CZ2021375A3 - Způsob provozu zařízení pro vytváření svazku, výrobek ve formě počítačového programu, zařízení a držák - Google Patents

Způsob provozu zařízení pro vytváření svazku, výrobek ve formě počítačového programu, zařízení a držák Download PDF

Info

Publication number
CZ2021375A3
CZ2021375A3 CZ2021-375A CZ2021375A CZ2021375A3 CZ 2021375 A3 CZ2021375 A3 CZ 2021375A3 CZ 2021375 A CZ2021375 A CZ 2021375A CZ 2021375 A3 CZ2021375 A3 CZ 2021375A3
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
mark
particle beam
object holder
holder
generating device
Prior art date
Application number
CZ2021-375A
Other languages
English (en)
Inventor
Alexander Orchowski
Alexander Dr. Orchowski
Original Assignee
Carl Zeiss Microscopy Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss Microscopy Gmbh filed Critical Carl Zeiss Microscopy Gmbh
Publication of CZ2021375A3 publication Critical patent/CZ2021375A3/cs

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
    • B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
    • G01N1/286—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q involving mechanical work, e.g. chopping, disintegrating, compacting, homogenising
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
    • G01N23/20091—Measuring the energy-dispersion spectrum [EDS] of diffracted radiation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
    • G01N23/2209—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using wavelength dispersive spectroscopy [WDS]
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
    • G01N23/225—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion
    • G01N23/2251—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion using incident electron beams, e.g. scanning electron microscopy [SEM]
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/261—Details
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
    • H01J37/3045—Object or beam position registration
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
    • G01N1/286—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q involving mechanical work, e.g. chopping, disintegrating, compacting, homogenising
    • G01N2001/2866—Grinding or homogeneising
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
    • H01J2237/202—Movement
    • H01J2237/20221—Translation
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/26—Electron or ion microscopes
    • H01J2237/28—Scanning microscopes
    • H01J2237/2802—Transmission microscopes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/30—Electron or ion beam tubes for processing objects
    • H01J2237/304—Controlling tubes
    • H01J2237/30472—Controlling the beam
    • H01J2237/30483—Scanning
    • H01J2237/30494—Vector scan
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/30—Electron or ion beam tubes for processing objects
    • H01J2237/317—Processing objects on a microscale
    • H01J2237/3174—Etching microareas
    • H01J2237/31745—Etching microareas for preparing specimen to be viewed in microscopes or analyzed in microanalysers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/30—Electron or ion beam tubes for processing objects
    • H01J2237/317—Processing objects on a microscale
    • H01J2237/31749—Focused ion beam

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

Vynález se týká způsobu provozování zařízení pro vytváření svazku či paprsku, zejména zařízení pro vytváření svazku částic a/nebo zařízení pro vytváření laserového paprsku. Vynález se také týká výrobku ve formě počítačového programu a zařízení pro vytváření svazku pro provádění tohoto způsobu. Vynález se také týká držáku objektu pro objekt. Držák objektu může například být uspořádán v zařízení pro vytváření svazku částic. Způsob podle vynálezu zahrnuje následujícími kroky: Vytvoření značky na držáku objektu s použitím laserového paprsku ze zařízení pro vytváření laserového paprsku a/nebo pomocí svazku částic ze zařízení pro vytváření svazku částic, přičemž svazek částic obsahuje nabité částice; umístění objektu na držák objektu; přesunutí držáku objektu; relativní polohování svazku částic a/nebo laserového paprsku vzhledem k objektu za použití značky; jakož i zpracování, zobrazování a/nebo analýza objektu pomocí svazku částic a/nebo laserového paprsku.

