DD228481A1

DD228481A1 - CROSS TABLE

Info

Publication number: DD228481A1
Application number: DD26938384A
Authority: DD
Inventors: Werner Behr; Winfried Franke
Original assignee: Zeiss Jena Veb Carl
Priority date: 1984-11-09
Filing date: 1984-11-09
Publication date: 1985-10-16

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Kreuztisch, welcher im Vorrichtungsbau und im Geraetebau einsetzbar ist. Er ist besonders fuer Laboraufbauten geeignet. Der erfindungsgemaesse Kreuztisch besteht aus einer festen Grundplatte, die auf der Oberseite mindestens zwei Gleitbahnen aufweist und einer darauf angeordneten zweidimensional parallel zur Grundplatte translatorisch beweglichen Tischplatte, die auf der Unterseite mindestens zwei Gleitbahnen rechtwinklig zu den Gleitbahnen der Grundplatte verlaufend aufweist, wobei an den Kreuzungspunkten der Gleitbahnen Fuehrungskreuze angeordnet sind, die jeweils aus zwei fest miteinander verbundenen Gleitsteinen bestehen und die die Bewegung einleitenden Elemente mit der Tischplatte Verbindungen aufweisen. Durch die geringe Bauhoehe weist der Kreuztisch innerhalb des Verstellbereiches eine hohe Stabilitaet aus. Er ist mit wenigen Mitteln technologisch einfach herstellbar.The invention relates to a cross table, which can be used in fixture construction and Geraetebau. It is particularly suitable for laboratory setups. The inventive cross table consists of a solid base plate having on the upper side at least two slideways and arranged thereon two-dimensionally parallel to the base plate translationally movable table top, which has at least two slideways on the underside at right angles to the slideways of the base plate, wherein at the crossing points of Slideways Fuehrungskreuze are arranged, each consisting of two firmly interconnected sliding blocks and have the movement initiating elements with the table top connections. Due to the low construction height, the XY stage has a high stability within the adjustment range. It is technologically easy to produce with few resources.

Description

Kreuztisch Anwendungsgebiet Cross table application area

Der erfindungsgemäße Kreuztisch kann im Vorrichtungsbau z.B. zur Positionierung von Werkstücken oder im Gerätebau z.B. zur Justierung von optischen Bauelementen in einer Ebene eingesetzt werden. Er ist durch seinen unkomplizierten Aufbau -und seine Handlichkeit besonders für Laboraufbauten geeignet.The cross table according to the invention can be used in device construction e.g. for positioning of workpieces or in device construction, e.g. be used for the adjustment of optical components in a plane. Due to its uncomplicated construction and manageability, it is particularly suitable for laboratory setups.

Characteristic of the known technical solutions

Bekannte Kreuztische bestehen im allgemeinen aus einer Grundplatte, einer mittleren und einer oberen Platte. Dabei befinden sich auf der Oberseite der Grundplatte Führungsbahnen, irdenen die mittlere Platte in einer Richtung parallel zur Grundplatte geführt ist. Die mittlere Platte wiederum weist auf ihrer Oberseite Führungsbahnen auf, welche die Führungsbahnen der Grundplatte im rechten Winkel kreuzen. In diesen ist die obere Platte geführt.Known cross tables generally consist of a base plate, a middle and an upper plate. Here are located on the top of the base plate guideways, earthen the middle plate is guided in a direction parallel to the base plate. The middle plate in turn has on its upper side guideways, which intersect the guideways of the base plate at right angles. In these, the upper plate is guided.

Die obere Platte kann somit zweidimensional parallel zur Grundplatte geführt werden.The upper plate can thus be performed two-dimensionally parallel to the base plate.

Infolge der übereinander angeordneten beweglichen Platten ist die Bauhöhe groß und dem ganzen fehlt die erforderliche Stabilität. Außerdem ist es schwierig, die untere und obere Fläche der mittleren Platte einander genau gleichlaufend sowie die in zwei verschiedenen Ebenen liegenden Führungen dieser mittleren Platte genau zueinander rechtwinklig zu bearbeiten.Due to the stacked movable plates, the height is large and the whole lack the required stability. In addition, it is difficult to the bottom and top surfaces of the middle plate exactly the same concurrently as well as to work in two different levels lying guides this middle plate exactly to each other at right angles.

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Diese Nachteile werden durch die in der OS-DE 3127584 beschriebenen Erfindung beseitigt.These disadvantages are eliminated by the invention described in OS-DE 3127584.

