DD268524A1 - ARRANGEMENT FOR INTERFEROMETRIC TESTING OF THE FORM OF OPTICAL FLACES AND OF CRUISE INHOMOGENITIES WITH SMALL GRADIENTS OF OPTICAL GLASSES IN REAL TIME - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur interferometrischen Pruefung der Formabweichung optischer Flaechen und von Brechzahlinhomogenitaeten mit kleinem Gradienten an optischen Glaesern in Echtzeit. Die Erfindung besteht darin, dass in einer optischen Interferometeranordnung mit FIZEAU-Charakter eine polarisationsoptische und geringfuegige, winkelmaessige Strahldifferenzierung mittels eines doppelbrechenden Elements vor der Strahlaufweitung und damit vor der geringfuegig geneigt stehenden Referenzflaeche vorgenommen und die polarisationsoptische Phasenstellung angewendet wird, so dass auch grosse Planflaechen und Sphaeren pruefbar sind. Der Vorteil liegt in der Verbindung der Vorteile des FIZEAU-Interferometers mit den Vorteilen der polarisationsoptischen Phasenstellung, so dass unter Ausnutzung der Strahlteilung vor dem Interferometer auch grosse Prueflinge mit hoher Genauigkeit und vergleichsweise geringem konstruktivem und technologischem Aufwand pruefbar werden. Die durch das Common-Path-Prinzip bedingte Schwingungs- und Temperaturunempfindlichkeit wird ebenfalls erreicht. Fig. 1The invention relates to an arrangement for the interferometric examination of the shape deviation of optical surfaces and of refractive index inhomogeneities with a small gradient of optical glasses in real time. The invention consists in that in a FIZEAU optical interferometer arrangement a polarization-optical and minute, angular beam differentiation is performed by means of a birefringent element before the beam expansion and thus before the slightly inclined reference surface and the polarization-optical phase position is applied, so that even large plane surfaces and Sphaeren are testable. The advantage lies in the combination of the advantages of the FIZEAU interferometer with the advantages of polarization-optical phase position, so that taking advantage of the beam splitting before the interferometer and large Prueflinge with high accuracy and comparatively low constructive and technological effort are pruefbar. The vibration and temperature insensitivity due to the common-path principle is also achieved. Fig. 1
Description
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Anordnung zur interferometrischen Prüfung der Formabweichung optischer Flächen und von Breohzahlinhomogenitäten mit kleinem Gradienten an optischen Gläsern in Echtζ a itArrangement for the interferometric examination of the shape deviation of optical surfaces and small gradient bulk homogeneities on optical glasses in real ζ a
Die Erfindung betrifft die Prüfung von optischen Oberflächen und Inhomogenitäten mit kleinen Brechzahlgradienteii in einem Zweistrahlinterferometer, das in Eohtseit arbeitet.The invention relates to the testing of optical surfaces and inhomogeneities with small refractive index gradient in a two-beam interferometer, which works in Eohtseit.
Charakteristik der bekannten technischen Lösungen Zur Prüfung von optischen Flächen und Inhomogenitäten ist es bekannt, FIZEAU- und TWYMAiI-GREEN-INTERFEHOMETER (TGI) einzusetzen. Diese Interferometeranordnungen können Mittel zur Referenzphasenstellung beinhalten und mit Rechnern gekoppelt sein, womit eine Erhöhung der Meßgenauigkeit und eine Verkürzung der Meßzeit erreicht wird. Bei TGI-Anordnungen ist es bekannt, Mittel zur Durchführung von Phase-Stopplng-Interferometrie (PSl)-Verfahren und von Heterodyn-Verfahren zu integrieren. Mittels TGI-Anordnungen läßt sich die Referenzphase günstig verstellen. Nachteilig bei TGI-Anordnungen ist, daß diese durch einen räumlich getrennten Prüf- und Referenzstrahlengang eine hohe Temperatur- und Sohwingungsempfindlichkeit aufweisen. Der dadurch bedingte temperaturabhängige Gerätefehler muß duroh Kalibrierung, die ggf. häufig Characteristic of the known technical solutions For examining optical surfaces and inhomogeneities, it is known to use FIZEAU and TWYMAiI GREEN INTERFEHOMETERS (TGI). These interferometer arrangements may include means for reference phase position and be coupled to computers, whereby an increase in the measurement accuracy and a shortening of the measurement time is achieved. In TGI devices, it is known to incorporate means for performing phase-stop interferometry (PSI) methods and heterodyne methods. By TGI arrangements, the reference phase can be favorably adjusted. A disadvantage of TGI arrangements is that they have a high temperature and Sohwingungsempfindlichkeit by a spatially separated test and reference beam. The consequent temperature-dependent device error must duroh calibration, if necessary frequently
wiederholt werden muß, eliminiert werden« Bei einem FIZEAU-Interferometer sind diese Nachteile nicht dominierend, weil erst an der FIZEAU-Referensfläohe Prüf - und Referenzstrahl getrennt werden. In der optischen Anordnung durchlaufen also beide Strahlen den gleichen Weg (Comraon-Path-Interferometer), bis auf die Strecke zwischen Referenz- und Prüffläche.must be repeated, eliminated. "In a FIZEAU interferometer, these disadvantages are not dominant, because only at the FIZEAU Referensfläohe test and reference beam are separated. In the optical arrangement, therefore, both beams pass through the same path (Comraon Path Interferometer), except for the distance between reference and test area.
