DD211415A1 - POSITIVE PHOTO COPYLIGHT WITH IMPROVED PROPERTIES - Google Patents
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- DD211415A1 DD211415A1 DD24799283A DD24799283A DD211415A1 DD 211415 A1 DD211415 A1 DD 211415A1 DD 24799283 A DD24799283 A DD 24799283A DD 24799283 A DD24799283 A DD 24799283A DD 211415 A1 DD211415 A1 DD 211415A1
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Abstract
Die Erfindung betrifft Positiv-Fotokopierlacke mit verbesserten Eigenschaften, die als Bindemittel einen Novolak enthalten. Ziel der Erfindung ist die Herstellung von Positiv-Fotokopierlacken, die bei gleichbleibenden oder verbesserten Anwendungseigenschaften in verschiedenen Chargen konstante Eigenschaften aufweisen. Dies wird erreicht durch Verwendung von Novolaken mit engem Molverteilungsspektrum und weitgehend regelmaessigem Molekuelaufbau, die durch Fliesstemperaturen von 95 bis 180 Grad C u. Uneinheitlichkeitszahlen zwischen 1,5 u. 2,2 gekennzeichnet sind. Die mit diesen Novolaken hergestellten Fotokopierlacke weisen in verschiedenen Chargen konstante Eigenschaften sowie ueberraschenderweise eine erhoehte praktische Lichtempfindlichkeit bei gutem Anwendungsverhalten (Viskositaet, Entwickelbarkeit, Reliefstruktur) auf.This invention relates to positive photocopying varnishes having improved properties which contain a novolac binder. The aim of the invention is the production of positive photocopy coatings which have constant properties with constant or improved application properties in different batches. This is achieved by using novolaks with a narrow molecular distribution spectrum and largely regular molecular structure, which are characterized by flow temperatures of 95 to 180 degrees C and. Inconsistency between 1.5 and 2.2 are marked. The photocopying varnishes produced with these novolaks have constant properties in various batches and, surprisingly, an increased practical photosensitivity with good application behavior (viscosity, developability, relief structure).
Description
Erfinder: Berlin, den 07. 02, 1983 Inventor : Berlin, 07. 02, 1983
Dr. Ho/GöDr. Ho / Gö
W. Siebert >W. Siebert>
E. Hintzmann /E. Hintzmann /
W. BaumbaciiW. Baumbacii
J. Barnikow .J. Barnikov.
Dr. Ch. Rabe 9/7QQO ^Dr. Ch. Rabe 9 / 7QQO ^
Ξ. Brandt ^A I Ό 3 Z jΞ. Brandt ^ AI Ό 3 Z j
G. Bahr D, Hoff mann M. StoltzeG. Bahr D, Hoffmann M. Stoltze
Positiv-Fotokopierlacke mit verbesserten EigenschaftenPositive photocopy coatings with improved properties
Die Erfindung betrifft Positiv-Fotokopierlacke mit verbesserten Eigenschaften, die als Bindemittel einen lovolak enthalten·The invention relates to positive photocopy coatings having improved properties which contain a lovolak as a binder.
Positiv-Fotokopierlacke sind lichtempfindliche Lacke, die durch Belichten und Herauslösen der belichteten Stellen mit sogenannten Entwicklern (meist alkalisch-Positive photocopying lacquers are light-sensitive lacquers which are prepared by exposure and removal of the exposed areas with so-called developers (usually alkaline).
