DD139137A1 - Verfahren zur reaktiven elementzerstaeubung mit hohen raten - Google Patents

Verfahren zur reaktiven elementzerstaeubung mit hohen raten

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Klaus Steenbeck
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5415756A (en) * 1994-03-28 1995-05-16 University Of Houston Ion assisted deposition process including reactive source gassification
DE10142831A1 (de) * 2001-08-21 2003-03-13 Siemens Ag Verfahren zur Konditionierung einer Targetoberfläche bei einem Sputterbeschichtungsprozess eines Substrats und entsprechende Sputteranlage
EP2434523A3 (de) * 2010-09-28 2014-04-30 First Solar Malaysia SDN.BHD Sputterkathode mit nichtgebundenem halbleitendem Target
EP2434524A3 (de) * 2010-09-28 2014-09-10 First Solar Malaysia SDN.BHD Sputterverfahren mit nichtgebundenem halbleitendem Target

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5415756A (en) * 1994-03-28 1995-05-16 University Of Houston Ion assisted deposition process including reactive source gassification
DE10142831A1 (de) * 2001-08-21 2003-03-13 Siemens Ag Verfahren zur Konditionierung einer Targetoberfläche bei einem Sputterbeschichtungsprozess eines Substrats und entsprechende Sputteranlage
EP2434523A3 (de) * 2010-09-28 2014-04-30 First Solar Malaysia SDN.BHD Sputterkathode mit nichtgebundenem halbleitendem Target
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