Description

Způsob provozu zařízení pro vytváření svazku, výrobek ve formě počítačového programu, zařízení a držák
Oblast techniky
Vynález se týká způsobu provozování zařízení pro vytváření svazku či paprsku, zejména zařízení pro vytváření svazku částic a/nebo zařízení pro vytváření laserového paprsku. Vynález se také týká výrobku ve formě počítačového programu a zařízení pro vytváření svazku pro provádění tohoto způsobu. Vynález se také týká držáku objektu pro objekt. Držák objektu může například být uspořádán v zařízení pro vytváření svazku částic.
Dosavadní stav techniky
Přístroje využívající svazek elektronů, zejména rastrový elektronový mikroskop (v následujícím textu nazývaný rovněž SEM) a/nebo transmisní elektronový mikroskop (v následujícím textu nazývaný rovněž TEM), jsou používány pro zkoumání objektů (vzorků) s cílem získání poznatků o jejich vlastnostech a chování za určitých podmínek.
V případě SEM je svazek elektronů (dále označovaný i jako svazek primárních elektronů) vytvářen prostřednictvím generátoru svazku a systémem vedení svazkuje zaostřen na zkoumaný objekt. Pomocí vychylovacího zařízení je primární svazek elektronů veden v rastru po povrchu zkoumaného objektu. Elektrony svazku primárních elektronů přitom interagují se zkoumaným objektem. V důsledku tohoto vzájemného působení jsou objektem emitovány zejména elektrony (takzvané sekundární elektrony) a elektrony ze svazku primárních elektronů jsou rozptylovány zpět (takzvané zpětně rozptýlené elektrony). Sekundární elektrony a zpětně rozptýlené elektrony jsou detekovány a použity pro tvorbu obrazu. Tímto způsobem je získán obraz zkoumaného objektu. V důsledku interakce je dále generováno interakční záření, například rentgenové záření a katodoluminiscenční záření. Interakční záření se používá zejména k analýze daného objektu.
V případě TEM je svazek primárních elektronů rovněž vytvářen prostřednictvím generátoru svazku a prostřednictvím systému vedení svazku zaostřen na zkoumaný objekt. Svazek primárních elektronů zkoumaný objekt prozáří. Při průchodu svazku primárních elektronů zkoumaným objektem vstupují elektrony svazku primárních elektronů do interakce s materiálem zkoumaného objektu. Elektrony, které projdou zkoumaným objektem, jsou zobrazovány pomocí systému tvořeného objektivem a projektorem ve formě stínítka nebo detektoru (například kamera). Vytvoření obrazu přitom může proběhnout i ve skenovacím režimu TEM. Takovýto TEM je zpravidla označován jako STEM. Navíc může být použito detekce zpětně rozptýlených elektronů na zkoumaném objektu a/nebo sekundárních elektronů emitovaných zkoumaným objektem v dalším detektoru za účelem zobrazení zkoumaného objektu.
Dále je ze stavu techniky známé použití kombinovaných přístrojů pro zkoumání objektů, u kterých je možné vést na zkoumaný objekt jak elektrony, tak i ionty. Například je známé vybavení SEM doplňkovým iontovým tubusem. Generátorem svazku iontů, který je umístěný v iontovém tubusu, jsou generovány ionty, které jsou využívány pro přípravu či preparaci objektu (například odebrání materiálu objektu nebo nanesení materiálu na objekt) nebo i pro zobrazení. SEM přitom slouží zejména pro pozorování této preparace, ale i pro další zkoumání preparovaného i nepreparovaného objektu.
Nanášení materiálu na objekt je prováděno v dalším známém zařízení pro vytváření svazku částic, například s využitím přiváděného plynu. Známým zařízením pro vytváření svazku částic je kombinovaný přístroj, který generuje jak svazek elektronů, tak i svazek iontů. Zařízení pro vytváření svazku částic je vybaveno elektronovým tubusem a iontovým tubusem. Elektronový tubus poskytuje svazek elektronů, který je zaměřený na objekt. Objekt je umístěný ve vakuu uvnitř komory vzorku. Iontový tubus poskytuje svazek iontů, který je rovněž zaměřený na objekt. Pomocí svazku iontů je například odstraněna vrstva z povrchu objektu. Po odstranění této vrstvy dojde k odkrytí další povrchové
-1 CZ 2021 - 375 A3 vrstvy. Pomocí zařízení pro přívod plynuje možné vpustit do komory vzorku plynnou zaváděcí látku takzvaný prekurzor. Je známo, že je zařízení pro přívod plynu provedeno jako jehlové, které je možné umístit do vzdálenosti několika pm od polohy objektu, takže je možné zavést plynný prekurzor do této polohy co nejpřesněji a ve vysoké koncentraci. Při vzájemném působení svazku iontů s plynným prekurzorem je na povrch objektu vyloučena vrstva látky. Například je známo, že je zařízením pro přívod plynu přiváděn do komory vzorku jako plynný prekurzor plynný fenanthren. V tomto případě je na povrchu objektu vyloučena vrstva uhlíku nebo vrstva obsahující uhlík. Rovněž je známé použití plynného prekurzoru obsahujícího kov, jehož cílem je vyloučení tohoto kovu nebo vrstvy obsahující tento kov na povrch daného objektu. Takovéto vylučování však není omezeno jen na uhlík a/nebo kovy. Na povrchu objektu mohou být takto vyloučeny libovolné látky, například polovodiče, nevodiče nebo jiné sloučeniny. Dále je rovněž známo, že je plynný prekurzor používán ve vzájemné součinnosti se svazkem částic pro odebrání materiálu objektu.
Nanášení materiálu na objekt a/nebo odstraňování materiálu z objektu se používá například k nanesení značky na tento objekt. V dosavadním stavu techniky se značka používá například za účelem polohování svazku elektronů a/nebo svazku iontů.
Aby bylo možné provést analýzu materiálových struktur objektu ve vysokém rozlišení v TEM nebo v SEM transmisním detektorem, je známá příprava objektu takovým způsobem, aby tloušťka objektu byla menší než 100 nm, protože elektrony svazku elektronů při průchodu elektronů objektem mají v pevných materiálech dosah typicky 1000 nm. Při vstupu do objektu mají elektrony energii typicky několik 10 keV až několik 100 keV. Tloušťka objektu menší než 100 nm zajišťuje, že převážná část elektronů objektem prochází a lze je detekovat pomocí detektoru.
Ze stavu techniky je známo zpracování objektu pomocí svazku iontů tak, aby se dosáhlo tloušťky objektu menší než 100 nm, například tloušťky v rozsahu od 1 nm do 80 nm nebo od 1 nm do 50 nm. Zpracování objektu pomocí svazku iontů lze pozorovat zobrazením objektu pomocí svazku elektronů.
Níže je popsán způsob známý z dosavadního stavu techniky pro vytvoření objektu, který má být zkoumán pomocí TEM nebo pomocí SEM pomocí transmisního detektoru. Nejprve je na kusu materiálu, který má velikost například v milimetrovém rozsahu, uvolněn řez tohoto kusu materiálu pomocí svazku iontů a je z kusu materiálu vypreparován. Tento řez má například tloušťku několika mikrometrů (zejména 3 pm až 6 pm) a například délku několika 10 pm (zejména 30 pm až 80 pm). Tento řez je poté připevněn k mikromanipulátoru a z kusu materiálu je zvednut. Následně je tento řez připevněn k držáku objektu TEM (také nazývaného „TEM síťka“). Svazkem iontů vedeným k tomuto řezu je poté z řezu odstraněn materiál, dokud tento řez materiálu nebo alespoň jeho část nemá tloušťku menší než 100 nm. Při odstraňování materiálu z řezu se držák objektu TEM nejdříve otočí o 1° až 2° v prvním směru kolem osy otáčení, počínaje od počáteční polohy, aby bylo zajištěno dobré odebrání materiálu na první straně řezu materiálu. Držák objektu TEM se poté otočí z výchozí polohy o 1° až 2° ve druhém směru kolem osy otáčení, aby bylo zajištěno dobré odebrání materiálu na druhé straně řezu. První strana a druhá strana řezu materiálu jsou uspořádány proti sobě a ve vzájemném odstupu. Aby bylo možné držák objektu TEM otočit, je držák objektu TEM uspořádán na stolku pro vzorky, který je navržen tak, aby byl pohyblivý. Stolek pro vzorky je vybaven mechanickými pohybovými jednotkami, které umožňují otáčení držáku objektu TEM.
Pokud jde o dosavadní stav techniky, lze odkázat na US patent č. 8 536 525 B2.
Kvůli nepřesnostem v mechanice pohybových jednotek stolku pro vzorky může otáčení držáku objektu TEM kolem osy otáčení vést k nežádoucímu relativnímu posunutí polohy svazku iontů ve vztahu k řezu materiálu. Jinými slovy, po otočení držáku objektu TEM již svazek iontů nedopadá na řez materiálu upevněný na držáku objektu TEM v bodě, na který byl svazek iontů zaostřen před otočením držáku objektu TEM. V tomto případě je podle dosavadního stavu techniky svazek iontů znovu nastaven a umístěn tak, že tento svazek iontů dopadne na požadované místo řezu, aby bylo možné odstranit materiál.
-2 CZ 2021 - 375 A3
Podstata vynálezu
Vynález si klade za úkol vytvořit způsob provozu zařízení pro vytváření svazku či paprsku, výrobek ve formě počítačového programu, zařízení pro vytváření svazku a také držák objektu, s nímž je po pohybu držáku objektu možné polohování svazku částic ze zařízení pro vytváření svazku částic nebo laserového paprsku vzhledem k objektu, který je umístěn na tomto držáku objektu, a to jednoduchým a zejména automatickým způsobem.
Podle vynálezu je tento úkol vyřešen způsobem provozu zařízení pro vytváření svazku se znaky podle nároku 1. Výrobek ve formě počítačového programu s programovým kódem, který je načtený do procesoru nebo do něj může být načten a který v provedení řídí zařízení pro vytváření svazku takovým způsobem, aby byl proveden způsob podle vynálezu, je definován v nároku 15. Dále se vynález týká zařízení pro vytváření svazku se znaky podle nároku 16. Kromě toho se vynález tyká držáku objektu se znaky podle nároku 20. Další znaky vynálezu vyplývají z následujícího popisu, připojených nároků a/nebo připojených obrázků.
Způsob podle vynálezu se používá k provozu zařízení pro vytváření svazku či paprsku, zejména zařízení pro vytváření svazku částic pro zpracování, zobrazování a/nebo analýzu objektu a/nebo zařízení pro vytváření laserového paprsku pro zpracování, zobrazování a/nebo analýzu objektu. Zařízení pro vytváření svazku částic je například vybaveno alespoň jedním generátorem svazku k vytváření svazku částic s nabitými částicemi. Nabitými částicemi jsou například elektrony nebo ionty.
Ve způsobu podle vynálezu je na držáku objektu uspořádána alespoň jedna značka. Jinými slovy, značka je vytvořena na držáku objektu. Značka je vytvořena pomocí laserového paprsku ze zařízení pro vytváření laserového paprsku a/nebo pomocí alespoň jednoho svazku částic ze zařízení pro vytváření svazku částic, přičemž svazek částic obsahuje nabité částice. Například je zajištěno, že je zařízení pro vytváření laserového paprsku uspořádáno na zařízení pro vytváření svazku částic. Kromě toho nebo alternativně je navrženo, že zařízení pro vytváření laserového paprskuje zařízením, které je odděleno od zařízení pro vytváření svazku částic. Například je navrženo odstraňování a/nebo nanášení materiálu držáku objektu pomocí zařízení pro vytváření laserového paprsku takovým způsobem, že je značka vytvořena odstraněním materiálu. Kromě toho nebo alternativně je navrženo odstraňování materiálu z držáku objektu a/nebo nanášení materiálu na držák objektu pomocí svazku částic takovým způsobem, že je značka vytvořena odstraňováním materiálu a/nebo nanesením materiálu. K držáku objektu se například pro nanesení materiálu a/nebo pro odstranění materiálu přivádí plyn. Plyn interaguje se svazkem částic a/nebo laserovým paprskem takovým způsobem, že je materiál na držák objektu nanesen, neboje materiál z držáku objektu odstraněn.
Způsob podle vynálezu také zahrnuje uspořádání alespoň jednoho objektu na držáku objektu. Pro uspořádání objektu na držáku objektu se například aplikuje materiál v místě připojení mezi objektem a držákem objektu tak, aby byl objekt připevněn k držáku objektu. Za tímto účelem se v jednom provedení způsobu podle vynálezu k objektu přivádí plyn a svazek částic takovým způsobem, že se materiál nanáší do místa spojení v důsledku interakce svazku částic s plynem. Navíc nebo alternativně, v dalším provedení způsobu podle vynálezu, jek objektu přiváděn plyn a laserový paprsek takovým způsobem, že je do místa spojení nanesen materiál v důsledku interakce laserového paprsku s plynem. Vynález však není omezen na výše uvedená provedení uspořádání objektu na držáku objektu. Místo toho lze použít jakýkoli typ uspořádání objektu na držáku objektu, který je pro tento vynález vhodný.
Dále ve způsobu podle vynálezu dochází k pohybu držáku objektu a tím také objektu uspořádaného na držáku objektu. Pohyb držáku objektu zahrnuje například posuvný pohyb držáku objektu podél alespoň jedné osy. Držák objektu se například pohybuje podél první osy, podél druhé osy a/nebo podél třetí osy, přičemž jsou první osa, druhá osa a třetí osa například na sebe kolmé. Kromě toho nebo alternativně se předpokládá, že se držák objektu otáčí kolem alespoň jedné osy otáčení. Výše uvedené otáčení zahrnuje zejména naklánění držáku objektu kolem osy otáčení. Zejména se předpokládá, že se držák objektu - a s ním také objekt uspořádaný na držáku objektu - otáčí z počáteční polohy o 0,5° až 5°, zejména o 1° až
-3 CZ 2021 - 375 A3
3° nebo o 1° až 2° kolem osy otáčení v prvním směru a/nebo druhém směru. Rozsahy úhlů jsou včetně výše uvedených mezních hodnot rozsahu úhlů. Výslovně je poukazováno nato, že vynález není omezen na výše uvedené rozsahy úhlů. Spíše lze použít jakýkoli rozsah úhlů, který je pro vynález vhodný. U jedné z forem provedení způsobu podle vynálezu je navíc nebo alternativně předpokládáno, že se držák objektu otáčí kolem první osy otáčení a/nebo kolem druhé osy otáčení. První osa otáčení a druhá osa otáčení jsou například uspořádány jako navzájem kolmé.
Způsob podle vynálezu také zahrnuje relativní polohování svazku částic a/nebo laserového paprsku vzhledem k objektu pomocí značky. Jinými slovy, po pohybu držáku objektu je svazek částic a/nebo laserový paprsek znovu nastaven a umístěn vzhledem k objektu takovým způsobem, že může být zaveden do požadovaného místa na objektu svazek částic. Relativní polohování svazku částic a/nebo laserového paprsku ve vztahu k objektu probíhá například (a) přestavením (tj. polohováním) svazku částic (například pomocí vychylovacích zařízení pro vytváření svazku částic) a/nebo (b) přestavením (tj. polohováním) laserového paprsku (například pomocí vodicích jednotek pro laserový paprsek) a/nebo (c) přestavením (tj. polohováním) držáku objektu pohybem držáku objektu. Způsob podle vynálezu dále zahrnuje zpracování, zobrazování a/nebo analýzu objektu pomocí polohovaného svazku částic a/nebo polohovaného laserového paprsku.
Způsob podle vynálezu není omezen na výše uvedenou posloupnost vysvětlených kroků způsobu. Ve způsobu podle vynálezu lze spíše zvolit jakoukoli posloupnost výše uvedených kroků způsobu, která je pro vynález vhodná.
Vynález má tu výhodu, že zejména po pohybu držáku objektu, ale také po jakémkoli jiném relativním pohybu držáku objektu vzhledem ke svazku částic a/nebo laserovému paprsku, je snadno možné relativní polohování svazku částic ze zařízení pro vytváření svazku částic a/nebo laserového paprsku ze zařízení pro vytváření laserového paprsku vzhledem k objektu, který je umístěn na držáku objektu. Zejména lze relativní polohování svazku částic a/nebo laserového paprsku vzhledem k objektu provést automaticky.
V jednom provedení způsobu podle vynálezu je držák objektu navržen jako takový držák objektu, který je vhodný pro přivedení zkoumajícího svazku částic na objekt, přičemž zkoumající svazek částic obsahuje částice, které objektem procházejí. Držák objektu je například navržen jako držák objektu TEM, který lze použít v TEM a/nebo v SEM s transmisním detektorem a/nebo v kombinovaném přístroji s iontovým tubusem, elektronovým tubusem a transmisním detektorem. Je výslovně zdůrazněno, že zařízení pro vytváření svazku částic, kterým se provádí způsob podle vynálezu, nemusí nutně být takovým zařízením pro vytváření svazku částic, které poskytuje zkoumající svazek částic. Spíše může být držák objektu ze zařízení pro vytváření svazku částic, kterým se provádí způsob podle vynálezu, vyjmut a vložen do dalšího zařízení pro vytváření svazku částic, ve kterém je objekt poté zkoumán zkoumajícím svazkem částic. Tímto dalším zařízením pro vytváření svazku částic je například TEM.
V dalším provedení způsobu podle vynálezu je objekt před umístěním na držáku objektu vytvořen pomocí svazku částic ze zařízení pro vytváření svazku částic a/nebo pomocí laserového paprsku ze zařízení pro vytváření laserového paprsku. V jednom provedení způsobu podle vynálezu je například objekt ve formě řezu z kusu materiálu v tomto kusu materiálu uvolněn a z tohoto kusu materiálu vypreparován pomocí svazku částic, například svazku iontů. Kus materiálu má například velikost v rozsahu milimetrů. Naproti tomu připravený objekt ve formě řezu má tloušťku několika mikrometrů (zejména 3 pm až 6 pm) a například délku několika 10 pm (zejména 30 pm až 80 pm). Následně je objekt ve formě řezu připevněn například k mikromanipulátoru a je z kusu materiálu zvednut. Objekt je poté uspořádán ve formě řezu na držáku objektu. Kromě toho nebo alternativně se předpokládá, aby byl objekt uspořádán přímo na držáku objektu, aniž by byl potřebný mezikrok, kterým je uspořádání objektu na mikromanipulátoru.
V ještě dalším provedení způsobu podle vynálezu je navíc nebo alternativně zajištěno, že je objekt uspořádán na držáku objektu takovým způsobem, že jedna plocha objektu je v úhlu 0° až 360°
-4 CZ 2021 - 375 A3 uspořádána jako volně přístupná ploše držáku objektu přístupné pro svazek částic a/nebo laserový paprsek. Pňtom je na výše uvedené ploše držáku objektu umístěna značka. V jednom provedení způsobu podle vynálezu je plocha objektu uspořádána rovnoběžně s plochou držáku objektu, která je volně přístupná pro svazek částic a/nebo laserový paprsek. Alternativně k tomu se například předpokládá uspořádání plochy objektu v úhlu 5° až 80° vůči ploše držáku objektu, kteráje volně přístupná pro svazek částic a/nebo laserový paprsek. Například se předpokládá, že plocha objektu a plocha držáku objektu jsou uspořádány v různých rovinách. Alternativně se předpokládá, že plocha objektu a plocha držáku objektu jsou uspořádány v jediné rovině. Jinými slovy, plocha objektu a plocha držáku objektu jsou ve stejné výšce. Toto provedení způsobu zajišťuje zvláště dobré relativní polohování svazku částic a/nebo laserového paprsku vzhledem k objektu, protože značka a objekt jsou uspořádány v jediné rovině.
V ještě dalším provedení způsobu podle vynálezu je navíc nebo alternativně zajištěno, že plocha držáku objektu je vytvořena pomocí svazku částic a/nebo laserového paprsku předtím, než je na ploše držáku objektu umístěna značka. Pokud držák objektu nemá žádnou plochu nebo jen nevhodnou plochu pro umístění značky, pak je v tomto provedení způsobu podle vynálezu například nejprve zajištěno vytvoření plochy držáku objektu na tomto držáku objektu. Plocha držáku objektu je poté vytvořena na držáku objektu pomocí svazku částic, například pomocí svazku iontů a/nebo laserovým paprskem. K tomu dochází zejména odstraněním materiálu z držáku objektu pomocí svazku částic a/nebo laserového paprsku. Pro odebrání materiálu může být k držáku objektu zejména přiváděn plyn. Interakce svazku iontů a/nebo laserového paprsku s plynem a s držákem objektu způsobí, že bude z držáku objektu odstraněn materiál. Kromě toho nebo alternativně je zajištěno, že plocha držáku objektu bude vytvořena například nanesením materiálu na držák objektu pomocí svazku částic a/nebo laserového paprsku a přiváděním plynu. Interakce svazku iontů a/nebo laserového paprsku s plynem například způsobí ukládání materiálu na držák objektu.
V jednom z provedení způsobu podle vynálezu je navíc nebo alternativně zajištěno, že referenční obraz, který obsahuje značkuje vytvořen vykreslením značky pomocí svazku částic. Přitom se, jak je uvedeno výše a také dále v textu, referenčním obrazem, který obsahuje značku, rozumí takový referenční obraz, který obsahuje obraz značky. Kromě toho je vygenerován další obraz, který obsahuje značku. Přitom se, jak je uvedeno výše a také dále v textu, obrazem, který obsahuje značku, rozumí takový obraz, který obsahuje obraz značky. Vyjádřeno jinými slovy, další obraz obsahující značkuje vytvořen opětovným zobrazením značky s použitím svazku částic. Při vytváření referenčního obrazu, který obsahuje značku, a dalšího obrazu, který obsahuje značku, se jako svazek částic používají například svazek iontů a/nebo svazek elektronů. Referenční obraz, který obsahuje značkuje poté porovnán s dalším obrazem, který obsahuje značku. Následně se určí vektor posunutí pomocí srovnání referenčního obrazu, který obsahuje značku, s dalším obrazem, který obsahuje značku. Relativní polohování svazku částic a/nebo laserového paprsku se pak provádí s použitím určeného vektoru posunutí. Pro určení vektoru posunutí se například používá matematická metoda křížové korelace, která je již známá z dosavadního stavu techniky.
V dalším provedení způsobu podle vynálezu je navíc nebo alternativně zajištěno, že svazek částic má předem specifikovatelný proud svazku, přičemž jak vytvoření dalšího obrazu, který obsahuje značku, tak i zpracování, zobrazování a/nebo analýza objektu s použitím svazku částic probíhá s předem specifikovatelným proudem svazku. Alternativně se předpokládá, že svazek částic má předem specifikovatelný proud svazku, přičemž dochází k (i) vytváření referenčního obrazu, který obsahuje značku, (ii) vytváření dalšího obrazu, který obsahuje značku, a (iii) zpracování, zobrazení a/nebo analýze objektu pomocí svazku částic s předem specifikovatelným proudem svazku. Ve výše zmíněných provedeních způsobu podle vynálezu se proto předpokládá, že svazek částic je vždy provozován se stejným proudem svazku (konkrétně předem specifikovatelným proudem svazku), zejména při vytváření referenčního obrazu, který obsahuje značku, při vytváření dalšího obrazu, který obsahuje značku, při zpracování objektu, při zobrazování objektu a/nebo při analýze objektu.
U jedné z dalších forem provedení způsobu podle vynálezu je navíc nebo alternativně předpokládáno, že svazek částic má předem specifikovatelný první proud svazku nebo předem specifikovatelný druhý proud svazku. První proud svazku se liší od druhého proudu svazku. Vytváření dalšího obrazu, který
