CS258677B1 - Hybrid toroidal dual beam SQUID sensor - Google Patents

Hybrid toroidal dual beam SQUID sensor Download PDF

Info

Publication number
CS258677B1
CS258677B1 CS867571A CS757186A CS258677B1 CS 258677 B1 CS258677 B1 CS 258677B1 CS 867571 A CS867571 A CS 867571A CS 757186 A CS757186 A CS 757186A CS 258677 B1 CS258677 B1 CS 258677B1
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
toroidal
sections
squid
loop
superconducting
Prior art date
Application number
CS867571A
Other languages
Czech (cs)
Slovak (sk)
Other versions
CS757186A1 (en
Inventor
Vladimir Zrubec
Original Assignee
Vladimir Zrubec
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vladimir Zrubec filed Critical Vladimir Zrubec
Priority to CS867571A priority Critical patent/CS258677B1/en
Publication of CS757186A1 publication Critical patent/CS757186A1/en
Publication of CS258677B1 publication Critical patent/CS258677B1/en

Links

Landscapes

  • Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)

Abstract

Hybridný toroidný dvojdierový snímač SQUID je určený pre supravodivé kvantové magnetometrie. Jeho podstata spočívá v umiestnení tenkovrstvového dvojslučkového SQUID-u do uzavretého masívneho supravodivého telesa s dvomi vnútornými toroidnými dutinami navzájom spojenými koaxiálnou štrbinou. Tenkovrstvový dvojslučkový SQUID jednoduchého doštičkového tvaru bez mechanických otvorov, možno vložit do priečnej štrbiny v prstenci medzi toroidnými dutinami. alebo· do radiálnej štrbiny v strednej časti základného telesa. V toroidnýeh dutinách je vložená vstupná supravodivá cievka a vysokofrekvenčná budiaca a spátncvázobná cievka. Tenkovrstvové d.vojslučkové SQUIDy možu byť vložené do viacerých priečnych a do dvoch radiálnych štrbín. Sposob jeho prevedenia možno využit pri výrobě supravodivých snímačov SQUID so zvýšenou dlhodobou stabilitou parametrov.The hybrid toroidal two-hole SQUID sensor is designed for superconducting quantum magnetometry. Its essence lies in placing a thin-film two-loop SQUID in a closed massive superconducting body with two internal toroidal cavities interconnected by a coaxial slot. A thin-film two-loop SQUID of a simple plate shape without mechanical holes can be inserted into a transverse slot in the ring between the toroidal cavities. or into a radial slot in the central part of the base body. An input superconducting coil and a high-frequency excitation and feedback coil are inserted into the toroidal cavities. Thin-film two-loop SQUIDs can be inserted into several transverse and two radial slots. The method of its implementation can be used in the production of superconducting SQUID sensors with increased long-term stability of parameters.

Description

Vynález sa týká hybridného toroidnéhodvojiderového snímača SQUID s vysokofrek-venčným budením, určeného pre supravodivékvantové magnetometre používané na me-ranie velmi slabých magnetických polí.BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a hybrid toroidal dual-radion sensor SQUID with a high frequency excitation designed for superconducting quantum magnetometers used to measure very weak magnetic fields.

