CZ304207B6 - Method of contactless detection of moving object absolute position by making use of coherence granularity phenomenon and apparatus for making the same - Google Patents

Method of contactless detection of moving object absolute position by making use of coherence granularity phenomenon and apparatus for making the same Download PDF

Info

Publication number
CZ304207B6
CZ304207B6 CZ2013-164A CZ2013164A CZ304207B6 CZ 304207 B6 CZ304207 B6 CZ 304207B6 CZ 2013164 A CZ2013164 A CZ 2013164A CZ 304207 B6 CZ304207 B6 CZ 304207B6
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
coherence
calibration
displacement
rotation
coherent
Prior art date
Application number
CZ2013-164A
Other languages
Czech (cs)
Other versions
CZ2013164A3 (en
Inventor
Pavel Horváth
mĂ­d Petr Ĺ
Miroslav Hrabovský
Ladislav Stanke
Original Assignee
Univerzita Palackého
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Univerzita Palackého filed Critical Univerzita Palackého
Priority to CZ2013-164A priority Critical patent/CZ304207B6/en
Priority to EP13005711.0A priority patent/EP2775268B1/en
Publication of CZ2013164A3 publication Critical patent/CZ2013164A3/en
Publication of CZ304207B6 publication Critical patent/CZ304207B6/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/002Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/16Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
    • G01B11/161Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge by interferometric means
    • G01B11/162Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge by interferometric means by speckle- or shearing interferometry

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

The present invention relates to a method of contactless detection of absolute position of a rotating or shifting object by making use of coherence granularity phenomenon, where the object (11) being monitored is illuminated by a coherent or quasicoherent radiation beam from a radiation source (22) operating in visible, near infrared or near ultraviolet spectra. The invention is characterized in that first, in calibration phase, The field of coherence granularity generated by the investigated rotation or shifting object (11) is recorded for each position of its angle of turn or amount of shift to an image sensor (5) along with information about the angle of turn or amount of shift when the information is stored into the sensor (5) memory or a control and evaluation system (4), which records the change of fields of the coherence granularity. Subsequently, in the phase of measurement and evaluation of the object position of angle of turn or amount or shift, the recorded coherence granularity field for unknown position of the investigated object (11) is compared with snapshots of the fields of the coherence granularity stored during calibration process. At the same time, there are identified calibration and measuring output snapshots with highly correlated records of the coherence granularity fields, which relate each to a concrete position of turn or shift of the investigated object (11).

Description

Způsob bezkontaktní detekce absolutní polohy pohybujícího se předmětu s využitím jevu koherenční zrnitosti a zařízení k provádění tohoto způsobuA method for contactless detection of the absolute position of a moving object using the coherence grain phenomenon and apparatus for performing the method

Oblast technikyTechnical field

Vynález se týká způsobu bezkontaktní detekce absolutní polohy pohybujícího se předmětu s využitím jevu koherenční zrnitosti v optice, vznikajícího při odrazu koherentního nebo částečně koherentního světla od povrchu zkoumavého předmětu, a zařízení k provádění tohoto způsobu.The present invention relates to a method for contactless detection of the absolute position of a moving object using the coherence grain phenomenon in the optics resulting from the reflection of coherent or partially coherent light from the surface of the test item, and apparatus for performing the method.

Dosavadní stav technikyBACKGROUND OF THE INVENTION

Řešení problematiky bezkontaktní detekce polohy pohybujícího se předmětu v optice zaznamenala během svého vývoje dvě důležité etapy. První etapa je spojená s metodou holografické interferometrie a svého vrcholu dosáhla v sedmdesátých letech 20. století. Jednalo se především o práci „On direct measurements of strain and rotation in holographic interferometry using the line of complete localization“ (Dubas, M., Schumann, W. Opt. Acta, 22 (10), 1975, str. 807), ve které byl stanoven tenzor deformace na povrchu předmětu a tedy také popsány jeho složky otočení a složky posunutí. Obecná metoda navržená v této práci však, kromě běžných postupů známých z holografické interferometrie, vyžadovala velmi přesnou lokalizaci interferenčních proužků. Přesnost lokalizace byla přitom rozhodujícím ukazatelem pro vyhodnocení otočení a posunutí povrchu zkoumaného předmětu.The solution of contactless detection of the position of moving object in optics has undergone two important stages during its development. The first stage is connected with the method of holographic interferometry and reached its peak in the 1970s. It was mainly the work "On direct measurements of strain and rotation in holographic interferometry using the line of complete localization" (Dubas, M., Schumann, W. Opt. Acta, 22 (10), 1975, p. 807), in which has been determined by the deformation tensor on the surface of the object and thus also described its rotation and displacement components. However, the general method proposed in this work, in addition to the conventional techniques known from holographic interferometry, required very precise localization of interference strips. The accuracy of localization was a decisive indicator for the evaluation of the rotation and displacement of the surface of the examined object.