10 wäßrigen Lösungen) ein Reliefbild liefern· Diese10 aqueous solutions) provide a relief image
Relief bilder können zur Herstellung von Druckplatten, gedruckten Schaltungen u. ä. dienen. In einer besonders verbreiteten Ausführungsform bestehen diese Positiv-Fotokopierlacke aus mindestens einer lichtempfindlichen Komponente, vorzugsweise einem 1-0s:o-2-diazoaren (Chinondiazid) oder einem Aryldiazoniumsalz, hochpolymeren Bindemitteln, insbesondere mindestens ^ einem Novolak, d. h. einem unverzweigten, teillöslichen, im allgemeinen nicht nachhärtbaren Phenol-Formaldehyd-Harz, sowie organischen Lösungsmitteln und ggf. Hilfsstoffen, wie Farbstoffen 0. ä. Positiv-Fotokopierlacke dieser Art sind u. a. in DD-PS 59 24O, 69 262, 109 093» DE-PS 893 748, 11 34 887, US-PS 3 046 120, 3 061 430, 3 130 047, 3 130 048, 3 188 210Relief images can be used to make printing plates, printed circuits and the like. Ä. Serve. In a particularly widespread embodiment, these positive photocopying lacquers consist of at least one photosensitive component, preferably a 1-0s: o-2-diazoarene (quinone diazide) or an aryl diazonium salt, high polymer binders, especially at least one novolak, d. H. an unbranched, partially soluble, generally not postcurable phenol-formaldehyde resin, as well as organic solvents and optionally excipients, such as dyes 0. ä. Positive photocopying varnishes of this type are u. a. in DD-PS 59 24O, 69 262, 109 093 »DE-PS 893 748, 11 34 887, US-PS 3,046,120, 3,061,430, 3,130,047, 3,130,048, 3,188,210
c cr-π aQ a Q * π ί-i si 4 fsc cr-π a Q a Q * π ί -i si 4 fs
247992 1 2 247992 1 2
und zahlreichen anderen Patentschriften beschrieben·and numerous other patents.
Die wie vorstehend beschrieben . Zusammengesetzen Positiv-Fotokopierlacke weisen jedoch erhebliche Schwankungen in bezug auf zahlreiche Anwendungseigenschäften, wie Haftfähigkeit auf bestimmten Substraten, Elastizität der Lackschichten, Eopierkontrast der Eeliefbilder, praktische Lichtempfindlichkeit und Schmelzverhalten auf. Diese Schwankungen sind im wesentlichen dadurch verursacht, daß die verwendeten novolake uneinheitlich sind, d. h. die verschiedenen Chargen von Hovolaken weisen unterschiedliche Eigenschaften auf, weil bei ihrer Herstellung durch saure Kondensation von Phenolen mit !Formaldehyd Produkte mit unterschiedlicher Molekülgröße, beim Einsatz mehrerer unterschiedlicher Phenole auch mit unterschiedlichen Sequenzen der Phenolbausteine entstehen, die in verschiedenen Chargen in unterschiedlichen Mengenverhältnissen vertreten sind. Beim technischen Einsatz vonThe as described above. However, positive photocopy coatings have significant variations in many application properties such as adhesion to certain substrates, elasticity of the enamel layers, e-image contrast of the eel images, practical photosensitivity, and melting behavior. These variations are essentially caused by the fact that the novolaks used are non-uniform, i. H. the different batches of Hovolaks have different properties, because in their preparation by acid condensation of phenols with! formaldehyde products of different molecular size, the use of several different phenols with different sequences of phenolic building blocks that are represented in different batches in different proportions. In the technical use of
20 Positiv-Fotokopierlacken ist es jedoch unbedingtHowever, 20 positive photocopy coatings are essential
notwendig, daß diese gleichbleibende Eigenschaften aufweisen, weil sonst für jede Lackcharge andere technologische Parameter empirisch festgelegt werden müßten· Um dem Rechnung zu tragen, hat man ähnlich wie beim technischen Einsatz von Naturstoffen die Novolake vor ihrer Verwendung zur Herstellung von Positiv-Fot©kopierlacken auf ihre Anwendungseigenschaften hin getestet und nur geeignete Chargen weiterverwendet. Dieses Verfahren ist aber sehr umständlich und arbeitsaufwendig, und es treten trotzdem bei verschiedenen Chargen von Positivlacken Schwankungen ihrer Eigenschaften auf, die auf die zu ihrer Herstellung verwendeten Novolake zurückzuführen sind«necessary that they have consistent properties, because otherwise different technological parameters would have to be determined empirically for each batch of paint · To take this into account, similar to the technical use of natural products, the novolaks before their use for the production of positive-Fot © copier lacquers on tested their application properties and reused only suitable batches. However, this process is very cumbersome and labor-intensive, and nevertheless different batches of positive varnishes exhibit variations in their properties which are attributable to the novolaks used for their preparation. "
