DD242322A1 - TWO COORDINATE STEP MOTOR - Google Patents

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DD242322A1
DD242322A1 DD24051480A DD24051480A DD242322A1 DD 242322 A1 DD242322 A1 DD 242322A1 DD 24051480 A DD24051480 A DD 24051480A DD 24051480 A DD24051480 A DD 24051480A DD 242322 A1 DD242322 A1 DD 242322A1
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magnets
coil
coils
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DD24051480A
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Inventor
Hans-Juergen Furchert
Original Assignee
Ilmenau Tech Hochschule
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Abstract

Die Erfindung betrifft einen Zweikoordinatenschrittmotor, der vorteilhaft fuer Positionierzwecke in der Geraete- und Automatisierungstechnik einsetzbar ist, weil mit ihm sehr kleine Schrittweiten bei geringem Spulen-, Regelungs- und Steuerungsaufwand und eine gute Dynamik erreicht wird. Das Wesen der Erfindung besteht darin, dass eine oder mehrere Spulenanordnungen bestimmter Abmessungen in einer beweglichen Tischplatte befestigt sind, die in Luftspalten von Magnetsystemen in entsprechender Anordnung und Abmessung gefuehrt ist und dass bei Stromfluss in den Spulen eine Kraft auf die Tischplatte ausgeuebt wird. Dabei sind die Abmessungen und Anordnungen der Spulen und Magnete so gewaehlt, dass eine Drehmomentenkompensation oder -verstaerkung erzeugt werden kann. Die Bestromung der Spulen wird ueber den angeschlossenen Lageregler entsprechend der vorhandenen Bewegungsaufgabe geregelt. Das Grundprinzip ist in Fig. 1 dargestellt. Fig. 1The invention relates to a two-coordinate stepping motor, which is advantageously used for positioning in the Geraete- and automation technology, because with him very small increments with low coil, control and control effort and good dynamics is achieved. The essence of the invention is that one or more coil arrangements of certain dimensions are mounted in a movable table top, which is guided in air gaps of magnetic systems in a corresponding arrangement and dimension and that when current flows in the coil, a force is exerted on the table top. The dimensions and arrangements of the coils and magnets are chosen so that a torque compensation or -verstaerkung can be generated. The energization of the coils is controlled via the connected position controller according to the existing motion task. The basic principle is shown in FIG. Fig. 1

Description

Ausführungsbeispielembodiment

Die Erfindung ist im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. In der beiliegenden Zeichnung wird gezeigt:The invention is explained in more detail below with reference to exemplary embodiments. The enclosed drawing shows:

Fig. 1: Zweikoordinatenschrittmotor im Schnitt A-A mit vier mechanisch in einer beweglichen Tischplatte befestigten Spulen und Magneten in einer Kraftwirkungslinie für eine Koordinate und in zwei parallelen Kraftwirkungslinien für die andere KoordinateFig. 1: Two-coordinate stepping motor in section A-A with four mechanically fixed in a movable table top coils and magnets in a force line of action for one coordinate and in two parallel force lines of action for the other coordinate

Fig.2: Schnitt B-B zu Fig. 1 Fig.3: Zweikoordinatenschrittmotor im Schnitt A-A mit zwei mechanisch in einer beweglichen Tischplatte befestigten Spulen und Dauermagneten für eine Koordinate und Gleichstrommagneten in zwei parallelen Kraftwirkungslinien für die andereFig. 2: Section B-B to Fig. 1 Figure 3: Two-coordinate stepper motor in section A-A with two mechanically fixed in a movable table top coils and permanent magnets for a coordinate and DC magnets in two parallel lines of force for the other