Další etapa je již spojena s fenoménem koherenční zrnitosti, jehož základní vlastnosti a možný aplikační potenciál jsou zdařile popsány v publikacích „Laser Speckle and Application in Optics'‘ (Francon, M., Academie Press, New York, 1979) a „Laser speckle and related phenomena (Ed. by Dainty, J. C., Springer-Verlag, Berlin, 1984). Metody založené na tomto jevu zaznamenaly prudký rozvoj v polovině sedmdesátých let 20. století. V literatuře můžeme nalézt mnoho způsobů, jak měřit relativní otočení nebo relativní posunutí předmětu užitím jevu koherenční zrnitosti. Jedná se především o metodu fotografickou a korelační.The next stage is already associated with the coherence grain phenomenon, whose basic properties and possible application potential are well described in the publications "Laser Speckle and Application in Optics" (Francon, M., Academic Press, New York, 1979) and "Laser speckle and related phenomena (Ed. by Dainty, JC, Springer-Verlag, Berlin, 1984). Methods based on this phenomenon experienced rapid development in the mid-1970s. There are many ways in the literature to measure the relative rotation or relative displacement of an object using the coherence grain phenomenon. This is primarily a photographic and correlation method.

Ve fotografii na bázi koherenční zrnitosti popsané v článcích „Displacement Measuremenet from Doubíe-exposure Laser Photographs (Archbold, E., Ennos, A. E., Opt. Acta 19, 1972, str. 253) a „A study of the use of laser speckle to measure smáli tilts of optically rough surfaces accurately (Tiziani, H. J. Opt. Commun., 5, 1972, str. 271) jsou nejprve dvě struktury koherenční zrnitosti navzájem posunuté ve směru ortogonálním ke směru pozorování, vlivem malého otočení předmětu okolo osy ležící v rovině jeho povrchu, nebo malého posunutí předmětu v rovině jeho povrchu, zaznamenány dvojexpozicí do vrstvy světlocitlivého materiálu. Po jejím vyvolání a osvětlení pak směr a velikost relativního otočení nebo relativního posunutí zkoumaného předmětu plyne z analýzy směru a periody interferenčních proužků v oblasti Fourierovy transformace. Vyhodnocení otočení předmětu je v tomto případě analogické detekci sklonu povrchu předmětu. Důležitou roli pro stanovení rozlišovací schopnosti metody představuje také velikost zrn ve struktuře koherenční zrnitosti. Posuv pole koherenční zrnitosti odpovídající vykonanému otočení nebo posunutí předmětu musí být větší než je rozměr samotných zrn. Vývoj moderních optoelektronických komponent, především maticových snímačů, pak vedl od poloviny devadesátých let 20. století k digitální modifikaci výše zmíněné metody, viz například článek „Some Recent Advances in Electronic Speckle Photography (Sjódahl, M. Opt. Lasers Eng., 29 (2-3), 1998, str. 125).In the speckle-grained photograph described in the articles "Displacement Measuremenet from Doubíe-exposure Laser Photographs" (Archbold, E., Ennos, AE, Opt. Acta 19, 1972, p. 253) and "A study of the use of laser speckle to First, two coarse grain structures are shifted relative to one another in the orthogonal direction to the direction of observation, due to the small rotation of the object about its axis in the plane of its measure. (Tiziani, HJ Opt. Commun., 5, 1972, p. 271) surface, or small displacement of the object in the plane of its surface, recorded by double exposure to the layer of photosensitive material. After its evolution and illumination, the direction and magnitude of the relative rotation or relative displacement of the test item results from the analysis of the direction and period of the interference strips in the Fourier transform region. The evaluation of the rotation of the object in this case is analogous to the detection of the inclination of the object surface. The grain size in the coherent grain structure also plays an important role in determining the resolution of the method. The displacement of the coherence grain field corresponding to the rotation or displacement of the object must be greater than the grain size itself. The development of modern optoelectronic components, especially matrix sensors, has led to the digital modification of the above-mentioned method since the mid-1990s, see, for example, “Some Recent Advances in Electronic Speckle Photography” (Sjódahl, M. Opt. Lasers Eng., 29 (2)). -3), 1998, p. 125).

Metoda korelační nevyžaduje omezující podmínku na velikost zrn ve struktuře koherenční zrnitosti a rovněž nepracuje s interferenčními proužky. Je založena na statistickém přístupu, jak je uvedeno v článcích „Speckle displacement and decorrelation in the diffraction and image fields for smáli object deformation (Yamaguchi, I. Opt. Acta, 28 (10), 1981, str. 1359) a „Laser speckle rotary encoder (Yamaguchi, 1., Fujita, T. Appl. Opt., 28 (20), 1989, str. 4401) neboThe correlation method does not require a grain size constraint in the coherence grain structure, nor does it work with interference strips. It is based on a statistical approach as described in the articles "Speckle displacement and decorrelation in the diffraction and image fields for laughter object deformation (Yamaguchi, I. Opt. Acta, 28 (10), 1981, p. 1359) and" Laser speckle. rotary encoder (Yamaguchi, 1st, Fujita, T. Appl. Opt., 28 (20), 1989, p. 4401) or

