CS235241B1 - Dvojmembránový kapacitný akcelerometer - Google Patents
Dvojmembránový kapacitný akcelerometer Download PDFInfo
- Publication number
- CS235241B1 CS235241B1 CS834783A CS478383A CS235241B1 CS 235241 B1 CS235241 B1 CS 235241B1 CS 834783 A CS834783 A CS 834783A CS 478383 A CS478383 A CS 478383A CS 235241 B1 CS235241 B1 CS 235241B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- fixed
- condenser
- accelerometer
- capacitive accelerometer
- acceleration
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
Vynález dvojmembránového kapacitného akcelerometra je určený pre pohybujúce a zrýchlujúce sa zariadenia a dopravné pro- striedky. Podstata akcelerometra spočívá v tom, že medzi dvojicou polymerových membrán, na ktorých sú nalepené pohyblivé kondenzátorové došky a ktoré sú upevněné v dištančnej vložke osadenej vo valcovom telese je kvapalné dielektrikum a z vonkajšej strany od polymérových memrán sú upevněné pevné kondenzátorové došky zafixovaná dištančnými krúžkami a přítlačnými závitovými krúžkami, přitom sú pevné a pohyblivé kondenzátorové došky vodičmi spojené cez izolačně kolíky s vývodmi napatí. Dvojmembránový kapacitný akcelerometer možno využit v zariadeniach na meranie o- táčok, nerovnoměrnosti chodu velkých točivých strojov, vibrácií a zrýchlení.
Description
Vynález dvojmembránového kapacitnébo akcelerometra je určený pre pohybujúce a zrýchlujúce sa zariadenia a dopravné prostriedky. Podstata akcelerometra spočívá v tom, že medzi dvojicou polymérových membrán, na ktorých sú nalepené pohyblivé kondenzátorové došky a ktoré sú upevnené v dištančnej vložke osadenej vo valcovom telese je kvapalné dielektrikum a z vonkajšej strany od polymerových memrán sú upevnené pevné kondenzátorové došky zafixovaná dištančnými krúžkami a přítlačnými závitovými krúžkami, přitom sú pevné a pohyblivé kondenzátorové došky vodičmi spojené cez izolačně kolíky s vývodmi napatí.
Dvojmembránový kapacitný akcelerometer možno využit v zariadeniach na meranie otáčok, nerovnoměrnosti chodu velkých točivých strojov, vibrácií a zrýchlení. 13 16 14 17 15
235241 235241
Vynález sa týká dvojmembránového kapacitného akcelerometra pre meranie zrýchlenia na pohybuiúcich sa objektoch.
Doteraz sa na pohybujúcich objektoch meria zrýchlenie přístrojím založenými na gyroskopickom, seizmíekom a mechanickom pružinovom principe. Nevýhodou týchto prístrojov je, že sú konstrukčně zložité, výrobně náročné a z toho důvodu aj drahé a přitom nevyhovujú ani novým požiadavkam kladeným na meranie.
Uvedené nedostatky odstraňuje dvojmembránový kapacitný akcelerometer v ktorom je priestor medzi dvojicou membrán upevněných v telese vyplněný kvapalinou podl'a vynálezu, ktorého podstata spočívá v tom, že medzi dvojicou polymerových membrán, na ktorých sú nalepené pohyblivé kondenzátorové došky, a ktoré sú upevněné v dištančnej vložke osadenej vo valcovom telese je kvapalné dielektrikum a z vonkajšej strany od polymérových membrán sú upevněné pevné kondenzátorové došky zafixované dištančnými krúžkami a přítlačnými závitovými krúžkami, přitom sú pevná a pohyblivé kondenzátorové došky vodičmi spojené cez izolačně kolíky s vývodmi napatí.
Vynález dvojmembránového kapacitného akcelerometra umožňuje spoíahlivo merať zrýchlenie a vibrácie na pohybujúcich sa objektoch, přitom je konstrukčně jednoduchý a výrobně nenáročný.
Dvojmemhránový kapacitný akcelerometer je v řeze znázorněný na pripojenom výkrese.
