DD247756A1 - UV LIGHT SENSITIVE, NEGATIVELY WORKING COPY MASS - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft eine UV-lichtempfindliche, negativ arbeitende Kopiermasse, die fuer lithografische und mikrolithografische Aufzeichnungszwecke geeignet ist. Ziel und Aufgabe der Erfindung ist es, eine UV-lichtempfindliche, negativ arbeitende Kopiermasse zu schaffen, die leicht, material- und kostenguenstig herstellbar ist, sich durch ein hohes Aufloesungsvermoegen auszeichnet und sich mit waessrigem Alkali entwickeln laesst. Der Bereich der Arbeitswellenlaengen ueblicher, auf der Verwendung von Novolak als Bindemittel basierender Systeme, soll vergroessert werden. Die Aufgabe wird dadurch geloest, dass man ein phenolische OH-Gruppen enthaltendes Harz, vorzugsweise ein Phenol-Formaldehydharz vom Novolaktyp und als lichtempfindliche Komponente ein 2H-Tetrazol der allgemeinen Formel I sowie gegebenenfalls einem Loesungsvermittler in einem inerten organischen Loesungsmittel oder -gemisch loest, in bekannter Weise auf eine Unterlage aufbringt, nach bildmaessiger Belichtung mit UV-Licht und Behandeln mit waessrigem Alkali zu einem Negativbild entwickelt. Nach relativ kurzen Belichtungszeiten werden Negativbilder hoher Ausbildungsguete erhalten. Die Erfindung findet bei der Fertigung elektronischer Baulemente und in der polygrafischen Industrie ihre Anwendung. Formel IThe invention relates to a UV-sensitive, negative-working copy material which is suitable for lithographic and microlithographic recording purposes. The aim and object of the invention is to provide a UV-sensitive, negative-working copy mass, which is easy to produce material and cost, is characterized by a high resolution and can develop with aqueous alkali. The range of working wavelengths more commonly, on the use of novolak as binder-based systems, is to be increased. The object is achieved by dissolving a phenolic OH-containing resin, preferably a novolak-type phenol-formaldehyde resin and, as a photosensitive component, a 2H-tetrazole of the general formula I and optionally a solubilizer in an inert organic solvent or mixture known manner on a pad, after imagewise exposure to UV light and treatment with aqueous alkali developed to a negative image. After relatively short exposure times, negative images of high quality are obtained. The invention finds application in the manufacture of electronic components and in the polygraphic industry. Formula I
Description
in der R1 Aryl, Alkyl, substituiertes Alkyl oder Aryl, Heteroaryl, substituiertes Heteroaryl, Carboxy, Alkoxycarbonyl, Amino, Cyano oder Wasserstoff und R2 Wasserstoff, Alkyl, Aryl, substituiertes Alkyl oder Aryl, Heteroaryl oder substituiertes Heteroaryl bedeuten und gegebenenfalls einem Lösungsvermittler besteht, in einem organischen Lösungsmittel oder -gemisch gegebenenfalls unter Zusatz des Lösungsvermittlers gelöst, filmbildend auf eine übliche Unterlage aufgebracht, aufgetrocknet, bildmäßig mit polychromatischem UV-Licht oder Licht einer Wellenlänge von 200 nm bis 350 nm bestrahlt, das Negativbild in an sich bekannter Weise in wäßrig-basischem Milieu entwickelt und wäßrig fixiert wird.in which R 1 is aryl, alkyl, substituted alkyl or aryl, heteroaryl, substituted heteroaryl, carboxy, alkoxycarbonyl, amino, cyano or hydrogen and R 2 is hydrogen, alkyl, aryl, substituted alkyl or aryl, heteroaryl or substituted heteroaryl and optionally a solubilizer consists, in an organic solvent or mixture optionally dissolved with the addition of the solubilizer, applied film-forming on a conventional surface, dried, imagewise irradiated with polychromatic UV light or light having a wavelength of 200 nm to 350 nm, the negative image in a conventional manner Developed in aqueous-alkaline medium and fixed in water.
2. Kopiermasse nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß die Masse als polymeres Bindemittel in Phenol-Formaldehydharz von Novolak-Typ enthält.2. copying composition according to item 1, characterized in that the mass contains as a polymeric binder in phenol-formaldehyde resin of novolac type.
