CS259749B1 - Device for means handling in ultravacuum instruments e.g.preparation in electron microscopes - Google Patents
Device for means handling in ultravacuum instruments e.g.preparation in electron microscopes Download PDFInfo
- Publication number
- CS259749B1 CS259749B1 CS873765A CS376587A CS259749B1 CS 259749 B1 CS259749 B1 CS 259749B1 CS 873765 A CS873765 A CS 873765A CS 376587 A CS376587 A CS 376587A CS 259749 B1 CS259749 B1 CS 259749B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- sleeve
- vacuum
- control tube
- terminated
- preparation
- Prior art date
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
Podstatu tvoří nosné pouzdro, v jehož válcové dutině v křížovém závěsu je kyvně uloženo závěsné pouzdro, kterým prochází ovládací trubičko, zakončená nosníkem k připevnění prostředku, která je vakuově spojená přes vlnovec se dnem. Závěsné pouzdro je na druhém konci ukončeno osazením po obvodě opatřeným hřitem, po kterém se posouvají čtyři kladky pružně upevněné v přírubovém osazení. Na ovládací trubičku dosedá osazený konec diferenciálního šroubu. Nosné pouzdro je spojeno s upev ňovací přírubou opatřenou vakuově těsnicím kroužkem, například z měkkého kovu.The essence is formed by the bearing sleeve, in whose cylindrical the cavity in the cross hinge is swinging hung sleeve is placed through it control tube terminated by beam to attaching a device that is vacuum connected via bellows with bottom. Hanging the housing is terminated with a shoulder at the other end circumferentially provided with a stick on which four pulleys are moved flexibly in a flanged shoulder. On the control tube the mounted end of the differential abuts bolt. The carrier sleeve is connected to the mounting flange fitted with vacuum sealing a ring, such as a soft metal.
Description
Podstatu tvoří nosné pouzdro, v jehož válcové dutině v křížovém závěsu je kyvně uloženo závěsné pouzdro, kterým prochází ovládací trubičko, zakončená nosníkem k připevnění prostředku, která je vakuově spojená přes vlnovec se dnem. Závěsné pouzdro je na druhém konci ukončeno osazením po obvodě opatřeným hřitem, po kterém se posouvají čtyři kladky pružně upevněné v přírubovém osazení. Na ovládací trubičku dosedá osazený konec diferenciálního šroubu. Nosné pouzdro je spojeno s upevňovací přírubou opatřenou vakuově těsnicím kroužkem, například z měkkého kovu.The essence consists of a support sleeve in which a cylindrical cavity in the cross hinge is pivotably mounted with a suspension sleeve through which the control tube terminates, ending with a beam for attaching the means, which is vacuum-connected via the bellows to the bottom. The hinged sleeve is terminated at the other end by a circumferentially provided edge, after which four pulleys flexibly mounted in the flange shoulder are moved. The actuated end of the differential screw bears on the control tube. The support sleeve is connected to a fastening flange provided with a vacuum sealing ring, for example of soft metal.
Vynález se týká zařízení pro manipulaci s prostředky v- ultravakuových přístrojích, -například preparátu v elektronových mikroskopech v osách x, y, z.The invention relates to an apparatus for handling means in an ultra-vacuum apparatus, for example a preparation in electron microscopes in the x, y, z axes.
V různých vakuových zařízeních se setkáváme s problémem přesného a seřiditelného nastavení prvku do určité polohy. Manipulátor musí umožňovat pohyb v osách x, y, z ovládaný z vnějšku zařízení a přenesený do jeho částí, kde je vysoké vakuum. Přitom je nutné zejména dodržovat časovou i prostorovou stálost nastavení ipolohy, která může být ovlivňována tepelnou dilatací materiálů, vibracemi, vůlemi v mechanismech.In various vacuum devices we encounter the problem of accurate and adjustable adjustment of the element to a certain position. The manipulator must allow movement in the x, y, z axes controlled from outside the device and transferred to its parts where there is a high vacuum. In particular, it is necessary to maintain the temporal and spatial stability of the adjustment of the position, which can be influenced by thermal dilatation of materials, vibrations, clearances in mechanisms.
V zařízeních pracujících s ultravakuem se vylučuje možnost použití manipulátorů s gumovým těsněním. Snadnost montáže většinou vyžaduje umístění všech ovládacích mechanismů manipulátoru na jedné přírubě bez jejich vazby na ostatní části přístroje. Vzhledem k relativně malým rozměrům ultravakuových aparatur je nutné, aby rozměry manipulátoru byly minimální. Dosavadní známé konstrukce nesplňují důsledně všechny shora uvedené technické a ultravakuové požadavky, a proto je k tomuto účelu většinou nelze použít.The use of rubber seal manipulators is excluded in ultravacuum facilities. The ease of assembly usually requires placing all the manipulator controls on a single flange without attaching them to other parts of the machine. Due to the relatively small dimensions of the ultra-vacuum apparatus, it is necessary that the dimensions of the manipulator be minimal. The prior art constructions do not consistently meet all the above-mentioned technical and ultra-vacuum requirements, and therefore they are generally not suitable for this purpose.