Supravodivé snímače SQUID s vysokofrek-venčným budením pracujú na principe vy-užitia Josephsonovho javu a sú v podstatětvořené supravodivými prstencami s vlože-ným Josephsonovým spojom. U prstencovvytvořených z masívneho supravodiča spra-vidla je tento spoj tvořený velmi jemnýmdotykem ostrého hrotu skrutky zo supravo-divého materiálu a u prstencov zhotovenýchtechnológiou tenkých vrstiev tenkým supra-vodivým submikronmetrovým mostikom, ale-bo tunelovým spojom. Základným problé-mem v prvom případe je nastavenie a dosia-hnutie dlhodobej stability jemného dotykuhrotu. V druhom případe sú to problémy sdosiahnutím dostatočne tesnej induktívnejvazby meraného signálu na snímač. Tietonedostatky sa v menšej miere prejavujú uhybridných snímačov SQUID, u ktorých sapoužívá kombinácia prstenca z masívnehosupravodiča a tenkovrstvového Joeephsonov-ho spoja. Doteraz najrozšírenejšie hybridnětoroidné snímače SQUID s vysokofrekvenč-ným budením používajú tenkovrstvové spojes galvanickým dotykom na steny štrbiny, čoje příčinou nestability a zníženej životnostisnímačov. Hybridně snímače s induktívnouvazbou tenko vrstvových Josephsonovýchstruktur na masívny supravodivý prstenec vznámých jedno- i dvojdierových prevede-niach majú v porovnaní s nimi zníženú cit-livost spósobenú nižším výsledným koefi-cientom vazby vstupných vázobných cievokna tenkovrstvový SQUID.Superconducting SQUIDs with high frequency excitation work on the principle of using Josephson's phenomenon and are essentially formed by superconducting rings with embedded Josephson joints. In rings made of a massive superconductor, this joint is formed by a very fine touch of the sharp tip of the superconductor material and a thin supra-conductive submicron meter bridge or tunnel connection in thin-film technology. The basic problem in the first case is the adjustment and achievement of long-term stability of the fine touch. In the latter case, problems are encountered by achieving a sufficiently tight inductive coupling of the measured signal to the sensor. These scales are to a lesser extent manifested by hybrid SQUID sensors, which use a combination of a ring from a massive driver and a thin film Joeephson joint. So far, the most widely used high-frequency excitation SQUID hybrid transducers use thin-film couplings with galvanic touch on the slit walls, causing instability and reduced lifetime sensors. Hybrid sensors with inductive binding of thin-layered Josephson structures to a massive superconductive ring of both single and double-hole designs have reduced sensitivity due to the lower resulting coefficient of binding of the binding binding coil thin film SQUID.

Uvedené nedostatky v podstatnej miereodstraňujú hybridný toroidný dvojdierovýsnímač SQUID podl’a vynálezu, ktorého pod-stata spočívá v tom, že vo vnútri základné-ho supravodivého telesa sú dve toroidné du-tiny navzájom oddělené prstencem, ktoré súspojené koaxiálnou štrbinou. V prstenci jepriečna štrbina, do ktorej je vložený tenko-vrstvový dvojslučkový SQUID, ktorého jed-na slučka je induktivně spojená s jednoutoroidnou dutinou a druhá slučka s druhoutoroidnou dutinou, alebo je tenkovrstvovýdvojslučkový SQUID vložený do radiálnejštrbiny v strednej časti základného supravo-divého telesa a jeho ohidve slučky sú induk-tivně spojené s jednou toroidnou dutinou. Vtoroidných dutinách je vstupná supravodivácievka pozostávajúca z dvoch sériovo spo-jených sekcií a vysokofrekvenční budiacaa spátnovSzoibná cievka pozostávajúca tiežz dvoch sériovo spojených sekcií, pričom jed-na sekcia každej cievky je vložená do jed-nej spoločnej toroidnej dutiny a druhé šek-ele, protifázovo vinuté oproti prvým sekciám,sú vložené do druhej toroidnej dutiny. Nie-ktoré zo sekcií cievok můžu byť aj volné.Vývody cievok sú vyvedené cez otvory v čel-ných stěnách základného supravodivého te- lesa. V prstenci může byť viac priečnychštrbín, do ktorých sú vložené tenkovrstvovédvojslučkové SQUID-y. Podobné v strednejčasti základného supravodivého telesa mů-žu byť až dve radiálně štrbiny, do ktorýchsú vložené dva tenkovrstvové dvojslučkovéSQUID-y, pričom jeden z nich má ohidve sluč-ky induktivně spojené s jednou toroidnoudutinou a druhý s druhou toroidnou duti-možu byť súčasne vložené aj v priečnych ajv radiálnych štrbinách. Výhodou vynálezu je lepšila vazba vstup-ných cievok a tým aj vstupného^ signálu natenkovrstvový SQUID. Přitom dve toroidnédutiny použitelné pre vstupné cievky umož-ňujú aj pri malých rozměrech dosiahnúť váč-šiu vstupnú indukčnost supravodivých kvan-tových magnetometrov, čo bývá obvykleproblémom. Uzavretý toroidný tvar zabez-pečuje aj vysoký stupeň odolnosti voči von-kajším rušivým magnetickým poliam a uleh-čuje hermetizáciu snímača zlepšujúcu dlho-dobú stabilitu parametrov vloženého tenko-vrstvového dvojslučkového SQUIDu.The above mentioned drawbacks are substantially eliminated by the hybrid toroidal two-hole sensor SQUID according to the invention, the principle of which is that inside the basic superconducting body there are two toroidal duets separated by a ring which are connected by a coaxial slot. In the ring there is a nip, into which a thin-layer double-loop SQUID is inserted, whose single loop is inductively coupled to the one-throat cavity and the second loop to the second-throat cavity, or the thin-layer dual-loop SQUID is inserted into the radial crevice in the central part of the superconductive body and its The loops are inductively coupled to one toroidal cavity. Vtoroidal cavities are a superconducting inlet consisting of two series-connected sections and a high-frequency excitation sleep-coil consisting of two series-connected sections, one section of each coil being inserted into one common toroidal cavity and the other one of the shafts, anti-phase wound versus the first sections are inserted into the second toroidal cavity. Some of the coil sections can also be loose. The coil outlets are routed through openings in the front walls of the basic superconducting body. There may be a plurality of transverse ridges in which the thin-layered double-SQUIDs are inserted. Similarly, in the middle of the base superconducting body, there may be up to two radial slots into which two thin-layered double-core SQUIDs are inserted, one of which has inductively coupled loops to one toroidal cavity, and the other with a second toroidal cavity may be simultaneously inserted in transverse and radial slots. An advantage of the invention is to improve the binding of the input coils and thus the input signal to the coated SQUID. In doing so, two toroidal cavities usable for input coils make it possible, even with small dimensions, to achieve higher input inductance of superconducting quantum magnetometers, which is usually a problem. The closed toroidal shape also provides a high degree of resistance to external interfering magnetic fields and facilitates the hermetization of the sensor to improve the long-term stability of the embedded thin-layer double-loop SQUID.

