CZ302803B6 - Detection method of coherence granularity field movement and apparatus for making the same - Google Patents

Detection method of coherence granularity field movement and apparatus for making the same Download PDF

Info

Publication number
CZ302803B6
CZ302803B6 CZ20090061A CZ200961A CZ302803B6 CZ 302803 B6 CZ302803 B6 CZ 302803B6 CZ 20090061 A CZ20090061 A CZ 20090061A CZ 200961 A CZ200961 A CZ 200961A CZ 302803 B6 CZ302803 B6 CZ 302803B6
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
field
coherent
grain
coherence
quasi
Prior art date
Application number
CZ20090061A
Other languages
Czech (cs)
Other versions
CZ200961A3 (en
Inventor
Šmíd@Petr
Horváth@Pavel
Hrabovský@Miroslav
Original Assignee
Univerzita Palackého
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Univerzita Palackého filed Critical Univerzita Palackého
Priority to CZ20090061A priority Critical patent/CZ302803B6/en
Publication of CZ200961A3 publication Critical patent/CZ200961A3/en
Publication of CZ302803B6 publication Critical patent/CZ302803B6/en

Links

Abstract

In the present invention, there is disclosed a detection method of coherence granularity field movement by means of a coherent of quasi-coherent radiation beam of a radiation source working in visible, close infrared or close ultraviolet spectrum wherein the invention is characterized in that the coherent of quasi-coherent radiation beam is first separated to phase-coordinated reference field and a field being transformed by an object to a coherence granularity field whereupon both the fields are subjected to interference under generation of an image modulating distribution of light intensity in the grain region of the coherence granularity structure and varying its position along with the change of the position of the coherence granularity field, whereupon qualitative and quantitative evaluation and analysis of this image take place in selected intervals. There is also disclosed an apparatus for making the above described detection method, said apparatus comprising a radiation beam divider (1) interposed between a radiation source (2) and an object (3) generating coherence granularity field, wherein a magnifying optical system (4) for observing an interference image in the grain region of the coherence granularity structure is disposed behind the object or in a field reflected thereby and wherein an image sensor (5) being connected to an evaluation system (6) is located behind said magnifying optical system (4).

Description

Způsob detekce pohybu pole koherentní zrnitosti a zařízeni k provádění tohoto způsobuA method for detecting the movement of a coherent grain field and an apparatus for carrying out the method

Oblast technikyTechnical field

Vynález se týká způsobu detekce pohybu pole koherenční zrnitosti a zařízení k provádění tohoto způsobu při dosažení úrovně rozlišení menší než 1 mikrometr užitím optického jevu interference.The present invention relates to a method for detecting the movement of a coherent grain field and to an apparatus for carrying out the method at a resolution level of less than 1 micrometer using an optical interference phenomenon.

Dosavadní stav technikyBACKGROUND OF THE INVENTION

Kvantitativní vyhodnocení pohybu pole koherenční zrnitosti bylo dosud řešeno různými způsoby. Ve fotografii na bázi koherenční zrnitosti popsané v Článcích „Recording of In-plane Surface Displacement by Double-exposure Speckle Photography“ (Archbold E., Burch J. M., Ennos A., J. Mod. Opt. 17, 1970, str. 883) a „Displacement Measurement from Double-exposure Laser Photographs“ (Archbold, E., Ennos, A. E., J. Mod. Opt. 19, 1972, str. 253) jsou nejprve dvě struktury koherenční zrnitosti navzájem posunuté ve směru ortogonálním ke směru pozorování zaznamenány dvojexpozicí do vrstvy světlocitlivého materiálu. Po jejím vyvolání a osvětlení pak velikost vzájemného posunutí struktur plyne z analýzy periody interferenčních proužků v oblasti Fourierovy transformace.So far, the quantitative evaluation of the coherence grain field movement has been solved in various ways. In the speckle-grained photograph described in Articles "Recording of In-plane Surface Displacement by Double-exposure Speckle Photography" (Archbold E., Burch JM, Ennos A., J. Mod. Opt. 17, 1970, p. 883) and "Displacement Measurement from Double-exposure Laser Photographs" (Archbold, E., Ennos, AE, J. Mod. Opt. 19, 1972, p. 253), first two coherence grain structures displaced relative to one another in the orthogonal direction to the observation direction double exposure to the layer of photosensitive material. After its development and illumination, the magnitude of the relative displacement of the structures results from the analysis of the period of the interference strips in the Fourier transform region.