Koordinate ,Coordinate,

Fig.4: Schnitt B-B zu Fig.34: Section B-B to Fig.3

Nach Fig. 1 und Fig. 2 ist ein Zweikoordinatenschrittmotor dargestellt. Auf einer ferromagnetischen oder nur teilweise ferromagnetischen Grundplatte 1 sind für die Krafterzeugung in der x-Koordinatenrichtung zwei entgegengesetzt polarisierte Magnete 2 in einer Reihe und für die Bewegung in der y-Koordinate jeweils zwei entgegengesetzt polarisierte Magnete 3 in zwei parallelen Kraftwirkungslinien senkrecht zur Magnetreihe derx-Koordinate angeordnet. In den Arbeitsluftspalten der Magnete 2 sind die äußere und die innere Spule 6 und 7 hindurchgeführt und durch die der Magnete 3 nur die innere Spule 7, während die äußere Spule 6 um die Magnete 3 im Abstand des halben y-Weges herumgeführt ist. In den Arbeitsluftspalten der Magnete 3 sind außerdem jeweils eine der.Spulen 8, vorzugsweise gleichen Querschnitts, zur Drehmomentenkompensation oder -erzeugung oder Kraftverstärkung geführt. Die Spulen 6,7,8 sind in einerTischplatte 4 befestigt, die in der Mitte Rasterplatten 12,13 und eine Objektträgerplatte 9 besitzt und auf vier Gleitfüßen 5 auf Gleitflächen 11 geführt ist. Die Rasterplatten sind mit Lichtquellen 14 beleuchtet und optoelektronisch mit Fotoempfängern 15 abgetastet und erzeugen bei Bewegung inkrementale Ortssignale für einen angeschlossenen Lageregler, der sie mit den vorhandenen Steuersignalen vergleicht und entsprechend den notwendigen Bewegungen zum Erreichen der Sollposition die entsprechenden Spulen mit Spannungsquellen entsprechender Polarität und Impulszeit anschließt. Bei der x-Koordinatenbewegung ist nur die Spule 6 entsprechend der notwendigen Bewegungsrichtung polaritätsmäßig bestromt oder es sind beide Spulen 6,7 gleich bestromt, jedoch müssen die Spulen 8 dann entgegengesetzte Stromrichtungen zu Spule 7 führen und bei Drehmomentenkompensation oder zur Drehmomentenerzeugung ist die Stromstärke der Spule 7 zu reduzieren, damit eine Überkompensation möglich wird. Für die y-Koordinatenbewegung sind die Spulen 6,7 von Strömen entgegengesetzter Richtung durchflossen, damit sich die Kräfte in x-Richtung aufheben. Die Spulen 8 sind so bestromt, daß die Kraftwirkung in y-Richtung drehmomentenfrei verstärkt wird oder das entstehende Drehmoment verstärkt wird. Die Stromstärke aller Spulen 6,7,8 und die Richtung der Ströme ist entsprechend der vorhandenen Bewegungsaufgabe und den vorhandenen Ortssignalen des Meßsystems durch einen Lageregler sehr schnell einstellbar, da die Spulen 6,7,8 eisenfrei und induktivitätsarm sind.Referring to Fig. 1 and Fig. 2, a two-coordinate stepping motor is shown. On a ferromagnetic or only partially ferromagnetic base plate 1, two oppositely polarized magnets 2 in a row and for movement in the y-coordinate are respectively two oppositely polarized magnets 3 in two parallel force lines perpendicular to the magnetic series derx- for the force generation in the x-coordinate direction. Coordinate arranged. In the working air gaps of the magnets 2, the outer and inner coils 6 and 7 are passed and through which the magnets 3, only the inner coil 7, while the outer coil 6 is guided around the magnets 3 at a distance of half the y-way. In addition, one of the spools 8, preferably of the same cross-section, for torque compensation or generation or force amplification is guided in the working air gaps of the magnets 3. The coils 6, 7, 8 are fastened in a table top 4, which in the middle has grid plates 12, 13 and a slide plate 9 and is guided onto sliding surfaces 11 on four slide feet 5. The grid plates are illuminated with light sources 14 and scanned opto-electronically with photodetectors 15 and generate in motion incremental location signals for a connected position controller, which compares them with the existing control signals and corresponding to the necessary movements to reach the desired position, the corresponding coils with voltage sources corresponding polarity and pulse time , In the x-coordinate movement, only the coil 6 is energized polarity according to the necessary direction of movement or both coils 6.7 are energized equal, but the coils 8 then have opposite current directions lead to coil 7 and torque compensation or torque generation is the current of the coil 7 to make overcompensation possible. For the y-coordinate movement, the coils 6, 7 are flowed through by currents of opposite direction, so that the forces in the x-direction cancel each other out. The coils 8 are energized so that the force effect is amplified in the y-direction torque-free or the resulting torque is amplified. The current intensity of all coils 6,7,8 and the direction of the currents is very quickly adjustable according to the existing motion task and the existing location signals of the measuring system by a position controller, since the coils are 6.7,8 iron-free and low inductance.