3. Kopiermasse nach den Punkten 1 und 2, gekennzeichnet dadurch, daß auf 10 Massenteile Harz 0,8 bis 10 Massenteile des 2H-Tetrazols oder eines Gemisches von mindestens zwei 2H-Tetrazolen der Formel I eingesetzt werden.3. Copying composition according to items 1 and 2, characterized in that 0.8 to 10 parts by mass of 2H-tetrazole or a mixture of at least two 2H-tetrazoles of the formula I are used for 10 parts by mass of resin.
4. Kopiermasse nach den Punkten 1 bis 3, gekennzeichnet dadurch, daß als Lösungsvermittler ein Ester höherer Fettsäuren, ein Fettalkohol oder dessen Acylderivat oder ein Gemisch von mindestens zwei dieser Stoffe, vorzugsweise Hexadecansäuremethylester, Tetradecanol oder Dodecyl-3,4,5-trihydroxybenzoat zugesetzt wird.4. copying composition according to the items 1 to 3, characterized in that as a solubilizer ester of higher fatty acids, a fatty alcohol or its acyl derivative or a mixture of at least two of these substances, preferably Hexadecansäuremethylester, tetradecanol or dodecyl-3,4,5-trihydroxybenzoat added becomes.
5. Kopiermasse nach den Punkten 1 bis 4, gekennzeichnet dadurch, daß die Lösung bis zu 50Ma.-% Feststoff enthält.5. copying composition according to the items 1 to 4, characterized in that the solution contains up to 50Ma .-% solid.
Die Erfindung betrifft eine UV-lichtempfindliche, negativ arbeitende Kopiermasse, diefür lithografische und mikrolithografische Aufzeichnungszwecke geeignet ist.The invention relates to a UV-sensitive, negative-working copy mass which is suitable for lithographic and microlithographic recording purposes.
Negativ arbeitende lichtempfindliche Kopiermassen sind Vielkomponentensysteme, die bei Belichtung unlöslich werden oder eine geringere Löslichkeit und/oder eine geringere Lösungsgeschwindigkeit aufweisen.Negative-working photosensitive copying compositions are multicomponent systems which become insoluble on exposure or have a lower solubility and / or a lower dissolution rate.
Die bekannten negativ arbeitenden lichtempfindlichen Kopiermassen können in zwei Hauptgruppen eingeteilt werden, in Photovernetzungssysteme und Systeme bei denen photochemisch die Polarität geändert wird. (Steppan, Buhr, Vollmann Angew. Chem.94,471 [1982] und Vollmann Angew.Chem. 92,95 [1980])The known negative-working photosensitive copying compositions can be divided into two main groups, in photo-crosslinking systems and systems in which the polarity is changed photochemically. (Steppan, Buhr, Vollmann Angew Chem.94,471 [1982] and Vollmann Angew.Chem 92,95 [1980])
Lichtempfindliche negativ arbeitende Kopiermassen auf der Basis von Phenol-Formaldehydharzen (Novolake) als Bindemittel weisen trotz des Vorteils der wäßrigen Entwickelbarkeit entscheidende Nachteile auf. Zunächst sind das die auch schon für den positiv arbeitenden Photokopierlack besonders aus der Eigenabsorption sowie der geringen Photoaktivität der verwendeten Napthochinondiazide im UV-Bereich resultierenden Nachteile. Zum anderen werden Negativbilder auf der Basis Novolak als Bindemittel und Naphthochinondiazidderivate als aktinische Komponenten zum Beispiel nach J. P. 8106236 und 8192536 in einem relativ komplizierten mehrstufigen Verfahren erzeugt, das die bildmäßige Belichtung der Vorlage, einen Temperungsschritt sowie eine Gesamtbestrahlung der Schicht umfaßt. Zur Verbesserung des Auflösungsvermögens geht der Trend in Richtung auf die Verwendung UV-empfindlicher Photokopierlacke. Die aktinischen Komponenten sollten ausschließlich Absorptionen zwischen 200 nm und 300 nm aufweisen. Die Eigenabsorption unterhalb 300 nm der für klassische Photokopierlacke geeigneten und in den Fertigungsprozessen bewährten Bindemittel, der häufig verwendeten Phenol-Formaldehydharze vom Novolaktyp, engt das im längerwelligen Bereich erfolgreiche Konzept der Kombination von Bindemittel und photoaktiver Komponente stark ein. (Steppan, Buhr, Vollmann