CS259080B1 - Hermetické ucpávkové SDOjení - Google Patents

Hermetické ucpávkové SDOjení Download PDF

Info

Publication number
CS259080B1
CS259080B1 CS868861A CS886186A CS259080B1 CS 259080 B1 CS259080 B1 CS 259080B1 CS 868861 A CS868861 A CS 868861A CS 886186 A CS886186 A CS 886186A CS 259080 B1 CS259080 B1 CS 259080B1
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
plane
connection
rotary
seal
hermetic
Prior art date
Application number
CS868861A
Other languages
English (en)
Other versions
CS886186A1 (en
Inventor
Petr Zamarovsky
Original Assignee
Petr Zamarovsky
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Petr Zamarovsky filed Critical Petr Zamarovsky
Priority to CS868861A priority Critical patent/CS259080B1/cs
Publication of CS886186A1 publication Critical patent/CS886186A1/cs
Publication of CS259080B1 publication Critical patent/CS259080B1/cs

Links

Landscapes

  • Joints Allowing Movement (AREA)

Abstract

Hermetické ucpávkové spojení využívá rozkladu obecného pohybu části systému v rovině kruhu na roiačhí pohyby deskových kruhových mezikusů umístěných v jedné rovině. Mezi rotačními ucpávkovými spojeními jednotlivých Částí systému jsou otočně uchyceny kruhové deskové mezikusy, navzájem spojené opět dalším rotačním ucpávkovým spojením. Všechny ucpávkové spojený jspu V jedné rovině, tgkže osová tlouštka spojení je rovna tlouštce jednoho rotačního ucpávkového spojení. Hermetické ucpávkové spojení nalezne uplatnění například při konstrukci vysokovakuového systému pro iontovou implantaci s mechanicky rozmítaným iontovým svazkem.