V interferometru na bázi koherenční zrnitosti jsou porovnávány superpoziční struktury vzniklé koherentním skládáním referenčního světelného pole a pole koherenční zrnitosti před a po změně jeho polohy. Obě pole (referenční a koherenční zrnitosti) mají identický směr Šíření. Jak je popsáno v publikaci „Laser speckle and related phenomena“ (Ed. by Dainty J. C., Springer-Verlag, Berlin, 1984, str. 215), jsou-li superpoziční struktury pozorovány okem vprůběhu kmitavého pohybu pole koherenční zrnitosti ve směru jeho šíření, v bodech superpoziční struktury, v nichž se struktura nepohybuje, má struktura vyšší kontrast než v bodech, které vykazují pohyb. Oblasti superpoziční struktury s vyšším kontrastem vytváří makroskopické zrnité proužky různých tvarů, proužky tvořené zrny struktury koherenční zrnitosti, poskytující informaci o relativním pohybu pole koherenční zrnitosti. Modifikace výše uvedeného interferometru na bázi koherenční zrnitosti jsou založeny na principu zviditelnění rozdílu dvou po sobě následujících superpozičních struktur. Ktomu lze využít záznamu superpoziční struktury na fotografickou desku, jak je uvedeno v pramenu „Interferometrů: displacement measurement on scattering surfaces utilizing speckle effect“ (Leendertz J. A., J. Phys. E: Sci. Instrum. 3, 1970, str. 214), nebo na snímací světlocitlivou kameru, jak je uvedeno v článku „Holographic and video techniques applied to engineering measurements“ (Butters J. N., Leendertz, J. A., Meas. Control 4, 1971, str. 349). Rozdíl mezi superpozičními strukturami se opět projevuje vznikem soustavy makroskopických zrnitých proužků různých tvarů.In a coherence-grained interferometer, superposition structures created by coherent folding of a reference light field and a coherence-grained field before and after changing its position are compared. Both fields (reference and coherent granularity) have the same propagation direction. As described in "Laser speckle and related phenomena" (Ed. By Dainty JC, Springer-Verlag, Berlin, 1984, p. 215), when superposition structures are observed by the eye during the oscillating motion of a coherent grain field in the direction of its propagation, at points in the superposition structure where the structure does not move, the structure has a higher contrast than at the points that show movement. The regions of superposition structure with higher contrast create macroscopic granular bands of various shapes, bands formed by the grains of the coherent granularity structure, providing information on the relative movement of the coherent granularity field. The modifications of the above-mentioned interferometer based on coherence granularity are based on the principle of visualizing the difference of two successive superposition structures. This can be done by recording the superposition structure on the photographic plate as shown in the source of "Interferometers: displacement measurement on scattering surfaces utilizing speckle effect" (Leendertz JA, J. Phys. E: Sci. Instrum. 3, 1970, p. 214), or a light-sensitive imaging camera, as described in "Holographic and video techniques applied to engineering measurements" (Butters JN, Leendertz, JA, Meas. Control 4, 1971, p. 349). The difference between superposition structures is again manifested by the formation of a set of macroscopic granular strips of different shapes.