Tyto nedostatky odstraňuje zařízení pro manipulaci s prostředky v ultravakuových přístrojích, například preparátu v elektronových mikroskopech, jehož podstatou je, že sestává z nosného pouzdra, v jehož válcové dutině v křížovém závěsu je kyvně uloženo závěsné pouzdro, kterým prochází ovládací trubička zakončená nosníkem k připevněni prostředku, která je vakuově spojená přes vlnovec se dnem na jednom konci nosného pouzdra, přičemž závěsné pouzdro je ukončeno osazením po obvodě opatřeným břitem, na který doléhají křížové čtyři kladky v nosnících vůči sobě posuvné pomocí dvou regulačních šroubů proti oběma pružinám ve vodicích dutinkách provedených v přírubovém osazení na druhém konci nosného pouzdra, zatímco na ovládací trubičku dosedá osazený konec diferenciálního šroubu procházejícího otvorem ve víku nosného pouzdra, které je spojeno s upevňovací přírubou opatřenou vakuotěsně těsnicím kroužkem, například z měkkého kovu.These drawbacks are overcome by devices for handling devices in ultra-vacuum devices, such as electron microscope specimens, which consist of a support sleeve in which a cylindrical cavity in the cross-hinge is pivotably supported by a suspension sleeve through which a control tube terminated by a beam extends , which is vacuum-connected via a bellows to a bottom at one end of the bearing sleeve, the suspension sleeve being terminated by a circumferentially provided lip which is supported by four cross rollers in beams sliding relative to each other by two adjusting screws against both springs in guiding hollows a shoulder at the other end of the support sleeve, while the actuated tube bears a stepped end of a differential bolt passing through a hole in the cover of the support sleeve, which is connected to a vacuum flange mounting flange with a sealing ring, for example of soft metal.
Ovládací trubička je ještě opatřena tepelným stabilizátorem, například odporovou spirálou s termistorem.The control tube is further provided with a thermal stabilizer, for example a resistance coil with a thermistor.
Hlavní předností předkládaného zařízení je, že při své relativní jednoduchosti a rozměrové nenáročnosti umožňuje ve všech třech osách x, y, z přesné a časově i prostorově stálé nastavení polohy použitého prostředku umístěného v ultravakuu. Rozsah i citlivost nastavované polohy lze volit stoupáním regulačních diferenciálních šroubů. Pr-o větší rozsahy a menší citlivost lze použít jednoduchých justážních šroubů s větším stoupáním.The main advantage of the present device is that, due to its relative simplicity and dimensional unpretentiousness, it enables in all three x, y, z axes precise positioning of the used device placed in the ultravacu. The range and sensitivity of the position to be set can be selected by increasing the differential control screws. For larger ranges and less sensitivity, simple adjustment screws with larger pitches can be used.
Vynález blíže objasní přiložený výkres, na kterém je manipulátor znázorněn v nárysném řezu. Příklad praktického provedení na přiloženém obr. je pro objasnění podstaty vynálezu konstrukčně zjednodušen, aby byla zřejmá při popisu činnosti i funkce jednotlivých dílů.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The invention is illustrated in greater detail in the accompanying drawing, in which the manipulator is shown in elevation. In order to illustrate the nature of the invention, the exemplary embodiment shown in the accompanying drawing is simplified in order to be obvious in describing the operation and function of the individual parts.
Základ zařízení tvoří nosné pouzdro 1, ve kterém je uložen křížový závěs 2 kolmo na sebe v-ystředěný regulačními šrouby 13 a přítlačnými válečky 22. V křížovém závěsu 2 je upevněno závěsné pouzdro 3, které je opřeno přes břity 10 uspořádané v osazení 9 o kladky 11 ve válečcích 12 a přítlačných válečcích 22 suvně uložených v dutinkách 14 a přítlačných pružinou 21. V závěsném pouzdře 3 se suvně pohybuje ovládací trubička 4, na které je na jednom konci nosník 5, na který se upevňuje nastavovaný prostředek 6. Na druhém konci je ovládací trubička 4 spojena s justážním diferenciálním šroubem 15. V dutině ovládací trubičky 4 je odporová spirála 19 s termistorem 20. Ovládací trubička 4 je s nosným pouzdrem 1 spojena vlnovcem 7 umožňujícím přenos pohybu do ultravakua.The base of the device consists of a support sleeve 1, in which the cross hinge 2 is placed perpendicular to each other centered by adjusting screws 13 and thrust rollers 22. In the cross hinge 2 is fixed a suspension sleeve 3 which is supported over blades 10 arranged in shoulder 9 11 in rollers 12 and thrust rollers 22 slidably mounted in cavities 14 and thrust springs 21. In the hanger sleeve 3, the control tube 4 is slidably moved, on which at one end there is a beam 5, on which the adjusting means 6 is fixed. The control tube 4 is connected to the adjustment differential screw 15. In the cavity of the control tube 4, there is a resistive spiral 19 with a thermistor 20. The control tube 4 is connected to the carrier sleeve 1 by a bellows 7 allowing transmission of movement to the ultra-vacuum.