- 1 CZ 304207 B6 v monografii „Koherenční zrnitost v optice“ (Hrabovský, M., Bača, Z., Horváth, P., Univerzita Palackého v Olomouci, Olomouc, 2001). Poloha maxima funkce vzájemné korelace struktur koherenčních zrnitostí zaznamenaných světlocitlivým obrazovým snímačem před a po otočení nebo posunutí předmětu generujícího pole koherenční zrnitosti poskytuje informaci o velikosti relativního posunutí tohoto pole. Z posuvu pole lze následně určit i požadovanou informaci o relativní změně stavu, například otočení nebo posunutí povrchu zkoumaného předmětu. Tato problematika je všeobecně známá.- 1 CZ 304207 B6 in the monograph “Coherence Grain in Optics” (Hrabovský, M., Bača, Z., Horváth, P., Palacký University in Olomouc, Olomouc, 2001). The position of the maximum correlation function of the coherent granularity structures recorded by the light-sensitive image sensor before and after the rotation or displacement of the object generating the coherent granularity field provides information on the magnitude of the relative displacement of that field. From the displacement of the field, it is also possible to determine the required information about the relative change of state, for example the rotation or displacement of the surface of the examined object. This is generally known.

Ze spisu CZ 295817 je rovněž známo zařízení pro bezkontaktní snímání stability polohy předmětu, které řeší využití obráceného efektu jevu koherenčn í zrnitosti pouze k registraci změny polohy předmětu, avšak bez možnosti jejího přesného kvantifikovaného, tedy číselného, vyhodnocení. Dále ve spise CZ 302107 je popsáno zařízení pro kvantitativní vyhodnocování pohybu lidského oka či obecných fyzických objektů, tedy dynamického chování všech složek tzv. tenzoru malé deformace elementu povrchu zkoumaného objektu. U tohoto zařízení je nutné při vyhodnocování stanovit konkrétní složku otočení nebo posunutí tenzoru malé deformace dle odvozeného modelu měření uvedeného, například, v publikacích „Theory of speckle displacement and decorrelation and its application in mechanics“ (Hrabovský, M., Bača, Z., Horváth, P., Opt. Lasers Eng. 32 (4), 2000, str. 395) a „Full theory of speckle displacement and decorrelation in the image field by wave and geometrical description and its application in mechanics “ (Horváth, P., Hrabovský, M., Šmíd, P. J. Mod. Opt., 51 (5), 2004, str. 725).From CZ 295817 there is also known a device for contactless sensing of the position stability of an object, which solves the use of the reverse effect of the coherence grain phenomenon only to register the change of the position of the object, but without the possibility of its precise quantified (numerical) evaluation. Further, CZ 302107 describes a device for quantitative evaluation of human eye movement or general physical objects, ie dynamic behavior of all components of the so-called tensor of small deformation of the surface element of the examined object. For this device, it is necessary to determine the specific component of the small deformation tensor rotation or displacement according to the derived model of measurement given, for example, in "Theory of Speckle Displacement and Decoration and Its Application in Mechanics" (Hrabovský, M., Bača, Z., Horváth, P., Opt. Lasers Eng. 32 (4), 2000, p. 395) and "Full theory of speckle displacement and decorrelation in the image field by wave and geometrical description and its application in mechanics" (Horváth, P. , Hrabovsky, M., Smid, PJ Mod. Opt., 51 (5), 2004, p. 725).

Snahou předkládaného vynálezu je navrhnout takový způsob bezkontaktní detekce absolutní polohy pohybujícího se předmětu s využitím jevu koherenční zrnitosti v optice, kdy sledovaný objekt je osvětlován svazkem koherentního nebo kvazikoherentního záření ze zdroje záření, pracujícího ve viditelné, blízké infračervené nebo blízké ultrafialové, oblasti spektra, přičemž součástí vynálezu je i zařízení k provádění tohoto způsobu. Předkládaným vynálezem je umožněna registrace změny polohy předmětu s možností jejího přesného kvantifikovaného, tedy číselného, vyhodnocení, přičemž není nutné při vyhodnocení stanovit konkrétní složku otočení nebo posunutí tenzoru malé deformace dle odvozeného modelu měření, neboť hledaná hodnota složky otočení nebo posunutí se neurčuje pomocí odvozeného modelu měření, tj. z funkční závislosti mezi detekovaným posuvem pole koherenční zrnitosti a odpovídající velikostí složky relativního otočení nebo relativního posunutí předmětu pro dané geometrické parametry experimentální sestavy.It is an object of the present invention to provide such a method of contactless detection of the absolute position of a moving object using a coherence grain phenomenon in optics, wherein the object of interest is illuminated by a beam of coherent or quasi-coherent radiation from a radiation source operating in visible, near infrared or near ultraviolet. an apparatus for carrying out this method is also part of the invention. The present invention makes it possible to register a change in the position of an object with the possibility of its precise quantified, i.e. numerical, evaluation, and it is not necessary to determine a specific rotation or displacement tensor component according to a derived measurement model. measurement, i.e., from the functional dependence between the detected coherence grain displacement and the corresponding magnitude of the relative rotation or relative displacement component for a given geometric parameter of the experimental assembly.

