CS240423B1 - Casette for semiconductor plates chemical treatment - Google Patents

Description

-2- M30dpeTeHHe OTHOCHTCH R Μ0Κρθ9ΛβΚΤρθΗΗΚβ 0 ΜΟΧβΤtíhlTb 0ΟΠΟΛΒ3ΟΒΘΗΟ B OdopyflOBaHHH RXH XRAKOCTHOfi OdpaÓOT-KH Η3ΛθΛΗβ, HanpBMep πο&ποχεκ ΜΗΚρΟΟΧβΜ. H3BecTHa xacceTa, ΒΐιποΛΗβΗΗβΗ b bto rhcks c κολβ-ρθβο0 προτο^κοδ a cpeacTBaMH yaepxaHím πλθοτηη. 4hcrΗΜββΤ ABa pana RIMHHflPineCRHX DITHpBROB, ρβΟΠΟΛΟΧβΗΗΗΧ noflByM KOfmeHTpaneCKHM OKpySHOCTHM (i] .

OjjHaKO, HecwoTpa Ha BucoRys βΦΦθκτηβηοοτβ odpatíoT-KU miaCTHH, ΒΟΛβΛΟΤΒΗβ ΤΟΓΟ, HTO rUiaCTHHH ΠΟΜΤΗ ΠΟΛΗΟΟ-TBB BC6MH nOBepXHOCTHMH B3aHMOAeftCTByX>T C peaKTHBaMH,οτβπβΗΒ oópaóoTKH πλθοτηη (ocotíeHHO otmhbkh, ode3xxpxBa-hrh) b MecTax hx κοητθκτθ co ιπτηρημη η κολβπθβοζ κηηθβ—ko0 HejiocTaTOMHa. Cpe^cTBa yxepxaHHfl nxacTHH b BRne RByxKOHneHTpaqecKHX phrob ηηληηλρηηθοηηχ araupeft, pacnoHoxea-HHX no KOJIBpeBOĚ ΠρΟΤΟΗΚβ ΚΟΗΗΗβΟΚΟϋ φορΜΗ, H6 ΟΰβΟΠβΗΗ-B8DT ΛΟΟΤβΤΟΉΗΟ ΗβΛβΧΗΟΓΟ κρβΠΛβΗΗΗ ΠΛβΟΤΗΗ, OCOÓeHHO ΒΟΒρθΜΗ nycxa η οοτηηοβη, τθμ doxee β cxyaae ρββΧΗΠΗΗΧ pa3-ΜβρΟΒ nJiaCTHH, ΒΟΛθΛΟΤΒΗβ ΗβΓΟ Η3-3β ΗβγΠΟρΗΛΟΗβΗΗΟΓΟΑΒΗΧΘΗΗΗ CTpyJtpeaRTHBa ΟΤΛβΛΒΗΗΘ ΠΛΘΟΤΗΗΗ BHCRaRHBaDT03 CBOHX ΓΗ63Λ· Βθθ 8ΤΟ ΟΗΗΧββΤ ΒΗΧΟΛ ΓΟΛΗΗΧ Η3Λ6ΛΗΖ ΠρΗotípadoTRa.... ......

Haxdojiee dxHSRofl κ npejuiaraeuoft ηβληθτοη κβοοβτβjma xmoraecRott odpadoTxa πολυπροβοληηκοβηχ iuacTHH, co- 240423 -3- v

Aepxamaa οοηοβθηη6 b bw AHCKa c ΓΗββΑβΜΗ αλη nojiynpo-ΒΟΛΗΗΚΟΒΗΧ EUI8CTHH H CTyilHLiy, COOCHyD AHCKy ΟΟΗΟΒΘΗΗΗ |2j. Οαηθκο b 3T0Ž KacceTe njiacTHHU oópaóaTHBaDTca to-ulko C ΟΛΒΟ» CTOPOHH.

