DD276558A1

DD276558A1 - MORE COORDINATE POSITIONING

Info

Publication number: DD276558A1
Application number: DD32104188A
Authority: DD
Inventors: Lothar Boehme; Steffen Pollack
Original assignee: Univ Dresden Tech
Priority date: 1988-10-25
Filing date: 1988-10-25
Publication date: 1990-02-28

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Mehrkoordinaten-Positioniersystem in Einebenenausfuehrung fuer Bewegungen in x-, y- und f-Richtung, das vorzugsweise dort in der Geraetetechnik Anwendung finden kann, wo Objekte, z. B. ein Tisch, schnell und genau positioniert werden muessen. Ziel der Erfindung ist ein Mehrkoordinaten-Positioniersystem, bei dem die Anordnung der Antriebsbaugruppen so erfolgt, dass die Translationsbewegungen des zu positionierenden Tisches in den Koordinaten x und y in einer ersten Ebene und die Drehbewegung um die z-Achse in einer zweiten, parallelen Ebene mit geringstem Abstand zur ersten realisiert werden. Aufgabe der Erfindung ist es, ein Mehrkoordinaten-Positioniersystem in Einebenenausfuehrung zu schaffen, mit dem ein Tisch schnell, genau und reproduzierbar in den Richtungen x, y und f bewegt werden kann. Erfindungsgemaess wird die Aufgabe dadurch geloest, dass sich der zu positionierende Tisch auf drei ebenen Lagern abstuetzt, die sich oberhalb der drehbar gelagerten Montageplatte des Positioniersystems befinden und die eine Bewegung des Tisches in x- und y-Richtung erlauben. Der Abstand zum Lager der planparallelen Montageplatte ist im Ausfuehrungsbeispiel nur durch deren Dicke bestimmt. Die Antriebsbaugruppen des x- und y-Systems sind zueinander ortsunveraenderlich. Dafuer existiert fuer jede translatorische Koordinate eine geradgefuehrte Anlageleiste, die fuer diese Einheit Koppelelement zwischen Tisch und Antriebsbaugruppe darstellt und fuer die orthogonal dazu liegende Fuehrungselement des Tisches ist. Fig. 1The invention relates to a multi-coordinate positioning system in Einbenenausfuehrung for movements in the x-, y- and f-direction, which can preferably be found there in the Geraetetechnik application where objects, for. As a table, must be positioned quickly and accurately. The aim of the invention is a multi-coordinate positioning system, in which the arrangement of the drive assemblies is such that the translational movements of the table to be positioned in the coordinates x and y in a first plane and the rotational movement about the z-axis in a second, parallel plane with smallest distance to the first realized. The object of the invention is to provide a multi-coordinate positioning system in Einbenenausfuehrung, with a table can be moved quickly, accurately and reproducibly in the directions x, y and f. According to the invention, the object is achieved in that the table to be positioned is supported on three flat bearings, which are located above the rotatably mounted mounting plate of the positioning system and which allow movement of the table in the x and y directions. The distance to the bearing of the plane-parallel mounting plate is determined in the Ausfuehrungsbeispiel only by their thickness. The drive modules of the x and y system are mutually inaccessible to each other. For this there exists for each translatory coordinate a straight-guided contact bar, which represents the coupling element between the table and the drive unit for this unit and is for the orthogonal guiding element of the table. Fig. 1

Description

Hierzu 3 Seiten ZeichnungenFor this 3 pages drawings

Field of application of the invention

Die Erfindung betrifft ein Mehrkoordinaten-Positioniersystom in Einebenencusführung zum Bewegen von Werkstücken, Prüflingen, Substrnten oder ähnlichen Objekten, die sich auf einem Tisch befinden und in zwei translatorischen, orthogonal zueinander stehenden Koordinaten χ und γ sowie einer rotatorischon Koordinate bewegbar sein sollen. Das Positioniersystem findet vorzugsweise dort in der Gerätetechnik Anwendung, wo eine hohe Arbeitsgeschwindigkeit, minimale Baugröße und einfach herstellbare Lager und Führungen gefordert sowie nur geringe vertikale Abweichungen im Bewegungsboreich des Tisches zulässig sind.The invention relates to a Mehrkoordinaten-Positioniersystom in single-level cue for moving workpieces, specimens, Substrnten or similar objects that are on a table and in two translational orthogonal coordinates χ and γ and a rotatorischon coordinate to be movable. The positioning system is preferably used in equipment technology where a high operating speed, minimum size and easy to manufacture bearings and guides required and only small vertical deviations are allowed in Bewegungsborseich the table.