Podstata vynálezuSUMMARY OF THE INVENTION

Uvedeného cíle je dosaženo vynálezem, kterým je způsob bezkontaktní detekce absolutní polohy pohybujícího se předmětu s využitím jevu koherenční zrnitosti, kdy sledovaný objekt je osvětlován svazkem koherentního nebo kvazikoherentního záření ze zdroje záření, pracujícího ve viditelné, blízké infračervené nebo blízké ultrafialové, oblasti spektra, kde podstata řešení spočívá v tom, že nejprve, ve fázi kalibrace, je pole koherenční zrnitosti generované zkoumaným otáčejícím se nebo posunujícím se objektem pro každou polohu jeho otočení nebo posunutí zaznamenáváno na obrazový snímač spolu s informací o velikosti otočení nebo posunutí, když tyto informace jsou ukládány do paměti snímače či řídicího a vyhodnocovacího systému zaznamenávajícího změnu polí koherenční zrnitosti, a následně, ve fázi měření a vyhodnocování detekce polohy otočení nebo posunutí předmětu, je zaznamenané pole koherenční zrnitosti pro neznámou polohu zkoumaného objektu porovnáváno se snímky polí koherenčních zrnitostí uloženými během kalibrace a jsou identifikovány kalibrační a měřicí výstupní snímky s vysoce korelovanými záznamy polí koherenčních zrnitostí, kterým odpovídá vždy jedna konkrétní poloha otočení nebo posunutí zkoumaného předmětu.This object is achieved by the invention which is a method of contactless detection of the absolute position of a moving object using the coherence grain phenomenon, wherein the object of interest is illuminated by a beam of coherent or quasi-coherent radiation from a radiation source operating in visible, near infrared or near ultraviolet. The principle of the solution is that first, at the calibration stage, the coherence grain field generated by the investigating rotating or shifting object for each rotation or displacement position is recorded on the image sensor along with the amount of rotation or displacement when this information is stored. a coherence field is recorded in the memory of the sensor or control and evaluation system recording the change in the coherence grain field, and subsequently, in the phase of measuring and evaluating the detection of the position of rotation or displacement of the object The grain size for an unknown position of the object being compared is compared to images of coherence grain fields stored during calibration, and calibration and measurement output images with highly correlated coherence grain field records corresponding to one particular position of rotation or displacement of the test item are identified.

Také je podstatou vynálezu zařízení pro bezkontaktní detekci absolutní polohy pohybujícího se předmětu s využitím jevu koherenční zrnitosti obsahující osvětlovací blok sestávající jednak ze zdroje záření pracujícím ve viditelné, blízké infračervené nebo blízké ultrafialové, oblasti spektra,The invention also relates to a device for contactless detection of the absolute position of a moving object using a coherent grain phenomenon comprising an illuminating block consisting of a radiation source operating in the visible, near infrared or near ultraviolet regions of the spectrum,

-2CZ 304207 B6 a jednak z osvětlovací optické soustavy polohovatelné ustavené v motorickém posuvném systému, který je uložen mezi objektem a vlastním zdrojem záření a je napojen na řídicí a vyhodnocovací systém, přičemž zdroj záření, motorický posuvný systém a řídicí a vyhodnocovací systém jsou napojeny na napájecí zdroj a ve zvolené rovině pozorování objektu je umístěn obrazový snímač napojený na řídicí a vyhodnocovací systém, kde objekt je umístěn na otočném a posuvném členu tvořícím s objektem jeden segment pro kalibraci a následnou detekci absolutní polohy objektu, přičemž otočný a posuvný člen je napájen zdrojem elektrického napětí a je propojen s řídicím a vyhodnocovacím systémem.-2GB 304207 B6 and, secondly, an illuminating optical system adjustable in a motorized sliding system which is interposed between the object and its own radiation source and is connected to a control and evaluation system, wherein the radiation source, the motor sliding system and the control and evaluation system are connected to power source and in the selected plane of observation of the object is located image sensor connected to the control and evaluation system, where the object is located on the rotary and sliding member forming with the object a segment for calibration and subsequent detection of the absolute position of the object voltage and is connected to the control and evaluation system.

Také je výhodné, když mezi objekt sledovaného segmentu a obrazový snímač je vložena zobrazovací optická soustava.It is also advantageous if an imaging optical system is interposed between the object of the monitored segment and the image sensor.