Vnútorná štruktúra snímača přitom umož-ňuje jednoducho využit aj špeciálny pra-covný režim využívajúci interferenčněefekty vznikajúce pri použití viacerýchtenkovrstvýcih dvojslučkových SQUID-ov.The internal structure of the sensor also makes it possible to easily use a special working mode using interferential effects arising from the use of multiple-layered double-loop SQUIDs.

Variant s priečnou štrbinou v prstencidovoluje používat tenkovrstvové SQUID-ys malou vzájomnou vzdialenostou ich slu-čiek nezávisle od velkosti priemeru toroid-ných dutin. Pri zvačšovaní priemeru toroid-ných dutin proto nedochádza k zhoršovaniuvázobných pomerov. Podstatnou přednostouje, že dovoluje využit přednosti tenkovrstvoi-vých technologií výroby Josephsonovýchspojov, čo spolu s technologicky pre kon-štrukciu a výrobu výhodným tvarom jeho zá-kladného supravodivého telesa a pravoúh-lým tvarom nosnej deštičky tenkovrstvové-ho SQUID-u bez mechanických otvorov, za-bezpečuje rozhodujúce podmienky pre uplat-nenie v sériovej výrobě.The transverse slit variant allows the use of thin-film SQUID-ys with a small mutual spacing of their loops independent of the diameter of the toroidal cavities. Therefore, when the diameter of the toroidal cavities is increased, there is no deterioration in the bonding ratio. An essential advantage is that it allows the advantage of Josephson's thin film manufacturing technology to be exploited, which, together with the design and manufacturing technology, is the advantageous shape of its basic superconducting body and the rectangular shape of the thin-film SQUID support without mechanical holes. - ensures decisive conditions for application in series production.

