DD138081A1 - Vorrichtung zum hochratesputtern und deren anwendung - Google Patents

Vorrichtung zum hochratesputtern und deren anwendung

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DD138081A1
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sputters
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DD20694978A
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Erwin Steinbeiss
Klaus-Dieter Ufert
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Erwin Steinbeiss
Ufert Klaus Dieter
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3519907A1 (de) * 1984-07-20 1986-01-30 Balzers Hochvakuum Gmbh, 6200 Wiesbaden Targetplatte fuer kathodenzerstaeubung

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DE3519907A1 (de) * 1984-07-20 1986-01-30 Balzers Hochvakuum Gmbh, 6200 Wiesbaden Targetplatte fuer kathodenzerstaeubung

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