DD118144B1 - METHOD AND DEVICE FOR FAST EVACUATION OF SMALL BOXES - Google Patents

METHOD AND DEVICE FOR FAST EVACUATION OF SMALL BOXES Download PDF

Info

Publication number
DD118144B1
DD118144B1 DD18587975A DD18587975A DD118144B1 DD 118144 B1 DD118144 B1 DD 118144B1 DD 18587975 A DD18587975 A DD 18587975A DD 18587975 A DD18587975 A DD 18587975A DD 118144 B1 DD118144 B1 DD 118144B1
Authority
DD
German Democratic Republic
Prior art keywords
container
pressure
evacuation
volume
pump
Prior art date
Application number
DD18587975A
Other languages
German (de)
Other versions
DD118144A1 (en
Inventor
Lothar Reissmueller
Dietrich Huebner
Original Assignee
Lothar Reissmueller
Dietrich Huebner
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Lothar Reissmueller, Dietrich Huebner filed Critical Lothar Reissmueller
Priority to DD18587975A priority Critical patent/DD118144B1/en
Publication of DD118144A1 publication Critical patent/DD118144A1/xx
Publication of DD118144B1 publication Critical patent/DD118144B1/en

Links

Landscapes

  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Description

Dazu wird eine Einrichtung verwendet, bei der der zu evakuierende Behälter über zwei Ventile mit einer Evakuierungseinrichtung, die zwei Expansionsvolumina und mindestens eine mechanische Vorvakuumpumpe aufweist, verbunden ist, wobei durch eine mit bekannten Mitteln vorgenommene Zeitsteuerung der Ventile der Einrichtung die Durchführung des Verfahrens realisiert wird.For this purpose, a device is used, in which the container to be evacuated via two valves with an evacuation device having two expansion volumes and at least one mechanical backing pump is connected, which is carried out by a time-controlled by known means timing of the valves of the device, the implementation of the method ,

Ausführungsbeispieleembodiments

Die Erfindung soll nachstehend an mehreren Ausführungsbeispielen näher erklärt werdenThe invention will be explained in more detail below on several embodiments

In der zugehörigen Zeichnung zeigen: In the accompanying drawing show:

Fig. 1: Schema der EvakuierungseinrichtungFig. 1: Scheme of the evacuation device

Fig. 2: Schema der Evakuierungseinrichtung mit einer zweistufigen VorvakuumpumpeFig. 2: Scheme of the evacuation device with a two-stage backing pump

Gemäß Fig. 1 ist der zu evakuierende Behälter 1 über ein Ventil 2 und eine Leitung 4 mit einer mechanischen Vorpumpe 6, sowie über ein Ventil 3 und die Leitung 5 mit einer mechanischen Vorpumpe 7 verbunden. Die Evakuierung von 1 geschieht nun in der Weise, daß zunächst das Ventil 2 geöffnet wird. Es findet Druckausgleich mit der Leitung 4, der Pumpe 6 und dem angebrachten zusätzlichen Volumen 8 statt, der sehr schnell geht und bis zu einem Druck von 1 bis 10 Torr führt.According to FIG. 1, the container 1 to be evacuated is connected via a valve 2 and a line 4 to a mechanical roughing pump 6, as well as via a valve 3 and the line 5 to a mechanical backing pump 7. The evacuation of 1 is now done in such a way that first the valve 2 is opened. There is pressure equalization with the line 4, the pump 6 and the attached additional volume 8 instead, which goes very fast and leads to a pressure of 1 to 10 Torr.

Danach wird Ventil 2 geschlossen und kurzzeitig Ventil 3 geöffnet. Hier expandiert das restliche in dem Behälter 1 verbliebeneThereafter, valve 2 is closed and valve 3 is opened for a short time. Here, the remaining remaining in the container 1 expands

Gas in die Leitung 5, die Pumpe 7 und den Behälter 9, der so dimensioniert ist, daß durch diese Expansion der gewünschte Druck im Behälter 1 erreicht wird.Gas in the line 5, the pump 7 and the container 9, which is dimensioned so that the desired pressure in the container 1 is achieved by this expansion.

Ventil3 wird wieder geschlossen. In der Zeit bis zur nächsten Evakuierung werden die Evakuierungszweige durch die Vorpumpen wieder auf einen niedrigen Druck evakuiert.Valve3 is closed again. In the time until the next evacuation evacuation branches are evacuated by the forepumps back to a low pressure.

