CS246850B1

CS246850B1 - Apparatus for applying protective, reflective or interference layers to functional surfaces of optical elements

Info

Publication number: CS246850B1
Application number: CS987383A
Authority: CS
Inventors: Jiri Plachy
Original assignee: Jiri Plachy
Priority date: 1983-12-23
Filing date: 1983-12-23
Publication date: 1986-11-13

Abstract

Sešení ee týká zařízení pro nanášení ochranných vrstev na funkční plochy optických prvků. Had lodičkami ve vakuován prostorní jsou umíatčqy zásobníky odpařovaeích částic, která se po skončení prvního cyklu odpařování přesypou do lodiček a aůže nastat další cyklus.The present invention relates to a device for applying protective layers to the functional surfaces of optical elements. In a vacuum chamber, reservoirs of evaporating particles are placed between the boats, which are poured into the boats after the first evaporation cycle is completed, and the next cycle can begin.

Description

Vynález se týká zařízení pro nanášení ochranných, odrazných nebo interferenčních vrstev na funkční plochy optických prvků, prováděná na principu vakuového napařování v recipientu vakuové aparatury.BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to devices for applying protective, reflective or interference layers to functional surfaces of optical elements carried out by vacuum vapor deposition in a recipient of a vacuum apparatus.

Pro zlepšení kvality přenosu obrazu přes optické prvky nebo optické soustavy a zvýšení odolnosti je výhodné nanášet na jejich funkční plochy vrstvy různého složení. Při sériové výrobě se nanášení takových vrstev provádí téměř výhradně na principu vakuového napařování, a to zpravidla pomocí narážkové metody. Tato metoda je sice málo náročná na elektronické vybavení napařovací aparatury a jednoduchá pro obsluhu, ale poskytuje možnost zhotovení pouze omezeného počtu vrstev při jednom čerpání. To je dáno počtem odpařovacích lodiček, uložených v recipientu napařovací aparatury. Pokud tedy přesahuje počet požadovaných vrstev počet lodiček,· je třeba je doplňovat další suspenzí až po odpojení celé aparatury a po otevření recipientu. Tím se stává oelý proces zdlouhavým, nehledě ke zhoršení kvality nanášených vrstev.In order to improve the quality of the transmission of the image through the optical elements or optical systems and to increase the resistance, it is advantageous to apply layers of different composition on their functional surfaces. In mass production, the deposition of such layers is carried out almost exclusively on the principle of vacuum vaporization, usually by means of a cue method. Although this method is less demanding on the electronic equipment of the brewing apparatus and simple to operate, it provides the possibility to make only a limited number of layers in one pumping. This is due to the number of evaporator boats stored in the recipient of the steam apparatus. Therefore, if the number of required layers exceeds the number of boats, they must be filled with another suspension after the entire apparatus has been disconnected and the recipient has been opened. This makes the process difficult, despite the deterioration in the quality of the coatings.

Tato nevýhoda vedla k požadavku upravit nebo doplnit známé vakuové aparatury o takové zařízení, které by umožňovalo nanášet více vrstev, než je počet lodiček v recipientu.This disadvantage has led to the requirement to modify or supplement the known vacuum apparatus with a device which would allow the application of more layers than the number of boats in the recipient.

Tento úkol řeší předmět vynálezu, kterým je zařízení pro nanášení ochranných, odrazných nebo interferenčních vrstev na funkční plochy optických prvků, prováděné na principu vakuového napařování v recipientu vakuové aparatury.This object is achieved by the object of the invention, which is a device for applying protective, reflective or interference layers on functional surfaces of optical elements, performed on the principle of vacuum vaporization in a recipient of a vacuum apparatus.

Podstata vynálezu spočívá v tom, že nad lodičkami ve vakuovémThe essence of the invention is that above the boats in a vacuum

246 850 prostoru je na každém rameni clony vakuové aparatury uložen zásobník odpařovaných částic, jehož výtokovy otvor je ve spodní části uzavřen výsuvnou destičkou, přitlačovanou permanentním magnetem a vysouvanou vyhazovačem pomocí tyčinky spojené β elektrickým motorkem, přičemž celé zařízení je propojeno se signalizačním zařízením·246 850 of the space is located on each arm of the vacuum apparatus store vaporized particles, whose outlet is closed at the bottom of the slide plate, pressed by a permanent magnet and ejected ejector using a rod connected β electric motor, the entire device is connected to the signaling device ·

Hlavní výhoda navrhovaného řešení spočívá v tom, že za minimální náklady, spojené s adaptací zařízení, lze při zachování běžné technologie několikanásobně zvýšit produktivitu vakuových aparatur·The main advantage of the proposed solution lies in the fact that the productivity of vacuum equipment can be increased several times while keeping the common technology at the minimal cost of adapting the equipment.

Ha přiloženém výkresu je schematicky znázorněna část známého zařízení vakuové aparatury s doplňujícím zařízením podle vynálezu, které umožňuje dosáhnout uvedeného vyššího účinku.In the accompanying drawing, a part of the known apparatus of the vacuum apparatus with a supplementary apparatus according to the invention, which makes it possible to achieve said higher effect, is schematically illustrated.