Způsobem podle vynálezu se dosahuje nového a vyššího účinku v tom, že pro přesnou kvantifikaci polohy otočení nebo posunutí zkoumaného předmětu již není nutné znát hodnoty geometrických parametrů experimentální sestavy. Požadovaná informace se získá pouze statistickým, korelačním, porovnáváním zaznamenaného snímku pole koherenční zrnitosti při měření se snímky polí koherenčních zrnitostí zaznamenaných při kalibraci, přičemž přesná kvantifikace polohy otočení nebo posunutí zkoumaného předmětu je absolutní.The method of the invention achieves a new and higher effect in that it is no longer necessary to know the geometric parameter values of the experimental assembly to accurately quantify the position of rotation or displacement of the test item. The required information is obtained only by statistical, correlating, comparing the recorded image of the coherence grain field when measured with the coherence grain field images recorded during calibration, the exact quantification of the rotation or displacement position of the test item being absolute.

Objasnění výkresůClarification of drawings

Konkrétní příklady provedení vynálezu jsou schematicky znázorněny na připojených výkresech, kde obr. 1 je blokové schéma základního provedení zařízení se zkoumaným objektem, který je umístěn na otočném a posuvném členu tvořícím s objektem jeden segment, obr. 2 je blokové schéma zařízení v alternativním proveden í, obr. 3 je příklad výstupů vzájemné korelace intenzitních signálů ve struktuře polí koherenčních zrnitostí, kde mezi všemi intenzitními signály jsou identifikovány dva vysoce korelované signály kalibrační a měřicí a bylo nalezeno korelační maximum, obr. 4 je příklad výstupů vzájemné korelace intenzitních signálů ve struktuře polí koherenčních zrnitostí, kde všechny intenzitní signály kalibrační a měřicí jsou identifikovány jako rozdílné a nebylo nalezeno korelační maximum.Specific embodiments of the invention are schematically illustrated in the accompanying drawings, in which: Figure 1 is a block diagram of a basic embodiment of a device with the object under investigation, positioned on a rotatable and sliding member forming one segment with the object; Fig. 3 is an example of outputs of mutual correlation of intensity signals in the field structure of coherent granularity, where two highly correlated calibration and measurement signals were identified between all intensity signals and a correlation maximum was found; Fig. 4 is an example of outputs of mutual correlation of intensity signals in field structure coherence granularity, where all calibration and measurement intensity signals are identified as different and no correlation peak is found.

Výkresy, které znázorňují představovaný vynález, a následně popsané příklady konkrétních provedení v žádném případě neomezují rozsah ochrany uvedený v definici, ale jen objasňují podstatu vynálezu.The drawings which illustrate the present invention and the following examples of specific embodiments do not in any way limit the scope of protection given in the definition, but merely illustrate the nature of the invention.

Příklady provedení vynálezuDETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

V základním provedení podle obr. 1 je objekt _H umístěn na otočném a posuvném článku 12 tak, že otočný a posuvný člen 12 vytváří se snímaným objektem 11 jeden pohybující se segment f zajišťující řízenou kalibraci zařízení pro následnou detekci absolutní polohy objektu H· Zařízení pro bezkontaktní snímání pohybu objektu 11 je pro osvětlování objektu 11 koherentním nebo kvazikoherentním zářením tvořeno osvětlovacím blokem 2 sestávajícím jednak z vlastního zdroje 22 záření, realizovaného například laserem nebo laserovou diodou, pracujícím ve viditelné, blízké infračervené nebo blízké ultrafialové, oblasti spektra, a jednak z osvětlovací optické soustavy 21 polohovatelné ustavené v motorickém posuvném systému 23. Motorický posuvný systém je uložen mezi zkoumaným objektem 11 a vlastním zdrojem 22 záření a je napojen na řídicí a vyhodnocovací systém 4 tvořený například počítačovým systémem. Otočný a posuvný člen 12,In the basic embodiment of FIG. 1, the object 11 is positioned on the rotatable and movable member 12 such that the rotatable and movable member 12 forms with the sensed object 11 a moving segment f providing controlled calibration of the device for subsequent detection of the absolute position of the object. the sensing of the movement of the object 11 for illuminating the object 11 by coherent or quasi-coherent radiation consists of an illuminating block 2 consisting, on the one hand, of its own radiation source 22, realized for example by a laser or laser diode operating in the visible, near infrared or near ultraviolet spectrum; The motorized sliding system is disposed between the object to be examined 11 and the actual radiation source 22 and is connected to a control and evaluation system 4 formed, for example, by a computer system. Rotating and sliding member 12,

- j CZ 304207 B6 zdroj 22 záření, motorický posuvný systém 23 a řídicí a vyhodnocovací systém 4 jsou napojeny na napájecí zdroj 3 pracující buď autonomně, nebo je ovládán z řídicího a vyhodnocovacího systému 4. Ve zvolené rovině pozorování objektu il je umístěn obrazový snímač 5, například maticový nebo lineární snímač na bázi technologií CCD (Charged Coupled Device) nebo CMOS (Complementary Metal Oxid Semiconductor), který je rovněž napojen na řídicí a vyhodnocovací systém 4.The radiation source 22, the motor sliding system 23 and the control and evaluation system 4 are connected to a power supply 3 operating either autonomously or controlled from the control and evaluation system 4. In the selected observation plane of the object il is located an image sensor 5 , for example a matrix or linear sensor based on CCD (Charged Coupled Device) or CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) technology, which is also connected to a control and evaluation system 4.