Bei günstiger Gestaltung der beiden Evakuierungszweige können die Pumpen 6 und 7 die erste und die zweite Stufe einerWith a favorable design of the two Evakuierungszweige the pumps 6 and 7, the first and the second stage of a

zweistufigen Vorvakuumpumpe (beispielsweise Drehschieberpumpe) 7 (Figur 2) sein.two-stage backing pump (for example, rotary vane pump) 7 (Figure 2).

Claims (3)

1. Verfahren zur wiederholten schnellen Evakuierung kleiner Behälter mit einem Volumen kleiner 0,11 oder einer Vielzahl solcher Behälter nacheinander von Normaldrück auf einen Druck der durch flüssigen Stickstoff nicht ausfrierbaren Gase zwischen 5 · 10~1 Torr und 1 · 1(T3Torr in einer Zeit kleiner oder wesentlich kleiner als 1 s, dadurch gekennzeichnet, daß mit Hilfe von mindestens zwei in bekannter Weise gesteuerten Ventilen nach einem Zeitprogramm zunächst 90 bis 99,9% des Gases aus dem zu evakuierenden Behälter in einen ersten Evakuierungszweig und danach die restlichen 10 bis 0,1 % bis zum gewünschten Enddruck in einen zweiten Evakuierungszweig expandieren, wobei das Abpumpen des Gases aus dem ersten Evakuierungszweig bei einem Druck über dem Enddruck und aus dem zweiten Evakuiecungszweig bei einem Druck unter dem Enddruck des zu evakuierenden Behälters vorwiegend in der Zeit nach Beendigung der Expansion und dem Absperren des Behälters bis zur nächsten Evakuierung erfolgt.1. A method for repeated rapid evacuation of small containers with a volume less than 0.11 or a plurality of such containers successively from normal pressure to a pressure of liquid nitrogen not ausfrierbaren gases between 5 · 10 ~ 1 Torr and 1 · 1 (T 3 Torr in a time less than or substantially less than 1 s, characterized in that with the aid of at least two controlled in a known manner valves according to a time program initially 90 to 99.9% of the gas from the container to be evacuated in a first Evakuierungszweig and then the remaining 10th expand to 0.1% to the desired final pressure in a second evacuation branch, wherein the pumping out of the gas from the first evacuation branch at a pressure above the final pressure and from the second Evakuiecungszweig at a pressure below the final pressure of the container to be evacuated mainly in the after Termination of expansion and shut-off of the container until the next evacuation g takes place. 2. Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der zu evakuierende Behälter (1) über ein Ventil (2) und eine Leitung (4) mit einer mechanischen Vorvakuumpumpe (6) sowie über ein Ventil (3) und die Leitung (5) mit einer mechanischen Vorvakuumpumpe (7) verbunden und an die Leitung (4) ein Hilfsvolumenbehälter (8) sowie an die Leitung (5) ein Hilfsvolumenbehälter (9) angeschlossen ist.2. Device for carrying out the method according to claim 1, characterized in that the container to be evacuated (1) via a valve (2) and a line (4) with a mechanical backing pump (6) and via a valve (3) and the Line (5) connected to a mechanical backing pump (7) and to the line (4) an auxiliary volume container (8) and to the line (5) an auxiliary volume container (9) is connected. 3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Pumpen (6) und (7) durch eine zweistufige Vorvakuumpumpe (7) ersetzt sind, wobei die Leitung (5) an der zweiten Stufe und die Leitung (4) zwischen der ersten und zweiten Stufe angeschlossen ist.3. Device according to claim 2, characterized in that the pumps (6) and (7) are replaced by a two-stage backing pump (7), wherein the conduit (5) at the second stage and the conduit (4) between the first and second stage is connected. Hierzu 1 Seite ZeichnungenFor this 1 page drawings Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Einrichtung zur wiederholten schnellen Evakuierung kleiner Behälter, wobei nach der schnellen Evakuierung des Behälters die gesamte Zeit bis zur nächsten Evakuierung zum Abpumpen des Gases aus der Evakuierungseinrichtung genutzt wird.The invention relates to a method and a device for repeated rapid evacuation of small containers, wherein after the rapid evacuation of the container, the entire time until the next evacuation is used for pumping out the gas from the evacuation device. Charakteristik des bekannten Standes der TechnikCharacteristic of the known state of the art Es ist bekannt, eine Evakuierung von Behältern auf einen vorgegebenen Druck mit einer mechanischen Vorvakuumpumpe, z. B. einer Drehschieberpumpe, über ein Ventil und eine Leitung durchzuführen. Nach dem Öffnen des Ventils strömt das Gas (normalerweise Luft) aus dem Behälter in die Leitung und die Pumpe bis zum Druckausgleich. Die Pumpe fördert dann dieses Gas aus dem Gesamtvolumen, bis der gewünschte Druck erreicht ist.It is known to evacuate containers to a predetermined pressure with a mechanical backing