CS235241B1 - Dvojmembránový kapacitný akcelerometer - Google Patents

Dvojmembránový kapacitný akcelerometer Download PDF

Info

Publication number
CS235241B1
CS235241B1 CS834783A CS478383A CS235241B1 CS 235241 B1 CS235241 B1 CS 235241B1 CS 834783 A CS834783 A CS 834783A CS 478383 A CS478383 A CS 478383A CS 235241 B1 CS235241 B1 CS 235241B1
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
fixed
condenser
accelerometer
capacitive accelerometer
acceleration
Prior art date
Application number
CS834783A
Other languages
English (en)
Slovak (sk)
Other versions
CS478383A1 (en
Inventor
Stefan Jurik
Original Assignee
Stefan Jurik
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Stefan Jurik filed Critical Stefan Jurik
Priority to CS834783A priority Critical patent/CS235241B1/cs
Publication of CS478383A1 publication Critical patent/CS478383A1/cs
Publication of CS235241B1 publication Critical patent/CS235241B1/cs

Links

Landscapes

  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

Vynález dvojmembránového kapacitného akcelerometra je určený pre pohybujúce a zrýchlujúce sa zariadenia a dopravné pro- striedky. Podstata akcelerometra spočívá v tom, že medzi dvojicou polymerových membrán, na ktorých sú nalepené pohyblivé kondenzátorové došky a ktoré sú upevněné v dištančnej vložke osadenej vo valcovom telese je kvapalné dielektrikum a z vonkajšej strany od polymérových memrán sú upevněné pevné kondenzátorové došky zafixovaná dištančnými krúžkami a přítlačnými závitovými krúžkami, přitom sú pevné a pohyblivé kondenzátorové došky vodičmi spojené cez izolačně kolíky s vývodmi napatí. Dvojmembránový kapacitný akcelerometer možno využit v zariadeniach na meranie o- táčok, nerovnoměrnosti chodu velkých točivých strojov, vibrácií a zrýchlení.

Description

Vynález dvojmembránového kapacitnébo akcelerometra je určený pre pohybujúce a zrýchlujúce sa zariadenia a dopravné prostriedky. Podstata akcelerometra spočívá v tom, že medzi dvojicou polymérových membrán, na ktorých sú nalepené pohyblivé kondenzátorové došky a ktoré sú upevnené v dištančnej vložke osadenej vo valcovom telese je kvapalné dielektrikum a z vonkajšej strany od polymerových memrán sú upevnené pevné kondenzátorové došky zafixovaná dištančnými krúžkami a přítlačnými závitovými krúžkami, přitom sú pevné a pohyblivé kondenzátorové došky vodičmi spojené cez izolačně kolíky s vývodmi napatí.
Dvojmembránový kapacitný akcelerometer možno využit v zariadeniach na meranie otáčok, nerovnoměrnosti chodu velkých točivých strojov, vibrácií a zrýchlení. 13 16 14 17 15
235241 235241
Vynález sa týká dvojmembránového kapacitného akcelerometra pre meranie zrýchlenia na pohybuiúcich sa objektoch.
Doteraz sa na pohybujúcich objektoch meria zrýchlenie přístrojím založenými na gyroskopickom, seizmíekom a mechanickom pružinovom principe. Nevýhodou týchto prístrojov je, že sú konstrukčně zložité, výrobně náročné a z toho důvodu aj drahé a přitom nevyhovujú ani novým požiadavkam kladeným na meranie.
Uvedené nedostatky odstraňuje dvojmembránový kapacitný akcelerometer v ktorom je priestor medzi dvojicou membrán upevněných v telese vyplněný kvapalinou podl'a vynálezu, ktorého podstata spočívá v tom, že medzi dvojicou polymerových membrán, na ktorých sú nalepené pohyblivé kondenzátorové došky, a ktoré sú upevněné v dištančnej vložke osadenej vo valcovom telese je kvapalné dielektrikum a z vonkajšej strany od polymérových membrán sú upevněné pevné kondenzátorové došky zafixované dištančnými krúžkami a přítlačnými závitovými krúžkami, přitom sú pevná a pohyblivé kondenzátorové došky vodičmi spojené cez izolačně kolíky s vývodmi napatí.
Vynález dvojmembránového kapacitného akcelerometra umožňuje spoíahlivo merať zrýchlenie a vibrácie na pohybujúcich sa objektoch, přitom je konstrukčně jednoduchý a výrobně nenáročný.
Dvojmemhránový kapacitný akcelerometer je v řeze znázorněný na pripojenom výkrese.
Citlivé polymérové membrány 2 a 3 sú zalisované v distančnej vložke 4, ktorá je vsuvne uložená vo valcovom telese 1 a ich poloha je zafixovaná dištančnými krúžkami 5 a 6 a přítlačnými závitovými krúžkami 7 a 8, Pohyblivé kondenzátorové došky S a 18 sú nalepené na polymérových membránách 2 a 3 a pevné kondenzátorové došky 11 a 12 sú vlisované do dištančných krúžkov 5 a 0. Kondenzátorové došky 9, 10, 11 a 12 sú vodičmi 13, 14 a 15 spojené cez izolačně kolíky IS, 17 a 18 zalisované vo valcovom telese 1, dištančnej vložke 4 a dištančných krúžkoch 5 a 6. Priestor inedzi polymerovými membránami 2 a 3 je vyplněný kvapalným dielektri- kom 20, nahatým cez otvor uzavretý skrutkou 19. Pri meraní zrýchlenia a, ktoré posobí v smere osi válcového telesa 1 sa vychýlí statický element vytvořený dvojicou pružných polymérových membrán 2 a 3, kvapalným dieiektrikom 20 a dvojicou pohyblivých kondenzátorových dosiek 9 a 10 v důsledku působenia zotrvačných sil v opačnom smere ako je vektor zrýchlenia a. Zložka vektora zrýchlenia a, ktorá je kolmá na os válcového telesa 1 neovplyvňuje zotrvačné vlastnosti elastického elementu, keďže tento v důsledku nestlačitefnosti kvapalného dielektrika 20 sa chová ako tuhé teleso. Změna sily ΔΡ, ktorá sposobí výchylku Ay elastického elementu pri zmene jeho zrýchlenia o hodnotu Aa sa určí podfa vztahu ΔΡ—-m.Aa, kde m je hmotnost elastického elementu a je to konštantná veličina. Aa je změna zrýchlenia, pričom platí, že Aa = AP/m. Změna zotrvačnej sily ΔΡ, ktorá působí na elastický element je v rovnováhe so změnou elastických sil AC určených podfa vztahu AP = AC. Pre elastický element platí AC « Ay. Z toho pre júa platí, že Aa « ΔΡ « AC « Ay. Změnu zrýchlenia Aa transformuje membránový akcelerometer na změny výchylky Ay elastického elementu. Elastická silu AC pružného elementu akcelerometra, ktorá je konštantná možno ovplyvniť změnou priemeru, hrůbky a napnutosti polymérových membrán 2 a 3. Hmotnost m elastického elementu závisí od vzájomnej vzdialenosti a priemeru polymérových membrán 2 a 3 a hmotnosti kvapalného dielektrika 29. Změnou vzdialenosti medzi kondenzátorovými doskami 11 a 12 a pohyblivými kondenzátorovými doskami 9 a 10 sa mění napátie a tým aj impedancia kondenzátorov. Změny napátia kondenzátorových dosiek 9, 10, 11 a 12 sa privádzajú na nadvázujúce elektrické obvody vodičmi 13, 14 a 15 cez izolačně kolíky 16, 17 a 18. Diferenciálnym zapojením kondenzátorov sa zdvojnásobila citlivost akcelerometra.
Dvojmemhránový kapacitný akcelerometer možno využiť v zariadeniach na meranie otáčok, nerovnoměrnosti chodu vefkých točivých strojov, vibrácií a zrychlení.