Allerdings bringt dieser Vorteil des FIZEAU-Interferometers auch den Naohteil mit sich, daß die Referenzphase nicht so relativ unproblematisch und variantenreich wie beim TGI gestellt werden kann.However, this advantage of the FIZEAU interferometer also brings with it the NaOH part that the reference phase can not be made as relatively unproblematic and varied as with the TGI.
Als Möglichkeiten der Phasenstellung im FIZEAU-Interferometsr sind bisher die piezogetriebene Verstellung der Refe— renzfläche (Schaham: "Precision optical wavefront measurement", Preprint SPIE 25th Symp., 1981) oder des Prüflings (Moore, Slaymaker: "Direct measurement of phase in a spherical-wave PIZEAU-Interferometer"; Appl. Opt. 19, 2196, 1980). bekanntgeworden.To date, the piezo-driven adjustment of the reference surface (Schaham: "Precision optical wavefront measurement", Preprint SPIE 25th Symp., 1981) or the test specimen (Moore, Slaymaker: "Direct measurement of phase in a spherical-wave PIZEAU interferometer "; Appl. Opt. 19, 2196, 1980). known.
Nachteilig ist dabei wegen der beachtlichen Größe der Prüflinge (Hochleistungsoptik mit Durchmesser 150 mm und darüber) die große zu bewegende Masse. Neben dem konstruktiven Aufwand steigen auch die Phasenstellfehler und somit die Meßfehler bei dieser Variante.The disadvantage here is because of the considerable size of the specimens (high-performance optics with a diameter of 150 mm and above), the large mass to be moved. In addition to the design effort also increase the phase errors and thus the measurement errors in this variant.
Eine andere Variante ist in DD 250754 A1 beschrieben. Zum Zwecke der polarisationsoptischen Phasanstellung wird die Schwingungsrichtung des die Referenzfläche transmittierenden linear polarisierten Lichtes mittels einer A/4-Platte um 90° gedreht, wobei die λ/4-Platte zwischen Referenzfläche und Prüfling aufgestellt wird uud vom Meßstrahl zweimal durchlaufen wird. Anstelle der A/4-Platte wird auch eine KERR- oder eine PARADAY-ZelIe angegeben. Nachteilig an dieser Anordnung ist, daß üie exakt nur für di«! Prüfung von Planflächen eingesetzt werden kann, weil sich bei sphärischen Prüflingen die Phasendifferenz mit wachsendem Aperturwinkel infolge der SchrägdurchstrahlungAnother variant is described in DD 250754 A1. For the purpose of polarization-optical phase adjustment, the direction of oscillation of the reference plane transmitting linearly polarized light is rotated by 90 ° by means of an A / 4 plate, wherein the λ / 4 plate is placed between the reference surface and DUT and uud passed through the measuring beam twice. Instead of the A / 4-plate also a KERR or a PARADAY-ZelIe is specified. A disadvantage of this arrangement is that üie exactly only for di «! Testing of flat surfaces can be used, because in spherical specimens, the phase difference with increasing aperture angle due to the oblique transmission
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immer mehr vom geforderten Betrag λ/4 unterscheidet, je dicker die Platte aus StabllitätsgrUnden ausgeführt wird. Hinzu kommt das technologische Problem der Herstellung großer Λ/4-Platten, so daß die Lösung auf die Prüfung kleiner Planflächen, kleiner konvexer Prüflinge geringer Apertur und beliebiger konkaver Prüflinge geringer Apertur beschränkt bleibt-,more and more differs from the required amount λ / 4, the thicker the plate is performed for stability reasons. In addition, there is the technological problem of producing large Λ / 4 plates, so that the solution remains limited to testing small plane surfaces, small convex low-aperture specimens, and any concave low-aperture specimens.