247 99 2 1 3247 99 2 1 3
Ziel der Erfindung; Aim of the invention ;
Ziel der Erfindung ist daher die Herstellung von Positiv-Eotokopierlacken, die bei mindestens gleichbleibenden, möglichst aber verbesserten Anwendungseigenschaften in verschiedenen Chargen mit konstanten Eigenschaften reproduzierbar sind·The aim of the invention is therefore the production of positive EoTouchierlacken that are reproducible at least constant, but improved if possible application properties in different batches with constant properties ·
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, novolake aufzufinden, die auf Grund ihrer Struktur und Herstellung gute fotochemische Eigenschaften aufweisen und weitestgehend reproduzierbar sind, so daß bei ihrem Einsatz als Bindemittel in Fotokopierlacken qualitativ hochwertige Lacke mit konstanten Eigenschaften erhalten werden. Diese Aufgäbe konnte gelöst werden durch den Einsatz von ÜTovolaken, die in einer homogenen und orientiert ablaufenden Kondensationsreaktion hergestellt werden, wie sie in der Patentanmeldung DD-Az. G 08 G/ 245 572/6 beschrieben ist. Diese Novolake zeigen ein enges Molekülverteilungsspektrum und einen weitgehend regelmäßigen molekularen Aufbau, was sich u· a. in einem engen lließbereich und in Uneinheitlichkeitszahlen (Definition und Bestimmung, vgl.: Grundlagen der makromolekularen Ghemie/ Philipp, B; Eeinisch, G. - 2. Aufl. Berlin 19?6 S. 35) zwischen 0,5 und 3,0 (gegenüber 6 bis 8 bei den bisher gebräuchlichen Hovolaken) ausdrückt. Enthalten diese Novolake zwei verschiedene Phenolbausteine, so sind diese im Molekül alternierend angeordnet. Sind drei verschiedene Phenolbausteine enthalten, so ist je nach den Herstellungsbedingungen jeweils einer regelmäßig angeordnet, während die beiden anderen statistisch im Molekül verteilt sind« Diese Strukrur wird nachstehend als semialternierend bezeichnet.The invention is therefore based on the object novolake find that have good photochemical properties due to their structure and production and are largely reproducible, so that when used as a binder in photocopying high quality coatings with constant properties are obtained. This abandonment could be solved by the use of ÜTovolaken, which are produced in a homogeneous and oriented ongoing condensation reaction, as described in the patent application DD-Az. G 08 G / 245 572/6 is described. These novolaks show a narrow molecular distribution spectrum and a largely regular molecular structure, which is, inter alia. in a narrow range and in heterogeneity figures (definition and determination, see: Foundations of the macromolecular Ghemie / Philipp, B; Eeinisch, G. - 2nd edition Berlin 19? 6 p. 35) between 0.5 and 3.0 ( compared to 6 to 8 in the previously used Hovolaken) expresses. If these novolaks contain two different phenolic building blocks, they are arranged alternately in the molecule. If three different phenolic building blocks are present, one is arranged regularly according to the conditions of production, while the other two are distributed statistically in the molecule. This structure is referred to below as semialternating.
9999
Die vorstehend charakterisierten Novolake gestatten "bei ihrem Einsatz als Bindemittel in Positiv-Fotokopierlacken erwartungsgemäß die Herstellung von Fotokopierlacken, deren Eigenschaften bei Konstanthaltung der übrigen Herstellungsbedingungen sicher reproduzierbar sind. Überraschenderweise zeigen die so hergestellten Fotokopierlacke aber auch deutlich bessere Werte für die praktische Lichtempfindlichkeit (geringste erforderliche Belichtung zur Erzeugung eines entwickelbaren Reliefbildes) als Fotokopierlacke, die mit den herkömmlichen Jtfovolaken hergestellt wurden· Darüber hinaus weisen sie folgende günstige Anwendungseigenschaften auf:The novolaks characterized above, when used as binders in positive photocopy coatings, are expected to permit the production of photocopying varnishes whose properties are reliably reproducible while keeping the other production conditions constant Exposure to produce a developable relief image) as photocopying varnishes produced with the conventional Jtfovolaks. In addition, they have the following favorable application properties:
- gleichmäßige Viskosität ihrer Lösungen, so daßuniform viscosity of their solutions, so that
beim Beschichten gleichmäßige Schichten definierter Dicke erhalten werden,during coating, uniform layers of defined thickness are obtained,
- gleichmäßige Löslichkeit beim Entwickeln,uniform solubility during development,
- gute· Eigenschaften beim tempern, so daß die Feinstruktur des erzeugten Reliefbildes genau einge-good tempering properties, so that the fine structure of the relief image produced is precisely
20 halten werden kann·20 can be kept ·
Die Herstellung der erfindungsgemäßen Fotokopierlacke erfolgt, abgesehen vom Einsatz der neuen anstelle der bisher verwendeten Novolake, in bekannter leise durch Lösen der Komponenten (Bindemittel, lichtempfindliche Komponente und ggf. Zusatzstoffe) in mindestens einem organischen Lösungsmittel. Obgleich prinzipiell alle in der Fotokop erlack-Herstellung verwendeten 1-0zo-2-diazoarene (Chinondiazide) und Aryldiazoniumsalze angewendet werden können, hat sich der Einsatz inApart from the use of the novel instead of the previously used novolaks, the preparation of the photocopying lacquers according to the invention is carried out in known manner in a quiet manner by dissolving the components (binder, photosensitive component and optionally additives) in at least one organic solvent. Although in principle all 1-0zo-2-diazoarenes (quinone diazides) and aryl diazonium salts used in photocopy production can be used, the use in
30 Kombination mit 1-0xo-2-diazonaphthen-4- bzw.30 combination with 1-0xo-2-diazonaphthene-4- or
-5-sulfonsäurearylestern als besonders zweckmäßig herausgestellt, weil das Löslichkeitsverhalten dieser Verbindung bei Verwendung der neuartigen Novolake im Gegensatz zu den bisher verwendeten Bindemitteln-5-sulfonsäurearylestern found to be particularly useful because the solubility of this compound when using the novel novolaks in contrast to the binders previously used
247992247992
nicht elageschränkt wird, so daß ihre hohe fotochemische Aktivität besonders gut ausgenutzt werden kann. Wegen der höheren praktischen Lichtempfindlichkeit infolge der Verwendung der neuartigen Novolake ist es möglich, entweder die Belichtungszeiten gegenüber den bisherigen Lacken au verkürzen (bzw* schwächere Lichtquellen zu verwenden) oder die Menge der eingesetzten lichtempfindlichen Komponente (i-Os:o-2-diazoaren oder Aryldiazoniumsalz) wesentlich zu ver-is not ela limits, so that their high photochemical activity can be particularly well exploited. Because of the higher practical photosensitivity due to the use of the novel novolaks, it is possible either to shorten the exposure times compared to the previous paints au (or * weaker light sources to use) or the amount of photosensitive component used (i-Os: o-2-diazoarene or Aryl diazonium salt) essential to
10 ringern.10 ring.
Gegebenenfalls können den Fotokopierlacken weitere Bindemittel, z. B. Polyamidharze, sowie Hilfsstoffe, wie Farbstoffe u· ä. enthalten- Als organische Lösungsmittel können geeignete unpolare oder schwach polare Lösungsmittel bzw. Gemische aus solchen verwendet werden^ bevorzugt wird ein Gemisch aus Äthylglykolacetat, n-Butylacetat und Xylol.Optionally, the Fotokopierlacken more binders, for. As organic solvents, suitable non-polar or weakly polar solvents or mixtures thereof may be used. Preferred is a mixture of ethyl glycol acetate, n-butyl acetate and xylene.
In Tabelle 1 werden einige zur Herstellung der erfindungsgemäßen Fotokopierlacke besonders geeignete Novolake aufgeführt, ohne daß damit der Schutzanspruch auf diese beschränkt werden soll.Table 1 lists some novolaks which are particularly suitable for the preparation of the photocopying lacquers according to the invention, without the claim of protection being restricted to them.