In dem hier beschriebenen Kreuztisch ist die sonst übliche mittlere Platte durch ein Tragkreuz und eine Abstütsvorrichtung ersetzt. Die obere Platte gleitet über eine Luftkissenlagerung auf der feststehenden Grundplatte. Das Tragkreuz übernimmt die Punktion des Gegenlagers und realisiert die zweidimensionale Führung der oberen Platte parallel zur Grundplatte.In the cross table described here, the usual middle plate is replaced by a spider and a Abstütsvorrichtung. The top plate slides over an air cushion bearing on the fixed base plate. The spider takes over the puncture of the anvil and realizes the two-dimensional guidance of the upper plate parallel to the base plate.

Die Bewegung wird über das Tragkreuz eingeleitet.The movement is initiated via the spider.

Nachteilig ist die Notwendigkeit einer die Tischplatte und Grundplatte auseinanderhaltenden Abstützvorrichtung, damit die auf das Tragkreuz eingeleitete Bewegung spielfrei auf die obere Platte übertragen wird. Der Aufwand einer solchen Abstützvorrichtung ist allerdings nur dann gerechtfertigt, wenn der Kreuztisch als Auflage für schwere Werkstücke gedacht ist und die Reibung minimal gehalten werden soll. Desweiteren ist es bei diesem Kreuztisch nicht möglich, im Zentrum des Tisches eine öffnung zur Durchführung eines optischen Strahlenganges vorzusehen, da das Tragkreuz mittig angeordnet ist.The disadvantage is the need for a table top and base plate apart supporting device so that the initiated on the spider movement is transmitted without play on the upper plate. However, the cost of such a support device is only justified if the cross table is intended as a support for heavy workpieces and the friction is to be minimized. Furthermore, it is not possible in this cross table to provide an opening in the center of the table for performing an optical beam path, since the support cross is arranged centrally.

Object of the invention

Ziel der Erfindung ist ein Kreuztisch, der innerhalb seines Verstellbereiches eine hohe Stabilität aufweist, mit wenigen Mitteln technologisch einfach herstellbar ist und der sich für variable Laboraufbauten besonders eignet.The aim of the invention is a cross table, which has a high stability within its adjustment, is technologically easy to produce with few resources and which is particularly suitable for variable laboratory setups.

Essence of the invention

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Kreuztisch mit geringer Bauhöhe zu entwickeln, der auch die Möglichkeit bietet, zentrisch einen optischen Strahlengang durchzuführen. Erfindungsgemäß wird diese Aufgabenstellung durch einen Kreuztisch, bestehend aus einer feststehenden Grundplatte, die auf der Oberseite mindestens zwei Gleitbahnen aufweistThe invention has for its object to develop a mechanical stage with low height, which also offers the opportunity to perform an optical beam path centric. According to the invention, this object is achieved by a cross table, consisting of a fixed base plate having on the top at least two slideways

und einer darauf angeordneten zv/eiditnensional parallel zur Grundplatte translatorisch beweglichen Tischplatte, die auf der Unterseite mindestens zwei Gleitbahnen rechtwinklig zu den Gleitbahnen der Grundplatte verlaufend, dadurch gelöst, daß an den Kreusungspunkten der Gleitbahnen ?ührungskreuze angeordnet sind, welche jeweils aus zwei fest miteinander verbundenen Gleitsteinen bestehen, wobei jeweils der untere Gleitstein in einer Gleitbahn der Grundplatte^ und der obere Gleitstein in einer Gleitbahn der Tischplatte geführt ist, und daß die die¹ Bewegung der Tischplatte einleitenden Elemente mit der Tischplatte Verbindungen aufweisen. Der besondere Vorteil der Erfindung liegt in der hohen Stabilität des Kreuztisches innerhalb des gesamten Bewegungsbereiches und in seiner technologisch einfachen Herstellbarkeit mit wenigen Mitteln, Sr ist sehr variabel einsetzbar.and arranged thereon zv / eiditnensional parallel to the base plate translationally movable table top, the at least two slideways perpendicular to the slideways of the base plate, achieved in that are arranged at the points of intersection of Gleitbahn ührungskreuze, each consisting of two firmly interconnected There are sliding blocks, each of the lower sliding block in a slideway of the base plate ^ and the upper sliding block is guided in a slide of the table top, and that the ¹ movement of the table top introducing elements with the table top compounds. The particular advantage of the invention lies in the high stability of the cross table within the entire range of motion and in its technologically simple manufacturability with few resources, Sr is very variable.