Barnes ("Heterodyne Fizeau-Interferometer for testing flat surfaces"; Appl. Optics, 26 (14), 2804, 1987) stellt eine Lösung vor, bei der das heterodyne Phasenstellverfahren in ein Planflächeninterferometer mit FIZEAU-Gharakter implementiert wird. Am Eingang des Interferometers werden mittels akusto-optischem Modulator (AOM) oder rotierendem Radialgitter die beim Heterodyn-Verfahren notwendigen Laserstrahlen mit leicht gegeneinander verschobenen Frequenzen erzeug-;. Die Neigung zwischen beiden Strahlen wird ausgenutzt, um die Referenz- und die Prüffxäche, die ebenfalls eine geringe Neigung gegeneinander besitzen und zur optischen AcLce geeignet justiert sein müssen, so zu bestrahlen, daß der in Richtung der optischen Achse an der Referenzflache reflektierte Strahl mit der Frequenz 1*3 , mit dem in Richtung der optischen Achse an der PrUffläche reflektierten Strahl mit der Frequenz O ρ interferieren kann. Alle anderen Reflexe werden ausgeblendet. Diese Anordnung kann als Common-Path-Interferoraeter mit Heterodynverfahren bezeichnet werden. Durch das Heterodynverfahren bedingt wird allerdings «tets nur 1 Punkt der Prüffläche ausgemessen; durch Scannen, z.B. Verschieben der Prüffläche, wird erst die gesamte Fläche erfaßt. Für das PSI-Verfahren ist die angegebene Lösung nicht anwendbar.Barnes ("Heterodyne Fizeau Interferometer for Testing Flat Surfaces"), Appl. Optics, 26 (14), 2804, 1987) presents a solution in which the heterodyne phase-shifting method is implemented in a FIZEAU plane surface interferometer. At the input of the interferometer by means of acousto-optic modulator (AOM) or rotating radial lattice necessary in the heterodyne process laser beams are generated with slightly shifted frequencies. The inclination between both beams is used to irradiate the reference and the test surface, which also have a slight inclination to each other and must be suitably adjusted to the optical AcLce, so that the beam reflected at the reference surface in the direction of the optical axis with the Frequency 1 * 3, with the reflected beam in the direction of the optical axis on the test surface with the frequency O ρ can interfere. All other reflexes are hidden. This arrangement may be referred to as a heterodyne common path interferometer. Due to the heterodyne method, however, only 1 point of the test surface is measured; by scanning, e.g. Moving the test surface, only the entire surface is detected. For the PSI method, the specified solution is not applicable.