Prostředek 6, který má být nastavován, je umístěn na nosníku 5. Justážním diferenciálním šroubem 15 se nastaví jeho požadovaná poloha v ose y. Vůle v této ose je vymezována pružinou 23. Dvěma identickými regulačními šrouby 13 umístěnými kolmo na sebe a působícími přes válečky 12 s kladkami 11 na břity 10 vytvořenými na osazení 9 na druhém konci závěsného pouzdra 3 se nastavuje poloha prostředku 6 v osách x, z. Přítlačné pružiny 21 působí přes přítlačné válečky 22 s kladkami 11 na břity 10 na osazení 9 závěsného pouzdra 3 a vymezují vůle v osách x, z.The means 6 to be adjusted is located on the beam 5. The adjusting screw 15 adjusts its desired y-axis position. The clearance in this axis is defined by a spring 23. By means of two identical control screws 13 placed perpendicular to each other and acting over rollers 12 with rollers 11 on the blades 10 formed on the shoulder 9 at the other end of the suspension sleeve 3. The compression springs 21 act on the shoulders 9 of the suspension sleeve 3 via thrust rollers 22 with rollers 11 on the blades 10 and define the play in the x, z axes.
Zařízení lze uplatnit v aparaturách pracujících v oblastech ultravakua, zvláště v elektronových mikroskopech, a to zejména pro posuv zkoumaného předmětu clony a jiného prostředku.The device can be used in apparatuses operating in ultravacuum areas, especially in electron microscopes, especially for moving the examined object of the aperture and other means.
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS873765A CS259749B1 (en) | 1987-05-25 | 1987-05-25 | Device for means handling in ultravacuum instruments e.g.preparation in electron microscopes |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS873765A CS259749B1 (en) | 1987-05-25 | 1987-05-25 | Device for means handling in ultravacuum instruments e.g.preparation in electron microscopes |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS376587A1 CS376587A1 (en) | 1988-02-15 |
| CS259749B1 true CS259749B1 (en) | 1988-10-14 |
Family
ID=5378688
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS873765A CS259749B1 (en) | 1987-05-25 | 1987-05-25 | Device for means handling in ultravacuum instruments e.g.preparation in electron microscopes |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS259749B1 (en) |
-
1987
- 1987-05-25 CS CS873765A patent/CS259749B1/en unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CS376587A1 (en) | 1988-02-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4507868A (en) | Coordinate measuring machine with a self aligning pneumatic counterbalance | |
| US6888920B2 (en) | Low-cost, high precision goniometric stage for x-ray diffractography | |
| US5275057A (en) | Clip gage attachment for frictionless measurement of displacement during high-temperature mechanical testing | |
| JPH03103728A (en) | Mechanism for adjusting inclination of movable mirror of spectrometer | |
| JPH02221805A (en) | Changeover type detection head | |
| JPH02195201A (en) | Probe head | |
| CS259749B1 (en) | Device for means handling in ultravacuum instruments e.g.preparation in electron microscopes | |
| US4874250A (en) | Apparatus for examination of heats of transformation of material samples | |
| US4047723A (en) | Counterbalanced chuck | |
| US4405865A (en) | Device for adjusting the position and the orientation around an axis of a sample holder for an electron microscope | |
| CN114460713A (en) | Precise unloading structure of large-diameter reflector | |
| US5177999A (en) | Microhardness tester | |
| US5291136A (en) | Variable angle eddy current probe | |
| US1091708A (en) | Balancing-machine. | |
| US4753887A (en) | Controlled environment vitrification system for preparation of liquids | |
| JP2002534675A (en) | Sample precision rotation device | |
| DE102018210216B4 (en) | Weighing device | |
| Weigert et al. | Experimental setup for the investigation of reproducibility of novel tool changing systems in nanofabrication machines | |
| ATE139623T1 (en) | PROBE FOR GAS SAMPLING AND THERMAL MEASUREMENTS ABOVE THE LOADING LEVEL OF A SHAFT FURNACE | |
| US3064469A (en) | Moment determining device | |
| Bowman et al. | Minimization of the arrestment error in one-pan, two-knife balance systems | |
| JPH08170689A (en) | Vibration resistant device | |
| US6084666A (en) | Apparatus for multiple positioning of a planar sample at a repeatable distance and angle from a testing device | |
| KR0122865B1 (en) | Friction and wear testing machine for use in vacuum and specific ambient atmosphere | |
| GB1564929A (en) | Corpuscular beam apparatus |