Characteristic of the known state of the art

Traditionell werden zur Pos'tioniorung von Objekten in mehroron Koordinaten so viele Antriebsbaugruppen übereinander angeordnet und montiert, wie Freiheiten gefordert sind. Dieses sog. .Huckepackprinzip" schließt den Nachteil ein, daß für die Antriebselemente unterschiedliche Belastungsvorhältnisse entstehen, da jede Antriebsbaugruppe alle über ihr liegenden mitbewegt. Damit sind schnelle Positioniervorgänge nur bedingt realisierbar. Außerdem troten sich summierende Abweichungen in z-Richtung auf. Aus diesen und weiteren Gründen entstanden Positio.iiersysteme nach dem Einobencnprinzip, vxo die Tisthalger eine Bewegung des Tisches in x- und y-Rirhtung sowie teilweise auch in φ-Richtung zulassen, wobei die Antriebsbaugruppen zueinander nicht ortsveränderlich -zumeist gestellfest - angeordnet sind. Eino Entwicklungsrichtung dabei ist die Schaffung von Zwei-Koordinater.motoren, die eine Positionierung in x- und y-Richtung, bei Reduzierung der mechanischen Funktionselemente auf ein Minimum, in Form der Einebenenpositionierung z'jiassen. Sie existieren kontinuierlich arbeitend und als Schrittmotor. Ihr Nachteil besteht in der komplizierten Fertigung und der stark begrenzten Masse, die sie bewegen können. Andere Einebenenlösung'sn, din zui Realisierung von Ju.ttageaufgaben bzw. zur Mikromanipufierung dienen, besitzen nur sehr kleine Siellbereicho und eignen sich somit nur für Spezialanwendungen (DD 240627, DD 136671). Die Variante mit einer Roüschwingo (DD 158443) ist wegen der vielen Federelemente, deren Kraft sich in Abhängigkeit von der Istposition ändert, dynamisch anfällig und besitzt in z-Richtung sehr große Abmessungen. Bei der inTraditionally, as many drive assemblies are placed and mounted on top of each other to position objects in multoron coordinates, as freedoms are required. This so-called "piggy-back principle" involves the disadvantage that different load conditions arise for the drive elements, since each drive module moves along all of them above it For other reasons Positio.iiersysteme emerged on Einobencnprinzip, vxo the Tisthalger allow a movement of the table in x- and y-Rirhtung and partially in the φ-direction, the drive modules to each other not mobile - usually frame fixed - are arranged Eino development direction thereby the creation of two-co-ordinate motors, which minimize positioning in the x and y direction, while reducing the mechanical functional elements, in the form of single-plane positioning complicated production u and the very limited mass that they can move. Other single-level solutions, which serve for the realization of Ju.ttageaufgaben or for micromanipulation, have only very small Siellbereicho and are therefore suitable only for special applications (DD 240627, DD 136671). The variant with a Roüschwingo (DD 158443) is dynamic because of the many spring elements whose force changes depending on the actual position, and has very large dimensions in the z-direction. At the in

