CS254405B1 - Způsob řezání elektromechanických měničů pro ultrazvukovou lineární mnohaměničovou sondu - Google Patents

Způsob řezání elektromechanických měničů pro ultrazvukovou lineární mnohaměničovou sondu Download PDF

Info

Publication number
CS254405B1
CS254405B1 CS838596A CS859683A CS254405B1 CS 254405 B1 CS254405 B1 CS 254405B1 CS 838596 A CS838596 A CS 838596A CS 859683 A CS859683 A CS 859683A CS 254405 B1 CS254405 B1 CS 254405B1
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
probe
transducer
range
ultrasonic linear
transducers
Prior art date
Application number
CS838596A
Other languages
English (en)
Other versions
CS859683A1 (en
Inventor
Vaclav Minarik
Miroslav Havranek
Original Assignee
Vaclav Minarik
Miroslav Havranek
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vaclav Minarik, Miroslav Havranek filed Critical Vaclav Minarik
Priority to CS838596A priority Critical patent/CS254405B1/cs
Publication of CS859683A1 publication Critical patent/CS859683A1/cs
Publication of CS254405B1 publication Critical patent/CS254405B1/cs

Links

Landscapes

  • Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

Řeší se způsob řezání elektromechanických měničů pro ultrazvukovou lineární mnohaměničovou sondu, používanou zejména v bezmontážní a lékařské diagnostice, v defektoskopii apod. Podstata spočívá v tom, že destička vytvořená z piezoelektrického materiálu se jedním povrchem přitmelí na vazební vrstvu měniče, načež nad jejím druhým povrchem se pohybuje fokusovaným elektromagnetickým zářením laseru o středním výkonu v rozmezí 1 až 100 W a o vlnové délce v rozmezí 0,5 /zm až 12 /zm. Exponovaný povrch destičky se odpařuje do hloubky 40% až 100% tloušťky destičky.