Ziel der Erfindung ist es, den Anwendungsbereich von intsrferometrischen Prüfanordnungen mit FIZEAU-Charakter und polarisationsoptischer Phasenstellung ι f Prüflinge mitThe aim of the invention is the scope of intsferferometric test arrangements with FIZEAU character and polarization optical phase position ι f specimens with
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ZUTO
großem Aperturbereich bzw. mit großer Ausdehnung zu erweitern.large aperture area or expand with great expansion.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung zur interferometrischen Prüfung zu entwickeln, die mit einfachtn Mitteln eine Ermittlung der Formabweichung optischer Flächen und der Brechzahlinhomogenitäten an optischen Gläsern unabhängig von mechanischen Schwingungen hochgenau ermöglicht.The invention has for its object to develop an arrangement for interferometric examination, which enables a simple determination of the shape deviation of optical surfaces and the refractive index inhomogeneities of optical glasses, regardless of mechanical vibrations highly accurate.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß in einem Interferometeraufbau mit FIZEAU-Charakter, byi dem in Lichtrichtung gesehen entlai g einer optischen Achse nacheinander eine monochromatische Lichtquelle der Wellenlänge λ , ein Polarisator, ein Voraufweitungssystem mit einem Raumfrequenzfilter, eine A/2-Platte, ein optisches Abbildungssystem, ein Strahlenteiler aus einer Glasplatte und einem achsnahen Umlenkspiegel, ein weiteres optisches Abbildungssystem, eine gegen die optische Achse leicht geneigte FIZE/iU-Referenzfläche und eine in entgegengesetzter Richtung um den gleichen Betrag geneigte Prüflingsfläche angeordnet sind,The object is achieved in that in an interferometer with FIZEAU character, byi seen in the light direction entlai g an optical axis successively a monochromatic light source of wavelength λ, a polarizer, a Voraufweitungssystem with a spatial frequency filter, an A / 2 plate an optical imaging system, a beam splitter made of a glass plate and a deflection mirror near the axis, a further optical imaging system, a FIZE / iU reference surface slightly inclined towards the optical axis, and a specimen surface inclined in the opposite direction by the same amount,
bei dem weiterhin in dem vom Umlenkspiegel erzeugten Auswertestrahlengang in Lichtrichtung gesehen entlang der optischen Achse nacheinander ein Objektiv, eine ^/4-Platte, eine drehbare Λ/2-Platte, ein Analysator und ein Empfänger vorgesehen ist, wobei die drehbare Λ/2-Platte von einem Mo*nr angetrieben wird, der mit einem Rechner in Verbindung steht, und wobei der Empfänger mit einem A/D-Wandler verbunden ist, der ebenfalls mit dem Rechner gekoppelt ist, zwischen der festen Λ/2-Platte und dem ersten optischen Abbildungssystem ein doppelbrechendes Element vorgesehen ist.in which, furthermore, an objective, a λ / 4 plate, a rotatable Λ / 2 plate, an analyzer and a receiver are provided successively in the evaluation beam path generated by the deflecting mirror in the light direction along the optical axis, wherein the rotatable Λ / 2 Disk is driven by a Mo * nr, which is in communication with a computer, and wherein the receiver is connected to an A / D converter, which is also coupled to the computer, between the fixed Λ / 2-plate and the first optical imaging system is provided a birefringent element.
Das Wesen der Anordnung beeteht erfindungsgemäß darin,The essence of the arrangement according to the invention is
daß in einer optischen Interferometeranordnung mit FIZEAU= Charakter eine polarisationsoptische und geringfügige, winkelmäßige Strahldifferenzierung mittels eines doppelbrechenden Elements vor der StrahlaufWeitung und damit vor der geringfügig geneigt stehenden Referenzfläche vorgenommen und die polarisationsoptische Phasenstellung angewendet wird, so daß auch große Planflächen und Sphären prüfbar sind.in an optical interferometer arrangement with FIZEAU = character, a polarization-optical and slight, angular beam differentiation by means of a birefringent element before the StrahlaufWeitung and thus made before the slightly inclined reference surface and the polarization-optical phase position is applied, so that even large plane surfaces and spheres can be tested.