Nach Fig. 3 und Fig. 4 ist ein Zweikoordinatenschrittmotor in veränderter Ausführung von Fig. 1 und Fig. 2 dargestellt. Zur Reduzierung des Spulenaufwandes werden für die x-Koordinate zwei entgegengesetzt polarisierte Dauermagnete 2 und für die y-Koordinate vier Gleichstrommagnete 10 nebeneinander in zwei parallelen Kraftwirkungslinien senkrecht zur Dauermagnetreihe angeordnet. In den Arbeitsluftspalten der Dauermagnete 2 ist eine äußere Spule 6 geführt, die mindestens im Abstand des halben Bewegungsweges der y-Koordinate um die Gleichstrommagnete 10 herumgeleitet ist. Eine innerhalb der Spule 6 angeordnete Spule7, die mit dieser mechanisch verbunden ist, ist in den Arbeitsluftspalten der Dauermagnete 2 und der Gleichstrommagnete 10:geführt. Für die Bewegung der Tischplatte 4 in der x-Koordinate ist nur die Spule 6 entsprechend der notwendigen Bewegungsrichtung über einen Regler an eine Spannungsquelle entsprechender Polarität angeschlossen. Für die Bewegung in der y-Koordinate sind beide Spulen 6,7 entsprechend der notwendigen Bewegungsrichtung über einen Regler an Spannungsquellen entsprechender aber entgegengesetzter Polarität angeschlossen. Dabei sind die Gleichstrommagnete 10 so erregt, daß die Feldrichtung entsprechend der notwendigen Bewegungsrichtung und entsprechend der vorhandenen Tischposition für Drehmomentenfreiheit oder Drehmomentenerzeugung auch in der Größe richtig vorhanden ist. Bei gleicher Stromstärke aber entgegengesetzter Stromrichtung in den Spulen 6,7 gleichen Querschnitts ergibt sich eine Kompensation der Kräfte in der x-Koordinate, wenn das Magnetfeld der Dauermagneten 2 auf beide Spulen 6,7 gleich stark einwirkt. Für eine x-y-Bewegung in der Ebene werden dann beide Spulen 6,7 über einen Regler mit Spannungen entsprechender Größe und Polarität versorgt.Referring to FIG. 3 and FIG. 4, a two-coordinate stepping motor in a modified embodiment of FIG. 1 and FIG. 2 is shown. To reduce the coil effort, two oppositely polarized permanent magnets 2 and, for the y coordinate, four DC magnets 10 are arranged side by side in two parallel force action lines perpendicular to the permanent magnet row for the x-coordinate. In the working air gaps of the permanent magnets 2, an outer coil 6 is guided, which is guided around the DC magnets 10 at least at a distance of half the movement path of the y-coordinate. A coil 7, which is arranged inside the coil 6 and is mechanically connected thereto, is guided in the working air gaps of the permanent magnets 2 and the DC magnets 10: For the movement of the table top 4 in the x-coordinate only the coil 6 is connected according to the necessary direction of movement via a controller to a voltage source of corresponding polarity. For the movement in the y-coordinate both coils 6,7 are connected according to the necessary direction of movement via a regulator to voltage sources corresponding but opposite polarity. The DC magnets 10 are so excited that the field direction according to the necessary direction of movement and according to the existing table position for torque freedom or torque generation is also present in size properly. At the same current strength but opposite current direction in the coils 6,7 same cross-section results in a compensation of the forces in the x-coordinate, when the magnetic field of the permanent magnet 2 acts equally strong on both coils 6.7. For an x-y movement in the plane, both coils 6, 7 are then supplied via a regulator with voltages of corresponding magnitude and polarity.

Claims (2)

