CZ2013919A3 - Device to measure resolving power of microscope objectives - Google Patents
Device to measure resolving power of microscope objectives Download PDFInfo
- Publication number
- CZ2013919A3 CZ2013919A3 CZ2013-919A CZ2013919A CZ2013919A3 CZ 2013919 A3 CZ2013919 A3 CZ 2013919A3 CZ 2013919 A CZ2013919 A CZ 2013919A CZ 2013919 A3 CZ2013919 A3 CZ 2013919A3
- Authority
- CZ
- Czechia
- Prior art keywords
- resolution
- line test
- image
- plane
- optical system
- Prior art date
Links
Abstract
Zařízení pro měření rozlišovací schopnosti mikroskopových objektivů pomocí čárového testu rozlišovací schopnosti prosvětlovaného zdrojem záření je tvořeno osvětlovacím blokem sestávajícím se z na společné optické ose ležícího zdroje (1) záření, kondenzoru (2) a matnice (3). Na téže optické ose je umístěná pankratická optická soustava (5) s proměnným zvětšením, za kterou je zařazen dělicí hranol (6). Ve směru svazku procházejícího dělicím hranolem (6) je v předmětové rovině měřeného mikroskopového objektivu (7) umístěno rovinné zrcadlo (9). Ve směru svazku zpětně odraženého od dělicího hranolu (6) je umístěna pomocná optická soustava pro zobrazení obrazu čárového testu (4) rozlišovací schopnosti. Čárový test (4) rozlišovací schopnosti je umístěn na společné optické ose za osvětlovacím blokem a jeho umístění je zvoleno tak, že jeho obraz leží v obrazové rovině (.eta..sub.1.n.) měřeného mikroskopového objektivu (7).A device for measuring the resolution of microscope lenses by means of a line test of the resolution of the light source is formed by an illumination block consisting of a common source of radiation (1), a condenser (2) and a focusing screen (3) lying on a common optical axis. On the same optical axis there is a pancratic optical system (5) with variable magnification, behind which a separating prism (6) is inserted. A planar mirror (9) is positioned in the object plane of the microscopic objective (7) in the direction of the beam passing through the partition prism (6). In the direction of the beam backscattered from the dividing prism (6), an auxiliary optical system is positioned to display the image of the line test (4) of the resolution. The resolution (4) line test is located on a common optical axis behind the illumination block and its location is selected such that its image lies in the image plane (.alpha.1. Of the measured microscope objective) (7).
Description
Zařízení pro měření rozlišovací schopnosti mikroskopových objektivůApparatus for measuring the resolution of microscope lenses
Oblast technikyTechnical field
Technické řešení se týká zařízení pro vizuální i automatizované měření rozlišovací schopnosti mikroskopových objektivů.The technical solution relates to a device for visual and automated measurement of the resolution of microscope lenses.
Dosavadní stav technikyBACKGROUND OF THE INVENTION
Mikroskopové objektivy jsou jednou z nejdůležitějších částí optických mikroskopů. Na jejich zobrazovacích vlastnostech závisí množství informací o vyšetřovaném objektu, jež může mikroskop poskytnout. Čím kvalitnější bude mikroskopový objektiv, tím více informací o vyšetřovaném objektu lze získat a žádným dalším zařízením toto již nelze zlepšit. Kvalita mikroskopového objektivu závisí především na jeho zbytkových aberacích a množství parazitního světla v obraze. Vzhledem k tomu, že mikroskopové objektivy patří k nejlépe korigovaným běžně komerčně vyráběným optickým soustavám s vysokou kvalitou zobrazení, je nutné jejich kvalitu zobrazení vhodným způsobem posuzovat. Jedním ze způsobů hodnocení kvality mikroskopových objektivů je měření jejich rozlišovací schopnosti. Obvykle se rozlišovací schopnost hodnotí pozorováním čárových testů o různých prostorových frekvencích. Čárový test je tvořen celou skupinou čar o různých prostorových frekvencích. Maximální prostorová frekvence, určená počtem čar na milimetr, běžně komerčně dostupných čárových testů je 600 čar/mm. Vzhledem k tomu, že každý test obsahuje celou škálu prostorových frekvencí, lze s jeho pomocí testovat rozlišovací schopnost a kvalitu zobrazení řady mikroskopových objektivů. Jakákoliv optická soustava, to je i mikroskopový objektiv, není schopna jednotlivé struktury předmětu, například testu rozlišovací schopnosti, zobrazit se stejným kontrastem a obraz bude tedy mít vždy horší kontrast než předmět. Přitom hrubší struktury předmětu budou zobrazeny s větším kontrastem než jemné struktury. Velmi často se stává, že příliš jemné