DD206591B1 - DEVICE FOR ADJUSTING AN OPTICAL ELEMENT - Google Patents

DEVICE FOR ADJUSTING AN OPTICAL ELEMENT Download PDF

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DD206591B1 DD24033582A DD24033582A DD206591B1 DD 206591 B1 DD206591 B1 DD 206591B1 DD 24033582 A DD24033582 A DD 24033582A DD 24033582 A DD24033582 A DD 24033582A DD 206591 B1 DD206591 B1 DD 206591B1
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Volker Guyenot
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Volker Eberhardt
Volker Guyenot
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Ausführungsbeispielembodiment

Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Justierung eines optischen Elementes zu einer mechanischen Fassung soll nachstehend anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert werden.The inventive device for adjusting an optical element to a mechanical version will be explained below with reference to an embodiment.

Eine mechanische Fassung 1 ist in einem als Halterung dienenden, auswechselbaren Bauteil 2 eingepaßt und mittels eines weiteren Bauteiles 3 in der Vorrichtung lageorientiert angeordnet. Eine Linse 4 mit den optisch wirksamen Flächen 5 und 6 ist auf einer mit einer Ringschneide 7 versehenen Aufnahme 8 so angeordnet, daß zwischen der Linse 4 und der mechanischen Fassung 1 ein Klebespalt 9 vorhanden ist.A mechanical version 1 is fitted in a serving as a holder, replaceable component 2 and arranged in a position-oriented manner by means of a further component 3 in the device. A lens 4 with the optically active surfaces 5 and 6 is arranged on a provided with a ring cutting 7 receptacle 8 so that between the lens 4 and the mechanical version 1, an adhesive gap 9 is present.