Zatímco fotografie na bázi koherenční zrnitosti vyžaduje, aby posunutí pole koherenční zrnitosti přesáhlo rozměr samotných zm, interferometrie na bázi koherenční zrnitosti má opačnou podmínku. Modernější způsob kvantitativního vyhodnocení pohybu pole koherenční zrnitosti nevyžadující omezující podmínku na velikost zm ve struktuře koherenční zrnitosti, který je prezentovaný v Článku „Theory and applications of dynamic laser speckles due to in-plane object motion“ (Yamaguchi I., Komatsu S-I., Opt. Acta 24, 1977, str. 705) nebo monografii „Koherenční zrnitost v optice“ (Hrabovský M., Bača Z., Horváth P., Univerz. Palackého v Olomouci, 2001), využívá statistického přístupu. Poloha maxima funkce vzájemné korelace struktur koherenční zrnitosti zaznamenaných světlocitlivou kamerou před a po změně polohy pole koherenční zrnitosti poskytuje informaci o velikosti posunutí pole koherenční zrnitosti.While the coherence grain photo requires that the shift of the coherence grain field exceeds the dimension itself, coherence grain interferometry has the opposite condition. A more modern way of quantitatively evaluating the coherence grain field motion without requiring a constraint on the magnitude of changes in the coherence grain structure is presented in the article "Theory and applications of dynamic laser speckles due to in-plane object motion" (Yamaguchi I., Komatsu SI., Opt. Acta 24, 1977, p. 705) or the monograph “Coherence Grain in Optics” (Hrabovský M., Bača Z., Horváth P., Palacký University Olomouc, 2001), uses a statistical approach. The position of the maximum correlation function of the coherent granularity structures recorded by the light-sensitive camera before and after the position change of the coherent granularity field provides information on the amount of displacement of the coherent granularity field.

Dle pramenu „Application of speckle decorrelation method for smáli translation measurements“ (Horváth P., Hrabovský M., Šmíd P., Opt. Appl. 34, 2004, str. 203) je citlivost korelační metody závislá na úhlových a délkových (geometrických) parametrech měřicí sestavy. Zvýšení citlivosti korelační metody na úroveň jednotek mikrometrů lze docílit zařazením optického systému o přič-1 CZ 302803 B6 ném zvětšení β > 1 do detekčního řetězce, jak uvádí články „Full ťheory of speckle displacement and decorrelation in the image field by yvave and geometrical descriptions and its application in mechanics (Horváth P., HrabovskýM,, Šmíd P., J. Mod. Opt. 51, 2004, str. 725), „Application of speckle decorrelation method for smáli translation measurements“ (Horváth P., Hrabovský M., Šmíd P., Opt. Appl. 34, 2004, str. 203) a patent CZ 295817 o názvu „Zařízenípro bezkontaktní snímání stability polohy předmětu. Je rovněž známo zařízení dle spisu CZ 2007— 797 Al, kde zdroj záření je součástí osvětlovacího bloku obsahujícího osvětlovací optickou soustavu polohovatelně ustavenou v motorickém translaěním systému, který je uložen mezi pozorovaným subjektem a zdrojem záření a je propojen s řídicím a vyhodnocovacím systémem. Přestože je tohoto zařízení možno využít k přesné kvantitativní detekci změny pohybu sledovaného objektu, jeho nevýhodou je, že maximální dosažitelná úroveň rozlišení velikosti pohybu pole koherenční zrnitosti a následně i sledovaného objektu je na hranici 1 mikrometru.According to the “Application of speckle decorrelation method for laughter translation measurements” (Horvath P., Hrabovsky M., Smid P., Opt. Appl. 34, 2004, p. 203) the sensitivity of the correlation method is dependent on angular and longitudinal (geometric) parameters of the measuring assembly. Increasing the sensitivity of the correlation method to the micrometer level can be achieved by including an optical system with a magnification of β> 1 in the detection chain, as reported in the articles "Full theory of speckle displacement and decoration in the image field by yvave and geometric descriptions and its application in mechanics (Horvath P., HrabovskyM ,, Smid P., J. Mod. Opt. 51, 2004, p. 725), „Application of speckle decorrelation method for laughter translation measurements“ (Horvath P., Hrabovsky M. , Smid P., Opt. Appl. 34, 2004, p. 203) and patent CZ 295817 entitled "Device for Contactless Sensing of the Stability of an Object. A device according to CZ 2007- 797 A1 is also known, wherein the radiation source is part of an illumination block comprising an illumination optical system positioned positionably in a motorized translation system which is interposed between the observed subject and the radiation source and connected to a control and evaluation system. Although this device can be used to accurately quantitate the change in motion of the object of interest, its disadvantage is that the maximum achievable level of resolution of the magnitude of the coherence grain field and consequently of the object of interest is at the limit of 1 micrometer.