Angew.Chem.94,471 [1982])Photosensitive negative-working copy compositions based on phenol-formaldehyde resins (novolaks) as binders have significant disadvantages despite the advantage of aqueous developability. First of all, these are the disadvantages for the positive-acting photocopying lacquer, especially from the intrinsic absorption and the low photoactivity of the naphthoquinone diazides used in the UV range. On the other hand, negative images based on novolak as binders and naphthoquinone diazide derivatives as actinic components are produced, for example, according to J.P. 8106236 and 8192536 in a relatively complicated multi-step process comprising imagewise exposure of the original, annealing step and total irradiation of the layer. To improve the resolving power, the trend is toward the use of UV-sensitive photocopying varnishes. The actinic components should have absorptions between 200 nm and 300 nm only. The inherent absorption below 300 nm of the binders suitable for classical photocopying lacquers and proven in the production processes, the frequently used novolak type phenol-formaldehyde resins, strongly restricts the successful combination of binder and photoactive component in the longer wavelength range. (Steppan, Buhr, Vollmann Angew.Chem.94,471 [1982])
Ziel der Erfindung ist es, eine UV-lichtempfindliche, negativ arbeitende Kopiermasse zu schaffen, die leicht, material- und kostengünstig herstellbar ist, sich durch ein hohes Auflösungsvermögen auszeichnet und sich mit wäßrigem Alkali entwickeln läßt. Der Bereich der Arbeitswellenlängen üblicher, auf der Verwendung von Novolak als Bindemittel basierenden Systeme, soll vergrößert werden.The aim of the invention is to provide a UV-sensitive, negative-working copy mass that is easy, material and inexpensive to produce, is characterized by a high resolution and can be developed with aqueous alkali. The range of operating wavelengths of conventional systems based on the use of novolak as a binder is to be increased.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine UV-lichtempfindliche, negativ arbeitende Kopiermasse auf der Basis eines Phenol-Formaldehydharzes, vorzugsweise eines Novolaks, unter Substitution der bisher bekannten lichtempfindlichen Komponenten zu schaffen. Dabei soll, unter Ausnutzung der Absorptionskante des Bindemittels (ca. 300 nm) besonders aber des Absorptionsfensters bei ca. 250 nm der Bereich der Arbeitswellenlänge vergrößert werden, vorzugsweise zur Verwendung kurzwelliger aktinischer Strahlung und das übliche Entwicklungsregime im wäßrigen System beibehalten werden. Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß eine Lösung, die ein bekanntes Harz und ein 2H-Tetrazol der allgemeinen Formel I in einem organischen Lösungsmittel oder -gemisch enthält, auf eine übliche Unterlage (Silicium, Siliciumdioxid, Glas, Quarz, Aluminium, Kupfer, Chrom und andere) gebracht und filmbildend getrocknet wird. Nach bildmäßiger Belichtung mit geeignet gefiltertem oder polychromatischem UV-Licht, Entwickeln in wäßrig-alkalischem Milieu und wäßrigem Fixieren erhält man ein Negativbild hoher Abbildungsgüte. Als lichtempfindliche Komponenten werden 2H-Tetrazoie der allgemeinen Formel I,The invention has for its object to provide a UV-sensitive, negative-working copy based on a phenol-formaldehyde resin, preferably a novolak, substituting the previously known photosensitive components. It is to be increased, taking advantage of the absorption edge of the binder (about 300 nm) but especially the absorption window at about 250 nm, the range of operating wavelength, preferably to use short-wave actinic radiation and the usual development regime in the aqueous system. According to the invention the object is achieved in that a solution containing a known resin and a 2H-tetrazole of the general formula I in an organic solvent or mixture, on a conventional pad (silicon, silica, glass, quartz, aluminum, copper, Chromium and others) and dried film-forming. After imagewise exposure to suitably filtered or polychromatic UV light, developing in an aqueous-alkaline medium and aqueous fixing, a negative image of high imaging quality is obtained. As photosensitive components are 2H-tetrazoie of general formula I,