Die Aufnahme 8 befindet sich in zwei Koordinaten durch die Verstellelemente 10 justierbar auf einem Schwenklager, welches als kardanisches Lager ausgebildet ist. Dazu ist ein Bauteil 11 mittels zweier in der Figur nicht dargestellter Zylinderstifte schwenkbar in einem Lagerring 12 gelagert, wobei die Zylinderstifte im Bauteil 11 fest eingepaßt und im Lagerring 12 drehbar angeordnet sind. Der Lagerring 12 ist mittels zweier Zylinderstifte 13 in einem Aufnahmeflansch 14 so gelagert, daß sie wiederum im Lagerring 12 drehbar und im Aufnahmeflansch 14, der durch Verstellelemente 15 in zwei Koordinaten verschiebbar ist, fest eingebracht sind. Mittels der Verstellelemente 16 ist das Bauteil 11 schwenkbar in zwei Koordinaten angeordnet. Die Verstellelemente 10,15 und 16 befinden sich um 90° versetzt in den jeweiligen Justierebenen. Das Bauteil 3 besitzt am unteren Ende eine Kalotte 17, deren Krümmungsradius im kardanischen Schwenkpunkt liegt. Die Kalotte 17 ist mittels vier um 90°versetzte Verstellelemente 18 in einer Gegenkalotte eines Bauteils 19 gelagert. Das Bauteil 19 ist durch Verstellelemente 20 in zwei Koordinanten verschiebbar auf einem Grundkörper 21, der in einer Führung 22 dreh- und axial verschiebbar ist, angeordnet. Nachdem die Achse der mechanischen Fassung 1, deren Außendurchmesser genau laufend zu den Planflächen gefertigt ist, mittels der Verstellelemente 18 senkrecht zur Vorrichtungs- oder zu einer vorgegebenen Bezugsachse ausgerichtet wird, erfolgt mittels der Verstellelemente 23 eine Justierung der zentrischen Lage der Achse der mechanischen Fassung zur Bezugsachse. Anschließend erfolgt, nachdem die Linse 4 auf die Ringschneide 7 aufgelegt wurde, eine mittels der Verstellelemente 15 auszuführende Grundjustierung der Vorrichtung, das heißt, einmal die Justierung des kardanischen Schwenkpunktes auf eine Bezugsachse und zum anderen eine Veränderung der relativen Lage der Krümmungsmittel punkte der optisch wirksamen Fläche 5 und 6. Mittels der Verstellelemente 10 erfolgt die Justierung eines Krümmungsmittelpunktes der Linse 4 auf die Bezugsachse. Die Justierung des anderen Krümmungsmittelpunktes der Linse 4 auf die Bezugsachse erfolgt durch die Verstellelemente 16. Befindet sich der erste Krümmungsmittelpunkt nicht im kardanischen Schwenkpunkt, kommt es zu einem Auswandern aus der Bezugsachse. Durch gleichzeitige Betätigung der Verstellelemente 10 und 16 kann jede relative Auswanderung kompensiert werden.The receptacle 8 is adjustable in two coordinates by the adjusting elements 10 on a pivot bearing, which is designed as a cardanic bearing. For this purpose, a component 11 is mounted by means of two cylinder pins, not shown in the figure, pivotally mounted in a bearing ring 12, wherein the cylinder pins are firmly fitted in the component 11 and rotatably mounted in the bearing ring 12. The bearing ring 12 is mounted by means of two cylindrical pins 13 in a receiving flange 14 so that they turn in the bearing ring 12 rotatably and in the receiving flange 14, which is displaceable by adjusting elements 15 in two coordinates, are firmly inserted. By means of the adjusting elements 16, the component 11 is pivotally arranged in two coordinates. The adjusting elements 10, 15 and 16 are offset by 90 ° in the respective adjustment planes. The component 3 has at the lower end a cap 17 whose radius of curvature lies in the cardan pivot point. The cap 17 is mounted by means of four offset by 90 ° adjusting elements 18 in a counter-calotte of a component 19. The component 19 is displaceable by adjusting elements 20 in two coordinates on a base body 21 which is rotatable and axially displaceable in a guide 22, respectively. After the axis of the mechanical version 1, whose outer diameter is made exactly running to the flat surfaces, is aligned by means of the adjusting elements 18 perpendicular to the device or to a predetermined reference axis, carried out by means of the adjusting elements 23, an adjustment of the central position of the axis of the mechanical version of reference axis. Subsequently, after the lens 4 has been placed on the annular cutting edge 7, carried out by means of adjusting elements 15 basic adjustment of the device, that is, once the adjustment of the gimbal pivot point on a reference axis and on the other a change in the relative position of the center of curvature points of optically effective Surface 5 and 6. By means of the adjusting elements 10, the adjustment of a center of curvature of the lens 4 is carried out on the reference axis. The adjustment of the other center of curvature of the lens 4 on the reference axis is effected by the adjusting elements 16. If the first center of curvature is not in the cardan pivot point, there is an emigration from the reference axis. By simultaneous operation of the adjusting elements 10 and 16, each relative emigration can be compensated.

Durch die getrennte Justierung von mechanischer Fassung 1 und Linse 4 ist es möglich, in einer Vorrichtung eine sehr genaue Koinzidenz von optischer und mechanischer Achse zu erzielen. Gleichzeitig kann das optische Element (Linse 4) mittels an sich bekannter chemischer Mittel in der Vorrichtung genau justiert zur mechanischen Fassung lagefixiert werden.Due to the separate adjustment of the mechanical frame 1 and lens 4, it is possible to achieve in a device a very precise coincidence of the optical and mechanical axis. At the same time, the optical element (lens 4) can be precisely fixed in position in the device by means of chemical means known per se for fixing to the mechanical mount.

Claims (1)