struktury předmětu nebudou optickou soustavou vůbec zobrazeny, neboť parametry optické soustavy to neumožňují. V případě zobrazení nekoherentním zářením je optická funkce přenosu fyzikálně dokonalé optické soustavy s rovnoměrně osvětlenou a propustnou kruhovou pupilou dána vztahemMicroscope lenses are one of the most important parts of optical microscopes. The amount of information the microscope can provide about the object being examined depends on their imaging properties. The better the microscope objective is, the more information about the object can be obtained and no other device can improve it. The quality of a microscope lens depends primarily on its residual aberrations and the amount of parasitic light in the image. Since microscope lenses are among the best corrected commercially produced optical systems with high image quality, it is necessary to assess their image quality appropriately. One way to evaluate the quality of microscope lenses is to measure their resolution. Typically, the resolution is evaluated by observing line tests of different spatial frequencies. A line test consists of a whole group of lines of different spatial frequencies. The maximum spatial frequency, determined by the number of lines per millimeter, of commercially available line tests is 600 lines / mm. Because each test contains a wide range of spatial frequencies, it can test the resolution and imaging quality of many microscope lenses. Any optical system, including a microscope lens, is not capable of displaying individual structures of an object, such as a resolution test, with the same contrast, and thus the image will always have a worse contrast than the object. In doing so, the coarser structures of the object will be displayed with greater contrast than the fine structures. Very often, too fine structures of an object will not be displayed by the optical system at all, because the parameters of the optical system do not allow this. In the case of imaging by incoherent radiation, the optical function of the transmission of a physically perfect optical system with uniformly illuminated and permeable circular pupil is given by
-2 1 ......-2 1 ......
D(s) = - (arccos 5 - kde λ = l.Rc , se< 0,1 >D (s) = - (arccos 5 - where λ = l.Rc, se <0,1>
je normovaná prostorová frekvence, λ vlnová délka světla, R prostorová frekvence v obrazové rovině udaná počtem čar na jednotku délky, například počet čar/mm, a c clonové číslo optické soustavy v obrazovém prostoru (např. mikroskopového objektivu). Pro maximální prostorovou frekvenci Rmax , kterou je schopen objektiv ještě rozlišit, platíis the standardized spatial frequency, λ wavelength of light, R the spatial frequency in the image plane given by the number of lines per unit of length, for example, the number of lines / mm, and the f-number of the optical system in the image space (eg microscope). The maximum spatial frequency R max , which the lens can still distinguish, applies
Rmax = 2>Α/λ [čar/mm], kde A značí numerickou aperturu objektivu a λ je vlnová délka světla v mm. Tento vztah umožňuje určit, kolik čar/mm je schopna fyzikálně dokonalá optická soustava s clonovým číslem c rozlišit při zobrazení světlem o vlnové délce λ. Rozlišovací schopnost optické soustavy je tedy dána prostorovou frekvencí Rmax, kterou daná optická soustava přenese s nulovým kontrastem. Pro maximální frekvenci v obrazovém prostoru platí /?' = 21 Amax λ ’ kde m je příčné zvětšení optické soustavy (např. mikroskopového objektivu). Hodnoty maximálních frekvencí, které může optická soustava přenést a rozlišit pro sadu achromatických mikroskopových objektivů pro vlnovou délku λ = 546 nm, jsou uvedeny v následující tabulce.R max = 2> Α / λ [lines / mm], where A denotes the numerical aperture of the objective and λ is the wavelength of light in mm. This relationship makes it possible to determine how many lines / mm the physically perfect optical system with f-number c can distinguish when displayed by light of wavelength λ. The resolution of the optical system is thus given by the spatial frequency R max , which the optical system transmits with zero contrast. For the maximum frame rate, /? ' = 21 A max λ 'where m is the transverse magnification of the optical system (eg microscope objective). The maximum frequency values that the optical system can transmit and distinguish for a set of achromatic microscope objectives for a wavelength λ = 546 nm are given in the following table.
