spannbandlineal; Spannmechanismen; Stellelement; Lagesteifigkeit}The invention relates to a Saeulenfuehrung, in particular for vertical adjustment movements. According to the invention, a prismatic base plate is arranged on a guide column. The base plate is guided by a trained as a movable positioning Traegerplatte guide side, the Traegerplatte mechanically adjustable, in pairs oppositely arranged, Druckluftaustrittsoeffnungen owning, arms. These arms are aimed at a tension band rule acting as a flatness standard. The supply of compressed air to the Druckluftaustrittsoeffnungen is connected to a compressed air components influencing compressed air control device. Due to the compressed air components acting in opposite directions on the tension band ruler in pairs, the thickness of the air cushion in the vertical axis can change, whereby the carrier plate is finely displaceable with high positional rigidity. Fig. 1 {Saaulenfuehrung; vertical adjustment movement; Compressed air storage; Pneumatic components control; Strap ruler; Clamping mechanisms; Actuator; Location stiffness}

Description

Hierzu 1 Seite ZeichnungenFor this 1 page drawings

Anwendungsgebiet der ErfindungField of application of the invention

Die Erfindung betrifft eine Säulenführung, Insbesondere für vertikale Verstellbewegungen. Sie kann vorwiegend in der feinmechanisch-optischen Industrie, bei hohen Anforderungen an die Positioniergenauigkeit sowie an das Positionlerverhalten eingesetzt werden.The invention relates to a column guide, in particular for vertical adjustment movements. It can be used predominantly in the fine-mechanical-optical industry, with high demands on the positioning accuracy as well as on the positioner behavior.

Anwendungsgebiet der ErfindungField of application of the invention Bekannt sind allgemein Führungen, bei denen ein zu führendes Bauteil auf einer Führungsbuchse, die eine Führungsstange mitGuides are generally known in which a component to be guided on a guide bush, which is a guide rod with

einem geringem Spiel umfaßt, angeordnet ist. Dabei wird die Führungsbuchse auf einem reibungsmindemden Hilfsstoff gleitend abgestutzt. Derartige Führungsanordnungen werden im Maschinenbau als Säulenführungen an Bohrmaschinen oder an Vergrößerungsgeräten eingesetzt. Ein wesentlicher Nachteil ist jedoch, daß der Anwendbarkeit infolge immer höherera small game comprises, is arranged. The guide bushing is slidably slid on a friction-reducing auxiliary material. Such guide assemblies are used in mechanical engineering as column guides on drills or enlargers. A major disadvantage, however, is that the applicability as a result of ever higher

Anforderungen an die Genauigkeiten Grenzen gesetzt sind.Precision limits are set. Liegt das Hauptaugenmerk auf der Präzision in Querrichtung, so bedarf es sehr präziser Führungsstangen, auf die entsprechendeIf the main focus is on the precision in the transverse direction, it requires very precise guide rods, on the appropriate Bohrungen in den Buchsen nahezu spielfrei abzustimmen sind. Dadurch wird die Hilfsstoffschicht sehr dünn und bei EinwirkungHoles in the sockets are tuned almost free of play. As a result, the adjuvant layer is very thin and when exposed

von Querkräften ist ein metallischer Kontakt der gepaßten Teile nicht zu vermeiden.of lateral forces a metallic contact of the fitted parts is unavoidable.

Auf Grund dieser Tatsache kommt es zu einem Stick-Slip-Effekt, der genaue Positionierungen nahßzu unmöglich macht. Das hatDue to this fact, there is a stick-slip effect that makes close positioning almost impossible. That has

zur Folge, daß derartige Führungen für Werkzeugmaschinen und ähnliche Einrichtungen, bei denen relativ große Kräfte inAs a result, such guides for machine tools and similar devices in which relatively large forces in

Querrichtung auftreten, kaum anwendbar sind.Transverse direction occur, are hardly applicable. Weiterhin sind allgemein Federführungen bekannt, die den Vorteil der Spielfreiheit und Stick-Slip-Freiheit besitzen, jedoch nurFurthermore, spring guides are generally known, which have the advantage of freedom from play and stick-slip-freedom, but only

im Bereich kleinster Steiiwege wirksam sind.are effective in the area of the smallest Steiiwege.