Description

Vynález se týká způsobu řezání elektromechanických měničů pro ultrazvukovou lineární mnohaměničovou sondu používanou zejména v bezdemontážní a lékařské diagnostice, v defektoskopii apod.
Na rozdíl od jednoduché jednoměničové sondy dříve používané umožňuje mnohaměničová sonda vychylování ultrazvukového svazku pomocí vhodného elektrického buzení, které se děje dvěma způsoby, buď vhodným fázovým buzením měničů sondy, kdy lze dosáhnout odchýlení maxima vyzařované ultrazvukové energie od osy o určitý úhel, který je závislý na změně fáze budících napětí do jednotlivých měničů, nebo postupným buzením části lineární sondy, tvořené skupinou měničů, kdy lze dosáhnout vychylování ultrazvukového svazku z jedné strany na druhou. Sonda se skládá obvykle z několika desítek elektromechanických měničů, na jejichž povrchu po obou stranách jsou vytvořeny elektrody. Pro impedanční přizpůsobení k vyšetřovanému prostředí se používá na jedné straně měniče vazební vrstva složená z několika druhů materiálu, která slouží současně jako společná elektroda. Pro dosažení vhodné, chrakterisliky elektromagnetických měničů je z druhé strany měniče použita tlumicí vrstva. Elektrody u vazební vrstvy jsou vodivě propojeny na společnou elektrodu, která je součástí vrstvy. Elektrody u tlumicí vrstvy jsou vyvedeny samostatně. Dosavadní postup výroby spočívá ve výrobě jednotlivých. měničů samostatně a následném sestavení do patřičné konfigurace nalepením měničů na vazbcní nebó tlumicí vrstvy. Tento postup výroby jc vhodný pouze pro elementy s rozměry řádově milimetry. Další používaný způsob výroby sond je, po nalepení měničů na vrstvy, jejich mechanické rozřezání pilou. Tímto způsobem lze vyrábět měniče s rozměrem menším než 1 mm, avšak nelze dosáhnout mezery mezi jednotlivými měniči menší než 0,1 mm. Nevýhodou prvního způsobu výroby ultrazvukové mnohaměničové sondy je velká pracnost a vysoká náročnost na přesnost jednotlivých elektroakustických měničů. Nevýhodou druhého způsobu výroby je, že nelze vyrobit drážky s malou šířkou, což vede kc zhoršení vyzařovací charakteristiky sondy, především kc zvětšení postranních vyzařovacích laloků.
Nově se řeší řezání elektroakustických měničů způsobem podle vynálezu, jehož podstata spočívá v tom, že destička vytvořená z piezoelektrického materiálu se jedním povrchem přilmelí na vazební vrstvu měniče nebo na zadní vrstvu měniče, načež nad jejím druhým povrchem se pohybuje fokusovaným elektromagnetickým zářením laseru o středním výkonu v rozmezí 1 až 100 W a o vlnové délce v rozmezí 0,5 μτη až 12 μηι a exponovaný povrch destičky se odpařuje do hloubky 40 až 100 procent tloušťky destičky.
Vyšší účinek vynálezu se projevuje zejména v tom, že minimalizovaná mezera mezi jednotlivými měniči umožňuje dosažení optimální vyzařovací charakteristiky a co největší potlačení postranních vyzařovacích laloků. Přitom lze způsobem podle vynálezu dosáhnout vysoké přesnosti rozměrů jednotlivých elektroakustických měničů při snížené pracnosti jejich výroby. Pro zlepšení kvality řezu lze řezání provádět v prostředí s ochranným netečným plynem.
Na přiloženém výkresu je na obr. 1 a 2 schematicky znázorněna sonda s elektromechanickými měniči. Na obr. 1 se tato sonda skládá z rozřezaných měničů 1.1 až l.n. Na jejich vrchním povrchu je vytvořena spojitá elektroda 2 a na hí je vazební vrstva 3, tvořící impedanční přizpůsobení k vyšetřovanému prostředí 5. Tato vazební vrstva 3 může být jednoduchá nebo složená z několika vrstev různých materiálů, například skloepoxidová pryskyřice. Spodní strana měničů 1.1 až. l.n je opatřena oddělenými elektrodami 2’ a jejich vývody. Tyto elektrody 2’ jsou spojeny se zadní vrstvou 4. Na obr. 2 jc znázorněna tatáž sonda složená z jednotlivých měničů 1.1 až l.n, přičemž rozměry sondy jsou L . H, šíře drážek je d, šíře měničů W.
Způsob řezání podle vynálezu lze demonstrovat na následujícím příkladu. K řezání byl použil laser na bázi yttriumhliníkového granátu s označením YAG o středním výkonu 20 W a vlnové délce Λ = 10,6 μη\ ve spínaném provozu s opakovacím kmitočtem 2 kHz. Sonda, na níž se vytvářel systém drážek, byla z piezoelektrického materiálu PKM 31. Při rychlosti posuvu 30 mm m'1 se vytvořil systém drážek o šířce řezu d = 20 /zrn a hloubce drážek 100 % tloušťky destičky. Pro zlepšení kvality drážek byl použit jako ochranný plyn argon.
Nový způsob výroby lineární mnohaměničové sondy nahrazuje použití mechanické pily elektromagnetickým zářením laseru se středním výkonem v rozmezí 1 až 100 W s vlnovou délkou v rozmezí 0,5 μη\ až 12 μτη. Polotovar elektroakustického měniče je přitmelen na vazební nebo zadní vrstvě nebo umístěn do pracovního prostoru laseru. Vzájemnou změnou polohy laserového svazku vůči polotovaru měniče se vytváří na polotovaru systém drážek a dochází k dělení na žádané velikosti jednotlivých elementů. Tímto způsobem lze s ohledem na fokusaci svazku dosáhnout drážku širokou 20 /an. Metoda řezání laserem je vhodná pro piczokeramické materiály, neboť tepelně izolovaná zóna je pouze v blízkém okolí řezu a zasahuje do hloubky cca 0,01 mm, neovlivní se tedy vnitřní polarizace. Výhodou způsobu výroby mnohaměničové lineární sondy podle vynálezu je možnost dosažení drážky široké pouze 20 /zrn, dále vysoká rychlost řezání a v neposlední řadě možnost automatizace prováděných operací.