Popsané zařízení uvedené na obr. 1 není jediným možným provedením podle vynálezu, ale jak plyne z obr. 2, lze pro zvýšení citlivosti sledování změn pohybu vložit mezi sledovaný segment i a obrazový snímač 5 zobrazovací optickou soustavu 6, například spojnou čočku, rozptylnou čočku nebo zobrazovací objektiv. Pokud je užito více obrazových snímačů 5, je možno vkládat odpovídající počet zobrazovacích optických soustav 6.The device described in Fig. 1 is not the only possible embodiment of the invention, but as shown in Fig. 2, an imaging optical system 6, such as a lens, a diffusing lens or an imaging lens, may be inserted between the segment and the image sensor 5 to increase the sensitivity. lens. If a plurality of image sensors 5 are used, a corresponding number of imaging optical systems 6 may be inserted.

Při detekci absolutní polohy osvětleného otáčejícího se nebo posunujícího se zkoumaného objektu lije nejprve, ve fázi kalibrace, pole koherenční zrnitosti generované tímto objektem zaznamenáno na obrazový snímač 5 a uloženo do jeho paměti nebo do paměti řídicího a vyhodnocovacího systému 4, a to pro každou polohu objektu 11 ve zvoleném rozsahu pohybu otočného a posuvného členu 12 nastaveného z řídicího a vyhodnocovacího systému 4. Následně, ve fázi měření a vyhodnocení detekce polohy otočení nebo posunutí objektu 11, je pro jeho konkrétní neznámou polohu zaznamenané pole koherenční zrnitosti porovnáváno se snímky polí koherenčních zrnitostí zaznamenaných při kalibraci. Pokud je poloha objektu při měření shodná s polohou při kalibraci, jsou identifikovány dva vysoce korelované intenzitní signály, měřicí a kalibrační, jak je příkladně uvedeno na obr. 3. V případě, že je neznámá poloha objektu 11 mimo kalibrační polohu, nejsou mezi měřicím intenzitním signálem a intenzitními signály kalibračními identifikovány žádné dva vysoce korelované signály, jak je příkladně uvedeno na obr. 4.When detecting the absolute position of the illuminated rotating or shifting object to be examined, first, in the calibration phase, the coherence grain field generated by the object is recorded on the image sensor 5 and stored in its memory or in the control and evaluation system 4 for each object position. 11 in the selected range of motion of the rotary and sliding member 12 set from the control and evaluation system 4. Subsequently, in the phase of measuring and evaluating the detection position of the rotation or displacement of the object 11, the recorded coherence grain field for its specific unknown position is compared to the coherence grain field images recorded. during calibration. If the position of the object in the measurement is the same as the calibration position, two highly correlated intensity signals, the measurement and the calibration signals, are identified, as shown in Fig. 3, if the unknown position of the object 11 is outside the calibration position. no two highly correlated signals were identified by the calibration signal and the intensity signals as exemplified in FIG. 4.

Průmyslová využitelnostIndustrial applicability

Způsob a zařízení podle vynálezu lze využít v případě požadavku na bezkontaktní detekci absolutní polohy pohybujícího se předmětu v celém rozsahu jeho pohybu, což je výhodné zejména v průmyslových a vědeckých aplikacích.The method and apparatus according to the invention can be used in the case of the requirement for contactless detection of the absolute position of the moving object over its entire range of motion, which is advantageous especially in industrial and scientific applications.

Claims (3)