Der Vorteil liegt in der Verbindung der Vorteile des FIZEAU-Interferometers mit den Vorteilen der polarisationsoptischen Phasenstelluiig, so daß unter Ausnutzung der Strahlteilung vor dem Interferometer auch große Prüflinge mit hoher Genauigkeit und vergleichsweise geringem konstruktiven und technologischen Aufwand prüfbar werden. Die durch das Common-Path-Prinzip bedingte Schwingungsund Temperaturunempfindlichkeit wird ebenfalls erreicht,The advantage lies in the combination of the advantages of the FIZEAU interferometer with the advantages of polarization-optical Phasenstelluiig, so that taking advantage of the beam splitting before the interferometer and large specimens with high accuracy and comparatively low design and technological effort can be tested. The vibration and temperature insensitivity due to the common-path principle is also achieved,
In der Zeichnung sind Ausführungsbeispiele der Erfindung dargestellt, und zwar zeigen:In the drawings, embodiments of the invention are shown, in which:
Fig. 1: ein Schema der erfindungsgemäßen Anordnung für die Planflächenp.?Ufung,1 shows a scheme of the arrangement according to the invention for the Planflächenp. Ufung,
Fig. 2: ein Ausführungsbe.lspiel zur Prüfung von sphärischen Flächen, undFig. 2: an Ausführungsbe.lspiel for testing spherical surfaces, and
Fig. 3: ein Ausführungsbeispiel für die HomogenitätsprU-fung von optischem Glas mit kleinem BrechzahlgradientenFig. 3: an embodiment for the homogeneity test of optical glass with a small refractive index gradient
Fig. 1 stellt eine im wesentlichen anwendungsgerechte Anordnung für die Planflächenprüfung dar. Der Übersichtlichkeit halber wurden dort die Winkel und Abstände der Strahlen 11 und 13 übertrieben dargestellt.Fig. 1 illustrates a substantially application-oriented arrangement for the surface inspection. For the sake of clarity, the angles and distances of the beams 11 and 13 have been exaggerated there.
Als Lichtquelle wird ein Laser 1 verwendet. Es folgen ein Polarisator 2, ein VoraufWeitungssystem 3 und ein Raumfre-As the light source, a laser 1 is used. This is followed by a polarizer 2, a pre-processing system 3 and a room
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quenzfilter 4. Die Polarisationsrichtung wird mit einerquenzfilter 4. The polarization direction is with a
Λ /2-Platte 5 eingestellt. Die Wollaston-Platte 6 teilt den Laserstrahl in zwei senkrecht zueinander polarisierte, divergierende Strahlen. F.^ide Strahlen werden so durch die Interferometeroptik ?., 8 geführt, daß sie leicht geneigt zueinander auf die ebenfalls leicht geneigt zueinander stehenden Referenz- und Prüflingsflache 9 und 10 treffen. Die Neigung der beidcsn Flächen ist so bemessen, daß einer der beiden senkrecht zueinander polarisierten Strahlen 11 an der Referenzfläche in die Richtung der optischen Achse 12 und der andere der beiden Strahlen 13 an der Prüflingsfläche ebenfalls in die Richtung der optischen Achse reflektiert wird.Λ / 2 plate 5 set. The Wollaston plate 6 divides the laser beam into two mutually polarized, diverging beams. F. ^ ide rays are so through the interferometer optics?., 8 out that they meet slightly inclined to each other on the also slightly inclined to each other standing reference and Prüflingsflache 9 and 10. The inclination of the two surfaces is such that one of the two perpendicularly polarized beams 11 at the reference surface in the direction of the optical axis 12 and the other of the two beams 13 at the device under test surface is also reflected in the direction of the optical axis.
Die beider, in Richtung der optischen Achse zurücklaufenden Strahlen 16 und 17 werden am Umlenkspiegel 18 auf den Empfänger 24 umgelenkt, wo das Interferenzbild entsteht. Der Umlenkspiegel ist ein kleiner verspiegelter Fleck, der sich in der Mitte einer im Winkel von 45° zur optischen Achso aufgestellten Glasplatte 19 befindet. Zwischen dem Objektiv 20 und dem Empfänger befindet sich der polarisationsoptische Phasensteller, der aus einerThe two beams 16 and 17, which return in the direction of the optical axis, are redirected at the deflection mirror 18 to the receiver 24, where the interference pattern is formed. The deflection mirror is a small mirrored spot, which is located in the middle of a set up at an angle of 45 ° to the optical Achso glass plate 19. Between the lens 20 and the receiver is the polarization optical phaser, which consists of a
λ/4-Platte 21 und einer drehbaren λ/2-Platte 22 besteht und stuf den ein Analysator 23 folgt. Mit dem polarisationsoptischen Phasensteller wird die Phase entweder schrittweise (PSl) oder kontinuierlich (Integrated Bucket Verfahren) verstellt.λ / 4 plate 21 and a rotatable λ / 2 plate 22 and stage is the an analyzer 23 follows. With the polarization optical phaser, the phase is adjusted either stepwise (PSI) or continuously (Integrated Bucket method).