Je proto snahou předkládaného řešení za využití poznatků o interferenci velkého počtu světelných vln, uvedených například v monografiích „Fundamentals of photonics“ (Saleh B. E. A., Teich M. C., John Wiley & Sons, New York, 1991) a „Principles of optics“ (Bom M., Wolf E., Pergamon Press, London, 1959), a znalostí společně s poznatky o sčítání pole koherenční zrnitosti s koherentním pozadím, prezentovaných například v monografii „Laser speckle and related phenomena (Dainty J. C., ed., Springer-Verlag, Berlin, 1975, str. 29), předložit takový způsob a zařízení detekce pohybu pole koherenční zrnitosti, které by již při použití světla o vlnové délce z viditelné oblasti spektra detekovalo trans lační pohyby pole koherenční zrnitosti menší než jeden mikrometr.It is therefore an object of the present invention to exploit the knowledge of the interference of a large number of light waves, for example in the monographs "Fundamentals of photonics" (Saleh BEA, Teich MC, John Wiley & Sons, New York, 1991) and "Principles of optics" (Bom M). , Wolf E., Pergamon Press, London, 1959), and knowledge, together with the knowledge of the addition of a coherent grain field with a coherent background, presented, for example, in the monograph "Laser speckle and related phenomena" (Dainty JC, ed. (1975, p. 29), to provide a method and apparatus for detecting a coherent granularity field motion that would detect translational motions of a coherent granularity field of less than one micrometer by using wavelength light from a visible region of the spectrum.

Podstata vynálezuSUMMARY OF THE INVENTION

Uvedeného cíle je dosaženo vynálezem, kterým je způsob detekce pohybu pole koherenční zrnitosti pomocí svazku koherentního nebo kvazikoherentního záření ze zdroje záření pracujícího ve viditelné, blízké infračervené nebo blízké ultrafialové, oblasti spektra, jehož podstata spočívá v tom, že svazek koherentního nebo kvazikoherentního záření se nejdříve rozdělí na fázově koordinovaná referenční pole a pole, které je objektem transformováno na pole koherenční zrnitosti, a poté jsou tato dvě pole podrobena interferenci za vzniku obrazce modulujícího rozložení intenzity světla v oblasti zrna struktury koherenční zrnitosti a měnícího svou polohu se změnou polohy pole koherenční zrnitosti, načež se ve zvolených časových intervalech tento obrazec kvalitativně a kvantitativně vyhodnocuje a analyzuje.This object is achieved by the invention, which is a method of detecting the movement of a coherent grain field by means of a coherent or quasi-coherent radiation beam from a radiation source operating in the visible, near infrared or near ultraviolet region of the spectrum. splits into a phase-coordinated reference field and a field that is transformed by the object into a coherence grain field, and then the two fields are subjected to interference to produce a light intensity modulating pattern in the grain region of the coherence grain structure and changing their position as the coherence grain field changes then, at selected time intervals, the pattern is qualitatively and quantitatively evaluated and analyzed.

V možných provedeních je směr šíření svazků paprsků po rozdělení na referenční pole a pole koherenční zrnitosti po průchodu průhledným objektem nebo po odrazu od neprůhledného objektu buď kolineámí nebo obě pole svírají nenulový úhel.In possible embodiments, the direction of propagation of the beams after division into a reference field and the coherence grain field after passing through a transparent object or after reflection from an opaque object is either collinear or both fields form a non-zero angle.

Další podstatou vynálezu je zařízení k provádění způsobu obsahující dělič svazku záření vložený mezi zdroj záření a objekt generující pole koherenční zrnitosti, přičemž za objektem nebo v jím odraženém poli je ustavena zvětšovací optická soustava pro pozorování interferenčního obrazce v oblasti zrna struktury koherenční zrnitosti, za níž je umístěn obrazový snímač, který je napojen na vyhodnocovací systém.Another object of the invention is to provide a method for carrying out a method comprising a beam splitter interposed between a radiation source and an object generating a coherent granularity field, wherein a magnifying optical system is arranged behind or in the reflected field to observe an interference pattern in the grain region of the coherent granularity structure. placed image sensor, which is connected to the evaluation system.