-5 CZ 2021 - 375 A3 obsahuje značku, pomocí svazku částic probíhá s předem specifikovatelným prvním proudem svazku. Naproti tomu zpracování, zobrazování a/nebo analýza objektu probíhá pomocí svazku částic s předem specifikovatelným druhým proudem svazku. Alternativně k tomu je navrženo, že svazek částic má předem specifikovatelný první proud svazku nebo předem specifikovatelný druhý proud svazku. I zde se první proud svazku liší od druhého proudu svazku. Vytváření referenčního obrazu, který obsahuje značku, a/nebo vytváření dalšího obrazu, který obsahuje značku, probíhá s použitím svazku částic s předem specifikovatelným prvním proudem svazku. Kromě toho probíhá zpracování, zobrazování a/nebo analýza objektu pomocí svazku částic s předem specifikovatelným druhým proudem svazku. Ve výše uvedených provedeních se proto předpokládá, že svazek částic pracuje s různými proudy svazku.
V ještě dalším provedení způsobu podle vynálezu se navíc nebo alternativně předpokládá, že zpracování objektu zahrnuje odstranění materiálu z tohoto objektu. Materiál objektu je například odstraněn svazkem iontů a/nebo laserovým paprskem. Zejména je za tímto účelem k objektu přiváděn alespoň jeden plyn, přičemž tento plyn interaguje se svazkem částic a/nebo laserovým paprskem, jakož i objektem takovým způsobem, že je z objektu odstraňován materiál. Kromě toho nebo alternativně se předpokládá, že zpracování objektu zahrnuje uspořádání materiálu na objektu. Ktomu dochází například přiváděním alespoň jednoho plynu k objektu, přičemž tento plyn interaguje se svazkem částic a/nebo laserovým paprskem tak, že je na objektu uspořádán materiál. Jako svazek částic se například používá svazek iontů. Například je zařízením pro přívod plynu do komory vzorku vpouštěna plynná zdrojová látka - takzvaný prekurzor. Zařízení pro přívod plynu obsahuje určité zejména jehlové zařízení, které je možné umístit do vhodné vzdálenosti několika pm od polohy objektu, takže je možné zavést plynný prekurzor do této polohy co nejpřesněji a ve vysoké koncentraci. Při vzájemném působení svazku iontů s plynným prekurzorem je na povrch objektu vyloučena vrstva látky. Zařízením pro přívod plynu je například do komory vzorku jako plynný prekurzor přiváděn plynný fenanthren. V tomto případě je na povrchu objektu vyloučena vrstva uhlíku nebo vrstva obsahující uhlík. Kromě toho je možné použít plynný prekurzor obsahující kov, s cílem vyloučení kovu nebo vrstvy obsahující tento kov na povrch daného objektu. Takovéto vylučování však není omezeno jen na uhlík a/nebo kovy. Na povrchu objektu mohou být takto vyloučeny libovolné látky, například polovodiče, nevodiče nebo jiné sloučeniny.
Kromě toho se navíc nebo jako alternativně předpokládá, že analýza objektu zahrnuje alespoň jeden z následujících typů analýzy:
- analýza pomocí EDX (kde EDXje zkratka pro energeticky disperzní rentgenovou spektroskopii),
- analýza pomocí WDX (kde WDX je zkratka pro vlnově disperzní rentgenovou spektroskopii),
- analýza pomocí EBSD (kde EBSD je zkratka pro difrakci zpětného rozptylu elektronů),
- analýza pomocí vyšetření TKD (kde TKD je zkratka pro transmisní Kikuchiho difrakci),
- analýza pomocí zobrazování svazkem elektronů a -
- analýza pomocí transmisního detektoru, například detektoru STEM v SEM nebo v kombinovaném přístroji s elektronovým tubusem a s iontovým tubusem.
U provedení způsobu podle vynálezu je navíc nebo alternativně zajištěno, že nabitými částicemi jsou ionty. Jde například o ionty gallia. Vynález však není omezen na výše uvedené ionty. Spíše je pro vynález možné použít jakýkoli typ iontů, který je pro vynález vhodný. Alternativně se předpokládá, že nabitými částicemi jsou elektrony.
U provedení způsobu podle vynálezu je navíc nebo alternativně zajištěno, že tento způsob má některý z následujících znaků:
(i) svazkem částic je první svazek částic. Objekt je zobrazován pomocí drahého svazku částic;
-6 CZ 2021 - 375 A3 (ii) svazkem částic je první svazek částic, přičemž nabité částice prvního svazku částic zahrnují ionty. Objekt je zobrazován druhým svazkem částic, přičemž druhý svazek částic zahrnuje elektrony.
V jednom z dalších provedení způsobu podle vynálezu je navíc nebo alternativně zajištěno, že referenční obraz, který obsahuje značku, je vytvořen vykreslením značky pomocí druhého svazku částic. Tento referenční obraz, který obsahuje značkuje dále označován jako další referenční obraz, který obsahuje značku. Další obraz, který obsahuje značkuje dále vytvářen opětovným vykreslením značky s použitím druhého svazku částic. Tento další obraz, který obsahuje značku, je dále označován jako ještě další obraz, který obsahuje značku. Poté následuje srovnání dalšího referenčního obrazu, který obsahuje značku, s ještě dalším obrazem, který obsahuje značku, a také stanovení vektoru posunutí s použitím srovnání dalšího referenčního obrazu, který obsahuje značku, s ještě dalším obrazem, který obsahuje značku. Vektor posunutí je dále označován jako další vektor posunutí. Relativní polohování svazku částic a/nebo laserového paprsku se provádí s použitím dalšího vektoru posunutí. Pro určení dalšího vektoru posunutí se například používá matematická metoda křížové korelace, která je již známá z dosavadního stavu techniky.
U provedení ještě dalšího způsobu podle vynálezu je navíc nebo alternativně zajištěno, že tento způsob má alespoň některý z následujících znaků:
(i) značka je vytvořena jako značka s alespoň jedním okrajem. Od okraje se rozprostírá první rovina v prvním rozměru a druhá rovina se rozprostírá ve druhém rozměru;
(ii) značka je vytvořena jako značka s alespoň jedním prvním okrajem a alespoň jedním druhým okrajem. První okraj a druhý okraj mohou být orientovány v různých směrech. Jak od prvního okraje, tak i od druhého okraje se rozprostírá vždy první rovina v prvním rozměru a druhá rovina ve druhém rozměru. První roviny jsou přitom například navzájem odlišné. Rovněž se zejména předpokládá, že druhé roviny jsou navzájem odlišné;
(iii) značka je vytvořena jako značka ve tvaru kříže a/nebo ve tvaru mnohoúhelníku;
(iv) značka je vytvořena jako značka ve tvaru hvězdy;
(v) značka je vytvořena jako značka ve tvaru písmene X;
(ví) značka je vytvořena jako značka ve tvaru písmene L;
(vii) značka je vytvořena odstraněním materiálu a/nebo nanesením materiálu.
Vynález se týká i výrobku ve formě počítačového programu s kódem programu, který je načtený do procesoru zařízení pro vytváření svazku, zejména zařízení pro vytváření svazku částic a/nebo zařízení pro vytváření laserového paprsku, nebo do něj může být načten, přičemž tento kód programu při provádění v procesoru řídí zařízení pro vytváření svazku takovým způsobem, aby byl prováděn způsob s minimálně jedním z výše uvedených nebo z dále níže uvedených znaků nebo s kombinací alespoň dvou z výše uvedených nebo z dále uvedených znaků.
Vynález se také týká zařízení pro vytváření svazku či paprsku pro zpracování, zobrazování a/nebo analýzu objektu. Zařízení pro vytváření svazku či paprsku podle vynálezu obsahuje alespoň jeden generátor svazku či paprsku pro vytváření svazku částic s nabitými částicemi nebo laserového paprsku. Nabitými částicemi jsou například elektrony nebo ionty. Kromě toho obsahuje zařízení pro vytváření svazku držák objektu pro umístění objektu. Dále obsahuje zařízení pro vytváření svazku rastrovací zařízení pro rastrování svazku částic a/nebo laserového paprsku po objektu. Dále obsahuje zařízení pro vytváření svazku alespoň jeden detektor pro detekci interakčních částic a/nebo interakčního záření, které vychází či pochází z interakce svazku částic a/nebo laserového paprsku s objektem při dopadu svazku částic a/nebo laserového paprsku na tento objekt. Dále je zařízení pro vytváření svazku podle vynálezu
-7 CZ 2021 - 375 A3 opatřeno alespoň jedním zobrazovacím zařízením pro zobrazování obrazu a/nebo pro analýzu objektu. Zařízení pro vytváření svazku podle vynálezu je rovněž opatřeno alespoň jednou řídicí jednotkou s procesorem, do kterého je načten výrobek ve formě počítačového programu, který obsahuje alespoň jeden z výše uvedených nebo níže uvedených znaků nebo kombinaci alespoň dvou z výše uvedených nebo níže uvedených znaků.
U provedení zařízení pro vytváření svazku podle vynálezu je navíc nebo alternativně zajištěno, že toto zařízení pro vytváření svazku je vytvořeno jako zařízení pro vytváření svazku částic. Obsahuje dále alespoň jednu čočku objektivu za účelem zaostřování svazku částic na objekt.
V dalším provedení zařízení pro vytváření svazku podle vynálezu ve formě zařízení pro vytváření svazku částic je navíc nebo alternativně zajištěno, že generátor svazkuje vytvořen jako první generátor svazku a svazek částic jako první svazek částic s prvními nabitými částicemi. Dále je čočka objektivu vytvořena jako první čočka objektivu za účelem zaostřování prvního svazku částic na objekt. Kromě toho zahrnuje zařízení pro vytváření svazku podle vynálezu alespoň jeden druhý generátor svazku pro vytváření druhého svazku částic s druhými nabitými částicemi. Kromě toho má zařízení pro vytváření svazku podle vynálezu alespoň jednu druhou čočku objektivu pro zaostření druhého svazku částic na objekt.
Zejména se předpokládá, že je zařízení pro vytváření svazku vytvořeno jako zařízení pro vytváření elektronového svazku a/nebo zařízení pro vytváření iontového svazku.
Vynález se také týká držáku objektu pro uspořádání v zařízení pro vytváření svazku částic. Zařízení pro vytváření svazku částic je například zařízení pro vytváření elektronového svazku a/nebo zařízení pro vytváření iontového svazku. Držák objektu podle vynálezu zahrnuje alespoň jedno přidržovací zařízení pro uchycení objektu. Dále obsahuje držák objektu podle vynálezu alespoň jednu značku pro polohování svazku částic ze zařízení pro vytváření svazku částic. Tuto značku lze na držáku objektu vytvořit například pomocí zařízení pro vytváření laserového paprsku a/nebo svazku částic ze zařízení pro vytváření svazku částic. Držák objektu je navržen tak, aby přiváděl nabité částice, které procházejí objektem. Nabitými částicemi mohou být například elektrony nebo ionty. Držák objektu podle vynálezu může být použit například při provádění způsobu podle vynálezu, který je popsaný výše nebo dále v tomto textu.
V jednom z provedení držáku objektu podle vynálezu je navíc nebo alternativně zajištěno, že držák objektu má plochu, která je navržena tak, aby tato plocha byla volně přístupná pro svazek částic ze zařízení pro vytváření svazku částic a/nebo pro laserový paprsek ze zařízení pro vytváření laserového paprsku. Dále je značka uspořádána na plochu držáku objektu. Kromě toho je držák objektu navržen takovým způsobem, že plocha objektu může být uspořádána v úhlu 0° až 360° vůči ploše držáku objektu. Zejména se předpokládá, že může být plocha objektu uspořádána rovnoběžně s plochou držáku objektu. Například se předpokládá, že plocha objektu a plocha držáku objektu můžou být uspořádány v různých rovinách. Alternativně se předpokládá, že plocha objektu a plocha držáku objektu můžou být uspořádány v jediné rovině. Jinými slovy, plocha objektu a plocha držáku objektu jsou ve stejné výšce. Toto provedení držáku objektu podle vynálezu zajišťuje zvláště dobré relativní polohování svazku částic a/nebo laserového paprsku vzhledem k objektu, protože značka a objekt jsou uspořádány v jediné rovině.
U dalšího provedení držáku objektu podle vynálezu je navíc nebo alternativně zajištěno, že značka je umístěna na přidržovacím zařízení. Výše uvedené přidržovací zařízení je například prvním přidržovacím zařízením z mnohých dalších přidržovacích zařízení, která jsou na držáku objektu uspořádána. Další přidržovací zařízení zahrnují zejména druhé přidržovací zařízení. V dalším provedení držáku objektu podle vynálezu je značka uspořádána na druhém přidržovacím zařízení. Naproti tomu může být objekt uspořádán na prvním přidržovacím zařízení. Druhé přidržovací zařízení je na držáku objektu uspořádáno odděleně od prvního přidržovacího zařízení. První přidržovací zařízení a druhé přidržovací zařízení tedy nejsou totožné.
-8 CZ 2021 - 375 A3
U ještě dalšího provedení držáku objektu podle vynálezu je navíc nebo alternativně zajištěno, že tento držák objektu má alespoň některý z následujících znaků:
(i) značka je vytvořena jako značka s alespoň jedním okrajem. Od okraje se rozprostírá první rovina v prvním rozměru a druhá rovina se rozprostírá ve druhém rozměru;
(ii) značka je vytvořena jako značka s alespoň jedním prvním okrajem a alespoň jedním druhým okrajem. První okraj a druhý okraj mohou být orientovány v různých směrech. Od prvního okraje a od druhého okraje se rozprostírá vždy první rovina v prvním rozměru a druhá rovina ve druhém rozměru. První roviny jsou přitom například navzájem odlišné. Rovněž se zejména předpokládá, že druhé roviny jsou navzájem odlišné;
(iii) značka je vytvořena jako značka ve tvaru kříže a/nebo ve tvaru mnohoúhelníku;
(iv) značka je vytvořena jako značka ve tvaru hvězdy;
(v) značka je vytvořena jako značka ve tvaru písmene X;
(ví) značka je vytvořena jako značka ve tvaru písmene L;
(vii) značka je značkou vytvořenou odstraněním materiálu nebo nanesením materiálu.
Díky své konstrukci jsou výše uvedené značky zvláště vhodné pro automatickou detekci a automatické relativní polohování svazku částic a/nebo laserového paprsku vzhledem k objektu.
Objasnění výkresů
Další vhodné nebo praktické formy provedení a výhody vynálezu jsou dále popsány v souvislosti s výkresy. Tyto výkresy zobrazují:
Obr. 1 První forma provedení zařízení pro vytváření svazku částic;
Obr. 2 Druhá forma provedení zařízení pro vytváření svazku částic;
Obr. 3 Třetí forma provedení zařízení pro vytváření svazku částic;
Obr. 4 Schematické znázornění jedné formy stolku pro vzorky jednoho ze zařízení pro vytváření svazku částic;
Obr. 5 Další schematické znázornění stolku pro vzorky podle obrázku 4;
Obr. 6 Schematické znázornění zařízení pro vytváření svazku částic se zařízením pro vytváření laserového paprsku;
Obr. 7 Schematické znázornění systému se zařízení pro vytváření svazku částic a zařízením pro vytváření laserového paprsku;
Obr. 8 Schematické znázornění průběhu provedení způsobu pro provozování zařízení pro vytváření svazku částic;
Obr. 9 Schematické znázornění držáku objektu v bočním pohledu;
Obr. 10 Schematické znázornění držáku objektu podle obrázku 9 v půdorysném pohledu;
-9 CZ 2021 - 375 A3
Obr. 11 Schematické znázornění průběhu dalšího provedení způsobu pro provozování zařízení pro vytváření svazku částic;
Obr. 12 Schematické znázornění dalšího držáku objektu v bočním pohledu;
Obr. 13 Schematické znázornění přidržovacího zařízení držáku objektu podle obrázku 12 v bočním pohledu poté, co byla na držáku objektu vytvořena plocha;
Obr. 14 Další schematické znázornění přidržovacího zařízení držáku objektu podle obrázku 12 v bočním pohledu poté, co byla na držáku objektu vytvořena plocha; a
Obr. 15 Schematické znázornění přidržovacího zařízení držáku objektu v půdorysném pohledu.
Vynález je nyní blíže vysvětlen na základě zařízení pro vytváření svazku částic v podobě SEM a v podobě kombinovaného přístroje, který obsahuje elektronový tubus a iontový tubus. Je výslovně poukázáno na to, že vynález lze použít u každého zařízení pro vytváření svazku částic, především u každého zařízení pro vytváření elektronového svazku a/nebo u každého zařízení pro vytváření iontového svazku.
Obrázek 1 zobrazuje schematické znázornění SEM 100. SEM 100 obsahuje první generátor svazku v podobě zdroje 101 elektronů, který je zkonstruován jako katoda. Dále je SEM 100 opatřen extrakční elektrodou 102. jakož i anodou 103. která je nasazená na jeden z konců trubice 104 vedení svazku v SEM 100. Zdroj 101 elektronů je například zkonstruován jako termický emitor v elektrickém poli. Vynález ovšem není omezen na takovýto zdroj 101 elektronů. Naopak lze použít jakýkoliv zdroj elektronů.
Elektrony, které vystupují ze zdroje 101 elektronů, tvoří svazek primárních elektronů. Elektrony jsou na základě rozdílu potenciálů mezi zdrojem 101 elektronů a anodou 103 urychlovány na potenciál anody. Potenciál anody činí uzdě znázorněné formy provedení 100 V až 35 kV proti potenciálu uzemnění skříně komory 120 vzorku, například 5 kV až 15 kV, zejména 8 kV. Alternativně by ale mohl být i na potenciálu uzemnění.
Na trubici 104 vedení svazku j sou umístěny dvě kondenzorové čočky, a sice první kondenzorová čočka 105 a druhá kondenzorová čočka 106. Přitom j sou vycházeje ze zdroje 101 elektronů v pohledu ve směru první čočky 107 objektivu umístěny nejdříve první kondenzorová čočka 105 a poté druhá kondenzorová čočka 106. Explicitně je poukazováno na to, že další formy provedení SEM 100 mohou obsahovat pouze jednu kondenzorovou čočku. Mezi anodou 103 a první kondenzorovou čočkou 105 je umístěna první clona 108. První clona 108 je společně s anodou 103 a trubicí 104 vedení svazku na vysokonapěťovém potenciálu, a to sice na potenciálu anody 103 nebo na uzemnění. První clona 108 obsahuje množinu otvorů 108A první clony, z nichž jeden je znázorněn na obrázku 1. Existují například dva otvory 108A první clony. Každý z množiny otvorů 108A první clony má jiný průměr otvoru. Prostřednictvím přestavovacího mechanizmu (není znázorněn) je možné nastavit požadovaný otvor 108A první clony do optické osy OA v SEM 100. Explicitně je poukazováno na to, že u dalších forem provedení může být první clona 108 opatřena pouze jedním otvorem 108A clony. U této formy provedení není možné použít přestavovací mechanizmus. První clona 108 je poté vytvořena jako nepohyblivá. Mezi první kondenzorovou čočkou 105 a druhou kondenzorovou čočkou 106 je umístěna nepohyblivá druhá clona 109. Alternativně možné, aby byla druhá clona 109 vytvořena jako pohyblivá.
První čočka 107 objektivu je vybavena pólovými nástavci 110. v nichž je vytvořen otvor. Tímto otvorem prochází trubice 104 vedení svazku. V pólových nástavcích 110 je umístěna cívka 111.
Ve spodní části trubice 104 vedení svazkuje umístěno elektrostatické zpomalovací zařízení. To obsahuje jednu jednotlivou elektrodu 112 a trubicovou elektrodu 113. Trubicová elektroda 113 je umístěná na jednom konci trubice 104 vedení svazku, která je přivrácena k objektu 125, který je umístěný na pohyblivě konstruovaném držáku 114 objektu.
- 10CZ 2021 - 375 A3
Trubicová elektroda 113 je společně s trubicí 104 vedení svazku na potenciálu anody 103. zatímco jednotlivá elektroda 112 jakož i objekt 125 jsou na potenciálu, který je oproti potenciálu anody 103 nižší. V tomto případě je to potenciál uzemnění skříně komory 120 vzorku. Tímto způsobem mohou být elektrony svazku primárních elektronů zbrzděny na požadovanou energii, která je potřebná pro zkoumání objektu 125.
SEM 100 dále obsahuje rastrovací zařízení 115, kterým lze svazek primárních elektronů vychýlit a rastrovat přes objekt 125. Elektrony svazku primárních elektronů přitom interagují s objektem 125. V důsledku interakce vznikají interakční částice a/nebo interakční záření, které jsou detekovány. Jako interakční částice jsou emitovány především elektrony z povrchu nebo oblastí v blízkosti povrchu objektu 125 - takzvané sekundární elektrony - nebo jsou elektrony svazku primárních elektronů zpětně rozptylovány - takzvané zpětně rozptýlené elektrony.
Objekt 125 a jednotlivá elektroda 112 mohou být na rozdílných potenciálech odlišných od uzemnění. Tím je umožněno nastavovat místo zpomalení svazku primárních elektronů ve vztahu k objektu 125. Pokud je zpomalení provedeno například dostatečně blízko objektu 125, jsou chyby zobrazení menší.
K detekci sekundárních elektronů a/nebo zpětně rozptýlených elektronů je v trubici 104 vedení svazku umístěna sestava detektorů, která obsahuje první detektor 116 a druhý detektor 117. První detektor 116 je přitom umístěn podél optické osy OA na straně zdroje, zatímco druhý detektor 117 je umístěn na straně objektu podél optické osy OA v trubici 104 vedení svazku. První detektor 116 a druhý detektor 117 jsou umístěny vzájemně posunuté ve směru optické osy OA SEM 100. Jak první detektor 116. tak i druhý detektor 117 mají každý po jednom průchozím otvoru, kterým může svazek primárních elektronů vstupovat. První detektor 116 a druhý detektor 117 jsou přibližně na potenciálu anody 103 a trubice 104 vedení svazku. Optická osa OA SEM 100 probíhá příslušnými průchozími otvory.
Druhý detektor 117 slouží hlavně k detekci sekundárních elektronů. Sekundární elektrony mají při výstupu z objektu 125 nejdříve nízkou kinetickou energii a libovolné směry pohybu. Díky silnému odsávacímu poli vycházejícímu z trubicové elektrody 113 jsou sekundární elektrony urychlovány ve směru první čočky 107 objektivu. Sekundární elektrony vstupují přibližně rovnoběžně do první čočky 107 objektivu. Průměr svazku sekundárních elektronů zůstává i v první čočce 107 objektivu malý. První čočka 107 objektivu nyní silně působí na sekundární elektrony a vytváří relativně krátké ohnisko sekundárních elektronů s dostatečně ostrými úhly vůči optické ose OA, takže sekundární elektrony se po ohnisku rozbíhají daleko od sebe a dopadnou na druhý detektor 117 na jeho aktivní ploše. Elektrony zpětně rozptýlené na objektu 125 - tedy zpětně rozptýlené elektrony, které vykazují v porovnání se sekundárními elektrony při výstupu z objektu 125 relativně vysokou kinetickou energii - jsou oproti tomu pouze z malé části zaznamenány druhým detektorem 117. Vysoká kinetická energie a úhly zpětně rozptýlených elektronů vůči optické ose OA při výstupu z objektu 125 vedou k tomu, že obvod svazku v nejužším místě, tedy část svazku s minimálním průměrem, zpětně rozptýlených elektronů je v blízkosti druhého detektoru 117. Velká část zpětně rozptýlených elektronů prochází průchozím otvorem druhého detektoru 117. První detektor 116 proto slouží v podstatě k zachycování zpětně rozptýlených elektronů.