Uejii. Η30όρβτβΗΗΗ - noBumeHae πρ0Η3Β0ΑΗΤβΛΒΗ00ΤΗpaóoTH h KaaecTBa oópaóoTKH πολυπροβοληηκοβηχ πλθοτηη. ΙΙαοτθΒΛβΗΗβΗ ιιθλβ socTuraeTca τβΜ, ητο KacceTa,cosepxamaa οοηοβθηηθ β βηαθ ληοκθ c γηθ^αθμη αλη πολυ-ΠρΟΒΟΛΗΗΚΟΒΗΧ ILHaCTKH Η CTymmy, COOCHyD AHCKy, CHatíxe-Ha 3an0pHHM ΚΟΛΒΙίΟΜ, γΟΤΘΗΟΒΛβΗΗΗΜ H3 CTynime, a ΓΗβ3Α8AJIH ΠΟΛγπρΟΒΟΑΗΗΚΟΒΗΧ ΠΛβΟΤΗΗ ΒΗΠΟΛΗβΗΗ Β ΒΗΑθ ΚΟΛΒΙΙβΒΗΧΚβΗΘΒΟΚ Ηθ IHTHpflX, ρθ3ΜβΠίβΗΗΗΧ ΠΟ ΠθρΗφβρΗΗ ΑΗΟΚΘ, ΗΚΟΛΒΙΙβΒοΚ Κ3Η3ΒΚΗ, ΒΗΠΟΛΗβΗΗΟίί Ha ΟΟΚΟΒΟΒ ΠΟΒβρΧΗΟΟΤΗ3anopHoro KOJitua.

Ha φΗΓ. I H3otípaaeHa rrpejmaraeMaa KacceTa, pa3pe3;Ha φΗΓ. 2 - το »e, bha b ruiaHe.

KacceTa coctoht H3 οοηοβηηηα I b bha® ahcks cocTynimeB, Ha KOTopyn HacaxeHO 3anopHoe koabuo 2 3Be3A0-oópa3Hoá φορΜΗ, pajia πιτκρθϋ 3 h AByx panoš onopHtix ιπτη-pefi 4, ρβΟΠΟΛΟΜβΗΗΗΧ no ΚΟΗΠΘΗΤρΗΗβΟΚΗΜ OKpyXHOCTHM, 3a-nopHoe koabilo 2 ΗΜββτ bo3moxhoctb orpaHHaeHHoro noBOpo-Ta H $HKCaUHH B HyXHOM ΠΟΛΟΧβΗΗΗ ΒΗΗΤβΜΗ 5. OrpaHHHSHHHÉpajniaaBHHíl ποΒοροτ z BepTHKfluibHoe cwemeHHe aanopHoro κο-xup odecneaHBaDTCH ΒβκρβπΛβΗΗβΜ Ha CTynane flHCKa $uiaH-naMH 6. 3anopHoe κολβπο 2 ΗΜββτ Ha HapyxHož noBepxHocTHBHCTynH, Ha ΚΟΤΟΡΗΧ ΒΗΠΟΛΗ6ΗΗ ΚΟΛΒΙίβΒΗβ Κ3Η3ΒΚΗ ΚΛΗΗΟΟΟ-ρβ3ΗΟΓΟ ΠροφΗΛΗ. IflTHpH 3 Ha HapyXHOÍ.OKpySHOCTH ΗΜβΒΤKOJiBqeBue κθηθβκη, aHajiororaime κηηηβκημ Ha BHCTynax 3a-nopHoro KOJima. BepxHHe οπορωιβ τορηθΒΗβ noBepxHocTHmTiipeft 4pacnojioxeHH Ha μθηβιπθμ paccTOHHHH ot noBepxHoc-th AHCKa, aeM oockoctb, npoxoAamaa qepee HaHMeHBmeeceaeHHe uiTHpea 3 h 3anopHoro ^οηβιιθ 2. 240423 -4-

KacceTa paóoTaeT cxa^yxníBM oópa3OM. Πλθοτηηθ 7 yxjiaflHBaeTca ropB3OHTajiBHo Ha onopHue πιτκρχ 4 b rHe3.ua, oópa3yeMue πιτμρημβ 3 c κολβρθβημη xa-HaBKaMH h KaHaBKaMH 3anopHoro xoxBpa 2. Opu ποεοροτβ 3a-nopHoro KOJiBua Bce imacTHHH ΟΛΗΟΒρβΜβΗΗΟ caMoycTaHaBiH-BaiOTCH B $HKCHpyíOTCH B ΚΟΛΒρβΒΗΧ Κ3Η3ΒΚ3Χ fflTHpefi 3 B KO-λβιϊθβηχ xaHaBxax KOJiBna 2, πρηποληημθαοβ npa stom Ha#BepXHBMB TOpiíOBHMH ΠΟΒβρΧΗΟΟΤΗΜΒ OHOpHHX HITUpefl, OÓeCHe-HBBafl ΤβΜ CaMHM CBOdOflHHÉ flOCTyiI peaXTHBa K OdeBM OJIOC-KOCTflM* J npe&naraeMoe ycTpoácTBo πο3βοληθτ peniHTB BonpocOÚpaÓOTKB HOJiynpOBOAHBKOBHX nJiaCTHH C MaXCBMaXBHOft 3φ-φβΚΤΒΒΗΟΟΤΜ), TO βΟΤΒ ΟόθΟΠβΗΒΤΒ xaHecTBeHHy» OÓpaóOTKyBcelt imacTHHU, Tax xax bch noBepxHocTB oópaóaTUBaeMoňnoxynpoBOAHXKOBoft nxacTBHu xerxoAOCTynHa oópaóaTueaeMUMXBAKOCTHM. 240423 -5- ΦΟΡΜΪΛΑ Η30ΕΡΕΤΕΗΗΗ