- 3 Z uvedeného vyplývá, že pro měření rozlišovací schopnosti mikroskopových objektivů by bylo nutné vyrobit testy rozlišovací schopnosti s velmi vysokou prostorovou frekvencí, což je prakticky obtížné proveditelné a finančně nákladné. Jak je však z tabulky patrné, maximální prostorové frekvence v obrazové rovině jsou v poměru zvětšení menší a lze je tak již jednoduše prakticky realizovat. Abychom se vyhnuli vysokému počtu čar/mm u testů v předmětové rovině mikroskopového objektivu, lze při testování rozlišovací schopnosti mikroskopových objektivů s výhodou užít čárových testů rozlišovací schopnosti na obrazové straně s daleko nižší hodnotou prostorové frekvence.It follows that in order to measure the resolution of microscope lenses, it would be necessary to produce resolution tests with a very high spatial frequency, which is practically difficult to implement and expensive. However, as can be seen from the table, the maximum spatial frequencies in the image plane are smaller in the magnification ratio and can thus be practically implemented. In order to avoid a high number of lines / mm for tests in the object plane of the microscope objective, it is advantageous to use line tests on the image side with a much lower spatial frequency value when testing the resolution of the microscope objectives.
Podstata vynálezuSUMMARY OF THE INVENTION
Výše uvedené nedostatky metody určování rozlišovací schopnosti mikroskopových pomocí čárových testů na předmětové straně jsou odstraněny zařízením pro měření rozlišovací schopnosti mikroskopových objektivů pomocí čárového testu prosvětlovaného zdrojem záření dle tohoto technického řešení, které umožňuje jednoduše testovat rozlišovací schopnost mikroskopových objektivů i pro velmi vysoké prostorové frekvence.The aforementioned drawbacks of the method of determining the resolution of microscopes by line tests on the subject side are eliminated by the apparatus for measuring the resolution of microscope lenses using a radiation source illuminated line according to the present invention, which makes it easy to test the resolution of microscopes.
V jednom základním provedení je toto nové zařízení je tvořeno osvětlovacím blokem sestávajícím se z na společné optické ose ležícího zdroje záření, kondenzoru a matnice. Na téže optické oseje umístěná pankratická optická soustava s proměnným zvětšením a dělicí hranol. Ve směru svazku procházejícího dělicím hranolem je v předmětové rovině měřeného mikroskopového objektivu umístěno rovinné zrcadlo. Ve směru svazku zpětně odraženého od dělicího hranolu je pak umístěna pomocná optická soustava pro zobrazení obrazu čárového testu rozlišovací schopnosti. Čárový test rozlišovací schopnosti je umístěn na společné optické ose za osvětlovacím blokem a jeho umístění je zvoleno tak, že jeho obraz leží v obrazové rovině měřeného mikroskopového objektivu.In one basic embodiment, the new device is comprised of an illumination block consisting of a radiation source, a condenser and a focusing screen lying on a common optical axis. A pancratic optical system with variable magnification and a prism placed on the same optical axis. A plane mirror is placed in the object plane of the microscope objective to be measured in the direction of the beam passing through the prism. Auxiliary optical system for displaying the image of the line test of the resolution is then placed in the direction of the beam reflected back from the prism. The resolution test line is located on a common optical axis behind the illuminating block and its location is selected such that its image lies in the image plane of the microscope objective being measured.
Pro vizuální zobrazení okem je pomocná optická soustava pro zobrazení obrazu čárového testu rozlišovací schopnosti tvořena okulárem se zvoleným zvětšením,For visual visualization to the eye, the auxiliary optical system for displaying the image of the line test of resolution is formed by an eyepiece with a selected magnification,
-4* -* jehož předmětová ohnisková rovina splývá s rovinou vytvoření obrazu čárového testu rozlišovací schopnosti.-4 * - * whose object focal plane coincides with the plane of the line test image creation resolution.