Patentschrift DD 140304 vorgestellten Konstruktion sind die Belastungsverhältnisse für die Antriebselemente unterschiedlich, obwohl ein xy-Positioniersystem in Einebenenausführugn vorliegt. Bei ihr sind die Führungsleisten für beide Koordinaten T-förmig starr miteinander verbunden und werden nur bei Bewegung in x-Richtung mitverschoben. Analog liegt das Problem bei den Kreuztischen ge maß US-PS 3722996 und OS 2218164. Sie besitzen ebenfalls fest verbundene Führungsleisten, bei der einen Lösung winkelförmig und bei der anderen kreuzförmig. Nachteile der Einebenunkreuztische nach DD 210437 und DS 2917236 sind die nur durch die antreibenden Zahnstangen- und Schraubengetriebe gegebenen Führungen und damit eine eingeschränkte erreichbare Genauigkeit. Analog gilt das für den Kreuztisch nach OD 236893.Patent DD 140304 design, the load ratios for the drive elements are different, although an xy positioning system is in one-level embodiments. In this case, the guide rails for both coordinates are T-shaped rigidly connected to each other and are moved along only when moving in the x direction. Similarly, the problem is in the cross tables ge measured US-PS 3722996 and OS 2218164. They also have firmly connected guide rails, in which one solution is angular and the other cruciform. Disadvantages of the single-cross tables according to DD 210437 and DS 2917236 are the guides given only by the driving rack and worm gear and thus a limited achievable accuracy. The same applies to the XY stage according to OD 236893.

Das Einebenen-Positioniersystem für x-, y- und φ-Bewegungen mit aktiven Auflagekugeln (DD 239054) ist gegen Störeinflüsse außerordentlich empfindlich, da der Tisch keine echte Führung besitzt und nur durch die Wirkung der Hafttreibung zwischen Tisch und den drei Auflagekugeln in seiner Position gehalten wird.The one-level positioning system for x, y and φ movements with active support balls (DD 239054) is extremely sensitive to interference because the table has no real guidance and only by the effect of the friction between the table and the three support balls in position is held.

Object of the invention

Ziel der Erfindung ist es, ein Mehrkoordinaten-Positioniersystem in Einebenenausführung zu schaffen, das bei kleiner Baugröße und geschlossener Bauform schnelles, hochgenaues Positionieren in den Koordinaten x, y und φ zuläßt, wobei die o. g. Nachteile des Standes der Technik überwunden werden sollen.The aim of the invention is to provide a multi-coordinate positioning system in single-level design, which allows for small size and closed design fast, high-precision positioning in the coordinates x, y and φ, the o. Disadvantages of the prior art to be overcome.

Explanation of the essence of the invention

Aufgabe der Erfindung ist es, ein schnelles, hochgenaues Mehrkoordinaten-Positioniersystem in Einebenenausführung zu schaffen, dessen Aufbau minimale Baugröße sichert und Bewegungen in den Koordinaten x, y und φ zuläßt. Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß zur Bewegungserzeugung in x- und y-Richtung zwei gleichartige Antriebsbaugruppen existieren, die ein mit dem Antriebsmotor gekoppeltes, spielfreies Schraubengetriebe besitzen. Dessen Übersetzungsverhältnis errechnet sich aus i «= Φαν/Sao = 2n/P, wobei P die Steigung der Spindel ist. Mit der Mutter des Schraubengetriebes ist eine geradgeführte Anlagenleiste kraftschlüssig verbunden. Die Anlageleiste stellt für die eine Translationsbewegung Koppelelement zum darüberliegonden, in einer Ebene in zwei Richtungen verschiebbaren Tisch dar und sichert für die orthogonal dazu ausgerichtete Bewegung die Führung desselben. Dip Verbindung zwischen Mutter und geradgoführter Anlageleiste erfolgt über einen zug- und drucksteifen, biegeolastischen St?\ der die Bewegung auf die Anlageleiste überträgt und Parallelitätsabweichungen zwischen Spindelaclise und Führungsachse der Anlageleiste sowie Rundlaufabweichungen der Spindel ausgleicht. Eine zusätzliche Vorrichtung verhindert das Verdrehen und Verkippen der Mutter. Die Geradheit der Anlageleisten und deren Führungen sowie die Einhaltung deren Orthogonalität zueinander bestimmen die Güte der Tischpositionierung bei Bewegung in x- und y-Richtung. Die sichere Anlage des Tisches an die Leisten erfolgt mittels Gleit- oder Wälzkörper an drei Punkten der beiden Anlageleisten und ist spiel- und kippfehlerfrei. Dafür sorgen außerdem Kräfte, die ve η Permanentmagneten oder Federelementen aufgebracht worden können.The object of the invention is to provide a fast, high-precision multi-coordinate positioning system in single-plane design, the structure of which ensures minimum size and permits movements in the coordinates x, y and φ. According to the invention, the object is achieved in that for motion generation in the x and y direction two similar drive assemblies exist, which have a coupled to the drive motor, backlash-free screw gear. Its transmission ratio is calculated as i = Φαν / Sao = 2n / P, where P is the pitch of the spindle. With the mother of the screw gear a straight-line system bar is positively connected. The contact strip represents for the one translational coupling element to the überliegonden, displaceable in a plane in two directions table and ensures for the orthogonal aligned movement of the same leadership. Dip connection between nut and straight-guided contact strip via a tensile and pressure-resistant, bending-elastic St? \ Which transmits the movement to the attachment bar and parallelism between Spindelaclise and guiding axis of the attachment bar and the spindle runout offsets. An additional device prevents twisting and tilting of the nut. The straightness of the contact strips and their guides as well as the compliance with their orthogonality to each other determine the quality of the table positioning when moving in the x and y direction. The safe installation of the table to the strips is carried out by means of sliding or rolling elements at three points of the two contact strips and is free of play and tilting error. This is also ensured by forces which can be applied to permanent magnets or spring elements.