KacceTa jyw χβμηβθοκοΚ odpatíoTKH πολυπροβοληηκοβηχa/iacTHH, coAepxamaH ocHOBaHne b βηλθ jpacKa c γη63Α8μηjww nojiynpoBOflHHKOBMX ojiacTHH h CTynnuy, coocHy» wacKy,OTíK^aBiiiaHca τθμ, hto, c nejíš» ποβηιπθημπροΗ3ΒθΛΗΤβΛΒΗοοτιι padoTa h Ka^ecTBa odpadoTKH nojiynpo-boxhhkobhx miacTHH, ona CHadxeHa 3anopHHM κολβηομ, ycTa-ΗΟΒΛβΗΗΜΜ H3 CTyBiUte, 3 ΓΗβ3ΛΘ ΠΟ^ΠρΟΒΟΛΗΗΚΟΒϋΧnJiaCTHH ΒΗΠΟΛΗβΗΗ B ΒΚ£Θ ΚΟΛΒίχβΒΗΧ ΚΘΗβΒΟΚ Ha flITHpHX,pa3MeuteHHHX no nepřepnu ahcks, η κολβιιθβοΒ KaHaBKH, bh-ΠΟΛΗΘΗΗΟΖ Ha dOKOBOŽ ΠΟΒβρΧΗΟΟΤΗ 3ΘΠ0ρΗ0Γ0 ΚΟΛΒΙξΗ. UCTOHHHKH ΗΗφορΜΒΙξΗΗ,ΠρΚΗΑΤΗβ BO ΒΗΗΜ3Ηϋβ ΠβΗ3ΚΟΠβρΤΗ3θ: 1. ΑΒΤοροκοβ ΟΒΗΛβτβΛΒΟΤΒΟ CCCPJÉ 443433, κλ. Η 01L 21/00, 1971. 2. ΑΒΤοροκοβ obují βτβΛΒΟΤΒο CCCP JI 752558, kji. H 01L 21/00, 1977. 240423 -6. AHHOTAIíMfl Μ30ύρθΤθΗΗθ OTHOCHTCfl K ΜΗΚρΟΘΛβΚΤρΟΗΜΚβ._ ΙίβΛΒ» Η3ΟόρβΤβΗΗΗ ΗΗΠΗΘΤΟΗ ΠΟΒΗίΠβΗΙΙβ Πρ0Η3Β0ΛΗΤβΛΙ>-hocth ρβόοτΗ ιι KanecTBa odpaóoTKa πολυπροβοληηκοβηχ nnac-ΤΗΗ. IIocTaBJíeHHafl β,θλβ ΛΟοτκτββτοΗ τθμ, ητο KacceTaCHaóxeHa 3anopHHM κολβιιομ, ycTauo&neHHUM Ha crynime, arHe3Aa JSJiSL HOJiyQpOBOAHHKOBHX tmaCTHH ΒΗΠΟΛΗβΗΗ B BWκοΛΒρβΒΗΧ κβΗβΒοκ Ha inThipax, pa3uemeHHux no πθρκφβρΗΗAHCKa, H KOJIBQeBOft ΚβΗΘΒΚΗ, ΒΗΠΟΛΗθΗΗΟΜ Ha OokoboS no-BepxHocTH 3anopHoro Kojitna. 240423

Claims (1)

1. Kazeta na chemické zpracování polovodičových destiček, mající podstatu ve tvaru disku s vybráními pro polovodičové destičky a náboj, soustředný s diskem, vyznačující se tím, že za účelem zvýšení produktivity práce a jakosti zpracování polovodičových destiček je kazeta opatřena závěrným kroužkem, nasazeným na náboji a vybrání pro polovodičové destičky jsou zhotovena ve tvaru kruhových drážek na kolících, umístěných po obvodu disku a kruhové drážky, zhotovené na boční ploše závěrného kroužku·