V uspořádání pro digitální záznam je pomocná optická soustava pro zobrazení obrazu čárového testu rozlišovací schopnosti tvořena objektivem se zvoleným zvětšením pro přizpůsobení průměru vystupujícího svazku apertuře za ním zařazené digitální kamery. Předmětová ohnisková rovina objektivu splývá s rovinou vytvoření obrazu čárového testu rozlišovací schopnosti. Výstup z digitální kamery je pak propojen s vyhodnocovacím počítačem.In a digital recording arrangement, the auxiliary optical system for displaying the line image resolution test image is formed by a lens of selected magnification to match the diameter of the projecting beam to the aperture downstream of the digital camera. The objective focal plane of the lens coincides with the plane of image resolution test. The output from the digital camera is then connected to the evaluation computer.
Čárový test rozlišovací schopnosti je s výhodou měnitelný. Může být ve výhodném provedení realizován programovatelným transmisním modulátorem světla s variabilní možností změny struktury, prostorové frekvence a orientace testu.The line test of the resolution is preferably variable. In a preferred embodiment, it can be implemented by a programmable light transmitting modulator with variable possibility to change the structure, spatial frequency and test orientation.
Rovinné zrcadlo je možné opatřit krycím sklem. V případě testování mikroskopových objektivů nekorigovaných pro krycí sklo se krycí sklo nepoužije.The flat mirror can be fitted with a cover glass. In the case of testing microscope lenses uncorrected for covering glass, the covering glass shall not be used.
Ve druhém základním provedení je zařízení tvořeno osvětlovacím blokem realizovaným programovatelným optoelektronickým mikrodisplejem s implementovaným čárovým testem rozlišovací schopnosti s možností variabilně měnit zobrazovaný čárový test rozlišovací schopnosti s různou prostorovou frekvencí a orientací. Čárový test rozlišovací schopnosti je umístěn v obrazové rovině měřeného mikroskopového objektivu. Za tímto programovatelným optoelektronickým mikrodisplejem je na téže optické ose umístěna pankratická optická soustava s proměnným zvětšením a dělicí hranol. Ve směru svazku procházejícího dělicím hranolem je v předmětové rovině měřeného objektivu umístěno rovinné zrcadlo a ve směru svazku zpětně odraženého od dělicího hranolu je umístěna pomocná optická soustava pro zobrazení obrazu čárového testu rozlišovací schopnosti.In the second basic embodiment, the device consists of a lighting block realized by a programmable optoelectronic micro display with implemented line test of resolution with the possibility to vary the displayed line test of resolution with different spatial frequency and orientation. The line test of resolution is placed in the image plane of the measured microscope objective. Behind this programmable optoelectronic micro display is a pancratic optical system with variable magnification and a prism on the same optical axis. In the direction of the beam passing through the separating prism, a plane mirror is placed in the object plane of the objective to be measured, and in the direction of the beam reflected back from the separating prism, an auxiliary optical system for displaying a line image of the resolution test.
Pro vizuální pozorování obrazu čárového testu rozlišovací schopnosti je pomocná optická soustava tvořena okulárem se zvoleným zvětšením, jehož předmětová ohnisková rovina splývá s rovinou vytvoření obrazu čárového testu rozlišovací schopnosti.To visually observe the line test resolution image, the auxiliary optical system is formed by a selected magnification eyepiece, whose object focal plane coincides with the line test resolution image formation plane.
Pro digitální záznam je pomocná optická soustava pro zobrazení obrazu čárového testu rozlišovací schopnosti tvořena objektivem se zvoleným zvětšením pro přizpůsobení průměru vystupujícího svazku apertuře za ním zařazené digitální kamery. Předmětová ohnisková rovina objektivu splývá s rovinou vytvoření obrazu čárového testu rozlišovací schopnosti. Výstup z digitální kamery je propojen s vyhodnocovacím počítačem.For digital recording, the auxiliary optical system for displaying the line image resolution test image is formed by a lens of selected magnification to match the diameter of the projecting beam to the aperture downstream of the digital camera. The objective focal plane of the lens coincides with the plane of image resolution test. The output from the digital camera is connected to the evaluation computer.
I v tomto provedení je možné rovinné zrcadlo pokrýt krycím sklem s tím, že v případě testování mikroskopových objektivů nekorigovaných pro krycí sklo se krycí sklo nepoužije.Even in this embodiment, the planar mirror can be covered with a cover glass, provided that the cover glass is not used when testing microscope lenses uncorrected for the cover glass.