Als Empfänger wird eine Digitalfernsehkamera, ein Foto-Dioden- Array oder eine CCD-Matrix-Kamera verwendet. Ein Mikrorechner 26, der den Phasensteller über einen Motor 27 und der die Empfängerkaraera steuert, erfaßt die Meßwerte, die im A/D-Wandler 25 digitalisiert werden, unc". berechnet die Flächenabweichungen.The receiver uses a digital TV camera, a photo diode array or a CCD matrix camera. A microcomputer 26, which controls the phaser via a motor 27 and the receiver karaera, detects the measurement values digitized in the A / D converter 25, and calculates the area deviations.
Nimmt man 0.5 mm für den Abstand der beiden Schnittpunkte 28 und 29 der senkrecht zueinander polarisierten Strahlen und f = 1500 mm für das Aufweitungssystem 8 an, so istAssuming 0.5 mm for the distance between the two points of intersection 28 and 29 of the beams polarized perpendicular to each other and f = 1500 mm for the expansion system 8, so is
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die Neigung der die beiden Platten 9 und 10 treffenden Strahlen mit etwa 1' 10" noch so klein, daß die Platten noch nahezu senkrecht getroffen werden. Die Neigung der Plattennormalen zur optische. Achse ist in diesem Falle + 35". Auch der Verlauf beider Strahlen ist bei diesen geringen Winkeln noch nahezu ide^bisch. Aus Fig. 1 ist weiterhin zu ersehen, daß die beiden Schnittpunkte 28 und 29 (im Beispiel angenommener Abstand von 0.5 mm) räumlich getrennt vom Schnittpunkt 30 der reflektierten Strahlen 'Liegen, so daß die nur im Bereich der optischen Achse aufgebrachte Spiegelschicht (R > 90?Q nicht ve η den einfallenden Bündeln berührt wirde Dadurch wird eine maximale Lichtausbeute gesichert.The inclination of the rays striking the two plates 9 and 10 is still so small, at about 1 '10 ", that the plates are still struck almost vertically, and the inclination of the plate normal to the optical axis is + 35" in this case. The course of both rays is also almost ideal at these small angles. From Fig. 1 it can be further seen that the two intersections 28 and 29 (assumed in the example distance of 0.5 mm) spatially separated from the intersection 30 of the reflected rays' couches, so that the applied only in the optical axis mirror layer (R> 90 ° Q is not touched by the incident bundles e This ensures maximum light output.
Fig. 2 zeigt eine Anwendung des Wesens der Erfindung auf die Prüfung sphärischer Flächen. Gemäß Fig. 2 kann der Laserstrahl anstelle der Wollaston-Platte auch mittels einer Savartschen Platte 40 in zwei senkrecht zueinander polarisierte Strahlen aufgeteilt werden, wobei ein Strahl 41 parallel zur optischen Achse 12 weiterläuft und die FIZEAU-Referenzfläche 43 senkrecht trifft. Der zweite Strahl 42 verläßt das Aufweitungssystem 8 wieder leicht geneigt, wird im Punkt 45 fokussiert und an dem gegen die optische Achse leicht geneigten oder verschobenen Prüfling 44 (Krümmungsmittelpunkt 49) so reflektiert, daß die Strahlen im Brennpunkt 46 fokussiert werden. Dadurch läuft die Prüflingswelle 47 parallel zu der Referenzwelle 48 aus dem Interferometer hinaus, so daß die geforderte Interferenz entstehen kann, Phasenstellung sowie Erfassung und Auswertung der Meßwerte werden in der gleichen Weise wie bei Fig. 1 vorgenommen.Fig. 2 shows an application of the essence of the invention to the examination of spherical surfaces. According to FIG. 2, instead of the Wollaston plate, the laser beam can also be divided by means of a Savart plate 40 into two beams polarized perpendicular to one another, wherein one beam 41 continues parallel to the optical axis 12 and hits the FIZEAU reference surface 43 perpendicularly. The second beam 42 leaves the expansion system 8 slightly inclined again, is focused at point 45 and reflected on the slightly inclined or displaced against the optical axis specimen 44 (center of curvature 49) so that the rays are focused in the focal point 46. As a result, the Prüflingswelle 47 runs parallel to the reference shaft 48 out of the interferometer, so that the required interference may arise, phase position and detection and evaluation of the measured values are made in the same manner as in Fig. 1.