U jedné z dalších forem provedení SEM 100 může být první detektor 116 navíc zkonstruován s mřížkou 116A vstřícného pole. Mřížka 116A vstřícného pole je umístěna na straně prvního detektoru 116 orientované směrem k objektu 125. Mřížka vstřícného pole 116A má vzhledem k potenciálu trubice 104 vedení svazku takový negativní potenciál, že se skrze mřížku vstřícného pole 116A k prvnímu detektoru 116 dostanou jen zpětně rozptýlené elektrony s vysokou energií. Navíc nebo alternativně zahrnuje druhý detektor 117 další mřížku vstřícného pole, která je zkonstruována analogicky jako výše uvedená mřížka 116A vstřícného pole prvního detektoru 116 a má analogickou fúnkci.
Dále zahrnuje SEM 100 v komoře 120 vzorku komorový detektor 119. například Everhart-Thomleyův detektor nebo iontový detektor, který má detekční plochu potaženou kovem, který zabraňuje průchodu světla.
- 11 CZ 2021 - 375 A3
Detekční signály generované prvním detektorem 116. druhým detektorem 117 a komorovým detektorem 119 jsou využity pro vytvoření obrazu nebo obrazů povrchu objektu 125.
Výslovně je třeba poukázat na to, že otvory clony první clony 108 a druhé clony 109 jakož i průchozí otvory prvního detektoru 116 a druhého detektoru 117 jsou znázorněny zvětšené. Průchozí otvory prvního detektoru 116 a druhého detektoru 117 mají rozměr ve směru kolmém na optickou osu OA v rozsahu od 0,5 mm do 5 mm. Například jsou vytvořeny jako kruhové a mají průměr v rozsahu od 1 mm do 3 mm ve směru kolmém na optickou osu OA.
Druhá clona 109 je u zde zobrazené formy provedení vytvořena jako děrovaná clona a je opatřena otvorem 118 druhé clony pro průchod svazku primárních elektronů, který má rozměr v rozsahu od 5 pm do 500 pm, například 35 pm. Alternativně se u jedné z dalších forem provedení předpokládá, že druhá clona 109 je opatřena více otvory clony, které mohou být mechanicky posunovány ke svazku primárních elektronů nebo které mohou být za použití elektrických a/nebo magnetických vychylovacích prvků v dosahu paprsku primárních elektronů. Druhá clona 109 je zkonstruována jako clona oddělující jednotlivé tlakové stupně. Tato clona odděluje první prostor, v němž je umístěn zdroj 101 elektronů a v němž panuje ultravysoké vakuum (10-7 hPa až 1012 hPa), od druhého prostoru, ve kterém je vysoké vakuum (10-3 hPa až 10-7 hPa). Druhý prostor je tlakovým meziprostorem trubice 104 vedení svazku, který vede do komory 120 vzorku.
V komoře 120 vzorkuje vakuum. K vytvoření vakua je na komoře 120 vzorku umístěna vývěva (není znázorněna). U formy provedení zobrazené na obrázku 1 je komora 120 vzorku provozována v prvním tlakovém pásmu nebo ve druhém tlakovém pásmu. První tlakové pásmo zahrnuje pouze tlaky menší nebo rovnající se 10-3 hPa, a druhé tlakové pásmo zahrnuje pouze tlaky vyšší než 10-3 hPa. Aby byla zajištěna tato tlaková pásma, je komora 120 vzorku vakuově uzavřena.
Držák 114 objektu je umístěn na stolku 122 pro vzorky. Stolek 122 pro vzorky obsahuje pohybové jednotky, takže držák 114 objektu vytvořen jako pohyblivý ve třech na sebe kolmých směrech, konkrétně ve směru x (první osa stolku), ve směru y (druhá osa stolku) a ve směm z (třetí osa stolku). Kromě toho j e stolek 122 pro vzorky vybaven pohybovými j ednotkami, takže držák 114 obj ektu se může otáčet kolem dvou os otáčení (osy otáčení stolku) uspořádaných navzájem kolmo. Vynález není omezen na výše popsaný stolek 122 pro vzorky. Místo toho může stolek 122 pro vzorky mít další osy posunu a rotace, podél kterých nebo kolem kterých se může držák 114 objektu pohybovat.
SEM 100 dále zahrnuje třetí detektor 121. který je umístěn v komoře 120 vzorku. Přesněji řečeno, třetí detektor 121 je umístěn při pohledu od zdroje 101 elektronů podél optické osy OA za stolkem 122 pro vzorky. Stolek 122 pro vzorky a tím i držák 114 objektu je možné otáčet tak, aby mohl být objekt 125 umístěný na držáku 114 objektu prozařován svazkem primárních elektronů. Při průchodu svazku primárních elektronů zkoumaným objektem 125 interagují elektrony svazku primárních elektronů s materiálem zkoumaného objektu 125. Elektrony procházející zkoumaným objektem 125 jsou detekovány třetím detektorem 121.
Na komoře 120 vzorku je umístěn detektor 500 záření, kterým je detekováno záření pocházející ze vzájemné interakce, například rentgenové záření a/nebo světlo katodové luminiscence. Detektor 500 záření, první detektor 116. druhý detektor 117 a komorový detektor 119 jsou spojené s řídicí jednotkou 123. které je vybavena monitorem 124. Třetí detektor 121 je také spojený s řídicí jednotkou 123. To však není z důvodů zachování přehlednosti znázorněno. Řídicí jednotka 123 zpracovává detekční signály, které jsou generovány prvním detektorem 116. druhým detektorem 117. komorovým detektorem 119. třetím detektorem 121 a/nebo detektorem 500 záření a zobrazuje je ve formě obrazů nebo spekter na monitoru 124.
Řídicí jednotka 123 dále obsahuje databázi 126. do které jsou ukládána data a ze které jsou načítána data. Kromě toho je řídicí jednotka 123 vybavena procesorem 127, do kterého je načten výrobek ve
- 12CZ 2021 - 375 A3 formě počítačového programu s programovým kódem, který, kdyžje proveden, řídí SEM 100 takovým způsobem, že je prováděn způsob podle vynálezu. Toto je blíže pojednáno dále v textu.
SEM 100 je vybaven zařízením 1000 pro přívod plynu, které se používá k přivádění plynného prekurzoru do určité polohy na povrchu objektu 125 a/nebo držáku 114 objektu. Zařízení 1000 pro přívod plynu je vybaveno zásobníkem plynu ve formě zásobníku 1001 prekurzoru. Prekurzor je do zásobníku 1001 prekurzoru vložen například jako pevná, plynná nebo kapalná látka. Zahřátím a/nebo ochlazením prekurzoru se rovnováha mezi pevnou fází, kapalnou fází a plynnou fází přizpůsobí tak, aby byl k dispozici požadovaný tlak par. Jako prekurzor se používá například fenanthren. V tomto případě se na povrchu objektu 125 a/nebo držáku 114 objektu vyloučí v podstatě vrstva uhlíku nebo vrstva obsahující uhlík. Alternativně může být použit například prekurzor obsahující kov, pro nanášení kovu nebo vrstvy obsahující kov na povrch objektu 125 a/nebo držáku 114 objektu. Takovéto vylučování však není omezeno jen na uhlík a/nebo kovy. Na povrchu objektu 125 a/nebo držáku 114 objektu mohou být takto vyloučeny libovolné látky, například polovodiče, nevodiče nebo jiné sloučeniny. Dále se rovněž předpokládá využití prekurzoru ve vzájemné interakci se svazkem částic pro odebrání materiálu z objektu 125 a/nebo držáku 114 objektu.
Zařízení 1000 pro přívod plynu je opatřeno přívodem 1002. Přívod 1002 je ve směru k objektu 125 vybaven jehlovitou kanylou 1003. kterou je možné ustavit do blízkosti povrchu objektu 125 a/nebo držáku 114 objektu, například do vzdálenosti od 10 pm do 1 mm od povrchu objektu 125 a/nebo držáku 114 objektu. Kanyla 1003 je vybavena přívodním otvorem, jehož průměr je například v rozsahu od 10 pm do 1000 pm, zejména v rozsahu od 100 pm do 600 pm. Přívod 1002 je vybaven ventilem 1004. který umožňuje regulovat průtok plynu v přívodu 1002. Vyjádřeno jinými slovy, plyn je při otevření ventilu 1004 plynného prekurzoru veden ze zásobníku 1001 prekurzoru do přívodu 1002 a kanylou 1003 pak k povrchu objektu 125 a/nebo držáku 114 objektu. Když je ventil 1004 uzavřen, je proud plynného prekurzoru k povrchu objektu 125 a/nebo držáku 114 objektu zastaven.
Zařízení 1000 pro přívod plynuje dále opatřeno polohovací jednotkou 1005, která umožňuje nastavení pozice kanyly 1003 ve všech 3 prostorových směrech - konkrétně ve směru x, ve směru y a ve směru z - a nastavení orientace kanyly 1003 prostřednictvím otáčení a/nebo naklápění. Zařízení 1000 pro přívod plynu, a tedy i polohovací jednotka 1005 jsou spojené s řídicí jednotkou 123 SEM 100.
Zásobník 1001 prekurzoru není u dalších forem provedení umístěn přímo na zařízení 1000 pro přívod plynu. U těchto dalších forem provedení se spíše předpokládá, že bude zásobník 1001 prekurzoru umístěn například na stěně místnosti, ve které se SEM 100 nachází.
Zařízení 1000 pro přívod plynu obsahuje jednotku 1006 měření teploty. Jako jednotka 1006 měření teploty je použit například infračervený měřicí přístroj nebo polovodičový teplotní snímač. Vynález však není omezen na použití takovýchto jednotek měření teploty. Jako jednotku měření teploty je spíše možné použít jakoukoli vhodnou jednotku pro měření teploty, která je pro tento vynález vhodná. Zejména může být zajištěno, aby jednotka 1006 měření teploty nebyla umístěna přímo na zařízení 1000 pro přívod plynu, ale například v určité vzdálenosti od zařízení 1000 pro přívod plynu.
Zařízení 1000 pro přívod plynu je také vybaveno jednotkou 1007 nastavení teploty. Jednotkou 1007 nastavení teploty je například ohřívací zařízení, zejména komerčně dostupné infračervené ohřívací zařízení. Alternativně je jednotka 1007 nastavení teploty vytvořena jako ohřívací a/nebo chladicí zařízení, které je například vybaveno topným vodičem a/nebo Peltierovým článkem. Vynález však není omezen na použití takovéto jednotky 1007 nastavení teploty. Pro vynález může být spíše použita jakákoli vhodná jednotka nastavení teploty.
Obrázek 2 zobrazuje zařízení pro vytváření svazku částic v podobě kombinovaného přístroje 200. Kombinovaný přístroj 200 je vybaven dvěma tubusy svazků částic. Kombinovaný přístroj 200 je jednak vybaven SEM 100. jak je již znázorněn na obrázku 1, ovšem bez komory 120 vzorku. Místo toho je SEM 100 umístěn na komoře 201 vzorku. V komoře 201 vzorku je vytvořeno vakuum. K vytvoření vakua je na komoře 201 vzorku umístěna vývěva (není znázorněna). U formy provedení zobrazené na
- 13 CZ 2021 - 375 A3 obrázku 2 je komora 201 vzorku provozována v prvním tlakovém pásmu nebo ve druhém tlakovém pásmu. První tlakové pásmo zahrnuje pouze tlaky menší nebo rovnající se 10 3 hPa, a druhé tlakové pásmo zahrnuje pouze tlaky vyšší než 10-3 hPa. Aby byla zajištěna tato tlaková pásma, je komora 201 vzorku vakuově uzavřena.
V komoře 201 vzorku je umístěn komorový detektor 119. který může být například tvořen EverhartThomleyovým detektorem nebo iontovým detektorem a který je vybaven detekční plochou potaženou kovem, který zabraňuje průchodu světla. Dále jev komoře 201 vzorku umístěn třetí detektor 121.
SEM 100 slouží pro generování prvního svazku částic, konkrétně již dříve výše popsaného svazku primárních elektronů, a má již dříve popsanou optickou osu, která je na obrázku 2 opatřena vztahovou značkou 709 a je v následujícím textu označována jako první osa svazku. Dále je kombinovaný přístroj 200 vybaven zařízením 300 pro vytváření iontového svazku, které je rovněž umístěno na komoře 201 vzorku. Zařízení 300 pro vytváření iontového svazku má rovněž optickou osu, která je na obrázku 2 opatřena vztahovou značkou 710 a která je v následujícím textu označována jako druhá osa svazku.
SEM 100 je vzhledem ke komoře 201 vzorku umístěn vertikálně. Oproti tomu je zařízení 300 pro vytváření iontového svazku umístěno vůči SEM 100 v úhlu od cca 0° do 90°. Na obrázku 2 je například zobrazeno umístění pod úhlem cca 50°. Zařízení 300 pro vytváření iontového svazku je vybaveno druhým generátorem svazku ve formě generátoru 301 svazku iontů. Pomocí generátoru 301 svazku iontů jsou vytvářeny ionty, které tvoří druhý svazek částic v podobě svazku iontů. Ionty jsou urychlovány prostřednictvím extrakční elektrody 302. která je na nastavitelném potenciálu. Druhý svazek částic prochází iontovou optikou zařízení 300 pro vytváření iontového svazku, přičemž iontová optika je vybavena kondenzorovou čočkou 303 a druhou čočku 304 objektivu. Druhá čočka 304 objektivu nakonec tvoří iontovou sondu, která je zaměřená na objekt 125 umístěný v držáku 114 objektu. Držák 114 objektu je umístěn na stolku 122 pro vzorky.
Nad druhou čočkou 304 objektivu (tedy ve směru generátoru 301 svazku iontů) jsou umístěny jedna nastavitelná nebo volitelná clona 306. první sestava 307 elektrod a druhá sestava 308 elektrod, přičemž první sestava 307 elektrod a druhá sestava 308 elektrod jsou zkonstruovány jako rastrovací elektrody. Prostřednictvím první sestavy 307 elektrod a druhé sestavy 308 elektrod je druhý svazek částic rastrován přes povrch objektu 125. přičemž první sestava 307 elektrod působí v prvním směru a druhá sestava 308 elektrod ve druhém směru, který je vůči prvnímu směru opačný. Rastrování tak probíhá například ve směru x. Rastrování ve směru y, který jek tomuto směru kolmý, probíhá prostřednictvím dalších elektrod, pootočených o 90° (nejsou znázorněny) na první sestavě 307 elektrod a na druhé sestavě 308 elektrod.
Jak je objasněno výše, je držák 114 objektu umístěný na stolku 122 pro vzorky. I v případě formy provedení zobrazené na obrázku 2 je stolek 122 pro vzorky vybaven pohybovými jednotkami, takže je držák 114 objektu vytvořen jako pohyblivý ve třech na sebe kolmých směrech, konkrétně ve směru x (první osa stolku), ve směru y (druhá osa stolku) a ve směru z (třetí osa stolku). Kromě toho je stolek 122 pro vzorky vybaven pohybovými jednotkami, takže držák 114 objektu se může otáčet kolem dvou os otáčení (osy otáčení stolku) uspořádaných navzájem kolmo.
Vzdálenosti mezi jednotlivými jednotkami kombinovaného přístroje 200 znázorněného na obrázku 2 jsou znázorněny nadsazeně, aby byly lépe znázorněny jednotlivé jednotky kombinovaného přístroje 200.
Na komoře 201 vzorku je umístěn detektor 500 záření, kterým je detekováno interakční záření, například rentgenové záření a/nebo světlo katodové luminiscence. Detektor 500 záření ie spojen s řídicí jednotkou 123. která je vybavena monitorem 124.
Řídicí jednotka 123 zpracovává detekční signály, které jsou generovány prvním detektorem 116, druhým detektorem 117 (není na obrázku 2 zobrazený), komorovým detektorem 119. třetím detektorem 121 a/nebo detektorem 500 záření, a zobrazuje je ve formě obrazů nebo spekter na monitoru 124.
- 14CZ 2021 - 375 A3
Řídicí jednotka 123 dále obsahuje databázi 126, do které jsou ukládána data a ze které jsou načítána data. Kromě toho je řídicí jednotka 123 vybavena procesorem 127. do kterého je načten výrobek ve formě počítačového programu s programovým kódem, který, když je proveden, řídí kombinované zařízení 200 takovým způsobem, že je prováděn způsob podle vynálezu. Toto je blíže pojednáno dále v textu.
Kombinovaný přístroj 200 je vybaven zařízením 1000 pro přívod plynu, které se používá k přivádění plynného prekurzoru do určité polohy na povrchu objektu 125 a/nebo držáku 114 objektu. Zařízení 1000 pro přívod plynuje vybaveno zásobníkem plynu ve formě zásobníku 1001 prekurzoru. Prekurzor je do zásobníku 1001 prekurzoru vložen například jako pevná, plynná nebo kapalná látka. Zahřátím a/nebo ochlazením prekurzoru se rovnováha mezi pevnou fází, kapalnou fází a plynnou fází přizpůsobí tak, aby byl k dispozici požadovaný tlak par.
Jako prekurzor se používá například fenanthren. V tomto případě se na povrchu objektu 125 a/nebo držáku 114 objektu vyloučí v podstatě vrstva uhlíku nebo vrstva obsahující uhlík. Alternativně může být použit například prekurzor obsahující kov, pro nanášení kovu nebo vrstvy obsahující kov na povrch objektu 125 a/nebo držáku 114 objektu. Takovéto vylučování však není omezeno jen na uhlík a/nebo kovy. Na povrchu objektu 125 a/nebo držáku 114 objektu mohou být takto vyloučeny libovolné látky, například polovodiče, nevodiče nebo jiné sloučeniny. Dále se rovněž předpokládá využití prekurzoru ve vzájemné interakci s jedním z obou svazků částic za účelem odebrání materiálu z objektu 125 a/nebo držáku 114 objektu.
Zařízení 1000 pro přívod plynu je opatřeno přívodem 1002. Přívod 1002 je ve směru k objektu 125 a/nebo držáku 114 objektu vybaven jehlovitou kanylou 1003, kterou je možné ustavit do blízkosti povrchu objektu 125 a/nebo držáku 114 objektu, například do vzdálenosti od 10 pm do 1 mm od povrchu objektu 125 a/nebo držáku 114 objektu. Kanvla 1003 je vybavena přívodním otvorem, jehož průměr je například v rozsahu od 10 pm do 1000 pm, zejména v rozsahu od 100 pm do 600 pm. Přívod 1002 je vybaven ventilem 1004, který umožňuje regulovat průtok plynu v přívodu 1002. Vyjádřeno jinými slovy, plyn je při otevření ventilu 1004 plynného prekurzoru veden ze zásobníku 1001 prekurzoru do přívodu 1002 a kanylou 1003 pak k povrchu objektu 125 a/nebo držáku 114 objektu. Když je ventil 1004 uzavřen, je proud plynného prekurzoru k povrchu objektu 125 a/nebo držáku 114 objektu zastaven.
Zařízení 1000 pro přívod plynuje dále opatřeno polohovací jednotkou 1005. která umožňuje nastavení pozice kanyly 1003 ve všech 3 prostorových směrech - konkrétně ve směru x, ve směru y a ve směru z - a nastavení orientace kanyly 1003 prostřednictvím otáčení a/nebo naklápění. Zařízení 1000 pro přívod plynu, a tedy i polohovací jednotka 1005 jsou spojené s řídicí jednotkou 123 kombinovaného přístroje 200.
Zásobník 1001 prekurzoru není u dalších forem provedení umístěn přímo na zařízení 1000 pro přívod plynu. U těchto dalších forem provedení se spíše předpokládá, že bude zásobník 1001 prekurzoru umístěn například na stěně místnosti, ve které se kombinovaný přístroj 200 nachází.
Zařízení 1000 pro přívod plynu obsahuje jednotku 1006 měření teploty. Jako jednotka 1006 měření teploty je použit například infračervený měřicí přístroj nebo polovodičový teplotní snímač. Vynález však není omezen na použití takovýchto jednotek měření teploty. Jako jednotku měření teploty je spíše možné použít jakoukoli vhodnou jednotku pro měření teploty, která je pro tento vynález vhodná. Zejména může být zajištěno, aby jednotka 1006 měření teploty nebyla umístěna přímo na zařízení 1000 pro přívod plynu, ale například v určité vzdálenosti od zařízení 1000 pro přívod plynu.
Zařízení 1000 pro přívod plynu je také vybaveno jednotkou 1007 nastavení teploty. Jednotkou 1007 nastavení teploty je například ohřívací zařízení, zejména komerčně dostupné infračervené ohřívací zařízení. Alternativně je jednotka 1007 nastavení teploty vytvořena jako ohřívací a/nebo chladicí zařízení, které je například vybaveno topným vodičem a/nebo Peltierovým článkem. Vynález však není omezen na použití takovéto jednotky 1007 nastavení teploty. Pro vynález může být spíše použita jakákoli vhodná jednotka nastavení teploty.
- 15 CZ 2021 - 375 A3
Obrázek 3 představuje schematické zobrazení další formy provedení zařízení pro vytváření svazku částic podle vynálezu. Tato forma provedení zařízení pro vytváření svazku částic je opatřena vztahovou značkou 400 a zahrnuje zrcadlový korektor pro korekci například chromatické a/nebo sférické aberace. Zařízení 400 pro vytváření svazku částic zahrnuje tubus 401 svazku částic, který je zkonstruován jako elektronový tubus a v podstatě odpovídá elektronovému tubusu korigovaného SEM. Zařízení 400 pro vytváření svazku částic však není omezeno na SEM se zrcadlovým korektorem. Zařízení 400 pro vytváření svazku částic může spíše zahrnovat jakýkoli druh korekčních jednotek.
Tubus 401 svazku částic zahrnuje generátor svazku částic v podobě zdroje 402 elektronů (katoda), extrakční elektrody 403 a anody 404. Zdroj 402 elektronů je například zkonstruován jako termický emitorv elektrickém poli. Elektrony, které vycházejí ze zdroje 402 elektronů, jsou urychlovány směrem k anodě 404 kvůli rozdílu potenciálů mezi zdrojem 402 elektronů a anodou 404. Takto je vytvářen svazek částic v podobě svazku elektronů podél první optické osy OA1.
Poté co svazek částic vystoupil ze zdroje 402 elektronů, je tento svazek částic veden podél dráhy svazku, která odpovídá první optické ose OA1. K vedení svazku částic se používají první elektrostatická čočka 405, druhá elektrostatická čočka 406 a třetí elektrostatická čočka 407.
Dále se svazek částic podél dráhy paprsku nastavuje za použití zařízení pro vedení paprsku. Zařízení pro vedení paprsku zahrnuje utéto formy provedení jednotku pro nastavení zdroje se dvěma magnetickými vychylovacími jednotkami 408. které jsou umístěné podél první optické osy OA1. Kromě toho zahrnuje zařízení 400 pro vytváření svazku částic elektrostatickou vychylovací jednotku svazku. První elektrostatická vychylovací jednotka 409 svazku, kteráje u jedné z dalších forem provedení zkonstruována také jako kvadrupól, je umístěna mezi druhou elektrostatickou čočkou 406 a třetí elektrostatickou čočkou 407. První elektrostatická vychylovací jednotka 409 svazku je rovněž umístěna za magnetickými vychylovacími jednotkami 408. První multipólová jednotka 409A ve formě první magnetické vychylovací jednotky je umístěna na jedné straně první elektrostatické vychylovací jednotky 409 svazku. Kromě toho je na druhé straně první elektrostatické vychylovací jednotky 409 svazku umístěna druhá multipólová jednotka 409B v podobě druhé magnetické vychylovací jednotky. První elektrostatická vychylovací jednotka 409 svazku, první multipólová jednotka 409A a druhá multipólová jednotka 409B jsou nastavovány za účelem nastavení svazku částic vzhledem k ose třetí elektrostatické čočky 407 a vstupního okénka zařízení 410 pro vychylování svazku. První elektrostatická vychylovací jednotka 409 svazku, první multipólová jednotka 409A a druhá multipólová jednotka 409B mohou působit společně jako Wienův filtr. Na vstupu vychylovacího zařízení 410 svazku je uspořádán další magnetický vychylovací prvek 432.
Vychylovací zařízení 410 svazku se používá jako vychylovací zařízené pro svazek částic, které svazek částic určitým způsobem vychyluje. Vychylovací zařízení 410 svazku zahrnuje několik magnetických sektorů, a sice první magnetický sektor 411A. druhý magnetický sektor 411B. třetí magnetický sektor 411C, čtvrtý magnetický sektor 411D, pátý magnetický sektor 411E, šestý magnetický sektor 411F a sedmý magnetický sektor 411G. Svazek částic vstupuje do vychylovacího zařízení 410 svazku podél první optické osy OA1 a je vychylovacím zařízením 410 svazku vychylován ve směru druhé optické osy OA2. Vychýlení svazku probíhá prostřednictvím prvního magnetického sektoru 411A. prostřednictvím druhého magnetického sektoru 411B a prostřednictvím třetího magnetického sektoru 411C. a to o úhel od 30° do 120°. Druhá optická osa OA2 je vůči první optické ose OA1 orientována pod stejným úhlem. Vychylovací zařízení 410 svazku vychyluje i ten svazek částic, který je veden podél druhé optické osy OA2, a to ve směru třetí optické osy OA3. Vychýlení svazku je zajištěno třetím magnetickým sektorem 411C. čtvrtým magnetickým sektorem 41 ID a pátým magnetickým sektorem 411E. U formy provedení z obrázku 3 je vychýlení směrem ke druhé optické ose OA2 a ke třetí optické ose OA3 zajištěno vychýlením svazku částic v úhlu 90°. Třetí optická osa OA3 tak probíhá koaxiálně vůči první optické ose OA1. Je však třeba poukázat na to, že zařízení 400 pro vytváření svazku částic podle zde popsaného vynálezu není omezeno na úhel vychýlení 90°. Místo toho může být ve vychylovacím zařízení 410 svazku zvolen jakýkoli vhodný úhel vychýlení, například 70° nebo 110°,