PATENTOVÉ NÁROKYPATENT CLAIMS 1. Způsob bezkontaktní detekce absolutní polohy otáčejícího se nebo posunujícího se předmětu s využitím jevu koherenční zrnitosti, kdy sledovaný objekt (11) je osvětlován svazkem koherentního nebo kvazikoherentního záření ze zdroje (22) záření, pracujícího ve viditelné, blízké infračervené nebo blízké ultrafialové, oblasti spektra, vyznačující se tím, že nejprve, ve fázi kalibrace, je pole koherenční zrnitosti generované zkoumaným otáčejícím se nebo posunujícím se objektem (11) pro každou polohu jeho otočení nebo posunutí zaznamenáváno na obrazový snímač (5) spolu s informací o velikosti otočení nebo posunutí, když tyto informace jsou ukládány do paměti snímače (5) či řídicího a vyhodnocovacího systému (4) zaznamenávajícího změnu polí koherenční zrnitosti, a následně, ve fázi měření a vyhodnocování detekce polohy otočení nebo posunutí předmětu, je zaznamenané pole koherenční zrnitosti pro neznámou polohu zkoumaného objektu (11) porovnáváno se snímky polí koherenčních zrnitostí uloženými během kalibrace a jsou identifikovány kalibrační a měřicí výstupní snímky s vysoce korelovanými záznamy polí koherenčních zrnitostí, kterým odpovídá vždy jedna konkrétní poloha otočení nebo posunutí zkoumaného předmětu.A method of contactless detection of an absolute position of a rotating or moving object using a coherent granularity phenomenon, wherein the object (11) is illuminated by a beam of coherent or quasi-coherent radiation from a radiation source (22) operating in visible, near infrared or near ultraviolet spectrum, characterized in that, initially, in the calibration phase, the coherence grain field generated by the investigating rotating or shifting object (11) for each rotation or displacement position thereof is recorded on the image sensor (5) together with information about the amount of rotation or displacement when this information is stored in a sensor (5) or control and evaluation system (4) recording the change in the coherence grain field, and subsequently, in the phase of measuring and evaluating the detection of the rotation or displacement position of the object, the coherence grain field pr o the unknown position of the test item (11) is compared to the speckle field images stored during calibration, and calibration and measurement output images with highly correlated speckle field records corresponding to one particular position of rotation or displacement of the test item are identified. -4CZ 304207 B6-4GB 304207 B6 2. Zařízení pro bezkontaktní detekci absolutní polohy pohybujícího se předmětu s využitím jevu koherenční zrnitosti obsahující osvětlovací blok (2) sestávající jednak ze zdroje (22) záření pracujícím ve viditelné, blízké infračervené nebo blízké ultrafialové, oblasti spektra, a jednak z osvětlovací optické soustavy (21) polohovatelné ustavené v motorickém posuvném systémuAn apparatus for contactless detection of the absolute position of a moving object using a coherent grain phenomenon comprising an illuminating block (2) comprising both a radiation source (22) operating in the visible, near infrared or near ultraviolet range of the spectrum, and 21) adjustable in the motorized sliding system 5 (23), který je uložen mezi objektem (11) a vlastním zdrojem (22) záření aje napojen na řídicí a vyhodnocovací systém (4), přičemž zdroj (22) záření, motorický posuvný systém (23) a řídicí a vyhodnocovací systém (4) jsou napojeny na napájecí zdroj (3) a ve zvolené rovině pozorování objektu (11) je umístěn obrazový snímač (5) napojený na řídicí a vyhodnocovací systém (4), vyznačující se tím, že objekt (11) je umístěn na otočném a posuvném členu (12) tvořilo cím s objektem jeden segment (1) pro kalibraci a následnou detekci absolutní polohy objektu (11), přičemž otočný a posuvný člen (12) je napojen na zdroj elektrického napětí (3) aje propojen s řídicím a vyhodnocovacím systémem (4).5 (23), which is disposed between the object (11) and the radiation source (22) itself and is connected to the control and evaluation system (4), wherein the radiation source (22), the motor sliding system (23) and the control and evaluation system ( 4) are connected to the power supply (3) and in the selected viewing plane of the object (11) is located an image sensor (5) connected to the control and evaluation system (4), characterized in that the object (11) is located on the rotatable and a slider (12) forming one segment (1) with the object for calibration and subsequent detection of the absolute position of the object (11), the rotary and slider (12) being connected to a power supply (3) and connected to the control and evaluation system (4). 3. Zařízení podle nároku 2, vyznačující se tím, že mezi objekt (11) sledovanéhoDevice according to claim 2, characterized in that between the object (11) being monitored 15 segmentu (1) a obrazový snímač (5) je vložena zobrazovací optická soustava (6).15 of the segment (1) and the image sensor (5) is inserted an imaging optical system (6).
CZ2013-164A 2013-03-05 2013-03-05 Method of contactless detection of moving object absolute position by making use of coherence granularity phenomenon and apparatus for making the same CZ304207B6 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ2013-164A CZ304207B6 (en) 2013-03-05 2013-03-05 Method of contactless detection of moving object absolute position by making use of coherence granularity phenomenon and apparatus for making the same
EP13005711.0A EP2775268B1 (en) 2013-03-05 2013-12-07 A method of a non-contact detection of a moving object absolute position by making use of speckle effect and device for implementation of this method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ2013-164A CZ304207B6 (en) 2013-03-05 2013-03-05 Method of contactless detection of moving object absolute position by making use of coherence granularity phenomenon and apparatus for making the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CZ2013164A3 CZ2013164A3 (en) 2014-01-02
CZ304207B6 true CZ304207B6 (en) 2014-01-02

Family

ID=49752911

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ2013-164A CZ304207B6 (en) 2013-03-05 2013-03-05 Method of contactless detection of moving object absolute position by making use of coherence granularity phenomenon and apparatus for making the same

Country Status (2)

Country Link
EP (1) EP2775268B1 (en)
CZ (1) CZ304207B6 (en)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10365370B2 (en) 2016-10-31 2019-07-30 Timothy Webster Wear tolerant hydraulic / pneumatic piston position sensing using optical sensors
JP6928088B2 (en) * 2016-12-01 2021-09-01 ルーミンコード エーエス Position detectors and methods that use optical projection references
CN111226092A (en) * 2017-10-13 2020-06-02 霍尼韦尔国际公司 Unmanned aerial vehicle ground level inspection system
CN108007352B (en) * 2018-01-05 2024-03-15 洛阳理工学院 Foot stress measuring device based on digital speckle correlation technology