Způsobem podle vynálezu se dosahuje nového a vyššího účinku v tom, že interferometrickým porovnáním pohybujícího se pole koherenční zrnitostí s koherentním referenčním světelným polem a následnou analýzou změny polohy interferenčního obrazce pozorovaného v oblasti libovolného zrna struktury koherenční zrnitosti, lze detekovat trans lační pohyby pole koherenční zrnitosti ve všech třech osách kartézského souřadného systému na úrovni zlomků vlnové délky použitého světla. V podstatě lze jíž při použití světla o vlnové délce z viditelné oblasti spektra bezproblémově detekovat translační pohyby pole koherenční zrnitosti o velikosti pohybů pohybujících se v oblasti stovek nanometrů až 1 mikrometr.The method of the invention achieves a new and higher effect in that, by interferometric comparison of a moving field of coherent grain size with a coherent reference light field and subsequent analysis of the change in the position of the interference pattern observed in any grain of the coherent grain structure, all three axes of the Cartesian coordinate system at the wavelength level of the light used. In principle, the translational movements of a coherent granularity field with the magnitude of movements in the range of hundreds of nanometers to 1 micrometer can be detected without difficulty by using wavelength light from the visible region of the spectrum.

Popis obrázků na připojených výkresechDescription of the figures in the attached drawings

Konkrétní příklad provedení zařízení dle vynálezu a grafické znázornění způsobu vyhodnocování pohybu pole koherenční zrnitosti jsou schématicky znázorněny na připojených výkresech, kde obr. I je blokové schéma základního provedení zařízení pro transmisní předměty s naznačením alternativy užití pro difúzně reflexní předměty.A specific embodiment of the device according to the invention and a graphical representation of a method for evaluating the movement of a coherent grain field are schematically illustrated in the accompanying drawings, wherein Fig. 1 is a block diagram of a basic embodiment of a transmitting object device indicating alternative use for diffuse reflective objects.

obr. 2 je příklad grafického znázornění průběhu intenzity světla v řezu oblasti zrna struktury koherenční zrnitosti, obr. 3 je příklad grafického znázornění průběhu intenzity světla v řezu oblasti zrna struktury koherenční zrnitosti modulovaného interferenčním obrazcem s vyznačením bodů X) a na horizontální ose, mezi kterými je sledován pohyb interferenčního obrazce, obr. 4 je zobrazení průběhu interferenčního obrazce uvedeného na obr. 3 mezi body jq a xi před posunutím pole koherenční zrnitosti, obr. 5 je příklad průběhů interferenčních obrazců po (a) jednom a (b) dvou identických posunutí pole koherenční zrnitosti.Fig. 2 is an example of a graphical representation of the light intensity in a section of the grain region of a coherent grain structure; Fig. 3 is an example of a graphical representation of the light intensity of a section of a grain area of a coherent grain structure modulated by an interference pattern. Fig. 4 is an illustration of the pattern of the interference pattern shown in Fig. 3 between points jq and xi prior to the displacement of the coherence grain field; Fig. 5 is an example of the pattern of the interference patterns after (a) one and (b) two identical displacements. coherence grain field.

Příklady provedení vynálezuDETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