- 16CZ 2021 - 375 A3 takže první optická osa OA1 pak neprobíhá koaxiálně vůči třetí optické ose OA3. Ohledně dalších podrobností o vychylovacím zařízení 410 svazkuje odkazováno na dokument WO 02/067286 A2.
Poté co byl svazek částic vychýlen prvním magnetickým sektorem 411A, druhým magnetickým sektorem 411B a třetím magnetickým sektorem 411C. je svazek částic veden podél druhé optické osy OA2. Svazek částic je veden k elektrostatickému zrcadlu 414 a na své trajektorii k elektrostatickému zrcadlu 414 probíhá podél čtvrté elektrostatické čočky 415, třetí multipólové jednotky 416A v podobě magnetické vychylovací jednotky, druhé elektrostatické vychylovací jednotky 416 svazku, třetí elektrostatické vychylovací jednotky 417 svazku a čtvrté multipólové jednotky 416B v podobě magnetické vychylovací jednotky. Elektrostatické zrcadlo 414 zahrnuje první zrcadlovou elektrodu 413A, druhou zrcadlovou elektrodu 413B a třetí zrcadlovou elektrodu 413C. Elektrony svazku částic, které se zpětně odrážejí na elektrostatickém zrcadle 414. probíhají znovu podél druhé optické osy OA2 a znovu vstupují do vychylovacího zařízení 410 svazku. Poté jsou třetím magnetickým sektorem 411C. čtvrtým magnetickým sektorem 41 ID a pátým magnetickým sektorem 411E vychylovány ke třetí optické ose OA3.
Elektrony svazku částic vycházejí z vychylovacího zařízení 410 svazku a jsou vedeny podél třetí optické osy OA3 k objektu 425, který má být zkoumán a který je umístěný v držáku 114 objektu. Na trajektorii k objektu 425 je svazek částic veden k páté elektrostatické čočce 418. trubici 420 vedení svazku, páté multipólové jednotce 418A, šesté multipólové jednotce 418B a čočce 421 objektivu. Pátou elektrostatickou čočkou 418 je elektrostatická imerzní čočka. Svazek částic je pátou elektrostatickou čočkou 418 zpomalen nebo urychlen na elektrický potenciál trubice vedení 420 svazku.
Svazek částic je čočkou 421 objektivu zaostřen do roviny zaostření, v níž je umístěn objekt 425. Držák 114 objektu je umístěný na pohyblivém stolku 424 pro vzorky. Pohyblivý stolek 424 pro vzorky je umístěn v komoře 426 vzorku zařízení 400 pro vytváření svazku částic. Stolek 424 pro vzorky obsahuje pohybové jednotky, takže držák 114 objektu vytvořen jako pohyblivý ve třech na sebe kolmých směrech, konkrétně ve směru x (první osa stolku), ve směru y (druhá osa stolku) a ve směm z (třetí osa stolku). Kromě toho j e stolek 424 pro vzorky vybaven pohybovými j ednotkami, takže držák 114 obj ektu se může otáčet kolem dvou os otáčení (osy otáčení stolku) uspořádaných navzájem kolmo.
V komoře 426 vzorku je vytvořeno vakuum. K vytvoření vakua je na komoře 426 vzorku umístěna vývěva (není znázorněna). U formy provedení zobrazené na obrázku 3 je komora 426 vzorku provozována v prvním tlakovém pásmu nebo ve druhém tlakovém pásmu. První tlakové pásmo zahrnuje pouze tlaky menší nebo rovnající se 10-3 hPa, a druhé tlakové pásmo zahrnuje pouze tlaky vyšší než 10' 3 hPa. Aby byla zajištěna tato tlaková pásma, je komora 426 vzorku vakuově uzavřena.
Čočka 421 objektivu může být zkonstruována jako kombinace magnetické čočky 422 a šesté elektrostatické čočky 423. Konec trubice vedení 420 svazku dále může být elektrodou elektrostatické čočky. Částice ze zařízení pro vytváření svazku částic jsou - poté, co opustí trubici vedení 420 svazku - zbrzděny na potenciál objektu 425. Čočka 421 objektivu není omezena na kombinaci magnetické čočky 422 a šesté elektrostatické čočky 423. Čočka 421 objektivu může naopak nabývat jakékoliv vhodné formy provedení. Například může být čočka 421 objektivu zkonstruována jako čistě magnetická čočka nebo jako čistě elektrostatická čočka.
Svazek částic, který je zaostřován na objekt 425. interaguje s objektem 425. Vznikají přitom interakční částice. Především jsou z objektu 425 emitovány sekundární elektrony nebojsou na objektu 425 zpětně rozptylovány zpětně rozptýlené elektrony. Sekundární elektrony nebo zpětně rozptýlené elektrony jsou znovu urychlovány a vedeny do trubice vedení 420 svazku podél třetí optické osy OA3. Dráhy sekundárních elektronů a zpětně rozptýlených elektronů probíhají především po trajektorii průběhu svazku částic v opačném směru než svazek částic.
Zařízení 400 pro vytváření svazku částic zahrnuje první analytický detektor 419. který je umístěn podél trajektorie svazku mezi vychylovacím 410 zařízením svazku a čočkou 421 objektivu. Sekundární elektrony, které probíhají ve směrech, které vzhledem ke třetí optické ose OA3 probíhají pod velkým
- 17CZ 2021 - 375 A3 úhlem, jsou detekovány prvním analytickým detektorem 419. Zpětně rozptýlené elektrony a sekundární elektrony, které mají vzhledem ke třetí optické ose OA3 na místě prvního analytického detektoru 419 malou osovou vzdálenost - tzn. zpětně rozptýlené elektrony a sekundární elektrony, které na místě prvního analytického detektoru 419 vykazují malou vzdálenost od třetí optické osy OA3 - vstupují do vychylovacího zařízení 410 svazku a jsou vychylovány pátým magnetickým sektorem 411E. šestým magnetickým sektorem 41 IF a sedmým magnetickým sektorem 411G podél trajektorie 427 detekovaného svazku ke druhému analytickému detektoru 428. Uhel vychýlení činí například 90° nebo 110°.
První analytický detektor 419 vytváří detekční signály, které jsou z velké části vytvářeny emitovanými sekundárními elektrony. Detekční signály, které jsou generovány prvním analytickým detektorem 419, jsou vedeny do řídicí jednotky 123 a jsou využity pro získání informací o vlastnostech oblasti interakce zaměřeného svazku částic s objektem 425. Zaostřený svazek částic je přes objekt 425 rastrován především za použití rastrovacího zařízení 429. Díky detekčním signálům, které jsou vytvářeny prvním analytickým detektorem 419. pak může být vytvořena fotografie rastrované oblasti objektu 425 a zobrazena na zobrazovací jednotce. Zobrazovací jednotkou je například monitor 124. který je umístěný na řídicí jednotce 123.
Rovněž druhý analytický detektor 428 je spojený s řídicí jednotkou 123. Detekční signály druhého analytického detektoru 428 jsou vedeny do řídicí jednotky 123 a jsou používány pro vytvoření obrazu rastrované oblasti objektu 425 a jeho zobrazení na zobrazovací jednotce. Zobrazovací jednotkou je například monitor 124. který je umístěný na řídicí jednotce 123.
Na komoře 426 vzorku je umístěn detektor 500 záření, kterým je detekováno záření pocházející ze vzájemné interakce, například rentgenové záření a/nebo světlo katodové luminiscence. Detektor 500 záření je spojen s řídicí jednotkou 123. která je vybavena monitorem 124. Řídicí jednotka 123 zpracovává detekční signály, které jsou generovány detektorem 500 záření, a zobrazuje je ve formě obrazů a/nebo spekter na monitoru 124.
Řídicí jednotka 123 dále obsahuje databázi 126. do které jsou ukládána data a ze které jsou načítána data. Kromě toho je řídicí jednotka 123 vybavena procesorem 127, do kterého je načten výrobek ve formě počítačového programu s programovým kódem, který v provedení řídí zařízení 400 pro vytváření svazku částic takovým způsobem, že je prováděn způsob podle vynálezu. Toto je blíže pojednáno dále v textu.
Zařízení 400 pro vytváření svazku částic je vybaveno zařízením 1000 pro přívod plynu, které se používá k přivádění plynného prekurzoru do určité polohy na povrchu objektu 425 a/nebo držáku 114 objektu. Zařízení 1000 pro přívod plynu je vybaveno zásobníkem plynu ve formě zásobníku 1001 prekurzoru. Prekurzor je do zásobníku 1001 prekurzoru vložen například jako pevná, plynná nebo kapalná látka. Zahřátím a/nebo ochlazením prekurzoru se rovnováha mezi pevnou fází, kapalnou fází a plynnou fází přizpůsobí tak, aby byl k dispozici požadovaný tlak par.
Jako prekurzor se používá například fenanthren. V tomto případě se na povrchu objektu 425 a/nebo držáku 114 objektu vyloučí v podstatě vrstva uhlíku nebo vrstva obsahující uhlík. Alternativně může být použit například prekurzor obsahující kov, pro nanášení kovu nebo vrstvy obsahující kov na povrch objektu 425 a/nebo držáku 114 objektu. Takovéto vylučování však není omezeno jen na uhlík a/nebo kovy. Na povrchu objektu 425 a/nebo držáku 114 objektu mohou být takto vyloučeny libovolné látky, například polovodiče, nevodiče nebo jiné sloučeniny. Dále se rovněž předpokládá využití prekurzoru ve vzájemné interakci se svazkem částic za účelem odebrání materiálu z objektu 425 a/nebo držáku 114 objektu.
Zařízení 1000 pro přívod plynu je opatřeno přívodem 1002. Přívod 1002 je ve směru k objektu 425 a/nebo držáku 114 objektu vybaven jehlovitou kanylou 1003. kterou je možné ustavit do blízkosti povrchu objektu 425 a/nebo držáku 114 objektu, například do vzdálenosti od 10 pm do 1 mm od povrchu objektu 425 a/nebo držáku 114 objektu. Kanyla 1003 je vybavena přívodním otvorem, jehož
- 18CZ 2021 - 375 A3 průměr je například v rozsahu od 10 pm do 1000 pm, zejména v rozsahu od 100 pm do 600 pm. Přívod 1002 je vybaven ventilem 1004. který umožňuje regulovat průtok plynu v přívodu 1002. Vyjádřeno jinými slovy, plyn je při otevření ventilu 1004 plynného prekurzoru veden ze zásobníku 1001 prekurzoru do přívodu 1002 a kanylou 1003 pak k povrchu objektu 425 a/nebo držáku 114 objektu. Když je ventil 1004 uzavřen, je proud plynného prekurzoru k povrchu objektu 425 a/nebo držáku 114 objektu zastaven.
Zařízení 1000 pro přívod plynuje dále opatřeno polohovací jednotkou 1005, která umožňuje nastavení pozice kanyly 1003 ve všech 3 prostorových směrech - konkrétně ve směru x, ve směru y a ve směru z - a nastavení orientace kanyly 1003 prostřednictvím otáčení a/nebo naklápění. Zařízení 1000 pro přívod plynu, a tedy i polohovací jednotka 1005 jsou spojené s řídicí jednotkou 123 zařízení 400 pro vytváření svazku částic.
Zásobník 1001 prekurzoru není u dalších forem provedení umístěn přímo na zařízení 1000 pro přívod plynu. U těchto dalších forem provedení se spíše předpokládá, že bude zásobník 1001 prekurzoru umístěn například na stěně místnosti, ve které se zařízení 400 pro vytváření svazku částic nachází.
Zařízení 1000 pro přívod plynu obsahuje jednotku 1006 měření teploty. Jako jednotka 1006 měření teploty je použit například infračervený měřicí přístroj nebo polovodičový teplotní snímač. Vynález však není omezen na použití takovýchto jednotek měření teploty. Jako jednotku měření teploty je spíše možné použít jakoukoli vhodnou jednotku pro měření teploty, která je pro tento vynález vhodná.
Zejména může být zajištěno, aby jednotka 1006 měření teploty nebyla umístěna přímo na zařízení 1000 pro přívod plynu, ale například v určité vzdálenosti od zařízení 1000 pro přívod plynu.
Zařízení 1000 pro přívod plynu je také vybaveno jednotkou 1007 nastavení teploty. Jednotkou 1007 nastavení teploty je například ohřívací zařízení, zejména komerčně dostupné infračervené ohřívací zařízení. Alternativně je jednotka 1007 nastavení teploty vytvořena jako ohřívací a/nebo chladicí zařízení, které je například vybaveno topným vodičem a/nebo Peltierovým článkem. Vynález však není omezen na použití takovéto jednotky 1007 nastavení teploty. Pro vynález může být spíše použita jakákoli vhodná jednotka nastavení teploty.
Níže bude diskutován stolek 122 pro vzorky SEM 100. stolek 122 pro vzorky kombinovaného přístroje 200 a stolek 424 pro vzorky zařízení 400 pro vytváření svazku částic. Stolek 122. 424 pro vzorky je vytvořen jako stolek pro vzorky s pohybovou jednotkou, která je schematicky zobrazena na obrázcích 4 a 5. Je třeba poukázat na to, že vynález není omezený na zde popsaný stolek 122, 424 pro vzorky. Vynález může spíše zahrnovat jakýkoli pohyblivý stolek pro vzorky, který je pro vynález vhodný.
Na stolku 122, 424 pro vzorky je umístěný držák 114 objektu, ve kterém je pak umístěný objekt 125, 425. Stolek 122. 424 pro vzorky zahrnuje pohybové prvky, které zajišťují pohyb držáku 114 objektu takovým způsobem, aby bylo možné na objektu 125. 425 zkoumat zájmovou oblast pomocí svazku částic. Pohybové jednotky jsou schematicky zobrazené na obrázku 4 a 5 a jsou popsány dále v textu.
Stolek 122. 424 pro vzorky zahrnuje první pohybovou jednotku 600 na skříni 601 komory 120. 201. 426 vzorku, ve které je umístěný stolek 122, 424 pro vzorky. První pohybovou jednotkou 600 je umožněn pohyb držáku 114 objektu podél osy z (třetí osa stolku). Dále je použita druhá pohybová jednotka 602. Druhá pohybová jednotka 602 umožňuje otáčení držáku 114 objektu kolem první osy 603 otáčení stolku, která je rovněž označována jako osa naklápění. Tato druhá pohybová jednotka 602 slouží pro naklápění objektu 125, 425 kolem první osy 603 otáčení stolku.
Na druhé pohybové jednotce 602 je zase umístěna třetí pohybová jednotka 604. která je tvořena vedením pro saně a zajišťuje, aby byl držák 114 objektu pohyblivý ve směru osy x (první osa stolku). Výše uvedené saně jsou opět další pohybovou jednotkou, konkrétně čtvrtou pohybovou jednotkou 605. Čtvrtá pohybová jednotka 605 je vytvořena tak, že je držák 114 objektu pohyblivý ve směru y (druhá osa stolku). K tomu je čtvrtá pohybová jednotka 605 vybavena vedením, ve kterém jsou vedené další saně, na kterých je pak umístěn držák 609 s držákem 114 objektu, jakož i objektem 125, 425.
- 19CZ 2021 - 375 A3
Držák 609 je opět proveden s pátou pohybovou jednotkou 606. která umožňuje otáčení držáku 609 kolem druhé osy 607 otáčení stolku. Druhá osa 607 otáčení stolku je orientována kolmo na první osu 603 otáčení stolku.
Podle výše popsaného uspořádání má stolek 122. 424 pro vzorky ve zde diskutované formě provedení následující kinematický řetězec: první pohybová jednotka 600 (pohyb podél osy z) - druhá pohybová jednotka 602 (otáčení kolem první osy 603 otáčení stolku) - třetí pohybová jednotka 604 (pohyb podél osy x) - čtvrtá pohybová jednotka 605 (pohyb podél osy y) - pátá pohybová jednotka 606 (otáčení kolem druhé osy 607 otáčení stolku).
U další (nezobrazené) formy provedení je předpokládáno umístění dalších pohybových jednotek na stolku 122. 424 pro vzorky, takže by byly umožněny pohyby podél dalších translačních os a/nebo kolem dalších os otáčení.
Jak je patrné z obrázku 5, je každá z výše uvedených pohybových jednotek spojena s jedním krokovým motorem. Takto je první pohybová jednotka 600 spojena s prvním krokovým motorem Ml a je poháněna hnací silou zajišťovanou tímto prvním krokovým motorem Ml. Druhá pohybová jednotka 602 je spojena s druhým krokovým motorem M2, který druhou pohybovou jednotku 602 pohání. Třetí pohybová jednotka 604 je zase spojena s třetím krokovým motorem M3. Třetí krokový motor M3 poskytuje hnací sílu pro pohánění třetí pohybové jednotky 604. Čtvrtá pohybová jednotka 605 je spojena se čtvrtým krokovým motorem M4. přičemž čtvrtý krokový motor M4 pohání čtvrtou pohybovou jednotku 605. Dále je pátá pohybová jednotka 606 spojena s pátým krokovým motorem M5. Pátý krokový motor M5 poskytuje hnací sílu, která pohání pátou pohybovou jednotku 606. Výše uvedené krokové motory Ml až M5 jsou řízené řídicí jednotkou 608 (viz obrázek 5).
Obrázek 6 znázorňuje schematické znázornění dalšího provedení SEM 100, kombinovaného přístroje 200 a zařízení 400 pro vytváření svazku částic se stolkem 122, 424 pro vzorky. Toto provedení zahrnuje zařízení 700 pro vytváření laserového paprsku, které je uspořádáno v a/nebo na SEM 100. kombinovaném přístroji 200 a zařízení 400 pro vytváření svazku částic. Obrázek 7 ukazuje schematické znázornění ještě dalšího provedení SEM 100, kombinovaného přístroje 200 a zařízení 400 pro vytváření svazku částic se stolkem 122. 424 pro vzorky. V tomto provedení není zařízení 700 pro vytváření laserového paprsku uspořádáno v nebo na SEM 100. kombinovaném přístroji 200 a zařízení 400 pro vytváření svazku částic. Zařízení 700 pro vytváření laserového paprsku je spíše zařízením, které je oddělené od SEM 100, kombinovaného přístroje 200 a zařízení 400 pro vytváření svazku částic.
Níže jsou podrobněji vysvětlena provedení způsobu podle vynálezu s ohledem na kombinovaný přístroj 200. Způsob podle vynálezu se provádí analogicky s ohledem na SEM 100 a/nebo zařízení 400 pro vytváření svazku částic.
Obrázek 8 ukazuje schematické zobrazení průběhu provedení způsobu podle vynálezu. V kroku SI způsobuje nejprve vytvořen objekt 125. který má být později zpracován, zobrazován a/nebo analyzován. V tomto provedení způsobu podle vynálezu je objekt 125 například ve formě řezu materiálu uvolněn z kusu materiálu pomocí svazku iontů kombinovaného přístroje 200 a tím z kusu materiálu vypreparován. Uvolnění probíhá například odstraněním materiálu z kusu materiálu pomocí svazku iontů. Za tímto účelem může být ke kusu materiálu například přiváděn plyn prostřednictvím přívodního potrubí 1002 zařízení pro dodávku plynu 1000. který interaguje se svazkem iontů a materiálem daného kusu materiálu takovým způsobem, že je tento materiál z kusu materiálu odstraněn. Kus materiálu má například velikost v rozsahu milimetrů. Naproti tomu vypreparovaný objekt 125 ve formě řezu má například tloušťku několika mikrometrů (zejména 3 pm až 6 pm) a například délku několika 10 pm (zejména 30 pm až 80 pm).
V dalším kroku S2 způsobuje vypreparovaný objekt 125 umístěn na držák 114 objektu. Za tímto účelem je vypreparovaný objekt 125 například připojen k mikromanipulátoru (není zobrazen) a zvednut z kusu materiálu. Upevnění se provádí například přiváděním plynu ze zařízení 1000 pro přívod plynu do místa
-20CZ 2021 - 375 A3 spojení mezi objektem 125 a mikromanipulátorem. V důsledku interakce svazku iontů s plynem je do místa spojení nanesen materiál takovým způsobem, že je vypreparovaný objekt 125 připojen k mikromanipulátoru. Objekt 125 je poté umístěn na držák 114 objektu. Za tímto účelem je objekt 125 připevněn k držáku 114 objektu a opět uvolněn z mikromanipulátoru. Upevnění k držáku 114 objektu se opět provádí například přiváděním plynu ze zařízení 1000 pro přívod plynu do místa spojení mezi objektem 125 a držákem 114 objektu. V důsledku interakce svazku iontů s plynem je do místa spojení nanesen materiál takovým způsobem, že je objekt 125 připojen k držáku 114 objektu. Objekt 125 je znovu uvolněn například přiváděním plynu ze zařízení 1000 pro přívod plynu do místa spojení mezi objektem 125 a mikromanipulátorem. V důsledku interakce svazku iontů s plynem je materiál z místa spojení odebrán takovým způsobem, že je objekt 125 uvolněn od mikromanipulátoru. Alternativně se předpokládá, že k uvolnění objektu 125 od mikromanipulátoru je použit pouze svazek iontů, kterým je odstraněn pouze materiál v místě spojení objektu 125 s mikromanipulátorem. V dalším provedení způsobu podle vynálezu je navíc nebo alternativně zajištěno uspořádání objektu 125 přímo na držáku 114 objektu bez toho, aby došlo k mezikroku, konkrétně umístění objektu 125 na mikromanipulátoru.
Obrázek 9 zobrazuje schematické znázornění držáku 114 objektu v bočním pohledu. Držák 114 objektu zahrnuje první přidržovací zařízení 701, druhé přidržovací zařízení 702, třetí přidržovací zařízení 703 a čtvrté přidržovací zařízení 704. Výše uvedená přidržovací zařízení 701 až 704 jsou uspořádána ve vzájemném odstupu a slouží k umístění objektu 125. V provedení držáku 114 objektu znázorněném na obrázku 9 je objekt 125 umístěn na prvním přidržovacím zařízení 701. Objekt 125 je na prvním přidržovacím zařízení 701 uspořádán například pomocí výše popsaných kroků způsobu. Například je zajištěno, že je držák 114 objektu uzpůsoben pro přivádění nabitých částic k objektu 125. přičemž tyto nabité částice procházejí skrze objekt 125. Nabitými částicemi mohou být zejména elektrony nebo ionty. Dále je například zajištěno, že je držák 114 objektu navržen jako držák objektu TEM, který může být použit pro další zobrazování a analýzu objektu 125 v TEM (který není zobrazen). Kromě toho nebo alternativně je zajištěno, aby držák 114 objektu zůstal vložen do kombinovaného přístroje 200 a aby byl objekt 125 analyzován pomocí třetího detektoru 121. Výslovně je třeba poukázat na to, že způsob podle vynálezu není omezen na výše uvedené provedení držáku 114 objektu. Může být spíše použit jakýkoli držák objektu, který je pro provádění způsobu podle vynálezu vhodný.
V kroku S3 způsobuje na držáku 114 objektu uspořádána alespoň jedna značka. Jinými slovy, na držáku 114 objektu je vytvořena alespoň jedna značka. Krok S3 způsobu může také probíhat před nebo během kroku S2 způsobu. Značka se například vytváří pomocí laserového paprsku zařízení 700 pro vytváření laserového paprsku. To lze provést například v kombinovaném přístroji 200 (srov. obrázek 6). Alternativně k tomu například může být držák 114 objektu vysunut z kombinovaného přístroje 200. Značka je poté vytvořena na držáku 114 objektu pomocí zařízení 700 pro vytváření laserového paprsku (srov. obrázek 7). Prostřednictvím zařízení 700 pro vytváření laserového paprsku je z držáku 114 objektu odebrán materiál takovým způsobem, že je vytvořena značka. Navíc nebo alternativně je zajištěno, například pomocí svazku iontů, že je materiál z držáku 114 objektu odstraněn a/nebo je materiál na držák 114 objektu nanesen takovým způsobem, že je odstraněním materiálu a/nebo nanesením materiálu vytvořena značka. Pro nanášení a/nebo odstraňování materiálu je k držáku 114 objektu například přiváděn plyn pomocí zařízení 1000 pro přívod plynu. Svazek iontů a/nebo laserový paprsek interaguje, resp. interagují s plynem a materiálem držáku 114 objektu takovým způsobem, že je materiál na držák 114 objektu nanesen neboje z držáku 114 objektu odstraněn. Obrázek 10 znázorňuje pohled shora na držák 114 objektu podle obrázku 9. Značka 705 je umístěna na prvním přidržovacím zařízení 701 způsobem podle vynálezu v kroku S3 způsobu. Značka 705 je například vytvořena jako značka s alespoň jedním okrajem, od kterého vychází první rovina ve směru prvního rozměru a druhá rovina vychází do druhého rozměru. Zejména se předpokládá, že je značka 705 vytvořena jako značka s alespoň jedním prvním okrajem a s alespoň jedním druhým okrajem, přičemž jak z prvního okraje, tak i z druhého okraje vychází vždy první rovina v prvním rozměru a vždy druhá rovina ve druhém rozměru. První roviny jsou například navzájem odlišné. Dále jsou například druhé roviny navzájem odlišné. Kromě toho nebo alternativně je značka 705 vytvořena jako značka ve tvaru kříže.