Na pripojenom výkrese na obr. 1 je zná-zorněný pohlad na vnútorné usporiadaniesnímača s priečnou štrbinou v prstenci. Naobr. 2 je pohlad na snímač s radiálnou štr-binou v strednej časti základného supravo-divého' telesa. Na obr. 3 je naznačený tvartenkovrstvového dvojslučkového SQUID-u skrížikom vyznačeným Josephsonovým spo-jom a čierne vyznačenou napařenou vrst-vou supravodivého materiálu. Na obr. 4 jeznázorněné uloženie vstupnej supravodiveja vysokofrekvenčnej budiacej a spátnová-zobnej cievky. V základnám supravodivom telese, ktorétvoří súčasne vonkajší plášť snímača, sú sú-osovou umiestnené dve toroidné dutiny 2,ktoré sú oddělené prstencom 3 tvoriacimsúčasť základného supravodivého telesa 1.Toroidné dutiny 2 sú navzájom spojené ko-axiálnou štrbinou 4, ktorá vzniká medzi prs-tencom 3 a střednou častou 8 základnéhosupravodivého telesa 1. Do prieonej štrbinyIn the accompanying drawing, Fig. 1 shows a view of the inner arrangement of the transverse slot in the ring. Naobr. 2 is a view of a radial transducer sensor in the central portion of the supravo-wild core. Fig. 3 shows a two-layered SQUID cross-section through a cross-hinge marked by Josephson and a black-depicted layer of superconducting material. FIG. 4 shows a deposition of an input superconducting high frequency excitation and return coil. Two toroidal cavities 2, which are separated by a ring 3 forming part of the basic superconducting body 1, are disposed axially in the superconducting body bases, which simultaneously form the sensor outer casing. The toroidal cavities 2 are connected to each other by a co-axial slot 4 which arises between the breast. 3 and the middle part 8 of the basic conductive body 1. Into the aperture slot

Claims (5)