Bei Wälzkörperführungen, welche ebenfalls hinreichend bekannt sind, ist eine Verbesserung von Führungs- undIn Wälzkörperführungen, which are also well known, is an improvement of leadership and Positioniergenauigkeit mit arhöhtem Fertigungsaufwand verbunden. Des weiteren tritt bei Posltionierbewngungen imPositioning accuracy associated with arhöhtem manufacturing effort. Furthermore occurs in posltionierbewbryungen in Mikrometerbereich infolge von Verformungen der Wälzkörper ein Pulsen der Führung auf.Micron range due to deformation of the rolling elements on a pulse of leadership. In DD-WP 222080 wird eine Kugelrillenführung beschrieben. Zwischen einer Grund- und einer Deckplatte sind zwei f.eihenIn DD-WP 222080 a ball groove guide is described. There are two f.eihen between a base and a cover plate Kugeln eingeordnet. Die Kugeln werden dabei in prismatischen Führungsleisten geführt. Eine der beiden äußerenArranged balls. The balls are guided in prismatic guide rails. One of the two outer ones Führungsplatten ist in der Führungsebene senkrecht zur Führungsrichtung beweglich sowie federnd angeordnet.Guide plates is arranged in the guide plane perpendicular to the guide direction movable and resilient. Die DE-OS 3326541 verweist auf eine ähnliche konstruktive Gestaltung. Zur Verminderung des Reibfaktors befindet sichDE-OS 3326541 refers to a similar structural design. To reduce the friction factor is

zwischen dem Sattelteil und dem Führungsbett ein Druckmedium, wobei das Druckmedium über Kanäle eingebracht wird.between the saddle part and the guide bed, a pressure medium, wherein the pressure medium is introduced via channels.

Problematisch ist jedoch auch bei dieser Lösung die begrenzte Anwendbarkeit beim Auftreten hoher Querkräfte.However, the problem with this solution is the limited applicability when high lateral forces occur. In DD-WP 2111609 wird ein Linearkegellager für eine Rundsäulenführung aufgezeigt, wobei die einzelnen Elemente einerIn DD-WP 2111609 a linear taper bearing is shown for a round column guide, the individual elements of a Kugelführungsbahn in eirem Käfig in einer Ebene angeordnet sind. Diese Ebene bildet zu einer weiteren, durch die MittelachseBall guide track in a cage are arranged in a plane. This plane forms another, through the central axis

und das Führungselement Nut gehenden Ebene, einen definierten Winkel.and the guide element groove going plane, a defined angle.

Auch derartigen Führungsanordnungen haften die bereits genannten Nachteile an.Such guide arrangements also adhere to the disadvantages already mentioned. Eine begrenzte Anwendbarkeit infolge auftretender Querkräfte istauch bei serostatischen Lagervorrichtungen, wie sieLimited applicability due to transverse forces also occurs with serostatic bearing devices such as

beispielsweise in DE-OS 3347282 beschrieben sind, zu verzeichnen. Dabei handelt es sich um relativ zueinander verschiebbareFor example, described in DE-OS 3347282, recorded. These are relatively movable

Bauteile, die zumindest im Bereich ihrer Lagerflächen aus feinkristallinem Granit hergestellt sind und die Lagerfläche einemComponents that are made at least in the field of their bearing surfaces of fine crystalline granite and the storage area a F<jfnbearbeitungsvorgang unterzogen werden.Be subjected to the processing operation. Ziel der ErfindungObject of the invention Ziel der Erfindung ist es, die Positioniergenauigkeit bei geringerem, kostengünstigeren Fertigungsaufwand zu verbessern.The aim of the invention is to improve the positioning accuracy with less cost-effective production costs. Darlegung des Wosons der ErfindungExplanation of the Wosons of the invention