Fig. 3 zeigt eine erfindungsgemäße Anordnung für die Homogenität sprüfung von optischem Glas mit kleinen Brechzahlgradienten. Der grundsätzliche Aufbau ähnelt Fig, 1, nur wurde in Fig. 3 wie in der Anordnung nach Fig. 2 die Wollaston-Platte gegen eine Savart-Platte 40 ausgewechselt.Fig. 3 shows an inventive arrangement for the homogeneity test of optical glass with small refractive index gradients. The basic structure is similar to Fig. 1, except that in Fig. 3 as in the arrangement of FIG. 2, the Wollaston plate is replaced with a Savart plate 40.
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Fig« 3 demonstriert die Homopenitätsmessung am Beispiel des von Scheider u.a. ("Homogeneity testing by phase sampling interferometry"; Appl. Optics 24 (18), 3059, 1985) angegebenen Verfahrens, das für die Phase-Stepping-Interferometrie gut geeignet ist. Hinter der leicht geneigten Referenzfläche 9 werden der Prüfling 60 (Fig. 3a und b), der Prüfling mit dem Hilfsspiegel 61 (Fig. 3c) bzw. nur der Hilfsspiegel (Fig. 3d) angeordnet. Zwischen der Vorder- und Rückfläche des Prüflings (und auch der Referenzplatte) existiert ein Keilwinkel, der verhindert, daß der jeweils unerwünschte Reflex das Interierenzbild stört. Prüfling und Spiegel werden mittels Justiervorrichtungen beim Übergang von a nach b, c, d gekippt, um die jeweils er-YÜnschte reflektierte Welle in die Richtung der optischen Achse zu lenken,FIG. 3 demonstrates the homopenity measurement using the example of Scheider et al. (Homogeneity testing by phase sampling interferometry; Appl. Optics 24 (18), 3059, 1985), which is well suited for phase-stepping interferometry. Behind the slightly inclined reference surface 9, the test piece 60 (FIGS. 3a and b), the test piece with the auxiliary mirror 61 (FIG. 3c) or only the auxiliary mirror (FIG. 3d) are arranged. Between the front and back surface of the specimen (and also the reference plate) exists a wedge angle, which prevents the respective unwanted reflection disturbs the Interierenzbild. The specimen and mirror are tilted by means of adjusting devices at the transition from a to b, c, d in order to steer the respectively reflected wave in the direction of the optical axis,
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Claims (3)
dadurch gekennzeichnet,2. Arrangement according to claim 1,
characterized,
Priority Applications (1)
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| DD31248188A DD268524A1 (en) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | ARRANGEMENT FOR INTERFEROMETRIC TESTING OF THE FORM OF OPTICAL FLACES AND OF CRUISE INHOMOGENITIES WITH SMALL GRADIENTS OF OPTICAL GLASSES IN REAL TIME |
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| DD31248188A DD268524A1 (en) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | ARRANGEMENT FOR INTERFEROMETRIC TESTING OF THE FORM OF OPTICAL FLACES AND OF CRUISE INHOMOGENITIES WITH SMALL GRADIENTS OF OPTICAL GLASSES IN REAL TIME |
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| DD268524A1 true DD268524A1 (en) | 1989-05-31 |
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ID=5596713
Family Applications (1)
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| DD31248188A DD268524A1 (en) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | ARRANGEMENT FOR INTERFEROMETRIC TESTING OF THE FORM OF OPTICAL FLACES AND OF CRUISE INHOMOGENITIES WITH SMALL GRADIENTS OF OPTICAL GLASSES IN REAL TIME |
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| DD (1) | DD268524A1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1990009571A1 (en) * | 1989-02-16 | 1990-08-23 | Elmetherm | Process and device for testing the impermeability of sheathing products such as latex gloves or condoms |
-
1988
- 1988-01-28 DD DD31248188A patent/DD268524A1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1990009571A1 (en) * | 1989-02-16 | 1990-08-23 | Elmetherm | Process and device for testing the impermeability of sheathing products such as latex gloves or condoms |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RPI | Change in the person, name or address of the patentee (searches according to art. 11 and 12 extension act) | ||
| ENJ | Ceased due to non-payment of renewal fee |