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS618606A (en) * 1984-06-22 1986-01-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd Position detecting method
FR2618893A1 (en) * 1987-07-31 1989-02-03 Sagem Improvements to apparatuses for shape recognition and/or position detection of an object in space
US5801390A (en) * 1996-02-09 1998-09-01 Nikon Corporation Position-detection method and apparatus with a grating mark
JP2003098034A (en) * 2001-09-26 2003-04-03 Olympus Optical Co Ltd Lens face spacing measuring device and measuring method
CZ20033219A3 (en) * 2003-11-26 2005-07-13 Univerzita Palackého Device for contactless scanning of object position stability
CZ302107B6 (en) * 2007-11-15 2010-10-20 Univerzita Palackého Device for contactless sensing and quantitative evaluation of movement of human eye or general physical objects
US20110310397A1 (en) * 2010-06-17 2011-12-22 Mori Seiki Co., Ltd Position detection device

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9012004D0 (en) * 1990-05-30 1990-07-18 Univ Southampton Laser torquemeter
JPH05215532A (en) * 1992-02-03 1993-08-24 Ono Sokki Co Ltd Encoder
DE69806952T2 (en) * 1997-05-16 2002-11-21 Forskningscenter Riso, Roskilde SPECKLE METHOD AND APPARATUS FOR DETERMINING ANGLE SHIFTING, SURFACE SHIFTING AND TORSION
US7400415B2 (en) * 2005-03-15 2008-07-15 Mitutoyo Corporation Operator interface apparatus and method for displacement transducer with selectable detector area

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS618606A (en) * 1984-06-22 1986-01-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd Position detecting method
FR2618893A1 (en) * 1987-07-31 1989-02-03 Sagem Improvements to apparatuses for shape recognition and/or position detection of an object in space
US5801390A (en) * 1996-02-09 1998-09-01 Nikon Corporation Position-detection method and apparatus with a grating mark
JP2003098034A (en) * 2001-09-26 2003-04-03 Olympus Optical Co Ltd Lens face spacing measuring device and measuring method
CZ20033219A3 (en) * 2003-11-26 2005-07-13 Univerzita Palackého Device for contactless scanning of object position stability
CZ302107B6 (en) * 2007-11-15 2010-10-20 Univerzita Palackého Device for contactless sensing and quantitative evaluation of movement of human eye or general physical objects
US20110310397A1 (en) * 2010-06-17 2011-12-22 Mori Seiki Co., Ltd Position detection device

Also Published As

Publication number Publication date
EP2775268A1 (en) 2014-09-10
EP2775268B1 (en) 2019-10-16
CZ2013164A3 (en) 2014-01-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Wang et al. Absolute optical imaging position encoder
Leach Optical measurement of surface topography
CZ304207B6 (en) Method of contactless detection of moving object absolute position by making use of coherence granularity phenomenon and apparatus for making the same
Osten Optical metrology: from the laboratory to the real world
Harshavardhan et al. 3D Surface Measurement through Easy-snap Phase Shift Fringe Projection
KR102016740B1 (en) Multi-factor measurement system in multi-position of test specimen and operation method for the same
Guo et al. A nanomeasuring machine based white light tilt scanning interferometer for large scale optical array structure measurement
Jian et al. Task-Specific Near-Field Photometric Stereo for Measuring Metal Surface Texture
CZ25644U1 (en) Apparatus for contactless detection of moving object absolute position by making use of coherence granularity
JP5825622B2 (en) Displacement / strain distribution measurement optical system and measurement method
Hýbl et al. Information-efficient white-light interferometry
Li et al. High-precision large deflection measurements of thin films using time sequence speckle pattern interferometry
Zhao et al. Strain microscope with grating diffraction method
Badaloni et al. Out-of-plane motion evaluation and correction in 2D DIC
Ulm et al. A concept for a large-scale non-contact strain measurement system using nanostructures
CN105008903A (en) Method and device for analyzing the surface of a substrate
Knauer et al. 3D sensor zoo–Species and natural habitats
Kalms et al. Advanced shearographic system for nondestructive testing of industrial and artwork components
CZ2007797A3 (en) Device for contactless sensing and quantitative evaluation of movement of human eye or general physical objects
Zhukovskiy et al. Study of Surface Microstrains by Electron Speckle-Interferometry Methods
Ferrer et al. Calibration of a photographic slider for subpixel tracking tests on heavy objects
Lamberti et al. Advancement of Optical Methods in Experimental Mechanics, Volume 3: Proceedings of the 2017 Annual Conference on Experimental and Applied Mechanics
Andriesh Retrieval of quantitative information from images
Hagara et al. The knowledge acquired by using of optical methods by strain fields investigation
Yu et al. Instrumentation and Techniques for Geometrical and Mechanical Quantity Measurement

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Patent lapsed due to non-payment of fee

Effective date: 20170305