Zařízení k detekci pohybu pole koherenční zrnitosti je v základním provedení tvořeno zdrojem 2 záření, kterým je například laser nebo laserová dioda, pracující ve viditelné, blízké infračervené nebo blízké ultrafialové oblasti spektra, pomocí něhož je objekt 3 generující pole koherenční zrnitosti osvětlován úzkým svazkem paprsků. Mezi zdrojem 2 záření a objektem 3 je vložen dělič i polí a za objektem 3 nebo v jím odraženém poli je ustavena zvětšovací optická soustava 4 pro pozorování interferenčního obrazce v oblasti zrna struktury koherenční zrnitosti za níž je umístěn obrazový snímač 5, například lineární nebo maticový, který je napojen na vyhodnocovací systémThe device for detecting the coherence grain field motion is in the basic embodiment constituted by a radiation source 2, for example a laser or laser diode operating in the visible, near infrared or near ultraviolet region of the spectrum, by means of which the coherence grain field generating object 3 is illuminated by a narrow beam. A field divider is inserted between the radiation source 2 and the object 3 and a magnifying optical system 4 is arranged behind the object 3 or in a reflected field 3 to observe the interference pattern in the grain region of the coherent grain structure behind which the image sensor 5 is positioned. which is connected to the evaluation system

6.6.

Při detekci pohybu pole koherenční zrnitosti generovaného objektem 3 je tento osvětlován ze zdroje 2 svazkem koherentního nebo kvazikoherentního záření, který po průchodu děličem 1, který vytváří dvě světelná pole, a to referenční pole a pole, které je průchodem objektem 3 průhledným pro užité záření nebo difúzním odrazem na objektu 3 neprůhledném pro záření transformováno na pole koherenční zrnitosti, přičemž směry šíření referenčního pole a pole koherenční zrnitosti mohou být kolineámí nebo svírat nenulový úhel, a tato dvě pole spolu interferují. Interferenční pole je pomocí zvětšovací optické soustavy 4 snímáno maticovým nebo lineárním obrazovým snímačem 5 v oblasti, ve které je pozorováno zrno ve struktuře koherenční zrnitosti, jak je znázorněno na obr, 2, Obrazový snímač 5 je napojen na vyhodnocovací systém 6 analyzující interferenční obrazce před a po změně polohy pole koherenční zrnitosti a určující kvantitativně vzájemnou změnu jejich poloh, jak je příkladně uvedeno na obr. 3 až obr. 5.In detecting the movement of the coherence grain field generated by the object 3, it is illuminated from the source 2 by a coherent or quasi-coherent radiation beam which, after passing through a divider 1 producing two light fields, a reference field and a field passing through the object 3 transparent to the radiation used; by diffusion reflection on the radiation-opaque object 3 transformed into a coherent granularity field, wherein the directions of propagation of the reference field and the coherent granularity field may be collinear or non-zero angle, and the two fields interfere with each other. The interference field is sensed by a magnifying optical system 4 by a matrix or linear image sensor 5 in the area in which grain is observed in the coherent grain structure as shown in FIG. 2. The image sensor 5 is connected to an evaluation system 6 analyzing the interference patterns before and after changing the position of the speckle field and quantitatively changing their positions relative to each other, as shown in FIGS. 3 to 5, for example.

Průmyslová využitelnostIndustrial applicability

Způsob a zařízení podle vynálezu lze použít v případě požadavku na zvýšení citlivosti metody korelace polí koherenční zrnitosti, a k přesnému kvantitativnímu vyhodnocení změny polohy sledovaného objektu generující pole koherenční zrnitosti.The method and apparatus of the present invention can be used when the sensitivity of the coherence grain field correlation method is desirable and to accurately quantitatively change the position of the object of interest to generate the coherence grain field.

Claims (1)