-21 CZ 2021 - 375 A3
Dále je kromě toho nebo alternativně značka 705 vytvořena jako značka ve tvaru hvězdy. V dalším provedení způsobu podle vynálezu je značka 705 vytvořena jako značka ve tvaru písmene X a/nebo jako značka ve tvam písmene L a/nebo ve tvaru mnohoúhelníku.
V kroku S4 způsobuje pomocí svazku iontů vytvořen referenční obraz, který obsahuje značku 705. Za tímto účelem je na značku 705 umístěnou na držáku 114 objektu veden svazek iontů. V důsledku interakce svazku iontů se značkou 705 vznikají interakční částice, zejména sekundární elektrony. Interakční částice jsou detekovány například pomocí komorového detektoru 119. Detekční signály vznikající v komorovém detektoru 119 jsou předávány do řídicí jednotky 123 za účelem vytvoření referenčního obrazu, který obsahuje značku 705. Alternativně se předpokládá, že referenční obraz obsahující značku 705 bude vytvořen pomocí svazku elektronů. Za tímto účelem je na značku 705 umístěnou na držáku 114 objektu veden svazek elektronů. V důsledku interakce svazku elektronů se značkou 705 vznikají interakční částice, zejména sekundární elektrony a zpětně rozptýlené elektrony. Interakční částice jsou detekovány pomocí komorového detektoru 119, prvního detektoru 116 a/nebo dmhého detektom 117. Detekční signály vznikající v komorovém detektoru 119. v prvním detektoru 116 a/nebo ve dmhém detektom 117 jsou předávány do řídicí jednotky 123 za účelem vytvoření referenčního obrazu, který obsahuje značku 705.
V kroku S5 způsobu se držák 114 vzorku pohybuje spolu se stolkem 122 pro vzorky. Pohyb držáku 114 objektu zahrnuje například posuvný pohyb držáku 114 objektu podél osy x, podél osy y a/nebo podél osy z. Kromě toho nebo alternativně je zajištěno, že se držák 114 objektu otáčí kolem první osy 603 otáčení stolku a/nebo kolem druhé osy 607 otáčení stolku. Výše uvedená otáčení zahrnují zejména naklánění držáku 114 objektu. Zejména se předpokládá, že dochází k otáčení držáku 114 objektu, jakož i objektu 125 uspořádaného na držáku 114 objektu, z počáteční polohy o 0,5° až 5°, zejména o 1° až 3° nebo o 1° až 2° kolem první osy 603 otáčení stolku a/nebo kolem dmhé osy 607 otáčení stolku. Rozsahy úhlů jsou včetně výše uvedených mezních hodnot rozsahu úhlů. Výslovně je poukazováno na to, že vynález není omezen na výše uvedené rozsahy úhlů. Spíše lze použít jakýkoli rozsah úhlů, který je pro vynález vhodný.
V kroku S6 způsobuje vytvořen další obraz, který obsahuje značku 705. Jinými slovy, další obraz, který obsahuje značku 705, je vytvořen opětovným zobrazením značky 705. Za tímto účelem je na značku 705 umístěnou na držáku 114 objektu veden svazek iontů. V důsledku interakce svazku iontů se značkou 705 vznikají interakční částice, zejména sekundární elektrony. Interakční částice jsou detekovány například pomocí komorového detektom 119. Detekční signály vznikající v komorovém detektom 119 jsou předávány do řídicí jednotky 123 za účelem vytvoření dalšího obrazu, který obsahuje značku 705. Alternativně se předpokládá, že další obraz obsahující značku 705 bude vytvořen pomocí svazku elektronů. Za tímto účelem je na značku 705 umístěnou na držáku 114 objektu veden svazek elektronů. V důsledku interakce svazku elektronů se značkou 705 vznikají interakční částice, zejména sekundární elektrony a zpětně rozptýlené elektrony. Interakční částice jsou detekovány pomocí komorového detektom 119. prvního detektom 116 a/nebo dmhého detektom 117. Detekční signály vznikající v komorovém detektom 119, v prvním detektom 116 a/nebo ve dmhém detektom 117 jsou předávány do řídicí jednotky 123 za účelem vytvoření dalšího obrazu, který obsahuje značku 705.
V jednom z provedení způsobu podle vynálezu jsou jak referenční obraz, který obsahuje značku 705, tak i další obraz, který obsahuje značku 705, vytvářeny pomocí svazku iontů. V jednom z alternativních provedení způsobu podle vynálezu jsou referenční obraz, který obsahuje značku 705. a další obraz, který obsahuje značku 705. vytvářeny pomocí svazku iontů.
Vytváření referenčního obrazu, který obsahuje značku 705. a dalšího obrazu, který obsahuje značku 705. probíhá například automaticky. Značka 705 je rozpoznána automaticky a oblast značky 705 je zobrazena pomocí svazku iontů a/nebo svazku elektronů.
V kroku S7 způsobu dochází k porovnání referenčního obrazu, který obsahuje značku 705. s dalším obrazem, který obsahuje značku 705. K tomuto účelu se například používá software pro rozpoznávání obrazu. Následně je určen vektor posunutí pomocí srovnání referenčního obrazu, který obsahuje značku
-22CZ 2021 - 375 A3
705, s dalším obrazem, který obsahuje značku 705. Při určování vektoru posunutí se používá například matematická metoda křížové korelace. Ve způsobu podle vynálezu může být posunutí svazku iontů a/nebo svazku elektronů, kterého je dosaženo pohybem držáku 114 objektu vzhledem k objektu 125. podstatně větší než otočení vůči objektu 125. Proto je ve zde znázorněném provedení určen pouze jeden vektor posunutí a otáčení není bráno v úvahu. Kromě toho nebo alternativně se předpokládá, že bude zohledněno také otočení.
Dále v textuje podrobněji vysvětleno provedení způsobu podle vynálezu využívající křížovou korelaci. V následujícím provedení způsobu podle vynálezu je značka 705 vytvořena jako mnohoúhelník s okraji. Zejména (a) je vytvořen referenční obraz, který obsahuje značku 705, (b) po přesunutí držáku 114 objektu, je vytvořen další obraz, který obsahuje značku 705 a (c) je pomocí procesoru 127 vypočítán posun mezi referenčním obrazem, který obsahuje značku 705 a dalším obrazem, který obsahuje značku 705.
Značku 705 lze vyjádřit souřadnicemi xp yi každého uzlu značky 705 ve tvaru mnohoúhelníku. Pomocí těchto souřadnic každého uzlu lze vypočítat střed plochy značky 705 pomocí procesoru 127 a pomocí následujících rovnic:
Cx = + xi+i) (,xi Yi+i - xi+i yd[ú cy = £ + yi+i) Oí yi+i - χί+ι yi)P] kde A je plocha polygonu daná vztahem
A =-2 ^=0 (Xi-yi+i- Xi+1 -yd[3]
Značka 705 ve tvaru mnohoúhelníku má střed plochy, který je určen souřadnicemi Cx, Cy. Střed plochy značky 705 v referenčním obrazuje porovnán se středem oblasti značky 705 v dalším obrazu.
V důsledku nepřesností v mechanice pohybových jednotek stolku 122 pro vzorky může pohyb držáku 114 objektu vést k nežádoucímu relativnímu posunutí polohy svazku iontů a objektu 125 uspořádaného na držáku 114 objektu. Jinými slovy, po pohybu držáku 114 objektu již svazek iontů nedopadá na objekt 125 uspořádaný na držáku 114 objektu v bodě, na který byl svazek iontů zaměřen před pohybem držáku 114 objektu. V tomto případě musí být svazek iontů umístěn vzhledem k objektu 125 takovým způsobem, aby svazek iontů zasáhl požadované místo na objektu 125, aby bylo například možné odstraňovat materiál nebo analyzovat objekt 125. Relativní umístění svazku iontů vzhledem k objektu 125 se provádí například opětovným nastavením (tj. polohováním) svazku iontů (například pomocí první sestavy 307 elektrod a/nebo druhé sestavy 308 elektrod a/nebo druhé čočky 304 objektivu) a/nebo pohybem držáku 114 objektu. Pohybem držáku 114 objektu lze kompenzovat větší posuny o několik pm. Výše uvedené platí analogicky i pro svazek elektronů. Po pohybu držáku 114 objektu už svazek elektronů nedopadá na objekt 125 umístěný na držáku 114 objektu v bodě, na který byl svazek elektronů zaměřen, před pohybem držáku 114 objektu. Relativní polohování svazku elektronů vzhledem k objektu 125 se provádí například opětovným nastavením (tj. polohováním) svazku elektronů (například pomocí první kondenzorové čočky 105 a/nebo druhé kondenzorové čočky 106 a/nebo první čočky 107 a/nebo rastrovacího zařízení 115 SEM 100) a/nebo pohybem držáku 114 objektu. Pohybem držáku 114 objektu lze kompenzovat větší posuny o několik pm. Svazek elektronů poté znovu dopadá na požadované místo na objektu 125. aby mohl být objekt 125 například zobrazen a/nebo zkoumán.
Alternativně lze svazek elektronů použít k zobrazení značky 705, zatímco je svazek iontů použit pro zpracování objektu 125. Poloha svazku iontů vzhledem k svazku elektronů je přitom pevná, takže korekci posunu svazku elektronů vzhledem k objektu 125 lze převést na korekci posunu svazku iontů vzhledem k objektu 125.
-23 CZ 2021 - 375 A3
Možné posunutí středu plochy je určeno korelací referenčního obrazu, který obsahuje značku 705, s dalším obrazem, který obsahuje značku 705. Tento posun je dán vektorem posunutí (tj. dx, dy).
Pomocí vektoru posunutí (tj. dx, dy) je poté určeno, jak musí být svazek iontů a/nebo svazek elektronů polohován, aby znovu dopadaly na objekt 125 v bodě, do kterého dopadal svazek iontů a/nebo svazek elektronů před tím, než došlo k pohybu držáku 114 objektu. Odpovídající souřadnice bodu, na který je nyní zaměřen svazek iontů a/nebo svazek elektronů, jsou dány například takto:
V kroku S8 způsobu je svazek iontů a/nebo svazek elektronů nyní umístěn vzhledem k objektu 125 pomocí značky 705. Jinými slovy, po pohybu držáku 114 objektu je svazek iontů a/nebo svazek elektronů relativně polohován posunutím takovým způsobem, že svazek iontů a/nebo svazek elektronů mohou být vedeny do toho bodu na objektu 125, do kterého byl svazek iontů a/nebo svazek elektronů zaměřen před pohybem držáku 114 objektu. K tomuto účelu je použit dříve určený vektor posunutí. Relativní umístění svazku iontů vzhledem k objektu 125 se provádí například opětovným nastavením (tj. polohováním) svazku iontů (například pomocí první sestavy 307 elektrod a/nebo druhé sestavy 308 elektrod a/nebo druhé čočky 304 objektivu) a/nebo pohybem držáku 114 objektu. Relativní polohování svazku elektronů vzhledem k objektu 125 se provádí například opětovným nastavením (tj. polohováním) svazku elektronů (například pomocí první kondenzorové čočky 105 a/nebo druhé kondenzorové čočky 106 a/nebo první čočky 107 a/nebo rastrovacího zařízení 115 SEM 100) a/nebo pohybem držáku 114 objektu.
V kroku S9 způsobu nyní probíhá zpracování, zobrazování a/nebo analýza objektu 125 uspořádaného na držáku 114 objektu, například pomocí svazku iontů a/nebo svazku elektronů. Materiál objektu 125 je například odstraněn svazkem iontů, dokud řez nemá tloušťku menší než 100 nm, například menší než 80 nm, menší než 60 nm, menší než 40 nm nebo menší než 20 nm. Tloušťka je zejména v rozmezí od 1 nm do 10 nm. V jednom provedení je plyn k objektu 125 přiváděn pomocí zařízení 1000 pro přívod plynu, přičemž tento plyn interaguje se svazkem iontů a objektem 125 tak, že je z objektu 125 odstraňován materiál. Toto bude ještě blíže popsáno v následujícím textu.
Kromě toho nebo alternativně se předpokládá, že zpracování objektu 125 zahrnuje uspořádání materiálu na objektu 125. Ktomu dochází například přiváděním alespoň jednoho plynu k objektu 125 prostřednictvím zařízení 1000 pro přívod plynu, přičemž tento plyn interaguje se svazkem iontů takovým způsobem, že je na objektu 125 uspořádán materiál.
Navíc nebo alternativně se předpokládá, že analýza objektu 125 umístěného na držáku 114 objektu zahrnuje analýzu objektu 125 pomocí EDX, pomocí WDX, pomocí EBSD, pomocí zkoumání TKD a/nebo zkoumání pomocí třetího detektoru 121 kombinovaného přístroje 200. Za tímto účelem je například svazek elektronů veden na objekt 125. zejména na výše uvedený řez objektu 125 o tloušťce menší než 100 nm.
Navíc nebo alternativně je zajištěno, že je objekt 125 umístěný na držáku 114 objektu zobrazen pomocí svazku iontů a/nebo svazku elektronů. Za tímto účelem je svazek iontů a/nebo svazek elektronů veden na objekt 125 - zejména na výše zmíněný řez objektu 125 o tloušťce menší než 100 nm - a je přes objekt 125 rastrován. Svazek iontů a/nebo svazek elektronů interagují s objektem 125. Interakční částice vznikající během interakce, zejména sekundární elektrony, jsou detekovány například komorovým detektorem 119. Detekční signály jsou předávány do řídicí jednotky 123 za účelem vytvoření obrazu objektu 125.
V jednom z provedení způsobu podle vynálezu se po kroku S9 způsobu opakují kroky S5 až S9 způsobu. To je zvláště výhodné, když má být zmenšena tloušťka objektu 125 nebo alespoň řezu objektu 125. Tato situace je znázorněna na obrázku 15. Obrázek 15 znázorňuje půdorys prvního pridržovacího zařízení 701, které má plochu 706 se značkou 705. Na prvním přidržovacím zařízení 701 je uspořádán objekt
-24CZ 2021 - 375 A3
125, který zahrnuje řez 708 objektu 125, jehož tloušťka je zmenšena odebráním materiálu. Aby se toho dosáhlo, je v jednom z provedení způsobu podle vynálezu v prvním průběhu kroku S5 způsobu držák 114 objektu, jakož i objekt 125 uspořádaný na držáku 114 objektu, otočen z výchozí polohy o 0,5° až 5°, zejména o 1° až 3° nebo o 1° až 2° v prvním směru kolem první osy 603 otáčení stolku a/nebo druhé osy 607 otáčení stolku. Rozsahy úhlů jsou včetně výše uvedených mezních hodnot rozsahu úhlů. Výslovně je poukazováno na to, že vynález není omezen na výše uvedené rozsahy úhlů. Spíše lze použít jakýkoli rozsah úhlů, který je pro vynález vhodný. Poté následují kroky S6 až S9 způsobu, ve kterých je v kroku S9 způsobu odstraněn materiál na první straně řezu 708. Ve druhém průběhu kroku S5 způsobuje držák 114 objektu, jakož i objekt 125 uspořádaný na držáku 114 objektu, otočen z výchozí polohy o 0,5° až 5°, zejména o 1° až 3° nebo o 1° až 2° ve druhém směru otáčení kolem první osy 603 otáčení stolku a/nebo druhé osy 607 otáčení stolku. Druhý směr je opačný vůči prvnímu směru. Rozsahy úhlů jsou včetně výše uvedených mezních hodnot rozsahu úhlů. Výslovně je poukazováno na to, že vynález není omezen na výše uvedené rozsahy úhlů. Spíše lze použít jakýkoli rozsah úhlů, který je pro vynález vhodný. Poté následují kroky S6 až S9 způsobu, ve kterých je v kroku S9 způsobu odstraněn materiál na druhé straně řezu 708. Druhá strana je uspořádána naproti první straně. Kromě toho jsou první strana a druhá strana uspořádány ve vzájemném odstupu.
Obrázek 11 zobrazuje další formu provedení způsobu podle vynálezu. Další forma provedení způsobu podle vynálezu podle obrázku 11 vychází z formy provedení způsobu podle vynálezu podle obrázku 8. Nejprve je proto poukázáno na výše uvedená vysvětlení, která platí také v tomto případě. Na rozdíl od provedení způsobu podle vynálezu podle obrázku 8 zahrnuje další provedení způsobu podle vynálezu podle obrázku 11 další krok S10 způsobu, který je proveden například mezi krokem S1 způsobu a krokem S2 způsobu. Alternativně k tomu může být krok S10 způsobu proveden kdykoli před krokem S3 způsobu. V kroku S10 způsobuje nejprve na držáku 114 objektu vytvořena plocha, na kterou jev kroku S3 způsobu umístěna značka 705. Pokud držák 114 objektu nemá žádnou plochu nebo jen nevhodnou plochu pro umístění značky 705 (například v nevhodné výšce, s nevhodnou orientací, se zakřiveným nebo velmi strmě nakloněným povrchem), pak toto provedení způsobu podle vynálezu zajišťuje především vytvoření takovéto plochy na držáku 114 objektu. Obrázek 12 znázorňuje provedení držáku 114 objektu s prvním přidržovacím zařízením 701. s druhým přidržovacím zařízením 702. s třetím přidržovacím zařízením 703 a se čtvrtým přidržovacím zařízením 704. Konce výše uvedených přidržovacích zařízení 701 až 704 mají zaoblení. Na prvním přidržovacím zařízení 701 je například umístěn objekt 125. V oblasti zaoblení prvního přidržovacího zařízení 701 by měla být uspořádána plocha, na které je opět umístěna značka 705. Poté je například pomocí svazku iontů na prvním přidržovacím zařízení 701 držáku 114 objektu vytvořena plocha. To se provádí například odstraněním materiálu z prvního přidržovacího zařízení 701 držáku 114 objektu pomocí svazku iontů. Pro odstranění zejména může být k prvnímu přidržovacímu zařízení 701 přiváděn plyn za použití zařízení 1000 pro přívod plynu. V důsledku interakce svazku iontů s plynem a materiálem prvního přidržovacího zařízení 701 je materiál prvního přidržovacího zařízení 701 odstraněn. Kromě toho nebo alternativně je zajištěno, že plocha bude vytvořena nanášením materiálu na první přidržovací zařízení 701 pomocí svazku iontů a přiváděním plynu ze zařízení 1000 pro přívod plynu. Obrázek 13 ukazuje schematické znázornění prvního přidržovacího zařízení 701 s plochou vytvořenou na přidržovacím zařízení 701. přičemž tato plocha je označena vztahovou značkou 706.
V dalším provedení způsobu podle vynálezu podle obrázku 8 je v kroku S2 způsobu objekt 125 uspořádán na držáku 114 objektu takovým způsobem, že je plocha objektu 125 orientována pod úhlem 0° až 360°, například 5° až 80°, vůči ploše držáku 114 objektu, která je volně přístupná pro svazek iontů a/nebo svazek elektronů. Plocha objektu 125 je například uspořádána rovnoběžně s plochou držáku 114 objektu, která je volně přístupná pro svazek iontů a/nebo svazek elektronů. Tato situace je například znázorněna na obrázku 13. Objekt 125 je uspořádán na prvním přidržovacím zařízení 701 držáku 114 objektu takovým způsobem, že je plocha 706 na prvním přidržovacím zařízení 701 vyrovnána rovnoběžně s plochou 707 objektu 125. V případě provedení znázorněného na obrázku 13 jsou plocha 707 objektu 125 a plocha 706 prvního přidržovacího zařízení 701 uspořádány v jediné rovině. Jinými slovy, plocha 707 objektu 125 a plocha 706 prvního přidržovacího zařízení 701 jsou ve stejné výšce. Značka 705 je vytvořena a uspořádána na ploše 706 prvního přidržovacího zařízení 701. Toto provedení způsobu podle vynálezu zajišťuje zvláště dobré umístění svazku iontů a/nebo svazku elektronů
-25 CZ 2021 - 375 A3 vzhledem k objektu 125, protože značka 705 a objekt 125 jsou uspořádány v jediné rovině. Dodatečně nebo alternativně se předpokládá, že plocha 707 objektu 125 a plocha 706 prvního přidržovacího zařízení 701 jsou uspořádány v různých rovinách. Tato situace je znázorněna na obrázku 14. Obrázek 14 vychází z obrázku 13. Totožné konstrukční díly jsou opatřeny totožnými vztahovými značkami.
V ještě dalším provedení způsobu podle vynálezu podle obrázku 8 je zajištěno, že svazek iontů, kterým je například v kroku S3 způsobu vytvořena značka 705 na držáku 114 objektu, má předem specifikovatelný proud svazku. Proud svazku iontů je například v rozmezí od 10 pA do 500 pA. Hranice rozmezí j sou součástí daného rozmezí. Výslovně j e poukazováno na to, že vynález není omezen na výše uvedené rozmezí. Pro vynález lze spíše použít jakýkoli rozsah, který je pro vynález vhodný. V tomto provedení způsobu podle vynálezu se předpokládá, že (i) vytváření referenčního obrazu, který obsahuje značku 705. (ii) vytváření dalšího obrazu, který obsahuje značku 705. jakož i (iii) zpracování, zobrazení a/nebo analýza objektu 125 probíhá pomocí svazku iontů s tímto předem specifikovatelným proudem svazku. V souladu s tím je v tomto provedení způsobu podle vynálezu zajištěno, že svazek iontů je vždy provozován se stejným proudem svazku (konkrétně s předem specifikovatelným proudem svazku), zejména při vytváření referenčního obrazu, který obsahuje značku 705. při vytváření dalšího obrazu, který obsahuje značku 705, během zpracování, během zobrazování a/nebo během analýzy objektu 125.
V ještě dalším provedení způsobu podle vynálezu podle obrázku 8 je zajištěno, že svazek iontů má předem specifikovatelný první proud svazku nebo předem specifikovatelný druhý proud svazku. Referenční obraz, který obsahuje značku 705, je vytvářen pomocí svazku iontů s předem specifikovatelným prvním proudem svazku. První proud svazku iontů je například v rozmezí od 1 nA do 10 nA. Hranice rozmezí jsou součástí daného rozmezí. Výslovně je poukazováno na to, že vynález není omezen na výše uvedené rozmezí. Pro vynález lze spíše použít jakýkoli rozsah, který je pro vynález vhodný. Druhý proud svazku iontů je například v rozmezí od 10 pA do 500 pA. Další obraz, který obsahuje značku 705. je vytvořen například pomocí svazku iontů s proudem prvního svazku nebo s proudem druhého svazku. Kromě toho s proudem druhého svazku probíhá zpracování, zobrazování a/nebo analýza objektu 125 pomocí svazku iontů.
Vynález má tu výhodu, že zejména po pohybu držáku 114 objektu, ale také po jakémkoli jiném relativním pohybu držáku 114 objektu vzhledem ke svazku částic (a/nebo laserovému paprsku, pokud je takovýto paprsek použit) je jednoduchým způsobem umožněno relativní polohování svazku částic a/nebo laserového paprsku vzhledem k objektu 125. který je umístěn na držáku 114 objektu. Zejména lze relativní polohování svazku částic a/nebo laserového paprsku vzhledem k objektu 125 provést automaticky.
Žádné z popsaných provedení způsobu podle vynálezu není omezeno na výše uvedenou posloupnost vysvětlených kroků způsobu. Ve způsobu podle vynálezu lze spíše zvolit jakoukoli posloupnost výše uvedených kroků způsobu, která je pro vynález vhodná.
Znaky vynálezu sdělené v tomto popisu, v nákresech jakož i v nárocích mohou být pro uskutečnění vynálezu v jeho různých formách provedení podstatné jak jednotlivě, tak i v libovolných kombinacích. Vynález není omezen na popsané formy provedení. V rámci nároků a s přihlédnutím ke znalostem kompetentního odborníka se může měnit.