Objasnění výkresůClarification of drawings
Zařízení pro měření rozlišovací schopnosti mikroskopových objektivů podle tohoto technického řešení bude podrobněji popsáno na konkrétním příkladu provedení dvou variant s pomocí přiložených výkresů, kde na Obr. 1 je znázorněna schematicky v bokorysu sestava zařízení pro vizuální měření rozlišovací schopnosti mikroskopových objektivů se zdrojem záření osvětlujícím testový obrazec. Na Obr. 2 je uvedena sestava zařízení pro automatizované měření rozlišovací schopnosti mikroskopových objektivů se zdrojem záření osvětlujícím testový obrazec a na Obr. 3 příklad v podobě sestavy zařízení pro měření rozlišovací schopnosti s programovatelným mikrodisplejem jako zdrojem světla.The apparatus for measuring the resolution of the microscope lenses according to the present invention will be described in more detail on a specific embodiment of two variants with the aid of the attached drawings, where in FIG. 1 is a schematic side view of an assembly of a device for visually measuring the resolution of microscope objectives with a radiation source illuminating a test pattern. In FIG. 2 shows an assembly of apparatus for automated measurement of the resolution of microscope objectives with a radiation source illuminating the test pattern; and FIG. 3 shows an example in the form of a set of resolution measuring devices with a programmable micro display as a light source.
Příklady uskutečnění vynálezuDETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Schéma jedné varianty příkladného zařízení pro vizuální měření rozlišovací schopnosti mikroskopových objektivů se zdrojem záření osvětlujícím testový obrazec je znázorněno na Obr.(l. Zařízení je zde tvořeno osvětlovacím blokem sestávajícím se z na společné optické ose ležícího zdroje 1 záření, kondenzoru 2 a matnice 3 Na téže optické ose je umístěna pankratická optická soustava 5 s proměnným zvětšením, za níž je zařazen dělicí hranol 6. Ve směru svazku procházejícího dělicím hranolem 6 je v předmětové rovině ξ měřeného mikroskopového objektivu 7 umístěno rovinné zrcadlo 9, které je v zvěděném příkladu pokryto krycím sklem 8. VeA diagram of one variant of an exemplary device for visual measurement of the resolution of microscope lenses with a radiation source illuminating the test pattern is shown in Fig. (1) The device here consists of an illumination block consisting of a common radiation axis 1 of radiation source, condenser 2 and matrix 3 In the same optical axis, a pancratic optical system 5 with variable magnification is placed, behind which a prism 6 is arranged. In the direction of the beam passing through the prism 6, a plane mirror 9 is located in the object plane ξ of the microscope. 8. Ve
- 6 ~ ‘ · ’ směru svazku zpětně odraženého od dělicího hranolu 6 je umístěna pomocná optická soustava pro zobrazení obrazu čárového testu 4 rozlišovací schopnosti. Čárový test 4 rozlišovací schopnosti je umístěn na společné optické ose za osvětlovacím blokem a jeho umístění je zvoleno tak, že jeho obraz po zobrazení pankratickou optickou soustavou 5 leží v obrazové rovině ni měřeného mikroskopového objektivu 7.An auxiliary optical system for displaying the image of the line test 4 resolution is located 6 of the direction of the beam reflected back from the prism 6. The resolution test line 4 is located on a common optical axis behind the illumination block and its location is selected such that its image, when imaged by the pancratic optical system 5, lies in the image plane of the microscope objective 7 measured.
V případě vizuálního zobrazení výsledku okem 11 je pomocná optická soustava pro zobrazení obrazu čárového testu 4 rozlišovací schopnosti tvořena okulárem 10 se zvoleným zvětšením. Předmětová ohnisková rovina η? okuláru 10 splývá s rovinou vytvoření obrazu čárového testu 4 rozlišovací schopnosti. Pokud je zařízení realizováno pro digitální záznam, je pomocná optická soustava pro zobrazení obrazu čárového testu 4 rozlišovací schopnosti tvořena objektivem 12 se zvoleným zvětšením pro přizpůsobení průměru vystupujícího svazku apertuře za ním zařazené digitální kamery 13. Předmětová ohnisková rovina η? objektivu 12 splývá s rovinou vytvoření obrazu čárového testu 4 rozlišovací schopnosti. Výstup z digitální kamery 13 je propojen s vyhodnocovacím počítačem.In the case of visual display of the result by the eye 11, the auxiliary optical system for displaying the image of the resolution test line 4 is formed by an eyepiece 10 at a selected magnification. Subject focal plane η? of the eyepiece 10 coincides with the plane of image formation of the line test 4 resolution. If the device is implemented for digital recording, the auxiliary optical system for displaying the image of the line test 4 is formed by a lens 12 with a selected magnification to match the diameter of the projecting beam to the aperture of the downstream digital camera 13. Object focal plane η? of the lens 12 coincides with the plane of image formation of the line test 4 resolution. The output of the digital camera 13 is connected to the evaluation computer.