1. Vorrichtung zum Justieren eines optischen Elementes mit einer, das auf einer ringschneidenformigen Auflage liegende optische Element sowie eine mechanische Fassung zu einer vorbestimmten mechanischen oder optischen Achse justierenden verstell- und arretierbaren Einrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß das optische Bauelement (4) auf einer kardanisch aufgehängten und rechtwinklig zur Vorrichtungsachse verstellbaren Halterung (8) lateral verschiebbar angeordnet ist, daß die in einer Aufnahme (2) fixierte mechanische Fassung (1) orthogonal zur Vorrichtungsachse, aber unabhängig vom Bewegungssystem der das optische Element (4) tragenden Halterung (8), verschiebbar gelagert ist und daß das optische Element (4) sowie die mechanische Fassung (1) über eine Kalotte (17) gleichzeitig schwenkbar ist.1. A device for adjusting an optical element with a lying on a ringschneidenformigen support optical element and a mechanical version to a predetermined mechanical or optical axis adjusting adjustable and lockable device, characterized in that the optical component (4) on a gimbal suspended and at right angles to the device axis adjustable holder (8) is arranged laterally displaceable, that in a receptacle (2) fixed mechanical socket (1) orthogonal to the device axis, but independent of the movement system of the optical element (4) supporting bracket (8), is slidably mounted and that the optical element (4) and the mechanical socket (1) via a cap (17) is simultaneously pivotable. Hierzu 1 Seite ZeichnungFor this 1 page drawing Anwendungsgebiet der ErfindungField of application of the invention Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Justieren eines optischen Elementes, insbesondere zur Justierung der optischen Achse von Linsen und Linsenkombinationen zu einer vorbestimmten mechanischen Achse. Die Erfindung kann im optischen Prazisionsgeratebau bei fotolithografischen, mikroskopischen und anderen Geraten eingesetzt werden.The invention relates to a device for adjusting an optical element, in particular for adjusting the optical axis of lenses and lens combinations to a predetermined mechanical axis. The invention can be used in optical precision engineering in photolithographic, microscopic and other devices. Charakteristik der bekannten technischen LosungenCharacteristic of the known technical solutions Bekannt sind Vorrichtungen zur Justierung und Lagefixierung optischer Elemente, bei denen die optischen Elemente in vorgearbeitete mechanische Fassungen eingebracht und mittels mechanischer oder chemischer Mittel lagefixiert werden (ζ Β WP C03C/235255) Anschließend erfolgt zur Realisierung der Übereinstimmung zwischen der optischen und der mechanischen Bezugsachse eine spanende Bearbeitung der mechanischen Kontaktflachen der Fassung (Justiedrehen) Eine weitere bekannte Justiermoglichkeit unter Zuhilfenahme bestimmter Vorrichtungen ist das Justierkleben (z B Hanke, P „Verfahren zur Montage hochwertiger optischer Systeme" Forschungsbericht T78-19 der Optischen Werke G Rodenstock/BRD 1978) Hierbei werden die optischen Elemente in sehr genau gefertigte mechanische Fassungen mittels chemischer Mittel so lagefixiert, daß die optische Achse der einzelnen Elemente mit der mechanischen Achse der Fassung identisch ist Im US-PS 109217 wird eine Vorrichtung zum Zentrieren optischer Elemente angegeben, wobei eine genaue laterale und axiale Lagefixierung optischer Bauteile durch Richtkleben ermöglicht wird Dabei erfolgt die Justierung mehrerer genau zueinander anzuordnender optischer Elemente durch Variationen von drei Abstandsbolzen, deren Lange justierbar ist und nach ermittelter relativer Justierlange über einen Prozeßrechner fur jeden Justierschritt ermittelt wird Alle bekannten Losungen zur Justierung optischer Elemente weisen den Nachteil auf, daß entweder nur eine begrenzte Genauigkeit erzielt wird, oder der Aufwand bezüglich des Justiervorganges und des Umrüstens der Vorrichtung auf maßlich voneinander abweichender optischer Elemente sehr hoch istDevices are known for adjusting and fixing the position of optical elements, in which the optical elements are incorporated into prepared mechanical versions and fixed in position by means of mechanical or chemical means (ζ Β WP C03C / 235255) is then carried out to achieve the agreement between the optical and the mechanical reference axis Machining the mechanical contact surfaces of the socket (Justendrehen) Another well-known adjustment with the aid of certain devices is the Justierkleben (z Hanke, P "method for assembling high-quality optical systems" Research Report T78-19 Optical Works G Rodenstock / FRG 1978) the optical elements are fixed in position in very precisely manufactured mechanical sockets by means of chemical means such that the optical axis of the individual elements is identical to