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Säulenführung, insbesondere für vertikale Verstellbewegungen zu entwickeln, die den Einfluß von Querkräften auf das Positionierverhalten bei hoher Lagersteifigkeit minimiert. Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch eine Säulenführung, bestehend aus einer an einem Gestell befestigten zylinderförmigen Führungssäule, auf welcher ein Positionierelement über die Führungsflächen zwischen feststehendem und beweglichem Element eingebrachte Druckluftkanäle druckluftgelagert angeordnet Ist sowie Verstelleinheiten, dadurch gelöst, daß an der Führungssäule eine prismatische Grundplatte angeordnet und die Grundplatte von einer als bewegliches Positionierelement ausgebildeten Trägerplatte führungsseitig umschlossen ist, die Trägerplatte mechanisch justierbar, paarweise gegensinnig angeordnete Druckluftaustrittsöffnungen besitzende Arme, die auf ein an der Führungosäule angebrachtes, als Ebenheitsnormal wirkendes Spannbandlineal gerichtet sind, aufweist, das Spannlineal über einen Spannmechanismus mit einem seine Lage senkrecht zur Führungssäule sowie den Anstellwinkel des Spannbandlineals veränderndem Stellelement verbunden ist und die Zufuhr der Druckluft zu den Druckluftantrittsöffnungen mit einer die Druckluftkomponenten beeinflussenden Steuereinrichtung in Verbindung steht.The invention has for its object to develop a column guide, especially for vertical adjustment movements, which minimizes the influence of shear forces on the positioning behavior with high bearing stiffness. According to the invention, this object is achieved by a column guide, consisting of a cylinder-mounted on a frame guide column on which a positioning on the guide surfaces between the fixed and movable member introduced compressed air channels compressed air stored Ist and adjusting units, achieved in that arranged on the guide column, a prismatic base plate and the base plate is enclosed on the guide side by a carrier plate embodied as a movable positioning element, the carrier plate is mechanically adjustable, arms having compressed air outlet openings arranged in pairs in opposite directions, which are directed onto a tension band ruler attached to the guide column and acting as a flatness standard, has the tensioning ruler with a clamping mechanism Position perpendicular to the guide column and the angle of attack of the clamping band Ruler changing actuator is connected and the supply de Compressed air is connected to the compressed air inlet openings with a control device influencing the compressed air components.

Vorzugsweise bestehen die Grund- und Trägerplatte aus feinkristallinem Werkstoff. Weiterhin ist es von Vorteil, wenn die die Druckluftkomponenten in den Druckluftaustrittsöffnungen beeinflussende Steuereinrichtung aus einer Druckluftaufbereitungseinheit, einem Druckminderer und einem einen Hilfsdruck erzeugenden pneumatischen Negator besteht. Bedingt durch die paarweise gegensinnig, auf das Spannbandlineal wirkenden Druckluftkomponenten läßt sich die Dicke der Luftpolster in der vertikalen Achse verändern, wodurch die Trägerplatte feinfühlig bei hoher Lagesteifigkeit verschiebbar wird. Bei jeder von Null verschiedenen Druckdifferenz der Druckkomponenten wird die Trägerplatte aus ihrer Lage reproduzierbar um einen Weg verschoben, wonach sich erneut eine labile Lage im Gleichgewicht einstellt.Preferably, the base and carrier plate made of finely crystalline material. Furthermore, it is advantageous if the compressed air components in the compressed air outlet openings influencing control device consists of a compressed air treatment unit, a pressure reducer and an auxiliary pressure generating pneumatic negator. Due to the pairs in opposite directions, acting on the clamping band ruler compressed air components, the thickness of the air cushion in the vertical axis can be changed, whereby the support plate is sensitively displaced at high positional stiffness. At each non-zero pressure difference of the pressure components, the support plate is reproducibly shifted from its position by a path, after which again sets a labile position in equilibrium.

Für die axiale Verschiebung ist eine Druckluftsteuereinrichtung, bestehend aus dem Druckminderer und pneumatischen Negator angeordnet. Durch einen damit erzeugten Hilfsdruck wird eine invertierte Änderung der Druckluftkomponenten und damit eine Lageänderung realisiert.For the axial displacement, a compressed air control device, consisting of the pressure reducer and pneumatic inverter is arranged. By an auxiliary pressure generated thereby, an inverted change in the compressed air components and thus a change in position is realized.

Die Säulenführung ermöglicht im quasilinearen Bereich der Lageänderung, die Wegmessung auf indirektem Wege als Druckmessung durchzuführen.In the quasi-linear region of the change in position, the column guide makes it possible to carry out the distance measurement in an indirect way as a pressure measurement.