Erfindungsanspruch:Invention claim: 1. Zweikoordinatenschrittmotor, bei dem Spulen in einem beweglichen Teil angeordnet sind, das gleit-, wälz-, fluid-oder durch Magnetschwebung in einer Ebene geführt ist, das seinerseits in den Arbeitsluftspalten von Magneten angeordnet ist und an dem Rasterplatten, Interferometerspiegel oder andere inkrementell Geberplatten zur inkrementellen Signalgewinnung und Lageregelung befestigt sind, dadurch gekennzeichnet, daß für die x-Koordinate zwei entgegengesetzt polarisierte Magnete (2) in einer Reihe und für die y-Koordinate mindestens zwei Magnete (3) nebeneinander angeordnet sind und daß eine äußere Spule (6) durch die Arbeitsluftspalte der Magnete (2) hindurch und um die Magnete (3) herumgeführt ist sowie eine innere Spule (7) in den Arbeitsluftspalten der Magnete (2) (3) geführt ist und innerhalb der Spule (7) noch zwei nebeneinander angeordnete Spulen (8) in den Arbeitsluftspalten der Magnete (3) geführt sind, wobei die Spulen (6), (7), (8) mechanisch verbunden sind.1. A two-coordinate stepping motor in which coils are arranged in a moving part which is guided by sliding, rolling, fluid or magnetic levitation in a plane which in turn is arranged in the working air gaps of magnets and on the grid plates, interferometer or other incremental Encoder plates are mounted for incremental signal acquisition and position control, characterized in that for the x-coordinate two oppositely polarized magnets (2) in a row and for the y-coordinate at least two magnets (3) are arranged side by side and that an outer coil (6 ) through the working air gaps of the magnets (2) and around the magnets (3) and an inner coil (7) in the working air gaps of the magnets (2) (3) is guided and within the coil (7) two juxtaposed Coils (8) are guided in the working air gaps of the magnets (3), wherein the coils (6), (7), (8) are mechanically connected. 2. Zweikoordinatenschrittmotor nach Punkt 1, dadurch gekennzeichnet, daß für die y-Koordinate mindestens zwei Gleichstrommagnete (10) nebeneinander angeordnet sind und nur eine innere Spule (7) in den Arbeitsluftspalten der Gleichstrommagnete (10) und der Dauermagnete (2) geführt ist.2. Two-coordinate stepping motor according to item 1, characterized in that for the y-coordinate at least two DC magnets (10) are arranged side by side and only one inner coil (7) in the working air gaps of the DC magnets (10) and the permanent magnets (2) is guided. Hierzu 2 Seiten ZeichnungenFor this 2 pages drawings Anwendungsgebiet der ErfindungField of application of the invention Die Erfindung betrifft einen Zweikoordinatenschrittmotor, insbesondere für schnelle und genaue Positionierung räumlicher und flächenhafter Objekte in der Geräte- und Automatisierungstechnik für die Ortsstrukturerkennung bzw. -veränderung. Diese Antriebe sind für den Anschluß an digitale Signale erzeugende elektronische Einrichtungen besonders geeignet.The invention relates to a two-coordinate stepper motor, in particular for fast and accurate positioning of spatial and planar objects in the device and automation technology for the location structure recognition or change. These drives are particularly suitable for connection to digital signals generating electronic devices. Charakteristik der bekannten technischen LösungenCharacteristic of the known technical solutions Es ist bekannt, daß Zweikoordinatenbewegungseinrichtungen mit Kreuztischen und verschiedenen Antrieben, auch unter Einschluß von Bewegungswandlern existieren. Außerdem wird in der DD-PS 129948 und in weiteren US-Patentschriften (z.B. Mr. 3720056, Nr. 3735231) von Zweikoordinatenschrittantrieben berichtet, die jedoch alle den Nachteil relativ geringer Antriebskräfte bei kleinen Schrittweiten aufweisen. In DD 146 525 wurde bereits vorgeschlagen, daß eine Anordnung realisierbar ist, bei der in jeder Bewegungskoordinate (x, y) des Zweikoordinatenschrittmotors mindestens zwei entgegengesetzt polarisierte Dauermagnete auf einer ferromagn'etischen Grundplatte und jeweils darüber ein ferromagnetisches Rückschlußteil angeordnet ist, daß sich in dem Luftspalt zwischen Dauermagneten und Rückschlußteil für jede Bewegungskoordinate (x, y) mindestens eine rechteckige Spule mit weit über die Magnetpolbreite (bmp) ragenden Spulenköpfen der minimalen Länge (Uiuiini) in einem als Tischplatte ausgebildeten Teil mit den kraftwirksamen Spulensträngen der Tischmitte zugewandt befinden oder daß in jeder Koordinatenrichtung (x, y) mindestens ein Gleischsirommagnet, bestehend aus Spule und Kern, auf einer nichtmagnetisierbaren Grundplatte angeordnet ist, wobei sich in den Luftspalten der Gleichstrommagneten eine in einer beweglichen Tischplatte befestigte rechteckige Spule der minimalen äußeren Kantenlänge (lSä i) befindet. Bei nichtquadratischen Fahrflächen und geringen zur Verfügung stehenden Bauräumen ergeben sich für die permanentmagnetischen Anordnungen zu große Abmessungen für ausreichende Drehmomentenkompensation und für die Gleichstrommagnetanordnungen bei großen zu erzeugenden Kräften für eine gute Dynamik zu große Erwärmungen in