Da der Tisch für die Bewegung in x- und y-Richtung nur eine Lagerebene besitzt, treten Abweichungen in z-Richtung bei der Tischbewegung nur einfach auf.Since the table has only one bearing plane for the movement in the x and y directions, deviations in the z direction during the table movement only occur in a simple manner.

Um den Tisch in einem Bereich von S 1b* drehen zu können, wurde in den Gesamtaufbau unterhalb der Montageplatte, die das xy-System trägt, ein Drehpositioniersystem integriert, das sich von bisher bekannten Varianten unterscheidet. Es besitzt in seiner ersten Getriebestufe ein Schraubengetriebe, des analog den Schi aubengetricben der Antriebsbmigruppen für χ und y aufgebaut ist. Die zweite Getriebestufe ist ein Zugmittelgetriebe, das die Translationsbewegung der Mutter über das Zugmittel auf den Umfang zweier zylinderförmigen Wälistücke, die fest mit der drehbar gelagerten Montageplatte verbunder sind, überträgt, dabei in eine Drehbewegung umformt und somit eine definierte Rotation der Montageplatte erzeugt. Beide Getriebestufen sind spielfrei ausgeführt. Das Drehpositioniersystem ist so in den Gesamtaufbau angeordnet, daß kleine Baugröße gesichert wir J, da der Abstand der Ebene der Drehbewegung von der Ebene der Translutionsbewey ungen nur durch die Dicke der planparallelen Montageplatte bestimmt ist.In order to be able to turn the table in a range of S 1b *, a rotary positioning system was integrated into the overall structure below the mounting plate, which carries the xy system, which differs from previously known variants. It has in its first gear stage, a helical gear, which is similar to the Schü aubengetricben the Antriebsbmig groups for χ and y is constructed. The second gear stage is a traction mechanism, which transmits the translational movement of the nut via the traction means on the circumference of two cylindrical Waist pieces, which are solid with the rotatably mounted mounting plate verbunder, thereby forming a rotational movement and thus generates a defined rotation of the mounting plate. Both gear stages are designed without play. The Drehpositioniersystem is arranged in the overall structure that small size we saved J, since the distance of the plane of rotation from the level of Translutionsbewey ments is determined only by the thickness of the plane-parallel mounting plate.

Durch eine besondere Gestaltung der Form der Montageplatte kann man auch erreichen, daß beide Ebenen zusammenfallen. Das Übersetzungsverhältnis des Drehpositioniersystems errechnet aich aus i = Ψαν/Ψαβ = 2nr/Pmitr = Radius der Walzstücke und P = Steigung der gestellfest gelagerten Spindel. Die Variation von P und r ermöglicht eine Grob- bzw. Feineinstellung des Übersetzungsverhältnisses und damit der Einfühligkeit der Drehpositionierung.By a special design of the shape of the mounting plate can also achieve that both planes coincide. The gear ratio of the Drehpositioniersystems aich calculated from i = Ψαν / Ψαβ = 2nr / Pmitr = radius of the rolling and P = pitch of the frame fixedly mounted spindle. The variation of P and r allows a coarse or fine adjustment of the transmission ratio and thus the sensitivity of the rotational positioning.