Description

Vynález se týká hermetického ucpávkového spojení, pro dvě části hermetického systému, umožňující pohyb v rovině, který je vymezen plochou kruhu.
Dosavadní způsoby hermetického spojení, umožňující pohyb v rovině, využívají bučí pružných elementů deformujících se při pohybu, například hadic, měchů, vlnovců, nebo kluzného ucpávkového spojení,,při kterém se styčné plochy při pohybu mění. Pruž né elementy nevyhovují často pro svou stavební délku, výběr vhodného materiálu pro jejich konstrukci je často omezený, například pro vakuové účely. Vzhledem k namáhání deformací mívají krátkou životnost. Kluzné těsnění typu rovina na rovině, které využívá troucích se těsnicích elementů s proměnnou dotykovou plochou jsou pro některé náročnější účely jen těžce řešitelné, například pro vysokovakuové užití je nutné několik těsnicích kroužků ze speciálních těžko dostupných materiálů za sebou a prostor mezi nimi se musí čerpat pomocnou vývěvou. Konečně je známo řešení, kdy se obecný pohyb v rovině rozkládá pomocí vyosených trubkových mezikusů s rotačními ucpávkami a ložisky na dva -pohyby po kružnici podle československého autorského osvědčení Č. 242 826. Výhodné je zde užití rotačních ucpávek, zvláště s těsněním feromagnetickou kapalinou, které jeví nízké statické tření a vysokou těsnost. Uvedené řešení má nevýhodu vyšší stavební délky dané osovým řazením jednotlivých ucpávek a trubkových mezikusů za sebou. Tato délka může být při některých aplikacích na závadu.
Uvedené nedostatky odstraňuje hermetické ucpávkové spojení, pro dvě části systému, umožňující pohyb v rovině uvnitř kruhu a ponechávající mezi částmi volný otvor, jehož rovina je rovnoběžná s rovinou pohybu částí, sestávající z rotačních ucpávkových spojení s výhodou s ferokapalinovým těsněním a deskových kruhových mezikusů podle vynálezu. Jeho podstata spočívá v tom, že mezi první rotační ucpávkové spojení na prvé části systému a druhé rotační ucpávkové spojení na druhé části systému je ve stejné rovině umístěna soustava dvou deskových kruhových mezikusů navzájem spojených přes další rotační ucpávkové spojení, přičemž vyosení jednotlivých ucpávkových spojení v mezikusech je Rm/2, kde Rm značí poloměr kruhu uvnitř kterého je umožněn pohyb.
Umístěním rotačních ucpávkových spojení do jedné roviny se u hermetického ucpávkového spojení podle vynálezu zmenší stavební délka hermetického ucpávkového spojení, například ve srovnání se spojením s trubkovými mezikusy na více jak čtvrtinu. Radiální rozměr je naopak vyšší. Další výhodou je to, že při pracovním namáhání nepůsobí na deskové mezikusy ani na rotační ucpávková spojení momenty sil mimo jejich rovinu, což je z konstrukčního hlediska výhodnější.
Vynález a jeho účinky jsou blíže vysvětleny v popise příkladu jeho provedení podle přiložených výkresů, kde obr. 1 znázorňuje v půdoryse v řezu hermetické ucpávkové spojení podle vynálezu a obr. 2 znázorňuje schematicky v půdoryse jednotlivé rozměry konstrukčního uspořádání hermetického ucpávkového spo-. jení podle vynálezu.
Hermetické ucpávkové spojení podle vynálezu je určeno pro dvě části lj 4 systému a umožňuje pohyb v rovině uvnitř kruhu a ponechává mezi částmi volný otvor. Jeho rovina je rovnoběžná s rovinou pohybu částí. Spojení podle vynálezu sestává z rotačních ucpávkových spojení 2| ·2» ΐθ z rotačních ucpávek s ložiskovým uložením, s výhodou ferokapalinovým těsněním a z deskových kruhových mezikusů 2 j 2.. Mezi první rotační ucpávkové spojení 2 na prvé části 1 systému a druhé rotační ucpávkové spojení 7 na druhé části 4,- systému je ve stejné rovině umístěna
-5 jených přes další rotační ucpávkové spojení 6, opět rotační ucpávka s ložiskovým uložením. Vyosení jednotlivých ucpávkových spojení 2/ 2 v deskových kruhových mezikusech 2j 2. Je Hm/2, kde Rm značí poloměr kruhu uvnitř kterého je umožněn pohyb.
Na obr. 2 jsou označeny rozměry hermetického ucpávkového spojení podle vynálezu. Si, Š2, S3 jsou středy jednotlivých kruhových deskových mezikusů, respektive průchodného otvoru, R]_,
Rg, R3 jsou vnitřní poloměry ucpávek v prvé části a v mezikusech, di | d2 vyosení středů ucpávek, Rm je jak již bylo uvedeno poloměr kruhu uvnitř kterého hermetické ucpávkové spojení podle vynálezu umožňuje pohyb. Z je pak radiální tloušíka rotačního ucpávkového spojení.
Jak již bylo uvedeno jsou uvnitř kruhu jednotlivé ucpávkové rotační spojení umístěny v jedné rovině, přičemž mají různý poloměr a jsou zasazeny excentricky do kruhových desek. Končen-> tričky s ucpávkami jsou umístěny ložiska s výhodou valivá axiálního nebo radiálního typu podle převažujícího namáhání; Spojení opět využívá rozkladu obecného pohybu uvnitř kruhu na rotační pohyby těsněné rotačními ucpávkami, s výhodou s ferokapalinovým těsněním. Je-li Rm poloměr kruhu uvnitř kterého se vyžaduje pohyb spojení, Ry vnitřní poloměr hermeticky připojené součásti a Z tloušťka rotační ucpávky s ložiskem, rozumněno v radiálním směru, pak je poloměr větší kruhové desky s ucpávkou
Rx = Rm + Rv + 3 Z, poloměr menší kruhové desky s ucpávkou ,R2 “ Rm/2 + Rv + 2 Z, poloměr otvoru v menší desce pro ucpávku pak R3 - R y+ Z, vyosení otvoru pro menší desku ve větší desce dj. = Rm/2 a vyosení otvoru pro nejmenši ucpávku v menší desce opšt d2 ~ Rm/2 = λ
Vynález může mít využití při konstrukci hermetických systémů, kde dosavadní typy hermetických spojení nevyhovují. Ve spojení s ferokapalinovými ucpávkami a s valivými ložisky je
259080·
- 4 torzní tření ve spojení malé, takže deskové mezikusy při pohybu nepotřebují zvláštního pohonu a jejich pohyb se odvozuje z pohybu částí hermetického systému. Vynález může mít tedy uplatnění například při konstrukci vysokovakuového systému pro iontovou imlantaci s mechanicky rozmítaným iontovým svazkem.