PATENTOVÉ NÁROKYPATENT CLAIMS 5 1. Způsob detekce pohybu pole koherenční zrnitosti pomocí svazku koherentního nebo kvazikoherentního záření ze zdroje (2) záření pracujícího ve viditelné, blízké infračervené nebo blízké ultrafialové, oblasti spektra, vyznačující se tím, že svazek koherentního nebo kvazikoherentního záření se nejdříve rozdělí na fázově koordinovaná referenční pole a pole, které je objektem (3) transformováno na pole koherenční zrnitosti, a poté jsou tato dvě pole podrobena io interferenci za vzniku obrazce modulujícího rozložení intenzity světla v oblasti zrna struktury koherenční zrnitosti a měnícího svou polohu se změnou polohy pole koherenční zrnitosti, načež se ve zvolených časových intervalech tento obrazec kvalitativně a kvantitativně vyhodnocuje a analyzuje.1. A method for detecting the movement of a coherent grain field by means of a coherent or quasi-coherent radiation beam from a radiation (2) source operating in the visible, near infrared or near ultraviolet spectrum, characterized in that the coherent or quasi-coherent radiation beam is first divided into phase coordinated a reference field and a field transformed by the object (3) into a coherence grain field, and the two fields are then subjected to interference to produce a light intensity modulating pattern in the grain region of the coherence grain structure and changing its position as the coherence grain field changes then, at selected time intervals, the pattern is qualitatively and quantitatively evaluated and analyzed. 15 2. Způsob vyhodnocování podle nároku 1, vyznačující se tím, že směr šíření svazků paprsků po rozdělení na referenční pole a pole koherenční zrnitosti je po průchodu průhledným objektem (3) nebo po odrazu od neprůhledného objektu (3) buď kolineámí nebo obě pole svírají nenulový úhel.Evaluation method according to claim 1, characterized in that the direction of propagation of the beams after division into the reference field and the coherence grain field is either collinear or clutching both fields after passing through the transparent object (3) or after reflection from the opaque object (3). nonzero angle. 20 3. Zařízení k detekcí pohybu pole koherenční zrnitosti pomocí svazku koherentního nebo kvazikoherentního záření ze zdroje (2) záření pracujícího ve viditelné, blízké infračervené nebo blízké ultrafialové, oblasti spektra, vyznačující se tím, že obsahuje dělič (1) svazku záření vložený mezi zdroj (2) záření a objekt (3) generující pole koherenční zrnitosti, přičemž za objektem nebo v jím odraženém polije ustavena zvětšovací optická soustava (4) pro pozorování3. An apparatus for detecting the movement of a coherent grain field by means of a coherent or quasi-coherent radiation beam from a radiation source operating in the visible, near infrared or near ultraviolet region of the spectrum, comprising a beam splitter (1) interposed between the source (2) radiation and an object (3) generating a coherent grain field, wherein a magnifying optical system (4) for observation is set up behind or in the reflected field 25 interferenčního obrazce v oblasti zrna struktury koherenční zrnitosti, za níž je umístěn obrazový snímač (5), který je napojen na vyhodnocovací systém (6).25 of an interference pattern in the grain region of the coherent grain structure, behind which an image sensor (5) is connected, which is connected to the evaluation system (6).
CZ20090061A 2009-02-04 2009-02-04 Detection method of coherence granularity field movement and apparatus for making the same CZ302803B6 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ20090061A CZ302803B6 (en) 2009-02-04 2009-02-04 Detection method of coherence granularity field movement and apparatus for making the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ20090061A CZ302803B6 (en) 2009-02-04 2009-02-04 Detection method of coherence granularity field movement and apparatus for making the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CZ200961A3 CZ200961A3 (en) 2010-08-18
CZ302803B6 true CZ302803B6 (en) 2011-11-16

Family

ID=42557393

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ20090061A CZ302803B6 (en) 2009-02-04 2009-02-04 Detection method of coherence granularity field movement and apparatus for making the same

Country Status (1)

Country Link
CZ (1) CZ302803B6 (en)

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4824250A (en) * 1986-11-17 1989-04-25 Newman John W Non-destructive testing by laser scanning
US5325177A (en) * 1992-10-29 1994-06-28 Environmental Research Institute Of Michigan Optical, interferometric hole gauge
FR2860300A1 (en) * 2003-09-25 2005-04-01 Formulaction METHOD AND DEVICE FOR ANALYZING MOTION IN A DIFFUSING MEDIUM.
CZ20033219A3 (en) * 2003-11-26 2005-07-13 Univerzita Palackého Device for contactless scanning of object position stability
US20060083111A1 (en) * 2003-09-05 2006-04-20 Grasso Robert J Method and apparatus for detecting submarines
WO2007101026A2 (en) * 2006-02-24 2007-09-07 The General Hospital Corporation Methods and systems for performing angle-resolved fourier-domain optical coherence tomography
EP1868066A2 (en) * 2006-06-16 2007-12-19 EM Microelectronic-Marin SA Optimization of statistical movement measurement for optical mouse, with particular application to laser-illuminated surfaces
WO2009013738A1 (en) * 2007-07-26 2009-01-29 Bar Ilan University Motion detection system and method
CZ302107B6 (en) * 2007-11-15 2010-10-20 Univerzita Palackého Device for contactless sensing and quantitative evaluation of movement of human eye or general physical objects