Novolake mit definierten und halbdefinierten Phenolkörpersequenzen zur Verwendung als Bindemittel in Positiv-ffotokopierlacken - Novolacs with defined and semi-defined phenol body sequences for use as binders in positive photoprints -
Substr. BezeichnungSubstr. designation
S e S e
u e η Abschlußgruppeu e η final group
Zusammen- Fließ-Confluence
setzung bereich O0 setting range O 0
alternierendes o-Kresol-p-Kresol—Novolakharzalternating o-cresol p-cresol novolak resin
alternierendes m-Kresol~p-Kresol-Novolakharzalternating m-cresol ~ p-cresol novolak resin
OHOH
or1"or 1 "
CH,CH,
-CHj,--CHJ -
129-135129-135
1:11: 1
135-145135-145
Substr. BezeichnungSubstr. designation
Sequenz AbschlußgruppeSequence completion group
Zusammen^ setzungComposition
tfließgereichtfließgereich
alternierendes Dian-p-tertbutyl-phenol-» Movolakharzalternating Dian-p-tert-butylphenol »Movolak resin
alternierendes Dian~p-Kresol-Hovolakharzalternating Dian ~ p-cresol-Hovolak resin
OHOH
ι OHOH
-CM,--CM,-
-CH1--CH 1 -
CU t CU t
HjC-C-CHjHJC-C CHj
OhOh
OHOH
t CHt CH
1:11: 1
145-150145-150
120-134120-134
( j ( j
Substr* BeaeichnungSubstrate
Sequenzsequence
Abso hlußgruppeABSOLUTE GROUP
Zusammensetzungcomposition
Fließbereich 0CFlow range 0 C
alternierendesalternately
(p~Kresol)~ Hovolakharz(p ~ cresol) ~ Hovolak resin
Jnjn
1:11: 1
* semialternie-* semi-annual
rendes o-Kresol-P-Kr esol-bistp-Kresol)«- Novolakharz+)o-cresol-P-Kr esole-bistp-cresol) «- Novolac resin +)
OHOH
1 C-Wj1 C-Wj
CN,CN,
0404
120-125120-125
'Die in gestrichelte spitze Klammern eingeschlossenen Phenolkörper sind im Molekül statistisch verteilt, d.h. in der Formel gegeneinander austauschbar»The phenolic bodies enclosed in dashed angle brackets are randomly distributed in the molecule, i. in the formula interchangeable »
Sut>str· BezeichnungSut> str · designation
S β g u e η ζ Abschluß gruppeS β g u e η ζ termination group
Zusammensetzungcomposition
Fließbereich 0OFlow range 0 O
semialternierendes m-Kresol-p-Kresolbis-Cp-Kresol) Movolakharzsemialternating m-cresol-p-cresolbis-Cp-cresol) Movolak resin
-CH,CH,
seaiialternierendes o-Kresol ra-Kresol-p-Kresol-Uovolakharzsea-promoting o-cresol ra-cresol-p-cresol-uovolac resin
"CH1-"CH 1 -
CW,CW,
onon
3:2ϊ13: 2ϊ1
1s2i11s2i1
125-135125-135
125-135 130-140125-135 130-140
Substr* BezeichnungSubstr * designation
S e g u θ η ζ AbschlußgruppeS e g u θ η ζ Termination group
Zusammensetzungcomposition
Fließbereich 0OFlow range 0 O
semialternierendes o-Kresol p-tert.~butyl~ pheno1-Novolakharzsemialternating o-cresol p-tert. butyl-pheno1 novolak resin
semialternierendes o-Kresol~ BV-Kr eso 1-p-t ert · butylpheno! *" Novolakharzsemialternating o-cresol ~ BV-Kr eso 1-p-tert-butylpheno! * "Novolac resin
\ «ν\ "Ν
a)a)
b)b)
118-128 120-125118-128 120-125
128-135 130-140128-135 130-140
S e q u θ η ζ Abschluß- Zusammen- Fließ- Ί gruppe setzung bereichS equ θ η ζ termination-flow- grouping range
?H ? H
semialt eruierendes m~Kreso1~ p~Kresol~p-tert,-butylphenol-Uovolakharzsemitransforming m ~ cresol ~ p ~ cresol ~ p-tert, -butylphenol-uovolac resin
135-14-5135-14-5
*M,* M,
/ a a ι ι 12/ Aa ι ι 12
1 g 2.3.^£rihydro:xybenzophenon-tris- (i-oxo-diazonaphthen-sulfonsäure-5)-ester und1 g of 2,3. ^ Rihydro: xybenzophenone tris (i-oxo-diazonaphthen-5-sulfonic acid) ester and
5 2,5 g ITovolak Hr. 15 2.5 g ITovolak Hr. 1
