DD133617A1 - Vorrichtung zur plasmachemischen bearbeitung von substratoberflaechen - Google Patents

Vorrichtung zur plasmachemischen bearbeitung von substratoberflaechen

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007011021A1 (de) * 2006-08-01 2008-02-14 AJIDC Geräteentwicklungsgesellschaft mbH Verfahren und Vorrichtung zur quantitativen Oxidation von Analyten

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