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4824250A (en) * 1986-11-17 1989-04-25 Newman John W Non-destructive testing by laser scanning
US5325177A (en) * 1992-10-29 1994-06-28 Environmental Research Institute Of Michigan Optical, interferometric hole gauge
US20060083111A1 (en) * 2003-09-05 2006-04-20 Grasso Robert J Method and apparatus for detecting submarines
FR2860300A1 (en) * 2003-09-25 2005-04-01 Formulaction METHOD AND DEVICE FOR ANALYZING MOTION IN A DIFFUSING MEDIUM.
CZ20033219A3 (en) * 2003-11-26 2005-07-13 Univerzita Palackého Device for contactless scanning of object position stability
WO2007101026A2 (en) * 2006-02-24 2007-09-07 The General Hospital Corporation Methods and systems for performing angle-resolved fourier-domain optical coherence tomography
EP1868066A2 (en) * 2006-06-16 2007-12-19 EM Microelectronic-Marin SA Optimization of statistical movement measurement for optical mouse, with particular application to laser-illuminated surfaces
WO2009013738A1 (en) * 2007-07-26 2009-01-29 Bar Ilan University Motion detection system and method
CZ302107B6 (en) * 2007-11-15 2010-10-20 Univerzita Palackého Device for contactless sensing and quantitative evaluation of movement of human eye or general physical objects

Also Published As

Publication number Publication date
CZ200961A3 (en) 2010-08-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Yamaguchi Holography, speckle, and computers
Sánchez et al. Simultaneous 3D digital holographic interferometry for strain measurements validated with FEM
Li et al. Simultaneous measurement of three-dimensional deformation based on digital speckle pattern interferometry technology
Gómez-Méndez et al. Measurement in-plane deformations in electronic speckle pattern interferometry using phase-shifting modulated by polarization
An Industrial applications of speckle techniques
Wu et al. A synchronous measurement system for the first derivative of out-of-plane deformation of double ends
CZ2013164A3 (en) Method of contactless detection of moving object absolute position by making use of coherence granularity phenomenon and apparatus for making the same
Knyazev et al. Classic holography, tomography and speckle metrology using a high-power terahertz free electron laser and real-time image detectors
CZ302803B6 (en) Detection method of coherence granularity field movement and apparatus for making the same
JP5825622B2 (en) Displacement / strain distribution measurement optical system and measurement method
RU2359221C1 (en) Method for determination of normal shifts of body surface
Osten et al. New light sources and sensors for active optical 3D inspection
Creath Dynamic quantitative phase images of pond life, insect wings, and in vitro cell cultures
CZ19525U1 (en) Device for detection and evaluation of submicron movements of coherence granularity field
Tepichin-Rodriguez et al. Talbot effect based tunable setup for the measurement of stepped surfaces: plane and spherical wavefront illumination
JP5518187B2 (en) Deformation measurement method
Fujigaki et al. A method of generating reference wave in interferometric measurement with multiple imaging sensors
Guo et al. Profile measurement system based on linnik-type interferometric microscope for visible-light region and infrared-light region
Gonzalez-Pena et al. Displacement measurements in structural elements by optical techniques
Wang et al. Holographic camera for non-contact measurement of nanoscale surface heights
Balamurugan Phase Shifting Technique in Laser Speckle Image Processing
TWI436028B (en) The transverse location, displacement, and velocity measurements by uses of the critical angle device and method
Pryputniewicz Speckle metrology techniques and their applications
CZ2007797A3 (en) Device for contactless sensing and quantitative evaluation of movement of human eye or general physical objects
Jin et al. 9 Moiré Metrology

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Patent lapsed due to non-payment of fee

Effective date: 20140204