der Untersuchungsebene und zu große Positionierzeiten durch die großen Induktivitäten der Gleichstrommagnetspulen.It is known that two-coordinate motion devices exist with cross tables and various drives, including motion transducers. In addition, DD-PS 129948 and other US patents (eg, Mr. 3720056, No. 3735231) report two-coordinate stepping drives, all of which, however, have the disadvantage of relatively low driving forces at small pitches. In DD 146 525 has already been proposed that an arrangement can be realized in which in each movement coordinate (x, y) of the two-coordinate stepping motor at least two oppositely polarized permanent magnets on a ferromagn'etischen base plate and in each case a ferromagnetic yoke member is disposed that in the Air gap between the permanent magnet and yoke for each movement coordinate (x, y) at least one rectangular coil with far beyond the Magnetpolbreite (b mp ) projecting coil heads of minimum length (Uiuiini) in a trained as a table top part with the effective coil strands of the center of the table are facing or in each coordinate direction (x, y) at least one Gleischsirommagnet consisting of coil and core, is arranged on a non-magnetizable base plate, wherein in the air gaps of the DC magnet mounted in a movable table top rectangular coil of the minimum outer eren edge length (l S ä i) is located. For non-square driving surfaces and small space available for the permanent magnetic assemblies too large dimensions for sufficient torque compensation and for the DC magnet assemblies at large forces to be generated for good dynamics too much warming in the investigation level and too long positioning by the large inductances of the DC solenoid , Ziel der ErfindungObject of the invention Ziel der Erfindung ist es, einen Zweikoordinatenschrittmotor zu schaffen, mit dem sich drehmomentenkompensierbare oder Drehmomente erzeugende Kräfte an einer Tischplatte auch für kleinste Schrittweiten unter 1 pm realisieren lassen, der sich durch geringe Masse und große Kräfte, geringe Erwärmung in der Untersuchungsebene, kurze Positionierzeiten und einen geringen Herstellungsaufwand auszeichnet.The aim of the invention is to provide a two-coordinate stepping motor, with which torque-compensating or torque generating forces can be realized on a table top for smallest increments below 1 pm, characterized by low mass and large forces, low heating in the investigation level, short positioning times and a low production cost. Darlegung des Wesens der ErfindungExplanation of the essence of the invention Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Zweikoordinatenschrittmotor zu schaffen, derein günstiges dynamisches und thermisches Verhalten und die Fähigkeit zur Drehmomentenkompensation besitzt und auch kleinste Schrittweiten bis unter 1 μηη ermöglicht.The invention has for its object to provide a two-coordinate stepping motor, which has a favorable dynamic and thermal behavior and the ability to torque compensation and even smallest increments to less than 1 μηη allows. Die Aufgabe der Erfindung wird dadurch gelöst, daß für die x-Koordinate zwei entgegengesetzt polarisierte Magnete in einer Reihe und für die y-Koordinate mindestens zwei Magnete nebeneinander angeordnet sind und daß eine äußere Spule durch die Arbeitsluftspalte der Magnete der x-Koordinate hindurch und um die Magnete der y-Koordinate herumgeführt ist, in dereine innere Spule angeordnet ist, die durch die Arbeitsluftspalte der Magnete für die x- und y-Koordinate geführt ist. Innerhalb dieser inneren Spule sind noch zwei nebeneinander liegende Spulen angeordnet, die durch die Arbeitsluftspalte der Magnete für die y-Koordinate geführt sind. Alle Spulen sind mechanisch miteinander und mit einer Tischplatte fest verbunden und werden entsprechend der Bewegungsaufgabe und der Spulenquerschnitte bestromt. Für die Verringerung des Spulenaufwandes werden für die y-Koordinate mindestens zwei Gleichstrommagnete nebeneinander angeordnet und nur eine innere Spule durch die Arbeitsluftspalte der Gleichstrommagnete und der Dauermagnete geführt.The object of the invention is achieved in that for the x-coordinate two oppositely polarized magnets in a row and for the y-coordinate at least two magnets are arranged side by side and that an outer coil through the working air column of the magnets of the x-coordinate and around the magnets of the y-coordinate are guided around, in which an inner coil is arranged, which is guided by the working air column of the magnets for the x and y coordinate. Within this inner coil two adjacent coils are still arranged, which are guided by the working air column of the magnets for the y-coordinate. All coils are mechanically connected to each other and to a table top and energized according to the movement task and the coil cross sections. To reduce the coil effort at least two DC magnets are arranged side by side for the y-coordinate and only an inner coil through the working air column of the DC magnets and the permanent magnets out.
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