the mechanical axis of the socket. US Pat. No. 109217 discloses a device for centering optical elements In this case, the adjustment of a plurality of optical elements to be arranged exactly to one another by variations of three standoffs whose length is adjustable and determined by the determined relative Justierlange via a process computer for each adjustment step takes place All known Solutions for the adjustment of optical elements have the disadvantage that either only a limited accuracy is achieved, or the effort with respect to the adjustment process and the retrofitting of the device on dimensionally divergent optical elements is very high Ziel der ErfindungObject of the invention Das Ziel der Erfindung besteht dann, mit Hilfe einer Vorrichtung zur Justierung eines optischen Elementes den zeitlichen und technischen Aufwand bei einem hohen Genauigkeitsgrad zu verringern.The object of the invention is then to reduce the time and technical complexity with a high degree of accuracy by means of a device for adjusting an optical element. Darlegung des Wesens der ErfindungExplanation of the essence of the invention Der Erfindung hegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zum Justieren eines optischen Elementes zu entwickeln, mit denen es möglich wird, mittels einer Vorrichtung die Justierung des optischen Elementes in der mechanischen Fassung so durchzufuhren, daß sowohl das optische Element in der Fassung als auch die mechanische Fassung selbst zur Übereinstimmung von optischer und mechanischer Achse getrennt voneinander justiert werden können Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung zum Justieren eines optischen Elementes mit einer, das auf einer ringschniedenformigen Auflage liegende optische Element und eine mechanische Fassung zu einer vorbestimmten mechanischen oder optischen Achse justierenden, verstell- und arretierbaren Einrichtung, erfindungsgemaß dadurch gelost, daß das optische Element auf einer kardanisch aufgehängten und rechtwinklig zur Vorrichtungsachse verstellbaren Halterung lateral verschiebbar angeordnet ist, daß die in einer Aufnahme fixierte mechanische Fassung orthogonal zur Vornchtungsachse, aber unabhängig vom Bewegungssystem der das optische Element tragenden Halterung, verschiebbar gelagert ist und daß das optische Element sowie die mechanische Fassung über eine Kalotte gleichzeitig schwenkbar istThe invention has the object to develop a device for adjusting an optical element, with which it is possible by means of a device to perform the adjustment of the optical element in the mechanical version so that both the optical element in the socket and the mechanical This object is achieved by a device for adjusting an optical element with a, the optical element lying on a ringschniedenformigen support and a mechanical version to a predetermined mechanical or optical axis adjusting adjusted - and lockable device according to the invention solved by the fact that the optical element is arranged laterally displaceable on a gimbal-mounted and adjustable perpendicular to the device axis holder that the fixed in a recording mechanical version place Hogonal to the Annchtungsachse, but independent of the movement system of the optical element supporting the holder, is slidably mounted and that the optical element and the mechanical socket is simultaneously pivotable via a dome Bedingt durch die Anordnung der Bewegungselemente wird die mechanische Fassung rechtwinklig und zentnsch zu einer vorgegebenen optischen oder mechanischen Achse justiert Anschließend wird das optische Element unabhängig von dem die Justierung der mechanischen Fassung bewirkenden Bewegungssystem in der kardanisch gelagerten Halterung zur mechanischen Fassung zentrisch verschoben und verkippt und mittels an sich bekannter chemischer Mittel in der Fassung lagefixiertDue to the arrangement of the movement elements, the mechanical version is adjusted at right angles and zentnsch to a predetermined optical or mechanical axis Subsequently, the optical element is moved independently of the adjustment of the mechanical version causing motion system in the gimbal mounted holder for mechanical version and centrically tilted and by Fixed chemical agent in the version fixed in position
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DE102004042023A1 (en) * 2004-08-27 2006-03-02 Wahl Optoparts Gmbh Optical lens group for guiding laser machining system has first concavo-convex lens facing light source and second aspherical lens with cylindrical sides fitting into cylindrical recess in first lens

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4120497C2 (en) * 1991-06-21 1994-05-26 Zeiss Carl Jena Gmbh Alignment device for the adjustment of objects that are functionally and geometrically related
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