Zobrazovaný čárový test 4 může být buď fixní nebo měnitelný, například pomocí otočného kotouče s testy nebo použitím programovatelného transmisního LC mikrodispleje, který umožňuje generovat požadované čárové testy s různou prostorovou frekvencí.The displayed line test 4 may be either fixed or changeable, for example by means of a rotating test disk or by using a programmable transmission LC micro display which allows to generate the desired line tests with different spatial frequency.
Zdroj záření 1 osvětluje pomocí kondenzoru 2 a matnice 3 čárový test 4 rozlišovací schopnosti. Čárový test 4 rozlišovací schopnosti je dále zobrazen pomocí pankratické optické soustavy 5 do obrazové roviny m měřeného mikroskopového objektivu 7. Tímto mikroskopovým objektivem 7 je potom zobrazen do jeho předmětové roviny ξ, v níž je umístěno rovinné zrcadlo 9 pokryté krycím sklem 8.The radiation source 1 illuminates the line test 4 by means of a condenser 2 and a matrix 3. The resolution test line 4 is further illustrated by a pancratic optical system 5 in the image plane m of the microscope objective 7 being measured. This microscope objective 7 is then shown in its object plane ξ, in which a planar mirror 9 covered by a cover glass 8 is placed.
V případě testování mikroskopových objektivů, které nejsou korigovány pro určitou tloušťku krycího skla 8 se krycí sklo 8 pro testování nepoužije. Světlo odražené od rovinného zrcadla 9 znovu prochází měřeným mikroskopovým objektivem 7, po odrazu na dělícím hranolu 6 vytváří obraz čárového testu 4 v předmětové ohniskové rovině η? okuláru 10, pomocí kterého je potom pozorován okem 11, popřípadě je možné místo okuláru 10 použít objektiv 12 a digitální kameru 13 pro záznam obrazu testu.In the case of testing microscope lenses that are not corrected for a certain thickness of the cover glass 8, the cover glass 8 is not used for testing. The light reflected from the plane mirror 9 again passes through the measured microscope objective 7, after reflection on the prism 6 forms the image of the line test 4 in the object focal plane η? of the eyepiece 10, through which the eye 11 is then observed, or a lens 12 and a digital camera 13 can be used instead of the eyepiece 10 to record the test image.
Zařízení je možno konstruovat jako zobrazovací adaptér k mikroskopu, který je možno jednoduše začlenit do sestavy mikroskopu, jehož objektivy mají být testovány. Zařízení lze též realizovat variantně s digitálním záznamem obrazu pozorovaného testu a následnou možností automatizovaného počítačového vyhodnocení rozlišovací schopnosti mikroskopového objektivu 7, Obr. 2. Zde je zařízení tvořeno osvětlovacím blokem realizovaným programovatelným optoelektronickým mikrodisplejem 14 s implementovaným čárovým testem 4 rozlišovací schopnosti s možností variabilně měnit zobrazovaný čárový test 4 rozlišovací schopnosti s různou prostorovou frekvencí a orientací. Čárový test 4 rozlišovací schopnosti je umístěn v obrazové rovině m měřeného mikroskopového objektivu 7. Za programovatelným optoelektronickým mikrodisplejem 14 je na téže optické ose umístěna pankratická optická soustava 5 s proměnným zvětšením a dělicí hranol 6. Ve směru svazku procházejícího dělicím hranolem 6 je v předmětové rovině £ měřeného mikroskopového objektivu 7 umístěno rovinné zrcadlo 9, které opět může být opatřeno krycím sklem 8. Ve směru svazku zpětně odraženého od dělicího hranolu 6 je umístěna pomocná optická soustava pro zobrazení obrazu čárového testu 4 rozlišovací schopnosti. Analogicky jako u první varianty je pro vizuální pozorování obrazu čárového testu 4 rozlišovací schopnosti použita pomocná optická soustava tvořena okulárem 10 se zvoleným zvětšením, jejíž předmětová ohnisková rovina n? splývá s rovinou vytvoření obrazu čárového testu 4 rozlišovací schopnosti. Pro digitální záznam je pak pomocná optická soustava pro zobrazení obrazu čárového testu 4 rozlišovací schopnosti tvořena objektivem 12 se zvoleným zvětšením pro přizpůsobení průměru vystupujícího svazku apertuře za ním zařazené digitální kamery 13. Předmětová ohnisková rovina η? objektivu 12 