Claims (1)

  1. PŘEDMĚT VYNÁLEZU
    Způsob řezání clektroakuslických měničů pro ultrazvukovou lineární mnohamčničovou sondu, vyznačující se tím, že destička vytvořená z piezoelektrického materiálu se jedním povrchem přitmelí na vazební vrstvu měniče nebo na zadní vrstvu měniče, načež, nad jejím druhým povrchem se pohybuje fokusovaným elektromagnetickým zářením laseru o středním výkonu v rozmezí 1 až 100 W a o vlnové délce v rozmezí 0,5 /mi až 12 /mi a exponovaný povrch destičky se odpařuje do hloubky 40 % až. 100 % tloušťky destičky.
CS838596A 1983-11-18 1983-11-18 Způsob řezání elektromechanických měničů pro ultrazvukovou lineární mnohaměničovou sondu CS254405B1 (cs)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS838596A CS254405B1 (cs) 1983-11-18 1983-11-18 Způsob řezání elektromechanických měničů pro ultrazvukovou lineární mnohaměničovou sondu

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS838596A CS254405B1 (cs) 1983-11-18 1983-11-18 Způsob řezání elektromechanických měničů pro ultrazvukovou lineární mnohaměničovou sondu

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CS859683A1 CS859683A1 (en) 1987-06-11
CS254405B1 true CS254405B1 (cs) 1988-01-15

Family

ID=5436750

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS838596A CS254405B1 (cs) 1983-11-18 1983-11-18 Způsob řezání elektromechanických měničů pro ultrazvukovou lineární mnohaměničovou sondu

Country Status (1)

Country Link
CS (1) CS254405B1 (cs)

Also Published As

Publication number Publication date
CS859683A1 (en) 1987-06-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
USRE35011E (en) Ultrasound array having trapezoidal oscillator elements and a method and apparatus for the manufacture thereof
US5894646A (en) Method for the manufacture of a two dimensional acoustic array
US4305014A (en) Piezoelectric array using parallel connected elements to form groups which groups are ≈1/2λ in width
EP0219171B1 (en) Biplane phased array transducer for ultrasonic medical imaging
US7763526B2 (en) Wafer and wafer cutting and dividing method
EP0019267A1 (en) Piezoelectric vibration transducer
US5164920A (en) Composite ultrasound transducer and method for manufacturing a structured component therefor of piezoelectric ceramic
JP7713268B2 (ja) レーザ・超音波の同期補助切削システム
US4991151A (en) Elastic pulse generator having a desired predetermined wave form
US20020074318A1 (en) Method and device for thin-film ablation of a substrate
CA2406684A1 (en) Ultrasound transducer array
JPS605133A (ja) 振動モ−ドを改良した超音波変換器
KR100577036B1 (ko) 복합 전도체 코팅으로 이루어진 다중소자 음향 프로브와그 제조방법
US5497540A (en) Method for fabricating high density ultrasound array
JP2020170842A (ja) 最適化されたレーザー切断
CS254405B1 (cs) Způsob řezání elektromechanických měničů pro ultrazvukovou lineární mnohaměničovou sondu
JP2587020B2 (ja) ペロブスカイト型構造の酸化物材料の表面加工方法
CN113634878A (zh) 用于激光切割多层材料的光学系统和方法
CA2467686A1 (en) Piezoelectric body manufacturing method, piezoelectric body, ultrasonic probe, ultrasonic diagnosing device, and nondestructive inspection device
RU2121241C1 (ru) Пьезоэлектрический преобразователь и способ его изготовления
JPS6115500A (ja) 超音波プロ−ブの製造方法
CN120711342A (zh) 用于微纳米机器人的多声场协同控制装置及其制备方法
JP7667213B2 (ja) 非晶質相改質装置及び単結晶材料の加工方法
JPH0576527A (ja) 超音波探触子及び該探触子に使用する複合圧電振動子の製造方法
JPS61292550A (ja) アレイ形超音波探触子