Claims (1)

  1. PREDME' Dvojmemhránový kapacitný akcelerometer, v ktorom je priestor medzi dvojicou membrán, upevněných v telese vyplněný kvapalinou vyznáčujúci sa tým, že medzi dvojicou polymérových membrán (2 a 3), na ktorých sú nalepené pohyblivé kondenzátorové došky (9 a 10j a ktoré sú upevněné v dištančnej vložke (4) vsuvne uloženej vo valcovom telese (1), je kvapalné dielektrikum (20) a z vonkajšej strany od polymérových membrán vynalezu (2 a 3) sú upevněné pevné kondenzátorové došky (11 a 12 j zafixované dištančnými krúžkami (5 a 6) a přítlačnými závitovými krúžkami (7 a 8), přitom sú pevné kondenzátorové došky (11 a 12) vodičmi (13 a 15) cez izolačně kolíky (16 a 18) a pohyblivé kondenzátorové došky (9 a 10) vodičom (14) cez izolačný kolík (17) spojené s vývodmi napátí. 1 list výkresov 4 233241 13 16 14 17 15
CS834783A 1983-06-28 1983-06-28 Dvojmembránový kapacitný akcelerometer CS235241B1 (cs)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS834783A CS235241B1 (cs) 1983-06-28 1983-06-28 Dvojmembránový kapacitný akcelerometer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS834783A CS235241B1 (cs) 1983-06-28 1983-06-28 Dvojmembránový kapacitný akcelerometer

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CS478383A1 CS478383A1 (en) 1984-05-14
CS235241B1 true CS235241B1 (cs) 1985-05-15

Family

ID=5391362

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS834783A CS235241B1 (cs) 1983-06-28 1983-06-28 Dvojmembránový kapacitný akcelerometer

Country Status (1)

Country Link
CS (1) CS235241B1 (cs)

Also Published As

Publication number Publication date
CS478383A1 (en) 1984-05-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4378617B2 (ja) 微小電気機械センサー
US4413202A (en) Transducer with a flexible sensor element for measurement of mechanical values
Kuehnel Modelling of the mechanical behaviour of a differential capacitor acceleration sensor
US8322216B2 (en) Micromachined accelerometer with monolithic electrodes and method of making the same
EP0795122B1 (en) Sensor with separate actuator and sense fingers
US6910379B2 (en) Out-of-plane compensation suspension for an accelerometer
US3645137A (en) Quartz pressure sensor
US2880333A (en) Accelerometer
SE459887B (sv) Tryckgivare
US4091680A (en) Force transducer having a linear transfer characteristic
US3713333A (en) Force measuring apparatus
Ganji et al. Modeling of capacitance and sensitivity of a MEMS pressure sensor with clamped square diaphragm
CS235241B1 (cs) Dvojmembránový kapacitný akcelerometer
US2867706A (en) Pressure sensitive resistor
US2917300A (en) Frequency modulating accelerometer
US3028760A (en) Centrifugally restrained accelerometer
RU2010196C1 (ru) Емкостный датчик давления и способ его изготовления
US3446079A (en) Linear electrostatic accelerometer
RU2148830C1 (ru) Акселерометр
SU1026025A1 (ru) Датчик разности давлений
US2878352A (en) Electrical motion sensing means
US2867115A (en) Means for extending range of transducers
SU905671A1 (ru) Датчик давлени
FI58695C (fi) Tryckmaetare
RU2165068C2 (ru) Датчик перемещения