Jak z výkresu vyplývá, vystupuje ze dna 1. vakuové aparatury, překryté neznázománým krytem uzavírajícím vakuový prostor £, hřídel 2 s ramenem clony 21. na jehož konci je uložen zásobník 2» s úložným prostorem, ve kterém jsou zásobní odpařovací částice 31· Pod jeho výtokovým otvorem je uložena destička 33. přitahovaná do těsnicí polohy magnetem 34 a na povel vysouvaná pomocí vyhazovače 40, který je ovládán tyčinkou J. Tato tyčinka £ je upevněna ve vačce 2, která je na daný povel uváděna do otáčivého pohybu přes frikční kladku 51 elektrickým motorkem 55. přičemž vačka 2 ovládá mikrospínač 53. který zajišíuje vždy jen jednu otáčku vačky 2· Tato nastavená poloha, kdy zásobník 2 3® ^na<^ lodičkou 2· j® zajištěna aretačním mechanismem 54. Lodička 2 je připevněna pomocí držáku 21 k elektrodám 72. kterými se přivádí žhavicí proud.As can be seen from the drawing, a shaft 2 with an orifice arm 21 protrudes from the bottom of the vacuum apparatus 1, covered by a cover (not shown) closing the vacuum space 6, at the end of which a container 2 is disposed. a plate 33 is received through the outlet opening, attracted to the sealing position by the magnet 34 and, upon command, ejected by the ejector 40, which is controlled by the rod J. This rod 6 is mounted in a cam 2 the cam 2 controls the microswitch 53, which only provides one rotation of the cam 2 at a time. This set position where the reservoir 2 3 3 ^{on the} boat 2 is secured by the locking mechanism 54. The boat 2 is secured by the holder 21 to the electrodes 72. through which the heating current is supplied.

Provoz na popsaném zařízení je následující· Obsluha provede naplnění lodiček 2 ^a zásobníků 2 předem naváženými odpařovacími částicemi 31 určenými k naparování a pak může být po uzavření recipientu proveden čerpací cyklus· Po dosažení určeného vakua ve vakuovém prostoru £ se obsluha přesvědčí, zda je segment zásobníku 2 ▼ poloze mimo odpařovací lodičky 2« se může provést odražení prvních navážek· Po jeho skončení se zásobník 2 přesune do určené polohy nad lodičky 2 ^a provede se výsypný cyklus, to je odpařovací částice 31. uložené ve čtyřech zásobnících 2^ s® po postupném otevření výsypnýoh otvorů 32 vysypou do čtyř lodiček 2 · To se provádí tím způsobem, že zmáčknutím ne246 850 znfacfíhŠného tlačítka se přivede proud do elektrického motorku 55, který přes frikční kladku 51 začne otáčet vačkou 5« Jejím pootočením se sepne mikrospínač 53. který zajištuje přívod elektrického proudu do elektrického motorku 55 po uvolnění nenaznačeného tlačítka pouze pro jednu otáčku vačky 2· ^v excentrické drážce 56 vačky J5 je uložena kladka 42»' která přenáší otáčivý pohyb vačky £ na přímočarý. Tímto pohybem se přes uložení 41 tyčinky J. vychýlí a vyhazovače 40 vysunou destičky 33, které automaticky postupně otevřou čtyři zásobníky 2 ^a doplní čtyři lodičky 7, naváženými odpařovacími částicemi 31. Celý proces je signalizován neřrMÚornánýa signalizačním zařízením. Po ukončení výsypného procesu se lodičky 7 přesunou do příslušné polohy a může být zahájen další odpařovací proces.The operation on the described apparatus is as follows: The operator fills the boats 2 ^and containers 2 with the pre-weighed evaporating particles 31 to be steamed, and then a pumping cycle can be performed after the recipient is closed. In the position outside the evaporation boats 2 «, the first weighing can be reflected. After its completion, the container 2 is moved to a predetermined position above the pumps 2 ^and a discharge cycle is carried out, i.e. opening of the discharge holes 32 is discharged into four boats 2. This is done by pressing the non-rotary pushbutton to feed the electric motor 55, which starts to rotate the cam 5 via the friction roller 51. ele ^{In the} eccentric groove 56 of the cam, a pulley 42 '' is provided which transmits the rotational movement of the cam to a rectilinear one. By this movement the plates 33 are deflected and the ejectors 40 eject the plates 33, which automatically open the four containers 2 ^and complete the four pumps 7 with the weighed evaporating particles 31. The whole process is signaled by an unmatched signaling device. Upon completion of the discharge process, the boats 7 are moved to the appropriate position and a further evaporation process can be initiated.

Popsané zařízení je vhodné pro všechny druhy známých vakuových aparatur, pracujících na principu riavážkové metody.The described apparatus is suitable for all kinds of known vacuum apparatuses working on the principle of the gravimetric method.

Claims

Apparatus for applying protective, reflective or interference layers on functional surfaces of optical elements, carried out on the principle of vacuum vaporization in a recipient of a vacuum apparatus, characterized in that above the boats (7) in the vacuum space (6) there is a vacuum a vaporizer particle container (31) is disposed, the outlet opening (32) of which is closed at the bottom by a slide plate (33) pressed by a magnet (34) and extracted by an ejector (40) by means of a rod (4) connected to an electric motor (55)> wherein the whole device is connected to the signaling device.

1 drawing