pump, e.g. As a rotary vane pump to perform a valve and a pipe. After opening the valve, the gas (usually air) flows from the tank into the pipe and the pump until pressure equalization. The pump then delivers this gas from the total volume until the desired pressure is reached. Wesentlich kürzere Zeiten lassen sich erreichen, wenn in die Leitung ein zusätzlicher Behälter mit einem so großen Innenvolumen eingebaut wird, daß bereits der Druckausgleich mit dem zu evakuierenden kleinen Behälter bis zum gewünschten Druck führt. Erstgenanntes Verfahren hat den Nachteil, daß die Druckabnahme pro Zeiteinheit mit kleiner werdendem Druck immer geringer wird, da die Leitwerte des Abpumpweges und die Saugleistung der Pumpe mit dem Druck kleiner werden. Wenn das Gesamtvolumen ein vielfaches des Behältervolumens beträgt, wird die für die Evakuierung erforderliche Zeit ein vielfaches derjenigen betragen, die man aus dem Volumen des Behälters und dem Saugvermögen berechnet. Nach dem Abpumpen des Behälters arbeitet die angeschlossene Pumpe bis zu einer weiteren Evakuierung nutzlos gegen das Absperrventil. Beim zweiten Verfahren muß die Gesamtmenge des Gases bei einem Druck abgepumpt werden, der kleiner als der gewünschte Druck ist. Demzufolge muß eine unangemessen große Pumpe verwendet werden. Außerdem ist der Aufwand des beträchtlichen Volumens des zusätzlichen Behälters erheblich.Significantly shorter times can be achieved if an additional container with such a large internal volume is installed in the line, that already the pressure equalization with the small container to be evacuated leads to the desired pressure. The former method has the disadvantage that the pressure decrease per unit time with decreasing pressure is always lower because the guide values of Abpumpweges and the suction power of the pump with the pressure are smaller. If the total volume is a multiple of the container volume, the time required for the evacuation will be many times that calculated from the volume of the container and the pumping speed. After pumping off the container, the connected pump works useless against the shut-off valve until further evacuation. In the second method, the total amount of gas must be pumped out at a pressure that is less than the desired pressure. As a result, an inappropriately large pump must be used. In addition, the cost of the considerable volume of the additional container is significant. Ziel der ErfindungObject of the invention Es ist der Zweck der Erfindung, ein Verfahren und eine Einrichtung zu entwickeln, mit denen es möglich wird, einen oder mehrere Behälter wiederholt innerhalb kürzester Zeit zu evakuieren. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen oder mehrere Behälter mit einem Volumen unter 0,1 Liter in einer Zeit kleiner 1 s vom Atmosphärendruck bis in den Bereich von 5 · 10~1 bis 1 · 1СГ3 Torr ohne aufwendige Hilfseinrichtungen mit kleinen mechanischen Vorvakuumpumpen zu evakuieren.It is the purpose of the invention to develop a method and a device with which it becomes possible to repeatedly evacuate one or more containers within a short time. The invention is based on the object, one or more containers with a volume less than 0.1 liter in a time less than 1 s from atmospheric pressure to in the range of 5 · 10 ~ 1 to 1 · 1S 3 Torr without expensive auxiliary equipment with small mechanical backing pump to evacuate. Darlegung des Wesens der ErfindungExplanation of the essence of the invention Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß die Entfernung von 90 bis 99,9% des Gases aus dem Behältnis durch eine Expansion in ein Volumen der Evakuierungseinrichtung erfolgt, wobei dann das Gas aus diesem Volumen bei einem höheren als dem letztlich in der Anlage gewünschten Druck in der Zeit bis zur nächsten Evakuierung des Behältnisses abgepumpt wird und danach der Rest in ein Volumen der Evakuierungseinrichtung expandiert, wobei zur Evakuierung dieses Volumen ebenfalls die Zeit bis zur nächsten Evakuierung des Behältnisses genutzt wird.According to the invention the object is achieved in that the removal of 90 to 99.9% of the gas from the container by an expansion into a volume of the evacuation takes place, in which case the gas from this volume at a higher than the final desired in the system pressure is pumped in the time until the next evacuation of the container and then the remainder expands into a volume of the evacuation device, which is also used to evacuate this volume, the time until the next evacuation of the container.
DD18587975A 1975-05-07 1975-05-07 METHOD AND DEVICE FOR FAST EVACUATION OF SMALL BOXES DD118144B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD18587975A DD118144B1 (en) 1975-05-07 1975-05-07 METHOD AND DEVICE FOR FAST EVACUATION OF SMALL BOXES