in de R1 Aryl, Alkyl, substituiertes Alkyl oder Aryl, Heteroaryl, substituiertes Heteroaryl, Carboxy, Alkoxycarbonyl, Amino, Cyan oder Wasserstoff und R2 Wasserstoff, Alkyl, Aryl, substituiertes Alkyl oder Aryl, Heteroaryl oder substituiertes Heteroaryl bedeuten. Als Harzkomponente finden Phenol-Formaldehydharze vorzugsweise Novolake Verwendung. Die Wirkung dieser UV-lichtempfindlichen, negativ arbeitenden Kopiermasse beruht auf der Zersetzung der lichtempfindlichen Komponente zu einem Produkt, das an das lösliche Harz addiert und/oder durch physikalische Effekte ein Harz mit geringerer Löslichkeit und/ oder Lösungsgeschwindigkeit bildet.in R 1 aryl, alkyl, substituted alkyl or aryl, heteroaryl, substituted heteroaryl, carboxy, alkoxycarbonyl, amino, cyano or hydrogen and R 2 is hydrogen, alkyl, aryl, substituted alkyl or aryl, heteroaryl or substituted heteroaryl. As a resin component phenol-formaldehyde resins are preferably novolaks use. The effect of this UV-sensitive negative-working copy composition is based on the decomposition of the photosensitive component to a product which adds to the soluble resin and / or forms by physical effects a resin of lower solubility and / or dissolution rate.
Dementsprechend bezieht sich die Erfindung auf eine UV-lichtempfindliche, negativ arbeitende Masse, die dadurch gekennzeichnet ist, daß man ein phenolische OH-Gruppen enthaltendes Harz, vorzugsweise ein Phenol-Formaldehydharz vom Novolaktyp und als lichtempfindliche Komponente ein 2H-Tetrazol der allgemeinen Formel I in einem inerten organischen Lösungsmittel oder -gemisch löst. Als inerte Lösungsmittel werden vorzugsweise Ethylglycolacetat (Ethylcellosolve) und/oder Butylacetat und/oder Dioxan und/oder Tetrahydrofuran und/oder Alkylglycole und deren Mischungen, gegebenenfalls auch ein Gemisch mit anderen organischen Lösungsmitteln wie zum Beispiel Ketonen, vorzugsweise Aceton sowie BTX-Aromaten und/oder deren Halogenderivaten verwendet. Dabei ist ein Feststoffgehalt der Lösung zwischen 6Ma.-%und 50 Ma.-% günstig, wobei sich der Gehalt nach der gewünschten Schichtdicke richtet. Das Verhältnis zwischen der Menge an 2H-Tetrazel und der Menge an Harz ist nicht kritisch.Accordingly, the invention relates to a UV photosensitive, negative-working mass, which is characterized in that one comprises a phenolic OH group-containing resin, preferably a novolak-type phenol-formaldehyde resin and as a photosensitive component, a 2H-tetrazole of the general formula I in an inert organic solvent or mixture dissolves. Preferred inert solvents are ethyl glycol acetate (ethyl cellosolve) and / or butyl acetate and / or dioxane and / or tetrahydrofuran and / or alkylglycols and mixtures thereof, optionally also a mixture with other organic solvents such as ketones, preferably acetone and BTX aromatics and / or or their halogen derivatives used. In this case, a solids content of the solution between 6Ma .-% and 50 wt .-% is favorable, wherein the content depends on the desired layer thickness. The ratio between the amount of 2H-tetrazole and the amount of resin is not critical.
Im allgemeinen wurden auf 10 Masseteile Harz 0,8 bis 10 Masseteile des entsprechenden 2H-Tetrazols oder einer Mischung verschiedener 2H-Tetrazole, vorzugsweise aber zwischen 2,0 und 6,0 Masseteile 2H-Tetrazol verwendet.In general, 0.8 to 10 parts by weight of the corresponding 2H-tetrazole or a mixture of different 2H-tetrazoles, but preferably between 2.0 and 6.0 parts by weight of 2H-tetrazole were used per 10 parts by weight of resin.