Claims (2)

  1. PŘEDMĚT VYNÁLEZU
    Hermetické ucpávkové spojení pro dvě části systému, umožňující pohyb v rovině uvnitř kruhu a ponechávající mezi částmi volný otvor, jehož rovina je rovnoběžná s rovinou pohybu částí, sestávající z rotačních ucpávkových spojení s výhodou s ferokapaíinovým těsněním a z deskových kruhových mezikusů, vyznačující se tím, že mezi první rotační ucpávkové spojení /5/ na prvé části /1/ systému a druhé rotační ucpávkové spojení /7/ na druhé části /4/ systému je ve stejné rovině umístěna soustava dvou deskových kruhových mezikusů /2, 3/ navzájem spojených přes další rotační ucpávkové· spojení /6/, přičemž vyosení jednotlivých ucpávkových spojení /5, 7/ v mezikusech /2, 3/ je Rm/2, kde Rm značí poloměr kruhu^uvnitř kterého je umožněn pohyb.
  2. 2 výkresy /
    Obr 2
CS868861A 1986-12-03 1986-12-03 Hermetické ucpávkové SDOjení CS259080B1 (cs)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS868861A CS259080B1 (cs) 1986-12-03 1986-12-03 Hermetické ucpávkové SDOjení

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS868861A CS259080B1 (cs) 1986-12-03 1986-12-03 Hermetické ucpávkové SDOjení

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CS886186A1 CS886186A1 (en) 1988-01-15
CS259080B1 true CS259080B1 (cs) 1988-10-14

Family

ID=5439757

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS868861A CS259080B1 (cs) 1986-12-03 1986-12-03 Hermetické ucpávkové SDOjení

Country Status (1)

Country Link
CS (1) CS259080B1 (cs)

Also Published As

Publication number Publication date
CS886186A1 (en) 1988-01-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI100124B (fi) Pyörivän akselin tiiviste
KR101289717B1 (ko) 반도체 처리를 위한 진공 챔버
CN106246921B (zh) 用于相对于液态介质密封壳体与构件之间腔室的密封装置
EP0012556A1 (en) Magnetic liquid shaft seal
GB2130662A (en) Magnetic fluid sealing device
US5662335A (en) Pressure balanced bellows seal
EP3539165B1 (de) Piezoelektrischer biegeaktorantrieb für einsatz in feuchter umgebung
ES2047024T3 (es) Junta de estanqueidad en forma de "s" equilibrada en presion.
US3773338A (en) Flexible seal
US7497414B2 (en) Curved slit valve door with flexible coupling
JP5519099B2 (ja) ボール継手を有するバルブドア
US7845618B2 (en) Valve door with ball coupling
JP5385826B2 (ja) 気密容器、真空ポンプ
CS259080B1 (cs) Hermetické ucpávkové SDOjení
EP0228179B1 (en) Concentric sealing rings
CN100338379C (zh) 径向轴密封装置
US4067794A (en) Sealing gasket for chamber wall
EP0959287A3 (en) Rotary joint assembly
US4084785A (en) Ball valve with linear elastomeric seal mounting
Arumugam et al. Effects of coupling misalignment on the vibration characteristics of a two stage turbine rotor
US2689753A (en) Translating, rotating bearing device
DE4231120A1 (de) Drucksensor
SU1737201A1 (ru) Магнитожидкостное уплотнение
NO863724L (no) Pakning.
SU862295A1 (ru) Кабельный ввод