253677 5 v prstenci 3 je vložený tenkovrstvový dvoj-slučkový SQUID 6 doštičkového tvaru tak, žejedna jeho slučka má induktívnu vazbu sjednou toroidnou dutinou 2 ,a druhá s dru-hou toroidnou dutinou 2. Alternativně možebyť tenkovrstvový dvojslučkový SQUID 6vložený do radiálnej štrbiny 7 v strednejčasti 8 základného supravodivého' telesa 1tak, že jeho obidve slučky sú induktivněspojené s jednou toroidnou dutinou 2. V to-roidných dutinách 2 je vložená vstupná sup-ravodivá cievka a vysokofrekvenčná budia-ca cievka, ktorá plní obvykle aj úlohy ciev-ky spátno-vazobnej. Vstupná supravodivácievka pozostáva zo sekcií 9, 10, ktoré súspojené v sérii a každá sa nachádza v inejtoroidnej dutině. Sekcie 9, 10 sú přitom vi-nuté navzájom protifázove. Podobné vyso-kofrekvenčná budiaca a spatnovázobná ciev-ka sa skládá zo sériovo v protifázy zapoje-ných, sekcií 11, 12. Každá z nich je přitomv inej toroidnej dutině 2. Pře funkciu sní-mača postačuje, keď je použitá len jedna zosekcií 9, 10 alebo len jedna zo sekcií 11, 12.Varianty možných konfigurácií sa prejaviahlavně v zmene vstupnej indukčnosti supra- vodivých kvantových magnetometrov, v kte-rých je snímač použitý. Vývody cievok súvyvedené cez otvory 13 v čelných stěnách14 základného supravodivého telesa 1. Prerežim činnosti snímača využívajúci interfe-renčně procesy medzi viacerými Josephso-novými spojmi može byť v ňom použitý nie-kolko teinkovrstvových dvojslučkových SQI-D-ov* 6, umlestnených v rovnakom počtepriečnych štrbín 5 vytvořených v prstenci253677 5 in the ring 3 is inserted a thin-layer double-loop SQUID 6 plate-shaped so that each of its loops has an inductive bond with one toroidal cavity 2, and the other with a second toroidal cavity 2. Alternatively, the thin-layer double-loop SQUID 6 can be inserted into the radial slot 7 in the middle part 8 of the basic superconducting body 1 so that its two loops are inductively coupled to one toroidal cavity 2. In the toroidal cavities 2, an input superconducting coil and a high frequency excitation coil are inserted, which usually also performs the coil of the back-coupling . The input superconducting element consists of sections 9, 10 which are connected in series and each located in the inejoidal cavity. Sections 9, 10 are counter-phase mutually opposite. A similar high-frequency excitation and low-current coil consists of a series of prototypes connected, sections 11, 12. Each of them is in another toroidal cavity 2. It is sufficient for the function of the sensor to use only one of the sections 9, 10 or only one of the sections 11, 12. Variants of possible configurations manifest themselves largely in changing the input inductance of the superconducting quantum magnetometers in which the sensor is used. The coil outlets are passed through the apertures 13 in the front walls 14 of the base superconducting body 1. A transducer operation using interpreferential processes between multiple Josephine joints can employ a number of two-layered two-compartment SQI-Ds * 6 located in the same number of cross-sections. slots 5 formed in the ring 1. Hybridný toroidný dvojdierový snímačSQUID vyznačujúci sa tým, že v,o vnútri zá-kladného supravodivého telesa (lj sú dvesúosové toroidné dutiny (2) navzájom oddě-lené prstencom (3j, ktoré sú spojené koaxi-álnou štrbinou (4j, pričom v prstenci (3) jepriečna štrbina (5), do ktoréj je vloženýtenkovrstvový dvojslučkový SQUID (6), kte-rého jedna slučka je induktivně spojená sjednou toroidnou dutinou (2) ,a druhá siuč-ka s druhou toroidnou dutinou (2j, alebo jetenkovrstvový dvojslučkový SQUID (6) vlo-žený do radiálnej štrbiny (7) v strednej čas-ti (8) základného* supravodivého* telesa (lj,a jeho obidve slučky sú induktivně spojenés jednou toroidnou dutinou (2).A hybrid toroidal two-hole transducer, characterized in that v, within the principal superconducting body (1j, are two-axis toroidal cavities (2) separated by an annular ring (3j which are connected by a coaxial slot (4j, wherein in the ring) (3) a transverse slot (5) into which is inserted a two-layered SQUID (6), one loop being inductively coupled to one toroidal cavity (2), and a second loop with a second toroidal cavity (2j, or jet-layer double-loop SQUID) (6) inserted into the radial slot (7) in the middle time (8) of the base * superconducting body (1j, and its two loops are inductively coupled to one toroidal cavity (2)). 2. Hybridný toroidný dvojdierový snímačSQUID podlá bodu 1, vyznačujúci sa týra„že v toroidných dutinách (2) jo vstupnásupravodivá cievka pozostávajúca zo* sério-vo spojených sekcií (9, 10) a vysokofrek-venčná budiaca a spátnovazobná cievka po*-zostávajúca zo sériovo spojených sekcií (1112), pričom sekcie (9, 11) sú vložené do jed-nej toroidnej dutiny (2) a sekcie (10, 12), VYNALEZU protifázove vinuté oproti sekciám (9) a (11),sú vložené do druhéj toroidnej dutiny (2),alebo niektoré z,o sekcií (9, 10, 11, 12) súvolné a vývody cievok sú vyvedené cez ot-vory (13) v čelných stěnách (14) základné-ho supravodivého telesa (1).2. Hybrid toroidal two-hole sensorQUID according to claim 1, characterized in that in the toroidal cavities (2) there is an input-conducting coil consisting of * series-connected sections (9, 10) and a high-frequency excitation and feedback coil consisting of the serially connected sections (1112), wherein the sections (9, 11) are inserted into a single toroidal cavity (2) and the sections (10, 12), PLAINED in a second phase opposite the sections (9) and (11) are inserted into the other the toroidal cavity (2), or some of the (9, 10, 11, 12) co-axial sections and the coil outlets are passed through openings (13) in the end walls (14) of the basic superconducting body (1). 3. Hybridný toroidný dvojdierový snímačSQUID podlá bodov* 1 a 2, vyznačujúci satým, že v prstenci (3) je viac priečnych štr-bín (5), do ktorých sú vložené tenkovrstvo-vé dvojslučkové SQUID-y (6).3. Hybrid toroidal two-hole transducer SQUID according to clauses 1 and 2, characterized in that there is a plurality of transverse tufts (5) in which the thin-layer double-loop SQUIDs (6) are inserted in the ring (3). 3. Podobné můžu byť použité až dva tenko-vrstvové dvojslučkové SQUID-y 6 vložené dodvoch radiálnych štrbín 7, ktoré sú vytvoře-né v strednej časti 8 základného telesa 1v miestach obidvoch toroidných dutin 2.Přitom možno dosiahnúť aj kombinovaný re-žim činnosti s časťou tenkovrstvových dvoj-slučkových SQUID-ov 6 vložených do radiál-nych štrbín 7 a s časťou do priečnych štr-bín 5. Vynález možno použiť pri výrobě supra-vodivých snímačov SQUID so zvýšenou dlho-dobou stabilitou parametrov* v elektrotech-nickom priemysle a v základnom a apliko-vaném výskume. PREDMET3. Similarly, up to two thin-layer double-loop SQUIDs 6 inserted in the radial slots 7, which are formed in the central part 8 of the base body 1 in the places of both toroidal cavities 2, can be used. The invention can be used in the manufacture of superconductive SQUID sensors with increased long-term parameter stability in the electrical industry and in the manufacture of superconducting SQUID sensors. basic and applied research. OBJECT 4. Hybridný toroidný dvojdierový snímačSQUID podlá bodov 1 a 2, vyznačujúci satým, že v strednej časti (8) základného* sup-ravodivého telesa (1) sú dve radiálně štrbi-ny (7), do ktorých sú vložené tenkovrstvo-vé dvojslučkové SQUID-y (6), pričom jedenz nich má obidve slučky induktivně spojenés jednou toroidnou dutinou (2) a druhý sdruhou toroidnou dutinou (2).4. Hybrid toroidal two-hole sensorQUID according to clauses 1 and 2, characterized in that in the central part (8) of the basic superconducting body (1) there are two radial slots (7) into which thin-film double-loop SQUIDs are inserted -y (6), wherein one has both loops inductively connected to one toroidal cavity (2) and the other to a second toroidal cavity (2). 5. Hybridný toroidný dvojdierový snímačSQUID podlá bodov 1 až 4, vyznačujúci satým, že tenkovrstvové dvojslučkové SQUID-y (6) sú vložené v* priečnych štrbinách (5) ajv* radiálnych štrbinách (7). 1 list výkresov5. Hybrid toroidal two-hole sensorQUID according to clauses 1 to 4, characterized in that the thin-layer double-loop SQUIDs (6) are inserted in the transverse slots (5) and in the radial slots (7). 1 sheet of drawings
CS867571A 1986-10-20 1986-10-20 Hybrid toroidal dual beam SQUID sensor CS258677B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS867571A CS258677B1 (en) 1986-10-20 1986-10-20 Hybrid toroidal dual beam SQUID sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS867571A CS258677B1 (en) 1986-10-20 1986-10-20 Hybrid toroidal dual beam SQUID sensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CS757186A1 CS757186A1 (en) 1987-12-17
CS258677B1 true CS258677B1 (en) 1988-09-16