Claims (24)

  1. PATENTOVÉ NÁROKY
    1. Způsob ovládání zařízení (100, 200, 400) pro vytváření svazku či paprsku, zejména zařízení pro vytváření svazku částic a/nebo zařízení pro vytváření laserového paprsku, vyznačující se tím, že obsahuje následujícími kroky:
    - vytvoření alespoň jedné značky (705) na držáku (114) objektu pomocí laserového paprsku zařízení (700) pro vytváření laserového paprsku a/nebo svazku částic zařízení (100, 200, 400) pro vytváření svazku částic, přičemž svazek částic obsahuje nabité částice;
    - uspořádání alespoň jednoho objektu (125, 425) na držáku (114) objektu;
    - pohyb držáku (114) objektu, přičemž tento pohyb držáku (114) objektu zahrnuje posuvný pohyb držáku (114) objektu podél alespoň jedné osy (osa x, osa y, osa z) a/nebo otáčení držáku (114) objektu kolem alespoň jedné osy (603, 607) otáčení;
    - relativní polohování svazku částic a/nebo laserového paprsku vzhledem k objektu (125, 425) za použití značky (705); jakož i
    - zpracování, zobrazování a/nebo analýza objektu (125, 425) pomocí svazku částic a/nebo laserového paprsku.
  2. 2. Způsob podle nároku 1, vyznačující se tím, že je jako držák (114) objektu použit držák objektu vhodný pro přivádění zkoumajícího svazku částic částicemi přenášenými skrze objekt (125,425).
  3. 3. Způsob podle nároku 1 nebo 2, vyznačující se tím, že je objekt (125, 425) vytvářen pomocí svazku částic a/nebo laserového paprsku před tím, než je objekt (125, 425) umístěn na držák (114) objektu.
  4. 4. Způsob podle některého z předcházejících nároků 1 až 3, vyznačující se tím, že
    -je objekt (125, 425) umístěn na držáku (114) objektu takovým způsobem, že jedna plocha (707) objektu (125, 425) je uspořádána pod úhlem 0° až 360° vůči jedné pro svazek částic a/nebo pro laserový paprsek volně přístupné ploše (706) držáku (114, 701) objektu, přičemž
    -je na ploše držáku (114, 701) objektu vytvořena značka (705).
  5. 5. Způsob podle nároku 4, vyznačující se tím, že zahrnuje některý z následujících znaků:
    (i) plocha (707) objektu (125, 425) je uspořádána rovnoběžně s plochou (706) držáku (114, 701) objektu, která je volně přístupná pro svazek částic a/nebo pro laserový paprsek;
    (ii) plocha (707) objektu (125,425) je uspořádána pod úhlem 5° až 80° vůči ploše (706) držáku (114, 701) objektu, která je volně přístupná pro svazek částic a/nebo pro laserový paprsek.
  6. 6. Způsob podle nároku 4 nebo 5, vyznačuj ící se tím, že j e vytvořena plocha (706) držáku (114) objektu pomocí svazku částic a/nebo laserového paprsku před vytvořením značky (705) na ploše držáku (114) objektu.
  7. 7. Způsob podle jednoho z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že se pro relativní polohování svazku částic a/nebo laserového paprsku provádějí následující kroky:
    -27 CZ 2021 - 375 A3
    - vytvoření referenčního obrazu, který obsahuje značku (705), zobrazením značky (705) s použitím svazku částic;
    - vytvoření dalšího obrazu, který obsahuje značku (705), opětovným zobrazením značky (705) s použitím svazku částic;
    - porovnání referenčního obrazu, který obsahuje značku (705), s dalším obrazem, který obsahuje značku (705);
    - stanovení vektoru posunutí pomocí srovnání referenčního obrazu, který obsahuje značku (705), s dalším obrazem, který obsahuje značku (705), přičemž relativní polohování svazku částic a/nebo laserového paprsku probíhá pomocí tohoto vektoru posunutí.
  8. 8. Způsob podle nároku 7, vyznačující se tím, že zahrnuje některý z následujících znaků:
    (i) svazek částic má předem specifikovatelný proud svazku, přičemž jak generování dalšího obrazu, který obsahuje značku (705), tak i zpracování, zobrazování a/nebo analýza objektu (125, 425) pomocí svazku částic probíhá s předem specifikovatelným proudem svazku;
    (ii) svazek částic má předem specifikovatelný proud svazku, přičemž vytváření referenčního obrazu, který obsahuje značku (705), vytváření dalšího obrazu, který obsahuje značku (705), jakož i zpracování, zobrazování a/nebo analýza objektu (125, 425) probíhá pomocí svazku částic se specifikovatelným proudem svazku.
  9. 9. Způsob podle nároku 7, vyznačující se tím, že zahrnuje některý z následujících znaků:
    (i) svazek částic má předem specifikovatelný první proud svazku nebo předem specifikovatelný druhý proud svazku, přičemž vytváření dalšího obrazu, který obsahuje značku (705) probíhá pomocí svazku částic s předem specifikovatelným prvním proudem svazku a přičemž zpracování, zobrazování a/nebo analýza objektu (125, 425) probíhá pomocí svazku částic s předem specifikovatelným druhým proudem svazku;
    (ii) svazek částic má předem specifikovatelný první proud svazku nebo předem specifikovatelný druhý proud svazku, přičemž vytváření referenčního obrazu, který obsahuje značku (705) probíhá za použití svazku částic s předem specifikovatelným prvním proudem svazku, přičemž vytváření dalšího obraz, který obsahuje značku (705), probíhá pomocí svazku částic s předem specifikovatelným prvním proudem svazku a přičemž zpracování, zobrazování a/nebo analýza objektu (125, 425) probíhá pomocí svazku částic s předem specifikovatelným druhým proudem svazku.
  10. 10. Způsob podle jednoho z předchozích nároků 1 až 9, vyznačující se tím, že zahrnuje alespoň jeden z následujících znaků:
    (i) zpracování objektu (125, 425) zahrnuje odebírání materiálu z objektu (125, 425);
    (ii) zpracování objektu (125, 425) zahrnuje umístění materiálu na objekt (125, 425);
    (iii) analýza objektu (125, 425) zahrnuje analýzu pomocí EDX a/nebo pomocí WDX a/nebo pomocí EBSD a/nebo pomocí TKD a/nebo pomocí zobrazování svazkem elektronů a/nebo pomocí transmisního detektoru (121).
  11. 11. Způsob podle jednoho z předcházejících nároků 1 až 10, vyznačující se tím, že obsahuje jeden z následujících znaků:
    -28 CZ 2021 - 375 A3 (i) nabitými částicemi jsou ionty;
    (ii) nabitými částicemi jsou elektrony.
  12. 12. Způsob podle jednoho z předcházejících nároků 1 až 10, vyznačující se tím, že obsahuje jeden z následujících znaků (i) svazkem částic je první svazek částic, přičemž objekt (125, 425) je zobrazován pomocí druhého svazku částic;
    (ii) svazkem částic je první svazek částic, přičemž nabité částice prvního svazku částic obsahují ionty a přičemž objekt (125, 425) je zobrazen druhým svazkem částic, přičemž druhý svazek částic obsahuje elektrony.
  13. 13. Způsob podle nároku 12, vyznačující se tím, že jsou pro relativní polohování svazku částic a/nebo laserového paprsku provedeny následující kroky:
    - vytvoření dalšího referenčního obrazu, který obsahuje značku (705), zobrazením značky (705) s použitím druhého svazku částic;
    - vytvoření ještě dalšího obrazu, který obsahuje značku (705), opětovným zobrazením značky (705) s použitím druhého svazku částic;
    - porovnání dalšího referenčního obrazu, který obsahuje značku (705), s ještě dalším obrazem, který obsahuje značku (705);
    - stanovení dalšího vektoru posunutí pomocí srovnání dalšího referenčního obrazu, který obsahuje značku (705), s ještě dalším obrazem, který obsahuje značku (705), přičemž relativní polohování svazku částic a/nebo laserového paprsku probíhá pomocí tohoto dalšího vektoru posunutí.
  14. 14. Způsob podle jednoho z předcházejících nároků 1 až 13, vyznačující se tím, že obsahuje alespoň jeden z následujících znaků:
    (i) značka (705) je vytvořenajako značka s alespoň jedním okrajem, přičemž z okraje vychází první rovina v prvním rozměru a druhá rovina ve druhém rozměru;
    (ii) značka (705) je vytvořenajako značka s alespoň jedním prvním okrajem a alespoň jedním druhým okrajem, přičemž jak z prvního okraje, tak také z druhého okraje vychází vždy první rovina v prvním rozměru a druhá rovina ve druhém rozměru, přičemž se vždy obě dvě první roviny od sebe navzájem liší a přičemž se vždy obě dvě druhé roviny od sebe navzájem liší;
    (iii) značka (705) je vytvořenajako značka ve tvaru kříže a/nebo ve tvaru mnohoúhelníku;
    (iv) značka (705) je vytvořenajako značka ve tvaru hvězdy;
    (v) značka (705) je vytvořenajako značka ve tvaru písmene X;
    (ví) značka (705) je vytvořenajako značka ve tvaru písmene L;
    (vii) značka (705) je vytvořena odstraněním materiálu a/nebo nanesením materiálu.
  15. 15. Výrobek ve formě počítačového programu s programovým kódem, který je zaveditelný do procesoru (127), vyznačující se tím, že při provádění řídí zařízení (100; 200; 400) pro vytváření
    -29 CZ 2021 - 375 A3 svazku takovým způsobem, že je prováděn způsob podle alespoň jednoho z předcházejících nároků 1 až 14.
  16. 16. Zařízení (100, 200, 400) pro vytváření svazku pro zpracování, zobrazování a/nebo analýzu objektu (125, 425), vyznačující se tím, že zahrnuje
    - alespoň jeden generátor (101, 301, 402, 700) svazku pro vytváření svazku částic s nabitými částicemi a/nebo laserového paprsku;
    - alespoň jeden držák (114) objektu pro umístění objektu (125, 425);
    - alespoň jedno rastrovací (115, 307, 308, 429) zařízení pro rastrování svazku částic a/nebo laserového paprsku po objektu (125, 425);
    - alespoň jeden detektor (116, 117, 119, 121, 419, 428, 500) pro detekci interakčních částic a/nebo interakčního záření, které pochází z interakce svazku částic a/nebo laserového paprsku s objektem (125, 425),
    - alespoň jedno zobrazovací zařízení (124) pro zobrazování obrazu a/nebo analýzu objektu (125, 425) a zahrnující
    - alespoň jednu řídicí jednotku (123) s procesorem (127), ve kterém je načtený výrobek ve formě počítačového programu podle nároku 15.
  17. 17. Zařízení (100, 200, 400) pro vytváření svazku podle nároku 16, vyznačující se tím, že toto zařízení (100, 200, 400) pro vytváření svazkuje zařízením pro vytváření svazku částic a přičemž toto zařízení (100, 200, 400) pro vytváření svazku částic je vybaveno alespoň jednou čočkou (107, 304, 421) objektivu pro zaostření svazku částic na objekt (125, 425).
  18. 18. Zařízení (200) pro vytváření svazku podle nároku 17, vyznačující se tím, že generátor (101) svazku je tvořen prvním generátorem svazku a svazek částic je tvořen prvním svazkem částic s prvními nabitými částicemi, přičemž je čočka (107) objektivu tvořena první čočkou objektivu pro zaměření prvního svazku částic na objekt (125), a přičemž zařízení (200) pro vytváření svazku částic dále zahrnuje:
    - alespoň druhý generátor (301) svazku pro vytváření druhého svazku částic s druhými nabitými částicemi; a
    - alespoň jednu druhou čočku (304) objektivu pro zaměřování druhého svazku částic na objekt (125).
  19. 19. Zařízení (100, 200, 400) pro vytváření svazku podle nároků 17 nebo 18, vyznačující se tím, že zařízením (100, 200, 400) pro vytváření svazku částic je zařízení pro vytváření elektronového svazku a/nebo zařízení pro vytváření iontového svazku.
  20. 20. Držák (114) objektu pro uspořádání v zařízení (100, 200, 400) pro vytváření svazku částic, vyznačující se tím, že
    -držák (114) objektu je vybaven alespoňjedním přidržovacím zařízením (701, 702, 703, 704) pro přidržení objektu (125, 425),
    - držák (114) objektu má alespoň jednu značku (705) pro polohování svazku částic ze zařízení (100, 200, 400) pro vytváření svazku částic a přičemž
    -30 CZ 2021 - 375 A3
    - držák (114) objektu je vytvořen tak, aby přiváděl nabité částice, které procházejí objektem (125,425).
  21. 21. Držák (114) objektu podle nároku 20, vyznačující se tím, že
    - držák (114) objektů má plochu (706), která je vytvořena tak, aby byla plocha (706) volně přístupná pro svazek částic ze zařízení (100, 200, 400) pro vytváření svazku částic,
    - na ploše (706) držáku (114) objektu je uspořádána značka (705), a přičemž
    - držák (114) objektu je navržen tak, že plocha (707) objektu (125, 425) může být uspořádána pod úhlem 0° až 360° vůči ploše (706) držáku (114) objektu.
  22. 22. Držák (114) objektu podle nároku 21, vyznačující se tím, že plocha (707) objektu (125, 425) a plocha (707) držáku (114) objektu můžou být uspořádány v jedné rovině.
  23. 23. Držák (114) objektu podle jednoho z nároků 20 až 22, vyznačující se tím, že značka (705) je umístěna na přidržovacím zařízení (701, 702, 703, 704).
  24. 24. Držák (114) objektu podle jednoho nároku 20 až 23, vyznačující se tím, že tento držák (114) objektu má alespoň jeden z následujících znaků:
    (i) značka (705) je vytvořenajako značka s alespoň jedním okrajem, přičemž z okraje vychází první rovina v prvním rozměru a druhá rovina ve druhém rozměru;
    (ii) značka (705) je vytvořenajako značka s alespoň jedním prvním okrajem a alespoň jedním druhým okrajem, přičemž jak z prvního okraje, tak také z druhého okraje vychází vždy první rovina v prvním rozměru a druhá rovina ve druhém rozměru, přičemž se vždy obě dvě první roviny od sebe navzájem liší a přičemž se vždy obě dvě druhé roviny od sebe navzájem liší;
    (iii) značka (705) je vytvořenajako značka ve tvaru kříže a/nebo ve tvaru mnohoúhelníku;
    (iv) značka (705) je vytvořenajako značka ve tvaru hvězdy;
    (v) značka (705) je vytvořenajako značka ve tvaru písmene X;
    (ví) značka (705) je vytvořenajako značka ve tvaru písmene L;
    (vii) značka (705) je značkou vytvořenou odstraněním materiálu a/nebo nanesením materiálu.
CZ2021-375A 2020-08-28 2021-08-12 Způsob provozu zařízení pro vytváření svazku, výrobek ve formě počítačového programu, zařízení a držák CZ2021375A3 (cs)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102020122535.0A DE102020122535B4 (de) 2020-08-28 2020-08-28 Verfahren zum Betrieb eines Strahlgeräts, Computerprogrammprodukt und Strahlgerät zum Durchführen des Verfahrens