From management example

Die Erfindung soll nachfolgend an einem Ausführungsbeispiel erläutert werden. In der dazugehörigen Zeichnung zeigtThe invention will be explained below using an exemplary embodiment. In the accompanying drawing shows

Pig. 1 einen erfindungsgemäßen Kreuztisch in ExplosivdarstellungPig. 1 shows a cross table according to the invention in Ex plosivdarstellung

Der erfindungsgemäße Kreuztisch umfaßt eine feststehende Grundplatte 1, eine zweidimensional bewegliche Tischplatte und drei Pührungskreuze 3· In die Oberseite der Grundplatte und die Unterseite der Tischplatte 2 sind in gleicher Tfeise und in gleichem Abstand je zwei Pührungsnuten eingebracht.The cross table according to the invention comprises a fixed base plate 1, a two-dimensionally movable table top and three Pührungskreuze 3 · In the top of the base plate and the underside of the table top 2 are introduced in the same Tfeise and at the same distance two Pührungsnuten.

Grundplatte 1 und Tischplatte 2 sind so zusammengesetzt, daß sich die vier Hüten an vier Stellen rechtwinklig zueinander kreuzen. Die Tischplatte 2 gleitet großflächig über die gesamte Grundplatte 1. An drei Kreuzungsstellen sind Pührungskreuze 3 eingesetzt, die aus zwei fest miteinander verbundenen Gleitsteinen bestehen, wobei der untere Gleitstein in der Grundplatte 1 und der obere Gleitstein rechtwinklig zum unteren in der Tischplatte 2 geführt wird.Base plate 1 and table top 2 are assembled so that the four hats at right angles to each other at four points. At three intersections Pührungskreuze 3 are used, which consist of two firmly interconnected sliding blocks, the lower sliding block in the base plate 1 and the upper sliding block is guided at right angles to the lower in the table top 2.

Die Orthogonalitat der Kreuzung der Führungsnuten wird durch die Führungskreuze 3 bestimmt, die damit das entscheidende Bauteil als Bindeglied zwischen Grundplatte 1 und Tisch- · platte 2 darstellen.The orthogonality of the intersection of the guide grooves is determined by the guide crosses 3, which thus represent the decisive component as a link between the base plate 1 and the table top 2.

Bei horizontaler Aufstellung des Kreuztisches hält sich die Tischplatte 2 durch die Schwerkraft auf der Grundplatte 1. Ebenso kann die ständige Verbindung zwischen Tischplatte und Grundplatte, auch in verschiedenen Schräglagen des Kreuztisches, z.B. durch Federkraft oder Magnetkraft realisiert werden. Die feinfühlige Verstellung in die beiden möglichen Richtungen geschieht über zwei Meßtrommeln, welche an zwei benachbarten Seiten der Tischplatte 2 angreifen. Ihre spielfreie Anlage wird durch Federn realisiert. Die Verwendung von drei Führungskreuzen 3 ist besonders günstig, um große Führungslängen in beiden Eichtungen zurealisieren, wodurch ein Verkippen vermieden wird. Im Aus führungs be ispiel soll der Kreuztisch zur -Justierung einer optischen Baugruppe im Strahlengang in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse verwendet werden. Dazu sind in der Tischplatte 2 und in der Grundplatte 1 zur Durchführung des optischen Strahlenganges Öffnungen vorgesehen, die so groß sind, daß bei Verschiebungen innerhalb.des Justierbereiches keine Abschattung durch diese Öffnungen auftritt. Der Kreuztisch ist in der Größe sehr variabel gestaltbar.When the cross table is set up horizontally, the table top 2 is held by gravity on the base plate 1. Likewise, the permanent connection between the table top and the base plate, even in different inclined positions of the cross table, e.g. be realized by spring force or magnetic force. The sensitive adjustment in the two possible directions is done via two measuring drums which engage two adjacent sides of the table top 2. Your play-free system is realized by springs. The use of three guide crosses 3 is particularly favorable for realizing long guide lengths in both directions, thereby avoiding tilting. In the embodiment, the cross stage is intended to be used for adjusting an optical assembly in the beam path in a plane perpendicular to the optical axis. For this purpose, openings are provided in the table top 2 and in the base plate 1 for carrying out the optical beam path, which openings are so large that shifts through these openings do not occur during displacements within the adjustment area. The cross table is very variable in size.

Claims

Brfindungsanspruch

Cross table, consisting of a fixed base plate having on the upper side at least two slideways and arranged thereon, two-dimensionally parallel to the base plate translationally movable table top, which has at least two slideways on the underside at right angles to the slideways of the base plate, characterized in that at , The crossing points of the slideways are arranged Fiihrungskreuze, each consisting of two firmly raiteinander connected sliding blocks, wherein the lower sliding block is guided in a slide of the base plate and the upper sliding block in a slideway of the table top and that the movement initiating elements with the table top compounds ,

- See 1 page drawing -