Family

ID=5425110

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS867571A CS258677B1 (en) 1986-10-20 1986-10-20 Hybrid toroidal dual beam SQUID sensor

Country Status (1)

Country Link
CS (1) CS258677B1 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
CS757186A1 (en) 1987-12-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5669832B2 (en) Measuring instrument, electric resistance element and measuring system for measuring time-varying magnetic field or magnetic field gradient
US5767043A (en) Multiple squid direct signal injection device formed on a single layer substrate
JP2807518B2 (en) Superconducting device
JP4505338B2 (en) Elements for sensing radio frequency magnetic fields
US5786690A (en) High resolution three-axis scanning squid microscope having planar solenoids
CN103954918B (en) A second-order SBC superconducting quantum interference gradiometer and its manufacturing method
JP2005535134A (en) Superconducting quantum interference device
US6154026A (en) Asymmetric planar gradiometer for rejection of uniform ambient magnetic noise
US5049818A (en) Gradiometer for detecting weak magnetic fields including grooves carrying superconducting thin film conductors and method of making same
US11955271B2 (en) Radio frequency weak magnetic field detection sensor and method of manufacturing the same
CS258677B1 (en) Hybrid toroidal dual beam SQUID sensor
FI89417C (en) Detector coil for measuring magnetic field
Drung Introduction to Nb-based SQUID sensors
CN116256674A (en) Planar gradiometer based on superconducting quantum interferometer and preparation method thereof
CA1130471A (en) Asymmetrical squid
JP3018540B2 (en) 3-axis gradiometer
WO2005029100A1 (en) Beam current sensor
JPS60170702A (en) Linear position detector and manufacture of rod part of detector
CN201173966Y (en) Amorphous alloy weak magnetic field sensor
AU2018365717B2 (en) Magnetic field measuring element, magnetic field measuring device, and magnetic field measuring system
JP3206198B2 (en) DC-SQUID magnetometer
RU2072104C1 (en) Volumetric rf squid made of high-temperature superconducting ceramics
JP3636831B2 (en) Superconducting amplifier and detector using the same
JPH0499979A (en) Squid fluxmeter
JPH0641185Y2 (en) Squid magnetometer pickup coil