werden.in 8. ml eines Lösungsmittelgemisches aus 70 Vol.-% Bthylglykolacetet, 15 Vol.-% n-Butylacetat und 15 YoI.-% Z^len bei Zimmertemperatur unter Rühren gelöst und danach auf 0,2 ,um teilchenfrei filtriert. Die so erzeugte Positiv-fotokopierlack-Lösung wird durch Aufschleudern mittels einer Zentrifuge auf eine oxidierte Siliziumscheibe aufgebracht und die Schicht anschließend bei 90 0G getrocknet. Die entstandene Lackschicht hat eine Dicke von 1,5 /Um· SFach Eontaktbelichtung hinter einer Cr-Maske (Hg-Hocksrucklampe HBO 200, Hersteller: YSB Optische Werke Rathenow, Belichtungsdauer 12 s) werden beim Entwickeln mit der wäßrigen Lösung eines Phosphatpuffers mit pH 13,4 bei Zimmertemperatur einwandfreie Relief bilder erhalten. Im Yergleich dazu werden mit handelsüblichen Lacken, die unter Verwendung von Uovolaken mit statistischer Verteilung der Bausteine hergestellt wurden, erst bei wesentlich längeren Belichtungszeiten einwandfreie Reliefbilder erhaltenbe.in 8 ml of a solvent mixture of 70 vol .-% Bthylglykolacetet, 15 vol .-% n-butyl acetate and 15 YoI .-% Z ^ len at room temperature with stirring and then to 0.2, filtered to particle-free. The positive photocopy paint solution thus produced is applied by spin-coating using a centrifuge on an oxidized silicon wafer, followed by drying the layer at 90 0 G. The resulting lacquer layer has a thickness of 1.5 / μm. After Eontakt exposure behind a Cr mask (Hg-Heocksrucklampe HBO 200, manufacturer: YSB Optical Works Rathenow, exposure time 12 s) are developing with the aqueous solution of a phosphate buffer with pH 13 , 4 perfect relief images at room temperature. In Yergleich to be obtained with commercially available paints, which were produced using Uovolaken with random distribution of the blocks, only at much longer exposure times flawless relief images
(z. B. mit dem von der 3?a· Shipley Inc., GB, unter dem Hamen AZ 1370 H angebotenen Lack nach 20 s). Abtragungen an den unbelichteten Schichtteilen traten bei dem erfindungsgemäßen Lack unter den vorstehenden Bedingungen nicht auf.(for example, with the varnish offered by the 3'a * Shipley Inc., GB under the name AZ 1370 H after 20 s). Ablations on the unexposed layer parts did not occur in the paint according to the invention under the above conditions.
30 Beispiel 2:30 Example 2:
1 g Tris-(1'-osD-.2'-diazonaphthen-sulfon7lO2^-50-1 g of tris- (1'-osD-.2'-diazonaphthene-sulfone) 7OO 2 -50-
benzoesäuremethylester und 2,5 S Hovolak JSr. 2methyl benzoate and 2.5S Hovolak JSr. 2
7 a y ι ι 13 7 ay ι ι 13
werden analog Beispiel 1 in 8 ml Lösungsmittelgemiscli gelöst und auf oxidierte Siliziumscheiben aufgebracht. Die Belichtung erfolgt mit Hilfe der irojektionsbelichtungsanlage MHIR der Fa. Carl Zeiß Jena, DDS. Um unter den in Beispiel 1 genannten Entwicklungsbedingungen einwandfreie Relief bilder zu erhalten, wird bei der Belichtung eine Einstellung auf 2 ooo Skt. benötigt. Im Vergleich dazu wurden mit einem unter Verwendung eines statistisch aufgebauten Hovolakes hergestellten kommerziellen Lack (AZ 1370 H der Fa, Shipley Inc., Coventry, GB) erst bei 3 500 Skt. einwandfrei entwickelbare Reliefbilder erhalten·are dissolved as in Example 1 in 8 ml Lösungsgemiscli and applied to oxidized silicon wafers. Exposure takes place with the aid of the MHIR irojection exposure system from Carl Zeiss Jena, DDS. In order to obtain perfect relief images under the development conditions mentioned in Example 1, a setting to 2,000 Skt. Is required during the exposure. Compared to this, with a commercial varnish (AZ 1370 H of the company, Shipley Inc., Coventry, GB) produced using a statistically constructed Hovolak, perfectly developable relief images were obtained only at 3,500 Skt.