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD18587975A DD118144B1 (en) 1975-05-07 1975-05-07 METHOD AND DEVICE FOR FAST EVACUATION OF SMALL BOXES

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DD118144A1 DD118144A1 (en) 1976-02-12
DD118144B1 true DD118144B1 (en) 1988-11-30

Family

ID=5500197

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DD18587975A DD118144B1 (en) 1975-05-07 1975-05-07 METHOD AND DEVICE FOR FAST EVACUATION OF SMALL BOXES

Country Status (1)

Country Link
DD (1) DD118144B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19524609A1 (en) * 1995-07-06 1997-01-09 Leybold Ag Device for the rapid evacuation of a vacuum chamber

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB0418771D0 (en) 2004-08-20 2004-09-22 Boc Group Plc Evacuation of a load lock enclosure

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19524609A1 (en) * 1995-07-06 1997-01-09 Leybold Ag Device for the rapid evacuation of a vacuum chamber

Also Published As

Publication number Publication date
DD118144A1 (en) 1976-02-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE1648648B2 (en) Arrangement for leak detection according to the mass spectrometer principle
DE2316831C3 (en) Process and system for the treatment of exhaust gases containing radioactive contaminants, in particular krypton and xenon nuclides
DE4140366A1 (en) LEAK DETECTOR FOR VACUUM SYSTEMS AND METHOD FOR CARRYING OUT THE LEAK DETECTOR ON VACUUM SYSTEMS
DE102009010064A1 (en) Sniffing leak detector
DE2049117A1 (en) Gas leak detection system
EP0752531A1 (en) Apparatus for rapid evacuation of a vacuum chamber
EP1756540A1 (en) Leak detector with a sniffer probe
DE3133781A1 (en) TURBOMOLECULAR PUMP SUITABLE FOR COUNTERFLOW LEAK DETECTION
EP0184836A2 (en) Method of and device for leak testing of two check valves in a gas-operated pipe
DE69007930T2 (en) Leak detection system using carrier gas.
EP0025910A1 (en) Process and apparatus for the degasification of compressed fluid in a hydraulic system
DE2042576C3 (en) Method and device for testing the tightness of an object
DD118144B1 (en) METHOD AND DEVICE FOR FAST EVACUATION OF SMALL BOXES
DE3124205C2 (en)
DE69104005T2 (en) Leak detector with tracer gas.
DE2829889A1 (en) Metal foil food packaging method - using deep drawing in successive stages in air tight chambers
DE19645104B4 (en) Method for carrying out a process in a process space subjected to negative pressure
DE1201583B (en) Process for the ongoing remote monitoring of the air composition, in particular in rooms at risk of poison, explosion or fire and arrangement for carrying out the process
DE1211003B (en) Inlet system for mass spectrometers with sample feed via a capillary with a throttle point and an inlet valve, with means to avoid a pressure surge when opening the valve
DE69614203T2 (en) SAFETY DEVICE FOR A GAS OR VAPOR PRESSURE DEVICE
DE4430762A1 (en) Vacuum impregnation with synthetic resin, partic. ignition coils
DE3320512A1 (en) METHOD FOR SECTIONING DRYING OF TELESCOPES
DE2015956C3 (en) Switching method for vacuum leak detectors
DE3428578C2 (en)
DE102023200399A1 (en) METHOD AND DEVICE FOR GAS SUPPLY IN JET-BASED MATERIAL PROCESSING