Die Gestaltung des Tisches erfolgt so, daß an ihm direkt die Wegmessungen für χ und y erfolgon können. Die Ermittlung des zurückgelegten Winkels erfolgt entweder direkt an der Montageplatte oder indirekt durch Messung an einem Getriebeelement. Im Ausführungsbeispiel wird der Weg s der Mutter der ersten Getriebstufe gemessen. Der Abst, ndswinkel ergibt sich dabei zuThe design of the table is such that the distance measurements for χ and y can be successful on it directly. The determined angle is determined either directly on the mounting plate or indirectly by measurement on a transmission element. In the exemplary embodiment, the distance s of the mother of the first gear stage is measured. The Abst, ndswinkel is given to

Ψαβ = 360° · s/2 nr.Ψαβ = 360 ° · s / 2 no.

Ein am Gestell oberhalb der Tischplatte fest montiertes Bremssystem, bestehend aus zwoi elektromagnetischen Bremsen, ermöglicht das Bremsen des Tisches sowie das Festhalten in einer Ebene bis zum nächsten Bewegungszyklus für allo drei Koordinaten gleichzeitig.A brake system fixed to the frame above the table top, consisting of two electromagnetic brakes, allows the table to be braked and held in one plane until the next cycle of motion for all three co-ordinates simultaneously.

Ausführungsbeispiel In den Figuren zeigenEmbodiment In the figures show

Fig. 1: Explosive representation of the moving assemblies Fig. 2: Arrangement of all modules in the overall structure Fig. 3: Structure of the drive modules for translational movements (schematic diagram) 4: special Drehpesitioniersystem (schematic diagram, view from below)

Das erfindungsgemäCe Mehrkoordinaten-Positioniersystem sstzt sich aus einem Einebenen-Kreuztisch und einem speziellen Drehpositioniersystem zusammen.The multi-coordinate positioning system according to the invention is composed of a single-level cross table and a special rotary positioning system.

Dig in der Grundplatte 1 drehbar gelagerte Montageplatte 2 stützt an drei Lagerstellen 3.1,3.2,3.3, die eine Bewegung in mehreren Koordinaten zulassen, den Tisch 4 des xy-Positioniersysterns ab. Unterhalb sind über Stützen 5.1 ...5.4 zwei orthogonal zueinander stehende Führungsstangen 6.1, S.2 befestigt, die eine Geradführung der Anlagelaisten 7.1,7.2, die ebenfalls orthogonal zueinander angeordnet sind, über spezielle Rahmen 8.1,8.2 sichern. Die Montageplatte besitzt eine kreuzförmige Aussparung, durch die eine am Tisch montierte Anordnung von drei Gleitstücken 9.1,9.2,9.3 (verdeckt) und drei Permanentmagneten 10.1,10.2,10.3 sowie den notwendigen Verbindungselementen hindurchgesteckt wird. Die Magnetkraft zieht die Anlageleisten an die entsprechenden Gleitstücke. Boi Translationsbewegung der Anlageleisten in die eine Richtung wird der Tisch geschoben, bei Bewegung in die Gegenrichtung gezogen, wobei die Magnetkraft ein Abreißen verhindert. Wegen der Dreipunktanlage kann ein ungewolltes Verdrehen des Tisches in der xy-Ebene nicht auftreten. Bei Bewegung in der einen translatorischen Koordinate realisiert die Anlageleiste der anderen Koordinate über die Gleitstücken die Führung der Längsbewegung des Tisches. Damit sich die Anlageleiste in einer definierten Ebene bewegt und sich nicht um die Führungsachse verdrehen kann, existieren Gleitelemente 11.1,11.2, die über nicht dargestellte Stützen mit der Montageplatte verbunden sind. Die Antriebsbaugruppen des xy-Systems 20 sind ebenfalls über Stützen an der Montageplatte befestigt. Ihr Abstand von der Montageplatte ist, wie aus Fig, 1 hervorgeht, unterschiedlich.Dig in the base plate 1 rotatably mounted mounting plate 2 is supported at three bearings 3.1,3.2,3.3, which allow movement in multiple coordinates, the table 4 of the xy-Positioniersysterns from. Below two supports 5.1 to 5.1, orthogonal to one another, are fixed via supports 5.1... 5.4, which secure a straight guide of the installation supports 7.1, 7. 2, which are likewise orthogonal to one another, via special frames 8, 8, 8. The mounting plate has a cross-shaped recess through which a table-mounted arrangement of three sliders 9.1,9.2,9.3 (hidden) and three permanent magnets 10.1,10.2,10.3 and the necessary fasteners is inserted therethrough. The magnetic force pulls the contact strips against the corresponding sliders. Boi Translational movement of the abutment slats in one direction, the table is pushed, pulled when moving in the opposite direction, the magnetic force prevents tearing. Because of the three-point system, unintentional twisting of the table in the xy plane can not occur. When moving in one translational coordinate, the abutment bar of the other coordinate realizes the guidance of the longitudinal movement of the table via the slides. So that the contact strip moves in a defined plane and can not rotate about the guide axis, there are sliding elements 11.1,11.2, which are connected via supports, not shown, with the mounting plate. The drive assemblies of the xy-system 20 are also secured by supports on the mounting plate. Their distance from the mounting plate is, as is apparent from Fig. 1, different.