Erfolgt bei gleichzeitig abgestimmter Druckkomponentensteuerung eine Auslenkung des Spannbandlineals, so resultiert daraus eine Linearbewegung, deren Richtung und Geschwindigkeit vom Anstellwinkel abhängig ist. Dies führt zu einer Funktionsintegration für Antrieb, Lagerung und Führung. Die anordnungstechnischen Mitte! der Säulenführung gewährleisten einen kontinuierlichen Hilfsstoffilm und realisieren eine Stick-Slip freie Positionierung mit hoher Genauigkeit bei sehr großen Querkräften.If at the same time a coordinated pressure component control, a deflection of the clamping band ruler, the result is a linear movement whose direction and speed is dependent on the angle of attack. This leads to a functional integration for drive, storage and guidance. The arrangement technical center! The column guide ensures a continuous Hilfsstoffilm and realize a stick-slip free positioning with high accuracy at very large lateral forces.

Ausführungsbeispielembodiment In einem nachstehenden Ausführungsbeispiel soll die erfindungsgemäße Säulenführung näher erläutert werden. Dazu zeigenIn an embodiment below, the column guide according to the invention is to be explained in more detail. Show this

Fig. 1: Säulenanordnung (Vorderansicht) Fig.2: Säulenanordnung (Draufsicht).Fig. 1: Column arrangement (front view) Fig. 2: Column arrangement (top view).

Figuren 1 und 2 zeigen die erfindungsgemäße Säulenführung, bestehend aus einem Gestell 1, auf welchem eine FührungssäuleFigures 1 and 2 show the column guide according to the invention, consisting of a frame 1, on which a guide column

2 montiert ist. An der Führungssäule 2 befindet sich eine prismatische Grundplatte 3, die voln einer Trägerplatte 4 führungsseitig umfaßt wird. Die einander zugewandten Flächen von Grundplatte 3 und Trägerplatte 4 sind dabei feinbearbeitet und infolge eingebrachter Druckluftkanäle 5 als Luftlager ausgebildet.2 is mounted. At the guide column 2 is a prismatic base plate 3, the voln a support plate 4 is included on the guide side. The mutually facing surfaces of the base plate 3 and the support plate 4 are finished and formed as a result of introduced compressed air ducts 5 as an air bearing.

An der Trägerplatte 4 sind Druckluftaustrittsöffnungen tragende Arme 6, die auf ein an der Rückseite der Führungssäule 2On the support plate 4 are compressed air outlet openings carrying arms 6, which are connected to a at the back of the guide column. 2

angebrachtes, als Ebenheitsnormal wirkendes, Spannbandlineal 7, gerichtet sind.attached, acting as a flatness normal, clamping band ruler 7, are directed.

Das Spannbandlineal 7 wird dabei durch einen Spannmechanismus 8 gespannt. Zur Funktionssicherheit von Antrieb undThe clamping band ruler 7 is clamped by a clamping mechanism 8. For the functional safety of the drive and Lagerung der Führung ist der Spannmechanismus 8 und damit der Anstellwinkel des Spannbandlineals 7 durch einStorage of the guide is the clamping mechanism 8 and thus the angle of attack of the strap guide 7 by a Stellelement 9 lageveränderlich angeordnet.Adjusting element 9 arranged variable in position. Zur paarweisen gegensinnigen Ansteuerung der sich in den Armen 6 befindlichen Druckluftkomponenten befindet sich in denFor pairwise opposing control of the located in the arms 6 compressed air components is located in the Zuleitungen für die Druckluft eine Druckluftaufbereitungseinheit 10, ein Druckminderer 11 und ein pneumatischer Negator 12,Supply lines for the compressed air, a compressed air preparation unit 10, a pressure reducer 11 and a pneumatic inverter 12,

der mit einem Hilfsdruck versorgt wird.which is supplied with an auxiliary pressure.

Bedingt durch die einstellbare Dicke der Luftpolster zwischen den Druckluftaustrittsöffnungen der Arme 6 und desDue to the adjustable thickness of the air cushion between the compressed air outlet openings of the arms 6 and Spannbandlinaais 7 wird die Trägerplatte 4 feinfühlig verschiebbar, mit hoher Lagesteifigkeit und Genauigkeit fixier- undSpannbandlinaais 7, the support plate 4 sensitively displaceable, with high positional rigidity and accuracy fixing and

demzufolge lagekorrigierbar.consequently position-correctable.