Durch den Einsatz löslichkeitsvermittelnder Substanzen wird vor allem die Güte der erzielbaren Schicht, aber auch die nach dem Belichten erzielbaren Löslichkeitsdifferenzen verbessert. Hierzu werden hauptsächlich die Ester höherer Fettsäuren, vorzugsweise die Methyl- und Ethylester der Fettsäuren, Fettalkohole sowie deren Acylderivate, vorzugsweise mit Polyhydroxyverbindungen sowie deren Mischungen verwendet.The use of solubility-promoting substances improves, above all, the quality of the obtainable layer, but also the solubility differences that can be achieved after exposure. For this purpose, mainly the esters of higher fatty acids, preferably the methyl and ethyl esters of fatty acids, fatty alcohols and their acyl derivatives, preferably with polyhydroxy compounds and mixtures thereof are used.
Die Massen nach der Erfindung weisen eine hohe thermische Stabilität auf.The compositions according to the invention have a high thermal stability.
Die Lichtempfindlichkeit der Massen ist derart, daß:The photosensitivity of the compositions is such that:
— nach Aufbringung auf die Unterlage (Aufschleudern auf die Unterlage mit Geschwindigkeiten von 2000 bis 6000 Umdrehungen pro Minute während etwa 1 min) und- After application to the substrate (spin on the pad at speeds of 2000 to 6000 revolutions per minute for about 1 min) and
— Trocknung sowie- Drying as well
— Belichtung mit dem polychromatischen beziehungsweise dem geeignet gefilterten Licht einer Quecksilberhöchstdrucklampe HBO-500,Exposure to the polychromatic or suitably filtered light of a high-pressure mercury lamp HBO-500,
— Belichtungszeiten von 1 s bis einigen 10s ausreichend sind.- Exposure times of 1 s to a few 10s are sufficient.
Die unbelichteten Bereiche der Schicht können dadurch entfernt werden, indem man die Schicht in eine wäßrige Lauge taucht oder anderweitig mit dieser Lauge benetzt. Man erhält ein Negativbild der Vorlage.The unexposed areas of the layer can be removed by dipping the layer in an aqueous liquor or otherwise wetted with this liquor. You get a negative image of the template.
Die erfindungsgemäßen Kopiermassen zeichnen sich durch folgende Vorteile gegenüber bekannten Materialien aus:The copying compositions according to the invention are distinguished by the following advantages over known materials:
— Hohe thermische Stabilität und damit Lagerfähigkeit der aktinischen Komponenten und der Kopiermassen insgesamt,High thermal stability and thus storability of the actinic components and the copying masses overall,
— hohe Empfindlichkeit der aktinischen Komponenten gegeüber UV-Licht besonders auch im Bereich um 250 nm und der Kopiermassen insgesamt,High sensitivity of the actinic components to UV light, in particular also in the range around 250 nm and the total masses of copying,
— leichte Darstellbarkeit der aktinischen Komponenten sowie die Verwendung handelsüblicher Harze,Easy representation of the actinic components and the use of commercially available resins,
— gute Löslichkeit der aktinischen Komponenten und des Harzes in üblichen organischen Lösungsmitteln als Voraussetzung einer guten Verarbeitbarkeit und der Erzielung optimaler Schichtdicken,Good solubility of the actinic components and of the resin in customary organic solvents as a prerequisite for good processability and the achievement of optimum layer thicknesses,
— Entwickeln der Negativbilder in wäßrigen alkalischem Milieu sowie eine hohe Abbildungsgüte der Bilder,Developing the negative images in an aqueous alkaline medium and a high image quality of the images,
— leichte Handhabbarkeit der Kopiermassen sowie einfache Herstellung der Negativreliefs.- Easy handling of the copying materials and easy production of the negative reliefs.
Die Erfindung soll nachstehend an einigen Ausführungsbeispielen erläutert werden.The invention will be explained below in some embodiments.
1. 600mg Harz (Alnovol) und 250mg 3,5-Diphenyltetrazol wurden in 3ml Lösungsmittel (Ethylcellosolve:n-Butylacetat: p-Xylol = 75:15:10) gelöst. Die so erhaltene Mischung wurde in Form eines dünnen Filmsauf eine chrombedampfte Glasscheibe gebracht. Nach 40minütigem Trocknen bei 400C und Belichten (30s) durch eine geeignete Vorlage mit dem Licht einer Quecksilberhöchstdrucklampe HBO-200 und nachfolgender Entwicklung (5s) in einer 4%igen Natronlauge wurde ein Negativbild erhalten.1. 600mg of resin (Alnovol) and 250mg of 3,5-diphenyltetrazole were dissolved in 3ml of solvent (ethyl cellosolve: n-butyl acetate: p-xylene = 75:15:10). The resulting mixture was placed on a chrome-evaporated glass sheet in the form of a thin film. After 40 minutes of drying at 40 0 C and exposure (30s) by a suitable template with the light of a high-pressure mercury lamp HBO-200 and subsequent development (5s) in a 4% sodium hydroxide solution, a negative image was obtained.