Für eine geschlossene Bauform sorgen vier Seitenwinde 13.1... 13.4, zwei U-förmige Abdeckbleche 14.1,14.2 und ein mittels Schiene 19 am oberen Abdeckblech und mittels Rahmen 17 am Tisch befestigtes, elastisches Tuch 18. Oborhalb des Tisches befinden sich außerdem zwei topfförmige Elektromagnete 16.1,16.2, die über entsprechend gestaltete, biegeelemente Bleche 15.1,15.2 am Gestell befestigt sind und bei Inbetriebnahme auf die Oberfläche des Tisches aufsetzen und die Bewegung des Tisches bremsen und ihn in seiner Position halten. Die Antriebsbaugruppen des xy-Systems sind gleich. Die Antriebsbewegung des Rotationsmotors 26 wird über eine Kupplung 27 auf eine Spindel 28 übertragen und in eine Translationsbewegung der Mutter 29 umgeformt, die über ein zug-Zdrucksteifes, biegeelastisches, stabförmiges Element 30 eine Vorschubbewegung der mit dem speziellen Rahmen 8 verbundenen, geradgeführten Anlageleiste 7 erzeugt. Das stabförmige Element gleicht ParallelitStftabweichungen zwischen Spindel- und Führungtachse der Anlageleiste sowie Rundlaufabweichungen der Spindel aus. Ein Bolzen 31, welcher einseitig in die Mutter eingespannt und am anderen Ende in einem um die Führungsachse der Anlageleiste drehbeweglichen speziellen Führungselement 32 geradgoführt ist, verhindert das Verdrehen und Verkippen der Mutter. Die an der Seitenwand 13.1 montierte Ar.triebsbaugruppe der Drehpositionierung 12 besitzt ein zweistufiges Getriebe, dessen erste Stufe ein Schraubengetriebe mit dem gleichen Aufbau wie im xy-System ist. Anstelle der Anlageleiste ist aber am Abtrieb 35 dieser Antriebsbaugruppe das Stahlband eines speziellen Zugmittelgetriebes befestigt. Dor als zweite Getriebestufe existierende Translations-Rotations-Umformer setzt sich aus dem Stahlband 23, zwei Umlenkgleitstücken 25.1,25.2, zwei Wälzstücken 24.1,24.2, zwei Haltern 21.1,21.2, zwei speziollen Exzenterschrauben 22.1,22.2 und der Montageplatte als Abtriebselement zusammen. Die Umlenkgleitstücke werden an der Grundplatte, die Wälzstücke und die Halter an der Unterseite der Montageplatte befestigt. An seinen Enden ist das Stahlband in den Haltern fest eingespannt. Die in der Montageplatte drehbaren und fest arretierbaren Exzenterschraubun dienen zum Spannen des Stahlbandes. Bewegt sich der Antrieb der trnnslatorischen Antriebsbaugruppe, nimmt er das Stahlband mit. Dieses gleitet über die Umlenkgloitstücke, wälzt sich au, den Wllzstücken ab und erzeugt eine Drehbewegung der Montageplatte.For a closed design provide four side winds 13.1 ... 13.4, two U-shaped cover plates 14.1,14.2 and one by means of rail 19 on the upper cover plate and by means of frame 17 attached to the table, elastic cloth 18. Oborhalb of the table are also two cup-shaped electromagnets 16.1.16.2, which are fastened to the frame by means of suitably designed bending elements plates 15.1.15.2 and, when put into service, touch the surface of the table and slow down the movement of the table and hold it in position. The drive modules of the xy system are the same. The drive movement of the rotary motor 26 is transmitted via a coupling 27 to a spindle 28 and formed into a translational movement of the nut 29, which generates a feed-ZStiffsteel, flexurally elastic, rod-shaped element 30, a feed movement of the special frame 8 connected, straight ledge 7 , The rod-shaped element compensates for parallelism errors between the spindle and guide axis of the contact strip as well as concentricity deviations of the spindle. A bolt 31, which is clamped on one side into the nut and at the other end is guided straight in a rotatable about the guide axis of the contact strip special guide element 32, prevents twisting and tilting of the nut. The Ar.triebsbaugruppe the rotary positioning 12 mounted on the side wall 13.1 has a two-stage gearbox whose first stage is a helical gear with the same structure as in the xy system. Instead of the contact strip but the steel band of a special traction mechanism is attached to the output 35 of this drive assembly. Dor as a second gear stage existing translation rotary converter is composed of the steel strip 23, two Umlenkgleitstücken 25.1,25.2, two Wälzstücken 24.1,24.2, two holders 21.1,21.2, two special eccentric 22.1,22.2 and the mounting plate as an output element together. The Umlenkgleitstücke be attached to the base plate, the Wälzstücke and the holder on the underside of the mounting plate. At its ends, the steel band is firmly clamped in the holders. The eccentric screws, which can be rotated in the mounting plate and firmly locked, serve to tension the steel strip. If the drive of the inertial drive module moves, it takes the steel strip with it. This slides over the Umlenkgloitstücke, rolls out, the Wllzstücken and produces a rotational movement of the mounting plate.