Die paarweise gegensinnige Anordnung der Arme 6 und der aus den Drucklufteinheiten 10,11 und 12 sich ergebendenThe pairwise opposing arrangement of the arms 6 and from the compressed air units 10,11 and 12 resulting

gegensinnigen Druckänderung kommt es zu einer von Null verschiedenen Druckdifferenz, wodurch es zur definiertenopposing pressure change, it comes to a non-zero pressure difference, which makes it to the defined

Verschiebung der Trägerplatte 4 aus der Ausgangslage kommt.Displacement of the support plate 4 comes from the starting position. Erfolgt durch das Stellelement 9 eine Verschiebung des Spannmechanismus 8, resultiert daraus eine Veränderung desIf a displacement of the clamping mechanism 8 takes place by the adjusting element 9, this results in a change of the Anstellwinkels vom Spannbandlineal 7. Damit ändern sich die Verhältnisse im Luftpolster, es kommt zu einer Aufspaltung inAnstellwinkels of the tension band ruler 7. Thus, the conditions change in the air cushion, there is a split in

einzelne Kraftkomponenten, wovon eine Komponente für den axialen Antrieb nutzbar ist. Somit ist eine Funktionsintegration von Antrieb, Lagerung und Korrektur- bzw. Kompensationsmechanismus realisierbar.individual force components, of which one component can be used for the axial drive. Thus, a functional integration of drive, storage and correction or compensation mechanism can be realized.

Claims (3)

1. Säulenführung, insbesondere für vertikale Verstelleinheiten, bestehend aus einer an einem Gestell befestigten zylinderförmigen Führungssäule, auf welcher ein Positionierelement über in die Führungsflächen zwischen feststehendem und beweglichem Element eingebrachte Druckluftkanäle druckluftgelagert angeordnet ist sowie Verstelleinheiten, dadurch gekennzeichnet, daß an der Führungssäule (2) eine prismatische Grundplatte (3) von einer als bewegliches Positionlerelement ausgebildeten Trägerplatte (3) führungsseitig umschlossen ist, die Trägerplatte (3) mechanisch justierbare, paarweise gegensinnig angeordnete, Druckluftaustrittsöffnungen besitzende, Arm ο (6), die auf ein an der Führungssäule (2) angebrachtes, als Ebenheitsnormal wirkendes Spannbandlineal (7) gerichtet sind, aufweist, das Spannbandlineal (7) über einen Spannmechanismus (8) spannbar ist, der Spannmechanismus (8) mit einem seine Lage senkrecht zur Führungssäule (2) sowie den Anstellwinkel des Spannbandlineals (7) veränderndem Stellelement (9) verbunden ist und die Zufuhr der Druckluft zu den Druckluftaustrittsöffnungen mit einer die Druckluftkomponenten beeinflussenden Steuereinrichtung in Verbindung steht.1. Column guide, in particular for vertical adjusting units, consisting of a cylindrical guide column fastened to a frame on which a positioning element is arranged in compressed air bearing via compressed air ducts introduced into the guide surfaces between stationary and movable element and adjusting units, characterized in that on the guide column (2) a prismatic base plate (3) is enclosed on the guide side by a carrier plate (3) designed as a movable positioner element, the carrier plate (3) has mechanically adjustable pairs arranged in opposite directions, compressed air outlets, arm (6) which rest on a guide post (2). attached, acting as a flatness normal clamping band ruler (7) are directed, the clamping band ruler (7) via a clamping mechanism (8) can be tensioned, the clamping mechanism (8) with its position perpendicular to the guide column (2) and the angle of the Spannb andlineals (7) is connected to a changing adjusting element (9) and the supply of compressed air to the compressed air outlet openings communicates with a control device influencing the compressed air components. 2. Säulenführung, nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Trägerplatte (3) und die Grundplatte (2) vorzugsweise aus feinkristallinen Werkstoffen bestehen.2. Column guide, according to claim 1, characterized in that the carrier plate (3) and the base plate (2) preferably consist of finely crystalline materials. 3. Säulenführung, nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die die Druckluftkomponenten in den Druckluftaustrittsöffnungen der Arme (6) beeinflussende Steuereinrichtung aus einer Druckluftaufbereitungseinheit (10), einen Druckminderer (11) und einem, einen Hilfsdruck erzeugenden pneumatischen Negator (12) besteht.3. Column guide, according to claim 1, characterized in that the compressed air components in the compressed air outlet openings of the arms (6) influencing control device consists of a compressed air treatment unit (10), a pressure reducer (11) and one, an auxiliary pressure generating pneumatic inverter (12).
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