splývá s rovinou vytvoření obrazu čárového testu 4 rozlišovací schopnosti. Výstup z digitální kamery 13 je propojen s vyhodnocovacím počítačem.The device can be constructed as a microscope imaging adapter that can be easily incorporated into the microscope assembly whose objectives are to be tested. The device can also be implemented as a variant with digital recording of the image of the observed test and subsequent possibility of automated computer evaluation of the resolution of the microscope objective 7, FIG. 2. Here, the device consists of an illuminating block implemented by a programmable optoelectronic micro display 14 with implemented resolution test line 4 with the ability to vary the displayed resolution test line 4 with varying spatial frequency and orientation variable. The resolution test line 4 is located in the image plane m of the microscope objective to be measured 7. Behind the programmable optoelectronic micro display 14 is located on the same optical axis a pancratic optical system 5 with variable magnification and a prism 6. In the beam In the direction of the beam back reflected from the prism 6, there is an auxiliary optical system for displaying the image of the line test 4 of the resolution. Analogous to the first variant, an auxiliary optical system consisting of an eyepiece 10 with a selected magnification, whose object focal plane n? merges with the plane of image formation of the line test 4 resolution. For digital recording, the auxiliary optical system for displaying the image of the line test 4 is constituted by a lens 12 with a selected magnification to match the diameter of the projecting beam to the aperture of the downstream digital camera 13. The focal plane η? of the lens 12 coincides with the plane of image formation of the line test 4 resolution. The output of the digital camera 13 is connected to the evaluation computer.
V provedení pro digitální záznam je obraz testu 4 vytvořený v předmětové ohniskové rovině n? objektivu 12 zobrazen pomocí tohoto objektivu 12 a digitální kamery 13.In an embodiment for digital recording, the image of test 4 is formed in the subject focal plane n? the lens 12 shown by this lens 12 and the digital camera 13.
ΛΛ
- 8Ζ obrazu zaznamenaného digitální kamerou 13 již lze vyhodnotit pomocí počítače rozlišovací schopnost testovaného mikroskopového objektivu 7.- The 8Ζ image recorded by the digital camera 13 can already be evaluated using a computer the resolution of the microscope objective tested 7.
Varianta zařízení, kde je jako zdroj použít programovatelný optoelektronický mikrodisplej 14, například OLED nebo transmisní displej, je zobrazena na Obr. 3. Na mikrodispleji 14 lze variabilním způsobem pomocí počítače zobrazovat čárovou strukturu s různou prostorovou frekvencí pro různé části zorného pole mikroskopového objektivu. Tento testový obrazec na mikrodispleji 14 je poté přímo pomocí pankratické soustavy 5 s vhodným zvětšením opět zobrazen do předmětové roviny £ mikroskopového objektivu 7 a odražené světlo od rovinného zrcadla 9 je tak jako v předchozí variantě pozorováno pomocí objektivu 12 a digitální kamery 13, popřípadě je možné místo pomocné objektivu 12 a digitální kamery 13 použít okulár 10, pomocí kterého je potom obraz čárového testu 4 pozorován okem H.A variant of a device where a programmable optoelectronic micro display 14, such as an OLED or transmission display, is used as a source is shown in FIG. 3. On the microdisplay 14, a line structure with different spatial frequency for different portions of the microscope lens field of view can be displayed in a variable manner using a computer. This test pattern on the microdisplay 14 is then again displayed directly to the object plane 6 of the microscope objective 7 with a suitable magnification, with appropriate magnification, and the reflected light from the plane mirror 9 is observed, as in the previous variant, by the lens 12 and digital camera 13 instead of the auxiliary lens 12 and the digital camera 13, use an eyepiece 10, with which the line test image 4 is then observed with the eye H.