Claims

1. multi-coordinate positioning system in single-level design for x-, y- and φ-movements with mutually ortsunveränderlichen x- and y-drive assemblies, characterized in that between the drive assembly and table for each translational coordinate a straight-line attachment bar exists, for this coordinate coupling element and for the orthogonal thereto coordinate guide element of the tables is.

2. Multi-coordinate positioning system according to claim 1, characterized in that the coupling between the table and system strips is realized non-positively, 'vobei the entrainment and leadership of the table on one investment ledge at two points and the other takes place at one point.

3. Multi-coordinate positioning system according to claim 1, characterized in that a screw gear is used as a rotation-translation converter.

4. Multi-coordinate positioning system according to claim 2, characterized in that the connection between the nut and the straight-mounted contact strip is simultaneously flexurally elastic and tensile / pressure-resistant.

5. Mehrkooordinaten-positioning system according to claim 4, characterized in that a rod-shaped element serves as a connection, which connects the mother with the straight-mounted contact strip flexurally elastic and tension / compression stiff, and that a second rod-shaped element in the nut clamped on one side and the other End is straight in a rotatable about the leading axis of the contact strip element.

6. Mehrkoordinaten-Positioniersystom according to claim 1, characterized in that for rotary positioning a frame-fixed drive system is used, to which a two-stage, high-ratio gearbox belongs, consisting of a screw gear for rotational-translation conversion as a first gear stage and a traction mechanism for translational rotation Forming as a second gear stage exists.

7. Multi-coordinate positioning system according to claim 1, characterized in that a frame-fixed, simultaneously acting on all three coordinates magnetic brake is present.

8. Multi-coordinate positioning system according to claim 1, characterized in that the entire arrangement is sealed dust-tight by a thin-walled, rigid housing enclosing all assemblies and the range of motion of the table is sealed with a traversing elastic cloth in a plane.