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CZ2021375A3 true CZ2021375A3 (cs) 2022-03-09

Family

ID=80221303

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ2021-375A CZ2021375A3 (cs) 2020-08-28 2021-08-12 Způsob provozu zařízení pro vytváření svazku, výrobek ve formě počítačového programu, zařízení a držák

Country Status (4)

Country Link
US (1) US11688583B2 (cs)
CN (2) CN114121580B (cs)
CZ (1) CZ2021375A3 (cs)
DE (1) DE102020122535B4 (cs)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102020122535B4 (de) * 2020-08-28 2022-08-11 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Verfahren zum Betrieb eines Strahlgeräts, Computerprogrammprodukt und Strahlgerät zum Durchführen des Verfahrens
DE102022119555B3 (de) 2022-08-04 2024-02-01 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Verfahren zum Betreiben eines Teilchenstrahlsystems, Teilchenstrahlsystem und Computerprogrammprodukt
CN119016863A (zh) * 2024-10-28 2024-11-26 杭州谱育科技发展有限公司 一种激光加工系统和方法

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0927880A4 (en) 1997-07-22 2010-11-17 Hitachi Ltd METHOD AND DEVICE FOR PREPARING SAMPLES
DE10107910A1 (de) 2001-02-20 2002-08-22 Leo Elektronenmikroskopie Gmbh Teilchenstrahlsystem mit einem Spiegelkorrektor
US7208965B2 (en) 2004-12-23 2007-04-24 Systems On Silicon Manufacturing Co. Pte. Ltd. Planar view TEM sample preparation from circuit layer structures
EP2104946B1 (en) 2006-10-20 2015-08-12 FEI Company Method for creating s/tem sample and sample structure
DE102008054317A1 (de) * 2008-11-03 2010-05-06 Carl Zeiss Microlmaging Gmbh Kombinationsmikroskopie
WO2011127327A2 (en) * 2010-04-07 2011-10-13 Fei Company Combination laser and charged particle beam system
JP5798424B2 (ja) * 2010-12-07 2015-10-21 日本電子株式会社 荷電粒子ビームの軸合わせ方法および荷電粒子ビーム装置
DE102012202519A1 (de) * 2012-02-17 2013-08-22 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Verfahren und Vorrichtungen zur Präparation mikroskopischer Proben mit Hilfe von gepulstem Licht
JP2013178877A (ja) * 2012-02-28 2013-09-09 Hitachi High-Technologies Corp 荷電粒子線装置
DE102012211462A1 (de) * 2012-07-03 2014-01-23 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Verfahren zur Vorbereitung und Durchführung der Aufnahme von Bildstapeln einer Probe aus verschiedenen Orientierungswinkeln
US8895923B2 (en) 2012-11-20 2014-11-25 Dcg Systems, Inc. System and method for non-contact microscopy for three-dimensional pre-characterization of a sample for fast and non-destructive on sample navigation during nanoprobing
EP2976627B1 (de) * 2013-03-19 2023-08-16 Carl Zeiss Microscopy GmbH Verfahren zur erzeugung von bilddaten eines objekts
EP2824445B1 (en) * 2013-07-08 2016-03-02 Fei Company Charged-particle microscopy combined with raman spectroscopy
US9464995B2 (en) * 2013-08-02 2016-10-11 Carl Zeiss Microscopy Gmbh FIB-SEM array tomography
US9558911B2 (en) * 2014-08-01 2017-01-31 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Method for analyzing and/or processing an object as well as a particle beam device for carrying out the method
DE102014220122B9 (de) * 2014-10-03 2019-11-21 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Verfahren zum Messen eines Abstands eines Bauteils zu einem Objekt sowie zum Einstellen einer Position eines Bauteils in einem Teilchenstrahlgerät, Computerprogrammprodukt, Teilchenstrahlgerät sowie Gaszuführungseinrichtung
JP6326352B2 (ja) * 2014-11-19 2018-05-16 日本電子株式会社 試料ホルダー、試料作製装置、および位置合わせ方法
US9502211B1 (en) * 2015-05-03 2016-11-22 Fei Company Adaptive scanning for particle size using directed beam signal analysis
US10326146B2 (en) * 2016-04-19 2019-06-18 Dibyendu Mukherjee Compositions, systems and methods for producing nanoalloys and/or nanocomposites using tandem laser ablation synthesis in solution-galvanic replacement reaction
US10176963B2 (en) * 2016-12-09 2019-01-08 Waviks, Inc. Method and apparatus for alignment of optical and charged-particle beams in an electron microscope
DE102018202728B4 (de) * 2018-02-22 2019-11-21 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Verfahren zum Betrieb eines Teilchenstrahlgeräts, Computerprogrammprodukt und Teilchenstrahlgerät zur Durchführung des Verfahrens
DE102018206898A1 (de) * 2018-05-04 2019-11-07 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Nachverfolgung mikroskopischer Proben
DE102018209562B3 (de) * 2018-06-14 2019-12-12 Carl Zeiss Smt Gmbh Vorrichtungen und Verfahren zur Untersuchung und/oder Bearbeitung eines Elements für die Photolithographie
DE102020102314B4 (de) * 2020-01-30 2022-02-10 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Objektaufnahmebehälter, Objekthaltesystem mit einem Objektaufnahmebehälter, Strahlgerät und Gerät mit einem Objektaufnahmebehälter oder einem Objekthaltesystem sowie Verfahren zum Untersuchen, Analysieren und/oder Bearbeiten eines Objekts
DE102020122535B4 (de) * 2020-08-28 2022-08-11 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Verfahren zum Betrieb eines Strahlgeräts, Computerprogrammprodukt und Strahlgerät zum Durchführen des Verfahrens
DE102021101439A1 (de) * 2021-01-22 2022-07-28 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Mikroskopiesystem und verfahren zur rotationsüberprüfung einer mikroskopkamera

Also Published As

Publication number Publication date
US11688583B2 (en) 2023-06-27
CN114121580B (zh) 2024-12-24
CN118866635A (zh) 2024-10-29
CN114121580A (zh) 2022-03-01
US20220230843A1 (en) 2022-07-21
DE102020122535A1 (de) 2022-03-03
DE102020122535B4 (de) 2022-08-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110189974B (zh) 操作粒子辐射设备的方法和执行该方法的粒子辐射设备
CZ2021375A3 (cs) Způsob provozu zařízení pro vytváření svazku, výrobek ve formě počítačového programu, zařízení a držák
US10483084B2 (en) Object preparation device and particle beam device having an object preparation device and method for operating the particle beam device
US20220130639A1 (en) Ablating material for an object in a particle beam device
KR102718715B1 (ko) 하전 입자 빔 장치 및 시료 가공 관찰 방법
US10504691B2 (en) Method for generating a composite image of an object and particle beam device for carrying out the method
US20160013012A1 (en) Charged Particle Beam System
CZ310266B6 (cs) Způsob provozu přístroje na vyzařování paprsků částic a přístroj na vyzařování paprsků částic pro provádění způsobu
US20240274397A1 (en) Operating a particle beam apparatus
US11862428B2 (en) Processing an object using a material processing device
US20230260744A1 (en) Method for producing a sample on an object, computer program product, and material processing device for carrying out the method
US20240258068A1 (en) Method for determining a position of an object in a beam apparatus, computer program product and beam apparatus for carrying out the method
US20240038489A1 (en) Method for attaching an object to a manipulator and for moving the object in a particle beam apparatus, computer program product, and particle beam apparatus
US20250157782A1 (en) Method for operating a particle beam apparatus, computer program product and particle beam apparatus for carrying out the method
US11837434B2 (en) Setting position of a particle beam device component
US20250157781A1 (en) Method for operating a particle beam apparatus, computer program product and particle beam apparatus for carrying out the method
US11347043B2 (en) Operating a particle beam apparatus and/or a light microscope
CN120473379A (zh) 用于创建图像的方法、计算机程序产品和粒子束设备
CN114944316A (zh) 粒子辐射设备及其操作方法和计算机程序产品