Zařízení je možno konstruovat jako zobrazovací adaptér k mikroskopu, který je možno jednoduše začlenit do sestavy mikroskopu, jehož objektivy mají být testovány. Průmyslová využitelnostThe device can be constructed as a microscope imaging adapter that can be easily incorporated into the microscope assembly whose objectives are to be tested. Industrial applicability
Zařízení pro měření rozlišovací schopnosti mikroskopových objektivů je možno využít pro průmyslovou kontrolu vyráběných mikroskopových objektivů pomocí flexibilního vizuálního popř. automatizovaného měření rozlišovací schopnosti.The device for measuring the resolution of microscope lenses can be used for industrial inspection of produced microscope lenses by means of flexible visual or visual inspection. automated measurement of resolution.
Claims (10)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CZ2013-919A CZ2013919A3 (en) | 2013-11-21 | 2013-11-21 | Device to measure resolving power of microscope objectives |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CZ2013-919A CZ2013919A3 (en) | 2013-11-21 | 2013-11-21 | Device to measure resolving power of microscope objectives |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CZ304851B6 CZ304851B6 (en) | 2014-12-03 |
| CZ2013919A3 true CZ2013919A3 (en) | 2014-12-03 |
Family
ID=51989665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CZ2013-919A CZ2013919A3 (en) | 2013-11-21 | 2013-11-21 | Device to measure resolving power of microscope objectives |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CZ (1) | CZ2013919A3 (en) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7791724B2 (en) * | 2006-06-13 | 2010-09-07 | Asml Netherlands B.V. | Characterization of transmission losses in an optical system |
| US9360662B2 (en) * | 2011-10-20 | 2016-06-07 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Optical measurement system and method for measuring critical dimension of nanostructure |
-
2013
- 2013-11-21 CZ CZ2013-919A patent/CZ2013919A3/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CZ304851B6 (en) | 2014-12-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6655121B2 (en) | Optical measurement method | |
| US20210215923A1 (en) | Microscope system | |
| JP2013061688A (en) | Focus adjustment device and focus adjustment method | |
| JP2016540989A (en) | Method and apparatus for inspecting a sample using optical projection tomography | |
| JP2021518576A (en) | How to manipulate the optical path with a microscope and equipment, how to take a stack image with a microscope | |
| JP2013080243A (en) | Optical system, utilization method thereof, and method to observe object thereby | |
| US8634067B2 (en) | Method and apparatus for detecting microscopic objects | |
| US11782088B2 (en) | Devices, methods and sample holder for testing photonic integrated circuits and photonic integrated circuits | |
| US10139609B1 (en) | Dual magnification apparatus and system for examining a single objective in a scanning optical microscope using two wavelengths of light | |
| JP5726490B2 (en) | Light intensity measurement unit and microscope equipped with the same | |
| US20140320672A1 (en) | Method and Apparatus for Measuring Flange Back Focus and Calibrating Track Length Scales of Photographic Objective Lenses | |
| CZ2013919A3 (en) | Device to measure resolving power of microscope objectives | |
| JP2017090581A (en) | Lighting device and observation system | |
| CZ26833U1 (en) | Apparatus for measuring resolution power of microscope objects | |
| PL227532B1 (en) | Optical system of the confocal sensor with visual monitoring | |
| US20200041350A1 (en) | Shack-hartmann wavefront detector for wavefront error measurement of higher numerical aperture optical systems | |
| RU2413205C1 (en) | X-ray optical endoscope | |
| RU2491586C1 (en) | Autocollimating angle-measuring device | |
| KR200372906Y1 (en) | Apparatus for measuring lens focal length and eccentricity | |
| Wyant | 1.0 measurement of paraxial properties of optical systems | |
| JP7260120B2 (en) | Pupil lens measuring device and measuring method | |
| JP2010014463A (en) | Method of measuring optical element and method of manufacturing optical element | |
| RU2293363C2 (en) | Device for inspecting internal surfaces of bodies | |
| Premkumar et al. | Telemetry microscope | |
| Brock et al. | Wavefront testing of optical windows and mirrors |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | Patent lapsed due to non-payment of fee |
Effective date: 20171121 |