2. 200mg Harz (Alnovol) und 150mg 5-Carboxy-3-phenyl-2H-tetrazol wurden in 1 ml Lösungsmittel (Dioxan:Aceton = 75:25) gelöst. Die so erhaltene Lösung wurde in Form eines dünnen Films auf eine Glasplatte gebracht. Nach 30minütigem Trocknen bei 400C und Belichten (60s) durch eine geeignete Vorlage mit dem Licht einer Quecksilberhöchstdrucklampe HBO-500 und nachfolgender Entwicklung in 0,8%iger Natronlauge und fixieren mit Wasser wurde ein Negativbild erhalten.2. 200mg of resin (Alnovol) and 150mg of 5-carboxy-3-phenyl-2H-tetrazole were dissolved in 1mL of solvent (dioxane: acetone = 75:25). The solution thus obtained was placed on a glass plate in the form of a thin film. After 30 minutes of drying at 40 0 C and exposing (60s) by a suitable template with light from a high pressure mercury lamp HBO 500 and subsequent development in 0.8% sodium hydroxide solution and fix it with water, a negative image was obtained.
3. Gleicher Ansatz wie im Ausführungsbeispiel 1, unter Zusatz von 20 mg Dodecyl-3,4,5-trihydroxybenzoat. Bei gleicher Verfahrensweise wie im Ausführungsbeispiei 1 wurde ein Negativbild erhalten.3. Same procedure as in Example 1, with the addition of 20 mg of dodecyl-3,4,5-trihydroxybenzoate. In the same procedure as in Ausführungsbeispiei 1, a negative image was obtained.
4. 200mg Harz und 80mg 5-Phenyltetrazol wurden in 1ml Ethylenglycolmonoethylether gelöst. Die so erhaltene Mischung würde in Form eines dünnen Films auf eine Quarzscheibe gebracht. Nach dem Trocknen wurde mit dem Licht einer Quecksilberhöchstdrucklampe HBO-500 durch eine geeignete Vorlage 30s belichtet. Die nachfolgende Entwicklung in 1%iger Natronlauge ergab ein Negativbild.4. 200mg of resin and 80mg of 5-phenyltetrazole were dissolved in 1ml of ethylene glycol monoethyl ether. The mixture thus obtained was placed on a quartz disk in the form of a thin film. After drying, the light of a high-pressure mercury lamp HBO-500 was exposed through a suitable original for 30 seconds. The subsequent development in 1% sodium hydroxide solution gave a negative image.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD25323783A DD247756A1 (en) | 1983-07-20 | 1983-07-20 | UV LIGHT SENSITIVE, NEGATIVELY WORKING COPY MASS |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| DD25323783A DD247756A1 (en) | 1983-07-20 | 1983-07-20 | UV LIGHT SENSITIVE, NEGATIVELY WORKING COPY MASS |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| DD247756A1 true DD247756A1 (en) | 1987-07-15 |
Family
ID=5549203
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| DD25323783A DD247756A1 (en) | 1983-07-20 | 1983-07-20 | UV LIGHT SENSITIVE, NEGATIVELY WORKING COPY MASS |
Country Status (1)
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|---|---|
| DD (1) | DD247756A1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5240811A (en) * | 1991-04-15 | 1993-08-31 | Ocg Microelectronic Materials, Inc. | Photogenerated polycarbodiimides from poly(tetrazole-5-thiones) and use in the preparation of coatings and deep-UV photoresists |
-
1983
- 1983-07-20 DD DD25323783A patent/DD247756A1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5240811A (en) * | 1991-04-15 | 1993-08-31 | Ocg Microelectronic Materials, Inc. | Photogenerated polycarbodiimides from poly(tetrazole-5-thiones) and use in the preparation of coatings and deep-UV photoresists |
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