Citlivé polymérové membrány 2 a 3 sú zalisované v distančnej vložke 4, ktorá je vsuvne uložená vo valcovom telese 1 a ich poloha je zafixovaná dištančnými krúžkami 5 a 6 a přítlačnými závitovými krúžkami 7 a 8, Pohyblivé kondenzátorové došky S a 18 sú nalepené na polymérových membránách 2 a 3 a pevné kondenzátorové došky 11 a 12 sú vlisované do dištančných krúžkov 5 a 0. Kondenzátorové došky 9, 10, 11 a 12 sú vodičmi 13, 14 a 15 spojené cez izolačně kolíky IS, 17 a 18 zalisované vo valcovom telese 1, dištančnej vložke 4 a dištančných krúžkoch 5 a 6. Priestor inedzi polymerovými membránami 2 a 3 je vyplněný kvapalným dielektri- kom 20, nahatým cez otvor uzavretý skrutkou 19. Pri meraní zrýchlenia a, ktoré posobí v smere osi válcového telesa 1 sa vychýlí statický element vytvořený dvojicou pružných polymérových membrán 2 a 3, kvapalným dieiektrikom 20 a dvojicou pohyblivých kondenzátorových dosiek 9 a 10 v důsledku působenia zotrvačných sil v opačnom smere ako je vektor zrýchlenia a. Zložka vektora zrýchlenia a, ktorá je kolmá na os válcového telesa 1 neovplyvňuje zotrvačné vlastnosti elastického elementu, keďže tento v důsledku nestlačitefnosti kvapalného dielektrika 20 sa chová ako tuhé teleso. Změna sily ΔΡ, ktorá sposobí výchylku Ay elastického elementu pri zmene jeho zrýchlenia o hodnotu Aa sa určí podfa vztahu ΔΡ—-m.Aa, kde m je hmotnost elastického elementu a je to konštantná veličina. Aa je změna zrýchlenia, pričom platí, že Aa = AP/m. Změna zotrvačnej sily ΔΡ, ktorá působí na elastický element je v rovnováhe so změnou elastických sil AC určených podfa vztahu AP = AC. Pre elastický element platí AC « Ay. Z toho pre júa platí, že Aa « ΔΡ « AC « Ay. Změnu zrýchlenia Aa transformuje membránový akcelerometer na změny výchylky Ay elastického elementu. Elastická silu AC pružného elementu akcelerometra, ktorá je konštantná možno ovplyvniť změnou priemeru, hrůbky a napnutosti polymérových membrán 2 a 3. Hmotnost m elastického elementu závisí od vzájomnej vzdialenosti a priemeru polymérových membrán 2 a 3 a hmotnosti kvapalného dielektrika 29. Změnou vzdialenosti medzi kondenzátorovými doskami 11 a 12 a pohyblivými kondenzátorovými doskami 9 a 10 sa mění napátie a tým aj impedancia kondenzátorov. Změny napátia kondenzátorových dosiek 9, 10, 11 a 12 sa privádzajú na nadvázujúce elektrické obvody vodičmi 13, 14 a 15 cez izolačně kolíky 16, 17 a 18. Diferenciálnym zapojením kondenzátorov sa zdvojnásobila citlivost akcelerometra.
Dvojmemhránový kapacitný akcelerometer možno využiť v zariadeniach na meranie otáčok, nerovnoměrnosti chodu vefkých točivých strojov, vibrácií a zrychlení.
Claims (1)
- PREDME' Dvojmemhránový kapacitný akcelerometer, v ktorom je priestor medzi dvojicou membrán, upevněných v telese vyplněný kvapalinou vyznáčujúci sa tým, že medzi dvojicou polymérových membrán (2 a 3), na ktorých sú nalepené pohyblivé kondenzátorové došky (9 a 10j a ktoré sú upevněné v dištančnej vložke (4) vsuvne uloženej vo valcovom telese (1), je kvapalné dielektrikum (20) a z vonkajšej strany od polymérových membrán vynalezu (2 a 3) sú upevněné pevné kondenzátorové došky (11 a 12 j zafixované dištančnými krúžkami (5 a 6) a přítlačnými závitovými krúžkami (7 a 8), přitom sú pevné kondenzátorové došky (11 a 12) vodičmi (13 a 15) cez izolačně kolíky (16 a 18) a pohyblivé kondenzátorové došky (9 a 10) vodičom (14) cez izolačný kolík (17) spojené s vývodmi napátí. 1 list výkresov 4 233241 13 16 14 17 15
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS834783A CS235241B1 (cs) | 1983-06-28 | 1983-06-28 | Dvojmembránový kapacitný akcelerometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS834783A CS235241B1 (cs) | 1983-06-28 | 1983-06-28 | Dvojmembránový kapacitný akcelerometer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS478383A1 CS478383A1 (en) | 1984-05-14 |
| CS235241B1 true CS235241B1 (cs) | 1985-05-15 |
Family
ID=5391362
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS834783A CS235241B1 (cs) | 1983-06-28 | 1983-06-28 | Dvojmembránový kapacitný akcelerometer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS235241B1 (cs) |
-
1983
- 1983-06-28 CS CS834783A patent/CS235241B1/cs unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CS478383A1 (en) | 1984-05-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4378617B2 (ja) | 微小電気機械センサー | |
| US4413202A (en) | Transducer with a flexible sensor element for measurement of mechanical values | |
| Kuehnel | Modelling of the mechanical behaviour of a differential capacitor acceleration sensor | |
| US8322216B2 (en) | Micromachined accelerometer with monolithic electrodes and method of making the same | |
| EP0795122B1 (en) | Sensor with separate actuator and sense fingers | |
| US6910379B2 (en) | Out-of-plane compensation suspension for an accelerometer | |
| US3645137A (en) | Quartz pressure sensor | |
| US2880333A (en) | Accelerometer | |
| SE459887B (sv) | Tryckgivare | |
| US4091680A (en) | Force transducer having a linear transfer characteristic | |
| US3713333A (en) | Force measuring apparatus | |
| Ganji et al. | Modeling of capacitance and sensitivity of a MEMS pressure sensor with clamped square diaphragm | |
| CS235241B1 (cs) | Dvojmembránový kapacitný akcelerometer | |
| US2867706A (en) | Pressure sensitive resistor | |
| US2917300A (en) | Frequency modulating accelerometer | |
| US3028760A (en) | Centrifugally restrained accelerometer | |
| RU2010196C1 (ru) | Емкостный датчик давления и способ его изготовления | |
| US3446079A (en) | Linear electrostatic accelerometer | |
| RU2148830C1 (ru) | Акселерометр | |
| SU1026025A1 (ru) | Датчик разности давлений | |
| US2878352A (en) | Electrical motion sensing means | |
| US2867115A (en) | Means for extending range of transducers | |
| SU905671A1 (ru) | Датчик давлени | |
| FI58695C (fi) | Tryckmaetare | |
| RU2165068C2 (ru) | Датчик перемещения |