1 g CDris-C 1*-0x0-2* -diazonaphthen-sulfonylosy-^* )-benzoesäuremethylester und1 g CDris-C 1 * -0x0-2 * -diazonaphthen-sulfonylosy - ^ *) benzoic acid methyl ester and
1,5 § Hovolak Hr. 101.5 § Hovolak Hr. 10
werden analog Beispiel 1 in 8 ml Lösungsmittelgemisch gelöst und auf oxidierte Siliziumscheiben aufgebracht. Die Belichtung erfolgt mit Hilfe der Erojektionsbelichtungsanlage läHJS der Pa. Carl Zeiß Jena, DDR.are dissolved as in Example 1 in 8 ml of solvent mixture and applied to oxidized silicon wafers. Exposure takes place with the aid of the Eo-ejection exposure system lAHJS of the Pa. Carl Zeiss Jena, GDR.
Um unter den genannten Entwicklungsbedingungen einwandfreie Reliefbilder zu erhalten, wird bei der Belichtung eine Einstellung auf 2 000 Skt. benötigt.In order to obtain flawless relief images under the development conditions mentioned, a setting of 2,000 Skt. Is required during the exposure.
Ss wird ein Positiv-Fotokopierlack gemäß Beispiel 3 hergestellt und verarbeitet; jedoch wird nicht Hovolak Nr. 10 aus einer Charge, sondern ein Gemisch aus annähernd gleichen '!eilen dreier verschiedener Chargen verwendet. Während bei Verwendung von Chargengemischen aus Novolaken mit statistischer Verteilung der Bausteine in Laborversuchen auch bei nur geringfügigen Schwankungen des mittleren Molgewichtes we-Thus, a positive type photocopying varnish according to Example 3 is prepared and processed; However, Hovolak No. 10 from a batch is not used, but a mixture of approximately equal parts of three different batches. While using batch mixtures of novolacs with statistical distribution of the blocks in laboratory experiments even with only slight fluctuations in the average molecular weight we-
ι a ι a
sentliche "Verschlechterungen der Lichtempfindlichkeit und des Kopierkontrastes beobachtet wurden, ist im vorliegenden Fall keine Änderung der Eigenschaften gegenüber Beispiel 3 festausteilen·significant deteriorations in photosensitivity and copy contrast have not been observed in the present case
3 Beispiel 4: 3 Example 4:
20 g des Eällproduktes aus p-Diazodiethy!anilin und phenolischen Sulfonsäuren (hergestellt gemäß DE-OS 17 97 282), 50 g Hovolak Hp· 7, 10 1g Methylviolett,20 g of the precipitate of p-diazodiethyl aniline and phenolic sulfonic acids (prepared according to DE-OS 17 97 282), 50 g Hovolak Hp · 7, 10 1 g methyl violet,
100 g Methylglykol, 100 g Ethylglykol und 100 g Aceton100 g of methyl glycol, 100 g of ethyl glycol and 100 g of acetone
werden zusammengegeben, bei Zimmertemperatur bis zur völligen Homogenisation gerührt und auf 0,2yUm teilchenfrei filtriert. Die so erzeugte Positiv-Potokopierlack-Lösung wird durch Auf schleudern mittels einer Zentrifuge auf eine oxidierte Siliziumscheibe aufgebracht, die Scheibe wird anschließend bei 90 0G getrocknet, analog Beispiel 1 belichtet und mit der wäßrigen Lösung eines Phosphatpuffers mit pH 13,2 entwickelt. Die zur Erzielung einwandfreier Reliefbilder notwendige Belichtungszeit betrug 10 s.are combined, stirred at room temperature until complete homogenization and filtered particle-free to 0.2yum. The positive-Potokopierlack solution thus produced is applied by spin on a centrifuge on an oxidized silicon wafer, the disc is then dried at 90 0 G, exposed as in Example 1 and developed with the aqueous solution of a phosphate buffer with pH 13.2. The necessary to achieve perfect relief images exposure time was 10 s.
Claims (4)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DD24799283A DD211415A1 (en) | 1983-02-16 | 1983-02-16 | POSITIVE PHOTO COPYLIGHT WITH IMPROVED PROPERTIES |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DD24799283A DD211415A1 (en) | 1983-02-16 | 1983-02-16 | POSITIVE PHOTO COPYLIGHT WITH IMPROVED PROPERTIES |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DD211415A1 true DD211415A1 (en) | 1984-07-11 |
Family
ID=5544993
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DD24799283A DD211415A1 (en) | 1983-02-16 | 1983-02-16 | POSITIVE PHOTO COPYLIGHT WITH IMPROVED PROPERTIES |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DD (1) | DD211415A1 (en) |
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